JPH11146669A

JPH11146669A - 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器

Info

Publication number: JPH11146669A
Application number: JP9302965A
Authority: JP
Inventors: Akihiro Iino; 朗弘飯野; Masao Kasuga; 政雄春日; Makoto Suzuki; 鈴木　　誠
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1997-11-05
Filing date: 1997-11-05
Publication date: 1999-05-28
Anticipated expiration: 2017-11-05
Also published as: JP3616712B2

Abstract

(57)【要約】【課題】振動体を安定に振動させると共に、振動の抑
制を防止する超音波モータおよび超音波モータ付電子機
器を提供する。【解決手段】振動体の厚み方向には移動可能とし、厚
み方向と垂直となる径方向には振動体を移動不可とする
固定端から離反する方向へ前記固定端を含めて複数の節
が現れる振動状態を生じると共に、前記振動状態の振幅
方向へ押圧される振動体を備え、前記振動体の振動状態
の振幅方向への押圧に基づいて生じた摩擦力により駆動
する超音波モータにおいて、前記振動体の振動状態の節
および節の近傍を含めた節部に、前記振動状態に合わせ
て弾性変形するとともに、前記振動体を押圧力に抗して
支持する弾性支持部材を備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アナログ式時計等
の駆動源として用いる超音波モータに係わり、特に、振
動体の固定端から離反する方向の節部を弾性支持部材に
より支持するタイプの超音波モータおよび超音波モータ
付電子機器の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】近時、マイクロモータの分野では、圧電
素子を駆動源として利用する超音波モータが注目されて
いる。超音波モータには、平板矩形状の振動体を用い
て、異なる共振モードを組み合わせる方式、円板状の振
動体を用いて、９０゜位相の異なる２つの励振を組み合
わせて進行波を生じさせる方式、振動体に定在波を生じ
させる方式等が知られている。

【０００３】図１４は、従来技術に係わる超音波モータ
の断面構造を示す。この超音波モータは、所定の分極処
理された圧電素子１１と、圧電素子１１に接合された振
動体１２と、振動体１２に当接される移動体１５と、移
動体１５を押圧するバネ部材２１１と、バネ部材２１１
に当接する座金２１２と、座金２１２を介してバネ部材
２１１を留めるストッパー２１３と、ストッパー２１
３、移動体１２等を支持する中心軸１６と、中心軸１６
を固定する固定台１７とからなる（特開昭６３−３０５
７７０号公報参照）。

【０００４】そして、圧電素子１１の圧電効果により振
動体１２を振動させ、振動体１２に当接する移動体１５
に摩擦力を加えて回転させる。ここで、移動体１５は、
十分な摩擦力を加えるため、バネ部材２１１により十分
に押圧する必要がある。図１５は、他の従来技術に係わ
る超音波モータの斜視方向の構造を示す。この超音波モ
ータは、前記超音波モータと略同様の構成であるが、振
動体１２の振動節を結んだ節円を３分割する３点を固定
台１７上に設けた固定用の突起１７ａにより支持固定す
る点に特徴を有する（特開平２−１４２３６８号公報参
照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
ように中心軸１６のみで振動体１２を支持すると、バネ
部材２１１による押圧力を大きくしたとき、振動体１２
は曲げモーメントにより撓んで反力を生じてしまい、不
安定な振動を伴い、移動体１５との接触が不安定とな
る。

【０００６】一方、後者の場合、振動体１２の撓みは防
止されるものの、振動節は点であるため、突起１７ａは
振動節の周辺まで及んで振動を抑制する。この傾向は、
超音波モータを小型化すると、さらに助長される。そこ
で、本発明は、以上の技術的課題を解決するためなされ
たものであって、その目的は、振動体を安定に振動させ
ると共に、振動の抑制を防止する超音波モータおよび超
音波モータ付電子機器を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】即ち、上記課題を解決す
る手段は、請求項１に記載するように、固定端から離反
する方向へ前記固定端を含めて複数の節が現れる振動状
態を生じると共に、前記振動状態の振幅方向へ押圧され
る振動体を備え、前記振動体の押圧に基づいて生じた摩
擦力により駆動する超音波モータにおいて、前記振動体
の振動状態の節および節の近傍を含めた節部に、前記振
動状態に合わせて弾性変形するとともに、前記振動体を
押圧力に抗して支持する弾性支持部材を備えたことを特
徴とする。

【０００８】これによれば、振動体に押圧力が加えられ
て曲げモーメントが生じたとき、弾性支持部材は押圧力
に抗する力を加えてこの曲げモーメントを緩和し、振動
体の原形状を維持する。また、節部の節以外の部位で
は、振動体の振動状態の振幅方向の変位に合わせて弾性
変形する。したがって、振動体は撓んで反力を生じるこ
ともないので安定な振動を行い、振動体の振動は抑制さ
れない。

【０００９】以上の手段にあって、節近傍とは、振動体
の振動状態の振幅方向の変位に対して、弾性支持部材が
追従して弾性変形可能な範囲をいう。弾性支持部材は、
単数もしくは複数箇所に設ける場合、連続する節に沿っ
て帯状に設ける場合のいずれも含まれる。また、振動体
を安定に支持する観点から、３箇所以上に設ける方が好
ましい。

【００１０】また、弾性支持部材は、振動体の節部のう
ち、節および節近傍を支持する場合、節の近傍のみを支
持する場合、若しくは節の周囲を環状に支持する場合の
何れも含まれる。弾性支持部材の形状は、振動体を弾性
変形して支持する形状であれば、円柱状、角柱状、円筒
状、コイル状、板ばね状のその他何れの形状も含まれ、
その材質は、材質的に弾性変形するゴム、ウレタン、ま
た、構造的に弾性を有するコイルばね、板ばねも含まれ
る。

【００１１】また、振動状態には、固定端に対して平行
な方向に定在波方式、若しくは進行波方式の何れも含ま
れる。また、上記手段にあって、請求項２に記載するよ
うに、前記振動体の振動状態の節部のうち、前記振動体
が押圧された部位に対して最も近接する節部に前記弾性
支持部材を備えた方が好ましい。

【００１２】これによれば、振動体に対して弾性支持部
材の支持する節部と押圧される部位の距離は最小とな
り、振動体に生じる曲げモーメントも最小になる。ここ
で、弾性支持部材の支持する節部は、振動体に曲げモー
メントを生じさせない観点から、前記振動体を押圧する
部位と一致する方が望ましい。また、固定端と弾性支持
部材間の振動体の曲げモーメントを緩和する観点から、
固定端との間に振動体が押圧された部位を配置する方が
望ましい。

【００１３】また、上記手段にあって、請求項３に記載
するように、前記振動体の振動状態の節部のうち、前記
振動体の固定端の節部に前記弾性支持部材を備えた方が
好ましい。これによれば、弾性支持部材は、振動体の固
定端を補強し、振動体はさらに撓みにくくなり、原形状
を保つ。

【００１４】また、上記手段にあって、請求項４に記載
するように、前記摩擦力に基づいて前記振動体の可動が
防止される可動止部材を備えた方が好ましい。これによ
れば、振動体が摩擦力の反作用として可動力を得ても、
可動止部材は振動体に可動力と等しい抗力を加える。し
たがって、振動体は可動することなく、安定した振動を
行う。

【００１５】ここで、可動止部材は、振動体と別個に設
ける場合、若しくは、振動体と一体に設ける場合の何れ
も含まれる。また、請求項５に記載するように、超音波
モータ付電子機器は請求項１〜請求項４のいずれかに記
載の超音波モータを備える。これによれば、該超音波モ
ータを駆動源とした超音波モータ付電子機器が実現され
る。ここで、電子機器には電子時計、計測器、カメラ、
プリンタ等の超音波モータの適用可能な機器を全て含
む。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図１３を参照して本
発明を適用した実施の形態を詳細に説明する。｛実施の形態１｝図１は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態１の断面構造を示す。

【００１７】本超音波モータは、図１（ａ）に示すよう
に、圧電素子１１と、圧電素子１１の表面に接合された
振動体１２と、振動体１２の上面に設けられた振動拡大
用の突起１３と、突起１３の上面に設けられた摺動板１
４と、摺動板１４に当接するロータ体１５と、ロータ体
１５および振動体１２の中心を貫く中心軸１６と、中心
軸１６を固定する支持板１７と、支持板１７と振動体１
２の間に設けられた弾性支持部材１８ａ、１８ｂとを備
える。

【００１８】また、中心軸１６の上部には加圧機構２１
を設け、中心軸１６の上端には加圧機構２１を圧接する
止具２２を設け、中心軸１６とロータ体１５の間にはベ
アリング２３を設けている。図２は、本超音波モータの
圧電素子１１の平面構造を示し、（ａ）は進行波方式
を、（ｂ）は定在波方式を示す。

【００１９】ここで、圧電素子１１は、同図（ａ）に示
すように、略円板状であり、周方向に１２等分に分割さ
れ、各々の分割部ａ１…ａ６、ｂ１…ｂ６は略扇形状で
ある。圧電素子１１の表面と裏面には、分割部ａ１…ａ
６、ｂ１…ｂ６に対応した略扇形状の電極パターンを形
成し、一方の分割部ａ１…ａ６に対応した電極パターン
は第１リード線（図示省略）に結線し、他方の分割部ｂ
１…ｂ６に対応した電極パターンは、第２リード線（図
示省略）に結線している。

【００２０】また、隣接する分割部（ａ１とｂ１、ａ２
とｂ２、…ａ６とｂ６）は、一組として同方向に分極処
理され、かつ、隣接する一組の分割部同士は相互に分極
方向が逆転するように処理されている。図中（＋）もし
くは（−）とあるのは、分極の方向を示したものであ
る。（＋）は、圧電素子１１の下面から圧電素子１１と
振動体１２の接合面に向かって電極パターンに正の電界
を印加して分局処理を施し、（−）は負の電界を印加し
て分極所理を施したことを示す。

【００２１】そして、一方の分割部ａ１…ａ６と他方の
分割部ｂ１…ｂ６の位相を９０゜ずらして励振させ、振
動体の周方向に進行波を発生させる。一方、定在波方式
を用いる場合、同図（ｂ）に示すように、突起１３を一
組の分割部（ａ１とｂ１、ａ２とｂ２、…ａ６とｂ６）
の境界に配置する。そして、正方向の駆動力を得たいと
きは、一方の分割部ａ１…ａ６を励振させて振動体１２
に定在波を発生させ、また、逆方向の駆動力を得たいと
きは、他方の分割部ｂ１…ｂ６を励振させ、振動体１２
に前記定在波と９０゜位相の異なる定在波を発生させ
る。

【００２２】図３は、振動体１２および突起１３の斜視
方向の構造を示し、図４は、振動体１３下部の平面構造
および弾性支持部材１８ａ、１８ｂの構造を示す。振動
体１２は、圧電素子１１に対応した円板状の円板部と、
中心部から下方へ突出する可動止部材としての突出部１
２ａからなり、その材質は、例えばアルミ合金、ステン
レス、黄銅等の弾性材料からなる。

【００２３】突出部１２ａは、図４に示すように、中心
軸１６を貫通させる略円筒状であり、その先端の一部は
円弧の２点を直線に結んで切削し、切欠としている。一
方、支持板１７には、突出部１２ａの先端の断面形状に
対応した溝を成形し、突出部１２ａの先端が中心軸１６
の基端部１６ａに当接するまで押し込み、これにより振
動体１２の回転を防止する。そして、振動体１２は以下
の様な振動状態を生じる。

【００２４】図５は、本超音波モータの振動体１２の振
動状態を示し、同図（ａ）は断面方向の振動状態、同図
（ｂ）は平面方向の振動状態を示す。本実施の形態にお
いて、振動体１２は、同図（ａ）に示すように、本発明
の固定端としての中心軸１６に対して軸方向に移動可能
となるとともに軸と垂直方向には移動不可とする固定部
１２ｂ（以下、固定端という。）、および固定端１２ｂ
から径方向へ離反する部位１２ｃに節を有する２次の振
動状態Ａを生じる。ここで、径方向へ離反する部位１２
ｃの節を周方向へつなげると、同図（ｂ）に示すよう
に、振動体１２の中心を環状に取り囲む節円Ｂを形成し
ている。

【００２５】一方、図６は、振動体の比較の振動状態を
示し、同図（ａ）は断面方向の振動状態を、同図（ｂ）
は平面方向の振動状態を示す。この振動体１２に１次の
振動状態Ｃを生じた場合、同図（ａ）に示すように、径
方向へ固定端１２ｂのみに節を生じ、同図（ｂ）に示す
ように、径方向に節円は生じない。

【００２６】突起１３は、図３、４に示すように、振動
体１２の周方向へ環状に配置され、各々は同一の高さの
角柱状である。そして、振動体１２の振動変位を拡大し
てロータ体１５に伝達する一方、振動体１２へ押圧力を
伝達する。弾性支持部材１８ａ、１８ｂのうち、一方の
弾性支持部材１８ａは、図４に示すように、振動体１２
の節円Ｂに沿って周方向へ環状に設けられる一方、径方
向へは、固定端１２ｂとの間に突起１３を配置させてい
る。これは、固定端１２ｂと弾性支持部材１８ａ間の振
動体１２の曲げモーメントを緩和するためである。

【００２７】他方の弾性支持部材１８ｂは、振動体１２
の固定端１２ｂの周りを環状に設けられている。これ
は、振動体１２の固定端１２ｂを補強し、振動体１２ｂ
をさらに撓みにくくするためである。弾性支持部材１８
ａ、１８ｂは、帯状であり、その材質は例えばゴム、ウ
レタン等の振動体１２より柔らかいものからなり、振動
体１２の振動変位に合わせて弾性変形する。一方、振動
体１２より硬い材質は、振動変位に合わせて変形しない
ので、振動を抑制してしまう。

【００２８】なお、本実施の形態の弾性支持部材１８
ａ、１８ｂは振動状態の節およびその近傍を支持する
が、節の近傍のみを支持してもよい。摺動板１４は、図
１に示すように、板状のエンジニアリングプラスチック
製であり、ロータ体１５に当接して、適度な摩擦力を発
生させる他、突起１３の摩耗を防止する。

【００２９】加圧機構２１は、例えばコイルばねからな
り、ロータ体１５を摺動板１４、突起１３を介して振動
体１２の振幅方向に押圧する。そして、摺動板１４とロ
ータ体１５との間に摩擦力を生じさせる。次に、図１〜
図５に基づいて、本実施の形態に係わる超音波モータの
動作について説明する。

【００３０】先ず、図２（ａ）に示すように、圧電素子
１１の分割部ａ１、…ａ６と分割部ｂ１、…ｂ６を位相
９０゜異ならせて同時に励振させる。振動体１２上に
は、周方向に進行波が発生し、径方向に、図５（ａ）に
示すように、節が２箇所１２ｂ、１２ｃに生じる。この
とき、弾性支持部材１８ａ、１８ｂは、支持する節部の
節以外の部位で、振動体１２の振動変位に合わせて弾性
変形するので、振動体１２の振動は抑制されない。

【００３１】突起１３は、図１に示すように、振動体１
２の振動を拡大して伝達し、摺動板１４はロータ体１５
の下面を摺動する。加圧機構２１は、ロータ体１５を押
圧し、ロータ体１５と摺動板１４間に適度な摩擦力を発
生させる。ここで、この押圧力は、突起１３を介して振
動体１２に加えられ、振動体１２に下方向への曲げモー
メントを発生する。

【００３２】このとき、弾性支持部材１８ａ、１８ｂは
押圧力に抗する力を加えて曲げモーメントを緩和する。
特に、一方の弾性支持部材１８ａは、他方の弾性支持部
材１８ｂに比べて突起１３から近いので、曲げモーメン
トを大きく減少させる。また、他方の弾性支持部材１８
ｂは、固定端１２ｂを補強する。また、突出部１２ａ
は、振動体１２が摩擦力の反作用として回転力を得て
も、振動体１２に回転力と等しい抗力を加えるので、振
動体１２は回転することもない。

【００３３】そして、ロータ体１５は中心軸１６の回り
を、安定に回転運動する。以上より、本実施の形態によ
れば、振動体１２に加えられた曲げモーメントを緩和
し、振動体１２の原形状を維持するようにしたので、振
動体１２は撓んで反力を生じることもなく、安定な振動
を行う。また、振動体１２の振動状態の振幅に合わせて
弾性変形するようにしたので、振動体１２の振動は抑制
されない。

【００３４】弾性支持部材１８ａによれば、特に曲げモ
ーメントを緩和するようにしたので、振動体１２の原形
状は保たれる。弾性支持部材１８ｂによれば、振動体１
２の固定端を補強するようにしたので、振動体はさらに
撓みにくくなり、原形状は保たれる。突出部１２ａによ
れば、振動体１２に摩擦力の反作用に等しい抗力を加え
るようにしたので、振動体１２は回転することなく、安
定した振動を行う。｛実施の形態２｝図７は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態２の断面構造を示し、図８は、振動体下
部の平面構造および弾性支持部材の構造を示す。

【００３５】本実施の形態は、実施の形態１と略同様の
構成であり、以下共通の構成については、説明を省略す
る。本実施形態の特徴は、振動体１２の節円Ｂを３等分
に分割する点に円柱状の弾性支持部材１８ｃを配置した
点、および振動体１２の突出部１２ａ先端と中心軸１６
の基端部１６ａの間に間隙１９を設けた点である。

【００３６】ここで、弾性支持部材１８ｃを３箇所に配
置したのは、振動体１２を面として支持する最小数だか
らである。この態様においても、実施の形態１と同様の
効果が得られる。なお、弾性支持部材１８ｃは、２箇所
以上であれば特に限定されない。また、上記間隙１９を
設けることにより、弾性支持部材１８ｃは常に振動体１
２に当接される。したがって、弾性支持部材１８ｃは、
振動体１２との間に隙間をが生じて機能を失うこともな
い。｛実施の形態３｝図９は、本発明を超音波モータに適用
した実施の形態３の断面構造を示し、図１０は、振動体
下部の平面構造および弾性支持部材１８ａの構造を示
す。

【００３７】本実施の形態は、実施の形態１と略同様の
構成であり、図１０に示すように、振動体１２の突出部
１２先端の内周面の一部に断面矩形状の凹部１２ｄを形
成し、一方、中心軸１６の一部に断面矩形状の凸部１６
ｂを形成し、両者１２ｄ、１６ｂを嵌合して振動体１２
の回転止とした点に特徴を有する。また、図１０に示す
ように、弾性支持部材１８ａは振動体１２の節円Ｂの位
置にのみに設けているが、この配置でも曲げモーメント
に対して実施の形態１と同程度の効果が得られる。｛実施の形態４｝図１１は、本発明を超音波モータに適
用した実施の形態４の断面構造を示し、図１２は、振動
体下部の平面構造および弾性支持部材の構造を示す。

【００３８】本実施の形態は、実施の形態１と略同様の
構成であり、振動体１２中心部に振動体１２と別個に本
発明の可動止部材としての回転止部材２４を設けた点に
特徴を有する。ここで、回転止部材２４は、実施の形態
１の振動体１２の突出部１２ａと同形状であり、その材
質は、例えば、金属、プラスチックからなるが、振動体
１２と異なる材質が望ましい。｛実施の形態５｝図１３は、本発明を超音波モータ付電
子機器に適用した実施の形態５のブロック図を示す。

【００３９】本電子機器は、前述の振動体１２と、振動
体１２により移動される移動体１５と、移動体１５と振
動体１２に押圧力を加える加圧機構２１と、移動体１１
と連動して可動する伝達機構３１と、伝達機構３１の動
作に基づいて運動する出力機構３２を備えることにより
実現する。ここで、伝達機構３１には、例えば、歯車、
摩擦車等の伝達車を用いる。出力機構３２には、例え
ば、カメラにおいてはシャッタ駆動機構、レンズ駆動機
構を、電子時計においては指針駆動機構、カレンダ駆動
機構を、工作機械においては刃具送り機構、加工部材送
り機構等を用いる。

【００４０】本実施の形態に係わる超音波モータ付電子
機器としては、例えば、電子時計、計測器、カメラ、プ
リンタ、印刷機、工作機械、ロボット、移動装置などに
おいて実現される。また、移動体１５に出力軸を取り付
け、出力軸からトルクを伝達するための動力伝達機構を
有する構成にすれば、超音波モータ自体で駆動機構が実
現される。

【００４１】

【発明の効果】以上より、請求項１記載の発明によれ
ば、振動体に加えられた曲げモーメントを緩和し、振動
体の原形状を維持するようにしたので、振動体は撓んで
反力を生じることもなく、安定な振動を行う。また、振
動体の振動状態の振幅に合わせて弾性変形するようにし
たので、振動体の振動は抑制されない。

【００４２】請求項２記載の発明によれば、振動体に生
じる曲げモーメントを最小にして、振動体の原形状を維
持する。請求項３記載の発明によれば、振動体の固定端
を補強するようにしたので、振動体はさらに撓みにくく
なり、原形状を保つ。請求項４記載の発明によれば、振
動体に可動力と等しい抗力を加えるようにしたので、振
動体は可動することなく、安定した振動を行う。

【００４３】請求項５記載の発明によれば、本発明の超
音波モータを備えた超音波モータ付電子機器が実現され
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を超音波モータに適用した実施の形態１
の断面構造を示す説明図である。

【図２】図１に係わる圧電素子の平面構造を示し、
（ａ）は進行波方式の圧電素子電極パターンを、（ｂ）
は定在波方式の圧電素子電極パターンと振動体突起との
位置関係を示す説明図である。

【図３】図１に係わる振動体および突起の斜視方向の構
造を構造を示す説明図である。

【図４】図１に係わる振動体下部の平面構造および弾性
支持部材の構造を示す説明図である。

【図５】図１に係わる本超音波モータの振動体の振動状
態を示し、同図（ａ）は断面方向の振動状態、同図
（ｂ）は平面方向の振動状態を示す説明図である。

【図６】振動体の比較の振動状態を示し、同図（ａ）は
断面方向の振動状態を、同図（ｂ）は平面方向の振動状
態を示す説明図である。

【図７】本発明を超音波モータに適用した実施の形態２
の断面構造を示す説明図である。

【図８】図７に係わる振動体下部の平面構造および弾性
支持部材の構造を示す説明図である。

【図９】本発明を超音波モータに適用した実施の形態３
の断面構造を示す説明図である。

【図１０】図９に係わる振動体下部の平面構造および弾
性支持部材の構造を示す説明図である。

【図１１】本発明を超音波モータに適用した実施の形態
４の断面構造を示す説明図である。

【図１２】図１１に係わる振動体下部の平面構造および
弾性支持部材の構造を示す説明図である。

【図１３】本発明を適用した超音波モータを電子機器に
適用した実施の形態５のブロック図を示す。

【図１４】従来技術に係わる超音波モータの断面構造を
示す説明図である。

【図１５】従来技術に係わる超音波モータの斜視方向の
構造を示す説明図である。

【符号の説明】

１１圧電素子１２振動体１３突起１４摺動板１５ロータ体１６中心軸１７支持板１８弾性支持部材２１加圧機構２２止ねじ２３ベアリング２４回転止部材３１伝達機構３２出力機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動体の厚み方向には移動可能とし、厚
み方向と垂直となる径方向には振動体を移動不可とする
固定端から離反する方向へ前記固定端を含めて複数の節
が現れる振動状態を生じると共に、前記振動状態の振幅
方向へ押圧される振動体を備え、前記振動体の押圧に基
づいて生じた摩擦力により駆動する超音波モータにおい
て、前記振動体の振動状態の節および節の近傍を含めた部分
に、前記振動状態に合わせて弾性変形するとともに、前
記振動体を押圧力に抗して支持する弾性支持部材を備え
たことを特徴とする超音波モータ。
【請求項２】前記振動体の振動状態の節部のうち、前
記振動体が押圧された部位に対して最も近接する節部に
前記弾性支持部材を備えたことを特徴とする請求項１記
載の超音波モータ。
【請求項３】前記振動体の振動状態の節部のうち、前
記振動体の固定端の節部に前記弾性支持部材を備えたこ
とを特徴とする請求項１または請求項２に記載の超音波
モータ。
【請求項４】前記摩擦力に基づいて前記振動体が可動
されることを防止する可動止部材を備えたことを特徴と
する請求項１〜請求項３のいずれかに記載の超音波モー
タ。
【請求項５】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
超音波モータを備えたことを特徴とする超音波モータ付
電子機器。