JPH11195819A - 圧電構造体及びその製造方法 - Google Patents
圧電構造体及びその製造方法Info
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- JPH11195819A JPH11195819A JP36140797A JP36140797A JPH11195819A JP H11195819 A JPH11195819 A JP H11195819A JP 36140797 A JP36140797 A JP 36140797A JP 36140797 A JP36140797 A JP 36140797A JP H11195819 A JPH11195819 A JP H11195819A
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- Japan
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- piezoelectric
- electrodes
- piezoelectric structure
- electrode
- piezoelectric substrate
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 端子電極の形成が容易なタイプのものはクラ
ックが入り易く、クラックが入りにくいタイプのものは
端子電極の形成が面倒で精度を要した。 【解決手段】 圧電基板１１ａ、１１ｂと２枚の電極１
２ａ、１２ｂとを渦巻状に巻いて円柱状に成形し、その
外周端部に電極１２ａ、１２ｂの一端部を露出させる構
成とする。
ックが入り易く、クラックが入りにくいタイプのものは
端子電極の形成が面倒で精度を要した。 【解決手段】 圧電基板１１ａ、１１ｂと２枚の電極１
２ａ、１２ｂとを渦巻状に巻いて円柱状に成形し、その
外周端部に電極１２ａ、１２ｂの一端部を露出させる構
成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電構造体及びその
製造方法に関し、より詳細には、圧電アクチュエータ等
を構成し、精密機器における精密駆動に使用される圧電
構造体及びその製造方法に関する。
製造方法に関し、より詳細には、圧電アクチュエータ等
を構成し、精密機器における精密駆動に使用される圧電
構造体及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種圧電構造体は現在のところ大きく
分けると２種類に分けられ、そのうちの一つのタイプを
図５に示す。
分けると２種類に分けられ、そのうちの一つのタイプを
図５に示す。
【０００３】図５に示した圧電構造体５０では、圧電基
板５１上にそれぞれ左右の端部を残す形態で電極５２ａ
のグループ、電極５２ｂのグループが形成されており、
これら圧電基板５１の例えば１００〜３００枚程度が積
層されて構成されている。このタイプにおける端子電極
（図示せず）は圧電構造体５０の左右両側面全面に形成
することにより容易に形成することができる。
板５１上にそれぞれ左右の端部を残す形態で電極５２ａ
のグループ、電極５２ｂのグループが形成されており、
これら圧電基板５１の例えば１００〜３００枚程度が積
層されて構成されている。このタイプにおける端子電極
（図示せず）は圧電構造体５０の左右両側面全面に形成
することにより容易に形成することができる。
【０００４】図６に異なるタイプの圧電構造体を示す。
図６に示した圧電構造体６０では、圧電基板６１上の全
面に電極６２が形成されたものが多数枚積層されて構成
されており、圧電構造体６０自体の製作は容易なものと
なっている。
図６に示した圧電構造体６０では、圧電基板６１上の全
面に電極６２が形成されたものが多数枚積層されて構成
されており、圧電構造体６０自体の製作は容易なものと
なっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図５に示したタイプの
圧電構造体５０では、上記したように端子電極の形成
は、圧電構造体５０の両側面全面にスクリーン印刷等に
より容易に行うことができる。しかしながら互いに齟齬
する電極５２ａ、５２ｂの形成・積層が面倒であると共
に、端子電極を形成後、電界を印加しての使用中、電極
５２ａ、電極５２ｂの端部近傍における圧電基板５１に
は、電界が作用する部分と作用しない部分とが生じ、圧
電基板５１にクラックが生じ易いといった課題があっ
た。
圧電構造体５０では、上記したように端子電極の形成
は、圧電構造体５０の両側面全面にスクリーン印刷等に
より容易に行うことができる。しかしながら互いに齟齬
する電極５２ａ、５２ｂの形成・積層が面倒であると共
に、端子電極を形成後、電界を印加しての使用中、電極
５２ａ、電極５２ｂの端部近傍における圧電基板５１に
は、電界が作用する部分と作用しない部分とが生じ、圧
電基板５１にクラックが生じ易いといった課題があっ
た。
【０００６】他方、図６に示したタイプの圧電構造体６
０では、上記したように電極６２を圧電基板６１の全面
に形成すればよく、圧電構造体６０自体の製作は図５に
示したものよりは容易であるが、端子電極の形成が面倒
で精度を要するものとなるといった課題があった。
０では、上記したように電極６２を圧電基板６１の全面
に形成すればよく、圧電構造体６０自体の製作は図５に
示したものよりは容易であるが、端子電極の形成が面倒
で精度を要するものとなるといった課題があった。
【０００７】図７は圧電構造体６０の両側面に端子電極
６４、６４が形成された状態のものを示しているが、圧
電構造体６０の両側全面にそのまま端子電極６４、６４
を形成したのではショート状態となり、極性が出ないた
め、圧電構造体６０の両側面それぞれが齟齬する状態で
一層おきに絶縁シール部材６３ａ、６３ｂを形成した
後、端子電極６４を形成しなければならず、これら絶縁
シール部材６３ａ、６３ｂの形成が通常数十μｍおきの
作業となるため、精度を要し、手間取る作業となるとい
った課題があった。
６４、６４が形成された状態のものを示しているが、圧
電構造体６０の両側全面にそのまま端子電極６４、６４
を形成したのではショート状態となり、極性が出ないた
め、圧電構造体６０の両側面それぞれが齟齬する状態で
一層おきに絶縁シール部材６３ａ、６３ｂを形成した
後、端子電極６４を形成しなければならず、これら絶縁
シール部材６３ａ、６３ｂの形成が通常数十μｍおきの
作業となるため、精度を要し、手間取る作業となるとい
った課題があった。
【０００８】本発明は上記課題に鑑みなされたものであ
って、積層電極の形成が容易であると共に、電界を印加
しての使用中においても圧電基板にクラックが生じにく
く、しかも端子電極の形成も容易な圧電構造体及びその
製造方法を提供することを目的としている。
って、積層電極の形成が容易であると共に、電界を印加
しての使用中においても圧電基板にクラックが生じにく
く、しかも端子電極の形成も容易な圧電構造体及びその
製造方法を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る圧電構造体（１）は、圧電基板と２枚
の電極とが渦巻状に巻かれた状態で円柱状に成形され、
その外周端部に前記２枚の電極の一端部が露出している
ことを特徴としている。
に、本発明に係る圧電構造体（１）は、圧電基板と２枚
の電極とが渦巻状に巻かれた状態で円柱状に成形され、
その外周端部に前記２枚の電極の一端部が露出している
ことを特徴としている。
【００１０】上記圧電構造体（１）によれば、従来のよ
うに、多数枚の圧電基板と電極とを積層する必要がな
く、また前記２枚の電極の一端部が露出していることか
ら、この部分を従来の端子電極として用いることがで
き、特に従来のものにおけるような端子電極を形成する
必要がなく、その製造が極めて容易なものとなる。ま
た、圧電基板の略全面に前記２枚の電極が存在してお
り、電界の印加される部分と印加されない部分との存在
により前記圧電基板にクラックが生じるといったことも
ない。
うに、多数枚の圧電基板と電極とを積層する必要がな
く、また前記２枚の電極の一端部が露出していることか
ら、この部分を従来の端子電極として用いることがで
き、特に従来のものにおけるような端子電極を形成する
必要がなく、その製造が極めて容易なものとなる。ま
た、圧電基板の略全面に前記２枚の電極が存在してお
り、電界の印加される部分と印加されない部分との存在
により前記圧電基板にクラックが生じるといったことも
ない。
【００１１】また、本発明に係る圧電構造体（２）は、
圧電基板と２枚の電極とが渦巻状に巻かれた状態で筒状
に成形され、その外周端部に前記２枚の電極の一端部が
露出していることを特徴としている。
圧電基板と２枚の電極とが渦巻状に巻かれた状態で筒状
に成形され、その外周端部に前記２枚の電極の一端部が
露出していることを特徴としている。
【００１２】上記圧電構造体（２）によれば、中心部に
おける曲率が小さくなり、前記圧電基板と電極との巻装
が容易となる。
おける曲率が小さくなり、前記圧電基板と電極との巻装
が容易となる。
【００１３】また、本発明に係る圧電構造体の製造方法
（１）は、上記圧電構造体（１）の製造方法において、
圧電基板となるグリーンシートを形成する工程、該グリ
ーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成する工
程、前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２
枚を積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱し
ながら巻装する工程、静水圧プレスにより加圧成形する
工程、及び焼成工程を含むことを特徴としている。
（１）は、上記圧電構造体（１）の製造方法において、
圧電基板となるグリーンシートを形成する工程、該グリ
ーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成する工
程、前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２
枚を積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱し
ながら巻装する工程、静水圧プレスにより加圧成形する
工程、及び焼成工程を含むことを特徴としている。
【００１４】上記圧電構造体の製造方法（１）によれ
ば、従来のように多数枚のグリーンシートに導体ペース
ト層を形成して積層する必要がなく、導体ペースト層が
形成された２枚のグリーンシートを巻装すればよく、そ
の製造が極めて容易なものとなる。
ば、従来のように多数枚のグリーンシートに導体ペース
ト層を形成して積層する必要がなく、導体ペースト層が
形成された２枚のグリーンシートを巻装すればよく、そ
の製造が極めて容易なものとなる。
【００１５】また、本発明に係る圧電構造体の製造方法
（２）は、上記圧電構造体（２）の製造方法において、
圧電基板となるグリーンシートを形成する工程、該グリ
ーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成する工
程、前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２
枚を積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱し
ながら焼成により焼失する芯材と共に巻装する工程、静
水圧プレスにより加圧成形する工程、及び焼成工程を含
むことを特徴としている。
（２）は、上記圧電構造体（２）の製造方法において、
圧電基板となるグリーンシートを形成する工程、該グリ
ーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成する工
程、前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２
枚を積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱し
ながら焼成により焼失する芯材と共に巻装する工程、静
水圧プレスにより加圧成形する工程、及び焼成工程を含
むことを特徴としている。
【００１６】上記圧電構造体の製造方法（２）によれ
ば、導体ペースト層が形成された２枚のグリーンシート
の巻装をより容易に行うことができるようになる。
ば、導体ペースト層が形成された２枚のグリーンシート
の巻装をより容易に行うことができるようになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に係る
圧電構造体及びその製造方法を図面に基づいて説明す
る。
圧電構造体及びその製造方法を図面に基づいて説明す
る。
【００１８】図１は、実施の形態に係る圧電構造体を示
す模式的斜視図であり、図中１１ａ及び１１ｂは厚さ数
十μｍの圧電基板を示している。圧電基板１１ａ、１１
ｂの間には電極１２ａ、１２ｂが介装されており、これ
ら圧電基板１１ａ、１１ｂ、電極１２ａ、１２ｂの全体
が渦巻状に巻かれて円柱状の圧電構造体１０が構成され
ている。電極１２ｂは外周面に露出しており、電極１２
ａはその端部が圧電基板１１ｂから露出しており、これ
ら電極１２ａ、１２ｂの端部自体が従来の端子電極の機
能も有している。そしてこれら電極１２ａ、１２ｂの端
部が電源１５に接続されて電界の印加が可能となってい
る。
す模式的斜視図であり、図中１１ａ及び１１ｂは厚さ数
十μｍの圧電基板を示している。圧電基板１１ａ、１１
ｂの間には電極１２ａ、１２ｂが介装されており、これ
ら圧電基板１１ａ、１１ｂ、電極１２ａ、１２ｂの全体
が渦巻状に巻かれて円柱状の圧電構造体１０が構成され
ている。電極１２ｂは外周面に露出しており、電極１２
ａはその端部が圧電基板１１ｂから露出しており、これ
ら電極１２ａ、１２ｂの端部自体が従来の端子電極の機
能も有している。そしてこれら電極１２ａ、１２ｂの端
部が電源１５に接続されて電界の印加が可能となってい
る。
【００１９】圧電基板１１ａ、１１ｂの構成材料には圧
電特性を有するＢａＴｉＯ3 （チタン酸バリウム）、Ｐ
ｂＴｉＯ3 （チタン酸鉛）やＰｂＺｒＯ3 （ジルコン酸
鉛）等の圧電磁器材料単体が用いられたり、ＰＺＴ（Ｐ
ｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3 ）、ＰＬＺＴ（（Ｐｂ、Ｌａ）
（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3 ）等の多成分系圧電磁器材料が用い
られ、電極１２ａ、１２ｂの構成材料にはＡｇ、Ａｇ／
Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｇ／Ｐｔ等、上記圧電磁器材料と焼成収
縮特性がよく似た金属材料が用いられる。
電特性を有するＢａＴｉＯ3 （チタン酸バリウム）、Ｐ
ｂＴｉＯ3 （チタン酸鉛）やＰｂＺｒＯ3 （ジルコン酸
鉛）等の圧電磁器材料単体が用いられたり、ＰＺＴ（Ｐ
ｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3 ）、ＰＬＺＴ（（Ｐｂ、Ｌａ）
（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ3 ）等の多成分系圧電磁器材料が用い
られ、電極１２ａ、１２ｂの構成材料にはＡｇ、Ａｇ／
Ｐｄ、Ｐｔ、Ａｇ／Ｐｔ等、上記圧電磁器材料と焼成収
縮特性がよく似た金属材料が用いられる。
【００２０】次に上記圧電構造体の製造方法を図２に基
づいて説明する。
づいて説明する。
【００２１】まず、圧電磁器材料粉末にＰＶＢ（ポリビ
ニルブラチール）樹脂等の結合剤、及びトルエン、アセ
トン等の溶剤を配合し、よく混合攪拌した後、ドクター
ブレード法等を用いてグリーンシートを形成し、所定の
大きさに切断してグリーンシート１６ａ、１６ｂを形成
する（図２（ａ））。
ニルブラチール）樹脂等の結合剤、及びトルエン、アセ
トン等の溶剤を配合し、よく混合攪拌した後、ドクター
ブレード法等を用いてグリーンシートを形成し、所定の
大きさに切断してグリーンシート１６ａ、１６ｂを形成
する（図２（ａ））。
【００２２】次に例えばＡｇ：Ｐｄ＝７０：３０の割合
の金属成分を含んだ導体ペーストをグリーンシート１６
ａ、１６ｂの上にスクリーン印刷法等により塗布して導
体ペースト層１７ａ、１７ｂを形成する（図２
（ｂ））。
の金属成分を含んだ導体ペーストをグリーンシート１６
ａ、１６ｂの上にスクリーン印刷法等により塗布して導
体ペースト層１７ａ、１７ｂを形成する（図２
（ｂ））。
【００２３】これら導体ペースト層１７ａ、１７ｂが形
成されたグリーンシート１６ａ、１６ｂを積層し、圧着
させた後（図２（Ｃ））、図中下面にブチラール系接着
剤等を塗布し、９０℃程度の温度に加熱しながら渦巻状
に巻装し、円柱状の成形体１８を形成する（図２
（ｄ））。
成されたグリーンシート１６ａ、１６ｂを積層し、圧着
させた後（図２（Ｃ））、図中下面にブチラール系接着
剤等を塗布し、９０℃程度の温度に加熱しながら渦巻状
に巻装し、円柱状の成形体１８を形成する（図２
（ｄ））。
【００２４】この後静水圧プレス法により加圧して成形
体１８を強固なものとしておく。
体１８を強固なものとしておく。
【００２５】次に大気中で焼成し、圧電構造体１０を形
成する（図２（ｅ））。
成する（図２（ｅ））。
【００２６】その後、電極１２ａ、１２ｂの露出した端
部に電源１５からの接続端子を取り付ける（図１）。
部に電源１５からの接続端子を取り付ける（図１）。
【００２７】上記構成の圧電構造体１０によれば、従来
のように、多数枚の圧電基板と電極とを積層する必要が
なく、また、電極１２ａ、１２ｂの一端部が圧電基板１
１ａ、１１ｂの端部から露出していることから、この露
出部分を従来の端子電極として利用することができ、特
に従来の端子電極に相当する部分を形成する必要がなく
なり、その製造が極めて容易なものとなる。また、圧電
基板１１ａ、１１ｂの略全域に電極１２ａ、１２ｂが存
在する構成となっており、圧電基板１１ａ、１１ｂに電
界の印加される部分と印加されない部分との共存はない
ため、圧電基板１１ａ、１１ｂにクラックが生じるとい
ったことも防止することができる。
のように、多数枚の圧電基板と電極とを積層する必要が
なく、また、電極１２ａ、１２ｂの一端部が圧電基板１
１ａ、１１ｂの端部から露出していることから、この露
出部分を従来の端子電極として利用することができ、特
に従来の端子電極に相当する部分を形成する必要がなく
なり、その製造が極めて容易なものとなる。また、圧電
基板１１ａ、１１ｂの略全域に電極１２ａ、１２ｂが存
在する構成となっており、圧電基板１１ａ、１１ｂに電
界の印加される部分と印加されない部分との共存はない
ため、圧電基板１１ａ、１１ｂにクラックが生じるとい
ったことも防止することができる。
【００２８】図３は別の実施の形態に係る圧電構造体を
示しており、この圧電構造体２０は、中空部２３を有し
ている点において図１に示した圧電構造体１０と相違し
ており、従って圧電構造体２０は全体として筒形状とな
っている。その他の構成は図１に示した圧電構造体１０
と同様であるのでここではその詳細な説明を省略する。
示しており、この圧電構造体２０は、中空部２３を有し
ている点において図１に示した圧電構造体１０と相違し
ており、従って圧電構造体２０は全体として筒形状とな
っている。その他の構成は図１に示した圧電構造体１０
と同様であるのでここではその詳細な説明を省略する。
【００２９】圧電構造体２０によれば、中空部２３にお
ける曲率が小さいので巻装の際に中心部にかかる負担が
少なくなり、圧電基板２１ａ、２１ｂにひび割れ等が生
じにくくなる。
ける曲率が小さいので巻装の際に中心部にかかる負担が
少なくなり、圧電基板２１ａ、２１ｂにひび割れ等が生
じにくくなる。
【００３０】図４は圧電構造体２０の主な製造工程を示
す斜視図であり、図２に示した圧電構造体１０の製造工
程と相違する点は図４（ｄ）に示した巻装工程において
後の焼成工程において焼失する芯材２８を用いて巻装を
行っている点である。その他の工程は図２に示した圧電
構造体１０の製造工程と同様であるのでここではその詳
細な説明を省略する。
す斜視図であり、図２に示した圧電構造体１０の製造工
程と相違する点は図４（ｄ）に示した巻装工程において
後の焼成工程において焼失する芯材２８を用いて巻装を
行っている点である。その他の工程は図２に示した圧電
構造体１０の製造工程と同様であるのでここではその詳
細な説明を省略する。
【００３１】図４に示した圧電構造体２０の製造方法に
よれば、芯材２８を用いてグリーンシート１６ａ、１６
ｂの巻装を行うので、その巻装が容易となり、また巻装
時にグリーンシート１６ａ，１６ｂに作用する負担を軽
減することができる。
よれば、芯材２８を用いてグリーンシート１６ａ、１６
ｂの巻装を行うので、その巻装が容易となり、また巻装
時にグリーンシート１６ａ，１６ｂに作用する負担を軽
減することができる。
【００３２】また、上記実施の形態では芯材２８として
焼成により焼失するものを使用する場合について説明し
たが、別の実施の形態では芯材２８としてセラミックの
焼結体等焼失しないものを用いてもよく、この場合には
セラミック原料としては圧電基板２１ａ、２１ｂの構成
材料と同じ原料を用いることが好ましい。
焼成により焼失するものを使用する場合について説明し
たが、別の実施の形態では芯材２８としてセラミックの
焼結体等焼失しないものを用いてもよく、この場合には
セラミック原料としては圧電基板２１ａ、２１ｂの構成
材料と同じ原料を用いることが好ましい。
【図１】本発明の実施の形態に係る圧電構造体を示す模
式的斜視図である。
式的斜視図である。
【図２】（ａ）〜（ｅ）は実施の形態に係る圧電構造体
の製造工程を示す斜視図である。
の製造工程を示す斜視図である。
【図３】別の実施の形態に係る圧電構造体を示す模式的
斜視図である。
斜視図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は実施の形態に係る圧電構造体
の製造工程を示す斜視図である。
の製造工程を示す斜視図である。
【図５】従来の圧電構造体を示す模式的斜視図である。
【図６】従来の別の圧電構造体を示す模式的斜視図であ
る。
る。
【図７】端子電極を形成した状態の圧電構造体を示す模
式的正面図である。
式的正面図である。
１０ 圧電構造体 １１ａ、１１ｂ 圧電基板 １２ａ、１２ｂ 電極 １５ 電源 １６ａ、１６ｂ グリーンシート １７ａ、１７ｂ 導体ペースト層 ２０ 圧電構造体 ２１ａ、２１ｂ 圧電基板 ２３ 中空部 ２８ 芯材
Claims (4)
- 【請求項１】 圧電基板と２枚の電極とが渦巻状に巻か
れた状態で円柱状に成形され、その外周端部に前記２枚
の電極の一端部が露出していることを特徴とする圧電構
造体。 - 【請求項２】 圧電基板と２枚の電極とが渦巻状に巻か
れた状態で筒状に成形され、その外周端部に前記２枚の
電極の一端部が露出していることを特徴とする圧電構造
体。 - 【請求項３】 圧電基板となるグリーンシートを形成す
る工程、 該グリーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成
する工程、 前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２枚を
積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱しなが
ら巻装する工程、 静水圧プレスにより加圧成形する工程、 及び焼成工程、を含むことを特徴とする請求項１記載の
圧電構造体の製造方法。 - 【請求項４】 圧電基板となるグリーンシートを形成す
る工程、 該グリーンシート上に電極となる導体ペースト層を形成
する工程、 前記導体ペースト層が形成されたグリーンシート２枚を
積層し、該積層体の片面に接着剤を塗布して加熱しなが
ら焼成により焼失する芯材と共に巻装する工程、 静水圧プレスにより加圧成形する工程、 及び焼成工程、を含むことを特徴とする請求項２記載の
圧電構造体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36140797A JPH11195819A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 圧電構造体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36140797A JPH11195819A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 圧電構造体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11195819A true JPH11195819A (ja) | 1999-07-21 |
Family
ID=18473453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36140797A Pending JPH11195819A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 圧電構造体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11195819A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6437489B1 (en) | 1999-11-08 | 2002-08-20 | Minolta Co., Ltd. | Actuator utilizing piezoelectric transducer |
| US6545395B2 (en) | 2000-02-17 | 2003-04-08 | Minolta Co., Ltd. | Piezoelectric conversion element having an electroded surface with a non-electrode surface portion at an end thereof |
| US6713944B2 (en) * | 2002-01-02 | 2004-03-30 | Omron Corporation | Actuator and method of manufacturing a strain element |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP36140797A patent/JPH11195819A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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