JPH11173301A - 純水用アキュムレータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 純水を汚染しないように不活性ガスの圧力に
よって直接純水の圧力制御を行う純水用アキュムレータ
であって、純水の圧力変動を緩和する等の機能を良好に
維持できるものを提供する。 【解決手段】 ポンプ８０から機器９０へ純水Ｗを供給
するための純水供給配管８１，８２に連通するタンク１
を備えた純水用アキュムレータ７０である。タンク１の
上部に、このタンク内に不活性ガスＧを導入するため
の、弁１１を備えたガス導入口２１が設けられている。
タンク１内の純水の水位ＷＬが上限レベルＵＬを超えた
か否かを検出する高水位センサ４３を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は純水用アキュムレ
ータに関する。より詳しくは、ポンプから各種機器へ純
水（超純水と呼ばれるものを含む）を供給するための純
水供給配管の途中に、純水の圧力変動を緩和するために
設けられるアキュムレータに関する。

【０００２】

【従来の技術】図３に示すように、ポンプ１８０から機
器１９０へ作動流体Ｆを供給する場合、供給配管１８１
の途中にアキュムレータ１７０が設けられることが多
い。従来のアキュムレータ１７０は、供給配管１８１に
連通する密閉タンク（部分的に破断して示す）１７１を
備え、このタンク内にガス入りゴム風船１７２を設けて
構成されている。供給配管１８１を流れる作動流体の圧
力が変動したとき、タンク１７１内のゴム風船１７２が
内部のガスＧとともに膨張又は収縮することによって、
機器１９０、例えば静圧軸受に供給される作動流体Ｆの
圧力変動を緩和することができる。また、停電によって
ポンプが突然停止したとき、機器１９０の静圧軸受によ
って支持されたスピンドルが停止するまでの間（停電時
にはスピンドルにブレーキをかけられないため、比較的
長時間となる）、作動流体Ｆの圧力レベルを静圧軸受に
必要な範囲内に維持することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、機器１
９０が作動流体として純水を使用するもの、例えばＥＥ
Ｍ（弾性放散加工；Ｅlastic Ｅmission Ｍachining）
を利用した研磨装置である場合、上述のアキュムレータ
１７０では、純水がゴム風船１７２の材料に接触して汚
染されるため、機器１９０の動作に悪影響を及ぼすとい
う問題がある。このため、上述のアキュムレータ１７０
はＥＥＭを利用した研磨装置には用いることはできな
い。

【０００４】ここで、ゴム風船を用いず、タンク上部に
不活性ガス（機器の動作に影響を与えないＮ₂やＡｒ等
のガス）を溜めて、このガスの圧力によって直接純水の
圧力制御を行う方式も考えられる。この方式によれば、
ゴム風船を介して圧力制御を行う場合と異なり、純水が
汚染されることはない。しかし、タンク上部の不活性ガ
スが純水に溶け込んでタンク上部のガス量が次第に減少
する結果、純水の圧力変動を緩和する等の機能が低下す
るという問題が生ずる。

【０００５】そこで、この発明の目的は、純水を汚染し
ないように不活性ガスの圧力によって直接純水の圧力制
御を行う純水用アキュムレータであって、純水の圧力変
動を緩和する等の機能を良好に維持できるものを提供す
ることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の純水用アキュムレータは、ポンプ
から機器へ純水を供給するための純水供給配管に連通す
るタンクを備えた純水用アキュムレータであって、上記
タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを導入するた
めの、弁を備えたガス導入口が設けられ、上記タンク内
の純水の水位が上限レベルを超えたか否かを検出する高
水位センサを備えたことを特徴とする。

【０００７】この請求項１の純水用アキュムレータで
は、最初にガス導入口の弁が開にされて、ガス導入口を
通してタンク内に不活性ガスが導入される。タンク内が
不活性ガスで満たされた後、このガス導入口の弁は閉じ
られる。動作時には、ポンプによって圧送される純水が
純水供給配管からタンク内に導入され、不活性ガスは圧
縮されてタンク上部に溜まる。タンク上部の不活性ガス
によって押圧された純水は、タンクから純水供給配管を
通して機器へ送られる。このタンク上部の不活性ガスの
圧力によって直接純水の圧力制御が行われる。すなわ
ち、ポンプの発生圧力が低下したときはタンク上部の不
活性ガスが膨張する一方、ポンプの発生圧力が上昇した
ときはタンク上部の不活性ガスが収縮して、純水の圧力
変動を緩和する。不活性ガスの圧力によって直接純水の
圧力制御を行うので、純水が汚染されることがなく、機
器の動作に悪影響を及ぼすことはない。

【０００８】動作を継続すると、不活性ガスが純水に溶
け込んでタンク上部のガス量が減少する結果、タンク内
の純水の水位が上限レベルを超えようとする場合が生ず
る。このとき、高水位センサがそれを検出する。この高
水位センサの出力信号に基づいてガス導入口の弁を一時
的に開くことにより、ガス導入口を通してタンク内に不
活性ガスを追加して導入することができ、タンク内の純
水の水位を上限レベル以下に維持することができる。し
たがって、純水の圧力変動を緩和する等の機能が良好に
維持される。

【０００９】請求項２に記載の純水用アキュムレータ
は、ポンプから機器へ純水を供給するための純水供給配
管に連通するタンクを備えた純水用アキュムレータであ
って、上記タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを
導入するための、弁を備えたガス導入口が設けられ、上
記タンク上部に、このタンク外へ不活性ガスを排出する
ための、弁を備えたガス排気口が設けられ、上記タンク
内の純水の水位が下限レベルを下回ったか否かを検出す
る低水位センサを備えたことを特徴とする。

【００１０】この請求項２の純水用アキュムレータで
は、請求項１と同様に、最初にガス導入口の弁が開にさ
れて、ガス導入口を通してタンク内に不活性ガスが導入
される。タンク内が不活性ガスで満たされた後、このガ
ス導入口の弁は閉じられる。動作時には、ポンプによっ
て圧送される純水が純水供給配管からタンク内に導入さ
れ、不活性ガスは圧縮されてタンク上部に溜まる。タン
ク上部の不活性ガスによって押圧された純水は、タンク
から純水供給配管を通して機器へ送られる。このタンク
上部の不活性ガスの圧力によって直接純水の圧力制御が
行われる。すなわち、ポンプの発生圧力が低下したとき
はタンク上部の不活性ガスが膨張する一方、ポンプの発
生圧力が上昇したときはタンク上部の不活性ガスが収縮
して、純水の圧力変動を緩和する。不活性ガスの圧力に
よって直接純水の圧力制御を行うので、純水が汚染され
ることがなく、機器の動作に悪影響を及ぼすことはな
い。

【００１１】動作中にタンク上部の不活性ガスが膨張し
過ぎたり、ガス導入口からタンク内に不活性ガスが過剰
に供給されると、不活性ガスがタンクから溢れて純水供
給配管を通して機器へ送られる。そのような場合、本来
純水を使用すべき機器、例えば静圧軸受が破損するおそ
れがある。そこで、この請求項２の純水用アキュムレー
タでは、タンク内の純水の水位が下限レベルを下回った
とき、低水位センサがそれを検出する。この低水位セン
サの出力信号に基づいてガス排気口の弁を一時的に開く
ことにより、ガス排気口を通してタンク外へ過剰の不活
性ガスを排出することができ、タンク内の純水の水位を
下限レベル以上に維持することができる。この結果、不
活性ガスがタンクから純水供給配管を通して機器へ送ら
れるような事態を避けることができる。

【００１２】請求項３に記載の純水用アキュムレータ
は、ポンプから機器へ純水を供給するための純水供給配
管に連通するタンクを備えた純水用アキュムレータであ
って、上記タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを
導入するための、弁を備えたガス導入口が設けられ、上
記タンクの、純水の水位のための下限レベルに、上記タ
ンク内の純水の水位がその下限レベルよりも下または上
のいずれにあるかに応じて自ら開閉する弁を備えたガス
抜き口が設けられていることを特徴とする。

【００１３】この請求項３の純水用アキュムレータで
は、請求項１，２と同様に、最初にガス導入口の弁が開
にされて、ガス導入口を通してタンク内に不活性ガスが
導入される。タンク内が不活性ガスで満たされた後、こ
のガス導入口の弁は閉じられる。動作時には、ポンプに
よって圧送される純水が純水供給配管からタンク内に導
入され、不活性ガスは圧縮されてタンク上部に溜まる。
タンク上部の不活性ガスによって押圧された純水は、タ
ンクから純水供給配管を通して機器へ送られる。このタ
ンク上部の不活性ガスの圧力によって直接純水の圧力制
御が行われる。すなわち、ポンプの発生圧力が低下した
ときはタンク上部の不活性ガスが膨張する一方、ポンプ
の発生圧力が上昇したときはタンク上部の不活性ガスが
収縮して、純水の圧力変動を緩和する。不活性ガスの圧
力によって直接純水の圧力制御を行うので、純水が汚染
されることがなく、機器の動作に悪影響を及ぼすことは
ない。

【００１４】また、タンク内の純水の水位が下限レベル
を下回ったとき、ガス抜き口の弁が自ら開く。したがっ
て、ガス抜き口を通してタンク外へ過剰の不活性ガスを
排出することができ、タンク内の純水の水位を下限レベ
ル以上に維持することができる。この結果、不活性ガス
がタンクから純水供給配管を通して機器へ送られるよう
な事態を避けることができる。なお、上記ガス抜き口の
弁は、タンク内の純水の水位が下限レベルを超えている
ときは自ら閉じている。

【００１５】請求項４に記載の純水用アキュムレータ
は、請求項１乃至３のいずれか一つに記載の純水用アキ
ュムレータにおいて、停電時に一定期間動作するタイマ
を備え、このタイマの動作中、上記ガス導入口の弁を開
いて上記ガス導入口を通してタンク内に不活性ガスを導
入することを特徴とする。

【００１６】この請求項４の純水用アキュムレータで
は、タイマが動作する期間は、停電時から機器が完全に
停止するまでの期間を超えるように予め設定される。そ
して、停電によってポンプが突然停止したとき、上記タ
イマの動作中、上記ガス導入口の弁を開いて上記ガス導
入口を通してタンク内に不活性ガスを導入する。したが
って、停電後に機器が完全に停止するまでの間、純水の
圧力レベルが機器に必要な範囲内に確実に維持される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の純水用アキュム
レータの実施の形態を詳細に説明する。

【００１８】図１は、ポンプ８０から機器９０へ超純水
を供給するための純水供給配管８１，８２の途中に一実
施形態のアキュムレータ７０が介挿された状態を示して
いる。なお、機器９０は、この例ではＥＥＭを利用した
研磨装置であり、内蔵する静圧軸受（図示せず）等の流
体潤滑のために超純水Ｗを使用する。

【００１９】このアキュムレータ７０は、ステンレス鋼
等の超純水Ｗへの溶け出しが少ない材料からなる密閉タ
ンク１を備えている。このタンク１は、半球状の頂部２
ｅおよびその縁に連なる環状のフランジ部２ｆからなる
上部部材２と、鉛直方向に延びる円筒部（部分的に破断
して示す）３ｂおよびその上縁，下縁に連なる環状のフ
ランジ部３ａ，３ｃからなる中央部材３と、半球状の底
部４ｅおよびその縁に連なる環状のフランジ部４ｆから
なる下部部材４とを有している。上部部材２と中央部材
３とはそれぞれのフランジ部２ｆ，３ａを密接させて互
いに一体に固定され、同様に、中央部材３と下部部材４
とはそれぞれのフランジ部３ｃ，４ｆを密接させて互い
に一体に固定されている。タンク底部３ｃには斜め下方
に突出する複数の脚５ａ，５ｂが設けられており、この
タンク１はこれらの脚５ａ，５ｂを介して図示しない床
に立設されている。

【００２０】タンク頂部２ｅに、このタンク内に不活性
ガス（高純度のＮ₂やＡｒなど）Ｇを導入するためのガ
ス導入口２１と、このタンク外へ不活性ガスＧを排出す
るためのガス排気口２２と、このタンク内の不活性ガス
Ｇの圧力を圧力計４１や圧力スイッチ４２へ導くための
圧力検出口２３とが設けられている。ガス導入口２１に
つながるガス供給管３１には、制御部６０からの制御信
号によって開閉される電動弁（以下「ガス導入弁」とい
う。）１１と、タンク１内へのガスの導入を許容し逆流
を禁止する逆止弁１２とが介挿されている。ガス排気口
２２につながるガス排気管３２には、制御部６０からの
制御信号によって開閉される電動弁（以下「ガス排気
弁」という。）１３が介挿されている。また、圧力検出
口２３と圧力計４１、圧力スイッチ４２との間には、手
動で開閉可能な回転弁（以下の説明では常に開状態にあ
る）１４が設けられている。圧力計４１は、タンク１内
の不活性ガスＧの圧力を作業者に視認させるためのもの
である。圧力スイッチ４２は、タンク１内の不活性ガス
Ｇの圧力が下限値を下回ったか否かを検出するためのも
のであり、その出力信号は制御部６０へ送られる。

【００２１】タンク円筒部３ｂには、このタンク内に導
入された超純水の水位ＷＬのための上限レベルＵＬと下
限レベルＬＬとが設定されている。タンク円筒部３ｂに
設定された上限レベルＵＬには、タンク内の超純水の水
位ＷＬが上限レベルＵＬを超えたか否かを検出する高水
位センサ４３を備えた高水位検出口２４が設けられてい
る。一方、タンク円筒部３ｂに設定された下限レベルＬ
Ｌには、タンク内の超純水の水位ＷＬが下限レベルＬＬ
を下回ったか否かを検出する低水位センサ４４を備えた
低水位検出口２５と、超純水の水位ＷＬが下限レベルＬ
Ｌよりも下または上のいずれにあるかに応じて自ら開閉
するフロート弁（以下「ガス抜き弁」という。）４５を
備えたガス抜き口２６が設けられている。ガス抜き口２
６とガス抜き弁４５とは配管８３によって接続されてい
る。タンク円筒部３ｂに設定された下限レベルＬＬのさ
らに下方には、ポンプからの純水供給配管８１が接続さ
れる純水導入口２７が設けられている。

【００２２】タンク底部４ｅには純水送出口２８が設け
られており、この純水送出口２８には機器９０へつなが
る純水供給配管８２が接続されている。

【００２３】制御部６０は、高水位センサ４３と低水位
センサ４４からの出力信号を受けて、これらの出力信号
に基づいてそれぞれガス導入弁１１、ガス排気弁１３を
開閉するための制御信号を出力する。また、この制御部
６０は、停電時に働く補償電源６１によってバックアッ
プされており、この補償電源６１からの電力供給によっ
て動作するタイマ（図示せず）を内蔵している。例えば
停電状態で圧力スイッチ４２からタンク内の不活性ガス
Ｇの圧力が下限値よりも下回ったことを表す信号を受け
たとき、上記タイマがカウント動作を開始する。制御部
６０は、このタイマの動作中、ガス導入弁１１を開くた
めの制御信号を出力する。なお、タイマが動作する期間
は、停電時から機器９０が完全に停止するまでの期間を
超えるように、予め設定されている。

【００２４】ポンプ８０から機器９０へ超純水Ｗを供給
しようとする場合、それに先立って、アキュムレータ７
０のガス導入弁１１が開にされて、ガス導入口２１を通
してタンク１内に不活性ガスＧが導入される。このとき
ガス排気弁１３は開状態になっている。タンク１内が不
活性ガスＧで満たされた後、ガス導入弁１１及びガス排
気弁１３は閉じられる。動作時には、ポンプによって圧
送される超純水Ｗが純水供給配管８１からタンク１内に
導入され、不活性ガスＧは圧縮されてタンク上部に溜ま
る。タンク上部の不活性ガスＧによって押圧された超純
水Ｗは、タンク１から純水供給配管８２を通して機器９
０へ送られる。このタンク上部の不活性ガスＧの圧力に
よって直接超純水Ｗの圧力制御が行われる。すなわち、
ポンプの発生圧力が低下したときはタンク上部の不活性
ガスＧが膨張する一方、ポンプの発生圧力が上昇したと
きはタンク上部の不活性ガスＧが収縮して、超純水Ｗの
圧力変動を緩和する。不活性ガスＧの圧力によって直接
超純水Ｗの圧力制御を行うので、超純水Ｗが汚染される
ことがなく、機器９０の動作に悪影響を及ぼすことはな
い。

【００２５】動作を継続すると、タンク上部の不活性ガ
スＧが超純水Ｗに溶け込んでタンク上部のガス量が減少
する結果、タンク内の超純水の水位ＷＬが上限レベルＵ
Ｌを超えようとする場合が生ずる。このとき、図２(c)
に示すように高水位センサ４３がそれを検出して、Ｌ
（低）レベルの信号を出力する。この高水位センサ４３
のＬレベルの出力信号に基づいて、図２(f)に示すよう
に制御部６０がＨ（高）レベルの制御信号を出力してガ
ス導入弁１１を一時的に開く。これにより、ガス導入口
２１を通してタンク１内に不活性ガスＧを追加して導入
することができ、タンク内の超純水の水位ＷＬを上限レ
ベルＵＬ以下に維持することができる。したがって、超
純水Ｗの圧力変動を緩和する等の機能を良好に維持でき
る。

【００２６】図２(a)に示すように動作中に停電が生じ
た場合は、図２(b)に示すように制御部６０には直ちに
補償電源６１が供給される。停電によってポンプが突然
停止するため、純水供給配管８１，８２内およびタンク
１内の超純水Ｗの圧力が低下し、それに伴ってタンク１
内の不活性ガスＧの圧力が低下する。そして、タンク１
内の不活性ガスＧの圧力が下限値を下回ったとき、図２
(d)に示すように、圧力スイッチ４２から制御部６０へ
その旨を表すＨレベルの信号が送られる。この信号を受
けて、図２(e)に示すように、制御部６０の内蔵タイマ
がカウント動作を開始する。制御部６０は、このタイマ
の動作中、図２(f)に示すように制御信号を出力してア
キュムレータ７０のガス導入弁１１を開く。これによ
り、ガス導入口２１を通してタンク１内に不活性ガスＧ
が導入される。したがって、停電後に機器９０が完全に
停止するまでの間、超純水Ｗの圧力レベルを機器９０に
必要な範囲内に確実に維持できる。

【００２７】さて、このようにして不活性ガスＧをタン
ク内に導入した場合や動作中にタンク上部の不活性ガス
Ｇが必要以上に膨張した場合、過剰の不活性ガスＧがタ
ンク１から純水供給配管８２を通して機器９０へ達する
おそれがある。そこで、このアキュムレータ７０では、
タンク１内の超純水の水位ＷＬが下限レベルＬＬを下回
ったとき、図２(g)に示すように低水位センサ４４がそ
れを検出して、Ｌレベルの信号を出力する。この低水位
センサ４４のＬレベルの出力信号に基づいて、図２(h)
に示すように制御部６０がＨレベルの制御信号を出力し
てガス排気弁１３を一時的に開く。これにより、ガス排
気口２２を通してタンク１外へ過剰の不活性ガスＧを排
出することができる。また、タンク１内の超純水の水位
ＷＬが下限レベルＬＬを下回ったとき、ガス抜き弁４５
が自ら開く。したがって、ガス抜き口２６を通してタン
ク１外へ過剰の不活性ガスＧを排出することができる。
このように、制御部６０のソフトウエアによる制御とガ
ス抜き弁４５のようなハードウエアによる制御との二重
の保護によって、タンク１内の超純水の水位ＷＬを下限
レベルＬＬ以上に確実に維持することができる。この結
果、不活性ガスＧがタンク１から純水供給配管８２を通
して機器９０へ送られるような事態を避けることがで
き、機器９０の、例えば静圧軸受の破損を確実に防止す
ることができる。

【００２８】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の純
水用アキュムレータでは、タンク内の不活性ガスの圧力
によって直接純水の圧力制御を行うので、純水が汚染さ
れることがなく、機器の動作に悪影響を及ぼすことはな
い。しかも、タンク内の純水の水位が上限レベルを超え
たか否かを検出する高水位センサの出力信号に基づいて
ガス導入口の弁を一時的に開くことにより、ガス導入口
を通してタンク内に不活性ガスを追加して導入すること
ができ、タンク内の純水の水位を上限レベル以下に維持
することができる。したがって、純水の圧力変動を緩和
する等の機能を良好に維持できる。

【００２９】請求項２に記載の純水用アキュムレータで
は、請求項１と同様に、タンク内の不活性ガスの圧力に
よって直接純水の圧力制御を行うので、純水が汚染され
ることがなく、機器の動作に悪影響を及ぼすことはな
い。しかも、タンク内の純水の水位が下限レベルを下回
ったか否かを検出する低水位センサの出力信号に基づい
てガス排気口の弁を一時的に開くことにより、ガス排気
口を通してタンク外へ過剰の不活性ガスを排出すること
ができ、タンク内の純水の水位を下限レベル以上に維持
することができる。この結果、不活性ガスがタンクから
純水供給配管を通して機器へ送られるような事態を避け
ることができる。

【００３０】請求項３に記載の純水用アキュムレータで
は、請求項１，２と同様に、タンク内の不活性ガスの圧
力によって直接純水の圧力制御を行うので、純水が汚染
されることがなく、機器の動作に悪影響を及ぼすことは
ない。しかも、タンク内の純水の水位がその下限レベル
よりも下または上のいずれにあるかに応じて自ら開閉す
る弁によって、ガス抜き口を通してタンク外へ過剰の不
活性ガスを排出することができ、タンク内の純水の水位
を下限レベル以上に維持することができる。この結果、
不活性ガスがタンクから純水供給配管を通して機器へ送
られるような事態を避けることができる。

【００３１】請求項４に記載の純水用アキュムレータで
は、停電によってポンプが突然停止したとき、停電時に
一定期間動作するタイマの動作中、ガス導入口の弁を開
いて上記ガス導入口を通してタンク内に不活性ガスを導
入するので、停電後に機器が完全に停止するまでの間、
純水の圧力レベルを機器に必要な範囲内に確実に維持で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 ポンプから機器へ超純水を供給するための純
水供給配管の途中に一実施形態のアキュムレータが介挿
された状態を示す図である。

【図２】 上記アキュムレータの動作のタイムチャート
である。

【図３】 従来のアキュムレータを例示する図である。

【符号の説明】

１ 密閉タンク １１ ガス導入弁 １３ ガス排気弁 ４３ 高水位センサ ４４ 低水位センサ ４５ ガス抜き弁 ７０ アキュムレータ ８０ ポンプ ９０ 機器

フロントページの続き (72)発明者 平岡 大治 大阪府大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋精工株式会社内 (72)発明者 浜崎 耕二 大阪府大阪市中央区南船場三丁目５番８号 光洋精工株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポンプから機器へ純水を供給するための
   純水供給配管に連通するタンクを備えた純水用アキュム
   レータであって、 上記タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを導入す
   るための、弁を備えたガス導入口が設けられ、 上記タンク内の純水の水位が上限レベルを超えたか否か
   を検出する高水位センサを備えたことを特徴とする純水
   用アキュムレータ。
2. 【請求項２】 ポンプから機器へ純水を供給するための
   純水供給配管に連通するタンクを備えた純水用アキュム
   レータであって、 上記タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを導入す
   るための、弁を備えたガス導入口が設けられ、 上記タンク上部に、このタンク外へ不活性ガスを排出す
   るための、弁を備えたガス排気口が設けられ、 上記タンク内の純水の水位が下限レベルを下回ったか否
   かを検出する低水位センサを備えたことを特徴とする純
   水用アキュムレータ。
3. 【請求項３】 ポンプから機器へ純水を供給するための
   純水供給配管に連通するタンクを備えた純水用アキュム
   レータであって、 上記タンク上部に、このタンク内に不活性ガスを導入す
   るための、弁を備えたガス導入口が設けられ、 上記タンクの、純水の水位のための下限レベルに、上記
   タンク内の純水の水位がその下限レベルよりも下または
   上のいずれにあるかに応じて自ら開閉する弁を備えたガ
   ス抜き口が設けられていることを特徴とする純水用アキ
   ュムレータ。
4. 【請求項４】 請求項１乃至３のいずれか一つに記載の
   純水用アキュムレータにおいて、 停電時に一定期間動作するタイマを備え、このタイマの
   動作中、上記ガス導入口の弁を開いて上記ガス導入口を
   通してタンク内に不活性ガスを導入することを特徴とす
   る純水用アキュムレータ。