JPH11176025A - 相変化型光記録媒体 - Google Patents

相変化型光記録媒体

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JPH11176025A
JPH11176025A JP9363217A JP36321797A JPH11176025A JP H11176025 A JPH11176025 A JP H11176025A JP 9363217 A JP9363217 A JP 9363217A JP 36321797 A JP36321797 A JP 36321797A JP H11176025 A JPH11176025 A JP H11176025A
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JP
Japan
Prior art keywords
recording
width
recording medium
phase
optical recording
Prior art date
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Pending
Application number
JP9363217A
Other languages
English (en)
Inventor
Michiaki Shinozuka
道明 篠塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 狭トラックピッチに記録マークを小さく書い
ても記録マークのエッジはシャープであり、クロストー
クが小さく、記録マークの読み出しエラーが少ない相変
化型光記録媒体を提供する。 【解決手段】 レーザビームの照射条件により可逆的に
相変化する記録層が基板上に形成されてなる相変化型光
記録媒体において、記録マークの先端部4と後端部5の
幅が記録および再生レーザビーム径の半値幅6a程度で
あり、それ以外の部分7の幅が記録および再生レーザビ
ーム径の半値幅6a以下である相変化型光記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザービームを
照射することにより記録層に光学的な変化を生じさせ、
情報の記録、再生を行ない、かつ書換えが可能な相変化
型光記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザービームの照射による情報の記
録、再生および消去可能な光記録媒体の一つとして、結
晶−非結晶相間、あるいは結晶−結晶相間の転移を利用
する、いわゆる相変化型光記録媒体がよく知られてい
る。これは単一ビームによるオーバーライトが可能であ
り、ドライブ側の光学系もより単純であることを特徴と
し、コンピュータ関連や映像音響に関する記録媒体とし
て応用されている。近年、このような記録媒体には、特
に情報記録の大容量化が求められており、その一つの方
法として、トラックピッチを狭くしトラック密度を高
め、また記録マークを小さくし且つマーク間を狭くして
線記録密度を高めることが行われている。
【0003】しかしながら、トラックピッチを狭くして
記録する場合、特にランド・グルーブ記録方式で記録す
る場合、記録マークを小さく書いても、クロストークが
大きくなり、記録マークの読み出しエラーが多くなると
いう問題がある。また、従来の相変化型光記録媒体にお
いては、図5に示すように、記録マークの形状が、マー
クの先頭24と後端25の幅に対して、マーク中央部2
7の幅が同じかより大きな形状であり、マーク中央部2
7の幅が記録および再生レーザビーム径(1/e2)2
6の半値幅26aと同じかより大きく、この従来の記録
マークの形状ままでは、トラックピッチを小さくした場
合にクロストークが大きく、読み出しエラーになる確率
が高かった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明の課題は
このような問題点を解決し、狭トラックピッチに記録マ
ークを小さく書いても記録マークのエッジはシャープで
あり、クロストークが小さく、記録マークの読み出しエ
ラーが少ない相変化型光記録媒体を提供することにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、レ
ーザビームの照射条件により可逆的に相変化する記録層
が基板上に形成されてなる相変化型光記録媒体におい
て、記録マークの先端部と後端部の幅が記録および再生
レーザビーム径の半値幅程度であり、それ以外の部分の
幅が記録および再生レーザビーム径の半値幅以下である
ことを特徴とする相変化型光記録媒体によって達成され
る。本発明によれば、記録マークのエッジはシャープで
あり、記録後のジッターは変らず、且つクロストークが
小さくなり、記録マークの読み出しエラーを少なくする
ことができる。
【0006】図1は本発明の相変化型光記録媒体におけ
る記録マークの一例を模式的に示す拡大斜視図であり、
記録マーク1は、グルーブ部2及びランド部3に形成さ
れており、記録マークの先端部4と後端部5の幅が記録
および再生レーザビーム径(1/e2)6の半値幅6a
程度であり、それ以外の部分7の幅が記録および再生レ
ーザビーム径の半値幅6a以下となっている。
【0007】このような形状の記録マークは、記録層に
加えられた熱が逃げやすい構成とすることと、記録する
ときの熱の与えかた、つまりライトストラテジーを工夫
することによって形成することができる。
【0008】図2はそのライトストラテジーの一例であ
り、マークを記録する記録レーザパワーをオンオフして
急冷させることにより記録層の結晶をアモルファス化し
て記録マークを形成することができる。
【0009】図3は本発明の相変化型光記録媒体の層構
成の一例を模式的に示す拡大断面図であり、ポリカーボ
ネート基板8上に下部保護層9、記録層10、上部保護
層11、放熱層12及びUV保護層13が積層されてい
る。このような層構成とライトストラテジーの工夫によ
って、記録マークの先頭部と後端部の幅を記録および再
生レーザビーム径の半値幅程度とし、それ以外の部分の
幅を記録および再生レーザビーム径の半値幅以下とする
ことができ、また記録再生特性及びオーバーライト特性
を良くすることができる。
【0010】下部保護層9および上部保護層11の材料
としては、ZnS・SiO2、SiNx等を用いること
ができ、放熱層12の材料としては、Al、Al合金、
Au、Ag等を用いることができる。また、UV保護層
13の材料としては、UV硬化型樹脂を用いることがで
きる。
【0011】記録層10の材料としては、GeTe、G
eTeSe、GeTeS、GeSeS、GeSeSb、
GeAsSe、InTe、SeTe、SeAs、Ge−
Te−(Sn、Au、Pd)、GeTeSeSb、Ge
SbTe、AgInSbTeなどが挙げられる。特に、
AgInSbTeを用いることにより、記録マークのエ
ッジをシャープに形成することができ、記録マークの読
み出しエラーを少なくすることができる。また、AgI
nSbTeを用いることにより、短波長(例えば、63
0nm)でも感度良く記録することができ、消去率も良
いので、記録マークの読み出しエラーを少なくすること
ができる。
【0012】記録層に加えられた熱が逃げやすい構成と
するには、特に、熱伝導率が50W/m・K以上の金属
層を記録層に隣接して設けること、または熱伝導率が5
0W/m・K以上の金属層を基板の表面に設けることが
好ましい。例えば、図3に示した相変化型光記録媒体の
層構成においては、金属層は記録層10と上部保護層1
1との間、上部保護層11と放熱層12との間、記録層
10と下部保護層9との間、下部保護層9と基板8との
間に設けることができる。
【0013】このような構成によって、更に良く、記録
マークの先頭部と後端部の幅を記録および再生レーザビ
ーム径の半値幅程度とし、それ以外の部分の幅を記録お
よび再生レーザビーム径の半値幅以下とすることができ
る。また、このようにすることにより、記録マークのエ
ッジを更にシャープに形成することができ、マークエッ
ジ検出による記録マークの読み出しエラーをより少なく
することができる。
【0014】金属層の膜厚は、5nm〜15nmが好ま
しく、これにより光の透過率を下げずに熱が逃げやすい
構成とすることができる。
【0015】また、グルーブ及びランドを有する基板上
の記録層に隣接して金属層を設ける場合、あるいはグル
ーブ及びランドを有する基板の表面に金属層を設ける場
合には、特にグルーブ及びランドの端における膜厚がグ
ルーブ及びランドの中心における膜厚よりも厚い金属層
を設けることが好ましい。このようにすることにより、
エッジ(記録マークの幅方向)の熱が逃げやすく、記録
マークの幅方向のマーク幅を小さくすることができ、且
つ記録マークのエッジを更にシャープに形成することが
できる。これによって、クロストークを小さくすること
ができ記録マークの読み出しエラーをより少なくするこ
とができる。
【0016】グルーブ及びランドの端における膜厚がグ
ルーブ及びランドの中心における膜厚よりも厚い金属層
を設けるには、例えば、金属層形成用材料としてTbも
しくはCrなどを選定し、スパッタリングによって金属
層を形成すればよい。特に、金属層形成用材料としてT
bを用いることにより、Tbがスパッタされる時、Tb
粒子が斜めに飛んでいくので、グルーブとランドの境の
部分(グルーブ及びランドの端)にTbが多く蓄積され
るので、グルーブ及びランドの端における膜厚がグルー
ブ及びランドの中心における膜厚よりも厚い金属層を形
成することができる。
【0017】
【実施例】以下に本発明を実施例により説明する。
【0018】実施例1 予め案内溝を設けたポリカーボネート基板(屈折率1.
58、厚さ0.6mm)上にZnS・SiO2からなる
下部保護層(厚さ170nm)、Ag−In−Sb−T
eからなる記録層(厚さ16nm)、ZnS・SiO2
からなる上部保護層(厚さ22nm)、Al合金(T
i:1wt%)からなる放熱層(厚さ100nm)およ
びUV硬化型樹脂からなるUV保護層を順次形成し、グ
ルーブ部およびランド部の幅が0.74μm、トラック
ピッチが0.74μmのグルーブ部とランド部とを有す
る120mmディスク全面板を作製した。
【0019】このディスクに、対物レンズの開口数NA
=0.6、半導体レーザの波長λ=635nmの光学ヘ
ッドを使用し、半値幅0.54μmのビーム径を有する
レーザビームで、EFM変調、マークエッジ検出記録方
式により、トラックピッチ0.74μmのランド&グル
ーブ記録を線速3.5m/sで行った。ライトストラテ
ジーは、図2に示したものを使用した。記録パワー10
mW、消去パワー5mWである。
【0020】次に、記録されたディスクについて、波長
635nm、リードパワー0.7mW、半値幅0.54
μmのビーム径を有するレーザビームにより記録の再生
を行い、クロストーク値、エラーレートを測定した。ク
ロストーク値は、3トラックを消去した後両端のトラッ
クにロングマークを記録し、真ん中のトラックを再生し
て測定した。またエラーレートはランダムパターン(一
定周期の)を記録しそれを再生して測定した。その結果
を表1に示す。また、記録マークの先端部と後端部の
幅、および中央部の幅をTEM観察により測定した。そ
の結果を表1に示す。表1には、120mmディスクの
内周(r23mm)、中周(r40mm)、外周(r5
8mm)を測定した平均値で示してある。
【0021】実施例2 実施例1において、記録パワーを9mWとした以外は実
施例1と同様にしてクロストーク値、エラーレート、記
録マークの先端部と後端部の幅、および中央部の幅を測
定した。その結果を表1に示す。
【0022】実施例3 予め案内溝を設けたポリカーボネート基板(屈折率1.
58、厚さ0.6mm)上にZnS・SiO2からなる
下部保護層(厚さ170nm)、Ag−In−Sb−T
eからなる記録層(厚さ16nm)、Moからなる熱伝
導率121W/m・Kの金属層(厚さ10nm)、Zn
S・SiO2からなる上部保護層(厚さ22nm)、A
l合金(Ti:1wt%)からなる放熱層(厚さ100
nm)およびUV硬化型樹脂からなるUV保護層(材料
としては、UV硬化型樹脂)を順次形成し、グルーブ部
およびランド部の幅が0.74μm、トラックピッチが
0.74μmのグルーブ部とランド部とを有する120
mmディスク全面板を作成した。このディスクを用い、
記録パワーを11mWとした以外は実施例1と同様にし
てクロストーク値、エラーレート、記録マークの先端部
と後端部の幅、および中央部の幅を測定した。その結果
を表1に示す。
【0023】実施例4 予め案内溝を設けたポリカーボネート基板(屈折率1.
58、厚さ0.6mm)上にAgからなる熱伝導率41
9W/m・Kの金属層(厚さ10nm)、ZnS・Si
2からなる下部保護層(厚さ170nm)、Ag−I
n−Sb−Teからなる記録層(厚さ16nm)、Zn
S・SiO2からなる上部保護層(厚さ22nm)、A
l合金(Ti:1wt%)からなる放熱層(厚さ100
nm)およびUV硬化型樹脂からなるUV保護層(材料
としては、UV硬化型樹脂)を順次形成し、グルーブ部
およびランド部の幅が0.74μm、トラックピッチが
0.74μmのグルーブ部とランド部とを有する120
mmディスク全面板を作成した。このディスクを用いた
以外は実施例1と同様にしてクロストーク値、エラーレ
ート、記録マークの先端部と後端部の幅、および中央部
の幅を測定した。その結果を表1に示す。
【0024】実施例5 実施例3における金属層に代えて、Taからなる熱伝導
率57W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設けた以
外は実施例3と同様にしてクロストーク値、エラーレー
ト、記録マークの先端部と後端部の幅、および中央部の
幅を測定した。その結果を表1に示す。
【0025】実施例6 実施例3における金属層に代えて、Crからなる熱伝導
率70W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設けた以
外は実施例3と同様にしてクロストーク値、エラーレー
ト、記録マークの先端部と後端部の幅、および中央部の
幅を測定した。その結果を表1に示す。
【0026】実施例7 実施例3における金属層に代えて、Tbからなる熱伝導
率55W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設け、記
録パワーを10mWとした以外は実施例3と同様にして
クロストーク値、エラーレート、記録マークの先端部と
後端部の幅、および中央部の幅を測定した。その結果を
表1に示す。
【0027】実施例8 実施例4における金属層に代えて、Taからなる熱伝導
率57W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設け、記
録パワーを11mWとした以外は実施例4と同様にして
クロストーク値、エラーレート、記録マークの先端部と
後端部の幅、および中央部の幅を測定した。その結果を
表1に示す。
【0028】実施例9 実施例4における金属層に代えて、Crからなる熱伝導
率70W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設け、記
録パワーを11mWとした以外は実施例4と同様にして
クロストーク値、エラーレート、記録マークの先端部と
後端部の幅、および中央部の幅を測定した。その結果を
表1に示す。
【0029】実施例10 実施例4における金属層に代えて、Tbからなる熱伝導
率55W/m・Kの金属層(厚さ10nm)を設け、記
録パワーを9.5mWとした以外は実施例4と同様にし
てクロストーク値、エラーレート、記録マークの先端部
と後端部の幅、および中央部の幅を測定した。その結果
を表1に示す。
【0030】比較例1 実施例1における記録層に代えて、Ge2Sb2Te5
らなる記録層(厚さ16nm)を設け、記録パワーを1
2mWとした以外は実施例1と同様にしてクロストーク
値、エラーレート、記録マークの先端部と後端部の幅、
および中央部の幅を測定した。その結果を表1に示す。
【0031】比較例2 実施例7における記録層に代えて、Ge2Sb2Te5
らなる記録層(厚さ16nm)を設け、記録パワーを1
2mWとした以外は実施例7と同様にしてクロストーク
値、エラーレート、記録マークの先端部と後端部の幅、
および中央部の幅を測定した。その結果を表1に示す。
【0032】
【表1】
【0033】表1から明らかなように、マークの先端部
と後端部の幅が記録および再生レーザビーム径の半値幅
程度であり、それ以外の部分の幅が記録および再生レー
ザビーム径の半値幅以下である記録マークを有する実施
例のディスクにおいては、クロストークの値が小さく、
またエラーレートの値が小さく記録マークの読み出しエ
ラーが少ない。
【0034】また、金属層の熱伝導率とエラーレートと
の関係を図4に示す。×印が基板上に金属層を形成した
場合であり、△が記録層上に金属層を形成した場合であ
る。図4から明らかなように、熱伝導率が50W/m・
K以上の金属層を設けた場合にエラーレートの値が小さ
くなっている。
【0035】
【発明の効果】本発明によれば、狭トラックピッチに記
録マークを小さく書いても記録マークのエッジはシャー
プであり、クロストークが小さく、記録マークの読み出
しエラーが少ない相変化型光記録媒体を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の相変化型光記録媒体における記録マー
クの一例を模式的に示す拡大斜視図である。
【図2】本発明の記録マークを形成するライトストラテ
ジーの一例を示す説明図である。
【図3】本発明の相変化型光記録媒体の層構成の一例を
模式的に示す拡大断面図である。
【図4】金属層の熱伝導率とエラーレートとの関係を示
す説明図である。
【図5】従来の相変化型光記録媒体における記録マーク
の一例を模式的に示す拡大斜視図である。
【符号の説明】
1 記録マーク 2 グルーブ部 3 ランド部 4 記録マークの先端部 5 記録マークの後端部 6 記録再生レーザビーム径(1/e2) 6a 記録再生レーザビーム径の半値幅 7 記録マークの先後端部以外の部分 8 基板 9 下部保護層 10 記録層 11 上部保護層 12 放熱層 13 UV保護層

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザビームの照射条件により可逆的に
    相変化する記録層が基板上に形成されてなる相変化型光
    記録媒体において、記録マークの先端部と後端部の幅が
    記録および再生レーザビーム径の半値幅程度であり、そ
    れ以外の部分の幅が記録および再生レーザビーム径の半
    値幅以下であることを特徴とする相変化型光記録媒体。
  2. 【請求項2】 記録層がAg−In−Sb−Teからな
    ることを特徴とする請求項1記載の相変化型光記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 記録層に隣接して熱伝導率が50W/m
    ・K以上の金属層が設けられていることを特徴とする請
    求項1または2記載の相変化型光記録媒体。
  4. 【請求項4】 金属層の膜厚が5nm〜15nmである
    ことを特徴とする請求項3記載の相変化型光記録媒体。
  5. 【請求項5】 基板の表面に熱伝導率が50W/m・K
    以上の金属層が設けられていることを特徴とする請求項
    3または4記載の相変化型光記録媒体。
  6. 【請求項6】 金属層の膜厚が5nm〜15nmである
    ことを特徴とする請求項5記載の相変化型光記録媒体。
  7. 【請求項7】 グルーブ及びランドを有する基板上に、
    グルーブ及びランドの端における膜厚がグルーブ及びラ
    ンドの中心における膜厚よりも厚い金属層を有すること
    を特徴とする請求項3、4、5または6何れか記載の相
    変化型光記録媒体。
  8. 【請求項8】 金属層がTbからなることを特徴とする
    請求項3、4、5、6または7何れか記載の相変化型光
    記録媒体。
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