JPH11195630A

JPH11195630A - ブラシスクラバ用チャック

Info

Publication number: JPH11195630A
Application number: JP36760997A
Authority: JP
Inventors: Noriyoshi Yokosuka; 憲善横須賀; Yokou Kaku; 誉綱郭
Original assignee: ENYA SYSTEM KK
Current assignee: ENYA SYSTEM KK
Priority date: 1997-12-26
Filing date: 1997-12-26
Publication date: 1999-07-21
Anticipated expiration: 2017-12-26
Also published as: JP3026077B2

Abstract

(57)【要約】【課題】ブラシスクラバにおいて、ピンの移動を電気
的に制御でき、ウエ−ハの周縁領域までブラシ洗浄でき
るようにしたブラシスクラバ用チャックを提供する。【解決手段】チャックベ−ス（１）の円周方向に作動
片（４）を揺動可能に設ける。この作動片（４）には、
ウエ−ハ（３）の洗浄面よりも突出しない長さの押えピ
ン(6a)を有する作動片(4a)と、ウエ−ハを保持する保持
ピン(6b)を有する作動片(4b)があり、これらが、円周方
向に交互に設けられている。上記作動片(4a)，(4b)は電
磁石により上記各ピン(6a)，(6b)がウエ−ハの周縁部に
接する方向に揺動する。ブラシスクラバする際は、上記
押えピン(6a)でウエ−ハ（３）の周縁を支持して行う。
スピン乾燥する際は、保持ピン(6b)でもウエ−ハ（３）
の周縁を保持してウエ−ハを回転させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程等
で使用されるブラシスクラバに関し、特に該ブラシスク
ラバにおいてウエ−ハを保持するチャックに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】ブラシスクラバは、半導体製造工程の各
所で使用され、回転するブラシを洗浄液をかけながらウ
エ−ハの洗浄面に押し当て該面に沿って移動し、ウエ−
ハ表面の付着物を除去し、洗浄後は高速でウエ−ハを回
転してスピン乾燥させるよう構成されている。この際、
上記ウエ−ハは、回転した際に飛び出さないようチャッ
クベ−ス上に設けた洗浄面より突出する長さのピンで周
縁部が保持されているので、従来のブラシスクラバでは
ウエ−ハの周縁部に突出する上記ピンに接触しないよう
にするため、該ウエ−ハの周縁領域までブラシを移動さ
せることができず、全面を洗浄することがむずかしかっ
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の解決課題は、
上記のようにブラシを洗浄面に押し当てて洗浄するよう
にしたブラシスクラバにおいて、ウエ−ハの周縁領域ま
でスクラブ洗浄することができるようにしたブラシスク
ラバ用チャックを提供することである。

【０００４】また、本発明の解決課題は、ブラシスクラ
バにおいてウエ−ハを保持するピンの制御を電気的操作
で簡単に行うことができるようにしたブラシスクラバ用
チャックを提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、ウエ−
ハを載置するチャックベ−スに該ウエ−ハを取り囲んで
上方に突出するピンを有する複数の作動片を揺動可能に
設け、該ピンがウエ−ハの周縁に接離する方向に上記作
動片を電磁作用により揺動させるよう電磁手段を形成
し、上記ピンをウエ−ハの洗浄面より上方に突出しない
長さの押えピンとウエ−ハの周縁を保持する保持ピンで
構成したことを特徴とするブラシスクラバ用チャックが
提供され、上記課題が解決される。

【０００６】本発明のチャックを備えたスクラブ洗浄機
でウエ−ハをブラシ洗浄する際は、上記電磁手段を操作
して押えピンを有する作動片を揺動し、該押えピンをウ
エ−ハの周縁に当接させてウエ−ハを支持した状態で行
う。このとき、該ウエ−ハの周縁の上方には上記押えピ
ンが突出しないので、ウエ−ハの上面にブラシを押し当
ててその周縁領域までも洗浄することができる。スピン
乾燥する際は、上記保持ピンを有する作動片もウエ−ハ
の周縁に当接させてウエ−ハを支持すれば、ウエ−ハは
一層確実に保持され、高速で回転させても該チャックか
らウエ−ハが飛び出すおそれはない。

【０００７】

【発明の実施の形態】図において、チャックベ−ス
（１）は、図示を省いた駆動源により回転されるよう回
転可能に設けられている。該チャックベ−ス（１）上に
突設した支持ピン（２）・・・上にはウエ−ハ（３）が
載置され、該ウエ−ハ（３）を取り囲むように複数の作
動片（４）・・・がチャックベ−スの円周方向に間隔を
あけて揺動可能に枢着（５）されている。

【０００８】上記作動片（４）の一端には、上方に突出
するピン（６）を設けてあるが、該ピンは作動片に応じ
て異なるものが設けられている。該ピン（６）として
は、押えピン(6a)・・・と保持ピン(6b)・・・があり、
作動片(4a)に設けた押えピン(6a)・・・はその先端がウ
エ−ハ（３）の洗浄面（上面）（７）より上方に突出し
ない長さ、すなわち上記洗浄面（７）と同じ高さ若しく
はそれより約0.１〜0.２mm程度低くなるように設けてあ
る。一方、作動片(4b)に設けた保持ピン(6b)・・・は、
上記ウエ−ハ（３）を確実に保持することができるよう
上記洗浄面（７）より上方に数mm程度突出する長さ若し
くは図に示すように適宜の係合縁（８）を有する形状に
形成することができる。なお、上記押えピン(6a)・・・
及び保持ピン(6b)・・・は円柱状に形成してあるが、三
角柱、六角柱その他の角柱状や段付の柱状に形成するこ
ともでき、上記作動片(4a)と作動片(4b)は円周方向に交
互に設けられている。

【０００９】上記押えピン(6a)・・・及び保持ピン(6b)
・・・等のピン（６）は、上記作動片（４）に１本づつ
設けてもよいが、好ましくは図に示すように複数本の、
例えば２本のピンを基板（９）上に並列して設け、該基
板（９）を上記作動片（４）に枢軸(10)で回動可能に枢
着して設けるとよい（図６（Ａ），（Ｂ））。このよう
に回動可能に設ければ、図７に示すようにウエ−ハ
（３）のオリフラやノッチ(11)に一方のピン（６）が当
って入り込んでもウエ−ハ（３）の周縁に他方のピン
（６）を当接させることができ、ウエ−ハがどのような
位置で載置されていても三点保持が可能である。

【００１０】上記作動片（４）・・・を電磁作用により
揺動させるよう電磁手段が形成されている。該電磁手段
は、図においてはチャックベ−ス（１）側に電磁石(12)
を設け、作動片（４）側に永久磁石(13)を設け、上記電
磁石の極性を変えることにより上記作動片を電磁石側に
吸引し若しくは反発するようにしてある。上記永久磁石
と電磁石は上記の如き電磁作用を奏することができるの
であれば、いずれ側の部材に設けてもよいし、両部材に
電磁石を設けてもよい。また、上記作動片（４）に磁性
体を設け、若しくは磁性体で作り、外方に揺動する方向
にばね等で付勢しておけば、永久磁石を用いないで構成
することもできる（図示略）。

【００１１】上記電磁手段は、上記押えピン(6a)を有す
る作動片(4a)の作動片群と、保持ピン(6b)を有する作動
片(4b)の作動片群ごとに独立して制御できるように制御
回路を設けてあり、適時に上記作動片(4a)，(4b)を操作
する。

【００１２】上記作動片(4a)，(4b)は、上記電磁手段に
より揺動されるが、さらに好ましくはチャックベ−スが
回転した際の遠心力で上記ピン(6a)，(6b)がウエ−ハの
周縁に近づく方向へ揺動するように枢着（５）されてい
る。この際、図においては中央から上記ピンを設けた側
に偏位した部分を枢着してあるが、適宜の重り等を設け
れば中央部で枢着することもできる。なお、上記チャッ
クベ−ス（１）には、先端が上記作動片の一端に当接す
るよう調整ねじ等の調整具(14)を設けてあり、該調整具
(14)により上記作動片の揺動範囲を調整している。

【００１３】図８に示すように、上記作動片(4a)，(4b)
の各ピン(6a)，(6b)が外方に移動している状態でウエ−
ハ（３）をロボット等でチャックに搬入し、上記支持ピ
ン（２）上に載置する。そして、上記押えピン(6a)を有
する作動片(4a)を電磁手段で揺動させ、該押えピン(6a)
をウエ−ハ（３）の周縁に当接し（図９）、ウエ−ハを
回転させながら図示を省いたブラシを上記ウエ−ハの洗
浄面に押し付け周縁部までブラシスクラバ洗浄する。そ
の後、リンス等を行い、スピン乾燥する際は、図１０に
示すように上記保持ピン(6b)を有する作動片(4b)を電磁
手段で揺動させ、ウエ−ハの周縁を確実に保持した状態
で該ウエ−ハを高速回転すればよい。ウエ−ハをチャッ
クから取り出す際は、上記電磁手段を操作して上記図８
に示す状態に上記作動片を揺動させて行えばよい。

【００１４】

【発明の効果】本発明は上記のように構成され、ブラシ
スクラバにおいて、ウエ−ハの周縁部に当接するピンと
して該ウエ−ハの洗浄面より上方に突出しない長さの押
えピンと該ウエ−ハの周縁を確実に保持する保持ピンを
具備し、該押えピンをウエ−ハの周縁部に当接した状態
でブラシスクラバするようにしたから、ウエ−ハの周縁
領域までブラシを移動させて該ウエ−ハの全面を洗浄す
ることができ、スピン乾燥時には上記保持ピンでウエ−
ハの周縁を保持するようにしたので、該ウエ−ハを高速
回転しても該ウエ−ハがチャックから飛び出さないよう
にできる。また、上記ピンを有する作動片を電磁手段で
揺動させるようにしたから、従来のようにピンの開閉に
負荷となるような摩擦部や機械的な駆動部がなくなり、
ダストの発生がなく円滑な操作が可能であり、電磁手段
の電磁石に流す電流をコントロ−ルすることによりピン
の接触強さを強くしたり、ソフトにしたり適宜に調整す
ることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す平面図。

【図２】押えピンを有する作動片の平面図。

【図３】保持ピンを有する作動片の平面図。

【図４】押えピンを有する作動片の断面図。

【図５】保持ピンを有する作動片の断面図。

【図６】作動片を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面
図。

【図７】ウエ−ハのノッチにピンが接した状態を示す説
明図。

【図８】ピンがウエ−ハに接していない状態の説明図。

【図９】押えピンがウエ−ハに接した状態の説明図。

【図10】押えピン及び保持ピンがウエ−ハに接した状態
の説明図。

【符号の説明】

１チャックベ−ス３ウエ−ハ４，4a，4b 作動片 6a 押えピン 6b 保持ピン 12 電磁石 13 永久磁石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ウエ−ハを載置するチャックベ−スに該
ウエ−ハを取り囲んで上方に突出するピンを有する複数
の作動片を揺動可能に設け、該ピンがウエ−ハの周縁に
接離する方向に上記作動片を電磁作用により揺動させる
よう電磁手段を形成し、上記ピンはウエ−ハの洗浄面よ
り上方に突出しない長さの押えピンとウエ−ハの周縁を
保持する保持ピンで構成されているブラシスクラバ用チ
ャック。
【請求項２】上記押えピンを有する作動片と保持ピン
を有する作動片は、チャックベ−スの円周方向に交互に
設けられ、押えピンを有する作動片群及び保持ピンを有
する作動片群ごとに電磁手段で制御される請求項１に記
載のブラシスクラバ用チャック。
【請求項３】上記作動片は、チャックベ−スが回転し
た際の遠心力で上記ピンがウエ−ハの周縁に近づく方向
へ揺動するように枢着されている請求項１に記載のブラ
シスクラバ用チャック。
【請求項４】上記電磁手段は、上記作動片を吸引し若
しくは反発する請求項１に記載のブラシスクラバ用チャ
ック。
【請求項５】上記電磁手段は、電磁石及び永久磁石を
含んでいる請求項４に記載のブラシスクラバ用チャッ
ク。
【請求項６】上記押えピン若しくは保持ピンは、上記
作動片に並列状態で回動するによう複数本設けられてい
る請求項１または２に記載のブラシスクラバ用チャッ
ク。
【請求項７】上記チャックベ−スには、上記作動片の
揺動範囲を調整する調整具が設けられている請求項１に
記載のブラシスクラバ用チャック。