JPH11145617A - ペースト充填方法およびペースト充填装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安価で安定した品質および生産性の優れたペ
ースト充填方法及びペースト充填装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 フィルム材を貼付し孔加工された積層体
である基材１８を供給する供給部１、吸引孔１３ｆを備
えたベッド１３上に多孔質樹脂フィルム１４を介し配置
され搬送されるフープ状の紙１５ｅ、その上面に載置さ
れる基材１８の外周部に当接する版枠１２、および基材
１８の孔にペースト１９を充填するスキージ機構３でな
る充填部２、充填後の基材１８を紙１５ｅの上面を水平
移動させ紙１５ｅとの位置をずらすせん断部、せん断さ
れた基材１８の非ペースト充填部を保持し紙１５ｅから
分離し搬送する搬送部４、フィルム材を剥離し分離する
剥離部５、フィルム材を剥離したプリプレグである形成
層体３７を取出す取出し部６で構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、各種電子機器に使
用される両面あるいは多層配線基板などを製造する際に
用いられるペースト充填方法及びペースト充填装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のこの種におけるペースト充填方法
及びペースト充填装置について、図１１〜図１３を用い
て説明する。

【０００３】図１１は両面あるいは多層配線基板の製造
工程の一例を示す製造工程図、図１２はプリプレグとフ
ィルム材でなる基材の構成を示す要部斜視図、そして図
１３は従来のペースト充填装置の構成を示す要部断面図
である。

【０００４】図１１において、３３はガラスエポキシ、
アラミドエポキシ、紙エポキシなどのプリプレグであ
り、このプリプレグ３３の両面に、ポリエチレンテレフ
タレート（以下、ＰＥＴと称する）、紙、ポリイミド、
あるいはそれらの複合体のフィルム材３２を貼付け工程
において熱圧着などにより接着して貼付けることによ
り、図１２に示すような積層体である基材１８を形成す
る。

【０００５】次に、図１１に示す孔加工工程において前
記プリプレグ３３とフィルム材３２でなる基材１８にド
リルやレーザ加工などにより、所定箇所に所定数の孔３
６を形成する。

【０００６】次に、基材１８の孔３６に充填工程にてス
キージなどの手段により導体材や混合材および溶剤など
からなる導電性のペースト１９を充填し、さらに、剥離
工程によりこの基材１８からフィルム材３２を剥離する
ことにより、プリプレグ３３と孔３６内に充填されたペ
ースト１９でなる形成層体３７を形成する。

【０００７】この工程に続いて積層工程、樹脂硬化工
程、パターン形成工程により両面基板を形成するもので
あり、積層工程において形成層体３７の両面に銅箔など
の導電箔３５を積層し、樹脂硬化工程にて加熱プレスな
どにより加熱、加圧することにより、形成層体３７のプ
リプレグ３３と孔３６内のペースト１９を樹脂硬化させ
て導電箔３５と強固に電気的かつ機械的に接合し、続い
て、この導電箔３５に配線や接続などの所定の導電パタ
ーン３８をパターン形成工程においてエッチングなどに
より形成して所定の両面基板３９を形成する。

【０００８】また、前記に続いて多層積層工程、樹脂硬
化工程、外層パターン形成工程により多層基板４２を形
成するものであり、多層積層工程において両面基板３９
の両面に前記で形成した形成層体３７を介して銅箔など
の導電箔４０を積層し貼合わせ、樹脂硬化工程において
加熱プレスなどにより加熱、加圧することにより、形成
層体３７のプリプレグ３３とペースト１９を樹脂硬化さ
せて導電パターン３８や導電箔４０と強固に電気的かつ
機械的に接合し、外層パターン形成工程においてこの導
電箔４０に配線や接続などの所定の導電パターン４１を
エッチングなどにより形成し、所定の多層基板４２を形
成するものである。

【０００９】次に、従来のペースト充填装置について説
明する。図１３において、１３ｂは金属材などでなるス
テージであり、多孔質の焼結金属３４を上面に設置し複
数の吸引孔１３ｆを設けたベッド１３を内蔵して構成さ
れており、このベッド１３の下面にはそれぞれの吸引孔
１３ｆの終端が集結し一本化された集結部に真空ポンプ
（図示せず）に接続された吸引管の吸引口１３ａが結合
されている。

【００１０】１３ｃはスライドシャフトであり、ブッシ
ュ１３ｄを挿通して上下に摺動自在に設置されており
（駆動機構は図示せず）、その先端はステージ１３ｂの
下面に結合され、ステージ１３ｂ、すなわちベッド１３
の上下位置を設定保持あるいは調整するのである。

【００１１】１５は多孔質材として用いる通気性の良い
連続した帯状の紙であり、供給リール１５ａから供給さ
れ、ガイドローラ１５ｂでガイドされてステージ１３ｂ
の上面、焼結金属３４の上面、およびガイドローラ１５
ｄを経由して巻取リール１５ｃに巻取られる。

【００１２】１２は軽硬質のジュラルミンなどの金属材
あるいは硬質樹脂などでなる四角形状の版枠であり、下
面にペースト１９の充填のための抜き孔（図示せず）を
設けた金属材あるいは合成樹脂材などでなる版１２ａが
張力を掛けて貼付されていると共に、焼結金属３４の上
面に紙１５を介して載置された基材１８と版１２ａとが
所定のギャップで維持されるように設置されている。

【００１３】３ａ、３ｂはスキージであり、一体として
左右移動自在なスキージヘッド３ｄ、３ｃに個々に上下
移動自在に、かつ、所定の傾斜角度をもってそれぞれ装
着されたスキージホルダ２７に上端がそれぞれ挟持され
保持されている。

【００１４】１９はペーストであり、版枠１２内の版１
２ａの上面に供給されており、スキージホルダ２７の駆
動すなわちスキージ３ａ、３ｂの先端の移動動作により
基材１８の孔３６内に充填される。

【００１５】次に動作について説明する。まず、版枠１
２およびスキージヘッド３ｃ、３ｄを上昇させて待機位
置にする。

【００１６】次に、図１２に示す所定形状およびサイズ
の基材１８を治具あるいは手動によりステージ１３ｂ上
の紙１５の上面に載置し、供給リール１５ａおよび巻取
リール１５ｃの回転駆動により、紙１５を移動させて基
材１８を焼結金属３４上の所定位置にセットすると同時
に、吸引管の吸引口１３ａより真空吸引して基材１８を
保持した後、版枠１２およびスキージヘッド３ｃ、３ｄ
を所定位置に降下させ、続いてスキージヘッド３ｃ、３
ｄを右方向に移動させることにより、版１２ａ上のペー
スト１９を基材１８の孔３６内に充填する。

【００１７】次に、版枠１２およびスキージヘッド３
ｃ、３ｄを上昇させて待機位置にするとともに、吸引口
１３ａの真空吸引を停止し、続いて紙１５を移動させて
孔３６内にペースト１９が充填された基材１８を紙１５
とともに焼結金属３４の位置から離脱させて、作業者が
前記基材１８を取出し、ペースト１９が充填された部分
に接触せずに収納部にスペーサなどを介して断積みした
後、別途設けられた剥離装置に供給してプリプレグ３３
からフィルム材３２を剥離して形成層体３７を形成して
いた。

【００１８】なお、次に供給されて引き続き製造される
基材１８の孔３６内へのペースト１９の充填は、前記動
作の後スキージ３ａを上昇させ、代りにスキージ３ｂを
降下させて、スキージヘッド３ｃ、３ｄを左方向に移動
させることにより行うものであり、往復ともにペースト
１９の充填を行うことができるように構成されたもので
あった。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記従来
の構成のペースト充填方法及びペースト充填装置では、
ペースト充填とフィルム材剥離の工程を別個の装置で行
っていたために、供給や取出しに作業者が操作する必要
があり、生産性の向上が困難であった。

【００２０】また、作業者がペースト１９の充填された
基材１８を取出す際に、基材１８が紙１５と垂直方向に
剥離されて、充填したペースト１９が紙１５に付着し抜
け落ちたり、基材１８が屈曲することがあり品質が安定
しなかった。

【００２１】また、吸引の真空力を均一にするために用
いた焼結金属３４に、目詰まりなどが発生するとその効
果が減少するものであり、焼結金属３４自体が高価なも
のであった。

【００２２】さらにまた、充填工程においてスキージ３
ａ、３ｂに付着したペースト１９を除去する手段がな
く、スキージ３ａ、３ｂからのペースト１９の自然落下
に依存した方式であることから、充填枚数の増加に伴い
ペースト１９の落下性が低下して生産性が悪くなるとい
う課題を有していた。

【００２３】本発明は前記従来の課題を解決しようとす
るものであり、安価で安定した品質で、生産性の優れた
ペースト充填装置を提供することを目的とするものであ
る。

【００２４】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明のペースト充填方法は、間欠搬送可能な多孔質
材を少なくとも１つ以上配置した複数の真空吸着用の孔
を備えたベッド上で真空吸着状態の積層体でなる基材の
所定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材で基材をベ
ッド端部に搬送した後、前記多孔質材を固定した状態で
前記基材のみを水平方向に少なくとも基材の孔径以上移
動させて多孔質材から剥離した後、真空吸着を解除して
基材を取出す、多孔質材で搬送して基材を取出すあるい
は、真空吸着を解除して多孔質材で基材を搬送して基材
を取出すものである。

【００２５】また、上記ペースト充填方法におけるペー
スト充填装置は、表裏にフィルム材を有し、ペースト充
填用の孔加工がなされた基材を順次供給する供給部と、
複数の真空吸着用の孔を備えた金属製のベッド上に多孔
質樹脂フィルムを介して積層配置されて間欠搬送される
フープ状の第２の多孔質材、その第２の多孔質材の上面
に載置される前記基材のペースト充填部を除く外周部に
当接する版枠、および基材のペースト充填用の孔にペー
ストを充填するスキージからなる充填部と、充填後の基
材を第２の多孔質材の上面を水平移動させることにより
第２の多孔質材との位置をずらせるせん断部と、せん断
された基材の非ペースト充填部を保持して前記第２の多
孔質材から分離して搬送する搬送部と、基材からフィル
ム材を剥離して分離する剥離部と、フィルム材が剥離さ
れた状態の形成層体である基材を取出す取出し部からな
る構成としたものである。

【００２６】本発明によれば、基材に加工された孔に確
実にペーストを充填することができ、さらに一度充填し
たペーストが孔から抜け落ちることなく、さらにたわみ
を発生させることなく搬送し、基材からフィルム材を剥
離し分離することが可能となる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、基材の所定位置に設けられた孔にスキージング法を
用いてペーストを充填する方法であって、間欠搬送自在
な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配置された複
数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真空吸着状態
として前記基材の所定位置の孔にペーストを充填し、多
孔質材で基材をベッドの端部に搬送した後、多孔質材を
固定した状態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基
材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材から剥離し
て分離した後、真空吸着を解除して基材を取出すペース
ト充填方法としたものであり、ペースト充填後に多孔質
材で基材を搬送せずにその場で前記多孔質材を固定した
状態で前記基材のみを、水平方向に少なくとも基材の孔
径以上移動させて多孔質材から剥離し分離した後基材を
搬送するため、基材搬送時に発生する多孔質材のうねり
やしわの影響がなくなり、基材の孔に充填したペースト
が多孔質材に付着して抜け落ちることがなくなるという
作用を有する。

【００２８】請求項２に記載の発明は、基材の所定位置
に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充
填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なく
とも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔
を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所
定位置の孔にペーストを充填した後、真空吸着を解除し
て多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に
少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質
材から剥離して分離した後、多孔質材で搬送して基材を
取出すペースト充填方法としたものであり、基材のそり
による浮きや搬送時に多孔質材がテーブルに密着するた
め多孔質材のうねりやしわがなくなり、基材の孔に充填
したペーストが多孔質材に付着して抜け落ちることがな
くなるという作用を有する。

【００２９】請求項３に記載の発明は、基材の所定位置
に設けられた孔にスキージング法を用いてペーストを充
填する方法であって、間欠搬送自在な多孔質材が少なく
とも１つ以上近接して配置された複数の真空吸着用の孔
を設けたベッド上で、真空吸着状態として前記基材の所
定位置の孔にペーストを充填し、多孔質材を固定した状
態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けら
れた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した
後、真空吸着を解除して多孔質材で搬送して基材を取出
すペースト充填方法としたものであり、基材のそりによ
る浮きや搬送時の多孔質材のうねりやしわの影響がない
状態で水平移動して多孔質材から剥離できるため、基材
の孔に充填したペーストが垂直剥離によって多孔質材に
付着して抜け落ちることがなくなるという作用を有す
る。

【００３０】請求項４に記載の発明は、基材搬送時の真
空吸着力をペースト充填時より小さくした請求項１に記
載のペースト充填方法としたものであり、真空吸引力を
基材搬送時に基材自身のそり部が浮かず、かつ多孔質材
にうねりやしわが発生しない吸引力にすればよく、基材
の搬送時にペースト充填時の真空吸引力より小さくする
ことで、多孔質材を低張力で搬送することができて多孔
質材の破断を防止できるという作用を有する。

【００３１】請求項５に記載の発明は、多孔質材を固定
した状態で基材のみを水平方向に少なくとも基材に設け
られた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離す
る時の真空吸着力を、ペースト充填時より小さくした請
求項３に記載のペースト充填方法としたものであり、多
孔質材を固定した状態で基材のみ水平方向に少なくとも
基材の孔径以上移動させて多孔質材からの剥離時の真空
吸引力をペースト充填時より小さくすることにより、多
孔質材を低張力で剥離でき、基材の破断を防止できると
いう作用を有する。

【００３２】請求項６に記載の発明は、表裏にフィルム
材を貼付あるいは積層したペースト充填用の孔加工がな
された基材を順次供給する供給部、複数の真空吸着用の
孔を設けた金属材でなるベッドの上に、第１の多孔質材
を介して積層配置されて間欠搬送されるフープ状の第２
の多孔質材と、その第２の多孔質材の上面に載置される
前記基材のペースト充填部を除く外周部に当接する版枠
と、基材のペースト充填用の孔にペーストを充填するス
キージからなる充填部、ペースト充填後の基材を第２の
多孔質材上に載置して水平移動させることにより、第２
の多孔質材との位置をずらせるせん断部、せん断された
基材の非ペースト充填部を保持して前記第２の多孔質材
から剥離し分離して搬送する搬送部、基材からフィルム
材を剥離して分離する剥離部、およびフィルム材が剥離
し分離された状態の基材を取出す取出し部からなるペー
スト充填装置としたものであり、基材に加工された孔に
確実にペーストを充填することができ、さらに一度充填
したペーストが孔から抜け落ちることなく搬送し、基材
からフィルム材を剥離し分離することができるという作
用を有する。

【００３３】請求項７に記載の発明は、せん断部が、所
定位置にピンを配置したせん断部材と、前記せん断部材
のピンと当接するベッド上に配置したピンの逃し溝から
なり、ペースト充填後の基材と、第１の多孔質材および
第２の多孔質材をせん断部材のピンで貫通して第１の多
孔質材と第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみを
ピンの逃し溝内で平行移動して剥離して分離する構成の
請求項６に記載のペースト充填装置としたものであり、
剥離時に充填したペーストが第２の多孔質材に付着し抜
け落ちることを防止できるという作用を有する。

【００３４】請求項８に記載の発明は、せん断部が、基
材の一端を挟持するチャックからなるせん断部材と、ベ
ッド上に載置される基材の非充填部と当接する部分のベ
ッドの所定位置に設けた逃し部からなり、逃し部にはま
り込んでせん断部材で基材を挟持し、第１の多孔質材と
第２の多孔質材を固定した状態で、基材のみを逃し部内
で平行移動して剥離して分離する構成の請求項６に記載
のペースト充填装置としたものであり、充填したペース
トが第２の多孔質材に付着し抜け落ちることを防止でき
るという作用を有する。

【００３５】請求項９に記載の発明は、充填部のスキー
ジを、スキージ上に残留したペーストのかき落し部材を
設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置と
したものであり、ペーストがスキージから自然落下する
までの時間を短縮できるという作用を有する。

【００３６】請求項１０に記載の発明は、充填部の版枠
上にスキージがある時に、版枠上面とスキージ下端面に
スキージ回避位置よりも小さい寸法のギャップを形成す
るスキージストッパー手段を設ける構成とした請求項６
に記載のペースト充填装置としたものであり、スキージ
版枠上にギャップが形成されることで版枠上にペースト
が残りやすくなりスキージから自然落下するまでの時間
を短縮できるという作用を有する。

【００３７】請求項１１に記載の発明は、充填部の版枠
の内周下面に、スキージの一部が摺動当接する薄板を設
ける構成とした請求項６に記載のペースト充填装置とし
たものであり、ペーストが版枠の下に回り込むのを防止
できるという作用を有する。

【００３８】請求項１２に記載の発明は、搬送部の基材
と第２の多孔質材との分離部を、基材の搬送方向に対し
て１３５度以上逆方向下面側に第２の多孔質材を分離す
る構成とした請求項６に記載のペースト充填装置とした
ものであり、第２の多孔質材による搬送中に充填したペ
ーストが第２の多孔質材に付着し抜け落ちることを防止
できるという作用を有する。

【００３９】請求項１３に記載の発明は、剥離部で基材
からフィルム材を剥離する剥離部を、基材の搬送方向に
対して１３５度以上逆方向にフィルム材を剥離する構成
とした請求項６に記載のペースト充填装置としたもので
あり、基材がプリプレグの場合フィルム材を破損するこ
となく、基材表面に発生する毛羽立ちを最小限にして剥
離することができるという作用を有する。

【００４０】請求項１４に記載の発明は、取出し部でフ
ィルム材が剥離し分離された基材の取出し時に、搬送方
向始端部側を保持するチャックと、これと交差する両サ
イドをそれぞれ保持するとともに、拡張方向にテンショ
ンを印加するサイドチャックを設ける構成とした請求項
６に記載のペースト充填装置としたものであり、基材を
水平移動してせん断する際に第２の多孔質材の移動を防
止できるという作用を有する。

【００４１】請求項１５に記載の発明は、せん断部で基
材を水平移動して第２の多孔質材との位置をずらす際
に、第２の多孔質材の移動を機械的に阻止するブレーキ
部を設ける構成とした請求項６〜８のいずれか一つに記
載のペースト充填装置としたものであり、基材にたわみ
を発生させずに搬送することができるという作用を有す
る。

【００４２】請求項１６に記載の発明は、充填部のスキ
ージに代えて、内部にペースト収納部を設けた弾性材料
よりなる充填ヘッドを設置し、この充填ヘッド一端を基
材上に密着してペーストに圧力を加えながらペースト充
填を行う構成とした請求項６に記載のペースト充填装置
としたものであり、微小な孔にペーストを充填すること
ができるという作用を有する。

【００４３】請求項１７に記載の発明は、ペースト充填
を開始する際、もしくは一時停止して再度ペースト充填
を開始する際に、ベッド上の第２の多孔質材を少なくと
も基材の長さ分を移送した後、前記第２の多孔質材の上
面に基材を載置する構成とした請求項６に記載のペース
ト充填装置としたものであり、ペースト交換時や待機中
に飛散したゴミなど多孔質材上にあっても多孔質材が移
送されて新たな面となるため、基材の孔にゴミが詰まり
ペーストが未充填となるのを防ぐという作用を有する。

【００４４】請求項１８に記載の発明は、ベッド上の第
２の多孔質材を、少なくとも基材の長さ分を移動する時
にベッドは真空吸引状態を保持する構成とした請求項６
または１７に記載のペースト充填装置としたものであ
り、第２の多孔質材をベッド全面で吸引して送るため、
第２の多孔質材にしわやうねりが発生しなくなり、ペー
ストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止す
るという作用を有する。

【００４５】請求項１９に記載の発明は、ペースト充填
後の基材を第２の多孔質材上で水平移動させることによ
り第２の多孔質材との位置をずらした後、せん断された
基材の非ペースト充填部を保持し、前記第２の多孔質材
から剥離し分離して搬送する搬送部へ基材を搬送する際
に、基材の一部が搬送部に保持されると同時にベッドと
の真空吸引状態として搬送する構成とした請求項６に記
載のペースト充填装置としたものであり、第２の多孔質
材にしわやうねりが発生しなくなり、ペーストが第２の
多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用
を有する。

【００４６】請求項２０に記載の発明は、せん断部でペ
ースト充填後の基材を、第２の多孔質材上で水平移動さ
せる際に、ベッドを真空吸引状態で第２の多孔質材との
位置をずらす構成とした請求項６に記載のペースト充填
装置としたものであり、第２の多孔質材のしわやうねり
の影響がなくなるとともに、基材自身の浮きの影響もな
くなり、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ち
るのを防止するという作用を有する。

【００４７】請求項２１に記載の発明は、せん断部でペ
ースト充填後の基材を、ベッドが真空吸引状態のままで
第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ペースト充填
時の真空吸引力より小さくする構成とした請求項６に記
載のペースト充填装置としたものであり、せん断部材の
ピンへの負担の軽減と基材の破断を防止するという作用
を有する。

【００４８】請求項２２に記載の発明は、基材の周辺部
と、当接する部位もしくは少なくとも４つのコーナの真
空吸着力を大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベ
ッドとする構成とした請求項６、２０、２１のいずれか
一つに記載のペースト充填装置としたものであり、基材
のそりが発生しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密
着した状態で水平移動してせん断剥離することができる
ため、ペーストが第２の多孔質材に付着して抜け落ちる
のを防止するという作用を有する。

【００４９】請求項２３に記載の発明は、基材の周辺部
に当接する孔径を、他の孔径より大きくした複数の真空
吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項６、
２０、２１、２２のいずれか一つに記載のペースト充填
装置としたものであり、基材のそりが発生しやすい基材
周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動して
せん断剥離することができるため、ペーストが第２の多
孔質材に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を
有する。

【００５０】請求項２４に記載の発明は、真空吸着源を
基材のペースト充填部と周辺部の２系統とする複数の真
空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請求項
６、２０、２１、２２、２３のいずれか一つに記載のペ
ースト充填装置としたものであり、基材周辺部の真空吸
引力を大きくすることが可能となり、基材のそりが発生
しやすい基材周辺部を第２の多孔質材と密着した状態で
水平移動してせん断剥離することができるため、ペース
トが第２の多孔質材に付着して抜け落ちるのを防止する
という作用を有する。

【００５１】請求項２５に記載の発明は、真空吸着源を
１系統とし、ペースト充填部と基材の周辺部とに２分岐
して、真空吸着力を個別制御とした複数の真空吸着用の
孔を設けたベッドとする構成の請求項６、２０、２１、
２２、２３のいずれか一つに記載のペースト充填装置と
したものであり、基材のそりが発生しやすい基材周辺部
を第２の多孔質材と密着した状態で水平移動してせん断
剥離することができるため、ペーストが第２の多孔質材
に付着して抜け落ちるのを防止するという作用を有す
る。

【００５２】請求項２６に記載の発明は、多孔質材およ
び第１および第２の多孔質材が、通気性と液体の吸収性
を備えた紙などの不織布あるいは多孔質樹脂フィルムと
してなる請求項６〜８、１２、１５、１７〜２１のいず
れか一つに記載のペースト充填装置としたものであり、
通気性はベッドの真空吸着力を基材に伝達ができ、液体
の吸収性がよければペースト中の樹脂成分などを吸収し
て多孔質材との界面のペースト粘度を上昇させ、多孔質
材へのペースト付着量を少なく安定なものにすることが
できるという作用を有する。

【００５３】請求項２７に記載の発明は、基材が表裏に
フィルム材を有した不織布と熱硬化性樹脂、あるいは織
布と熱硬化性樹脂からなるプリプレグシートおよびセラ
ミックグリーンシートとしてなる請求項６〜８、１２〜
２５のいずれか一つに記載のペースト充填装置としたも
のであり、ペーストの充填が確実にできるという作用を
有する。

【００５４】請求項２８に記載の発明は、ペーストが
銅、銀およびこれらの合金の粉末を主成分とする構成と
した請求項６、９、１６、１７、１９〜２１のいずれか
一つに記載のペースト充填装置としたものであり、ペー
ストの充填が容易で、かつ導体抵抗が小さくなるという
作用を有する。

【００５５】以下、本発明の実施の形態について図面を
用いて説明する。図１は本発明の第１の実施の形態にお
けるペースト充填装置の構成を示す要部断面図、図２は
同全体構成を示す斜視図、図３はロータリー式ペースト
充填装置の構成を示す要部斜視図、図４はダイコート方
式によるペースト充填装置の構成を示す要部断面図であ
る。なお、従来の技術で説明した部分と同一構成の部品
には同一の番号を付与しその詳細な説明は簡略化する。

【００５６】まず、図２に示すようにペースト充填装置
の全体は、供給部１、充填部２、スキージ機構３、搬送
部４、剥離部５、取出し部６、そしてストッカー７によ
り構成されている。

【００５７】図１において、８は垂直および水平方向に
移動自在なリフターであり、下面にチャックあるいは吸
着口などでなる保持体８ｂを１個あるいは複数個設置し
ており、供給部１の金属材あるいは樹脂材などでなる供
給板８ａに載置された積層体でなる基材１８を真空吸着
あるいはチャッキングなどを行い、リフター８の移動に
より充填部２に搬送する。

【００５８】３ｃ、３ｄはスキージヘッド、２７はスキ
ージホルダ、３ａ、３ｂはスキージでありスキージ機構
３を構成している。

【００５９】１２は基材１８の孔３６内にペースト１９
が充填される部分を除く外周部に当接する形状に構成さ
れた版枠、１２ａは版、１３ａは吸引口、１３ｃはスラ
イドシャフト、１３ｄはブッシュ、１３ｂは一端を４５
度以下の鋭角すなわち基材１８の搬送方向に対して１３
５度以上の形状とした金属材でなるステージであり、複
数の吸引孔１３ｆを設けたベッド１３を内蔵している。

【００６０】１４は均一な多孔質で耐溶剤性などに優れ
た樹脂材でなる第１の多孔質材として用いるフープ状の
多孔質樹脂フィルムであり、供給リール１４ａから供給
され、ステージ１３ｂの一端および上面の一部、そして
ベッド１３の上面を近接あるいは当接しながら経由して
巻取リール１４ｂに巻取られる。

【００６１】１５ｅは通気性と液体の吸収性の優れたフ
ープ状の第２の多孔質材として用いる和紙などでなる搬
送用の紙であり、供給リール１５ａから供給され、ガイ
ドローラ１５ｂでガイドされてベッド１３の上面に前記
の構成配置により移動自在な多孔質樹脂フィルム１４の
上面、およびステージ１３ｂの鋭角に形成された一端側
を近接あるいは当接しながら経由して巻取リール１５ｃ
に巻取られることにより間欠搬送される。

【００６２】９は供給リール１５ａとガイドローラ１５
ｂの経路の間に設置されたブレーキ部であり、先端に紙
１５ｅの片面に当接するゴム材などでなる弾性体１１を
移動自在に取付けたアクチュエータ９ａと、対向した位
置に紙１５ｅを隔てて設置した金属材あるいは樹脂材な
どでなるブロック１０で構成されており、アクチュエー
タ９ａの駆動による弾性体１１の移動とブロック１０に
より紙１５ｅを挟持して制動するものであり、以上によ
り充填部２が構成されている。

【００６３】１６はせん断チャックであり、チャッキン
グ動作および水平に移動自在であり、ペースト１９が孔
３６内に充填された基材１８の一端を挟持して搬送部４
のベルトコンベアなどでなる搬送体４ａに移載し、この
搬送体４ａに隣接して配設された搬送体４ｂにより、搬
送体４ａから搬送された基材１８を剥離部５に搬送す
る。

【００６４】５ａ、５ｂは剥離部５を構成する一対の剥
離板であり、搬送体４ｂの終端を挟み込むように一端が
４５度以下の鋭角、すなわち形成層体３７におけるプリ
プレグ３３の搬送方向に対して１３５度以上で配設され
ており、基材１８からフィルム材３２を剥離してフィル
ム材３２を剥離板５ａ、５ｂの下面、上面を近接あるい
は当接しながら経由してフィルム材保管部（図示せず）
に移動され、基材１８からフィルム材３２が剥離された
形成層体３７におけるプリプレグ３３は、取出し部６の
駆動ローラ６ａにより左右に移動自在な取出し板６ｂに
載置されるように構成されたものである。

【００６５】次に動作について説明する。まず、供給部
１の供給板８ａに載置されているガラスエポキシ、アラ
ミドエポキシ、紙エポキシなどのプリプレグ３３とフィ
ルム材３２からなる積層体の基材１８を１枚毎に位置決
めを行い、リフター８の保持体８ｂにより把持して充填
部２における紙１５ｅの上面所定箇所へリフター８の移
動により搬送する。

【００６６】次に、ブレーキ部９におけるアクチュエー
タ９ａの駆動による弾性体１１とブロック１０による紙
１５ｅの制動を開放し、紙１５ｅを供給リール１５ａと
巻取リール１５ｃの駆動により図中の右方向へ一定時間
毎に移動させ、目詰まりを防止しているフープ状の多孔
質樹脂フィルム１４が配置されたベッド１３の上面に搬
送して設定する。

【００６７】なお、ペースト１９の充填の開始時はペー
スト１９の交換時の清掃作業で発生したゴミや、飛散し
たゴミが紙１５ｅ上に付着する場合があるため、運転開
始時および一時停止後再度運転する場合は、少なくとも
基材１８のサイズ分の紙１５ｅを自動送りした後に基材
１８が搬送される。

【００６８】所定位置に設定後、アクチュエータ９ａに
よる弾性体１１とブロック１０により、紙１５ｅを制動
して基材１８をその位置で保持する。

【００６９】そして、吸引管の吸引口１３ａより真空吸
引することにより、ベッド１３の吸引孔１３ｆにより真
空吸着して基材１８を保持する。この際、多孔質樹脂フ
ィルム１４により局部的な真空吸引力を全面均一の真空
吸引力に変換し、さらに通気性の良い紙１５ｅを介し
て、基材１８を均一に固定し保持するのである。続い
て、ベッド１３を含むステージ１３ｂを上昇あるいは、
版枠１２とスキージ機構３を降下させることにより、版
枠１２の版１２ａの下面と基材１８の上面間が所定の間
隔に設定される。

【００７０】次に、従来の技術において説明したものと
同じスキージ機構３すなわちスキージ３ａ、３ｂの駆動
動作により、基材１８の孔３６内に版１２ａ上のペース
ト１９が充填される。ペースト１９は、平均２μｍの
銅、銀およびこれらの合金の粉末を導電性のフィラーと
して用い、樹脂としては熱硬化型エポキシ樹脂（無溶剤
型）、硬化剤として酸無水物系の硬化剤をそれぞれ８５
重量％、１２．５重量％、２．５重量％となるように３
本ロールにて十分に混練したものである。

【００７１】その後、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引
を停止し、ステージ１３ｂあるいは版枠１２とスキージ
機構３を元の位置に復帰させ、弾性体１１とブロック１
０による制動保持を開放し、紙１５ｅを移動させて基材
１８をステージ１３ｂの鋭角でなる一端部に搬送させて
停止する。また、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引状態
でステージ１３ｂあるいは版枠１２とスキージ機構３を
元の位置に復帰させ、弾性体１１とブロック１０による
制動保持を開放し、紙１５ｅを移動させて基材１８をス
テージ１３ｂの鋭角でなる一端部に搬送させて停止すれ
ば、紙１５ｅにしわやうねりを発生することなく搬送で
きるため、搬送中の紙１５ｅと基材１８の密着状態が安
定してペースト１９が孔３６から抜け落ちにくくなる。

【００７２】さらに、搬送中の吸引力をペースト充填時
より小さくすれば、低張力で紙１５ｅを移動できるた
め、紙１５ｅの破断を防止できる。搬送中の吸引力は基
材１８が紙１５ｅから離脱あるいは摺動などして浮かな
い程度であればよい。

【００７３】そして、紙１５ｅの移動を弾性体１１とブ
ロック１０による制動保持により阻止した後、基材１８
の非ペースト充填部である先端をせん断チャック１６で
挟持し、紙１５ｅに対して水平に基材１８を少し移動さ
せて、紙１５ｅの上面と基材１８の孔３６の下部におけ
るペースト１９との当接を開放する。また、紙１５ｅの
移動を弾性体１１とブロック１０による制動保持により
阻止した後、基材１８の非ペースト充填部である先端を
せん断チャック１６で挟持して保持し、紙１５ｅに対し
て水平に基材１８を少し移動させて、紙１５ｅの上面と
基材１８の孔３６の下部におけるペースト１９との当接
を開放する時も、吸引管の吸引口１３ａの真空吸引状態
で行えば、紙１５ｅのうねりやしわがなく、紙１５ｅと
基材１８が密着した状態で基材１８を平行移動できるた
め、紙１５ｅからの剥離が安定する。

【００７４】その後、前記紙１５ｅの制動保持を開放
し、せん断チャック１６による基材１８の移動と同期し
て、紙１５ｅは基材１８の搬送方向に対し１３５度以上
の逆方向下面に移動して、巻取リール１５ｃに巻取られ
る。

【００７５】以上のようにして、ペースト１９が紙１５
ｅに付着することを最小限にしながらプリプレグ３３と
フィルム材３２からなる基材１８は、非ペースト充填部
を順次挟持し保持され搬送部４に移載される。また、基
材１８の一部が搬送部４に保持されると同時にベッド１
３を真空吸着状態にすれば、紙１５ｅがベッド１３に全
面吸着された状態で巻き取られるため、紙１５ｅにしわ
やうねりのない状態で次の基材１８の孔３６へのペース
ト１９が充填できて充填品質が安定する。この時の真空
吸着力も紙１５ｅの破断などを防止するため、ペースト
充填時より小さくすればさらによい。

【００７６】搬送部４の搬送体４ａ、４ｂにより基材１
８を剥離部５まで搬送した後、上下面ともに搬送方向に
対して１３５度以上の逆方向に基材１８のフィルム材３
２を剥離板５ｂ、５ａを介して剥離する。

【００７７】なお、上面もしくは下面のみフィルム材３
２を剥離する場合には、片側のみの構成とすればよい。

【００７８】基材１８のフィルム材３２が剥離された形
成層体３７は、取出し部６の取出し板６ｂにおいて位置
決めを行い、駆動ローラ６ａなどの駆動により、図２に
示すストッカー７へ搬送されるのである。なおまた、多
孔質樹脂フィルム１４は所定の充填回数すなわち基材１
８の孔３６へのペースト１９の充填が行われると、供給
リール１４ａ、巻取リール１４ｂの回転駆動により、新
規の多孔質樹脂フィルム１４がベッド１３の上に設定さ
れ所定の通気性を確保するのである。

【００７９】次に主に充填部２の構成が異なる他の例と
して、ロータリー式ペースト充填装置を図３の要部斜視
図を用いて説明する。

【００８０】図３において、１７は金属材などでなり円
筒状の回動自在なドラムであり、ペースト１９の供給や
充填などのための開口部１７ａを円周面に設けている。
１８は基材、３ａはスキージ、４５は一端がドラム１７
の両端を挿通した固定軸４６に取付けられ、他端にスキ
ージ３ａの上端を結合したスキージチャック、４７はド
ラム１７の片側端に固着され、かつ固定軸４６の一端に
回転自在に取付けられたプーリである。

【００８１】５０は駆動モータであり、回転軸の先端に
プーリ４９を結合しており、プーリ４７との間に張架し
たベルト４８によりドラム１７を回転駆動させる。

【００８２】５２は固定軸４６の他の先端が結合された
スライダであり、アクチュエータ５３の駆動によりガイ
ドレール５１に沿って上下に移動して固定軸４６すなわ
ちスキージ３ａを上下させ、スキージ３ａの先端と基材
１８との当接状態などを調整する。

【００８３】５４は一端に固定軸４６の各先端が挿通
し、かつドラム１７を回転自在に取付けた一対のアーム
であり、アクチュエータ５５の駆動により、ドラム１７
の外円周と基材１８との当接の調整や押圧などの設定を
行う。

【００８４】次に動作について説明する。まず、開口部
１７ａからペースト１９を供給し、アクチュエータ５
３、５５の駆動動作により、スキージ３ａの先端および
ドラム１７の両端外円周と基材１８を当接させ、続いて
駆動モータ５０の回転駆動により、スキージ３ａを固定
したままドラム１７を回動させて、基材１８を移送しな
がら基材１８の所定の孔３６内にペースト１９の充填を
行うものである。

【００８５】また、基材１８の微小な孔３６内にペース
ト１９を充填するために、図４に示すような、下部周囲
をゴム材などでなる弾性体シール２０で、上部を金属材
あるいは樹脂材などでなる側板５６により形成されたペ
ースト収納部５９を内部に備えた充填ヘッド６０にペー
スト１９を供給し、上部よりペースト１９に圧力を印加
（印加機構は図示せず）しながら、充填ヘッド６０を左
方向に移動することにより基材１８の微小な孔３６内に
ペースト１９を充填してもよい。

【００８６】図５は、本発明における他の実施の形態に
おける充填部でのせん断部の構成を示す要部斜視図であ
る。図５において、２１はせん断部材であるところの一
対のレバーであり、金属材でなり先端が鋭角の保持ピン
２１ａを一端に取付けており、上下および左右に移動自
在（駆動機構は図示せず）である。ベッド１３には保持
ピン２１ａが貫通し、かつ移動動作においても内面に当
接しない形状およびサイズの真空吸着用孔（図示せず）
が設けられている。

【００８７】また、ベッド１３には基材１８の非ペース
ト充填部である周辺部４つのコーナと当接する部位の吸
引孔を、他の吸引孔の２倍の孔径（図示せず）として基
材１８の周辺部の真空吸着力を大きくしている。なお、
真空吸着源を２系統（図示せず）、あるいは真空吸着源
が１系統として２分岐して個別制御（図示せず）で基材
１８の周辺部の真空吸着力を大きくしてもよい。

【００８８】次に動作について説明する。充填部２にお
いてペースト１９を充填し、スキージ機構３と版枠１２
の上昇あるいは、ベッド１３を降下させて版枠１２と基
材１８の間に十分なクリアランスを設定した後、ベッド
１３の側部に待機している対のレバー２１が、基材１８
の非ペースト充填部の上面に揺動もしくはスライド動作
により移動する。

【００８９】そして、保持ピン２１ａを基材１８に対し
て垂直に降下させることにより、保持ピン２１ａの先端
を基材１８、紙１５ｅおよび多孔質樹脂フィルム１４を
挿通して真空吸着孔に貫通させる。次に、ブレーキ部９
において紙１５ｅを、弾性体１１とブロック１０により
制動保持して移動を阻止した後、対のレバー２１を矢印
方向に移動させることにより、紙１５ｅを固定したまま
（保持ピン２１ａの移動部分は紙１５ｅと多孔質樹脂フ
ィルム１４をカットしている）基材１８を紙１５ｅに対
して少し水平に移動させて、基材１８の孔３６の下部の
ペースト１９と紙１５ｅの当接を開放する。

【００９０】この動作中を真空吸着状態で行えば、紙１
５ｅと基材１８が密着した状態で紙１５ｅから基材１８
を剥離し分離することができる。また、真空吸着力はペ
ースト充填時より小さくした方が基材１８の破断を防止
することができる。また、この時の真空吸着力は基材１
８が紙１５ｅと摺動可能な当接状態で分離して浮かない
程度のものでよく、さらに基材１８のそりが発生しやす
い周辺部、特に４つのコーナの部分の真空吸着力をわず
かに高くすれば、全体としてはさらに低い真空吸着力で
動作が可能となりさらによい。

【００９１】その後、前記紙１５ｅの移動阻止を開放
し、かつ保持ピン２１ａによる基材１８の保持も開放し
た後、紙１５ｅの移動により基材１８の所定の搬送を行
うのである。

【００９２】図６はせん断部の他の構成を示す要部斜視
図である。図６において、１３ｇはベッド１３の両側帯
に設けた切欠き形状の逃がし部、２２は逃がし部１３ｇ
内に設置した一対のチャックであり、先端に開閉自在な
挟持爪２２ａを取付けており、垂直方向への設定および
水平方向に移動自在（駆動機構は図示せず）となってお
り、せん断部を構成している。

【００９３】次に動作について説明する。充填部２にお
いてペースト１９を充填し、スキージ機構３と版枠１２
の上昇あるいはベッド１３を降下させて版枠１２と基材
１８の間に十分なクリアランスを設定した後、逃がし部
１３ｇに待機しているチャック２２を基材１８の非ペー
スト充填部である両側部に移動させ、続いて基材１８の
非ペースト充填部である両側部をチャック２２の挟持爪
２２ａの開閉により挟持する。

【００９４】次に、紙１５ｅをブレーキ部９における弾
性体１１とブロック１０により制動保持して移動を阻止
した後、基材１８を紙１５ｅに対して少し水平に移動さ
せ、基材１８の孔３６の下部のペースト１９と紙１５ｅ
の当接を開放する。その後、前記紙１５ｅの移動阻止を
開放し、かつ、挟持爪２２ａによる基材１８の挟持も開
放して、紙１５ｅの移動により基材１８の所定の搬送を
行うものである。

【００９５】図７（ａ）〜（ｅ）は、本発明の実施の形
態におけるスキージ機構のスキージに付着したペースト
かき落とし機構およびその動作工程を説明する要部断面
図である。図７において、２３は版１２ａ上における開
口部のペースト充填部、２４は非開口部の非ペースト充
填部、２５はかき落とし部材である金属材などでなるプ
レートであり、曲げ加工された先端部がスキージ３ｂの
内側の側面に当接し、スキージ３ｂの縦方向すなわち長
手方向に移動自在に配設されている。

【００９６】次に動作について説明する。基材１８の孔
３６にペースト１９を充填するために、まず図７（ａ）
に示すように、スキージ３ａを上昇させ、スキージ３ｂ
が版枠１２内に設けられた版１２ａのペースト充填部２
３周辺のペースト１９を、版１２ａ上の非ペースト充填
部２４の所定箇所までペースト１９をかいて移動させ
る。

【００９７】次に図７（ｂ）に示すようにスキージ３ａ
を降下させ、続いて図７（ｃ）、（ｄ）に示すように、
スキージ３ａ、３ｂを左方向に移動させるとともに、ス
キージ３ａが版１２ａのペースト充填部２３に到達する
までの間にプレート２５を降下させて、スキージ３ｂの
内側の側面に付着したペースト１９を強制的にかき落と
し、図７（ｅ）に示すように、スキージ３ａの先端近傍
に基材１８の孔３６に充填に必要なペースト１９を供給
して、ペースト１９を可能な限り充填用に有効活用する
のである。

【００９８】なお、復路から往路に変わる場合、すなわ
ち図中の右方向の動作においても、スキージ３ａにおけ
るかき落とし部材であるプレート（図示せず）の同じ動
作により行うことができる。

【００９９】図８（ａ）〜（ｅ）は、前記スキージ機構
の他のスキージに付着したペーストかき落としの動作工
程を説明する要部断面図である。動作について説明する
と、まず図８（ａ）に示すようにスキージ３ｂを上昇さ
せ、スキージ３ａが版枠１２内に設けられた版１２ａの
ペースト充填部２３周辺などの残りのペースト１９を、
版１２ａ上の非ペースト充填部２４の所定箇所までペー
スト１９をかいて移動させる。

【０１００】次に図８（ｂ）に示すように、スキージ３
ａはスキージストッパー（図示せず）の手段により上昇
を規制し、スキージ３ａの回避位置に対して版１２ａと
は小さなギャップのみ上昇させると同時にスキージ３ｂ
を降下させる。

【０１０１】そして、図８（ｃ）に示すように、それま
での進行方向に対して逆方向すなわち左方向にスキージ
３ａ、３ｂを移動させる。この動作によりスキージ３ａ
に付着したペースト１９をその粘度および表面張力など
により引っ張り、かつペースト１９を非ペースト充填部
２４に移動落下させ、スキージ３ｂの先端近傍に充填に
必要なペースト１９を供給して有効活用できるようにす
る。

【０１０２】そして、図８（ｄ）に示すように、スキー
ジ３ａがペースト充填部２３に到達寸前にスキージスト
ッパーを解除させてスキージ３ａを上昇させ、続いて図
８（ｅ）に示すように、さらにスキージ３ａ、３ｂを左
方向に移動させて、基材１８の孔３６にペースト１９を
充填するものである。

【０１０３】なお、復路から往路に代わる場合、すなわ
ち右方向への動作においても、スキージ３ｂのスキージ
ストッパー（図示せず）による同じ動作により、前記と
同じ動作を行うことができるのである。

【０１０４】図９は、本発明の実施の形態における充填
部の版枠の構成を示す要部断面図である。図９におい
て、２６は剛性の弱い金属製あるいは樹脂製などでなり
テープ状などの薄板であり、スキージ３ａ、３ｂの両端
に摺動当接する箇所で、版枠１２に張付けられた版１２
ａのペースト充填部２３の両端と版枠１２に貼付けてあ
る。

【０１０５】そして、薄板２６の厚みはスキージ３ａ、
３ｂの押圧力により追従する程度の剛性の厚みであり、
ベッド１３と版枠１２のクリアランスをシールして、ス
キージ３ａ、３ｂの動作によるペースト１９が、版枠１
２の下面に回り込むことを防いでいる。

【０１０６】図１０は、本発明の実施の形態における取
出し部の構成を示す要部平面図である。図１０におい
て、２８は２組の対の固定カムであり、形成層体３７の
搬送方向先端に傾斜部を設けている。５７は対の固定さ
れた搬送レール、５８は搬送レール５７に跨って移動自
在な摺動体、そして３０は形成層体３７におけるプリプ
レグ３３の先端部を開閉により挟持する複数の取出し用
のチャックである。

【０１０７】３１は開閉により形成層体３７におけるプ
リプレグ３３の両側帯を挟持する揺動式のサイドチャッ
クであり、一端を支点ピン３１ａにより揺動自在に保持
され、他端には円周が前記固定カム２８の内面側に当接
する回転自在なカムフォロア３１ｂが設けられており、
サイドチャック３１を支点ピン３１ａを支点に揺動す
る。

【０１０８】そして、２９は引張りタイプのバネであ
り、摺動体５８とサイドチャック３１のカムフォロア３
１ｂ近傍に張架されており、カムフォロア３１ｂを固定
カム２８の内面側に付勢している。

【０１０９】次に動作について説明する。まず、基材１
８からフィルム材３２を剥離する時に、形成層体３７に
おけるプリプレグ３３は進行方向先端部を取出し用のチ
ャック３０により挟持されて、矢印の搬送方向に搬送さ
れる。

【０１１０】この際、形成層体３７におけるプリプレグ
３３の両側帯部を揺動式のサイドチャック３１で挟持
し、固定カム２８の傾斜部によりバネ２９の張力で外側
にテンションをかけることとなり、形成層体３７におけ
るプリプレグ３３のたわみなどの発生を防いでいる。

【０１１１】搬送後、ペースト１９を充填した所定の孔
３６の部分に接触しないように、図１に示す取出し板６
ｂの四辺で形成層体３７を受けて位置決めを行った後、
図２に示すストッカー７へ搬送するように構成されたも
のである。

【０１１２】以上説明した実施の形態では、基材に表裏
にフィルム材を有した不織布と熱硬化性樹脂からなるア
ラミドエポキシや紙フェノールと織布と熱硬化性樹脂か
らなるガラスエポキシのプリプレグシートを用いたが、
表裏にフィルム材を有したセラミックグリーンシートで
あってもよく、また、せん断部でピンで基材を貫通でき
ない場合には、あらかじめピンと当接する位置に孔加工
してピンを挿入すれば同じくペースト充填が可能であ
る。

【０１１３】

【発明の効果】以上のように本発明によるペースト充填
方法およびペースト充填装置は、ペースト充填、フィル
ム材剥離の２工程を連続して行うため、作業者による操
作が必要でなく、スキージに付着したペーストを強制的
にかき落とすために有効活用ができ、かつ工程時間が短
縮され生産性が向上する。

【０１１４】また、ペースト充填すなわち充填時に多孔
質樹脂フィルムが目詰まりを起こさず均一に基材を吸引
することができ、またせん断送りをすることにより、充
填したペーストが紙に付着し抜け落ちることを防止で
き、さらに基材をたわませることなく搬送し取出しする
ことができるため品質が安定するという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態におけるペースト充填装
置の構成を示す要部断面図

【図２】同ペースト充填装置の全体構成を示す斜視図

【図３】ロータリー式ペースト充填装置の構成を示す要
部斜視図

【図４】ダイコート方式によるペースト充填装置の構成
を示す要部断面図

【図５】同充填部におけるせん断部の構成を示す要部斜
視図

【図６】同他のせん断部の構成を示す要部斜視図

【図７】同スキージ機構のかき落し機構およびその動作
工程を説明する要部断面図

【図８】同スキージ機構の他のかき落し動作工程を説明
する要部断面図

【図９】同充填部の版枠の構成を示す要部断面図

【図１０】同取出し部の構成を示す要部平面図

【図１１】両面あるいは多層基板の製造工程の一例を示
す製造工程図

【図１２】プリプレグとフィルム材でなる基材の構成を
示す要部斜視図

【図１３】従来のペースト充填装置の構成を示す要部断
面図

【符号の説明】

１ 供給部 ２ 充填部 ３ スキージ機構 ３ａ、３ｂ スキージ ３ｃ、３ｄ スキージヘッド ４ 搬送部 ４ａ、４ｂ 搬送体 ５ 剥離部 ５ａ、５ｂ 剥離板 ６ 取出し部 ６ａ 駆動ローラ ６ｂ 取出し板 ７ ストッカー ８ リフター ８ａ 供給板 ８ｂ 保持体 ９ ブレーキ部 ９ａ アクチュエータ １０ ブロック １１ 弾性体 １２ 版枠 １２ａ 版 １３ ベッド １３ａ 吸引口 １３ｂ ステージ １３ｃ スライドシャフト １３ｄ ブッシュ １３ｆ 吸引孔 １３ｇ 逃がし部 １４ 多孔質樹脂フィルム １４ａ 供給リール １４ｂ 巻取リール １５、１５ｅ 紙 １５ａ 供給リール １５ｂ、１５ｄ ガイドローラ １５ｃ 巻取リール １６ せん断チャック １７ ドラム １７ａ 開口部 １８ 基材 １９ ペースト ２０ 弾性体シール ２１ レバー ２１ａ 保持ピン ２２ チャック ２２ａ 挟持爪 ２３ ペースト充填部 ２４ 非ペースト充填部 ２５ プレート ２６ 薄板 ２７ スキージホルダ ２８ 固定カム ２９ バネ ３０ チャック ３１ サイドチャック ３１ａ 支点ピン ３１ｂ カムフォロア ３２ フィルム材 ３３ プリプレグ ３４ 焼結金属 ３５、４０ 導電箔 ３６ 孔 ３７ 形成層体 ３８、４１ 導電パターン ３９ 両面基板 ４２ 多層基板 ４５ スキージチャック ４６ 固定軸 ４７ プーリ ４８ ベルト ４９ プーリ ５０ 駆動モータ ５１ ガイドレール ５２ スライダー ５３ アクチュエータ ５４ アーム ５５ アクチュエータ ５６ 側板 ５７ 搬送レール ５８ 摺動体 ５９ ペースト収納部 ６０ 充填ヘッド

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 寛治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 皆藤 裕祥 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 原薗 講平 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 山本 敏彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 竹中 敏昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 平石 幸弘 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材の所定位置に設けられた孔にスキー
   ジング法を用いてペーストを充填する方法であって、間
   欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配
   置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真
   空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを
   充填し、多孔質材で基材をベッドの端部に搬送した後、
   多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平方向に少
   なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて多孔質材
   から剥離して分離した後、真空吸着を解除して基材を取
   出すペースト充填方法。
2. 【請求項２】 基材の所定位置に設けられた孔にスキー
   ジング法を用いてペーストを充填する方法であって、間
   欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配
   置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真
   空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを
   充填した後、真空吸着を解除して多孔質材を固定した状
   態で前記基材のみを水平方向に少なくとも基材に設けら
   れた孔径以上移動させて多孔質材から剥離して分離した
   後、多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方
   法。
3. 【請求項３】 基材の所定位置に設けられた孔にスキー
   ジング法を用いてペーストを充填する方法であって、間
   欠搬送自在な多孔質材が少なくとも１つ以上近接して配
   置された複数の真空吸着用の孔を設けたベッド上で、真
   空吸着状態として前記基材の所定位置の孔にペーストを
   充填し、多孔質材を固定した状態で前記基材のみを水平
   方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させて
   多孔質材から剥離して分離した後、真空吸着を解除して
   多孔質材で搬送して基材を取出すペースト充填方法。
4. 【請求項４】 基材搬送時の真空吸着力をペースト充填
   時より小さくした請求項１に記載のペースト充填方法。
5. 【請求項５】 多孔質材を固定した状態で基材のみを水
   平方向に少なくとも基材に設けられた孔径以上移動させ
   て多孔質材から剥離して分離する時の真空吸着力を、ペ
   ースト充填時より小さくした請求項３に記載のペースト
   充填方法。
6. 【請求項６】 表裏にフィルム材を貼付あるいは積層し
   たペースト充填用の孔加工がなされた基材を順次供給す
   る供給部、複数の真空吸着用の孔を設けた金属材でなる
   ベッドの上に、第１の多孔質材を介して積層配置されて
   間欠搬送されるフープ状の第２の多孔質材と、その第２
   の多孔質材の上面に載置される前記基材のペースト充填
   部を除く外周部に当接する版枠と、基材のペースト充填
   用の孔にペーストを充填するスキージからなる充填部、
   ペースト充填後の基材を第２の多孔質材上に載置して水
   平移動させることにより、第２の多孔質材との位置をず
   らせるせん断部、せん断された基材の非ペースト充填部
   を保持して前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送
   する搬送部、基材からフィルム材を剥離して分離する剥
   離部、およびフィルム材が剥離し分離された状態の基材
   を取出す取出し部からなるペースト充填装置。
7. 【請求項７】 せん断部が、所定位置にピンを配置した
   せん断部材と、前記せん断部材のピンと当接するベッド
   上に配置したピンの逃し溝からなり、ペースト充填後の
   基材と、第１の多孔質材および第２の多孔質材をせん断
   部材のピンで貫通して第１の多孔質材と第２の多孔質材
   を固定した状態で、基材のみをピンの逃し溝内で平行移
   動して剥離して分離する構成の請求項６に記載のペース
   ト充填装置。
8. 【請求項８】 せん断部が、基材の一端を挟持するチャ
   ックからなるせん断部材と、ベッド上に載置される基材
   の非充填部と当接する部分のベッドの所定位置に設けた
   逃し部からなり、逃し部にはまり込んでせん断部材で基
   材を挟持し、第１の多孔質材と第２の多孔質材を固定し
   た状態で、基材のみを逃し部内で平行移動して剥離して
   分離する構成の請求項６に記載のペースト充填装置。
9. 【請求項９】 充填部のスキージを、スキージ上に残留
   したペーストのかき落し部材を設ける構成とした請求項
   ６に記載のペースト充填装置。
10. 【請求項１０】 充填部の版枠上にスキージがある時
    に、版枠上面とスキージ下端面にスキージ回避位置より
    も小さい寸法のギャップを形成するスキージストッパー
    手段を設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填
    装置。
11. 【請求項１１】 充填部の版枠の内周下面に、スキージ
    の一部が摺動当接する薄板を設ける構成とした請求項６
    に記載のペースト充填装置。
12. 【請求項１２】 搬送部の基材と第２の多孔質材との分
    離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方向下
    面側に第２の多孔質材を分離する構成とした請求項６に
    記載のペースト充填装置。
13. 【請求項１３】 剥離部で基材からフィルム材を剥離す
    る剥離部を、基材の搬送方向に対して１３５度以上逆方
    向にフィルム材を剥離する構成とした請求項６に記載の
    ペースト充填装置。
14. 【請求項１４】 取出し部でフィルム材が剥離し分離さ
    れた基材の取出し時に、搬送方向始端部側を保持するチ
    ャックと、これと交差する両サイドをそれぞれ保持する
    とともに、拡張方向にテンションを印加するサイドチャ
    ックを設ける構成とした請求項６に記載のペースト充填
    装置。
15. 【請求項１５】 せん断部で基材を水平移動して第２の
    多孔質材との位置をずらす際に、第２の多孔質材の移動
    を機械的に阻止するブレーキ部を設ける構成とした請求
    項６〜８のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
16. 【請求項１６】 充填部のスキージに代えて、内部にペ
    ースト収納部を設けた弾性材料よりなる充填ヘッドを設
    置し、この充填ヘッド一端を基材上に密着してペースト
    に圧力を加えながらペースト充填を行う構成とした請求
    項６に記載のペースト充填装置。
17. 【請求項１７】 ペースト充填を開始する際、もしくは
    一時停止して再度ペースト充填を開始する際に、ベッド
    上の第２の多孔質材を少なくとも基材の長さ分を移送し
    た後、前記第２の多孔質材の上面に基材を載置する構成
    とした請求項６に記載のペースト充填装置。
18. 【請求項１８】 ベッド上の第２の多孔質材を、少なく
    とも基材の長さ分を移動する時にベッドは真空吸引状態
    を保持する構成とした請求項６または１７に記載のペー
    スト充填装置。
19. 【請求項１９】 ペースト充填後の基材を第２の多孔質
    材上で水平移動させることにより第２の多孔質材との位
    置をずらした後、せん断された基材の非ペースト充填部
    を保持し、前記第２の多孔質材から剥離し分離して搬送
    する搬送部へ基材を搬送する際に、基材の一部が搬送部
    に保持されると同時にベッドとの真空吸引状態として搬
    送する構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
20. 【請求項２０】 せん断部でペースト充填後の基材を、
    第２の多孔質材上で水平移動させる際に、ベッドを真空
    吸引状態で第２の多孔質材との位置をずらす構成とした
    請求項６に記載のペースト充填装置。
21. 【請求項２１】 せん断部でペースト充填後の基材を、
    ベッドが真空吸引状態のままで第２の多孔質材上で水平
    移動させる際に、ペースト充填時の真空吸引力より小さ
    くする構成とした請求項６に記載のペースト充填装置。
22. 【請求項２２】 基材の周辺部と、当接する部位もしく
    は少なくとも４つのコーナの真空吸着力を大きくした複
    数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする構成とした請
    求項６、２０、２１のいずれか一つに記載のペースト充
    填装置。
23. 【請求項２３】 基材の周辺部に当接する孔径を、他の
    孔径より大きくした複数の真空吸着用の孔を設けたベッ
    ドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２のいず
    れか一つに記載のペースト充填装置。
24. 【請求項２４】 真空吸着源を基材のペースト充填部と
    周辺部の２系統とする複数の真空吸着用の孔を設けたベ
    ッドとする構成とした請求項６、２０、２１、２２、２
    ３のいずれか一つに記載のペースト充填装置。
25. 【請求項２５】 真空吸着源を１系統とし、ペースト充
    填部と基材の周辺部とに２分岐して、真空吸着力を個別
    制御とした複数の真空吸着用の孔を設けたベッドとする
    構成の請求項６、２０、２１、２２、２３のいずれか一
    つに記載のペースト充填装置。
26. 【請求項２６】 多孔質材および第１および第２の多孔
    質材が、通気性と液体の吸収性を備えた紙などの不織布
    あるいは多孔質樹脂フィルムとしてなる請求項６〜８、
    １２、１５、１７〜２１のいずれか一つに記載のペース
    ト充填装置。
27. 【請求項２７】 基材が表裏にフィルム材を有した不織
    布と熱硬化性樹脂、あるいは織布と熱硬化性樹脂からな
    るプリプレグシートおよびセラミックグリーンシートと
    してなる請求項６〜８、１２〜２５のいずれか一つに記
    載のペースト充填装置。
28. 【請求項２８】 ペーストが銅、銀およびこれらの合金
    の粉末を主成分とする構成とした請求項６、９、１６、
    １７、１９〜２１のいずれか一つに記載のペースト充填
    装置。