JPH11185576A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】開離間隙２９中の縦磁界の強度を高めるととも
に、その縦磁界をより広く均一に分布させる。 【解決手段】コイル補強１７が筒部１７Ａと底部１７Ｂ
とでカップ状に形成され、底部１７Ｂがコイル部１０に
接合されるとともに、筒部１７Ａが固定ロッド３Ａを覆
うように構成され、さらに、コイル補強３６も筒部３６
Ａと底部３６Ｂとでカップ状に形成され、底部３６Ｂが
コイル部１０に接合されるとともに、筒部３６Ａが可動
ロッド３Ｂとベローズ５とを覆うように構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、真空遮断器用の
開閉接点を内蔵した真空バルブに関し、特に、開閉時に
おける接点の溶融が非常に少ない真空バルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来の真空バルブの構成を示す
断面図である。真空容器１が絶縁筒よりなり、その内側
には筒状のアークシールド４が図示されていない支えを
介して配されている。アークシールド４の内部には、固
定接点７Ａと可動接点７Ｂとが接離可能に配されてい
る。すなわち、固定接点７Ａはコイル部１０を介して固
定ロッド３Ａに接合されるとともに、可動接点７Ｂはコ
イル部１０を介して可動ロッド３Ｂに接合されている。
固定ロッド３Ａの上端は、金属フランジ２Ａを気密に貫
通して外部に引き出され、可動ロッド３Ｂの下端は、金
属フランジ２Ｂに気密に接合されたベローズ５を介して
気密に外部に引き出されている。

【０００３】図８は真空バルブが遮断状態にある場合の
構成であり、可動ロッド３Ｂと固定ロッド３Ａとをそれ
ぞれ図示されていない主回路に介装することによって主
回路電流を遮断または通電する。可動ロッド３Ｂを上方
へ駆動することによって、可動接点７Ｂと固定接点７Ａ
との開離間隙２９が閉成される。ベローズ５は蛇腹状に
形成されたものであって、可動ロッド３Ｂを可動的でか
つ気密の状態で、可動ロッド３Ｂに流れる電流を真空容
器１の外部に引き出すものである。アークシールド４は
金属製であり、電流の開閉時に生ずるアークで真空容器
１の内壁が汚損するのを防ぐためのものである。また、
ベローズカバー６はカップ状に形成され、アークシール
ド４と同様に電流開閉時に生ずるアークからベローズ５
を保護している。真空容器１の内部は予め排気され、常
時、高真空に保たれている。

【０００４】図９は、図８のアークシールド４の内部構
成を示す要部斜視図である。固定ロッド３Ａがコイル部
１０に接合されるとともに、コイル部１０の凸部１１が
固定接点７Ａに接合されている。一方、可動ロッド３Ｂ
ももう一つのコイル部１０に接合されるとともに、コイ
ル部１０の凸部１１が可動接点７Ａに接合されている。
また、コイル部１０の反開離間隙２９側には、金属性の
コイル補強８が接合されている。

【０００５】図１０は、図９の固定側のコイル部１０の
構成を示す平面図である。コイル部１０には、固定ロッ
ド３Ａの端部２８（図８）が嵌まり込む穴２８Ａが形成
され、この穴２８Ａの外周に形成されたリング部１３
と、このリング部１３から外径側に伸びる四本の腕部１
４と、この腕部１４のそれぞれの先端から反時計方向に
伸びる円弧部１２と、この円弧部１２から下向きに突出
する凸部１１とからなり、いずれも銅などの電気伝導度
の良い導体で構成されている。可動側のコイル部１０も
同様に形成されているが、図９の平面図として見ると、
円弧部１２が腕部１４の先端から時計方向に伸びるとと
もに、凸部１１が上向きに突出している点が異なるだけ
である。凸部１１は、図９のように固定側と可動側とで
互いに同じ位置に対峙するように配されている。

【０００６】図９に戻り、上下のコイル部１０のリング
部１３（図１０）はそれぞれ固定ロッド３Ａ、または、
可動ロッド３Ｂに接合され、凸部１１はそれぞれ固定ロ
ッド３Ａ、または、可動ロッド３Ｂに接合されている。
固定接点７Ａと可動接点７Ｂとが接触している場合は、
通電電流が固定ロッド３Ａからコイル部１０を介して固
定接点７Ａへ流れ、さらに、可動接点７Ｂからコイル部
１０を介して可動ロッド３Ｂへと流れる。通電中に固定
接点７Ａと可動接点７Ｂとを開離させると、開離間隙２
９にアークが発生する。このアークを素早く消弧するの
が真空バルブの役目である。固定接点７Ａまたは可動接
点７Ｂからアークが発生する場所をアークスポットと称
するが、このアークスポットが局所的に発生し続ける
と、そのアーク熱で固定接点７Ａまたは可動接点７Ｂが
局部的に溶融してしまう。コイル部１０は、アークスポ
ットが局部的止まるのを防ぐためである。コイル部１０
の介装によって、開離間隙２９には縦磁界（図９の矢印
Ｈ方向）を発生させることができる。その理由は、図１
０において、固定側のコイル部１０の電流Ｉがリング部
１３から腕部１４を介して円弧部１２を矢印Ｉのように
反時計方向に流れ、この円弧部１２から下向きに突出す
る凸部１１を介して図示されていない下部の固定接点へ
流れる。一方、図示されていないが、可動側のコイル部
１０も円弧部１２を矢印Ｉのように反時計方向に流れ
る。したがって、図９の開離間隙２９に縦磁界が形成さ
れ、その縦磁界によって、アークのイオンや電子が螺旋
状に運動するとともに縦磁界が形成された開離間隙２９
内に捕捉され、アークスポットが固定接点７Ａ，可動接
点７に局所的に止まらずに激しく移動し、固定接点７Ａ
や可動接点７Ｂがアーク熱による溶融するのを防ぐこと
ができる。

【０００７】図１１は、図９のＡ−Ａ断面図である。ま
た、図１２は、図１１のＢ−Ｂ断面図、すなわち、コイ
ル部の腕部１４が見られない個所の断面図であり、固定
側の接点構成だけが示されている。なお、図８は、図１
１のＣ−Ｃ断面図（腕部１４が見られる個所の断面図）
に対応する。図１２において、コイル補強８が円板状に
形成され、その中央に固定ロッド３Ａの嵌まる穴８Ａが
空いている。このコイル補強８の下面は、コイル部１０
の腕部１４および円弧部１２の上面に接合されている。
また、接点補強９が、円筒部１６の端部につば部１５が
外径側に向けて取り付けらてた形状を備え、円筒部１６
の上端が固定ロッド３Ａの端部２８に接合されるととも
に、つば部１５の下面が固定接点７Ａに接合されてい
る。なお、可動側の接点構成も図１２と全く同じであ
り、図９のように開離間隙２９に対して反転した構成に
なっている。

【０００８】図１２のコイル補強８および接点補強９
は、閉成時に接点同士に加わる接触圧力や開閉動作時に
加わる衝撃圧力でコイル部１０や固定接点７Ａ（あるい
は、可動接点）が破損しないように補強するためのもの
である。コイル補強８がコイル部１０を平らに押さえ、
接点補強９が固定接点７Ａ（あるいは、可動接点）を平
らに押さえるとともに、固定ロッド３Ａ側（あるいは、
可動ロッド側）から加わる力を受け、コイル部１０のリ
ング部１３に加わる力を緩和させている。コイル補強８
や接点補強９の材料は、例えば、ステンレス材からな
り、機械的に丈夫でかつ、銅材からなるコイル部１０よ
り電気伝導度の小さい材料が用いられている。それによ
って、コイル部１０や固定接点７Ａ（あるいは、可動接
点）を保護するとともに、通電電流の大部分がコイル部
１０を流れるようにしている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の真空バルブは、開離間隙中の縦磁界をも
っと強くする必要があるとともに、その縦磁界分布が余
り均一でないという問題があった。すなわち、真空バル
ブの開離間隙中の縦磁界を今以上に強くすることができ
れば、すれば、アークスポットをより激しく移動させる
ことができる。それによって、固定接点や可動接点のア
ーク熱による溶融量がさらに減り、真空バルブの寿命を
今以上に延ばすことができる。しかし、従来の真空バル
ブでは、そのコイル部を機械的に丈夫するために、コイ
ル補強の板材自体をある程度厚くする必要があった。そ
のために、通電電流がコイル補強側にも分流してしま
い、コイル部で周回する通電電流の成分が少なくなって
いたので、開離間隙内の縦磁界をあまり高めることがで
きなかった。

【００１０】また、開離間隙中の縦磁界分布は、固定接
点や可動接点の中心部の磁界が高く、外周側へ行くに従
って磁界が弱くなっている。そのために、縦磁界によっ
てアークスポットを激しく移動させる作用は、接点の中
心部付近の限られた範囲だけに有効に働いていた。開離
間隙の広範囲に渡って縦磁界を均一に分布させることが
できれば、真空バルブの寿命を今以上に延ばすことがで
きる。

【００１１】この発明の目的は、開離間隙中の縦磁界の
強度を高めるとともに、その縦磁界をより均一に分布さ
せることにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明によれば、絶縁性の真空容器の両端が金属
フランジで接合されるとともに、真空容器の内部に互い
に接離可能な固定接点と可動接点とが収納され、固定接
点および可動接点がそれぞれ周方向に電流を流すコイル
部を介して固定ロッドおよび可動ロッドの一方端に接合
され、固定ロッドの他方端が金属フランジを気密に貫通
して外部に引き出され、可動ロッドの他方端が金属フラ
ンジに気密に接合されたベローズを介して気密に外部に
引き出され、ベローズの可動ロッド側は金属製のベロー
ズカバーで覆われ、コイル補強がコイル部に接合されて
なる真空バルブにおいて、前記コイル補強が筒部と底部
とでカップ状に形成され、底部がコイル部に接合される
とともに、筒部が固定ロッドまたは可動ロッドを覆うよ
うに構成されるとよい。コイル補強をカップ形とするこ
とにより円周部が立ち上がるので、従来の様な単なる円
板形より機械的に非常に強くなる。したがって、コイル
補強の材料厚さを従来より薄くすることができるととも
に、電気伝導度も小さくなる。それによって、コイル部
側に流れる電流成分が増すので開離間隙内の縦磁界が高
くなる。

【００１３】かかる構成の真空バルブにおいて、前記コ
イル補強の底部に複数の貫通穴を散在させるようにして
もよい。それによって、コイル補強の電気伝導度がさら
に小さくなり、開離間隙内の縦磁界がさらに高くなる。
かかる構成の真空バルブにおいて、前記コイル補強をベ
ローズカバーとしてもよい。コイル補強がカップ状なの
で、このカップ内にベローズを挿入することによって、
ベローズを発生アークから遮蔽することができる。それ
によって、部品点数を削減することができる。

【００１４】また、上記目的を達成するために、この発
明によれば、絶縁性の真空容器の両端が金属フランジで
接合されるとともに、真空容器の内部に互いに接離可能
な固定接点と可動接点とが収納され、固定接点および可
動接点がそれぞれ周方向に電流を流すコイル部を介して
固定ロッドおよび可動ロッドの一方端に接合され、固定
ロッドの他方端が金属フランジを気密に貫通して外部に
引き出され、可動ロッドの他方端が金属フランジに気密
に接合されたベローズを介して気密に外部に引き出さ
れ、ベローズの可動ロッド側は金属製のベローズカバー
で覆われ、接点補強が固定接点と固定ロッドまたは可動
接点と可動ロッドとに接合されてなる真空バルブにおい
て、前記接点補強が磁性体で形成されるようにしてもよ
い。それによって、開離間隙の磁束が、接点補強の介在
する範囲に渡って広がり易くなり、縦磁界を従来より均
一に分布させることができる。

【００１５】かかる構成の真空バルブにおいて、前記接
点補強が鍋形部の縁端から外径方向につば部が広がるよ
うに形成され、鍋形部の底部が固定ロッドまたは可動ロ
ッドの端面に接合され、つば部が固定接点または可動接
点に接合されるようにしてもよい。それによって、鍋形
部の底部によって固定ロッドまたは可動ロッドを機械的
に受けるとともに縦磁界の分布をより中央部から外径側
に分散させ、つば部によって固定接点または可動接点を
平らに受けるとともに、縦磁界を外径側に広範囲に均一
に分布させることができる。

【００１６】かかる構成の真空バルブにおいて、前記接
点補強のつば部の内径側に周回溝が形成されるようにし
てもよい。それによって、磁束が周回溝の外径側を回り
回り込むようになるので、縦磁界を外径側にさらに広く
分布させることができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明を実施例に基づい
て説明する。図１は、この発明の実施例にかかる真空バ
ルブの構成を示す断面図であり、従来の真空バルブであ
る図８に対応する。また、図２は、図１のアークシール
ド４の内部構成を示す要部斜視図であり、従来の真空バ
ルブである図９に対応する。図２において、コイル補強
１７が筒部１７Ａと底部１７Ｂとで構成され、底部１７
Ｂがコイル部１０に接合されるとともに、筒部１７Ａが
固定ロッド３Ａを覆っている。一方、コイル補強３６も
筒部３６Ａと底部３６Ｂとで構成され、底部３６Ｂがコ
イル部１０に接合されるとともに、固定ロッド３Ａとベ
ローズ５とを覆っている。

【００１８】さらに、図３は、図２の固定接点７Ａ周り
の構成を示す要部断面図であり、従来の真空バルブの構
成である図１２に対応する。なお、図３は、固定側の接
点構成であるが、可動側の接点構成も図３と全く同じで
ある。すなわち、可動側の接点構成は、図２のように開
離間隙２９に対して反転した構成になっているだけであ
る。

【００１９】図１ないし図３において、従来と異なるの
はコイル補強１７，３６がそれぞれカップ状に形成され
て互いに逆方向に向けられ、一方のコイル補強３６が、
ベローズカバーを兼用している点である。その他は従来
の構成と同じであり、従来と同じ部分は同一参照符号を
付けることによって詳細な説明は省略する。図２のよう
にコイル補強１７、３６をカップ形とすることにより円
周部が立ち上がるので、従来の様な単なる円板形より機
械的に非常に強くなる。したがって、コイル補強１７，
３６の材料厚さを従来のものより薄くすることができ、
コイル補強１７，３６の電気伝導度抵抗が小さくなる。
それによって、コイル部１０側に流れる通電電流成分が
増すので開離間隙２９内の縦磁界が高くなる。そのため
に、固定接点７Ａまたは可動接点７Ｂ上で、アークのス
ポットが従来よりさらに激しく移動するようになり、固
定接点７Ａや可動接点７Ｂの溶融量が減って、真空バル
ブの寿命をより延ばすことができる。また、コイル補強
３６とベローズカバーとを兼用することによって、部品
点数が削減されコストが削減される。

【００２０】図４は、この発明の異なる実施例にかかる
真空バルブのコイル補強の構成を示す平面図である。コ
イル補強１８は、図２のコイル補強１７に代わるもので
あって、カップ形の底部の中央に固定ロッドが貫通する
穴１９が明けられている。コイル補強１８の底部には、
穴１９の周囲に複数の貫通穴１８Ａを散在させてあり、
底部の電気伝導度を小さくしている。それによって、コ
イル部側に流れる通電電流成分が増し、開離間隙内の縦
磁界がさらに高くなる。そのために、真空バルブの寿命
が、図２の場合よりさらに延びる。

【００２１】図５は、この発明のさらに異なる実施例に
かかる真空バルブの固定接点３Ａ周りの構成を示す要部
断面図である。図５は、図３に対応する断面図であり、
接点補強２０の構成が図３と異なるだけである。すなわ
ち、接点補強２０が磁性体よりなり、円筒部２２と鍋底
部２３とで鍋形部が形成され、その縁端から外径方向に
つば部２１が広がるようになっている。なお、図５は固
定側の接点構成であるが、可動側の接点構成も図５と全
く同じである。すなわち、可動側の接点構成は、図２の
ように開離間隙２９に対して反転した構成になってい
る。

【００２２】図５において、鍋底部２３が固定ロッド３
Ａの端部２８に接合され、つば部２１が固定接点７Ａに
接合される。鍋底部２３によって固定ロッド３Ａ（また
は可動ロッド）を機械的に受けるとともに縦磁界の分布
をより中央部から外径側に分散させる。さらに、つば部
２１によって固定接点７Ａ（または可動接点）を平らに
受けるとともに、縦磁界の分布を外径側に広く分散させ
ることができる。磁性体としては、例えば、鉄やニッケ
ルコバルト合金などの強磁性体が用いられる。接点補強
２０の形状としては、必ずしも、図５と同じ形状をして
いなくてもよく、図３の接点補強９と同じ形状でもかま
わない。しかし、接点の中央に開口部があると、磁束が
その開口部を通過し易くなるので、縦磁界の分布をより
中央部から外径側に分散さる効果が薄くなる。接点補強
２０の形は、図５のようにできるだけ中央部を磁性体で
塞ぐとともに、接点の外径側へ磁性体ができるだけ広が
るようにすることによって、縦磁界を接点の全面に広く
均一に分布させることができるようになる。それによっ
て、アークのスポットが中心部付近に集まり易いのが解
消され、アークが接点上を広範囲に移動し、真空バルブ
の寿命を従来より延ばすことができる。

【００２３】図６は、この発明のさらに異なる実施例に
かかる真空バルブの固定接点３Ａ周りの構成を示す要部
断面図である。図６が図５と異なる点は、磁性体よりな
る接点補強２５が、そのつば部２４の内径側に周回溝２
４Ａが形成されていることだけである。なお、図６は固
定側の接点構成であるが、可動側の接点構成も図６と全
く同じである。可動側の接点構成は、図２のように開離
間隙２９に対して反転した構成になっている。

【００２４】図６において、周回溝２４Ａの形成によっ
て、磁束が周回溝２４Ａの外径側を回り込むようにな
る。そのために、縦磁界が外径側にさらに広く均一に分
布するようになる。固定接点や可動接点の寿命をさらに
延ばすことができる。図７は、真空バルブの開離間隙中
の縦磁界強度の分布図である。縦軸が開離間隙中の縦磁
界強度Ｈ、横軸が接点（固定接点あるいは可動接点）の
半径方向の位置である。位置Ｏは接点の中心、範囲Ｄは
接点の裏面側（反開離間隙側）に配されいるコイル部の
円弧部１２（図１０）が配されいる範囲に対応する。特
性曲線３８（一点鎖線）、特性曲線３９（実線）がそれ
ぞれ図５、図６の実施例における磁束分布であり、特性
曲線３７（点鎖線）が図１２の従来例における磁束分布
である。特性曲線３７は、前述されたように接点の中心
付近の縦磁界が強くなり、外径側へ行く程、縦磁界が弱
くなる。接点補強を磁性体にすることによって、特性曲
線３８のように、縦磁界が特性曲線３７の場合より外径
側に広く均一に分布するようになる。磁性体の接点補強
のつば部に周回溝を形成することによって、特性曲線３
９のように、縦磁界が外径側にさらに広く均一に分布す
るようになる。

【００２５】

【発明の効果】この発明は前述のように、コイル補強が
筒部と底部とでカップ状に形成され、底部がコイル部に
接合されるとともに、筒部が固定ロッドまたは可動ロッ
ドを覆うように構成されることよって、開離間隙内の縦
磁界が高くなり、真空バルブの寿命が従来より延びるよ
うになる。

【００２６】かかる構成の真空バルブにおいて、前記コ
イル補強の底部に複数の貫通穴を散在させることによっ
て、開離間隙内の縦磁界がさらに高くなり、真空バルブ
の寿命がさらに延びるようになる。かかる構成の真空バ
ルブにおいて、前記コイル補強をベローズカバーとする
ことによって、部品点数が削減され真空バルブのコスト
が低減される。

【００２７】また、この発明は前述のように、接点補強
が磁性体で形成されることによって、縦磁界を従来より
均一に分布させることができ、真空バルブの寿命が従来
より延びるようになる。かかる構成の真空バルブにおい
て、前記接点補強が鍋形部の縁端から外径方向につば部
が広がるように形成され、鍋形部の底部が固定ロッドま
たは可動ロッドの端面に接合され、つば部が固定接点ま
たは可動接点に接合されることによって、縦磁界を外径
側に広く均一に分布させることができ、真空バルブの寿
命が従来より延びるようになる。

【００２８】かかる構成の真空バルブにおいて、前記接
点補強のつば部の内径側に周回溝が形成されることによ
って、縦磁界の分布を外径側にさらに広く均一に分布さ
せることができ、真空バルブの寿命がさらに延びるよう
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例にかかる真空バルブの構成を
示す断面図

【図２】図１のアークシールドの内部構成を示す要部斜
視図

【図３】図２の固定接点周りの構成を示す要部断面図

【図４】この発明の異なる実施例にかかる真空バルブの
コイル補強の構成を示す平面図

【図５】この発明のさらに異なる実施例にかかる真空バ
ルブの固定接点周りの構成を示す要部断面図

【図６】この発明のさらに異なる実施例にかかる真空バ
ルブの固定接点周りの構成を示す要部断面図

【図７】真空バルブの開離間隙中の縦磁界強度の分布図

【図８】従来の真空バルブの構成を示す断面図

【図９】図８のアークシールドの内部構成を示す要部斜
視図

【図１０】図９の固定側のコイル部の構成を示す平面図

【図１１】図９のＡ−Ａ断面図

【図１２】図１１のＢ−Ｂ断面図

【符号の説明】

１：真空容器、２Ａ，２Ｂ：金属フランジ、３Ａ：固定
ロッド、３Ｂ：可動ロッド、４：アークシールド、５：
ベローズ、６：ベローズカバー、７Ａ：固定接点、７
Ｂ：可動接点、８，１７，１８，３６：コイル補強、１
７Ａ，３８Ａ、２２、１６：円筒部、１７Ｂ，３８Ｂ：
底部、１８Ａ：貫通穴、９，２０，２５：接点補強、１
０：コイル部、１１：凸部、１２：円弧部、１３：リン
グ部、１４：腕部、２３：鍋底部、１５，２４：つば
部、２４Ａ：周回溝、２８：端部、２９：開離間隙

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁性の真空容器の両端が金属フランジで
   接合されるとともに、真空容器の内部に互いに接離可能
   な固定接点と可動接点とが収納され、固定接点および可
   動接点がそれぞれ周方向に電流を流すコイル部を介して
   固定ロッドおよび可動ロッドの一方端に接合され、固定
   ロッドの他方端が金属フランジを気密に貫通して外部に
   引き出され、可動ロッドの他方端が金属フランジに気密
   に接合されたベローズを介して気密に外部に引き出さ
   れ、ベローズの可動ロッド側は金属製のベローズカバー
   で覆われ、コイル補強がコイル部に接合されてなる真空
   バルブにおいて、前記コイル補強が筒部と底部とでカッ
   プ状に形成され、底部がコイル部に接合されるととも
   に、筒部が固定ロッドまたは可動ロッドを覆うように構
   成されたことを特徴とする真空バルブ。
2. 【請求項２】請求項１に記載の真空バルブにおいて、前
   記コイル補強の底部に複数の貫通穴を散在させたことを
   特徴とする真空バルブ。
3. 【請求項３】請求項１に記載の真空バルブにおいて、前
   記コイル補強をベローズカバーとしたことを特徴とする
   真空バルブ。
4. 【請求項４】絶縁性の真空容器の両端が金属フランジで
   接合されるとともに、真空容器の内部に互いに接離可能
   な固定接点と可動接点とが収納され、固定接点および可
   動接点がそれぞれ周方向に電流を流すコイル部を介して
   固定ロッドおよび可動ロッドの一方端に接合され、固定
   ロッドの他方端が金属フランジを気密に貫通して外部に
   引き出され、可動ロッドの他方端が金属フランジに気密
   に接合されたベローズを介して気密に外部に引き出さ
   れ、ベローズの可動ロッド側は金属製のベローズカバー
   で覆われ、接点補強が固定接点と固定ロッドまたは可動
   接点と可動ロッドとに接合されてなる真空バルブにおい
   て、前記接点補強が磁性体で形成されたことを特徴とす
   る真空バルブ。
5. 【請求項５】請求項４に記載の真空バルブにおいて、前
   記接点補強が鍋形部の縁端から外径方向につば部が広が
   るように形成され、鍋形部の底部が固定ロッドまたは可
   動ロッドの端面に接合され、つば部が固定接点または可
   動接点に接合されたことを特徴とする真空バルブ。
6. 【請求項６】請求項５に記載の真空バルブにおいて、前
   記接点補強のつば部の内径側に周回溝が形成されたこと
   を特徴とする真空バルブ。