JPH1114372A - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents
振動型ジャイロスコープInfo
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- JPH1114372A JPH1114372A JP9171635A JP17163597A JPH1114372A JP H1114372 A JPH1114372 A JP H1114372A JP 9171635 A JP9171635 A JP 9171635A JP 17163597 A JP17163597 A JP 17163597A JP H1114372 A JPH1114372 A JP H1114372A
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 17
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】感度を落とすことなく振動子の高さを低くして
コンパクトに構成することができる振動型ジャイロスコ
ープを提供する。 【解決手段】基部２と、この基部２に接続した一対の駆
動アーム３、４および一対の検出アーム５、６とを、基
部２に対して両者が互いに反対方向に延在するよう構成
した圧電単結晶からなる振動子１を備える振動型ジャイ
ロスコープにおいて、一対の駆動アーム３、４と一対の
検出アーム５、６とが平行にならないよう構成する。
コンパクトに構成することができる振動型ジャイロスコ
ープを提供する。 【解決手段】基部２と、この基部２に接続した一対の駆
動アーム３、４および一対の検出アーム５、６とを、基
部２に対して両者が互いに反対方向に延在するよう構成
した圧電単結晶からなる振動子１を備える振動型ジャイ
ロスコープにおいて、一対の駆動アーム３、４と一対の
検出アーム５、６とが平行にならないよう構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基部と、この基部
に接続した一対の駆動アームおよび一対の検出アームと
を、基部に対して両者が互いに反対方向に延在するよう
構成した振動子を備える振動型ジャイロスコープに関す
るものである。
に接続した一対の駆動アームおよび一対の検出アームと
を、基部に対して両者が互いに反対方向に延在するよう
構成した振動子を備える振動型ジャイロスコープに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、基部と、この基部に接続した
一対の駆動アームおよび一対の検出アームとを、同一平
面内において、基部に対して両者が互いに反対方向に延
在するよう構成した振動子を備える振動型ジャイロスコ
ープは、種々の構成のものが知られている。図４はその
ような振動型ジャイロスコープに用いる振動子の一例を
示す図である。図４に示す例において、振動型ジャイロ
スコープに用いる振動子５１は、基部５２と、この基部
５２の一方の側に接続して設けた一対の互いに平行な駆
動アーム５３、５４と、この基部５２の他方の側に接続
して設けた一対の互いに平行な検出アーム５５、５６と
から構成されている。
一対の駆動アームおよび一対の検出アームとを、同一平
面内において、基部に対して両者が互いに反対方向に延
在するよう構成した振動子を備える振動型ジャイロスコ
ープは、種々の構成のものが知られている。図４はその
ような振動型ジャイロスコープに用いる振動子の一例を
示す図である。図４に示す例において、振動型ジャイロ
スコープに用いる振動子５１は、基部５２と、この基部
５２の一方の側に接続して設けた一対の互いに平行な駆
動アーム５３、５４と、この基部５２の他方の側に接続
して設けた一対の互いに平行な検出アーム５５、５６と
から構成されている。
【０００３】上述した構成の従来の振動型ジャイロスコ
ープに用いる振動子１において、駆動アーム５３、５４
を、これらの駆動アーム５３、５４に設けた図示しない
駆動手段により、ＸＺ面内で互いに逆相の振動をさせ
る。このＸＺ面内の振動は、駆動アーム５３、５４と検
出アーム５５、５６のＸＺ面内の形状を異ならせること
で、検出アーム５５、５６には伝達されない。この状態
で、振動子５１の対称軸を中心に回転角速度ωが作用す
ると、駆動アーム５３、５４にコリオリの力ｆが作用す
る。駆動アーム５３、５４が振動していることから、駆
動アーム５３、５４にはＹＺ面内で互いに逆相の振動が
誘起される。ＹＺ面内において駆動アーム５３、５４の
振動と検出アーム５５、５６が共振するよう、駆動アー
ム５３、５４および検出アーム５５、５６のＹＺ面内の
形状を定めてあるため、コリオリの力により発生した駆
動アーム５３、５４のＹＺ面内の振動は、検出アーム５
５、５６に誘起される。この振動を検出アーム５５、５
６に設けた図示しない検出手段により検出して、回転角
速度を測定している。
ープに用いる振動子１において、駆動アーム５３、５４
を、これらの駆動アーム５３、５４に設けた図示しない
駆動手段により、ＸＺ面内で互いに逆相の振動をさせ
る。このＸＺ面内の振動は、駆動アーム５３、５４と検
出アーム５５、５６のＸＺ面内の形状を異ならせること
で、検出アーム５５、５６には伝達されない。この状態
で、振動子５１の対称軸を中心に回転角速度ωが作用す
ると、駆動アーム５３、５４にコリオリの力ｆが作用す
る。駆動アーム５３、５４が振動していることから、駆
動アーム５３、５４にはＹＺ面内で互いに逆相の振動が
誘起される。ＹＺ面内において駆動アーム５３、５４の
振動と検出アーム５５、５６が共振するよう、駆動アー
ム５３、５４および検出アーム５５、５６のＹＺ面内の
形状を定めてあるため、コリオリの力により発生した駆
動アーム５３、５４のＹＺ面内の振動は、検出アーム５
５、５６に誘起される。この振動を検出アーム５５、５
６に設けた図示しない検出手段により検出して、回転角
速度を測定している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した構成の振動型
ジャイロスコープに用いる振動子５１では、駆動アーム
５３、５４と検出アーム５５、５６とが基部５２を挟ん
で互いに反対側に延在しているため、駆動アーム５３、
５４に設けた駆動手段と検出アーム５５、５６に設けた
検出手段とを離れた位置に構成することができる。その
ため、検出手段に駆動アーム５３、５４の駆動振動等の
影響が加わり難くなり、高感度の回転角速度の検出が可
能であった。しかしながら、基部５２を挟んで互いに反
対側に駆動アーム５３、５４と検出アーム５５、５６と
が延在しているため、振動子１の各アームの延在する方
向の高さが各アームの２倍以上の高さになってしまい、
この振動子５１を利用した振動型ジャイロスコープをコ
ンパクトに構成できない問題があった。
ジャイロスコープに用いる振動子５１では、駆動アーム
５３、５４と検出アーム５５、５６とが基部５２を挟ん
で互いに反対側に延在しているため、駆動アーム５３、
５４に設けた駆動手段と検出アーム５５、５６に設けた
検出手段とを離れた位置に構成することができる。その
ため、検出手段に駆動アーム５３、５４の駆動振動等の
影響が加わり難くなり、高感度の回転角速度の検出が可
能であった。しかしながら、基部５２を挟んで互いに反
対側に駆動アーム５３、５４と検出アーム５５、５６と
が延在しているため、振動子１の各アームの延在する方
向の高さが各アームの２倍以上の高さになってしまい、
この振動子５１を利用した振動型ジャイロスコープをコ
ンパクトに構成できない問題があった。
【０００５】本発明の目的は上述した課題を解消して、
感度を落とすことなく振動子の高さを低くしてコンパク
トに構成することができる振動型ジャイロスコープを提
供しようとするものである。
感度を落とすことなく振動子の高さを低くしてコンパク
トに構成することができる振動型ジャイロスコープを提
供しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の振動型ジャイロ
スコープは、基部と、この基部に接続した一対の駆動ア
ームおよび一対の検出アームとを、基部に対して両者が
互いに反対方向に延在するよう構成した振動子を備える
振動型ジャイロスコープにおいて、前記一対の駆動アー
ムと前記一対の検出アームとが平行にならないよう構成
したことを特徴とするものである。
スコープは、基部と、この基部に接続した一対の駆動ア
ームおよび一対の検出アームとを、基部に対して両者が
互いに反対方向に延在するよう構成した振動子を備える
振動型ジャイロスコープにおいて、前記一対の駆動アー
ムと前記一対の検出アームとが平行にならないよう構成
したことを特徴とするものである。
【０００７】本発明では、駆動アームと検出アームとが
平行にならないよう構成することで、すなわち、駆動ア
ームは互いに平行に基部から垂直に突出して設けられて
いる場合に、検出アームを基部に対して垂直でないある
角度を有して突出させることで、検出アームの高さを低
くでき、その結果振動子の低背化を達成することができ
る。
平行にならないよう構成することで、すなわち、駆動ア
ームは互いに平行に基部から垂直に突出して設けられて
いる場合に、検出アームを基部に対して垂直でないある
角度を有して突出させることで、検出アームの高さを低
くでき、その結果振動子の低背化を達成することができ
る。
【０００８】また、一対の検出アームの両者を、互い
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成すると、
検出アームの低背化を効率的に達成できるため好まし
い。さらに、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を
有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3単結晶か
ら構成した場合に、各検出アームを各駆動アームに対し
て１２０°の方向へ延在させる、言い換えると、検出ア
ームを基部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開
放端に向かって徐々に大きくなるような方向に延在させ
ると、対称軸とアームの方向とを一致させることがで
き、駆動モードの振動面または検出モードの振動面から
外れた方向に振動せず、効率的に回転角速度を検出でき
る。
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成すると、
検出アームの低背化を効率的に達成できるため好まし
い。さらに、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を
有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3単結晶か
ら構成した場合に、各検出アームを各駆動アームに対し
て１２０°の方向へ延在させる、言い換えると、検出ア
ームを基部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開
放端に向かって徐々に大きくなるような方向に延在させ
ると、対称軸とアームの方向とを一致させることがで
き、駆動モードの振動面または検出モードの振動面から
外れた方向に振動せず、効率的に回転角速度を検出でき
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明の振動型ジャイロス
コープに用いる振動子の一例の構成を示す図である。図
１に示す例において、振動型ジャイロスコープを構成す
る振動子１は、基部２と、基部２の一方の側、ここでは
図中上側に接続して設けた一対の互いに平行な駆動アー
ム３、４と、基部２の他方の側、ここでは図中下側に接
続して設けた一対の検出アーム５、６とを、同一平面内
に形成して構成されている。また、駆動アーム３、４の
各々に、駆動手段としての駆動電極１１−１〜１１−４
を設けるとともに、検出アーム５、６の各々に、検出手
段としての検出電極１２−１〜１２−４を設けている。
振動子１の材質としては、従来から知られているエリン
バ合金などの恒弾性合金、あるいは圧電セラミックスな
どの圧電材料、さらには、水晶、ＬｉＴａＯ3 単結晶、
ＬｉＮｂＯ3 単結晶などの圧電単結晶を用いることがで
きる。
コープに用いる振動子の一例の構成を示す図である。図
１に示す例において、振動型ジャイロスコープを構成す
る振動子１は、基部２と、基部２の一方の側、ここでは
図中上側に接続して設けた一対の互いに平行な駆動アー
ム３、４と、基部２の他方の側、ここでは図中下側に接
続して設けた一対の検出アーム５、６とを、同一平面内
に形成して構成されている。また、駆動アーム３、４の
各々に、駆動手段としての駆動電極１１−１〜１１−４
を設けるとともに、検出アーム５、６の各々に、検出手
段としての検出電極１２−１〜１２−４を設けている。
振動子１の材質としては、従来から知られているエリン
バ合金などの恒弾性合金、あるいは圧電セラミックスな
どの圧電材料、さらには、水晶、ＬｉＴａＯ3 単結晶、
ＬｉＮｂＯ3 単結晶などの圧電単結晶を用いることがで
きる。
【００１０】上述した構成の本発明の振動型ジャイロス
コープに用いる振動子１において重要なのは、互いに平
行に構成される駆動アーム３、４に対し、検出アーム
５、６が平行にならないよう構成することである。すな
わち、図１に示す例では、検出アーム５、６間の間隔を
基部２から開放端に向かうに従って対称的に大きくなる
よう、言い換えると検出アーム５、６の両開放端を開い
て検出アーム５、６を基部２から「ハ」の字型に開くよ
うに構成し、さらに、検出アーム５が駆動アーム３に対
して１２０°の角度を有し、検出アーム６が駆動アーム
４に対して１２０°の角度を有するよう構成して、上記
駆動アーム３、４と検出アーム５、６との非平行な関係
を達成している。
コープに用いる振動子１において重要なのは、互いに平
行に構成される駆動アーム３、４に対し、検出アーム
５、６が平行にならないよう構成することである。すな
わち、図１に示す例では、検出アーム５、６間の間隔を
基部２から開放端に向かうに従って対称的に大きくなる
よう、言い換えると検出アーム５、６の両開放端を開い
て検出アーム５、６を基部２から「ハ」の字型に開くよ
うに構成し、さらに、検出アーム５が駆動アーム３に対
して１２０°の角度を有し、検出アーム６が駆動アーム
４に対して１２０°の角度を有するよう構成して、上記
駆動アーム３、４と検出アーム５、６との非平行な関係
を達成している。
【００１１】本実施例では、上述したように駆動アーム
３、４は互いに平行となるよう維持された状態で、検出
アーム５、６を駆動アーム３、４と平行にならないよう
にすることで、検出アーム５、６を駆動アーム３、４と
平行に形成した場合と比較して、検出アーム５、６が
「ハ」の字に開いている分だけ低背化を達成できる。検
出アーム５、６の「ハ」の字に開く角度については、検
出アーム５、６が若干でも「ハ」の字に開いていれば、
振動子の低背化に寄与できることはいうまでもない。た
だし、あまりに検出アーム５、６を「ハ」の字に開きす
ぎると、高さは低くなるものの幅が大きくなりすぎて、
この振動子１を利用して振動型ジャイロスコープを構成
した場合のコンパクト化には寄与できなくなるため、検
出アーム５、６の先端の「ハ」の字の開き程度は、上述
したことを考慮したうえで所定の角度に設定する必要が
ある。
３、４は互いに平行となるよう維持された状態で、検出
アーム５、６を駆動アーム３、４と平行にならないよう
にすることで、検出アーム５、６を駆動アーム３、４と
平行に形成した場合と比較して、検出アーム５、６が
「ハ」の字に開いている分だけ低背化を達成できる。検
出アーム５、６の「ハ」の字に開く角度については、検
出アーム５、６が若干でも「ハ」の字に開いていれば、
振動子の低背化に寄与できることはいうまでもない。た
だし、あまりに検出アーム５、６を「ハ」の字に開きす
ぎると、高さは低くなるものの幅が大きくなりすぎて、
この振動子１を利用して振動型ジャイロスコープを構成
した場合のコンパクト化には寄与できなくなるため、検
出アーム５、６の先端の「ハ」の字の開き程度は、上述
したことを考慮したうえで所定の角度に設定する必要が
ある。
【００１２】なお、本実施例において、振動子１を３回
対称軸を有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3
単結晶などの圧電単結晶で形成した場合は、図１に示す
ように検出アーム５、６を駆動アーム３、４に対して１
２０°になるよう構成すると、３回対称軸の方向を駆動
アーム３、４および検出アーム５、６の方向と一致させ
ることができる。その場合は、後述する駆動モードの振
動および検出モードの振動のロスが少なくなるため、高
感度の回転角速度の検出を可能とすることができる。
対称軸を有するＬｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3
単結晶などの圧電単結晶で形成した場合は、図１に示す
ように検出アーム５、６を駆動アーム３、４に対して１
２０°になるよう構成すると、３回対称軸の方向を駆動
アーム３、４および検出アーム５、６の方向と一致させ
ることができる。その場合は、後述する駆動モードの振
動および検出モードの振動のロスが少なくなるため、高
感度の回転角速度の検出を可能とすることができる。
【００１３】上述した本発明の振動型ジャイロスコープ
の振動子１の動作は、以下の通りである。まず、駆動ア
ーム３、４を、駆動アーム３、４に設けた駆動電極１１
−１〜１１−４により、互いに逆相にＸＺ面内で振動さ
せる。この時、ＸＺ面内における駆動アーム３、４の形
状と検出アーム５、６の形状とを異ならせることで、駆
動アーム３、４の駆動振動により検出アーム５、６がＸ
Ｚ面内で共振することはない。この駆動振動モードの振
動を図２（ａ）にも示す。この状態で、振動子１１にＺ
軸を中心とする回転角速度ωが作用すると、駆動アーム
３、４にコリオリの力ｆが作用する。駆動アーム３、４
は互いに逆相でＸＺ面内で振動していることから、駆動
アーム３、４には互いに逆相のＹＺ面内での振動が誘起
される。
の振動子１の動作は、以下の通りである。まず、駆動ア
ーム３、４を、駆動アーム３、４に設けた駆動電極１１
−１〜１１−４により、互いに逆相にＸＺ面内で振動さ
せる。この時、ＸＺ面内における駆動アーム３、４の形
状と検出アーム５、６の形状とを異ならせることで、駆
動アーム３、４の駆動振動により検出アーム５、６がＸ
Ｚ面内で共振することはない。この駆動振動モードの振
動を図２（ａ）にも示す。この状態で、振動子１１にＺ
軸を中心とする回転角速度ωが作用すると、駆動アーム
３、４にコリオリの力ｆが作用する。駆動アーム３、４
は互いに逆相でＸＺ面内で振動していることから、駆動
アーム３、４には互いに逆相のＹＺ面内での振動が誘起
される。
【００１４】この駆動アーム３、４のＹＺ面内の振動
は、ＹＺ面内における駆動アーム３、４の形状と検出ア
ーム５、６の形状とは同一としているため、検出アーム
５、６を互いに逆相にＹＺ面内で共振させる。これによ
り、図２（ｂ）に示すような検出振動モードの振動が発
生する。この検出振動モードの振動を検出アーム５、６
の各別に設けた検出電極１２−１〜１２−４により電気
信号として検出して、回転角速度を測定している。その
ため、ＹＺ面内の検出振動モードの振動について考える
と、従来の駆動アームと検出アームとが平行の例と同じ
振動を得ることができるため、従来の例と同様の高感度
の回転角速度の検出が可能である。また、図３（ａ）、
（ｂ）に図１におけるＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状
態およびＢ−Ｂ断面とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状
態を示す。
は、ＹＺ面内における駆動アーム３、４の形状と検出ア
ーム５、６の形状とは同一としているため、検出アーム
５、６を互いに逆相にＹＺ面内で共振させる。これによ
り、図２（ｂ）に示すような検出振動モードの振動が発
生する。この検出振動モードの振動を検出アーム５、６
の各別に設けた検出電極１２−１〜１２−４により電気
信号として検出して、回転角速度を測定している。その
ため、ＹＺ面内の検出振動モードの振動について考える
と、従来の駆動アームと検出アームとが平行の例と同じ
振動を得ることができるため、従来の例と同様の高感度
の回転角速度の検出が可能である。また、図３（ａ）、
（ｂ）に図１におけるＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状
態およびＢ−Ｂ断面とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状
態を示す。
【００１５】なお、上述した例では、検出アーム５、６
を各別に駆動アーム３、４に対して１２０°に構成した
例を示したが、検出アーム５、６が駆動１−無３、４と
平行になりさえしなければ、この角度は１２０°に限定
されるものでないことはいうまでもない。
を各別に駆動アーム３、４に対して１２０°に構成した
例を示したが、検出アーム５、６が駆動１−無３、４と
平行になりさえしなければ、この角度は１２０°に限定
されるものでないことはいうまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、駆動アームと検出アームとが平行にならない
よう構成しているため、すなわち、駆動アームは互いに
平行に基部から垂直に突出して設けられている場合に、
検出アームを基部に対して垂直でないある角度を有して
突出させることができ、検出アームの高さを低くでき、
その結果振動子の高さを低くできる。一方、検出振動モ
ードの振動は、従来の高感度の検出が可能な駆動アーム
と検出アームとを平行にした場合と同様であるため、従
来の例と同様の高感度の回転角速度の検出を行うことが
できる。
によれば、駆動アームと検出アームとが平行にならない
よう構成しているため、すなわち、駆動アームは互いに
平行に基部から垂直に突出して設けられている場合に、
検出アームを基部に対して垂直でないある角度を有して
突出させることができ、検出アームの高さを低くでき、
その結果振動子の高さを低くできる。一方、検出振動モ
ードの振動は、従来の高感度の検出が可能な駆動アーム
と検出アームとを平行にした場合と同様であるため、従
来の例と同様の高感度の回転角速度の検出を行うことが
できる。
【００１７】また、一対の検出アームの両者を、互い
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成した場合
は、検出アームの低背化を効率的に達成できる。さら
に、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を有するＬ
ｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3 単結晶から構成し
た場合に、各検出アームを各駆動アームに対して１２０
°の方向に延在させる、言い換えると、検出アームを基
部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開放端に向
かって徐々に大きくなるようにすると、対称軸とアーム
の方向とを一致させることができ、駆動モードの振動面
または検出モードの振動面から外れた方向に振動せず、
効率的に回転角速度を検出できる。
に、同一平面内において、検出アーム間の間隔が基部か
ら開放端に向かうに従って大きくなるよう構成した場合
は、検出アームの低背化を効率的に達成できる。さら
に、振動子を、圧電単結晶のうち３回対称軸を有するＬ
ｉＴａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3 単結晶から構成し
た場合に、各検出アームを各駆動アームに対して１２０
°の方向に延在させる、言い換えると、検出アームを基
部から３０°の方向で両者の間隔が基部から開放端に向
かって徐々に大きくなるようにすると、対称軸とアーム
の方向とを一致させることができ、駆動モードの振動面
または検出モードの振動面から外れた方向に振動せず、
効率的に回転角速度を検出できる。
【図１】本発明の振動型ジャイロスコープに用いる振動
子の一例の構成を示す図である。
子の一例の構成を示す図である。
【図２】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す例におけ
る駆動振動モードと検出振動モードの例を示す図であ
る。
る駆動振動モードと検出振動モードの例を示す図であ
る。
【図３】（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図１に示す例におけ
るＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状態およびＢ−Ｂ断面
とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状態を示す図である。
るＡ−Ａ断面で見た各電極の配線状態およびＢ−Ｂ断面
とＣ−Ｃ断面で見た各電極の配線状態を示す図である。
【図４】従来の振動型ジャイロスコープに用いる振動子
の一例の構成示す図である。
の一例の構成示す図である。
１ 振動子、２ 基部、３、４ 駆動アーム、５、６
検出アーム、１１−１〜１１−４ 駆動電極、１２−１
〜１２−４ 検出電極
検出アーム、１１−１〜１１−４ 駆動電極、１２−１
〜１２−４ 検出電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相馬 隆雄 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】基部と、この基部に接続した一対の駆動ア
ームおよび一対の検出アームとを、基部に対して両者が
互いに反対方向に延在するよう構成した振動子を備える
振動型ジャイロスコープにおいて、前記一対の駆動アー
ムと前記一対の検出アームとが平行にならないよう構成
したことを特徴とする振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項２】前記一対の検出アームを、同一平面内にお
いて、検出アーム間の間隔が基部から開放端に向かうに
従って大きくなるよう構成した請求項１記載の振動型ジ
ャイロスコープ。 - 【請求項３】前記検出アームの各々が、前記駆動アーム
の各々に対して１２０°回転した位置に存在する請求項
２記載の振動型ジャイロスコープ。 - 【請求項４】前記振動子が、３回対称軸を有するＬｉＴ
ａＯ3 単結晶またはＬｉＮｂＯ3 単結晶の圧電単結晶か
ら構成される請求項３記載の振動型ジャイロスコープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171635A JPH1114372A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 振動型ジャイロスコープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171635A JPH1114372A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 振動型ジャイロスコープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114372A true JPH1114372A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15926859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9171635A Withdrawn JPH1114372A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 振動型ジャイロスコープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114372A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033371A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2011196822A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動型ジャイロ素子、振動型ジャイロセンサー、振動型ジャイロセンサーによる角速度の検出方法および電子機器 |
| JP2011209003A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | 振動片、角速度センサー、および電子機器 |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP9171635A patent/JPH1114372A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033371A (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-08 | Kyocera Kinseki Corp | 慣性センサ素子 |
| JP2011196822A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動型ジャイロ素子、振動型ジャイロセンサー、振動型ジャイロセンサーによる角速度の検出方法および電子機器 |
| JP2011209003A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | 振動片、角速度センサー、および電子機器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040907 |