JPH11199265A - 光ファイバ用母材の検査装置 - Google Patents
光ファイバ用母材の検査装置Info
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- JPH11199265A JPH11199265A JP9369530A JP36953097A JPH11199265A JP H11199265 A JPH11199265 A JP H11199265A JP 9369530 A JP9369530 A JP 9369530A JP 36953097 A JP36953097 A JP 36953097A JP H11199265 A JPH11199265 A JP H11199265A
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- Japan
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- optical fiber
- fiber preform
- light
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光ファイバの偏心不良を低減させるため、光
ファイバ用母材の真直度を評価する。 【解決手段】 鉛直方向に吊り下げて回転させられる光
ファイバ用母材１０に対して、その側方から、レーザ外
径測定器２０の投光器２１の赤色半導体レーザ２２から
放出されたレーザ光を投光レンズ２３によって平行光と
した上で投射し、その投射光２４を光学的なバンドパス
フィルタ２７を経て受光器２６に内蔵されたＣＣＤイメ
ージセンサ２８に入射させ、光ファイバ用母材１０によ
って遮られて影になった画像（投影像）のエッジ部位置
をとらえ、そのエッジ部位置が母材１０の回転に伴って
変動するときのその変動幅を求め、この変動幅によって
光ファイバ用母材１０の真直度を評価する。
ファイバ用母材の真直度を評価する。 【解決手段】 鉛直方向に吊り下げて回転させられる光
ファイバ用母材１０に対して、その側方から、レーザ外
径測定器２０の投光器２１の赤色半導体レーザ２２から
放出されたレーザ光を投光レンズ２３によって平行光と
した上で投射し、その投射光２４を光学的なバンドパス
フィルタ２７を経て受光器２６に内蔵されたＣＣＤイメ
ージセンサ２８に入射させ、光ファイバ用母材１０によ
って遮られて影になった画像（投影像）のエッジ部位置
をとらえ、そのエッジ部位置が母材１０の回転に伴って
変動するときのその変動幅を求め、この変動幅によって
光ファイバ用母材１０の真直度を評価する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバの製
造工程等において用いられるのに好適な、光ファイバ用
母材の真直度を検査する装置に関する。
造工程等において用いられるのに好適な、光ファイバ用
母材の真直度を検査する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】石英ガラス系の光ファイバは、通常、気
相反応プロセスを利用して酸水素バーナの火炎中で二酸
化珪素のガラス微粒子を生成し、これを堆積させて多孔
質のスートプリフォーム（ガラス微粒子堆積体）を作
り、この多孔質スートプリフォームを加熱処理して透明
ガラス化して光ファイバ用母材とし、この母材を紡糸炉
で線引き紡糸するという工程を経て製造される。１本の
光ファイバ用母材からより長尺の光ファイバを紡糸する
ため、母材の大型化を図る場合には、ＶＡＤ法などで作
ったスートプリフォームをいったん透明ガラス化し、こ
れを出発母材としてその周囲にクラッドとなるガラス微
粒子堆積層を形成し（外付け法）、その後透明ガラス化
することも行われている。
相反応プロセスを利用して酸水素バーナの火炎中で二酸
化珪素のガラス微粒子を生成し、これを堆積させて多孔
質のスートプリフォーム（ガラス微粒子堆積体）を作
り、この多孔質スートプリフォームを加熱処理して透明
ガラス化して光ファイバ用母材とし、この母材を紡糸炉
で線引き紡糸するという工程を経て製造される。１本の
光ファイバ用母材からより長尺の光ファイバを紡糸する
ため、母材の大型化を図る場合には、ＶＡＤ法などで作
ったスートプリフォームをいったん透明ガラス化し、こ
れを出発母材としてその周囲にクラッドとなるガラス微
粒子堆積層を形成し（外付け法）、その後透明ガラス化
することも行われている。
【０００３】この２次クラッド付け工程は、芯出し調整
が十分に行なわれた旋盤に出発母材を装着してその周囲
にガラス微粒子を堆積するようにして行われる。その
際、出発母材の両端にガラス支持棒をジョイントし、こ
の支持棒の部分を旋盤のチャックで保持する。
が十分に行なわれた旋盤に出発母材を装着してその周囲
にガラス微粒子を堆積するようにして行われる。その
際、出発母材の両端にガラス支持棒をジョイントし、こ
の支持棒の部分を旋盤のチャックで保持する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光ファ
イバを紡糸する直前の光ファイバ用母材や、２次クラッ
ド付け前の出発母材の真直度が十分でないと、このよう
な母材から紡糸して得る光ファイバはコアの偏心量（コ
アのクラッド中心からの位置ずれ量）が大きいという問
題がある。
イバを紡糸する直前の光ファイバ用母材や、２次クラッ
ド付け前の出発母材の真直度が十分でないと、このよう
な母材から紡糸して得る光ファイバはコアの偏心量（コ
アのクラッド中心からの位置ずれ量）が大きいという問
題がある。
【０００５】すなわち、真直度が十分でない出発母材に
２次クラッド付けを行なうと、出発母材の軸心と２次ク
ラッド付けで形成されるクラッド層の軸心とが一致しな
いことになるので、これを透明ガラス化した母材から紡
糸して得る光ファイバのコアの偏心量が大きくなる傾向
がある。また、２次クラッド付け工程後、透明ガラス化
処理する際に、電気炉内でガラス微粒子堆積層の受ける
熱履歴が最適でない場合に光ファイバ用母材と支持棒と
のジョイント部が曲がってしまうことがあり、このよう
に透明ガラス化処理工程で曲がりが生じたままの母材を
紡糸炉に送り込んで紡糸すると、これから得られる光フ
ァイバのコアの偏心量が大きくなる。
２次クラッド付けを行なうと、出発母材の軸心と２次ク
ラッド付けで形成されるクラッド層の軸心とが一致しな
いことになるので、これを透明ガラス化した母材から紡
糸して得る光ファイバのコアの偏心量が大きくなる傾向
がある。また、２次クラッド付け工程後、透明ガラス化
処理する際に、電気炉内でガラス微粒子堆積層の受ける
熱履歴が最適でない場合に光ファイバ用母材と支持棒と
のジョイント部が曲がってしまうことがあり、このよう
に透明ガラス化処理工程で曲がりが生じたままの母材を
紡糸炉に送り込んで紡糸すると、これから得られる光フ
ァイバのコアの偏心量が大きくなる。
【０００６】この発明は、上記に鑑み、２次クラッド付
け前あるいは紡糸前の光ファイバ用母材の曲がりのある
ものは除去しあるいは製造プロセスを中断することによ
って偏心不良の光ファイバを製造しないようにするため
に好適な、２次クラッド付け前あるいは紡糸前の光ファ
イバ用母材の真直度を確実・容易に検査することができ
る、光ファイバ用母材の検査装置を提供することを目的
とする。
け前あるいは紡糸前の光ファイバ用母材の曲がりのある
ものは除去しあるいは製造プロセスを中断することによ
って偏心不良の光ファイバを製造しないようにするため
に好適な、２次クラッド付け前あるいは紡糸前の光ファ
イバ用母材の真直度を確実・容易に検査することができ
る、光ファイバ用母材の検査装置を提供することを目的
とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明による光ファイバ用母材の検査装置におい
ては、検査しようとする光ファイバ用母材の上端を把持
することにより鉛直方向に支持して回転させる把持手段
と、把持された光ファイバ用母材の側方から光を投射す
る光投射手段と、光ファイバ用母材を挟んで該光投射手
段と対向するよう配置されて光ファイバ用母材の投影像
を得る受光手段と、該受光手段から得た光ファイバ用母
材の投影像のエッジ部の上記回転に伴う位置変動幅を検
出する手段とが備えられることが特徴となっている。
め、この発明による光ファイバ用母材の検査装置におい
ては、検査しようとする光ファイバ用母材の上端を把持
することにより鉛直方向に支持して回転させる把持手段
と、把持された光ファイバ用母材の側方から光を投射す
る光投射手段と、光ファイバ用母材を挟んで該光投射手
段と対向するよう配置されて光ファイバ用母材の投影像
を得る受光手段と、該受光手段から得た光ファイバ用母
材の投影像のエッジ部の上記回転に伴う位置変動幅を検
出する手段とが備えられることが特徴となっている。
【０００８】上記の光投射手段とこれに対向する受光手
段とを、鉛直方向に支持された光ファイバ用母材に対し
て鉛直方向に移動させる移動手段をさらに備えるように
してもよい。
段とを、鉛直方向に支持された光ファイバ用母材に対し
て鉛直方向に移動させる移動手段をさらに備えるように
してもよい。
【０００９】光ファイバ用母材が曲がっている場合、こ
れを回転させると、光ファイバ用母材の投影像のエッジ
部の位置は正弦波状に変動する。そして、その変動幅は
回転中心軸からの偏心量を表すことになり、これはとり
もなおさず曲がっている量であり、非真直度に対応す
る。そこで、この投影像のエッジ部の位置変動幅で真直
度を評価することが可能となる。光ファイバ用母材は鉛
直方向に支持されて回転させられるため、母材が撓むこ
となく正確な真直度評価ができる（仮に光ファイバ用母
材を水平方向に支持して回転させると、中央部が下方に
撓んでしまう）。
れを回転させると、光ファイバ用母材の投影像のエッジ
部の位置は正弦波状に変動する。そして、その変動幅は
回転中心軸からの偏心量を表すことになり、これはとり
もなおさず曲がっている量であり、非真直度に対応す
る。そこで、この投影像のエッジ部の位置変動幅で真直
度を評価することが可能となる。光ファイバ用母材は鉛
直方向に支持されて回転させられるため、母材が撓むこ
となく正確な真直度評価ができる（仮に光ファイバ用母
材を水平方向に支持して回転させると、中央部が下方に
撓んでしまう）。
【００１０】光投射手段とこれに対向する受光手段と
を、鉛直方向に支持された光ファイバ用母材に対して鉛
直方向に移動させると、光ファイバ用母材の長さ方向各
位置での光ファイバ用母材の投影像のエッジ部位置変動
幅を検出できることになり、光ファイバ用母材の長さ方
向各位置での真直度を評価できる。
を、鉛直方向に支持された光ファイバ用母材に対して鉛
直方向に移動させると、光ファイバ用母材の長さ方向各
位置での光ファイバ用母材の投影像のエッジ部位置変動
幅を検出できることになり、光ファイバ用母材の長さ方
向各位置での真直度を評価できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】つぎに、この発明の実施の形態に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、光ファイバ用母材１０は紙面に直角な方向（鉛直方
向）に吊り下げられており、レーザ外径測定器２０によ
って外径が測定されるようになっている。すなわち、投
光器２１からの投射光２４が光ファイバ用母材１０の側
方から投射され、その投射光２４が受光器２６に入射さ
せられて光ファイバ用母材１０の影の像（投影像）がと
らえられる。投光器２１には赤色半導体レーザ２２が備
えられ、これから放射されたレーザ光が投光レンズ２３
によって平行光とされて光ファイバ用母材１０に向け投
射される。この光ファイバ用母材１０を挟んで投光器２
１と対向するよう受光器２６が配置されており、その投
射光２４が光学的なバンドパスフィルタ２７を経てＣＣ
Ｄイメージセンサ２８に入射するようにされている。
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図１におい
て、光ファイバ用母材１０は紙面に直角な方向（鉛直方
向）に吊り下げられており、レーザ外径測定器２０によ
って外径が測定されるようになっている。すなわち、投
光器２１からの投射光２４が光ファイバ用母材１０の側
方から投射され、その投射光２４が受光器２６に入射さ
せられて光ファイバ用母材１０の影の像（投影像）がと
らえられる。投光器２１には赤色半導体レーザ２２が備
えられ、これから放射されたレーザ光が投光レンズ２３
によって平行光とされて光ファイバ用母材１０に向け投
射される。この光ファイバ用母材１０を挟んで投光器２
１と対向するよう受光器２６が配置されており、その投
射光２４が光学的なバンドパスフィルタ２７を経てＣＣ
Ｄイメージセンサ２８に入射するようにされている。
【００１２】このＣＣＤイメージセンサ２８は、光ファ
イバ用母材１０の、少なくとも水平方向の１次元の投影
像が得られるような検出セルの配列を有している。投射
光２４は、これに対応して水平方向にのみ広がった平面
状のものとしてもよい。ＣＣＤイメージセンサ２８から
光ファイバ用母材１０の水平方向の１次元の投影像を表
す画像信号が出力される。投射光２４は光ファイバ用母
材１０で遮られるため母材１０の外形に対応する影が生
じ、この影の部分（母材１０の投影像）を表す画像信号
が出力されるのである。
イバ用母材１０の、少なくとも水平方向の１次元の投影
像が得られるような検出セルの配列を有している。投射
光２４は、これに対応して水平方向にのみ広がった平面
状のものとしてもよい。ＣＣＤイメージセンサ２８から
光ファイバ用母材１０の水平方向の１次元の投影像を表
す画像信号が出力される。投射光２４は光ファイバ用母
材１０で遮られるため母材１０の外形に対応する影が生
じ、この影の部分（母材１０の投影像）を表す画像信号
が出力されるのである。
【００１３】光ファイバ用母材１０が回転させられる
と、この投影像のエッジ部の位置は、光ファイバ用母材
１０が曲がっている場合には、図２の点線で示すように
正弦波状に変動する。このエッジ部位置のデータを一定
時間とってその最大値と最小値との差を求めれば、その
変動幅Ｗが得られる。この変動幅Ｗは曲がっている度合
いを表し、つまり変動幅Ｗが大きければ大きいほど光フ
ァイバ用母材１０が曲がっていることとなり、このこと
は変動幅Ｗが小さければ母材１０の真直度が良好である
ことを意味する。
と、この投影像のエッジ部の位置は、光ファイバ用母材
１０が曲がっている場合には、図２の点線で示すように
正弦波状に変動する。このエッジ部位置のデータを一定
時間とってその最大値と最小値との差を求めれば、その
変動幅Ｗが得られる。この変動幅Ｗは曲がっている度合
いを表し、つまり変動幅Ｗが大きければ大きいほど光フ
ァイバ用母材１０が曲がっていることとなり、このこと
は変動幅Ｗが小さければ母材１０の真直度が良好である
ことを意味する。
【００１４】図３は全体の構成を表すものである。光フ
ァイバ用母材１０は回転支持器１１のチャック１２によ
ってその上端が把持されて鉛直方向に吊り下げられてお
り、矢印に示すように回転させられる。投光器２１と受
光器２６とを含むレーザ外径測定器２０は移動装置３０
によって鉛直方向に移動させられる。レーザ外径測定器
２０にはナット部２９が取り付けられていて、このナッ
ト部２９はポールネジ３２にかみ合っている。このポー
ルネジ３２がモータ３１によって回転させられることに
よってポールネジ３２の軸方向つまり鉛直方向にナット
部２９が移動し、これによってレーザ外径測定器２０の
鉛直方向の移動がなされる。
ァイバ用母材１０は回転支持器１１のチャック１２によ
ってその上端が把持されて鉛直方向に吊り下げられてお
り、矢印に示すように回転させられる。投光器２１と受
光器２６とを含むレーザ外径測定器２０は移動装置３０
によって鉛直方向に移動させられる。レーザ外径測定器
２０にはナット部２９が取り付けられていて、このナッ
ト部２９はポールネジ３２にかみ合っている。このポー
ルネジ３２がモータ３１によって回転させられることに
よってポールネジ３２の軸方向つまり鉛直方向にナット
部２９が移動し、これによってレーザ外径測定器２０の
鉛直方向の移動がなされる。
【００１５】この鉛直方向の移動距離は、ポールネジ３
２の回転を検出する回転検出器３３と、そのパルスを計
数するパルスカウンタ３６とによって検知される。ポー
ルネジ３２の下端にスリットの設けられた円板３４が取
り付けられ、そのスリットがスリット検出器３５によっ
て検出される。スリット検出器３５はたとえば光ビーム
が回転円板３４のスリット以外の部分で遮られスリット
では遮られないことを利用する光学的な検出器で構成で
きる。スリット検出器３５から出力されるスリットごと
の検出信号をパルスカウンタ３６で計数すればポールネ
ジ３２の回転が分かり、レーザ外径測定器２０の鉛直方
向の移動距離が分かる。
２の回転を検出する回転検出器３３と、そのパルスを計
数するパルスカウンタ３６とによって検知される。ポー
ルネジ３２の下端にスリットの設けられた円板３４が取
り付けられ、そのスリットがスリット検出器３５によっ
て検出される。スリット検出器３５はたとえば光ビーム
が回転円板３４のスリット以外の部分で遮られスリット
では遮られないことを利用する光学的な検出器で構成で
きる。スリット検出器３５から出力されるスリットごと
の検出信号をパルスカウンタ３６で計数すればポールネ
ジ３２の回転が分かり、レーザ外径測定器２０の鉛直方
向の移動距離が分かる。
【００１６】レーザ外径測定器２０からの画像信号は分
岐アダプタ４１を経てエッジ表示器４２および外径表示
器４３に送られ、投影像のエッジ部位置および投影像の
長さ（影の部分の長さ）が表示される。これらエッジ部
位置を表す信号および投影像の長さを表す信号がネット
ワークアダプタ４４を経てコンピュータ４５に取り込ま
れるようになっている。このコンピュータ４５は、回転
支持器１１の回転を制御することによって光ファイバ用
母材１０の回転を制御するとともに、シーケンサ４６に
指令を与えることによってモータ３１の回転を制御して
レーザ外径測定器２０の鉛直方向の位置を定め、また、
パルスカウンタ３６の出力をシーケンサ４６を経て取り
込むことによってその位置を確認する。
岐アダプタ４１を経てエッジ表示器４２および外径表示
器４３に送られ、投影像のエッジ部位置および投影像の
長さ（影の部分の長さ）が表示される。これらエッジ部
位置を表す信号および投影像の長さを表す信号がネット
ワークアダプタ４４を経てコンピュータ４５に取り込ま
れるようになっている。このコンピュータ４５は、回転
支持器１１の回転を制御することによって光ファイバ用
母材１０の回転を制御するとともに、シーケンサ４６に
指令を与えることによってモータ３１の回転を制御して
レーザ外径測定器２０の鉛直方向の位置を定め、また、
パルスカウンタ３６の出力をシーケンサ４６を経て取り
込むことによってその位置を確認する。
【００１７】そこで、このコンピュータ４５において、
光ファイバ用母材１０の全長にわたりその各位置ごとに
エッジ部位置の変動幅Ｗを計算することができ、母材１
０の全長にわたる真直度の評価が可能となる。その他、
光ファイバ用母材１０の全長の各位置での外径を計測す
ることもできる。
光ファイバ用母材１０の全長にわたりその各位置ごとに
エッジ部位置の変動幅Ｗを計算することができ、母材１
０の全長にわたる真直度の評価が可能となる。その他、
光ファイバ用母材１０の全長の各位置での外径を計測す
ることもできる。
【００１８】光ファイバ用母材１０はその上端をチャッ
ク１２で把持されて鉛直方向に吊り下げられた状態で回
転させられるため、光ファイバ用母材１０自体の重量で
撓むようなことがない。光ファイバ用母材１０を水平方
向に支持して回転させることを想定すると、中央部がそ
の重量で下方に撓んでしまう。このように光ファイバ用
母材１０を鉛直方向に支持して回転させるため、母材１
０を撓ませることなくその真直度の正確な評価を行なう
ことができる。
ク１２で把持されて鉛直方向に吊り下げられた状態で回
転させられるため、光ファイバ用母材１０自体の重量で
撓むようなことがない。光ファイバ用母材１０を水平方
向に支持して回転させることを想定すると、中央部がそ
の重量で下方に撓んでしまう。このように光ファイバ用
母材１０を鉛直方向に支持して回転させるため、母材１
０を撓ませることなくその真直度の正確な評価を行なう
ことができる。
【００１９】この構成によって、２次クラッド付け工程
の前の光ファイバ用母材を検査し変動幅Ｗが全長にわた
り０．３ｍｍ以下となるようにするとともに、紡糸前の
光ファイバ用母材について変動幅が全長にわたり４．０
ｍｍ以下となるようにしたところ、紡糸後の光ファイバ
の偏心不良を約４０％低減させることができた。この結
果から見ても、光ファイバ製造工程で使用することによ
って、２次クラッド付け前あるいは紡糸前の光ファイバ
用母材の曲がりのあるものを除去したりするのに好適で
あることが分かる。
の前の光ファイバ用母材を検査し変動幅Ｗが全長にわた
り０．３ｍｍ以下となるようにするとともに、紡糸前の
光ファイバ用母材について変動幅が全長にわたり４．０
ｍｍ以下となるようにしたところ、紡糸後の光ファイバ
の偏心不良を約４０％低減させることができた。この結
果から見ても、光ファイバ製造工程で使用することによ
って、２次クラッド付け前あるいは紡糸前の光ファイバ
用母材の曲がりのあるものを除去したりするのに好適で
あることが分かる。
【００２０】なお、上記はこの発明の一つの実施形態を
示すものであり、この発明がこれらの記述に限定される
趣旨でないことはもちろんである。たとえば、光ファイ
バ用母材１０を上端で把持して吊り下げながら回転させ
る構成や、レーザ外径測定器２０を鉛直方向に移動させ
る構成、これら回転、移動をコンピュータ４５によって
制御する構成などは他の構成とすることができる。
示すものであり、この発明がこれらの記述に限定される
趣旨でないことはもちろんである。たとえば、光ファイ
バ用母材１０を上端で把持して吊り下げながら回転させ
る構成や、レーザ外径測定器２０を鉛直方向に移動させ
る構成、これら回転、移動をコンピュータ４５によって
制御する構成などは他の構成とすることができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の光ファ
イバ用母材の検査装置によれば、２次クラッド付け前あ
るいは紡糸前の光ファイバ用母材の真直度を確実・容易
に検査することができ、曲がりのあるものは除去したり
して偏心不良の光ファイバを製造しないようにするのに
効果的である。
イバ用母材の検査装置によれば、２次クラッド付け前あ
るいは紡糸前の光ファイバ用母材の真直度を確実・容易
に検査することができ、曲がりのあるものは除去したり
して偏心不良の光ファイバを製造しないようにするのに
効果的である。
【図１】この発明の実施形態の投光器・受光器部分の模
式図。
式図。
【図２】光ファイバ用母材の投影像のエッジ部位置の変
動を示すグラフ。
動を示すグラフ。
【図３】同実施形態の全体の模式図。
１０ 測定対象光ファイバ用母材 １１ 回転支持器 １２ チャック ２０ レーザ外径測定器 ２１ 投光器 ２２ 赤色半導体レーザ ２３ 投光レンズ ２４ 投射光 ２６ 受光器 ２７ バンドパスフィルタ ２８ ＣＣＤイメージセンサ ２９ ナット部 ３０ 移動装置 ３１ モータ ３２ ポールネジ ３３ 回転検出器 ３４ 円板 ３５ スリット検出器 ３６ パルスカウンタ ４１ 分岐アダプタ ４２ エッジ表示器 ４３ 外径表示器 ４４ ネットワークアダプタ ４５ コンピュータ ４６ シーケンサ
Claims (2)
- 【請求項１】 検査しようとする光ファイバ用母材の上
端を把持することにより鉛直方向に支持して回転させる
把持手段と、把持された光ファイバ用母材の側方から光
を投射する光投射手段と、光ファイバ用母材を挟んで該
光投射手段と対向するよう配置されて光ファイバ用母材
の投影像を得る受光手段と、該受光手段から得た光ファ
イバ用母材の投影像のエッジ部の上記回転に伴う位置変
動幅を検出する手段とを備えることを特徴とする光ファ
イバ用母材の検査装置。 - 【請求項２】 光投射手段とこれに対向する受光手段と
を、鉛直方向に支持された光ファイバ用母材に対して鉛
直方向に移動させる移動手段をさらに備えることを特徴
とする請求項１記載の光ファイバ用母材の検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9369530A JPH11199265A (ja) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 光ファイバ用母材の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9369530A JPH11199265A (ja) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 光ファイバ用母材の検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11199265A true JPH11199265A (ja) | 1999-07-27 |
Family
ID=18494661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9369530A Pending JPH11199265A (ja) | 1997-12-30 | 1997-12-30 | 光ファイバ用母材の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11199265A (ja) |
Cited By (6)
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1997
- 1997-12-30 JP JP9369530A patent/JPH11199265A/ja active Pending
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