JPH11197484A - 薬液調製装置および薬液調製方法 - Google Patents
薬液調製装置および薬液調製方法Info
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- JPH11197484A JPH11197484A JP10002136A JP213698A JPH11197484A JP H11197484 A JPH11197484 A JP H11197484A JP 10002136 A JP10002136 A JP 10002136A JP 213698 A JP213698 A JP 213698A JP H11197484 A JPH11197484 A JP H11197484A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】小さいストック槽で停止することなく薬液をラ
インに供給することができる薬液調整装置を提供する。 【解決手段】ストック槽１９は現像ラインの本槽に現像
液を供給する。適宜供給している過程でストック槽１９
にストックされている現像液が少なくなってきたとき、
建浴槽１５で現像液を調整してストック槽１９に供給す
る。建浴槽１５では、計量槽１２から予め大雑把に計量
した薬品が供給され、この組成をセンサ１６でチェック
しながら理想的な組成になるまでポンプ１４で薬品量を
微調整する。これにより、建浴槽１５で素早く理想的な
組成の現像液を調製することができ、これをストック槽
１９に必要に応じて供給することができるため、ストッ
ク槽１９が小さくても薬品切れになることがない。
インに供給することができる薬液調整装置を提供する。 【解決手段】ストック槽１９は現像ラインの本槽に現像
液を供給する。適宜供給している過程でストック槽１９
にストックされている現像液が少なくなってきたとき、
建浴槽１５で現像液を調整してストック槽１９に供給す
る。建浴槽１５では、計量槽１２から予め大雑把に計量
した薬品が供給され、この組成をセンサ１６でチェック
しながら理想的な組成になるまでポンプ１４で薬品量を
微調整する。これにより、建浴槽１５で素早く理想的な
組成の現像液を調製することができ、これをストック槽
１９に必要に応じて供給することができるため、ストッ
ク槽１９が小さくても薬品切れになることがない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント基板の
パターンレジスト現像液などの薬液を調製して、加工工
程に供給する薬液調製装置および薬液調製方法に関す
る。
パターンレジスト現像液などの薬液を調製して、加工工
程に供給する薬液調製装置および薬液調製方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】現像ラインや酸洗浄ラインなどに使用さ
れる現像液や洗浄液は、現像工程，洗浄工程を行ってい
る間に目減りや組成の劣化が生じるため、適宜補充して
やる必要がある。このため、従来より加工ラインに薬液
を補充するストック槽を備え、適宜このストック槽から
加工ラインに薬液を補充するようにしていた。
れる現像液や洗浄液は、現像工程，洗浄工程を行ってい
る間に目減りや組成の劣化が生じるため、適宜補充して
やる必要がある。このため、従来より加工ラインに薬液
を補充するストック槽を備え、適宜このストック槽から
加工ラインに薬液を補充するようにしていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、現像工程や加
工工程を継続すると、ストック槽に蓄えられている薬液
の量も減少してゆく。このため、従来は、係員の作業で
薬液を補給したり、作業期間中に補給をする必要がない
程度に大きいストック槽を備えるようにしていた。しか
し、上記従来の方式では、係員の作業が増えたり、大規
模なストック槽が必要になるなどの欠点があった。
工工程を継続すると、ストック槽に蓄えられている薬液
の量も減少してゆく。このため、従来は、係員の作業で
薬液を補給したり、作業期間中に補給をする必要がない
程度に大きいストック槽を備えるようにしていた。しか
し、上記従来の方式では、係員の作業が増えたり、大規
模なストック槽が必要になるなどの欠点があった。
【０００４】この発明は、小さいストック槽で継続的に
薬液の補充が可能な薬液調製装置および薬液調製方法を
提供することを目的とする。
薬液の補充が可能な薬液調製装置および薬液調製方法を
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この出願の請求項１の発
明は、薬液を加工工程に供給するストック槽と、該薬液
を調製するための複数種類の薬品を貯留する薬品槽と、
該薬品槽から高速に薬品を供給され、所定量の薬品を計
量する計量槽と、該計量槽が計量した薬品が供給される
建浴槽と、該建浴槽内で調製された薬液の組成を検査す
るセンサ手段と、該センサ手段の検出内容に応じて前記
薬品槽から少量の薬品を補給する微調整手段と、該微調
整手段による微調整を終えた薬液を前記ストック槽に供
給するストック手段と、を備えたことを特徴とする。
明は、薬液を加工工程に供給するストック槽と、該薬液
を調製するための複数種類の薬品を貯留する薬品槽と、
該薬品槽から高速に薬品を供給され、所定量の薬品を計
量する計量槽と、該計量槽が計量した薬品が供給される
建浴槽と、該建浴槽内で調製された薬液の組成を検査す
るセンサ手段と、該センサ手段の検出内容に応じて前記
薬品槽から少量の薬品を補給する微調整手段と、該微調
整手段による微調整を終えた薬液を前記ストック槽に供
給するストック手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】この出願の請求項２の発明は、複数種類の
薬品を調合して薬液を調製し、必要に応じて加工工程に
薬液を補給する薬液調製方法であって、加工工程からの
要求に応じてストック槽にストックされている薬液を補
給し、該ストック槽にストックしている薬液量が少なく
なったとき、前記複数種類の薬品が貯留されている薬品
槽から薬品を取り出して計量槽でそれぞれ必要量を概略
計量して建浴槽に投入することによって薬液を調合し、
建浴槽において、前記薬品槽から適宜薬品を補給して調
合された薬液が望ましい組成にしたのち、ストック槽に
供給することを特徴とする。
薬品を調合して薬液を調製し、必要に応じて加工工程に
薬液を補給する薬液調製方法であって、加工工程からの
要求に応じてストック槽にストックされている薬液を補
給し、該ストック槽にストックしている薬液量が少なく
なったとき、前記複数種類の薬品が貯留されている薬品
槽から薬品を取り出して計量槽でそれぞれ必要量を概略
計量して建浴槽に投入することによって薬液を調合し、
建浴槽において、前記薬品槽から適宜薬品を補給して調
合された薬液が望ましい組成にしたのち、ストック槽に
供給することを特徴とする。
【０００７】
【発明の実施の形態】図面を参照してこの発明の実施形
態について説明する。図１はこの発明が適用されるプリ
ント基板の現像システムの構成図である。図２はこの発
明の実施形態である薬液調製装置の構成図である。ま
た、図３は同薬液調製装置の計量槽の構成を示す図であ
る。
態について説明する。図１はこの発明が適用されるプリ
ント基板の現像システムの構成図である。図２はこの発
明の実施形態である薬液調製装置の構成図である。ま
た、図３は同薬液調製装置の計量槽の構成を示す図であ
る。
【０００８】この現像システムは、プリント配線基板の
パターンレジストを現像する現像ライン部２、各種の薬
液建浴機器を備えた薬液調製装置１、および、上記現像
ライン部２，薬液調製装置１などのシステム全体を制御
する制御部３からなっている。現像ライン部２は、現像
工程に現在使用されている現像液を貯留する本槽４、レ
ジスト層に回路パターンが露光されたプリント基板（ワ
ーク）を搬送するコンベア５、コンベア上を搬送される
プリント基板に現像液をスプレーするノズル６、本槽４
内の現像液（薬液）をノズル６に供給するポンプ８を有
している。搬送されてきたプリント基板はコンベア５上
で現像液をスプレーされ、搬送されている間に露光され
たレジストパターン以外の部分が溶融除去される。
パターンレジストを現像する現像ライン部２、各種の薬
液建浴機器を備えた薬液調製装置１、および、上記現像
ライン部２，薬液調製装置１などのシステム全体を制御
する制御部３からなっている。現像ライン部２は、現像
工程に現在使用されている現像液を貯留する本槽４、レ
ジスト層に回路パターンが露光されたプリント基板（ワ
ーク）を搬送するコンベア５、コンベア上を搬送される
プリント基板に現像液をスプレーするノズル６、本槽４
内の現像液（薬液）をノズル６に供給するポンプ８を有
している。搬送されてきたプリント基板はコンベア５上
で現像液をスプレーされ、搬送されている間に露光され
たレジストパターン以外の部分が溶融除去される。
【０００９】一方、前記ポンプ８によって本槽４から吸
い上げられ前記ノズル６に供給される現像液は、その一
部が分岐してサンプリング槽９に供給される。サンプリ
ング槽９は、比重計，電磁センサ，ｐＨセンサなどの各
種センサ２６を有しており、このセンサ２６によって前
記サンプリングされた現像液の組成を検出する。サンプ
リング槽９には、ポンプ８によって常時本槽４から新た
な現像液が供給されているため、常にそのときの本槽４
の現像液の組成を検出することができる。この検出内容
は制御部３に読み込まれる。また、前記本槽４には液レ
ベルセンサ２５が設けられており、この液レベルセンサ
２５の検出値も制御部３に読み込まれる。制御部３はこ
の液レベルセンサ２５の検出値によって現像液のレベル
低下（目減り）を検出する。
い上げられ前記ノズル６に供給される現像液は、その一
部が分岐してサンプリング槽９に供給される。サンプリ
ング槽９は、比重計，電磁センサ，ｐＨセンサなどの各
種センサ２６を有しており、このセンサ２６によって前
記サンプリングされた現像液の組成を検出する。サンプ
リング槽９には、ポンプ８によって常時本槽４から新た
な現像液が供給されているため、常にそのときの本槽４
の現像液の組成を検出することができる。この検出内容
は制御部３に読み込まれる。また、前記本槽４には液レ
ベルセンサ２５が設けられており、この液レベルセンサ
２５の検出値も制御部３に読み込まれる。制御部３はこ
の液レベルセンサ２５の検出値によって現像液のレベル
低下（目減り）を検出する。
【００１０】また、コンベア５の手前には搬送されてく
るプリント配線基板（ワーク）の状態を検出するワーク
センサ７が検出しており、現像工程の負荷量を事前に検
出できるようになっている。ワークセンサ７としては、
例えばＣＣＤカメラなどを用い、レジストパターンの現
像面積などを割り出すようにすればよい。
るプリント配線基板（ワーク）の状態を検出するワーク
センサ７が検出しており、現像工程の負荷量を事前に検
出できるようになっている。ワークセンサ７としては、
例えばＣＣＤカメラなどを用い、レジストパターンの現
像面積などを割り出すようにすればよい。
【００１１】制御部３は、マイクロコンピュータを内蔵
し、センサインタフェースや操作パネルなどを有してお
り、前記液レベルセンサ２５、サンプリング槽９の各種
センサ２６および前記ワークセンサ７から取り込んだ検
出内容に基づいて、薬液調製装置１を動作させ、適量の
現像液を本槽４に補給する。
し、センサインタフェースや操作パネルなどを有してお
り、前記液レベルセンサ２５、サンプリング槽９の各種
センサ２６および前記ワークセンサ７から取り込んだ検
出内容に基づいて、薬液調製装置１を動作させ、適量の
現像液を本槽４に補給する。
【００１２】図２において、薬液調製装置１は、前記現
像ライン部２の本槽４に補給する現像液をストックする
ストック槽１９と、ストック槽１９の現像液を本槽４に
搬送するポンプ２１を有している。このポンプ２１は前
記制御３によって制御される。ストック槽１９にはスト
ックされた現像液のレベル（残量）を検出するための液
レベルセンサ２０が設けられている。この液レベルセン
サ２０の検出値は制御部３によって読み取られる。ま
た、ストック槽１９には新しい現像液を調製する建浴槽
１５がチューブまたはパイプで接続されている。このチ
ューブまたはパイプはバルブ１８で開閉される。このバ
ルブ１８の開閉は制御部３によって制御される。
像ライン部２の本槽４に補給する現像液をストックする
ストック槽１９と、ストック槽１９の現像液を本槽４に
搬送するポンプ２１を有している。このポンプ２１は前
記制御３によって制御される。ストック槽１９にはスト
ックされた現像液のレベル（残量）を検出するための液
レベルセンサ２０が設けられている。この液レベルセン
サ２０の検出値は制御部３によって読み取られる。ま
た、ストック槽１９には新しい現像液を調製する建浴槽
１５がチューブまたはパイプで接続されている。このチ
ューブまたはパイプはバルブ１８で開閉される。このバ
ルブ１８の開閉は制御部３によって制御される。
【００１３】前記建浴槽１５には、現像液の調製に必要
な複数の薬品（純水を含む（以下同じ））を計量して建
浴槽１５に投入する計量槽１２が複数（同図では３個）
チューブまたはパイプで接続されている。各計量槽１２
と建浴槽１５とをつなぐパイプはそれぞれ個別のバルブ
１３で開閉される。また、建浴槽１５には投入された複
数の薬品を循環させて攪拌するためのポンプ１７および
槽内で調製された薬液（現像液）の組成を検出するため
のセンサ１６が設けられている。センサ１６は例えば電
磁センサやｐＨセンサなどで構成することができる。こ
のセンサ１６の検出内容は前記制御部３によって読み取
られ、ポンプ１７の動作は制御部３によって制御され
る。
な複数の薬品（純水を含む（以下同じ））を計量して建
浴槽１５に投入する計量槽１２が複数（同図では３個）
チューブまたはパイプで接続されている。各計量槽１２
と建浴槽１５とをつなぐパイプはそれぞれ個別のバルブ
１３で開閉される。また、建浴槽１５には投入された複
数の薬品を循環させて攪拌するためのポンプ１７および
槽内で調製された薬液（現像液）の組成を検出するため
のセンサ１６が設けられている。センサ１６は例えば電
磁センサやｐＨセンサなどで構成することができる。こ
のセンサ１６の検出内容は前記制御部３によって読み取
られ、ポンプ１７の動作は制御部３によって制御され
る。
【００１４】そして各計量槽１２−１，１２−２，１２
−３にはその槽で計量される薬品を貯留する薬品槽１０
−１，１０−２，１０−３がチューブまたはパイプを介
してポンプ１１−１，１１−２，１１−３で接続されて
いる。また上記３つの薬品槽１０はチューブまたはパイ
プを介してポンプ１４により建浴槽１５に接続されてお
り、このポンプ１４により薬品槽１０の薬品を少量ずつ
建浴槽１５に添加することができる。この添加によって
建浴槽１５内の現像液の組成を微調整する。
−３にはその槽で計量される薬品を貯留する薬品槽１０
−１，１０−２，１０−３がチューブまたはパイプを介
してポンプ１１−１，１１−２，１１−３で接続されて
いる。また上記３つの薬品槽１０はチューブまたはパイ
プを介してポンプ１４により建浴槽１５に接続されてお
り、このポンプ１４により薬品槽１０の薬品を少量ずつ
建浴槽１５に添加することができる。この添加によって
建浴槽１５内の現像液の組成を微調整する。
【００１５】ここで、図３を参照して計量槽１２の構成
を説明する。同図において、計量槽１２は、薬品が供給
される槽本体３０と、この槽本体３０の内部に設けられ
たリミットスイッチ３１およびレベル調整器３２を有し
ている。リミットスイッチ３１は、供給される薬品が所
定のレベル（レベル１）に達したことを検出する。この
レベル１はこの計量槽１２で計量する薬品の必要量であ
る計量レベルよりも若干高いレベルに設定される。この
リミットスイッチ３１のオン／オフは前記制御部３によ
って読み取られる。レベル調整器３２は、逆三角形状の
横穴３２ｂが開設されたパイプ３２ａおよびこのパイプ
３２ａから前記薬品槽１０へ薬品を戻す逆流チューブ３
２ｃからなっている。パイプ３２ａは、横穴３２ｂの下
端が前記計量レベルに合うように設置される。ポンプ１
１の駆動によって薬品槽１０の薬品が槽本体３０に供給
され、薬品のレベルがレベル１になったとき、リミット
スイッチ３１の検出によりポンプ１１が停止する。この
のち、横穴３２ｂから薬品がオーバーフローして薬品レ
ベルが計量レベルまで低下する。上述したようにこの計
量レベルが所定量の現像液を１回調製するために必要な
薬品のレベルである。薬品レベルが計量レベルで安定す
るのを待って制御部３はバルブ１３を開いて計量槽１２
内の薬品を建浴槽１５に投入する。なお、３つの計量槽
１２−１，１２−２，１２−３のリミットスイッチ３１
およびレベル調整器３２は、それぞれ対応する薬品（１
０−１，１０−２，１０−３）の必要量に合わせて設置
されている。
を説明する。同図において、計量槽１２は、薬品が供給
される槽本体３０と、この槽本体３０の内部に設けられ
たリミットスイッチ３１およびレベル調整器３２を有し
ている。リミットスイッチ３１は、供給される薬品が所
定のレベル（レベル１）に達したことを検出する。この
レベル１はこの計量槽１２で計量する薬品の必要量であ
る計量レベルよりも若干高いレベルに設定される。この
リミットスイッチ３１のオン／オフは前記制御部３によ
って読み取られる。レベル調整器３２は、逆三角形状の
横穴３２ｂが開設されたパイプ３２ａおよびこのパイプ
３２ａから前記薬品槽１０へ薬品を戻す逆流チューブ３
２ｃからなっている。パイプ３２ａは、横穴３２ｂの下
端が前記計量レベルに合うように設置される。ポンプ１
１の駆動によって薬品槽１０の薬品が槽本体３０に供給
され、薬品のレベルがレベル１になったとき、リミット
スイッチ３１の検出によりポンプ１１が停止する。この
のち、横穴３２ｂから薬品がオーバーフローして薬品レ
ベルが計量レベルまで低下する。上述したようにこの計
量レベルが所定量の現像液を１回調製するために必要な
薬品のレベルである。薬品レベルが計量レベルで安定す
るのを待って制御部３はバルブ１３を開いて計量槽１２
内の薬品を建浴槽１５に投入する。なお、３つの計量槽
１２−１，１２−２，１２−３のリミットスイッチ３１
およびレベル調整器３２は、それぞれ対応する薬品（１
０−１，１０−２，１０−３）の必要量に合わせて設置
されている。
【００１６】この薬液調製装置１が新しい現像液を調製
してストック槽１９にストックする場合の動作を説明す
る。まず、制御部３が、センサ２５，２６の検出内容な
どにより現像ライン部２の本槽４の現像液が減少または
劣化していると判断した場合に、ポンプ２１を駆動して
ストック槽１９内にストックされている新しい現像液を
本槽４に補給する。補給ののち、制御部３は、ストック
槽１９のレベルセンサ２０の検出値を読み取る。この補
給によってストック槽１９の現像液が少なくなったこと
が検出されたとき、制御部３は、薬液調整装置１の各機
器を動作させて新たな現像液を調製する。
してストック槽１９にストックする場合の動作を説明す
る。まず、制御部３が、センサ２５，２６の検出内容な
どにより現像ライン部２の本槽４の現像液が減少または
劣化していると判断した場合に、ポンプ２１を駆動して
ストック槽１９内にストックされている新しい現像液を
本槽４に補給する。補給ののち、制御部３は、ストック
槽１９のレベルセンサ２０の検出値を読み取る。この補
給によってストック槽１９の現像液が少なくなったこと
が検出されたとき、制御部３は、薬液調整装置１の各機
器を動作させて新たな現像液を調製する。
【００１７】まず、ポンプ１１を動作させて各薬品槽１
０から対応する計量槽１２へ薬品を供給する。計量槽１
２においては、薬品がレベル１まで供給されたときリミ
ットスイッチ３１がオンし、制御部３はこれに対応して
ポンプ１１を停止させる。こののち、計量槽１２内の薬
品のレベルはレベル調整器３２によって計量レベルまで
低下する。薬品レベルが計量レベルで安定するのを待っ
て、制御部３はバルブ１３を開いて薬品を建浴槽１５に
投入する。この動作は３系列の計量槽１２、ポンプ１
１、バルブ１３について個別に行われる。
０から対応する計量槽１２へ薬品を供給する。計量槽１
２においては、薬品がレベル１まで供給されたときリミ
ットスイッチ３１がオンし、制御部３はこれに対応して
ポンプ１１を停止させる。こののち、計量槽１２内の薬
品のレベルはレベル調整器３２によって計量レベルまで
低下する。薬品レベルが計量レベルで安定するのを待っ
て、制御部３はバルブ１３を開いて薬品を建浴槽１５に
投入する。この動作は３系列の計量槽１２、ポンプ１
１、バルブ１３について個別に行われる。
【００１８】薬品が建浴槽１５に投入されると、ポンプ
１７を駆動して薬品を攪拌し、センサ１６の検出内容か
ら調製された薬液（現像液）の組成をチェックする。チ
ェックの結果薬品に過不足がある場合は、不足している
薬品を対応するポンプ１４を駆動して補給し、センサ１
６の検出内容が望ましい組成を示すまで上記攪拌→チェ
ック→補給の動作を繰り返す。建浴槽１５内で調製され
た現像液が理想的な組成になったとき、バルブ１８を開
いてこの現像液をストック槽１９に供給する。
１７を駆動して薬品を攪拌し、センサ１６の検出内容か
ら調製された薬液（現像液）の組成をチェックする。チ
ェックの結果薬品に過不足がある場合は、不足している
薬品を対応するポンプ１４を駆動して補給し、センサ１
６の検出内容が望ましい組成を示すまで上記攪拌→チェ
ック→補給の動作を繰り返す。建浴槽１５内で調製され
た現像液が理想的な組成になったとき、バルブ１８を開
いてこの現像液をストック槽１９に供給する。
【００１９】図４，図５のフローチャートを参照して上
記制御部３の動作を説明する。図４（Ａ）は本槽４の液
管理動作を示すフローチャートである。まず、液レベル
センサ２５およびサンプリング槽９のセンサ２６を読み
取って液の量および状態をチェックする（ｓ１）。そし
てチェックの結果液量が不足しているか劣化している場
合には（ｓ２）、所定量だけストック槽１９から本槽４
に現像液を補充する（ｓ３）。このとき、本槽４から現
像液がオーバーフローする程度に補給することにより、
本槽４内の現像液を新しいものに入れ換えることができ
る。現像液の補充ののち、この現像液を送りだしたスト
ック槽１９の液レベルを検査し（ｓ４）、ストック槽１
９のストック量が少なくなったと判断された場合には新
しい現像液の調整動作を実行する（ｓ５）。
記制御部３の動作を説明する。図４（Ａ）は本槽４の液
管理動作を示すフローチャートである。まず、液レベル
センサ２５およびサンプリング槽９のセンサ２６を読み
取って液の量および状態をチェックする（ｓ１）。そし
てチェックの結果液量が不足しているか劣化している場
合には（ｓ２）、所定量だけストック槽１９から本槽４
に現像液を補充する（ｓ３）。このとき、本槽４から現
像液がオーバーフローする程度に補給することにより、
本槽４内の現像液を新しいものに入れ換えることができ
る。現像液の補充ののち、この現像液を送りだしたスト
ック槽１９の液レベルを検査し（ｓ４）、ストック槽１
９のストック量が少なくなったと判断された場合には新
しい現像液の調整動作を実行する（ｓ５）。
【００２０】同図（Ｂ）は予測投入動作を示すフローチ
ャートである。この動作は、ワークセンサ７の検出内容
に応じてこれから必要になるであろう現像液を予め補給
しておく動作である。まず、ワークセンサ７の検出内容
を読み取り（ｓ１０）、現像ラインの負荷量を算出する
（ｓ１１）。ワークセンサ７がＣＣＤカメラでありワー
クがパターンが露光されたプリント配線基板の場合には
その画像を解析して、レジスト量を算出する。そして、
この負荷量に対応するために必要な現像液の量を算出し
（ｓ１２）、この必要な現像液をストック槽１９から本
槽４に補給する（ｓ１３）。現像液の補充ののち、この
現像液を送りだしたストック槽１９の液レベルを検査し
（ｓ１４）、ストック槽１９のストック量が少なくなっ
たと判断された場合には新しい現像液の調整動作を実行
する（ｓ１５）。
ャートである。この動作は、ワークセンサ７の検出内容
に応じてこれから必要になるであろう現像液を予め補給
しておく動作である。まず、ワークセンサ７の検出内容
を読み取り（ｓ１０）、現像ラインの負荷量を算出する
（ｓ１１）。ワークセンサ７がＣＣＤカメラでありワー
クがパターンが露光されたプリント配線基板の場合には
その画像を解析して、レジスト量を算出する。そして、
この負荷量に対応するために必要な現像液の量を算出し
（ｓ１２）、この必要な現像液をストック槽１９から本
槽４に補給する（ｓ１３）。現像液の補充ののち、この
現像液を送りだしたストック槽１９の液レベルを検査し
（ｓ１４）、ストック槽１９のストック量が少なくなっ
たと判断された場合には新しい現像液の調整動作を実行
する（ｓ１５）。
【００２１】図５は新液調整動作を示すフローチャート
である。ストック槽１９内の液量が少なくなったと制御
部３が判断したとき（上記ｓ５，ｓ１５）、この動作が
実行される。まず複数の計量槽１２で必要な薬品を計量
する（ｓ２０）。この計量動作は上述したようにポンプ
１１を駆動し、リミットスイッチ３１およびレベル調整
器３２で規制されるレベルまで薬品を供給する動作であ
る。この計量により、各薬品についてほぼ正確な必要量
が速やかに計量される。計量ののちこれを建浴槽１５に
投入する（ｓ２１）。全ての薬品を投入し、これを攪拌
することにより現像液が調整されるが、この状態で現像
液の組成をチェックし（ｓ２２）、望ましい組成であれ
ば（ｓ２３）、これをストック槽１９へ供給してストッ
クする（ｓ２５）。現像液の組成が不完全であれば（ｓ
２３）、不足している薬品をポンプ１４で補給して組成
を微調整する（ｓ２４）。この微調整ののち、再度組成
をチェックする（ｓ２２）。これを繰り返し、現像液の
組成が望ましい組成になったときこれをストック槽に供
給する（ｓ２３→ｓ２５）。
である。ストック槽１９内の液量が少なくなったと制御
部３が判断したとき（上記ｓ５，ｓ１５）、この動作が
実行される。まず複数の計量槽１２で必要な薬品を計量
する（ｓ２０）。この計量動作は上述したようにポンプ
１１を駆動し、リミットスイッチ３１およびレベル調整
器３２で規制されるレベルまで薬品を供給する動作であ
る。この計量により、各薬品についてほぼ正確な必要量
が速やかに計量される。計量ののちこれを建浴槽１５に
投入する（ｓ２１）。全ての薬品を投入し、これを攪拌
することにより現像液が調整されるが、この状態で現像
液の組成をチェックし（ｓ２２）、望ましい組成であれ
ば（ｓ２３）、これをストック槽１９へ供給してストッ
クする（ｓ２５）。現像液の組成が不完全であれば（ｓ
２３）、不足している薬品をポンプ１４で補給して組成
を微調整する（ｓ２４）。この微調整ののち、再度組成
をチェックする（ｓ２２）。これを繰り返し、現像液の
組成が望ましい組成になったときこれをストック槽に供
給する（ｓ２３→ｓ２５）。
【００２２】上記実施形態では計量槽１２を３槽設けて
いるが、槽数はこれに限定されない。また、上記実施形
態では薬品の数と同じ数の計量槽を設けているが、計量
槽を薬品の数よりも少なくし、複数の薬品について同じ
計量槽を兼用し、順次使用するようにしてもよい。
いるが、槽数はこれに限定されない。また、上記実施形
態では薬品の数と同じ数の計量槽を設けているが、計量
槽を薬品の数よりも少なくし、複数の薬品について同じ
計量槽を兼用し、順次使用するようにしてもよい。
【００２３】また、計量槽１２に薬品を供給するポンプ
１１と建浴槽１５に組成の微調整のために薬品を供給す
るポンプ１４を異なるタイプのポンプで構成し、ポンプ
１１を搬送能力の高いポンプとし、ポンプ１４を少ない
量を正確に搬送できるポンプで構成し、概略の組成をよ
り迅速に計量し、最後の微調整をより正確に行えるよう
にしてもよい。
１１と建浴槽１５に組成の微調整のために薬品を供給す
るポンプ１４を異なるタイプのポンプで構成し、ポンプ
１１を搬送能力の高いポンプとし、ポンプ１４を少ない
量を正確に搬送できるポンプで構成し、概略の組成をよ
り迅速に計量し、最後の微調整をより正確に行えるよう
にしてもよい。
【００２４】また、上記実施形態は、現像液を調製して
いるが、調整する薬液はこれに限定されず、たとえば、
酸洗浄液、ハクリ液などを調製することもできる。
いるが、調整する薬液はこれに限定されず、たとえば、
酸洗浄液、ハクリ液などを調製することもできる。
【００２５】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、概略の
計量を計量槽で済ませて建浴槽で混合し、この組成を検
査しながら微調整するため、効率的且つ正確な薬液の調
製を行うことができる。
計量を計量槽で済ませて建浴槽で混合し、この組成を検
査しながら微調整するため、効率的且つ正確な薬液の調
製を行うことができる。
【００２６】また、ストック槽には完全に調整された薬
液が適宜補給されるため、薬液が途切れることがなく、
いつでも加工工程に薬液を供給することができ、薬液補
給のためにラインを停止させたり、大規模なストック槽
を備えておく必要がなくなり、小さいストック槽であっ
ても薬品不足で加工工程を停止させることがなくなると
いう利点がある。
液が適宜補給されるため、薬液が途切れることがなく、
いつでも加工工程に薬液を供給することができ、薬液補
給のためにラインを停止させたり、大規模なストック槽
を備えておく必要がなくなり、小さいストック槽であっ
ても薬品不足で加工工程を停止させることがなくなると
いう利点がある。
【図１】この発明が適用されるプリント基板の現像シス
テムの構成図
テムの構成図
【図２】この発明の実施形態である薬液調製装置の構成
図
図
【図３】同薬液調製装置の計量槽の構成を示す図
【図４】制御部の動作を示すフローチャート
【図５】制御部の動作を示すフローチャート
１…薬液調整装置、２…現像ライン部、３…制御部、４
…本槽、１０…薬品槽、１２…計量槽、１５…建浴槽、
１９…ストック槽
…本槽、１０…薬品槽、１２…計量槽、１５…建浴槽、
１９…ストック槽
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１２月１４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】
【課題を解決するための手段】この出願の請求項１の発
明は、薬液を加工工程に供給するストック槽と、該薬液
を調製するための複数種類の薬品を貯留する薬品槽と、
該薬品槽から高速に薬品を供給され、所定量の薬品を計
量する計量槽と、該計量槽で計量した薬品が供給される
建浴槽と、該建浴槽内で調製された薬液の組成を検査す
るセンサ手段と、該センサ手段の検出内容に応じて前記
薬品槽から直接少量の薬品を補給する微調整手段と、該
微調整手段による微調整を終えた薬液を前記ストック槽
に供給するストック手段と、を備えたことを特徴とす
る。
明は、薬液を加工工程に供給するストック槽と、該薬液
を調製するための複数種類の薬品を貯留する薬品槽と、
該薬品槽から高速に薬品を供給され、所定量の薬品を計
量する計量槽と、該計量槽で計量した薬品が供給される
建浴槽と、該建浴槽内で調製された薬液の組成を検査す
るセンサ手段と、該センサ手段の検出内容に応じて前記
薬品槽から直接少量の薬品を補給する微調整手段と、該
微調整手段による微調整を終えた薬液を前記ストック槽
に供給するストック手段と、を備えたことを特徴とす
る。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】この出願の請求項２の発明は、（１）薬品槽から計量槽に薬品を供給し、必要量を概略
計量する （２）計量槽で計量した薬品を建浴槽に供給・攪拌して
薬液を調製する （３）調製した薬液の組成を検査し、これが望ましい組
成になるまで薬品槽から直接少量ずつの薬品を補給する （４）調製した薬液が望ましい組成になったとき、これ
をストック槽にストックする の手順を有する ことを特徴とする。
計量する （２）計量槽で計量した薬品を建浴槽に供給・攪拌して
薬液を調製する （３）調製した薬液の組成を検査し、これが望ましい組
成になるまで薬品槽から直接少量ずつの薬品を補給する （４）調製した薬液が望ましい組成になったとき、これ
をストック槽にストックする の手順を有する ことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２５】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、概略の
計量を計量槽で済ませて建浴槽で混合することにより、
概略の組成で薬液調製を迅速に行うことができる。そし
て、こ の調製した薬液の組成を検査しながら薬品槽から
少量ずつ薬品を供給して微調整するため、速やかに正確
な薬液の調製を行うことができる。
計量を計量槽で済ませて建浴槽で混合することにより、
概略の組成で薬液調製を迅速に行うことができる。そし
て、こ の調製した薬液の組成を検査しながら薬品槽から
少量ずつ薬品を供給して微調整するため、速やかに正確
な薬液の調製を行うことができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 薬液を加工工程に供給するストック槽
と、 該薬液を調製するための複数種類の薬品を貯留する薬品
槽と、 該薬品槽から高速に薬品を供給され、所定量の薬品を計
量する計量槽と、 該計量槽が計量した薬品が供給される建浴槽と、 該建浴槽内で調製された薬液の組成を検査するセンサ手
段と、 該センサ手段の検出内容に応じて前記薬品槽から少量の
薬品を補給する微調整手段と、 該微調整手段による微調整を終えた薬液を前記ストック
槽に供給するストック手段と、 を備えたことを特徴とする薬液調製装置。 - 【請求項２】 複数種類の薬品を調合して薬液を調製
し、必要に応じて加工工程に薬液を補給する薬液調製方
法であって、 加工工程からの要求に応じてストック槽にストックされ
ている薬液を補給し、該ストック槽にストックしている
薬液量が少なくなったとき、前記複数種類の薬品が貯留
されている薬品槽から薬品を取り出して計量槽でそれぞ
れ必要量を概略計量して建浴槽に投入することによって
薬液を調合し、建浴槽において、前記薬品槽から適宜薬
品を補給して調合された薬液が望ましい組成にしたの
ち、ストック槽に供給することを特徴とする薬液の調製
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002136A JPH11197484A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 薬液調製装置および薬液調製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10002136A JPH11197484A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 薬液調製装置および薬液調製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11197484A true JPH11197484A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=11520930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10002136A Pending JPH11197484A (ja) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | 薬液調製装置および薬液調製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11197484A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103030467A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-10 | 山东金正大生态工程股份有限公司 | 一种控释肥生产中连续包膜溶液配制装置 |
| CN104028159A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-09-10 | 国家黄金钻石制品质量监督检验中心 | 消解贵金属用溶剂的配制装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08262739A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Sumitomo Chem Co Ltd | 現像液調合装置及び現像液の調合方法 |
| JPH0933538A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 試薬調製装置およびその方法 |
-
1998
- 1998-01-08 JP JP10002136A patent/JPH11197484A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08262739A (ja) * | 1995-03-24 | 1996-10-11 | Sumitomo Chem Co Ltd | 現像液調合装置及び現像液の調合方法 |
| JPH0933538A (ja) * | 1995-07-19 | 1997-02-07 | Toa Medical Electronics Co Ltd | 試薬調製装置およびその方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103030467A (zh) * | 2012-12-29 | 2013-04-10 | 山东金正大生态工程股份有限公司 | 一种控释肥生产中连续包膜溶液配制装置 |
| CN104028159A (zh) * | 2014-06-20 | 2014-09-10 | 国家黄金钻石制品质量监督检验中心 | 消解贵金属用溶剂的配制装置 |
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