JPH11144663A - 電界放出形電子顕微鏡 - Google Patents
電界放出形電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH11144663A JPH11144663A JP9306805A JP30680597A JPH11144663A JP H11144663 A JPH11144663 A JP H11144663A JP 9306805 A JP9306805 A JP 9306805A JP 30680597 A JP30680597 A JP 30680597A JP H11144663 A JPH11144663 A JP H11144663A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field emission
- voltage
- power supply
- extraction
- constant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明では、陰極部にガスが付着し平衡状態に
なる約１時間を自動的に放出電流量が一定となるように
制御することにある。 【解決手段】放出電流量が一定となる様、引き出し電圧
を制御し、かつ上記制御は約１時間連続して行い、その
後放出電流量がほぼ一定となり使用できるため、上記制
御をタイマー予約し、予め使用する時間の１時間前から
フラッシング，高電圧印加及び放出電流量を一定となる
制御を行う様構成した。
なる約１時間を自動的に放出電流量が一定となるように
制御することにある。 【解決手段】放出電流量が一定となる様、引き出し電圧
を制御し、かつ上記制御は約１時間連続して行い、その
後放出電流量がほぼ一定となり使用できるため、上記制
御をタイマー予約し、予め使用する時間の１時間前から
フラッシング，高電圧印加及び放出電流量を一定となる
制御を行う様構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電界放出形電子顕微
鏡，電子線応用装置等に用いる電子銃の引き出し電流を
安定させるための制御方法に関する。
鏡，電子線応用装置等に用いる電子銃の引き出し電流を
安定させるための制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術は、電界放出陰極を数秒間加
熱するフラッシングにより電界放出陰極をクリーニング
した後、加速電圧を印加し加速電圧が設定値に達した
後、放出電子量が設定値になる様、引き出し電圧を昇圧
する。放出電子量が設定値になった後、１分間放出電子
量が一定となるよう引き出し電圧を昇圧する。その後、
引き出し電圧を固定して使用していた。
熱するフラッシングにより電界放出陰極をクリーニング
した後、加速電圧を印加し加速電圧が設定値に達した
後、放出電子量が設定値になる様、引き出し電圧を昇圧
する。放出電子量が設定値になった後、１分間放出電子
量が一定となるよう引き出し電圧を昇圧する。その後、
引き出し電圧を固定して使用していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、設定
された放出電子量になった所で引き出し電圧を固定し使
用した。この為陰極部にガスが付着し平衡状態になる約
１時間の期間放出電流量が低下するという状態があっ
た。
された放出電子量になった所で引き出し電圧を固定し使
用した。この為陰極部にガスが付着し平衡状態になる約
１時間の期間放出電流量が低下するという状態があっ
た。
【０００４】放出電流量が低下した時、引き出し電圧を
上げ設定の放出電流量にする操作が必要であった。
上げ設定の放出電流量にする操作が必要であった。
【０００５】本発明では、陰極部にガスが付着し平衡状
態になる約１時間を自動的に放出電流量が一定となるよ
うに制御することにある。
態になる約１時間を自動的に放出電流量が一定となるよ
うに制御することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題解決のため、放
出電流量が一定となる様、引き出し電圧を制御する。か
つ上記制御は約１時間連続して行う。その後放出電流量
がほぼ一定となり使用できるため、上記制御をタイマー
予約し、予め使用する時間の１時間前からフラッシン
グ，高電圧印加及び放出電流量を一定となる制御を行う
様構成した。
出電流量が一定となる様、引き出し電圧を制御する。か
つ上記制御は約１時間連続して行う。その後放出電流量
がほぼ一定となり使用できるため、上記制御をタイマー
予約し、予め使用する時間の１時間前からフラッシン
グ，高電圧印加及び放出電流量を一定となる制御を行う
様構成した。
【０００７】即ち、本発明により、放出電流量がほぼ一
定となり安定した状態で装置の使用開始が出来る。
定となり安定した状態で装置の使用開始が出来る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１によ
り説明する。図１は電界放出形電子顕微鏡用電子銃及び
電源を記述している。電子源１は電子源加熱電源４より
供給された電流で電子源１が加熱され清浄化される。そ
の操作は全加速電圧を印加する前に行う。
り説明する。図１は電界放出形電子顕微鏡用電子銃及び
電源を記述している。電子源１は電子源加熱電源４より
供給された電流で電子源１が加熱され清浄化される。そ
の操作は全加速電圧を印加する前に行う。
【０００９】全加速電圧印加終了後、引き出し電圧電源
３により引き出し電圧が昇圧する。引き出し電圧の昇圧
が終了した後で引き出し電極２に引き出し電流が流れ
る。引き出し電流は制御系で検出し、通信により高圧系
電源８に送信されて電子顕微鏡本体に表示される。静電
レンズ電極９には静電レンズ電源６により引き出し電圧
電源３に連動し引き出し電流が電子源１に平衡となる様
に静電レンズ電圧が供給される。
３により引き出し電圧が昇圧する。引き出し電圧の昇圧
が終了した後で引き出し電極２に引き出し電流が流れ
る。引き出し電流は制御系で検出し、通信により高圧系
電源８に送信されて電子顕微鏡本体に表示される。静電
レンズ電極９には静電レンズ電源６により引き出し電圧
電源３に連動し引き出し電流が電子源１に平衡となる様
に静電レンズ電圧が供給される。
【００１０】引き出し電流は真空により変化するが、引
き出し電極２と静電レンズ電極９間にかかる引き出し電
圧で決まる。
き出し電極２と静電レンズ電極９間にかかる引き出し電
圧で決まる。
【００１１】図２は時間を横軸に引き出し電圧を縦軸に
取った図である。装置を使用したい時間と引き出し電流
を一定に保つ操作時間を制御系に入力し、自動昇圧時間
をセットする。その後は装置使用前より昇圧を始め、引
き出し電流が流れ始める。引き出し電流が設定値に到達
した後、制御系に入力している引き出し電流を一定に保
つ操作を指定時間動作する。
取った図である。装置を使用したい時間と引き出し電流
を一定に保つ操作時間を制御系に入力し、自動昇圧時間
をセットする。その後は装置使用前より昇圧を始め、引
き出し電流が流れ始める。引き出し電流が設定値に到達
した後、制御系に入力している引き出し電流を一定に保
つ操作を指定時間動作する。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、電界放出形電子顕微鏡
用電子銃の引き出し電圧を設定した時間制御すること
で、引き出し電流を安定させることができる。
用電子銃の引き出し電圧を設定した時間制御すること
で、引き出し電流を安定させることができる。
【００１３】また、引き出し電圧を制御する時間を電子
顕微鏡の観察したい時間に合わせて設定し、一定の電流
量で観察できれば、安定した性能を得ることができる。
顕微鏡の観察したい時間に合わせて設定し、一定の電流
量で観察できれば、安定した性能を得ることができる。
【図１】本発明の実施例の電界放出形電子顕微鏡用電子
銃の縦断面図である。
銃の縦断面図である。
【図２】引き出し電圧の昇圧により引き出し電流の流れ
る時間を表わした特性図である。
る時間を表わした特性図である。
【図３】引き出し電流を一定に保つ操作を流れ順序で表
わした図である。
わした図である。
１…電子源、２…引き出し電極、３…引き出し電圧電
源、４…電子源加熱電源、５…制御系、６…静電レンズ
電源、７…全加速電源、８…高圧系電源、９…静電レン
ズ電極。
源、４…電子源加熱電源、５…制御系、６…静電レンズ
電源、７…全加速電源、８…高圧系電源、９…静電レン
ズ電極。
Claims (4)
- 【請求項１】電界放出陰極と、電子を電界放出させる引
き出し電極と、電子を加速する少なくとも２段以上の加
速電極と、該陰極を加熱する加熱電源と、該加速電極の
初段に電圧を印加する初段加速電源と、該加速電極の後
段に電圧を印加する加速電源を有する電界放出形電子銃
において、予め設定された時間に電子を電界放出させる
高電圧印加を自動で行う機能を設けたことを特徴とする
電界放出形電子顕微鏡。 - 【請求項２】請求項１において、放出電子量が一定とな
る様、該引き出し電極に印加する電圧を該引き出し電源
で、０.５ 時間から５０時間の間の任意の設定時間を制
御することを特徴とする電界放出形電子顕微鏡。 - 【請求項３】請求項１，２において、該電界放出形電子
銃の真空度を検出する手段を有し、高電圧印加前後の真
空度の変化を継続し、記憶する手段を有することを特徴
とする電界放出形電子顕微鏡。 - 【請求項４】請求項１〜３において、予め設定された真
空度より悪化した場合、引き出し電圧を下げる様引き出
し電源を制御する様構成した事を特徴とする電界放出形
電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306805A JPH11144663A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 電界放出形電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9306805A JPH11144663A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 電界放出形電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11144663A true JPH11144663A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17961483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9306805A Pending JPH11144663A (ja) | 1997-11-10 | 1997-11-10 | 電界放出形電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11144663A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7151268B2 (en) | 2004-03-26 | 2006-12-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Field emission gun and electron beam instruments |
| US7190334B2 (en) * | 2000-10-19 | 2007-03-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Driving method and driving apparatus for a field emission device |
| US7777404B1 (en) | 2005-09-21 | 2010-08-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Field emission type electron gun comprising single fibrous carbon electron emitter and operating method for the same |
-
1997
- 1997-11-10 JP JP9306805A patent/JPH11144663A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7190334B2 (en) * | 2000-10-19 | 2007-03-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Driving method and driving apparatus for a field emission device |
| US7151268B2 (en) | 2004-03-26 | 2006-12-19 | Hitachi High-Technologies Corporation | Field emission gun and electron beam instruments |
| US7777404B1 (en) | 2005-09-21 | 2010-08-17 | Hitachi High-Technologies Corporation | Field emission type electron gun comprising single fibrous carbon electron emitter and operating method for the same |
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