JPH1114372A - Vibration gyroscope - Google Patents
Vibration gyroscopeInfo
- Publication number
- JPH1114372A JPH1114372A JP9171635A JP17163597A JPH1114372A JP H1114372 A JPH1114372 A JP H1114372A JP 9171635 A JP9171635 A JP 9171635A JP 17163597 A JP17163597 A JP 17163597A JP H1114372 A JPH1114372 A JP H1114372A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arms
- detection
- drive
- base
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 74
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 17
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、基部と、この基部
に接続した一対の駆動アームおよび一対の検出アームと
を、基部に対して両者が互いに反対方向に延在するよう
構成した振動子を備える振動型ジャイロスコープに関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibrator in which a base, a pair of drive arms and a pair of detection arms connected to the base are configured to extend in opposite directions to the base. The present invention relates to a vibration gyroscope provided.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来から、基部と、この基部に接続した
一対の駆動アームおよび一対の検出アームとを、同一平
面内において、基部に対して両者が互いに反対方向に延
在するよう構成した振動子を備える振動型ジャイロスコ
ープは、種々の構成のものが知られている。図４はその
ような振動型ジャイロスコープに用いる振動子の一例を
示す図である。図４に示す例において、振動型ジャイロ
スコープに用いる振動子５１は、基部５２と、この基部
５２の一方の側に接続して設けた一対の互いに平行な駆
動アーム５３、５４と、この基部５２の他方の側に接続
して設けた一対の互いに平行な検出アーム５５、５６と
から構成されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a base and a pair of drive arms and a pair of detection arms connected to the base are arranged so that they extend in opposite directions to the base in the same plane. Various configurations of a vibratory gyroscope having a probe are known. FIG. 4 is a diagram showing an example of a vibrator used for such a vibratory gyroscope. In the example shown in FIG. 4, a vibrator 51 used in the vibrating gyroscope includes a base 52, a pair of mutually parallel drive arms 53 and 54 connected to one side of the base 52, and a base 52. And a pair of mutually parallel detection arms 55 and 56 provided to be connected to the other side.
【０００３】上述した構成の従来の振動型ジャイロスコ
ープに用いる振動子１において、駆動アーム５３、５４
を、これらの駆動アーム５３、５４に設けた図示しない
駆動手段により、ＸＺ面内で互いに逆相の振動をさせ
る。このＸＺ面内の振動は、駆動アーム５３、５４と検
出アーム５５、５６のＸＺ面内の形状を異ならせること
で、検出アーム５５、５６には伝達されない。この状態
で、振動子５１の対称軸を中心に回転角速度ωが作用す
ると、駆動アーム５３、５４にコリオリの力ｆが作用す
る。駆動アーム５３、５４が振動していることから、駆
動アーム５３、５４にはＹＺ面内で互いに逆相の振動が
誘起される。ＹＺ面内において駆動アーム５３、５４の
振動と検出アーム５５、５６が共振するよう、駆動アー
ム５３、５４および検出アーム５５、５６のＹＺ面内の
形状を定めてあるため、コリオリの力により発生した駆
動アーム５３、５４のＹＺ面内の振動は、検出アーム５
５、５６に誘起される。この振動を検出アーム５５、５
６に設けた図示しない検出手段により検出して、回転角
速度を測定している。In the vibrator 1 used in the conventional vibratory gyroscope having the above-described structure, the driving arms 53, 54
Are caused to vibrate in opposite phases in the XZ plane by driving means (not shown) provided on the driving arms 53 and 54. This vibration in the XZ plane is not transmitted to the detection arms 55 and 56 by making the shapes of the drive arms 53 and 54 and the detection arms 55 and 56 in the XZ plane different. In this state, when the rotational angular velocity ω acts about the axis of symmetry of the vibrator 51, Coriolis force f acts on the drive arms 53 and 54. Since the drive arms 53 and 54 are vibrating, vibrations having phases opposite to each other are induced in the drive arms 53 and 54 in the YZ plane. Since the shapes of the drive arms 53, 54 and the detection arms 55, 56 in the YZ plane are determined so that the vibrations of the drive arms 53, 54 and the detection arms 55, 56 resonate in the YZ plane, they are generated by Coriolis force. The vibrations in the YZ plane of the driven arms 53 and 54 are detected by the detection arm 5
5, 56 induced. This vibration is detected by the detection arms 55, 5
The rotational angular velocity is detected by detecting means (not shown) provided at 6.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述した構成の振動型
ジャイロスコープに用いる振動子５１では、駆動アーム
５３、５４と検出アーム５５、５６とが基部５２を挟ん
で互いに反対側に延在しているため、駆動アーム５３、
５４に設けた駆動手段と検出アーム５５、５６に設けた
検出手段とを離れた位置に構成することができる。その
ため、検出手段に駆動アーム５３、５４の駆動振動等の
影響が加わり難くなり、高感度の回転角速度の検出が可
能であった。しかしながら、基部５２を挟んで互いに反
対側に駆動アーム５３、５４と検出アーム５５、５６と
が延在しているため、振動子１の各アームの延在する方
向の高さが各アームの２倍以上の高さになってしまい、
この振動子５１を利用した振動型ジャイロスコープをコ
ンパクトに構成できない問題があった。In the vibrator 51 used in the vibratory gyroscope having the above-described structure, the drive arms 53 and 54 and the detection arms 55 and 56 extend on opposite sides of the base 52. The drive arm 53,
The driving means provided at 54 and the detecting means provided at the detection arms 55 and 56 can be configured at separate positions. For this reason, the influence of the drive vibrations of the drive arms 53 and 54 is less likely to be applied to the detection means, and the rotational angular velocity can be detected with high sensitivity. However, since the drive arms 53 and 54 and the detection arms 55 and 56 extend on opposite sides of the base 52, the height of each arm of the vibrator 1 in the extending direction is 2 More than double the height,
There is a problem that a vibratory gyroscope using the vibrator 51 cannot be configured compactly.
【０００５】本発明の目的は上述した課題を解消して、
感度を落とすことなく振動子の高さを低くしてコンパク
トに構成することができる振動型ジャイロスコープを提
供しようとするものである。An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems,
An object of the present invention is to provide a vibratory gyroscope that can be made compact by reducing the height of a vibrator without lowering sensitivity.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の振動型ジャイロ
スコープは、基部と、この基部に接続した一対の駆動ア
ームおよび一対の検出アームとを、基部に対して両者が
互いに反対方向に延在するよう構成した振動子を備える
振動型ジャイロスコープにおいて、前記一対の駆動アー
ムと前記一対の検出アームとが平行にならないよう構成
したことを特徴とするものである。According to the vibration gyroscope of the present invention, a base, a pair of drive arms and a pair of detection arms connected to the base extend in opposite directions to the base. A vibratory gyroscope provided with a vibrator configured to perform the above operation, wherein the pair of drive arms and the pair of detection arms are configured not to be parallel.
【０００７】本発明では、駆動アームと検出アームとが
平行にならないよう構成することで、すなわち、駆動ア
ームは互いに平行に基部から垂直に突出して設けられて
いる場合に、検出アームを基部に対して垂直でないある
角度を有して突出させることで、検出アームの高さを低
くでき、その結果振動子の低背化を達成することができ
る。According to the present invention, the drive arm and the detection arm are configured so as not to be parallel, that is, when the drive arms are provided to protrude perpendicularly from the base in parallel with each other, the detection arm is moved relative to the base. By protruding at a certain angle that is not vertical, the height of the detection arm can be reduced, and as a result, the height of the vibrator can be reduced.
【０００８】また、一対の検出アームの両者を、互い
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成すると、
検出アームの低背化を効率的に達成できるため好まし
い。さらに、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を
有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3単結晶か
ら構成した場合に、各検出アームを各駆動アームに対し
て１２０°の方向へ延在させる、言い換えると、検出ア
ームを基部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開
放端に向かって徐々に大きくなるような方向に延在させ
ると、対称軸とアームの方向とを一致させることがで
き、駆動モードの振動面または検出モードの振動面から
外れた方向に振動せず、効率的に回転角速度を検出でき
る。Further, when the pair of detection arms are configured so that the distance between the detection arms increases from the base toward the open end within the same plane,
This is preferable because the height of the detection arm can be efficiently reduced. Furthermore, when the vibrator is made of a LiTaO 3 single crystal or a LiNbO 3 single crystal having a three-fold symmetry axis among the piezoelectric single crystals, each detection arm extends in a direction of 120 ° with respect to each drive arm. In other words, if the detection arm is extended in the direction of 30 ° from the base such that the distance between the two gradually increases from the base toward the open end, the axis of symmetry and the direction of the arm can be matched. Therefore, the rotational angular velocity can be efficiently detected without vibrating in a direction deviating from the vibration surface in the drive mode or the vibration surface in the detection mode.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】図１は本発明の振動型ジャイロス
コープに用いる振動子の一例の構成を示す図である。図
１に示す例において、振動型ジャイロスコープを構成す
る振動子１は、基部２と、基部２の一方の側、ここでは
図中上側に接続して設けた一対の互いに平行な駆動アー
ム３、４と、基部２の他方の側、ここでは図中下側に接
続して設けた一対の検出アーム５、６とを、同一平面内
に形成して構成されている。また、駆動アーム３、４の
各々に、駆動手段としての駆動電極１１−１〜１１−４
を設けるとともに、検出アーム５、６の各々に、検出手
段としての検出電極１２−１〜１２−４を設けている。
振動子１の材質としては、従来から知られているエリン
バ合金などの恒弾性合金、あるいは圧電セラミックスな
どの圧電材料、さらには、水晶、ＬｉＴａＯ3 単結晶、
ＬｉＮｂＯ3 単結晶などの圧電単結晶を用いることがで
きる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a diagram showing an example of the structure of a vibrator used in a vibratory gyroscope according to the present invention. In the example shown in FIG. 1, a vibrator 1 constituting a vibrating gyroscope includes a base 2 and a pair of mutually parallel drive arms 3 connected to one side of the base 2, here, an upper side in the drawing. 4 and a pair of detection arms 5, 6 connected and provided on the other side of the base 2, here the lower side in the figure, are formed in the same plane. Also, drive electrodes 11-1 to 11-4 as drive means are respectively provided to the drive arms 3 and 4.
And detection electrodes 12-1 to 12-4 as detection means are provided on each of the detection arms 5 and 6.
Examples of the material of the vibrator 1 include a conventionally known constant elastic alloy such as an elinvar alloy, a piezoelectric material such as a piezoelectric ceramic, a quartz crystal, a LiTaO 3 single crystal,
A piezoelectric single crystal such as a LiNbO 3 single crystal can be used.
【００１０】上述した構成の本発明の振動型ジャイロス
コープに用いる振動子１において重要なのは、互いに平
行に構成される駆動アーム３、４に対し、検出アーム
５、６が平行にならないよう構成することである。すな
わち、図１に示す例では、検出アーム５、６間の間隔を
基部２から開放端に向かうに従って対称的に大きくなる
よう、言い換えると検出アーム５、６の両開放端を開い
て検出アーム５、６を基部２から「ハ」の字型に開くよ
うに構成し、さらに、検出アーム５が駆動アーム３に対
して１２０°の角度を有し、検出アーム６が駆動アーム
４に対して１２０°の角度を有するよう構成して、上記
駆動アーム３、４と検出アーム５、６との非平行な関係
を達成している。What is important in the vibrator 1 used in the vibratory gyroscope of the present invention having the above-described structure is that the detecting arms 5 and 6 are not parallel to the driving arms 3 and 4 which are parallel to each other. It is. That is, in the example shown in FIG. 1, the distance between the detection arms 5 and 6 is symmetrically increased from the base 2 toward the open end. In other words, the detection arms 5 and 6 are opened by opening both open ends. , 6 are configured to open from the base 2 in a “C” shape, and furthermore, the detection arm 5 has an angle of 120 ° with respect to the drive arm 3 and the detection arm 6 has an angle of 120 ° with respect to the drive arm 4. The drive arms 3 and 4 and the detection arms 5 and 6 achieve a non-parallel relationship.
【００１１】本実施例では、上述したように駆動アーム
３、４は互いに平行となるよう維持された状態で、検出
アーム５、６を駆動アーム３、４と平行にならないよう
にすることで、検出アーム５、６を駆動アーム３、４と
平行に形成した場合と比較して、検出アーム５、６が
「ハ」の字に開いている分だけ低背化を達成できる。検
出アーム５、６の「ハ」の字に開く角度については、検
出アーム５、６が若干でも「ハ」の字に開いていれば、
振動子の低背化に寄与できることはいうまでもない。た
だし、あまりに検出アーム５、６を「ハ」の字に開きす
ぎると、高さは低くなるものの幅が大きくなりすぎて、
この振動子１を利用して振動型ジャイロスコープを構成
した場合のコンパクト化には寄与できなくなるため、検
出アーム５、６の先端の「ハ」の字の開き程度は、上述
したことを考慮したうえで所定の角度に設定する必要が
ある。In this embodiment, the detection arms 5 and 6 are not parallel to the drive arms 3 and 4 while the drive arms 3 and 4 are maintained parallel to each other as described above. As compared with the case where the detection arms 5 and 6 are formed in parallel with the drive arms 3 and 4, the height can be reduced by an amount corresponding to the opening of the detection arms 5 and 6 in the shape of "C". Regarding the angle at which the detection arms 5 and 6 open in the shape of “C”, if the detection arms 5 and 6 slightly open in the shape of “C”,
Needless to say, it can contribute to a reduction in the height of the vibrator. However, if the detection arms 5 and 6 are opened too much in the shape of “C”, the height will be low but the width will be too large,
Since the vibrating gyroscope using this vibrator 1 cannot contribute to downsizing, the degree of opening of the “C” at the tips of the detection arms 5 and 6 is determined in consideration of the above. In addition, it is necessary to set a predetermined angle.
【００１２】なお、本実施例において、振動子１を３回
対称軸を有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3
単結晶などの圧電単結晶で形成した場合は、図１に示す
ように検出アーム５、６を駆動アーム３、４に対して１
２０°になるよう構成すると、３回対称軸の方向を駆動
アーム３、４および検出アーム５、６の方向と一致させ
ることができる。その場合は、後述する駆動モードの振
動および検出モードの振動のロスが少なくなるため、高
感度の回転角速度の検出を可能とすることができる。In this embodiment, the vibrator 1 is made of LiTaO 3 single crystal or LiNbO 3 having a three-fold symmetry axis.
When formed of a piezoelectric single crystal such as a single crystal, as shown in FIG.
When the angle is set to 20 °, the direction of the three-fold symmetry axis can be made to coincide with the directions of the drive arms 3 and 4 and the detection arms 5 and 6. In this case, the loss of the vibration in the drive mode and the vibration in the detection mode, which will be described later, is reduced, so that it is possible to detect the rotational angular velocity with high sensitivity.
【００１３】上述した本発明の振動型ジャイロスコープ
の振動子１の動作は、以下の通りである。まず、駆動ア
ーム３、４を、駆動アーム３、４に設けた駆動電極１１
−１〜１１−４により、互いに逆相にＸＺ面内で振動さ
せる。この時、ＸＺ面内における駆動アーム３、４の形
状と検出アーム５、６の形状とを異ならせることで、駆
動アーム３、４の駆動振動により検出アーム５、６がＸ
Ｚ面内で共振することはない。この駆動振動モードの振
動を図２（ａ）にも示す。この状態で、振動子１１にＺ
軸を中心とする回転角速度ωが作用すると、駆動アーム
３、４にコリオリの力ｆが作用する。駆動アーム３、４
は互いに逆相でＸＺ面内で振動していることから、駆動
アーム３、４には互いに逆相のＹＺ面内での振動が誘起
される。The operation of the vibrator 1 of the above-described vibratory gyroscope of the present invention is as follows. First, the drive arms 3 and 4 are connected to the drive electrodes 11 provided on the drive arms 3 and 4.
Due to -1 to 11-4, they are oscillated in the XZ plane in mutually opposite phases. At this time, by making the shapes of the drive arms 3 and 4 and the detection arms 5 and 6 different in the XZ plane, the detection arms 5 and 6
There is no resonance in the Z plane. FIG. 2A also shows the vibration in the driving vibration mode. In this state, Z
When the rotational angular velocity ω about the axis acts, Coriolis force f acts on the drive arms 3 and 4. Drive arm 3, 4
Are vibrating in the XZ plane in opposite phases to each other, so that the driving arms 3 and 4 are induced to vibrate in the YZ plane having opposite phases to each other.
【００１４】この駆動アーム３、４のＹＺ面内の振動
は、ＹＺ面内における駆動アーム３、４の形状と検出ア
ーム５、６の形状とは同一としているため、検出アーム
５、６を互いに逆相にＹＺ面内で共振させる。これによ
り、図２（ｂ）に示すような検出振動モードの振動が発
生する。この検出振動モードの振動を検出アーム５、６
の各別に設けた検出電極１２−１〜１２−４により電気
信号として検出して、回転角速度を測定している。その
ため、ＹＺ面内の検出振動モードの振動について考える
と、従来の駆動アームと検出アームとが平行の例と同じ
振動を得ることができるため、従来の例と同様の高感度
の回転角速度の検出が可能である。また、図３（ａ）、
（ｂ）に図１におけるＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状
態およびＢ−Ｂ断面とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状
態を示す。The vibrations of the drive arms 3 and 4 in the YZ plane are the same as the shapes of the drive arms 3 and 4 and the detection arms 5 and 6 in the YZ plane. Resonate in opposite phases in the YZ plane. Thereby, the vibration of the detection vibration mode as shown in FIG. 2B is generated. The vibration of the detection vibration mode is detected by the detection arms 5 and 6
Are detected as electric signals by the detection electrodes 12-1 to 12-4 provided separately for each of the above, and the rotational angular velocity is measured. Therefore, considering the vibration in the detection vibration mode in the YZ plane, the same vibration as in the conventional example in which the drive arm and the detection arm are parallel can be obtained, and the detection of the rotational angular velocity with high sensitivity similar to the conventional example can be obtained. Is possible. In addition, FIG.
FIG. 2B shows the wiring state of each electrode as viewed along the AA section in FIG. 1 and the wiring state of each electrode as viewed along the BB and CC sections.
【００１５】なお、上述した例では、検出アーム５、６
を各別に駆動アーム３、４に対して１２０°に構成した
例を示したが、検出アーム５、６が駆動１−無３、４と
平行になりさえしなければ、この角度は１２０°に限定
されるものでないことはいうまでもない。In the example described above, the detection arms 5, 6
Is shown at 120 ° with respect to the drive arms 3 and 4, respectively, but this angle is set to 120 ° unless the detection arms 5 and 6 are parallel to the drives 1 to 3 and 4. It goes without saying that it is not limited.
【００１６】[0016]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、駆動アームと検出アームとが平行にならない
よう構成しているため、すなわち、駆動アームは互いに
平行に基部から垂直に突出して設けられている場合に、
検出アームを基部に対して垂直でないある角度を有して
突出させることができ、検出アームの高さを低くでき、
その結果振動子の高さを低くできる。一方、検出振動モ
ードの振動は、従来の高感度の検出が可能な駆動アーム
と検出アームとを平行にした場合と同様であるため、従
来の例と同様の高感度の回転角速度の検出を行うことが
できる。As is apparent from the above description, according to the present invention, the drive arm and the detection arm are configured so as not to be parallel, that is, the drive arms project parallel to each other and perpendicularly from the base. If provided,
The detection arm can be protruded at an angle that is not perpendicular to the base, and the height of the detection arm can be reduced.
As a result, the height of the vibrator can be reduced. On the other hand, the vibration in the detection vibration mode is the same as that in the case where the drive arm and the detection arm capable of high-sensitivity detection in the related art are parallel to each other. be able to.
【００１７】また、一対の検出アームの両者を、互い
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成した場合
は、検出アームの低背化を効率的に達成できる。さら
に、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を有するＬ
ｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3 単結晶から構成し
た場合に、各検出アームを各駆動アームに対して１２０
°の方向に延在させる、言い換えると、検出アームを基
部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開放端に向
かって徐々に大きくなるようにすると、対称軸とアーム
の方向とを一致させることができ、駆動モードの振動面
または検出モードの振動面から外れた方向に振動せず、
効率的に回転角速度を検出できる。When the distance between the detection arms is increased from the base toward the open end in the same plane, the height of the detection arms can be reduced efficiently. Can be achieved. Further, the vibrator is made of an L single crystal having a three-fold symmetry axis in the piezoelectric single crystal.
When composed of an iTaO 3 single crystal or a LiNbO 3 single crystal, each detection arm is set to 120
When the detection arm is extended in the direction of °, in other words, when the distance between the detection arms is gradually increased from the base toward the open end in the direction of 30 ° from the base, the axis of symmetry and the direction of the arm coincide. Without vibrating in the direction deviating from the vibration plane in the drive mode or the vibration plane in the detection mode,
The rotational angular velocity can be detected efficiently.
【図１】本発明の振動型ジャイロスコープに用いる振動
子の一例の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of an example of a vibrator used for a vibratory gyroscope of the present invention.
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す例におけ
る駆動振動モードと検出振動モードの例を示す図であ
る。FIGS. 2A and 2B are diagrams respectively showing examples of a driving vibration mode and a detection vibration mode in the example shown in FIG.
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す例におけ
るＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状態およびＢ−Ｂ断面
とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状態を示す図である。FIGS. 3 (a) and 3 (b) show the wiring state of each electrode as viewed in the AA section and the wiring state of each electrode as viewed in the BB and CC sections in the example shown in FIG. 1, respectively. FIG.
【図４】従来の振動型ジャイロスコープに用いる振動子
の一例の構成示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a configuration of an example of a vibrator used in a conventional vibratory gyroscope.
１ 振動子、２ 基部、３、４ 駆動アーム、５、６
検出アーム、１１−１〜１１−４ 駆動電極、１２−１
〜１２−４ 検出電極1 vibrator, 2 base, 3, 4 drive arm, 5, 6
Detection arm, 11-1 to 11-4 Drive electrode, 12-1
~ 12-4 Detection electrode
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相馬 隆雄 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Takao Soma 2-56, Suda-cho, Mizuho-ku, Nagoya-shi, Aichi Japan Insulator Co., Ltd.
Claims (4)
ームおよび一対の検出アームとを、基部に対して両者が
互いに反対方向に延在するよう構成した振動子を備える
振動型ジャイロスコープにおいて、前記一対の駆動アー
ムと前記一対の検出アームとが平行にならないよう構成
したことを特徴とする振動型ジャイロスコープ。1. A vibratory gyroscope comprising a base, and a pair of drive arms and a pair of detection arms connected to the base, wherein the vibrator is configured such that both extend in opposite directions to the base. A vibratory gyroscope, wherein the pair of drive arms and the pair of detection arms are not parallel to each other.
いて、検出アーム間の間隔が基部から開放端に向かうに
従って大きくなるよう構成した請求項１記載の振動型ジ
ャイロスコープ。2. The vibratory gyroscope according to claim 1, wherein the pair of detection arms are configured such that the distance between the detection arms increases from the base toward the open end in the same plane.
の各々に対して１２０°回転した位置に存在する請求項
２記載の振動型ジャイロスコープ。3. The vibratory gyroscope according to claim 2, wherein each of said detection arms is located at a position rotated by 120 ° with respect to each of said drive arms.
ａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3 単結晶の圧電単結晶か
ら構成される請求項３記載の振動型ジャイロスコープ。4. The LiT device according to claim 1, wherein the vibrator has a three-fold symmetry axis.
4. The vibratory gyroscope according to claim 3, wherein the vibratory gyroscope is formed of a piezoelectric single crystal of aO 3 single crystal or LiNbO 3 single crystal.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171635A JPH1114372A (en) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | Vibration gyroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171635A JPH1114372A (en) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | Vibration gyroscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114372A true JPH1114372A (en) | 1999-01-22 |
Family
ID=15926859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9171635A Withdrawn JPH1114372A (en) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | Vibration gyroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114372A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033371A (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | Inertial sensor element |
| JP2011196822A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | Vibration gyro element, vibration gyro sensor, detection method of angular velocity by vibration gyro sensor and electronic device |
| JP2011209003A (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | Vibration piece, angular velocity sensor, and electronic apparatus |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP9171635A patent/JPH1114372A/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033371A (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | Inertial sensor element |
| JP2011196822A (en) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | Vibration gyro element, vibration gyro sensor, detection method of angular velocity by vibration gyro sensor and electronic device |
| JP2011209003A (en) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | Vibration piece, angular velocity sensor, and electronic apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3973742B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
| WO2005017445B1 (en) | Flexible vibratory micro-electromechanical device | |
| CN100480630C (en) | Six-legged type piezoelectric vibration gyroscope | |
| JPH1114373A (en) | Vibration gyroscope | |
| US20080111451A1 (en) | Vibratory Gyroscope | |
| JP3751745B2 (en) | Vibrator, vibratory gyroscope and measuring method of rotational angular velocity | |
| JPH1114372A (en) | Vibration gyroscope | |
| JPS61294311A (en) | Oscillation gyro | |
| JPH02218914A (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPH1114366A (en) | Vibration gyroscope | |
| JP3720563B2 (en) | Vibrator, vibratory gyroscope and measuring method of rotational angular velocity | |
| JP4163031B2 (en) | Tuning fork type angular velocity sensor | |
| JPH10170270A (en) | Vibrator and vibratory gyroscope using it | |
| JPH1114374A (en) | Vibration gyroscope | |
| JP3636412B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
| JPS61247915A (en) | Vibration gyro | |
| JPH1114371A (en) | Vibration gyroscope | |
| JP2006266984A (en) | Vibrating gyro element | |
| JP3701785B2 (en) | Vibrator, vibratory gyroscope, linear accelerometer and measuring method of rotational angular velocity | |
| JP3732601B2 (en) | Energy-confined piezoelectric vibration gyroscope | |
| JP3690448B2 (en) | Piezoelectric vibrator for piezoelectric vibration gyro | |
| JP3732602B2 (en) | Energy-confined piezoelectric vibration gyroscope | |
| JP3830056B2 (en) | Piezoelectric vibration gyro | |
| JP3042501B2 (en) | Tuning fork type piezoelectric gyro sensor | |
| JP3356013B2 (en) | Vibrating gyro |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |