JPH1115915A - 記号読み取り用照明装置 - Google Patents
記号読み取り用照明装置Info
- Publication number
- JPH1115915A JPH1115915A JP9165533A JP16553397A JPH1115915A JP H1115915 A JPH1115915 A JP H1115915A JP 9165533 A JP9165533 A JP 9165533A JP 16553397 A JP16553397 A JP 16553397A JP H1115915 A JPH1115915 A JP H1115915A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- symbol
- substrate
- reading
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/06—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring
- H10P72/0618—Apparatus for monitoring, sorting, marking, testing or measuring using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING OR CALCULATING; COUNTING
- G06V—IMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
- G06V10/00—Arrangements for image or video recognition or understanding
- G06V10/10—Image acquisition
- G06V10/12—Details of acquisition arrangements; Constructional details thereof
- G06V10/14—Optical characteristics of the device performing the acquisition or on the illumination arrangements
- G06V10/145—Illumination specially adapted for pattern recognition, e.g. using gratings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Artificial Intelligence (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Character Input (AREA)
- Image Input (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】鏡面状の表面を有する基板の該表面に彫り込ま
れた記号をムラなく顕現させ、確実に読み取り可能にす
る記号読み取り用照明装置を得る。 【解決手段】並設した２つの光源５１、５２と、これら
光源５１、５２から射出された光を平行若しくは略平行
にする光平行手段６とを設け、該光平行手段６により平
行にしたそれぞれの光を、基板３上の記号４を挟んで相
対する領域１８、１９に照射するようにした。
れた記号をムラなく顕現させ、確実に読み取り可能にす
る記号読み取り用照明装置を得る。 【解決手段】並設した２つの光源５１、５２と、これら
光源５１、５２から射出された光を平行若しくは略平行
にする光平行手段６とを設け、該光平行手段６により平
行にしたそれぞれの光を、基板３上の記号４を挟んで相
対する領域１８、１９に照射するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコンウェハや
ガラス基板等の鏡面加工された表面を有する基板上に彫
り込まれた記号を読み取り可能にする記号読み取り用照
明装置に関する。
ガラス基板等の鏡面加工された表面を有する基板上に彫
り込まれた記号を読み取り可能にする記号読み取り用照
明装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣ等の原材料であるシリコンウェハ
や、ガラス基板等は、その表面が鏡面加工されている。
そして、この基板の表面には、製造番号や、仕様番号等
の文字列からなる識別記号が刻印してあり、この識別記
号によって、各種用途向けに分類が行われている。しか
して、この識別記号は、レーザーエッチングあるいはフ
ォトエッチングなどにより彫り込まれているだけである
ため、通常に見るだけではこの記号を読み取り判別する
ことは非常に難しい。そこで、従来は、面発光照明器具
やリング照明器具等を用いて、この識別記号上あるいは
周囲を照明し、その反射光を利用して、この識別記号を
視認したりあるいはＴＶカメラ等により読み取ったりし
ていた。
や、ガラス基板等は、その表面が鏡面加工されている。
そして、この基板の表面には、製造番号や、仕様番号等
の文字列からなる識別記号が刻印してあり、この識別記
号によって、各種用途向けに分類が行われている。しか
して、この識別記号は、レーザーエッチングあるいはフ
ォトエッチングなどにより彫り込まれているだけである
ため、通常に見るだけではこの記号を読み取り判別する
ことは非常に難しい。そこで、従来は、面発光照明器具
やリング照明器具等を用いて、この識別記号上あるいは
周囲を照明し、その反射光を利用して、この識別記号を
視認したりあるいはＴＶカメラ等により読み取ったりし
ていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法では、基板の種類やその表面劣化度によって
は、識別記号たる文字列がほとんど読み取れなかった
り、識別記号が長い文字列から構成されたものである
と、識別記号たる文字列の中央付近が顕現しにくいとい
った現象を生じ、記号読み取りに間違いを犯す場合がし
ばしばあった。
うな方法では、基板の種類やその表面劣化度によって
は、識別記号たる文字列がほとんど読み取れなかった
り、識別記号が長い文字列から構成されたものである
と、識別記号たる文字列の中央付近が顕現しにくいとい
った現象を生じ、記号読み取りに間違いを犯す場合がし
ばしばあった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記の課題点をことごと
く解決するために、本願発明者は実験等の鋭意工夫を重
ねた末、２つの光源を並設しておき、これら光源から射
出した光を平行にして記号上に照射すれば、その反射光
によって該記号を確実に読み取れるようになることを解
明した。その上で、さらに工夫を加え、本願の記号読み
取り用照明装置の発明に至ったものである。つまり、本
発明は、基板上の記号を確実に読み取ることが可能で、
なおかつ簡単な機構で構成できる記号読み取り用照明装
置を提供することを目的とする。
く解決するために、本願発明者は実験等の鋭意工夫を重
ねた末、２つの光源を並設しておき、これら光源から射
出した光を平行にして記号上に照射すれば、その反射光
によって該記号を確実に読み取れるようになることを解
明した。その上で、さらに工夫を加え、本願の記号読み
取り用照明装置の発明に至ったものである。つまり、本
発明は、基板上の記号を確実に読み取ることが可能で、
なおかつ簡単な機構で構成できる記号読み取り用照明装
置を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】すなわち、本発明は、鏡面状の表
面を有する基板の、該表面に彫り込まれた記号を読み取
り可能にする記号読み取り用照明装置であって、並設し
た２つの光源と、これら光源から射出された光を平行若
しくは略平行にする光平行手段とを具備してなり、該光
平行手段により平行にしたそれぞれの光を、前記基板上
の記号を挟んで相対する領域に照射するようにしたこと
を特徴とするものである。
面を有する基板の、該表面に彫り込まれた記号を読み取
り可能にする記号読み取り用照明装置であって、並設し
た２つの光源と、これら光源から射出された光を平行若
しくは略平行にする光平行手段とを具備してなり、該光
平行手段により平行にしたそれぞれの光を、前記基板上
の記号を挟んで相対する領域に照射するようにしたこと
を特徴とするものである。
【０００６】記号の読み取りに、より効果的な光源を簡
単な構成で得るには、発光体の発光面に、この発光面を
２分割する一本のスリットを設け、これら２分割した発
光面のそれぞれに前記各光源としての役割を担わせたも
のが望ましい。
単な構成で得るには、発光体の発光面に、この発光面を
２分割する一本のスリットを設け、これら２分割した発
光面のそれぞれに前記各光源としての役割を担わせたも
のが望ましい。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を、図１〜図５を参照
して説明する。本実施例の記号読み取り用照明装置は、
基板３上に刻印された記号たる文字列４を読み取る際に
用いるもので、図１に示すように、ケーシング１０に発
光装置１１と、光平行手段たるレンズ６と、ミラー１２
とを装着したものである。そして、本実施例では記号読
み取り用のＴＶカメラ１３と、その前面に配設したカメ
ラレンズ１３ａを同じケーシング１０内に装着してい
る。
して説明する。本実施例の記号読み取り用照明装置は、
基板３上に刻印された記号たる文字列４を読み取る際に
用いるもので、図１に示すように、ケーシング１０に発
光装置１１と、光平行手段たるレンズ６と、ミラー１２
とを装着したものである。そして、本実施例では記号読
み取り用のＴＶカメラ１３と、その前面に配設したカメ
ラレンズ１３ａを同じケーシング１０内に装着してい
る。
【０００８】この基板３とは、図２に示すように、例え
ばシリコンウェハ等に代表される表面３ａを鏡面加工し
た不透明な基板本体１に、透明薄膜２を被着してなるも
のであり、その透明薄膜２に製造番号や、仕様番号等の
識別用の文字列４が彫り込まれている。したがって、通
常には、この文字列４は非常に判別しにくいものとなっ
ている。
ばシリコンウェハ等に代表される表面３ａを鏡面加工し
た不透明な基板本体１に、透明薄膜２を被着してなるも
のであり、その透明薄膜２に製造番号や、仕様番号等の
識別用の文字列４が彫り込まれている。したがって、通
常には、この文字列４は非常に判別しにくいものとなっ
ている。
【０００９】具体的に各部を詳述すると、発光装置１１
は、図１、３に示すように、複数のＬＥＤ１４と、例え
ばガラス等を材質とする中実、円柱状の発光体たる透明
体７とを具備してなり、ＬＥＤ１４から発せられた光を
透明体７の一端面７ａから透明体７内部に導入し、他端
面７ｂから前記光を導出することにより、この他端面７
ｂを発光させるものである。これら複数のＬＥＤ１４
は、図１に示すように電源ケーブル１６を介して電力を
供給し一斉に発光させるようにしたもので、それぞれの
ＬＥＤ１４は、透明体７の一端面７ａに集中照射するよ
うに配設している。透明体７は、前述したように中実、
円柱状のものであり、一端面７ａから導入した光を他端
面７ｂから導出する。しかして、この他端面７ｂにはす
りガラス様の加工を施し、この部分で光を散乱させて、
均一な面発光を行わせるようにしている。また、この他
端面７ｂには、図３に示すように一本のスリット９を設
けており、この他端面７ｂを２分割するとともに、この
２分割したそれぞれの発光面５１、５２に各光源として
の役割を担わせるようにしている。
は、図１、３に示すように、複数のＬＥＤ１４と、例え
ばガラス等を材質とする中実、円柱状の発光体たる透明
体７とを具備してなり、ＬＥＤ１４から発せられた光を
透明体７の一端面７ａから透明体７内部に導入し、他端
面７ｂから前記光を導出することにより、この他端面７
ｂを発光させるものである。これら複数のＬＥＤ１４
は、図１に示すように電源ケーブル１６を介して電力を
供給し一斉に発光させるようにしたもので、それぞれの
ＬＥＤ１４は、透明体７の一端面７ａに集中照射するよ
うに配設している。透明体７は、前述したように中実、
円柱状のものであり、一端面７ａから導入した光を他端
面７ｂから導出する。しかして、この他端面７ｂにはす
りガラス様の加工を施し、この部分で光を散乱させて、
均一な面発光を行わせるようにしている。また、この他
端面７ｂには、図３に示すように一本のスリット９を設
けており、この他端面７ｂを２分割するとともに、この
２分割したそれぞれの発光面５１、５２に各光源として
の役割を担わせるようにしている。
【００１０】レンズ６は、発光装置１１から射出した光
を平行若しくは略平行にするもので、本実施例では図１
に示すように、凸レンズを縦割したもの６１、６２を、
反転させて各凹面が相対するように配置したものを用い
ている。なお、通常の凸レンズを用いても構わないのは
もちろんである。ミラー１２は、レンズ６により平行に
した光を軌道修正して基板３上に照射させるものでＴＶ
カメラ１３と発光装置１１とが互いに干渉するの防止す
ると共に、本記号読み取り用照明装置を含むケーシング
１０をコンパクトにするために設けたものである。
を平行若しくは略平行にするもので、本実施例では図１
に示すように、凸レンズを縦割したもの６１、６２を、
反転させて各凹面が相対するように配置したものを用い
ている。なお、通常の凸レンズを用いても構わないのは
もちろんである。ミラー１２は、レンズ６により平行に
した光を軌道修正して基板３上に照射させるものでＴＶ
カメラ１３と発光装置１１とが互いに干渉するの防止す
ると共に、本記号読み取り用照明装置を含むケーシング
１０をコンパクトにするために設けたものである。
【００１１】ＴＶカメラ１３は、基板３で反射した反射
光の光路上に設けられ、その前面に装着したカメラレン
ズ１３ａを介して、この反射光を撮影するものである。
このように構成した、本記号読み取り用照明装置がどの
ように作用するかを以下に述べる。本記号読み取り用照
明装置によれば、作用説明図として模式的に描いた図４
に示すように、発光装置１１からスリット９を介して射
出した光は、レンズ６により平行若しくは略平行にさ
れ、ミラー１２で軌道修正されて、基板３上に照射され
る。この時各発光面５１、５２から射出されたそれぞれ
の平行光が、文字列４を挟んで相対する領域１８、１９
に当たるように予め調整しておく。この場合であれば、
それぞれの光は重なりあう、すなわち領域１８、１９は
重なりあうことになる。
光の光路上に設けられ、その前面に装着したカメラレン
ズ１３ａを介して、この反射光を撮影するものである。
このように構成した、本記号読み取り用照明装置がどの
ように作用するかを以下に述べる。本記号読み取り用照
明装置によれば、作用説明図として模式的に描いた図４
に示すように、発光装置１１からスリット９を介して射
出した光は、レンズ６により平行若しくは略平行にさ
れ、ミラー１２で軌道修正されて、基板３上に照射され
る。この時各発光面５１、５２から射出されたそれぞれ
の平行光が、文字列４を挟んで相対する領域１８、１９
に当たるように予め調整しておく。この場合であれば、
それぞれの光は重なりあう、すなわち領域１８、１９は
重なりあうことになる。
【００１２】そして、この反射光をＴＶカメラ１３によ
って撮影すると、文字列にピントを合わせることによ
り、文字列４の背景にスリット９、発光面５１、５２が
拡大された虚像として映る。すなわち、撮影した映像
は、図５に示すように、スリット９の映像９ａ、発光面
５１、５２の映像５１ａ、５２ａ、および文字列４の映
像４ａが写っているものになる。
って撮影すると、文字列にピントを合わせることによ
り、文字列４の背景にスリット９、発光面５１、５２が
拡大された虚像として映る。すなわち、撮影した映像
は、図５に示すように、スリット９の映像９ａ、発光面
５１、５２の映像５１ａ、５２ａ、および文字列４の映
像４ａが写っているものになる。
【００１３】しかして、この文字列４の彫り込まれた部
分では、乱反射や微妙な屈折等が生じ、文字列４の映像
４ａにおいてこの部分が発光しているかのごとく写る。
しかも、各発光面５１、５２から射出されたそれぞれの
光が、文字列４を挟んで相対する領域１８、１９に当た
るように調整してあるので、この映像４ａは、暗部たる
スリット９の映像９ａ内に位置することになる。したが
って、スリット９の映像９ａ内で鮮やかに文字列４の映
像４ａが顕現し、間違うことなくその文字列４を読み取
ることができるようになる。
分では、乱反射や微妙な屈折等が生じ、文字列４の映像
４ａにおいてこの部分が発光しているかのごとく写る。
しかも、各発光面５１、５２から射出されたそれぞれの
光が、文字列４を挟んで相対する領域１８、１９に当た
るように調整してあるので、この映像４ａは、暗部たる
スリット９の映像９ａ内に位置することになる。したが
って、スリット９の映像９ａ内で鮮やかに文字列４の映
像４ａが顕現し、間違うことなくその文字列４を読み取
ることができるようになる。
【００１４】したがって、本実施例によれば、文字列４
を、複雑な装置や処理を用いること無しに、簡単な構成
で、確実に顕現させ読み取り可能にすることができる。
また、レンズ６を用いて光を平行若しくは略平行にして
いるので、光源５１、５２を基板３から遠く離して光を
平行に近づける必要がなく、発光装置１１から基板３ま
での距離を短く設定でき、装置をコンパクトにできる。
さらに既存の発光装置からの簡単な改造、すなわち、１
つの発光体７の発光面７ｂをスリット９により２分割す
ることで、２光源たる発光面５１、５２を得ることがで
きる。特に発光面７ｂの分割にスリット９を用いること
で、その映像９ａが文字列４の全体形状に合致した帯状
の形状をなすものとなり、文字列４を効果的に顕現でき
るという効果をも奏する。
を、複雑な装置や処理を用いること無しに、簡単な構成
で、確実に顕現させ読み取り可能にすることができる。
また、レンズ６を用いて光を平行若しくは略平行にして
いるので、光源５１、５２を基板３から遠く離して光を
平行に近づける必要がなく、発光装置１１から基板３ま
での距離を短く設定でき、装置をコンパクトにできる。
さらに既存の発光装置からの簡単な改造、すなわち、１
つの発光体７の発光面７ｂをスリット９により２分割す
ることで、２光源たる発光面５１、５２を得ることがで
きる。特に発光面７ｂの分割にスリット９を用いること
で、その映像９ａが文字列４の全体形状に合致した帯状
の形状をなすものとなり、文字列４を効果的に顕現でき
るという効果をも奏する。
【００１５】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく種々の変形が可能である。例えば、発光
装置とカメラとが対称位置になるように配置し、ミラー
を介さず光を直接基板に照射してもよい。この場合は、
ケーシングが少し大きいものとなるが、ミラーを廃する
ことができる。また、例えば、他の実施例として図６に
示すような構成にしてもよい。すなわち、発光装置１１
を基板３の垂直上方に位置させ、レンズ６により、光を
平行若しくは略平行にした後、その平行光を、ハーフミ
ラー２０を通過させて、基板３に照射する。そして、基
板３で反射した光を、ハーフミラー２０で反射して側方
に導き、その光の軌道上にカメラ１３を配置して文字列
４を読み取るようにしてもよい。もちろんこの場合、こ
のカメラ１３と、発光装置１１およびレンズ６との位置
は逆でもよい。なお、この他の実施例中、実施例と同様
のものについては同じ符号を付すようにしている。
るものではなく種々の変形が可能である。例えば、発光
装置とカメラとが対称位置になるように配置し、ミラー
を介さず光を直接基板に照射してもよい。この場合は、
ケーシングが少し大きいものとなるが、ミラーを廃する
ことができる。また、例えば、他の実施例として図６に
示すような構成にしてもよい。すなわち、発光装置１１
を基板３の垂直上方に位置させ、レンズ６により、光を
平行若しくは略平行にした後、その平行光を、ハーフミ
ラー２０を通過させて、基板３に照射する。そして、基
板３で反射した光を、ハーフミラー２０で反射して側方
に導き、その光の軌道上にカメラ１３を配置して文字列
４を読み取るようにしてもよい。もちろんこの場合、こ
のカメラ１３と、発光装置１１およびレンズ６との位置
は逆でもよい。なお、この他の実施例中、実施例と同様
のものについては同じ符号を付すようにしている。
【００１６】この他にも種々の配置が考えられるが、要
は、基板から反射した光の軌道上にカメラ等を配設した
ものであれば、実施例と同様の効果を奏するものであ
る。もちろん、カメラの代わりに目で直接見ても構わな
い。さらに、本発明の適用できる基板は、基板の表面が
鏡面加工されたものであり、その表面上に記号が彫り込
まれたものであれば、その材質は問わない。例えば、透
明薄膜を有しないシリコンウェハや金属板等の不透明な
もの、あるいはガラス基板等の透明なものにも適用して
実施例と同様の効果を奏するものである。
は、基板から反射した光の軌道上にカメラ等を配設した
ものであれば、実施例と同様の効果を奏するものであ
る。もちろん、カメラの代わりに目で直接見ても構わな
い。さらに、本発明の適用できる基板は、基板の表面が
鏡面加工されたものであり、その表面上に記号が彫り込
まれたものであれば、その材質は問わない。例えば、透
明薄膜を有しないシリコンウェハや金属板等の不透明な
もの、あるいはガラス基板等の透明なものにも適用して
実施例と同様の効果を奏するものである。
【００１７】また、２つの光源は、１つの発光体の発光
面をスリットにより分割して設けたものに限らず、実際
に２つの発光体を並設したものでも構わない。さらに、
本実施例では、ＬＥＤにより間接的に発光する透明体を
発光体としていたが、ＬＥＤ等の発光素子そのものを発
光体として用いても構わないし、もちろん発光素子はＬ
ＥＤ以外の種々のものでもよいのはいうまでもない。
面をスリットにより分割して設けたものに限らず、実際
に２つの発光体を並設したものでも構わない。さらに、
本実施例では、ＬＥＤにより間接的に発光する透明体を
発光体としていたが、ＬＥＤ等の発光素子そのものを発
光体として用いても構わないし、もちろん発光素子はＬ
ＥＤ以外の種々のものでもよいのはいうまでもない。
【００１８】その他、各部の構成は図示例に限定される
ものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変
形が可能である。
ものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変
形が可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。本発明
によれば、並設した２つの光源と、これら光源から射出
された光を平行若しくは略平行にする光平行手段とを具
備してなり、該光平行手段により平行にしたそれぞれの
光を、基板上の記号を挟んで相対する領域に照射するよ
うにしているので、鏡面状の表面を有する基板に彫り込
まれた記号を、コンピュータ等の複雑な装置や処理を用
いること無しに、簡単な構成で、確実に顕現させ読み取
り可能にすることができる。また、光平行手段を用いて
光を平行にしているので、光源から基板までの距離を短
く設定でき、装置をコンパクトにできる。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。本発明
によれば、並設した２つの光源と、これら光源から射出
された光を平行若しくは略平行にする光平行手段とを具
備してなり、該光平行手段により平行にしたそれぞれの
光を、基板上の記号を挟んで相対する領域に照射するよ
うにしているので、鏡面状の表面を有する基板に彫り込
まれた記号を、コンピュータ等の複雑な装置や処理を用
いること無しに、簡単な構成で、確実に顕現させ読み取
り可能にすることができる。また、光平行手段を用いて
光を平行にしているので、光源から基板までの距離を短
く設定でき、装置をコンパクトにできる。
【００２０】さらに、発光体の発光面に、この発光面を
２分割する一本のスリットを設け、これら２分割した発
光面のそれぞれに前記各光源としての役割を担わせたも
のであれば、記号読み取りに、より効果的な光源を簡単
な構成で得ることができる。
２分割する一本のスリットを設け、これら２分割した発
光面のそれぞれに前記各光源としての役割を担わせたも
のであれば、記号読み取りに、より効果的な光源を簡単
な構成で得ることができる。
【図１】本発明の一実施例における記号読み取り用照明
装置を示す概略縦断面図。
装置を示す概略縦断面図。
【図２】同実施例における基板の一部断面図。
【図３】同実施例における発光装置の概略斜視図。
【図４】同実施例の作用を説明する作用説明図。
【図５】同実施例の顕出した記号を示す状態図。
【図６】他の実施例における記号読み取り用照明装置を
示す概略縦断面図。
示す概略縦断面図。
１・・・基板本体 ２・・・透明薄膜 ３・・・基板 ４・・・記号（文字列） ５１、５２・・・光源（２分割した発光面） ６・・・光平行手段（レンズ） ７・・・発光体（透明体） ９・・・スリット
Claims (2)
- 【請求項１】鏡面状の表面を有する基板の、該表面に彫
り込まれた記号を読み取り可能にする記号読み取り用照
明装置であって、 並設した２つの光源と、これら光源から射出された光を
平行若しくは略平行にする光平行手段とを具備してな
り、該光平行手段により平行にしたそれぞれの光を、前
記基板上の記号を挟んで相対する領域に照射するように
したことを特徴とする記号読み取り用照明装置。 - 【請求項２】発光体の発光面に、この発光面を２分割す
る一本のスリットを設け、これら２分割した発光面のそ
れぞれに前記各光源としての役割を担わせたことを特徴
とする請求項１記載の記号読み取り用照明装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165533A JPH1115915A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 記号読み取り用照明装置 |
| US09/102,061 US6168296B1 (en) | 1997-06-23 | 1998-06-22 | Lighting unit for reading marks |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9165533A JPH1115915A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 記号読み取り用照明装置 |
| US09/102,061 US6168296B1 (en) | 1997-06-23 | 1998-06-22 | Lighting unit for reading marks |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1115915A true JPH1115915A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=26490237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9165533A Pending JPH1115915A (ja) | 1997-06-23 | 1997-06-23 | 記号読み取り用照明装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6168296B1 (ja) |
| JP (1) | JPH1115915A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IL131284A (en) * | 1999-08-05 | 2003-05-29 | Orbotech Ltd | Illumination for inspecting surfaces of articles |
| EP1300872A1 (en) * | 2001-10-08 | 2003-04-09 | Infineon Technologies SC300 GmbH & Co. KG | Semiconductor device identification apparatus |
| US8233696B2 (en) * | 2007-09-22 | 2012-07-31 | Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH | Simultaneous wafer ID reading |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5737112A (en) * | 1994-07-07 | 1998-04-07 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Scanning optical systems |
| KR19980028035A (ko) * | 1995-10-25 | 1998-07-15 | 윌리엄 이. 힐러 | 하드 카피 장치용 조명 시스템 |
-
1997
- 1997-06-23 JP JP9165533A patent/JPH1115915A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-22 US US09/102,061 patent/US6168296B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6168296B1 (en) | 2001-01-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5822445A (en) | Apparatus for identifying fingerprints | |
| JP3908786B2 (ja) | 基板上のインディシアのｏｃｒのための照明システム | |
| JP4049267B2 (ja) | コンパクトな照明システムとディスプレイデバイス | |
| US8310737B2 (en) | Image reading apparatus | |
| US6783257B2 (en) | Lighting apparatus for inspection of an object | |
| EP1048085B1 (en) | Led module and luminaire | |
| EP1043580B1 (en) | Illuminating apparatus with linear spot of light | |
| JPH11312898A (ja) | 電子部品実装装置 | |
| WO1995035506A2 (en) | Scribe mark reader | |
| JPH112598A (ja) | 微細領域の照明装置 | |
| US5877899A (en) | Imaging system and method for imaging indicia on wafer | |
| JP4281495B2 (ja) | 照明装置 | |
| WO1998052088A1 (en) | Imaging system and method of imaging indicia on wafer | |
| JPH1115915A (ja) | 記号読み取り用照明装置 | |
| US20110163162A1 (en) | Lighting system for contrasting engraved codes | |
| JPH11249020A (ja) | 光路調整部材及びそれを備えた照明装置 | |
| US10055636B2 (en) | Light homogenizing device and biometric identifying device | |
| CN217904512U (zh) | 图像传感器 | |
| JP5421668B2 (ja) | 光源ユニット及び紙葉類の読取装置 | |
| JP4432210B2 (ja) | セラミック部材刻印読取方法および装置 | |
| JPH096942A (ja) | 刻印読取り装置 | |
| KR20150108213A (ko) | 조명 장치 | |
| JPH11250231A (ja) | 凹凸面接触パッドおよび凹凸パターン採取装置 | |
| KR100366237B1 (ko) | 씨씨디 카메라용 조명 장치 | |
| JP4712284B2 (ja) | 表面検査装置 |