JPH11199320A - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents

マイクロ波誘電体磁器組成物

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JPH11199320A
JPH11199320A JP10096647A JP9664798A JPH11199320A JP H11199320 A JPH11199320 A JP H11199320A JP 10096647 A JP10096647 A JP 10096647A JP 9664798 A JP9664798 A JP 9664798A JP H11199320 A JPH11199320 A JP H11199320A
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composition
oxide
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Toshihiro Mizui
敏博 水井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 実用上、十分な比誘電率及び無負荷Q値を有
し、且つ共振周波数の温度係数の絶対値が非常に小さ
い、優れた性能のマイクロ波誘電体磁器組成物を提供す
る。 【解決手段】 (Cax,Sry,Ndz1+aTiO3+b
で示される組成を有する主成分、Al23及び主成分に
含まれる元素並びにアルミニウム以外の元素の酸化物の
うちの少なくとも1種からなり、これら主成分、Al2
3及び酸化物の合計量を100重量%とした場合に、
Al23は10〜12重量%、酸化物は1〜2重量%で
あるマイクロ波誘電体磁器組成物を得る。x、y及びz
はモル比率を表わし、x+y+z=1であって、0.7
80≦x≦0.900、0.010≦y≦0.120、
0.090≦z≦0.130である。また、酸化物とし
ては、Nb23及びMnO2が好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特定の結晶構造を
有する主成分と、Al23他の酸化物とからなるマイク
ロ波誘電体磁器組成物(以下、「誘電体磁器組成物」と
いう。)に関する。本発明の誘電体磁器組成物は、マイ
クロ波領域における誘電体共振器の他、マイクロ波集積
回路基板、各種マイクロ波回路のインピーダンス整合部
材等として利用することができる。
【0002】
【従来の技術】誘電体磁器組成物は、使用周波数が高周
波となるに従って誘電損失が大きくなる傾向にある。そ
のため、マイクロ周波数領域での比誘電率(以下、「ε
r 」と表わす。)及び無負荷Q値(以下、「Qu」と表
わす。)の大きい誘電体磁器組成物が望まれている。従
来、この種の誘電体磁器組成物としては、結晶構造がペ
ロブスカイト相とイルメナイト相との2相を含むもの
(特開平2−129065号公報)がある。また、Mg
TiO3とTiO2に所定量のCaTiO3を含有させた
もの(特開昭52−118599号公報)等も知られて
いる。
【0003】しかし、前者の誘電体磁器組成物では、N
23、La23、PbO、ZnO等、他の成分が相当
量含まれているうえ、Quも必ずしも大きいとはいえな
い。また、後者の誘電体磁器組成物では、TiO2を必
須成分として含み、CaTiO3の含有量が3〜10重
量%の範囲においては、共振周波数の温度係数(以下、
「τf」と表わす。)が正の側或いは負の側へと大きく
変化し、0付近の小さな値に調整することが困難である
等の問題がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
の問題を解決するものであり、実用上、十分なεr及び
uを有し、特に、Quが3500〜4200、更には3
700〜4200と高く、且つτfが0〜+8.0pp
m/℃、特に0〜+7.0ppm/℃と非常に小さい、
優れた誘電特性を有する誘電体磁器組成物を提供するこ
とを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】第1発明の誘電体磁器組
成物は、(Cax,Sry,Ndz1+aTiO3+b[但
し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=1で
あり、0.780≦x≦0.900、0.010≦y≦
0.120、0.090≦z≦0.130である。尚、
0.010≦a≦0.300、0.100≦b≦1.0
00である。]で表わされるペロブスカイト型の結晶構
造を有する主成分と、Al23と、Ca、Sr、Nd、
Ti及びAl以外の元素の酸化物のうちの少なくとも1
種と、からなり、上記主成分を100重量%とした場合
に、上記Al23は10〜12重量%、上記酸化物は1
〜2重量%であることを特徴とする。
【0006】本発明では、上記の主成分と、所定量のA
23及びその他の酸化物とからなる誘電体磁器組成物
とすることにより、εrが略45であって、Quが310
0〜4200、特に3500〜4200の、実用上、十
分な誘電特性を有する組成物とすることができる。更
に、τfを0〜+13.0ppm/℃、特に0〜+8.
0ppm/℃、更には0〜+4.0ppm/℃とするこ
とができ、非常に優れた性能の誘電体磁器組成物とする
ことができる。
【0007】上記「(Cax,Sry,Ndz1+aTiO
3+b」は、Ca、Sr、Nd及びTiの酸化物そのもの
或いはそれぞれの元素の炭酸塩等、加熱によって酸化物
となる化合物、例えばCaCO3、SrCO3などを原料
粉末として配合し、焼成することによって生成させるこ
とができる。また、上記「Al23」及びCa、Sr、
Nd、Ti及びAl以外の元素の「酸化物」も、Al及
びそれぞれの元素の酸化物そのもの或いは炭酸塩等、加
熱によって酸化物となる化合物を同様に原料粉末として
配合し、焼成することによって含有させることができ
る。
【0008】上記「x」が0.780未満或いは0.9
00を越える場合は、Quが低下する傾向にあり、τf
+13.0ppm/℃を越えて正の側へ大きくなる。ま
た、上記「y」が0.010未満ではεr 、Quがとも
に低下し、τfが−10ppm/℃を越えて負の側へ小
さくなる。一方、このyが0.120を越える場合はQ
uが低下する傾向にあり、τfが+13.0ppm/℃を
越えて正の側へ大きくなる。更に、上記「z」が0.0
90未満ではτfが正の側へ大きくなり、0.130を
越える場合はτfが負の側へ小さくなる傾向にある。
【0009】また、本発明の誘電体磁器組成物において
は、第2発明のように、その主成分の量比を、0.82
0≦x≦0.900、0.010≦y≦0.070、
0.090≦z≦0.130とすることが好ましい。更
に、この主成分の量比を、第3発明のように、0.84
0≦x≦0.900、0.010≦y≦0.050、
0.090≦z≦0.130とすることがより好まし
い。
【0010】本発明では、第2及び第3発明のように、
x、y及びzをさらに特定することによって、より誘電
特性に優れた誘電体磁器組成物とすることができる。こ
の第2発明では、特に、Quを3500〜4200、好
ましくは3700〜4200、τfを0〜+8.0pp
m/℃、好ましくは0〜+7.0ppm/℃とすること
ができる。また、第3発明では、Quを3500〜42
00、好ましくは3700〜4200、τfを0〜+
4.0ppm/℃、好ましくは0〜+2.5ppm/℃
とすることができ、且つεrも略45であって、非常に
優れた誘電特性を有する誘電体磁器組成物を得ることが
できる。
【0011】また、Al23の含有量が10重量%未満
ではQuが大きく低下する。一方、この含有量が12重
量%を越える場合は、Quが低下する傾向にあり、且つ
τfが正の側へ大きくなる傾向にある。このAl23
特に11〜12重量%程度を配合することが好ましい。
【0012】更に、Ca、Sr、Nd、Ti及びAl以
外の元素の酸化物としては、Nb25、Ta25、Mn
2、ZnO、Sb23及びY23等が挙げられる。こ
れらの酸化物は1種のみを用いてもよいし、2種以上を
併用してもよい。これらの酸化物の含有量が1重量%未
満では焼結性が低下し、特に、まったく含有させない場
合は、焼結不良となって誘電体磁器組成物を得ることが
できない。また、2重量%を越える場合はQuが大きく
低下する。
【0013】この酸化物としては、特に、第4発明のよ
うに「Nb25」及び「MnO2」の併用が好ましい。
このNb25とMnO2とを用いることにより、原料粉
末の焼結性が向上し、優れた誘電特性を有する誘電体磁
器組成物を容易に得ることができる。特に、上記のNb
25の添加により、広い温度範囲で焼成しても性能が安
定し、且つ緻密度の高い焼結体を得ることができる。N
25の含有量は0.5〜2.0重量%、特に0.7〜
1.5重量%とすることが好ましい。また、MnO2
含有量は0.05〜0.3重量%、特に0.05〜0.
25重量%とすることが好ましい。Nb25及びMnO
2の含有量がこの範囲であれば、より安定して焼成する
ことができ、且つバランスのよい優れた性能の誘電体磁
器組成物を得ることができる。
【0014】本発明の誘電体磁器組成物は、(Cax
Sry,Ndz1+aTiO3+bによって表わされる主成分
において、SrOの含有量が非常に少ないことを特徴と
する。一方、この主成分を、SrOの量比が高い特定の
組成とし、これにAl23とNb及びMn等の元素の酸
化物を配合することによっても、同様に優れた性能の誘
電体磁器組成物が得られる。しかし、本発明のように、
SrOの量比を低くした場合、誘電特性ばかりでなく、
焼結性の向上という別異の効果を併せ得ることができ
る。即ち、主成分に少量のSrOを含有させることによ
り、焼成温度を50〜100℃低下させることができ、
より容易に緻密な焼結体を得ることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、実施例により本発明を具体
的に説明する。 (1)y(Sr)の量比の検討 Nd23粉末(純度;99.9%)、Al23粉末(純
度;99.9%)、CaCO3粉末(純度;99.5
%)、SrCO3粉末(純度;97.0%)、TiO2
末(純度;99.98%)、Nb25粉末(純度;9
9.9%)及びMnO2粉末(純度;96.0%)を出
発原料とした。
【0016】そして、組成式(Cax,Sry,Ndz
1+aTiO3+bのx、y、zが、それぞれ表1の実験例1
〜9の値となるように、また、この(Cax,Sry,N
z1+aTiO3+bを100重量%とした場合に、Al2
3、Nb25及びMnO2が、それぞれ表1の実験例1
〜9の含有量となるように、所定量を秤量した。尚、表
1において、*は第1発明の範囲外であることを表わ
す。
【0017】
【表1】
【0018】その後、所定量の各粉末をミキサーによっ
て20〜30分間乾式混合し、更に振動ミルを用いて一
次粉砕した。玉石としてはアルミナボールを使用し、粉
砕時間は4時間とした。次いで、得られた粉末を、大気
雰囲気下、1100〜1350℃の温度で仮焼した後、
この仮焼粉末に適量の有機バインダと水とを加え、トロ
ンメル粉砕機を用いて二次粉砕した。その後、二次粉砕
した粉末を噴霧乾燥機を用いて乾燥し、造粒した。造粒
後、ふるいによって40〜200メッシュの粒度の粉末
を得、プレス機によって直径19mm、厚さ11mmの
円柱状の成形体を作製した。プレス圧力は3トンとし、
成形圧力を1トン/cm2とした。
【0019】上記のようにして得られた成形体を脱脂し
た後、大気雰囲気下、1400〜1650℃で2〜6時
間焼成した。得られた焼結体の両端面を研磨し、直径が
約16mm、厚さ8mmの寸法の円柱状とした。この円
柱状の焼結体を試料とし、平行導体板型誘電体円柱共振
器法(TE011MODE)等により、εr 、Qu及びτf
を測定した。
【0020】尚、τfは25〜80℃の温度領域で測定
し、τf=(f80−f25)/(f25×ΔT)、ΔT=8
0−25=55℃によって算出した。また、測定時の共
振周波数は4GHzである。εr 、Qu及びτfの結果
を表1に併記する。
【0021】表1の結果によれば、第1発明に対応する
実験例2〜8では、εrは44.8〜45.3、Quは3
100〜4200、τfは0〜+13.0ppm/℃で
あり、実用上、十分な誘電特性を有する誘電体磁器組成
物が得られていることが分かる。特に、第2発明に対応
する実験例2〜5では、Quは3700〜4200、τf
は0〜+7.0ppm/℃であり、より優れた性能の誘
電体磁器組成物が得られている。また、第3発明に対応
する実験例2〜4では、Quは3700〜4200であ
って第2発明と同等であるが、τfは0〜+2.5pp
m/℃と、第2発明よりも更に安定した優れた誘電特性
を有する誘電体磁器組成物が得られていることが分か
る。一方、SrOを含有しない実験例1の組成物では、
εr 及びQuが大きく低下し、τfも負の側へ小さくな
る。更に、SrOが上限値を越えている実験例9では、
uが低下する傾向にあり、且つτfが正の側へ大きくな
っていることが分かる。
【0022】また、図1は実験例4の誘電体磁器組成物
のX線回折のチャートである。そして、JCPDSカー
ドを利用して同定したところ、この回折チャートの組成
物はCaTiO3型の結晶構造を有する化合物であっ
た。このように、本発明の誘電体磁器組成物は、CaT
iO3型の結晶構造により構成されているものであるこ
とが確認された。
【0023】更に、表1の実験例4を母組成とし、Al
23、Nb25及びMnO2の含有量を変化させた場合
のεr 、Qu及びτfを測定した。誘電体磁器組成物の
調製及び誘電特性の測定は前記と同様にして行った。結
果を表2に示す。
【0024】
【表2】
【0025】表2の結果によれば、Al23が下限値未
満である場合はQuが非常に大きく低下し、このAl2
3が上限値を越える場合はτfが正の側へ大きく変化する
ことが分かる。また、Nb25及びMnO2を含有させ
なかった場合は、前記の焼成条件では焼結させることが
できなかった。一方、これらの酸化物が上限値を越える
場合、即ち、Nb25を4重量%或いはMnO2を2重
量%と、それぞれ過剰量とした場合は、いずれもQu
大きく低下することが分かる。
【0026】尚、本発明においては、前記の具体的な実
施の携帯に示すものに限られず、目的、用途に応じて本
発明の範囲内で種々変更した実施の形態とすることがで
きる。例えば、Ca成分及びSr成分となる原料として
前記のCaCO3、SrCO3以外にも、Ca、Srの過
酸化物、水酸化物、硝酸塩等を用いることもできる。同
様に他の酸化物についても、加熱により酸化物となる種
々の化合物を用いることができる。
【0027】
【発明の効果】第1発明の誘電体磁器組成物によれば、
CaTiO3型の結晶構造により構成され、実用上、十
分な誘電特性を有する誘電体磁器組成物を得ることがで
きる。特に、第2発明及び第3発明によれば、その組成
を更に特定することによって、より大きなεr 及び高
いQu並びにτfの絶対値の小さい誘電体磁器組成物を得
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実験例4の誘電体磁器組成物のX線回折のチャ
ートである。
【手続補正書】
【提出日】平成10年3月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (Cax,Sry,Ndz1+aTiO3+b
    [但し、x、y及びzはモル比を表わし、x+y+z=
    1であり、0.780≦x≦0.900、0.010≦
    y≦0.120、0.090≦z≦0.130である。
    尚、0.010≦a≦0.300、0.100≦b≦
    1.000である。]で表わされるペロブスカイト型の
    結晶構造を有する主成分と、Al23と、Ca、Sr、
    Nd、Ti及びAl以外の元素の酸化物のうちの少なく
    とも1種と、からなり、上記主成分を100重量%とし
    た場合に、上記Al23は10〜12重量%、上記酸化
    物は1〜2重量%であることを特徴とするマイクロ波誘
    電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】 0.820≦x≦0.900、0.01
    0≦y≦0.070、0.090≦z≦0.130であ
    り、無負荷Q値が3500〜4200、共振周波数の温
    度係数が0〜+8.0ppm/℃である請求項1記載の
    マイクロ波誘電体磁器組成物。
  3. 【請求項3】 0.840≦x≦0.900、0.01
    0≦y≦0.050、0.090≦z≦0.130であ
    り、無負荷Q値が3500〜4200、共振周波数の温
    度係数が0〜+4.0ppm/℃である請求項1記載の
    マイクロ波誘電体磁器組成物。
  4. 【請求項4】 上記酸化物がNb25及びMnO2であ
    る請求項1乃至3のうちのいずれか1項に記載のマイク
    ロ波誘電体磁器組成物。
JP10096647A 1997-11-06 1998-03-24 マイクロ波誘電体磁器組成物 Ceased JPH11199320A (ja)

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