JPH11146664A - 電歪アクチュエータ - Google Patents

電歪アクチュエータ

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JPH11146664A
JPH11146664A JP10248438A JP24843898A JPH11146664A JP H11146664 A JPH11146664 A JP H11146664A JP 10248438 A JP10248438 A JP 10248438A JP 24843898 A JP24843898 A JP 24843898A JP H11146664 A JPH11146664 A JP H11146664A
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JP
Japan
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joint
frame part
actuator
adjusting element
frame
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP10248438A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Jenker
ペーター・イエンカー
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Daimler Benz AG
Original Assignee
Daimler Benz AG
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04Constructional details
    • H02N2/043Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Transmission Devices (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明の課題は、アクチュエータ
を、コンパクトなかつ負荷方向に剛性の高い構造及び同
時に高いエネルギー効果と長い寿命を有するように、構
成することである。 【解決手段】 電圧の印加の際に長さ可変の固体調
整要素と、調整要素のストローク運動を増幅し、可撓性
ジョイント個所を介して剛固に結合された枠部分から成
る伝動機構とを備えた電歪アクチュエータにおいて、ジ
ョイント個所10はそれぞれ互いに平行な撓みジョイン
ト軸線を備えた上下に重なる複数の弾性的撓み要素18
から成りかつ一方ではジョイント個所の全撓み要素に一
体的に互いに結合した枠部分12. 1又は12. 2に接
続しており、ジョイント個所に接続している他の枠部分
12. 3はジョイント個所の撓み要素とそれぞれ結合し
ている別々の複数の単一レバ16に分割されていること
を特徴とする前記電歪アクチュエータ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特許請求の範囲第
1項の上位概念による電歪アクチュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】米国特許明細書第4937489号から
公知のこの種の電歪アクチュエータでは、伝動機構はピ
エゾ電気調整要素を取り囲む無垢の矩形枠から成り、そ
の枠部分は遊隙のない連結の理由から機械的ジョイント
による代わりに一体的に形成された板ばね状のジョイン
ト個所によって、菱形のジョイント多角形が生じるよう
に互いに結合されており、ジョイント多角形によってピ
エゾ電気調整要素の僅かな長さ変化がアクチュエータの
動力学的に何倍も大きな出力ストロークに変換される。
作用する高い引っ張り負荷を考慮して、撓み弾性的なジ
ョイント個所は、大きな引っ張り強度及び引っ張り剛性
及び相応した大きな横断面を有し、しかし同時に、撓み
運動から生じる外縁伸び及び撓みジョイントの撓み剛性
が横断面の増大と共に著しく増大し従って負荷の正しい
印加の際に撓みジョイントによって電気的復元力が発生
され、復元力は電気的に誘導される調整要素の長さ変化
に対抗作用しかつそれによって調整要素の有効ストロー
クを明らかに減少させる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に記載された種類のアクチュエータを、アクチュエータ
がコンパクトなかつ負荷方向に剛性の高い構造及び同時
に高いエネルギー効果と長い寿命を有するように、構成
することである。
【0004】
【課題を解決するための手段】この課題は、請求項1に
おいて特徴づけられたアクチュエータによって解決され
る。本発明によれば、個々のジョイント個所の分割及び
ジョイント個所を介して結合された枠部分の各々1の複
数の別々の可撓要素又は単一レバへの分割によって、そ
の他は等しいパラメータで、即ちジョイント個所の特に
等しい全横断面積及び等しい引っ張り強度及び引っ張り
剛性の際に、アクチュエータの撓み剛性はジョイント範
囲で著しく、即ち選択された分割数の二乗で減少され、
それによって撓みジョイントに起因する弾性的復元力が
明らかに減少されかつアクチュエータの利用可能なスト
ロークが、以下のような追加的効果、即ち撓み角度に関
して撓みジョイントの外縁伸びが同様に減少されかつそ
れによってアクチュエータの寿命が著しく改良されると
いう効果をもって本質的に高められる。
【0005】請求項2による好適な二分割によって、ジ
ョイント個所の撓み剛性は、それ以外では等しい寸法の
撓みジョイント連鎖に比して既に75%かつ外縁伸びは
撓みジョイント領域で50%だけ減少する。請求項3に
より好適であるように、二分割がジョイント八角形の形
に従って形成された伝動機構と組合わされる場合、ピエ
ゾ電気調整要素の側に位置しかつ伝動機構の出力部材を
形成する枠部分は一体的に形成されておりかつこれらの
間に位置する枠部分はそれぞれ2つの等しい長さの、互
いに平行に経過する単一レバに分割され、それによって
出力部材の強制的ではない平行案内が保証される。
【0006】アクチュエータの撓みジョイントの撓み剛
性及び外縁伸びを更に減少させるために、請求項4によ
る本発明の特別に好適な構成において二分割の代わり
に、更に細かな分割が選択され、その際この場合に分割
された枠部分の単一レバは更に強制的ではない運動を考
慮して等しい長さに形成されかつ互いに平行に配設され
ている。
【0007】製造及び精度の理由から、請求項5による
枠部分は単一レバ及び撓み要素を含めて、合理的な方法
で一体的に、例えばワイヤ侵食によって製造される。特
に動的調整機能のために、請求項6によれば、この観点
において非常に負荷に敏感な固体調整要素の外的引っ張
り負荷を回避するために、伝動機構に調整要素の押圧方
向に作用する予圧ばねを備えることが推奨される。これ
に対して選択的な、特に好適な本発明の構成によれば、
請求項7によるアクチュエータは機械的に直列に配設さ
れている、電気的に反対方向に制御される、それぞれ調
整要素及び伝動機構から成る2つのアクチュエータであ
って、両アクチュエータの伝動機構を出力側で互いに連
結している共通の被動部材を備えたものを有する。その
ようなアクチュエータは、熱的膨張が補償されかつ予圧
ばねが不要にされ、その際両アクチュエータの被動力が
加算され、一方アクチュエータの調整可能な作業ストロ
ークは等しく保持される。
【0008】本発明を2つの実施例に基づいて、図面と
関連して詳しく説明する。図面は図式的な図である。
【0009】
【実施例】図1に示す電歪アクチュエータ2は、パック
状に互いに整列されたピエゾ電気層4から構成される固
体調整要素6と調整要素6を取り囲む八角形枠の形の伝
動機構8とを有し、電歪アクチュエータは、撓み弾性ジ
ョイント10を介して互いに結合された剛固な枠部分1
2と、出力側の枠部分12. 1にアクチュエータ6の縦
方向に対して横に作用し、調整要素6を予圧の下に押圧
方向に保持する湾曲ばね要素14とから成る。出力側か
つ調整要素6の端と結合された枠部分12.1及び12.
2との間に位置する枠部分12. 3は枠部分12. 1
と180°よりも幾分小さい鈍角を形成する。
【0010】ピエゾ電気層4に電圧が印加されると、調
整要素6は縦方向に伸びかつ斜めに経過する枠部分1
2. 3は湾曲ばね要素14の力に抗して調整要素6の縦
軸線に向かって傾倒しかつれぞれ出力側の枠部分12.
1は互いに引寄られる。選択された伝動機構に基づいて
調整要素6の長さ変化よりも何倍か大きい、出力側の枠
部分12. 1の間のストローク運動は、上方の枠部分1
2. 1で減少され、一方下方の枠部分12. 1は位置固
定に係止されている。ピエゾ電気層4が電流なしに保持
されると、調整要素6は再び出発長さに戻されかつ出力
部材12. 1は湾曲ばね要素14の作用の下に、改めて
図示のストローク位置に戻される。その限りではアクチ
ュエータ2は従来の構造である。
【0011】技術水準〔図2(b)〕によれば、斜めに
経過する枠部分12. 3は枠部分12. 1及び12. 2
同様に一体的に無垢に形成されておりかつ撓みジョイン
ト個所10は、所定の幅では引っ張り負荷の作用の下に
充分な引っ張り強度と引っ張り剛性を保証するために、
所定の横断面高さsを有しなければならない単一の撓み
要素から成る。しかし同時に撓みジョイント10の撓み
剛性、即ちジョイント10により撓み運動に抗して発生
される復元力は横断面厚さsの関数でありかつ横断面厚
さsの三乗に相応して高められる。同様に所定の撓み角
度で生じる撓みジョイント10の外縁伸びは横断面厚さ
sに依存してリニアーである。
【0012】これに対して図1及び図2(a)に示すア
クチュエータ2では、撓み弾性ジョイント個所10及び
枠部分12. 3はそれぞれ複数分割、即ち図1によれば
二分割、図2(a)によれば三分割され、即ち枠部分1
2. 3は2つに又は3つに分割された、等しい長さの、
互いに平行に経過する単一レバ16から成りかつ各撓み
ジョイント個所10は引っ張り方向に経過する上下に編
成された2つ又は3つの撓み要素18によって形成さ
れ、撓み要素はそれぞれ単一レバ16の端と枠部分1
2. 1又は12. 2との間に配設されている。分割に基
づいて各ジョイント個所10の撓み剛性は、図2(b)
に対して不変のパラメータ、即ち等しい引っ張り強度及
び引っ張り剛性では、ファクタ1/n2 だけ減少され、
その際nは分割数に相応する。従って撓みジョイント領
域10における撓み剛性は、個々の撓み要素18の横断
面厚さが図2(b)による場合の半分だけである二分割
によって、分割された枠構造及びジョイント構造に比し
て25%だけかつ個々の撓み要素18の横断面厚さがs
/3に減少されているところでは三分割(図2(a)に
よって、等しい値のアクチュエータの1/9に低下して
いる。同様にジョイント個所10に起因し、調整要素6
の電気的に誘導される長さ変化に対抗作用する復元力が
減少され、その結果アクチュエータ2の利用可能な作業
ストロークは本質的に増大する。追加的に撓み運動によ
ってジョイント領域10に生じる撓み要素18の外縁伸
びは横断面厚さの減少に基づいてファクタ1/nだけ減
少しかつそれによって撓みジョイント領域10における
耐久限度は明らかに改良される。
【0013】撓みジョイント10の分割と組合されて、
隣接する枠部分12. 1又は12.2と個々の撓み要素
18を介してそれぞれ結合している別々の相応した数の
単一レバ16への枠部分12. 3の分割によって、伝動
機構8の強制的ではない運動が確保され、その結果調整
要素6の長さ変化に起因する出力部材12. 1のみのス
トローク運動に、撓み要素の撓み剛性から生じる復元力
が対抗作用する。図示の八角形伝動機構8では、分割さ
れた枠部分12. 3の単一レバ16は、それぞれ互いに
平行に向けられかつ等しい長さに形成されており、それ
によって図示の伝動機構8の強制的ではない運動に必要
な平行四辺形案内が生じる。
【0014】製造及び精度上の理由から、全伝動機構8
は分割された枠部分12. 3及び撓み要素18を含めて
一体に、例えば金属ブロックからワイヤ腐食によって作
られることができる。第1実施例に相応する構成要素が
100だけ大きい図中符号を付けられた、図3による実
施例では、アクチュエータは単一、2つの代わりに、タ
ンデム状に機械的に直列に配設された、それぞれ調整要
素106及び八角形伝動機構108によって形成された
アクチュエータ20A及び20Bから成り、その際ジョ
イント領域110は更に複数分割されておりかつ枠部分
112. 3はそれぞれ複数分割された単一レバ116か
ら成る。両アクチュエータ20の互いに反対方向に向け
られた出力部材112. 1は金属湾曲枠22を介して互
いに剛固に結合されており、一方互いに反対方向に向い
た枠部分112. 4は金属湾曲枠22のスリット24中
をリニアー移動可能な共通の被動部材26上に作用す
る。
【0015】ピエゾ電気調整要素106は、この構成で
は電気的に反対方向に制御され、即ちアクチュエータ2
0A及び20Bの両制御電圧の合計は、常に最大運転電
圧に相応する。被動部材26における利用可能な被動力
は二倍になり、これに対して利用可能な作業ストローク
は図1による単一構成の場合と同様にある。図3による
アクチュエータ102は、熱膨張が補償されかつ予圧ば
ねが省略されるという利点を有する。零位置の調整のた
めに、調整要素106の縦方向に作用する調整装置(調
整ねじ28及び押圧板30)は伝動機構108と調整要
素106との間に配設されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、撓み要素と枠部分の二分割によるジョ
イント八角形の形に形成された伝動機構を備えた本発明
によるアクチュエータである。
【図2】図2は、図1のアクチュエータの部分であり、
(a)は、三分割による場合、(b)は、技術水準によ
るアクチュエータの図2(a)に相応する図であり、し
かしその他においては図2(a)のものと等しい寸法の
撓みジョイントと分割されてない枠部分を備えたものを
表わす。
【図3】図3は、本発明の他の実施例によるタンデム構
造のアクチュエータである。
【符合の説明】
10 ジョイント個所 12. 1 枠部分 12. 2 枠部分 12. 3 枠部分 16 単一レバ 18 撓み要素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 594080404 Epplestrasse 225,70546 Stuttgart,BRD

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電圧の印加の際に長さ可変の固体調整要
    素と、調整要素のストローク運動を増幅し、可撓性ジョ
    イント個所を介して剛固に結合された枠部分から成る伝
    動機構とを備えた電歪アクチュエータにおいて、 ジョイント個所(10)はそれぞれ互いに平行な撓みジ
    ョイント軸線を備えた上下に重なる複数の弾性的撓み要
    素(18)から成りかつ一方ではジョイント個所の全撓
    み要素に一体的に互いに結合する枠部分(12. 1又は
    12. 2)に接続しており、ジョイント個所に接続して
    いる他の枠部分(12. 3)はジョイント個所の撓み要
    素とそれぞれ結合している別々の複数の単一レバ(1
    6)に分割されていることを特徴とする前記電歪アクチ
    ュエータ。
  2. 【請求項2】 ジョイント個所(10)及び分割された
    枠部分(12. 3)がそれぞれ2つの撓み要素(18)
    又は単一レバ(16)から成る、請求項1記載の電歪ア
    クチュエータ。
  3. 【請求項3】 調整要素(6)と端側で連結しかつこれ
    に対して垂直に経過し、伝動機構(8)の出力部材を形
    成する枠部分(12. 1又は12. 2)が一体的に形成
    されておりかつこれらの間に位置する枠部分(12.
    3)がそれぞれ2つの等しい長さで、互いに平行に経過
    する単一レバ(16)に分割されている、請求項2記載
    の電歪アクチュエータ。
  4. 【請求項4】 ジョイント個所(10)及び枠部分(1
    2. 3)を二以上に分割する際にそれぞれ分割された枠
    部分の単一レバ(16)は等しい長さに形成されかつ互
    いに平行に配設されている、請求項1記載の電歪アクチ
    ュエータ。
  5. 【請求項5】 枠部分(12)が単一レバ(16)及び
    可撓要素(18)を含めて一体的に形成されている、請
    求項1から4までのうちのいずれか一項に記載の電歪ア
    クチュエータ。
  6. 【請求項6】 伝動機構(8)が調整要素(6)の押圧
    方向に弾性的に予圧されている、請求項1から5までの
    うちのいずれか一項に記載の電歪アクチュエータ。
  7. 【請求項7】 2つ機械的に直列に配設され、電気的に
    反対方向に制御され、それぞれ調整要素(106)と伝
    動機構(108)とから成るアクチュエータ(20A、
    20B)が、両アクチュエータの伝動機構を出力側で相
    互に連結している共通の被動部材(26)を備えてい
    る、請求項1から5までのうちのいずれか一項に記載の
    電歪アクチュエータ。
JP10248438A 1997-09-10 1998-09-02 電歪アクチュエータ Withdrawn JPH11146664A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

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DE19739594A DE19739594C2 (de) 1997-09-10 1997-09-10 Elektrostriktiver Stellantrieb
DE19739594:5 1997-09-10

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AT (1) ATE238611T1 (ja)
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016031765A (ja) * 2014-07-28 2016-03-07 イマージョン コーポレーションImmersion Corporation 重たいフローティング・タッチ・スクリーン・ハプティックス組立体を可能にするための方法および装置
JP2018526586A (ja) * 2015-06-25 2018-09-13 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド ピエゾアクチュエータ型バルブ
KR20190049707A (ko) * 2016-09-07 2019-05-09 티디케이 일렉트로닉스 아게 햅틱 피드백 생성 장치
JP2019213411A (ja) * 2018-06-07 2019-12-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 振動型アクチュエータ、およびパーソナルケア装置
JP2025505069A (ja) * 2023-01-18 2025-02-21 エーエーシー マイクロテック(チャンヂョウ)カンパニー リミテッド 圧電振動器及び圧電振動器アセンブリ

Families Citing this family (86)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6545384B1 (en) * 1997-02-07 2003-04-08 Sri International Electroactive polymer devices
GB2349738B (en) * 1999-05-07 2003-08-06 Univ Cranfield Improvements in or relating to ultrasonic motors
EP1065735B1 (de) * 1999-06-29 2007-03-07 Siemens Aktiengesellschaft Piezoaktor mit einer elektrisch leitenden Mehrschichtfolie
DE19961068C1 (de) * 1999-12-17 2001-01-25 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrisches Aktorsystem
US6870304B2 (en) * 2000-03-23 2005-03-22 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibratory motors and methods of making and using same
DE10017332C2 (de) * 2000-04-07 2002-04-18 Daimler Chrysler Ag Piezoelektrische Betätigungseinrichtung zur Klappensteuerung am Rotorblatt eines Hubschraubers
US6548938B2 (en) 2000-04-18 2003-04-15 Viking Technologies, L.C. Apparatus having a pair of opposing surfaces driven by a piezoelectric actuator
US6717332B2 (en) 2000-04-18 2004-04-06 Viking Technologies, L.C. Apparatus having a support structure and actuator
DE10026018C2 (de) 2000-05-25 2002-11-21 Daimler Chrysler Ag Kipp- bzw. Drehpositionierungsmittel
US6759790B1 (en) 2001-01-29 2004-07-06 Viking Technologies, L.C. Apparatus for moving folded-back arms having a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation
US6879087B2 (en) * 2002-02-06 2005-04-12 Viking Technologies, L.C. Apparatus for moving a pair of opposing surfaces in response to an electrical activation
US7166953B2 (en) * 2001-03-02 2007-01-23 Jon Heim Electroactive polymer rotary clutch motors
US20050127789A1 (en) * 2001-03-08 2005-06-16 Magnussen Bjoern B. Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
KR100434543B1 (ko) * 2001-12-12 2004-06-05 삼성전자주식회사 마이크로 소자에 사용되는 운동 확대 시스템
ATE378724T1 (de) * 2002-02-06 2007-11-15 Elliptec Resonant Actuator Ag Steuerung eines piezoelektrischen motors
US7368853B2 (en) * 2002-04-22 2008-05-06 Elliptec Resonant Actuator Aktiengesellschaft Piezoelectric motors and methods for the production and operation thereof
DE10392895T5 (de) * 2002-07-03 2005-08-25 Viking Technologies, L.C., Sarasota Temperaturkompensierendes Einsatzteil für einen mechanisch kraftverstärkten Smart-Material-Aktuator
US7122926B2 (en) * 2002-09-19 2006-10-17 Delbert Tesar Fault-tolerant rotary actuator
FR2845440B1 (fr) * 2002-10-03 2006-03-31 Sagem Dispositif de commande de valves
US9879760B2 (en) 2002-11-25 2018-01-30 Delbert Tesar Rotary actuator with shortest force path configuration
US7081062B2 (en) * 2002-11-25 2006-07-25 Delbert Tesar Standardized rotary actuator
CN1781196A (zh) 2003-04-04 2006-05-31 瓦伊金技术有限公司 一种智能材料致动器功的最佳化装置和方法
ATE538504T1 (de) * 2003-11-20 2012-01-15 Viking Technologies Lc Integrale thermische kompensation für einen elektromechanischen aktuator
GB2411288B (en) * 2004-02-20 2006-01-04 Melles Griot Ltd Positioner device
CN100439049C (zh) * 2004-07-15 2008-12-03 清华大学 一种微小型机器人的平面运动机构及微小型机器人
KR100586885B1 (ko) * 2004-08-06 2006-06-08 삼성전자주식회사 초정밀 위치제어 시스템
DE102005023767A1 (de) * 2005-05-19 2006-11-23 Otto-Von-Guericke-Universität Magdeburg Stellantrieb
EP1886362A2 (en) * 2005-05-31 2008-02-13 Unison Products Diaphragm membrane and supporting structure responsive to environmental conditions
US20060291477A1 (en) * 2005-06-28 2006-12-28 Marian Croak Method and apparatus for dynamically calculating the capacity of a packet network
CN100502075C (zh) * 2006-02-14 2009-06-17 先进自动器材有限公司 具有放大装置的压电设备
US7432637B2 (en) * 2006-07-28 2008-10-07 Neuberg Company Limited Piezoelectric drive device and liquid discharging device
US7439657B2 (en) * 2006-10-20 2008-10-21 The Boeing Company Broadband energy harvester apparatus and method
US7663294B2 (en) * 2006-10-20 2010-02-16 The Boeing Company Enhanced displacement piezoelectric motor
DE102006054869B3 (de) * 2006-11-20 2008-07-24 Eurocopter Deutschland Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Halte-und Übersetzungsrahmens für einen gestapelten Piezoaktuator und elektrostriktiver Antrieb mit einem solchen Rahmen
US8415860B2 (en) * 2007-02-08 2013-04-09 The Boeing Company Spring disc energy harvester apparatus and method
SE531053C2 (sv) * 2007-05-24 2008-12-02 Cochlear Ltd Vibrator
JP5602626B2 (ja) 2007-06-29 2014-10-08 アーティフィシャル マッスル,インク. 感覚性フィードバック用途のための電気活性ポリマートランスデューサー
US20100322455A1 (en) * 2007-11-21 2010-12-23 Emo Labs, Inc. Wireless loudspeaker
US7945995B1 (en) 2008-03-27 2011-05-24 Philips Electronics Ltd. Metal living hinge
US8401213B2 (en) * 2008-03-31 2013-03-19 Cochlear Limited Snap-lock coupling system for a prosthetic device
CN100552486C (zh) * 2008-09-02 2009-10-21 厦门大学 光纤位移反馈闭环控制二维柔性铰链工作台
US8189851B2 (en) 2009-03-06 2012-05-29 Emo Labs, Inc. Optically clear diaphragm for an acoustic transducer and method for making same
USRE48797E1 (en) 2009-03-25 2021-10-26 Cochlear Limited Bone conduction device having a multilayer piezoelectric element
DE102009014770A1 (de) * 2009-03-25 2010-09-30 Cochlear Ltd., Lane Cove Schwingungserzeuger
EP2239793A1 (de) 2009-04-11 2010-10-13 Bayer MaterialScience AG Elektrisch schaltbarer Polymerfilmaufbau und dessen Verwendung
WO2011059956A2 (en) * 2009-11-10 2011-05-19 Massachusetts Institute Of Technology Phased array buckling actuator
TWI542269B (zh) 2011-03-01 2016-07-11 拜耳材料科學股份有限公司 用於生產可變形聚合物裝置和薄膜的自動化生產方法
KR20140019801A (ko) 2011-03-22 2014-02-17 바이엘 인텔렉쳐 프로퍼티 게엠베하 전기활성 중합체 작동기 렌티큘라 시스템
US9107013B2 (en) 2011-04-01 2015-08-11 Cochlear Limited Hearing prosthesis with a piezoelectric actuator
CN102284955A (zh) * 2011-07-22 2011-12-21 吉林大学 基于混合驱动的六自由度微小型机器人
CN102394270A (zh) * 2011-09-14 2012-03-28 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 两级微位移放大机构
EP2828901B1 (en) 2012-03-21 2017-01-04 Parker Hannifin Corporation Roll-to-roll manufacturing processes for producing self-healing electroactive polymer devices
US8937424B2 (en) 2012-06-15 2015-01-20 The Boeing Company Strain amplification structure and synthetic jet actuator
WO2013192143A1 (en) 2012-06-18 2013-12-27 Bayer Intellectual Property Gmbh Stretch frame for stretching process
US9705068B2 (en) 2012-06-19 2017-07-11 Novasentis, Inc. Ultra-thin inertial actuator
EP2682944A1 (en) * 2012-07-06 2014-01-08 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Scanning microscope
CN102794664B (zh) * 2012-07-17 2015-01-07 广东工业大学 基于桥式柔性铰链的高频超精密加工车床刀架驱动平台
WO2014066576A1 (en) 2012-10-24 2014-05-01 Bayer Intellectual Property Gmbh Polymer diode
EP2743179B1 (en) 2012-12-17 2016-06-01 Airbus Defence and Space GmbH Actuator arrangement and control surface arrangement, especially for an aircraft
CN103023374A (zh) * 2012-12-28 2013-04-03 东南大学 惯性式压电直线电机
CN103022339A (zh) * 2012-12-28 2013-04-03 东南大学 正交型压电位移放大机构
CN103107739B (zh) * 2013-02-28 2015-04-15 北京理工大学 基于mems的动磁铁型电磁-压电复合式宽频俘能器
US9094743B2 (en) 2013-03-15 2015-07-28 Emo Labs, Inc. Acoustic transducers
KR20140127171A (ko) 2013-04-22 2014-11-03 임머숀 코퍼레이션 햅틱-인에이블링된 트리거를 갖는 게이밍 디바이스
US9142754B2 (en) * 2013-07-12 2015-09-22 Novasentis, Inc. Electromechanical polymer-based linear resonant actuator
JP6168932B2 (ja) * 2013-09-09 2017-07-26 武蔵エンジニアリング株式会社 液滴吐出装置
US9393493B2 (en) 2013-11-12 2016-07-19 Immersion Corporation Gaming device with haptic effect isolated to user input elements
CN103552066B (zh) * 2013-11-18 2015-07-01 山东理工大学 防偏型弹性移动副
USD733678S1 (en) 2013-12-27 2015-07-07 Emo Labs, Inc. Audio speaker
USD741835S1 (en) 2013-12-27 2015-10-27 Emo Labs, Inc. Speaker
USD748072S1 (en) 2014-03-14 2016-01-26 Emo Labs, Inc. Sound bar audio speaker
KR101588771B1 (ko) * 2014-05-12 2016-01-26 현대자동차 주식회사 압전 액츄에이터를 이용한 밸브 구동장치
US10152132B2 (en) 2016-02-26 2018-12-11 Immersion Corporation Method and apparatus for enabling heavy floating touchscreen haptics assembles and passive braking system
GB2550155B (en) 2016-05-10 2020-08-05 Camlin Tech Limited Vacuum circuit interrupter with piezoelectric actuator and vacuum circuit breaker incorporating same
CN106229012B (zh) * 2016-09-09 2019-01-29 西安交通大学 一种大位移高频响三自由度压电驱动精密定位平台
CN106985988A (zh) * 2017-03-07 2017-07-28 浙江大学 一种基于介电弹性体的模块化驱动装置
CN108565334B (zh) * 2018-06-08 2022-05-24 合肥铭传电子科技有限公司 一种微位移放大装置
CN109302097B (zh) * 2018-09-28 2020-11-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 压电作动器
CN112049781A (zh) * 2020-09-29 2020-12-08 长春工业大学 一种具有放大机构的被动阀压电泵
CN112713800B (zh) * 2020-12-21 2022-04-05 西安交通大学 一种多压电堆协调驱动的惯性式直线作动器及驱动方法
CN112928946A (zh) * 2021-01-11 2021-06-08 西安交通大学 一种具有精确约束的桥式柔性位移放大机构
CN113938052B (zh) * 2021-09-29 2023-09-08 东北电力大学 一种基于两级杠杆放大机构的压电粘滑驱动器
CN114337360B (zh) * 2021-12-30 2023-08-15 西安交通大学 基于压电材料保持特性的大钳位力作动器及其作动方法
CN114477071B (zh) * 2022-02-11 2025-01-03 宁波大学 一种具有全对称结构的粘滑旋转平台
CN117515321A (zh) * 2022-07-29 2024-02-06 武汉联影智融医疗科技有限公司 位移放大机构和装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6081568A (ja) 1983-10-11 1985-05-09 Nec Corp 機械的増幅機構
JPH0325421Y2 (ja) * 1986-03-13 1991-06-03
US4706230A (en) * 1986-08-29 1987-11-10 Nec Corporation Underwater low-frequency ultrasonic wave transmitter
JP2592615B2 (ja) * 1987-09-16 1997-03-19 日本特殊陶業株式会社 電歪駆動装置
US4933591A (en) * 1988-01-06 1990-06-12 Ford Aerospace Corporation Double saggital pull stroke amplifier
US4808874A (en) * 1988-01-06 1989-02-28 Ford Aerospace Corporation Double saggital stroke amplifier
US4769569A (en) * 1988-01-19 1988-09-06 Ford Motor Company Piezoelectric stack motor stroke amplifier
US4952835A (en) * 1988-12-27 1990-08-28 Ford Aerospace Corporation Double saggital push stroke amplifier
US5319257A (en) * 1992-07-13 1994-06-07 Martin Marietta Energy Systems, Inc. Unitaxial constant velocity microactuator

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016031765A (ja) * 2014-07-28 2016-03-07 イマージョン コーポレーションImmersion Corporation 重たいフローティング・タッチ・スクリーン・ハプティックス組立体を可能にするための方法および装置
JP2018526586A (ja) * 2015-06-25 2018-09-13 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド ピエゾアクチュエータ型バルブ
KR20190049707A (ko) * 2016-09-07 2019-05-09 티디케이 일렉트로닉스 아게 햅틱 피드백 생성 장치
JP2019530111A (ja) * 2016-09-07 2019-10-17 ティーディーケイ・エレクトロニクス・アクチェンゲゼルシャフトTdk Electronics Ag 触覚フィードバックを発生するためのデバイス
US11073913B2 (en) 2016-09-07 2021-07-27 Tdk Electronics Ag Device for producing haptic feedback
JP2019213411A (ja) * 2018-06-07 2019-12-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 振動型アクチュエータ、およびパーソナルケア装置
JP2025505069A (ja) * 2023-01-18 2025-02-21 エーエーシー マイクロテック(チャンヂョウ)カンパニー リミテッド 圧電振動器及び圧電振動器アセンブリ

Also Published As

Publication number Publication date
ATE238611T1 (de) 2003-05-15
DE19739594C2 (de) 2001-09-06
EP0902488B1 (de) 2003-04-23
US6294859B1 (en) 2001-09-25
EP0902488A1 (de) 1999-03-17
DE19739594A1 (de) 1999-03-18
DE59808026D1 (de) 2003-05-28

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