JPH1120127A - スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置 - Google Patents
スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置Info
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- JPH1120127A JPH1120127A JP9180180A JP18018097A JPH1120127A JP H1120127 A JPH1120127 A JP H1120127A JP 9180180 A JP9180180 A JP 9180180A JP 18018097 A JP18018097 A JP 18018097A JP H1120127 A JPH1120127 A JP H1120127A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
- B41F15/36—Screens, Frames; Holders therefor flat
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/12—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
- H05K3/1216—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
- H05K3/1225—Screens or stencils; Holders therefor
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Printing Methods (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 プラズマディスプレイパネルのストライプ状
蛍光体を形成するためのスクリーンマスクの設計を容易
にし、寸法誤差や仕様変更に即座に対応する。 【解決手段】 スクリーン印刷方法は、印刷パターンに
対応する開口部が形成され、かつフレーム２に張られた
スクリーン３を用いて、被印刷面１０に印刷材料を印刷
する方法において、フレームに対してそれの側面から外
力を加え、フレームを変形させてスクリーンの開口部寸
法を縮小した状態で、印刷材料をスクリーンの開口部を
介して被印刷面に印刷する構成であり、またスクリーン
印刷装置は、印刷パターンに対応した形状の印刷材料通
過用開口部を有するスクリーンと、スクリーンを所定の
張力をもって支持する四辺形のスクリーン固定用フレー
ムと、フレームにおける少なくとも対向する２つの枠体
辺部の少なくとも一方の側面に圧力を加える手段４とを
備える。
蛍光体を形成するためのスクリーンマスクの設計を容易
にし、寸法誤差や仕様変更に即座に対応する。 【解決手段】 スクリーン印刷方法は、印刷パターンに
対応する開口部が形成され、かつフレーム２に張られた
スクリーン３を用いて、被印刷面１０に印刷材料を印刷
する方法において、フレームに対してそれの側面から外
力を加え、フレームを変形させてスクリーンの開口部寸
法を縮小した状態で、印刷材料をスクリーンの開口部を
介して被印刷面に印刷する構成であり、またスクリーン
印刷装置は、印刷パターンに対応した形状の印刷材料通
過用開口部を有するスクリーンと、スクリーンを所定の
張力をもって支持する四辺形のスクリーン固定用フレー
ムと、フレームにおける少なくとも対向する２つの枠体
辺部の少なくとも一方の側面に圧力を加える手段４とを
備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー表示用のプ
ラズマディスプレイパネルにおける蛍光体等の微細なパ
ターン膜を形成するのに好適なスクリーン印刷方法及び
スクリーン印刷装置に関する。カラープラズマディスプ
レイパネル等のフラットディスプレイ装置においては、
その表示品質を向上させるために、蛍光体、隔壁、電極
等の微細なパターンの膜を精度良く印刷することが求め
られている。
ラズマディスプレイパネルにおける蛍光体等の微細なパ
ターン膜を形成するのに好適なスクリーン印刷方法及び
スクリーン印刷装置に関する。カラープラズマディスプ
レイパネル等のフラットディスプレイ装置においては、
その表示品質を向上させるために、蛍光体、隔壁、電極
等の微細なパターンの膜を精度良く印刷することが求め
られている。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、従来のスクリーン印刷方法、
印刷装置を説明するためのスクリーンマスクを示すもの
であり、図１０（ａ）は斜視図、図１０（ｂ）はａ−
ａ’部の断面図である。スクリーン印刷は、図１０に示
すように、印刷パターンに対応した形状の開口部３３ａ
が形成されたスクリーン３３が、金属製の枠状フレーム
３２に所定の張力をもって支持されてなるスクリーンマ
スク３１を用いて行われる。このスクリーンマスク３１
は、被印刷物に対して所定の間隙を設けて配置される。
印刷装置を説明するためのスクリーンマスクを示すもの
であり、図１０（ａ）は斜視図、図１０（ｂ）はａ−
ａ’部の断面図である。スクリーン印刷は、図１０に示
すように、印刷パターンに対応した形状の開口部３３ａ
が形成されたスクリーン３３が、金属製の枠状フレーム
３２に所定の張力をもって支持されてなるスクリーンマ
スク３１を用いて行われる。このスクリーンマスク３１
は、被印刷物に対して所定の間隙を設けて配置される。
【０００３】例えば、カラープラズマディスプレイパネ
ル（以下ＰＤＰと称する）の蛍光体印刷を行う場合、ア
ドレス電極、誘電体層及びストライプ状の隔壁が形成さ
れたガラス基板は、上記スクリーンマスク３１の下方に
搬送され、搬送後スクリーンマスク３１の開口部との位
置合わせが行なわれる。その位置合わせは、ガラス基板
上の隔壁間に形成される細長い溝と、スクリーン３３に
おける前記溝の形状に対応したストライプ状の開口部３
３ａとが対向するように調整される。
ル（以下ＰＤＰと称する）の蛍光体印刷を行う場合、ア
ドレス電極、誘電体層及びストライプ状の隔壁が形成さ
れたガラス基板は、上記スクリーンマスク３１の下方に
搬送され、搬送後スクリーンマスク３１の開口部との位
置合わせが行なわれる。その位置合わせは、ガラス基板
上の隔壁間に形成される細長い溝と、スクリーン３３に
おける前記溝の形状に対応したストライプ状の開口部３
３ａとが対向するように調整される。
【０００４】この位置合わせ後、スクリーンマスク３１
のスクリーン上に所定の発光色、例えば赤色の蛍光体ペ
ーストを供給し、スクリーン３３上でのスキージの摺動
により、開口部３３ａを介して当該蛍光体ペーストをガ
ラス基板上の所定の隔壁間の溝内に充填する。このよう
にして赤色の蛍光体ペーストの塗布を終了した後、緑色
及び青色の蛍光体ペーストについて、開口部位置の異な
る各々のスクリーンマスクを用いて同様な手法により緑
色、青色に対応する隔壁間の溝内に順次充填し、蛍光体
印刷を完了する。
のスクリーン上に所定の発光色、例えば赤色の蛍光体ペ
ーストを供給し、スクリーン３３上でのスキージの摺動
により、開口部３３ａを介して当該蛍光体ペーストをガ
ラス基板上の所定の隔壁間の溝内に充填する。このよう
にして赤色の蛍光体ペーストの塗布を終了した後、緑色
及び青色の蛍光体ペーストについて、開口部位置の異な
る各々のスクリーンマスクを用いて同様な手法により緑
色、青色に対応する隔壁間の溝内に順次充填し、蛍光体
印刷を完了する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】表示品質を向上させる
ための高解像度化に伴い、蛍光体が印刷される隔壁間の
溝のピッチは微細化する傾向にあり、蛍光体印刷に用い
る上記スクリーンマスク３１も微細なピッチの開口部３
３ａを有するものとなっている。また表示画面が大型化
する傾向にあって、開口部の数量も増大している。
ための高解像度化に伴い、蛍光体が印刷される隔壁間の
溝のピッチは微細化する傾向にあり、蛍光体印刷に用い
る上記スクリーンマスク３１も微細なピッチの開口部３
３ａを有するものとなっている。また表示画面が大型化
する傾向にあって、開口部の数量も増大している。
【０００６】しかしながら、従来のスクリーン印刷装置
と印刷方法では、そのような微細ピッチのパターンにお
いて精度良い印刷を持続させることが困難になってい
る。すなわち、上述したようにスクリーンマスクを用い
る印刷方法においては、印刷時の条件、例えばスキージ
圧や蛍光体ペーストの粘度の微妙な変化による寸法誤
差、または使用回数や時間経過に伴うスクリーン自体の
拡縮による印刷位置の変化等を要因とする印刷精度の低
下が生じる。
と印刷方法では、そのような微細ピッチのパターンにお
いて精度良い印刷を持続させることが困難になってい
る。すなわち、上述したようにスクリーンマスクを用い
る印刷方法においては、印刷時の条件、例えばスキージ
圧や蛍光体ペーストの粘度の微妙な変化による寸法誤
差、または使用回数や時間経過に伴うスクリーン自体の
拡縮による印刷位置の変化等を要因とする印刷精度の低
下が生じる。
【０００７】このような印刷精度の低下は、微細パター
ンの場合、隔壁間の溝内へ充填される蛍光体ペースト量
の不足、さらに精度低下が著しい場合には、不所望な場
所への印刷、例えば赤色の蛍光体が緑色の蛍光体を充填
すべき隔壁間の溝に印刷される等、致命的な欠陥の発生
を引き起こすことになる。印刷条件による寸法誤差は、
マスク設計時に印刷条件を考慮することによる予測か
ら、ある程度抑えることも可能で、致命的欠陥の発生は
防止できるが、マスクの使用回数には限界があり、誤差
発生時点での交換が必要となる。
ンの場合、隔壁間の溝内へ充填される蛍光体ペースト量
の不足、さらに精度低下が著しい場合には、不所望な場
所への印刷、例えば赤色の蛍光体が緑色の蛍光体を充填
すべき隔壁間の溝に印刷される等、致命的な欠陥の発生
を引き起こすことになる。印刷条件による寸法誤差は、
マスク設計時に印刷条件を考慮することによる予測か
ら、ある程度抑えることも可能で、致命的欠陥の発生は
防止できるが、マスクの使用回数には限界があり、誤差
発生時点での交換が必要となる。
【０００８】また、スクリーンマスクの設計には、熟練
者であっても長期間を必要とするため、寸法誤差の発生
や仕様変更等によるマスクパターンの変更は簡単ではな
く、即座な対応は困難である。本発明は、上記課題を解
決して、スクリーンマスクの寸法調整を可能にすること
により、スクリーンマスクの設計を容易にすると共に、
印刷条件やスクリーンの拡縮による寸法誤差、或いは仕
様変更に即座に対応できるスクリーン印刷方法及びスク
リーン印刷装置を提供することを目的としている。
者であっても長期間を必要とするため、寸法誤差の発生
や仕様変更等によるマスクパターンの変更は簡単ではな
く、即座な対応は困難である。本発明は、上記課題を解
決して、スクリーンマスクの寸法調整を可能にすること
により、スクリーンマスクの設計を容易にすると共に、
印刷条件やスクリーンの拡縮による寸法誤差、或いは仕
様変更に即座に対応できるスクリーン印刷方法及びスク
リーン印刷装置を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明は、印刷パターンに対応する開口部が形成さ
れ、かつフレームに張られたスクリーンを用いて、被印
刷面に印刷材料を印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記フレームに対して、それの側面に圧力を加える
か、もしくは引っ張り力を与えることにより、該フレー
ムを変形させて前記スクリーンの開口部寸法を縮小もし
くは拡張した状態で、前記印刷材料を当該スクリーンの
開口部を介して前記被印刷面に印刷することを特徴とし
ている。
の本発明は、印刷パターンに対応する開口部が形成さ
れ、かつフレームに張られたスクリーンを用いて、被印
刷面に印刷材料を印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記フレームに対して、それの側面に圧力を加える
か、もしくは引っ張り力を与えることにより、該フレー
ムを変形させて前記スクリーンの開口部寸法を縮小もし
くは拡張した状態で、前記印刷材料を当該スクリーンの
開口部を介して前記被印刷面に印刷することを特徴とし
ている。
【００１０】要するに本発明のスクリーン印刷方法で
は、スクリーン固定用のフレームに外力を加えて、スク
リーンの面内方向の形状を縮小或いは拡張し、スクリー
ンの開口部寸法を微調整する。そのため、高精度の印刷
が可能であるし、印刷条件の変化や仕様変更等による印
刷パターンの寸法変更に容易に対応可能であるととも
に、マスクの設計も簡単となる。
は、スクリーン固定用のフレームに外力を加えて、スク
リーンの面内方向の形状を縮小或いは拡張し、スクリー
ンの開口部寸法を微調整する。そのため、高精度の印刷
が可能であるし、印刷条件の変化や仕様変更等による印
刷パターンの寸法変更に容易に対応可能であるととも
に、マスクの設計も簡単となる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を参
照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第一実施例
を説明するためのスクリーンマスクと応力印加手段の斜
視図、図２は図１のａ−ａ’線に沿った断面図、図３は
応力印加手段の詳細図である。
照しながら詳細に説明する。図１は本発明の第一実施例
を説明するためのスクリーンマスクと応力印加手段の斜
視図、図２は図１のａ−ａ’線に沿った断面図、図３は
応力印加手段の詳細図である。
【００１２】スクリーンマスク１は、図１及び図２に示
すように、アルミニウム製の四辺形のスクリーン固定用
フレーム（以下フレームと記す）２と、該フレームに所
定の張力をもって接着支持されたスクリーン３とから構
成される。フレーム２は、印刷時に後述するように、マ
スク支持体６に支持されるとともに、印刷条件や使用回
数（印刷回数）等を考慮して予め設定された圧力が応力
印加手段により加えられる。スクリーン３は、ステンレ
ス製のメタルメッシュに乳剤を塗布したもので、乳剤を
塗布しない部分が印刷パターンに対応した開口部とな
る。この開口部については、図５及び図６を参照して後
で詳述する。
すように、アルミニウム製の四辺形のスクリーン固定用
フレーム（以下フレームと記す）２と、該フレームに所
定の張力をもって接着支持されたスクリーン３とから構
成される。フレーム２は、印刷時に後述するように、マ
スク支持体６に支持されるとともに、印刷条件や使用回
数（印刷回数）等を考慮して予め設定された圧力が応力
印加手段により加えられる。スクリーン３は、ステンレ
ス製のメタルメッシュに乳剤を塗布したもので、乳剤を
塗布しない部分が印刷パターンに対応した開口部とな
る。この開口部については、図５及び図６を参照して後
で詳述する。
【００１３】前記マスク支持体６は、フレーム２の対向
する２つの枠体辺部を支持するように配置されており、
その上側の支持部にはフレーム固定用の固定部材６ａが
上下動可能に取り付けられている。固定部材６ａは、フ
レーム２における２ケ所の隅角部を押圧するように配置
されており、下降させることにより当該隅角部をマスク
支持体６に固定する。このフレームの固定は、後述のエ
アーシリンダー４によるスクリーン３の印刷パターンの
寸法調整後に行なわれる。なお、固定部材は１個でも良
い。
する２つの枠体辺部を支持するように配置されており、
その上側の支持部にはフレーム固定用の固定部材６ａが
上下動可能に取り付けられている。固定部材６ａは、フ
レーム２における２ケ所の隅角部を押圧するように配置
されており、下降させることにより当該隅角部をマスク
支持体６に固定する。このフレームの固定は、後述のエ
アーシリンダー４によるスクリーン３の印刷パターンの
寸法調整後に行なわれる。なお、固定部材は１個でも良
い。
【００１４】前記応力印加用のエアーシリンダー４は、
前記フレーム２の対向する２つの枠体辺部に対して、前
記マスク支持体６の側壁部を貫通するように配置され
る。またエアー供給管５を介してエアーの供給と排気が
行なわれる。図３を参照してさらに詳しく述べると、エ
アーシリンダー４は、矢印方向に移動可能なピストンロ
ッド４ａを有し、該ロッドの先端を前記フレーム２の側
面に当接させ、その当接力を前記エアー圧の大きさによ
り加減調整する。
前記フレーム２の対向する２つの枠体辺部に対して、前
記マスク支持体６の側壁部を貫通するように配置され
る。またエアー供給管５を介してエアーの供給と排気が
行なわれる。図３を参照してさらに詳しく述べると、エ
アーシリンダー４は、矢印方向に移動可能なピストンロ
ッド４ａを有し、該ロッドの先端を前記フレーム２の側
面に当接させ、その当接力を前記エアー圧の大きさによ
り加減調整する。
【００１５】要するにエアーシリンダーのピストンロッ
ド４ａの押圧力によりフレーム２に応力が加わり、それ
に伴ってフレーム２の枠体辺部を内方向に変形し、スク
リーン３の開口部の外形（パターン）寸法が縮小する方
向に調整される。なお、スクリーン３は縮小する方向の
調整を行う関係上、スクリーンにおける開口部３ａの寸
法は若干大きめに設定してある。
ド４ａの押圧力によりフレーム２に応力が加わり、それ
に伴ってフレーム２の枠体辺部を内方向に変形し、スク
リーン３の開口部の外形（パターン）寸法が縮小する方
向に調整される。なお、スクリーン３は縮小する方向の
調整を行う関係上、スクリーンにおける開口部３ａの寸
法は若干大きめに設定してある。
【００１６】前記エアー圧の加減調整は、エアーの供給
と排気を制御するマスフローコントローラー７により行
なわれる。マスフローコントローラ７は、制御装置８に
よって制御されるものであり、この制御装置６にあらか
じめ印刷パターン寸法や印刷条件等の最新情報が入力さ
れる。なお、前記エアーシリンダー４は、フレーム２の
四辺全てに配置することも可能であり、その場合には更
に細かい調整を行なうことができる。
と排気を制御するマスフローコントローラー７により行
なわれる。マスフローコントローラ７は、制御装置８に
よって制御されるものであり、この制御装置６にあらか
じめ印刷パターン寸法や印刷条件等の最新情報が入力さ
れる。なお、前記エアーシリンダー４は、フレーム２の
四辺全てに配置することも可能であり、その場合には更
に細かい調整を行なうことができる。
【００１７】さて、次に対角４２インチのＰＤＰ用基板
に蛍光体印刷を行なう実施例について図４〜図６を参照
して説明する。まずＰＤＰ用基板１０を図示しない印刷
装置のステージ上に搬送する。このＰＤＰ用基板１０を
載置したステージは、上昇され、スクリーンマスク１と
ほぼ接触するように位置決めされる。図４は、この状態
を示す断面図である。なお、図４（ａ）は前記図１の点
線ｂ−ｂ’で示す切断部の断面図、図４（ｂ）は図１の
点線ａ−ａ’で示す切断部の断面図にそれぞれ相当す
る。
に蛍光体印刷を行なう実施例について図４〜図６を参照
して説明する。まずＰＤＰ用基板１０を図示しない印刷
装置のステージ上に搬送する。このＰＤＰ用基板１０を
載置したステージは、上昇され、スクリーンマスク１と
ほぼ接触するように位置決めされる。図４は、この状態
を示す断面図である。なお、図４（ａ）は前記図１の点
線ｂ−ｂ’で示す切断部の断面図、図４（ｂ）は図１の
点線ａ−ａ’で示す切断部の断面図にそれぞれ相当す
る。
【００１８】ＰＤＰ用基板は、ガラス基板１０上にスト
ライプ状のアドレス電極１１とアドレス電極１１を覆う
誘電体層１２とを形成し、さらに該誘電体層上に前記ア
ドレス電極１１を挟むようにストライプ状の隔壁１３を
形成している。このＰＤＰ用基板には、１９２１本の隔
壁によって１９２０本の溝が形成されているので、赤
（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の蛍光体１４はそれぞれ６
４０本（１９２０本／３）の溝の中に印刷される。従っ
て、前記スクリーンマスク１とＰＤＰ用基板１０との位
置決めは、スクリーン３のストライプ状開口部３ａと隔
壁１３間の溝とを一致させるように行なわれる。このと
き本発明の特徴にしたがって、上述したところのエアー
シリンダー４によってスクリーンマスク１のフレーム２
に対し所定の圧力が印加される。この圧力印加状態は、
所定色の蛍光体印刷が終了するまで維持される。
ライプ状のアドレス電極１１とアドレス電極１１を覆う
誘電体層１２とを形成し、さらに該誘電体層上に前記ア
ドレス電極１１を挟むようにストライプ状の隔壁１３を
形成している。このＰＤＰ用基板には、１９２１本の隔
壁によって１９２０本の溝が形成されているので、赤
（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の蛍光体１４はそれぞれ６
４０本（１９２０本／３）の溝の中に印刷される。従っ
て、前記スクリーンマスク１とＰＤＰ用基板１０との位
置決めは、スクリーン３のストライプ状開口部３ａと隔
壁１３間の溝とを一致させるように行なわれる。このと
き本発明の特徴にしたがって、上述したところのエアー
シリンダー４によってスクリーンマスク１のフレーム２
に対し所定の圧力が印加される。この圧力印加状態は、
所定色の蛍光体印刷が終了するまで維持される。
【００１９】この圧力印加状態において、図４（ａ）に
示すように、スクリーン３上に例えば赤色の蛍光体ペー
スト１４を供給し、スクリーン３上でスキージ１５を移
動させる。これによって開口部３ａから蛍光体ペースト
が押し出され、ガラス基板１０上の所定の隔壁１３間の
溝内に蛍光体ペースト１４が充填される。この時、スク
リーン３の開口部３ａは、図４（ｂ）からわかるよう
に、隔壁１３の３ピッチおきに形成しているので、当該
赤色の蛍光体ペースト１４は３ピッチおきに充填され
る。
示すように、スクリーン３上に例えば赤色の蛍光体ペー
スト１４を供給し、スクリーン３上でスキージ１５を移
動させる。これによって開口部３ａから蛍光体ペースト
が押し出され、ガラス基板１０上の所定の隔壁１３間の
溝内に蛍光体ペースト１４が充填される。この時、スク
リーン３の開口部３ａは、図４（ｂ）からわかるよう
に、隔壁１３の３ピッチおきに形成しているので、当該
赤色の蛍光体ペースト１４は３ピッチおきに充填され
る。
【００２０】このようにして赤色の蛍光体ペーストが印
刷された後は、１ピッチ分ずつ位置のずれた開口部３ａ
を有するスクリーン３をそれぞれ用いて、緑色、青色の
蛍光体ペースト１４を順次１ピッチずつずれた隣の隔壁
１３間の溝内に充填する。そして印刷された赤色、緑
色、青色の蛍光体ペーストは、乾燥させ、５００℃程度
の温度で焼成することでペースト中に含まれるビヒクル
を蒸発させる。これにより、図示しないが隔壁１３間の
溝内、即ちアドレス電極１１上の誘電体層１２表面と隔
壁１２側面に蛍光体が被着される状態となる。
刷された後は、１ピッチ分ずつ位置のずれた開口部３ａ
を有するスクリーン３をそれぞれ用いて、緑色、青色の
蛍光体ペースト１４を順次１ピッチずつずれた隣の隔壁
１３間の溝内に充填する。そして印刷された赤色、緑
色、青色の蛍光体ペーストは、乾燥させ、５００℃程度
の温度で焼成することでペースト中に含まれるビヒクル
を蒸発させる。これにより、図示しないが隔壁１３間の
溝内、即ちアドレス電極１１上の誘電体層１２表面と隔
壁１２側面に蛍光体が被着される状態となる。
【００２１】ここで、本実施例における応力印加手段を
使用した場合の印刷パターン寸法の変化について説明す
る。図５は、本実施例で使用したスクリーン３の平面図
であり、ストライプ状開口部３ａの寸法及びピッチの関
係を示している。また図６は、実際に蛍光体ペースト１
４が印刷されたガラス基板１０の平面図と応力変化に伴
う印刷寸法の変化を示すグラフである。
使用した場合の印刷パターン寸法の変化について説明す
る。図５は、本実施例で使用したスクリーン３の平面図
であり、ストライプ状開口部３ａの寸法及びピッチの関
係を示している。また図６は、実際に蛍光体ペースト１
４が印刷されたガラス基板１０の平面図と応力変化に伴
う印刷寸法の変化を示すグラフである。
【００２２】本実施例では、図５に示すように、幅Ａが
０．２ｍｍ、１ピッチＢが１ｍｍ、トータルピッチＣが
１０００ｍｍの６４０本のストライプ状開口部３ａを有
するスクリーン３を使用した。このようなスクリーン３
を用いて実際に蛍光体ペースト１４が印刷された状態を
図６（ａ）に示し、中央部付近のトータルピッチＰの変
化をシリンダーのエアー圧力をパラメーターにして測定
した結果を図６（ｂ）に示している。
０．２ｍｍ、１ピッチＢが１ｍｍ、トータルピッチＣが
１０００ｍｍの６４０本のストライプ状開口部３ａを有
するスクリーン３を使用した。このようなスクリーン３
を用いて実際に蛍光体ペースト１４が印刷された状態を
図６（ａ）に示し、中央部付近のトータルピッチＰの変
化をシリンダーのエアー圧力をパラメーターにして測定
した結果を図６（ｂ）に示している。
【００２３】シリンダーのエアー圧力は、図３のマスフ
ローコントローラ７によってエアーシリンダー４に加え
られるエアー圧力であり、単位をキロパスカル（ＫＰ
ａ）で表している。本実施例では４カ所にエアーシリン
ダー４を備えているが、同一の圧力を印加するものとす
る。開口部３ａのトータルピッチＣを１０００ｍｍとし
たスクリーン３の使用に対して、シリンダーのエアー圧
力を０〜６（ＫＰａ）と変化させた場合、実際に印刷さ
れた蛍光体ペースト１４のトータルピッチＰは、図６
（ｂ）に示すように０．５ｍｍの範囲で、エアー圧力に
ほぼ比例して変化した。
ローコントローラ７によってエアーシリンダー４に加え
られるエアー圧力であり、単位をキロパスカル（ＫＰ
ａ）で表している。本実施例では４カ所にエアーシリン
ダー４を備えているが、同一の圧力を印加するものとす
る。開口部３ａのトータルピッチＣを１０００ｍｍとし
たスクリーン３の使用に対して、シリンダーのエアー圧
力を０〜６（ＫＰａ）と変化させた場合、実際に印刷さ
れた蛍光体ペースト１４のトータルピッチＰは、図６
（ｂ）に示すように０．５ｍｍの範囲で、エアー圧力に
ほぼ比例して変化した。
【００２４】従って、エアーシリンダー４に加えるエア
ー圧力によって、印刷される蛍光体ペーストの寸法制御
を行うことが可能であり、仕様変更やスクリーンマスク
３自体の状態変化に容易に対応することができる。この
エアー圧力調整を行って蛍光体の印刷を実施した結果、
複数のストライプ状開口部３ａの幅Ａ、ピッチＢが均等
に変化していることを確認し、スクリーン面内での寸法
バラツキが生じていないことを確認した。
ー圧力によって、印刷される蛍光体ペーストの寸法制御
を行うことが可能であり、仕様変更やスクリーンマスク
３自体の状態変化に容易に対応することができる。この
エアー圧力調整を行って蛍光体の印刷を実施した結果、
複数のストライプ状開口部３ａの幅Ａ、ピッチＢが均等
に変化していることを確認し、スクリーン面内での寸法
バラツキが生じていないことを確認した。
【００２５】次に本発明の拡張例と変形例について説明
する。まず拡張例に相当する本発明の第二実施例を説明
する。図７はこの第二実施例に係るスクリーンマスクの
斜視図であり、第一実施例と同一部分には同一符号を付
している。この第二実施例が第一実施例に比して異なる
構成は、ＣＣＤカメラ９を備える点である。すなわち、
スクリーン３の４隅に対応する部分にそれぞれＣＣＤカ
メラ９を配置し、スクリーンにおける左端の開口部３ａ
及び右端の開口部３ａの位置を検知することで、開口部
３ａのトータルピッチを常時検出している。
する。まず拡張例に相当する本発明の第二実施例を説明
する。図７はこの第二実施例に係るスクリーンマスクの
斜視図であり、第一実施例と同一部分には同一符号を付
している。この第二実施例が第一実施例に比して異なる
構成は、ＣＣＤカメラ９を備える点である。すなわち、
スクリーン３の４隅に対応する部分にそれぞれＣＣＤカ
メラ９を配置し、スクリーンにおける左端の開口部３ａ
及び右端の開口部３ａの位置を検知することで、開口部
３ａのトータルピッチを常時検出している。
【００２６】この検出結果を基にエアーシリンダー４の
エアー圧力を制御する。例えばＣＣＤカメラ９でのトー
タルピッチ検出結果を図３に示す制御装置８に入力する
条件の一つにして、マスフローコントローラ７を制御す
ることにより、フレーム２への圧力調整を行う。この第
二実施例では、基板上の印刷対象部分のピッチ等から開
口部３ａのトータルピッチの適正値を予め設定してお
き、ＣＣＤカメラ９によるトータルピッチ検出結果にお
いて、トータルピッチが適正値から外れた場合にエアー
シリンダー４を動作させて、スクリーン３の開口部寸法
の微調整を行う。
エアー圧力を制御する。例えばＣＣＤカメラ９でのトー
タルピッチ検出結果を図３に示す制御装置８に入力する
条件の一つにして、マスフローコントローラ７を制御す
ることにより、フレーム２への圧力調整を行う。この第
二実施例では、基板上の印刷対象部分のピッチ等から開
口部３ａのトータルピッチの適正値を予め設定してお
き、ＣＣＤカメラ９によるトータルピッチ検出結果にお
いて、トータルピッチが適正値から外れた場合にエアー
シリンダー４を動作させて、スクリーン３の開口部寸法
の微調整を行う。
【００２７】以上のように、スクリーン３の開口部３ａ
の状態( スクリーンの伸びによる拡張等) を検出し、そ
の結果に基づいてフレームへの応力印加を行う第二実施
例によれば、スクリーン３の経時変化による開口部３ａ
の寸法誤差を防止することができ、実際に印刷される蛍
光体の寸法精度を高めることが可能となる。なお、第二
実施例では、開口部３ａの２カ所でトータルピッチを検
出しており、それぞれの位置においてエアーシリンダー
４による寸法調整を行うことで、開口部３ａの長手方向
の位置の違いによる寸法バラツキに対しても対応するこ
とが可能となっている。
の状態( スクリーンの伸びによる拡張等) を検出し、そ
の結果に基づいてフレームへの応力印加を行う第二実施
例によれば、スクリーン３の経時変化による開口部３ａ
の寸法誤差を防止することができ、実際に印刷される蛍
光体の寸法精度を高めることが可能となる。なお、第二
実施例では、開口部３ａの２カ所でトータルピッチを検
出しており、それぞれの位置においてエアーシリンダー
４による寸法調整を行うことで、開口部３ａの長手方向
の位置の違いによる寸法バラツキに対しても対応するこ
とが可能となっている。
【００２８】また、図示していないが、ガラス基板１０
に印刷される蛍光体の外形（パターン）寸法を検出する
手段（例えばＣＣＤカメラ）を設置しておき、この検出
結果に基づいてフレーム２に印加する応力を調整した
り、さらに実際に印刷された蛍光体のパターン寸法とス
クリーン３の開口部３ａのパターン寸法の両方を検出し
て、双方の検出結果に基づいてフレーム２に印加する応
力を調整する等して、印刷精度を高めることも可能であ
る。
に印刷される蛍光体の外形（パターン）寸法を検出する
手段（例えばＣＣＤカメラ）を設置しておき、この検出
結果に基づいてフレーム２に印加する応力を調整した
り、さらに実際に印刷された蛍光体のパターン寸法とス
クリーン３の開口部３ａのパターン寸法の両方を検出し
て、双方の検出結果に基づいてフレーム２に印加する応
力を調整する等して、印刷精度を高めることも可能であ
る。
【００２９】図８も本発明の拡張例に相当する第三実施
例のスクリーンマスクを示す図であり、図８(a)は斜視
図、図８(b)は断面図を示す。なお、この第三実施例に
おいても、第一実施例と同一部分には同一符号を付して
いる。この第三実施例が第一実施例に比して異なる構成
は、エアーシリンダー４がフレーム２の一方の枠体辺部
に対してのみ設けられ、フレーム２の他方の枠体辺部に
は当接ブロック１６が面接触するように設けられている
点である。すなわち、当接ブロック１６は、フレーム２
における１つの枠体辺部の側面全体に接触しており、ネ
ジ式の加圧ピン１７によりストロークの変更を可能とし
ている。
例のスクリーンマスクを示す図であり、図８(a)は斜視
図、図８(b)は断面図を示す。なお、この第三実施例に
おいても、第一実施例と同一部分には同一符号を付して
いる。この第三実施例が第一実施例に比して異なる構成
は、エアーシリンダー４がフレーム２の一方の枠体辺部
に対してのみ設けられ、フレーム２の他方の枠体辺部に
は当接ブロック１６が面接触するように設けられている
点である。すなわち、当接ブロック１６は、フレーム２
における１つの枠体辺部の側面全体に接触しており、ネ
ジ式の加圧ピン１７によりストロークの変更を可能とし
ている。
【００３０】したがって、スクリーンマスク１’は、フ
レーム２の一側面を当接ブロック１６に付き当てた状態
で、反対側のエアーシリンダー４によりフレーム２に応
力を加えることで、スクリーン３における開口部寸法の
微調整が行なわれる。この第三実施例によれば、当接ブ
ロック１６によりフレーム２の片方の側面全体が支持さ
れているため、フレーム２に部分的に応力が加わること
がなく、均等な応力印加が可能である。故に、より精度
の高い調整を行なうことができる。
レーム２の一側面を当接ブロック１６に付き当てた状態
で、反対側のエアーシリンダー４によりフレーム２に応
力を加えることで、スクリーン３における開口部寸法の
微調整が行なわれる。この第三実施例によれば、当接ブ
ロック１６によりフレーム２の片方の側面全体が支持さ
れているため、フレーム２に部分的に応力が加わること
がなく、均等な応力印加が可能である。故に、より精度
の高い調整を行なうことができる。
【００３１】次に本発明の変形例を説明する。図９はフ
レームへの応力印加手段の別の例を説明するための図で
ある。図９に示す応力印加手段は、スクリーン２３を接
着支持するフレーム２２の端部を挟持してねじ止めされ
る挟持部材２４を有し、これをモータ等の駆動源２５に
よって駆動する構成とされている。
レームへの応力印加手段の別の例を説明するための図で
ある。図９に示す応力印加手段は、スクリーン２３を接
着支持するフレーム２２の端部を挟持してねじ止めされ
る挟持部材２４を有し、これをモータ等の駆動源２５に
よって駆動する構成とされている。
【００３２】このような応力印加手段によれば、フレー
ム２２を挟持しているため、図３に示す応力印加手段が
フレームを縮小するのみであるのに対して、フレーム２
２を外側に引っ張る方向に応力を印加することができ
る。従って、スクリーン２３の元の開口部の寸法に対し
て拡張することが可能で、開口部寸法の変更範囲がより
広くなる。
ム２２を挟持しているため、図３に示す応力印加手段が
フレームを縮小するのみであるのに対して、フレーム２
２を外側に引っ張る方向に応力を印加することができ
る。従って、スクリーン２３の元の開口部の寸法に対し
て拡張することが可能で、開口部寸法の変更範囲がより
広くなる。
【００３３】なお、制御装置２６は、図３において説明
した制御装置８と同様、入力される各種条件に従って駆
動源２５をコントロールするものである。以上説明した
実施例においては、フレームの対向する２つの枠体辺部
に対してエアーシリンダー等の応力印加手段を設けた
が、その設置位置、数量は、パターン寸法の変更方向等
によって適宜選定すれば良く限定されるものではない。
した制御装置８と同様、入力される各種条件に従って駆
動源２５をコントロールするものである。以上説明した
実施例においては、フレームの対向する２つの枠体辺部
に対してエアーシリンダー等の応力印加手段を設けた
が、その設置位置、数量は、パターン寸法の変更方向等
によって適宜選定すれば良く限定されるものではない。
【００３４】また、本発明は微細パターンの印刷におい
て効果を有するものであり、ＰＤＰの蛍光体印刷に限定
されるものでもなく、例えばＰＤＰの隔壁、プリント回
路の配線用導体等を形成する場合に適用可能である。
て効果を有するものであり、ＰＤＰの蛍光体印刷に限定
されるものでもなく、例えばＰＤＰの隔壁、プリント回
路の配線用導体等を形成する場合に適用可能である。
【００３５】
【発明の効果】本発明のスクリーン印刷方法及びスクリ
ーン印刷装置によれば、スクリーンを接着支持している
フレームに応力を加えることにより、スクリーンを面内
方向に拡張或いは収縮可能となっており、スクリーンに
おけるパターンの微調整を行うことができ、従って高精
度の印刷が可能であり、また印刷条件の変化や仕様変更
等によるパターン寸法の変更に容易に対応可能であると
共に、マスク設計も簡単になる。さらに応力印加手段を
追加するだけの簡単な構成であり、作業性も容易である
など実用的に優れた効果を奏する。
ーン印刷装置によれば、スクリーンを接着支持している
フレームに応力を加えることにより、スクリーンを面内
方向に拡張或いは収縮可能となっており、スクリーンに
おけるパターンの微調整を行うことができ、従って高精
度の印刷が可能であり、また印刷条件の変化や仕様変更
等によるパターン寸法の変更に容易に対応可能であると
共に、マスク設計も簡単になる。さらに応力印加手段を
追加するだけの簡単な構成であり、作業性も容易である
など実用的に優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例を説明するためのスクリー
ンマスクの斜視図である。
ンマスクの斜視図である。
【図２】本発明の第一実施例を説明するためのスクリー
ンマスクの断面図である。
ンマスクの断面図である。
【図３】本発明の第一実施例に係るフレームへの応力印
加手段を説明するための図である。
加手段を説明するための図である。
【図４】蛍光体の印刷工程を説明するための断面図であ
る。
る。
【図５】本発明の第一実施例で使用するスクリーンの具
体的構成を説明するための平面図である。
体的構成を説明するための平面図である。
【図６】本発明に係る蛍光体ペーストが印刷されたガラ
ス基板平面図及び圧力に対するピッチ変化を示すグラフ
である。
ス基板平面図及び圧力に対するピッチ変化を示すグラフ
である。
【図７】本発明の第二実施例を説明するためのスクリー
ンマスクの斜視図である。
ンマスクの斜視図である。
【図８】本発明の第三実施例を説明するためのスクリー
ンマスクの斜視図及び断面図である。
ンマスクの斜視図及び断面図である。
【図９】本発明に係るフレームへの応力印加手段の別の
例を説明するための図である。
例を説明するための図である。
【図１０】従来のスクリーン印刷方法、印刷装置を説明
するためのスクリーンマスクの斜視図及び断面図であ
る。
するためのスクリーンマスクの斜視図及び断面図であ
る。
１ スクリーンマスク ２ フレーム ３ スクリーン ３ａ 開口部 ４ エアシリンダー（応力印加手段） ５ エアー供給管 ６ マスク支持体 ７ マスフローコントローラ ８ 制御装置 ９ ＣＣＤカメラ １０ ガラス基板（ＰＤＰ基板） １４ 蛍光体
フロントページの続き (72)発明者 佐坂 正明 鹿児島県薩摩郡入来町副田5950番地 株式 会社九州富士通エレクトロニクス内 (72)発明者 三瓶 稔 鹿児島県薩摩郡入来町副田5950番地 株式 会社九州富士通エレクトロニクス内
Claims (10)
- 【請求項１】 印刷パターンに対応する開口部が形成さ
れ、かつフレームに張られたスクリーンを用いて、被印
刷面に印刷材料を印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、 前記フレームに対してそれの側面から外力を加え、該フ
レームを変形させて前記スクリーンの開口部寸法を縮小
した状態で、前記印刷材料を当該スクリーンの開口部を
介して前記被印刷面に印刷することを特徴とするスクリ
ーン印刷方法。 - 【請求項２】 並列する複数のストライプ形状の開口部
を有するスクリーンを、四辺形のスクリーン固定用フレ
ームに張りつけて形成したスクリーンマスクを用いて、
被印刷面に複数の平行なストライプ状印刷体を形成する
スクリーン印刷方法において、 前記スクリーン固定用フレームにおける前記ストライプ
状開口部群と平行する２つの枠体辺部に対してそれの側
面から外力を加えることにより、その枠体辺部を内方向
へ変形させて当該スクリーンのストライプ状開口部の幅
寸法を縮小した状態で、前記印刷材料を当該スクリーン
の開口部を介して前記被印刷面に印刷することを特徴と
するスクリーン印刷方法。 - 【請求項３】 所定の印刷回数ごとに前記枠体辺部に対
する外力の大きさを変更することを特徴とする請求項１
又は請求項２記載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項４】 前記スクリーンにおける開口部の形状を
検出し、その検出結果に基づき前記枠体辺部に対する外
力を制御することを特徴とする請求項１又は請求項２記
載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項５】 並列する複数のストライプ形状の開口部
を有するスクリーンを、四辺形のスクリーン固定用フレ
ームに張りつけて形成したスクリーンマスクを用いて、
被印刷面に複数の平行なストライプ状印刷体を形成する
スクリーン印刷方法において、 前記スクリーン固定用フレームにおける前記ストライプ
状開口部群と平行する２つの枠体辺部を外側に引っ張る
ことにより、その枠体辺部を外方向へ変形させて当該ス
クリーンのストライプ状開口部の幅寸法を拡張した状態
で、前記印刷材料を当該スクリーンの開口部を介して前
記被印刷面に印刷することを特徴とするスクリーン印刷
方法。 - 【請求項６】 印刷材料をスクリーンの開口部を通過さ
せて被印刷面に塗布するスクリーン印刷装置であって、 印刷パターンに対応した形状の印刷材料通過用開口部を
有するスクリーンと、 前記スクリーンを所定の張力をもって支持する四辺形の
スクリーン固定用フレームと、 前記スクリーン固定用フレームにおける少なくとも対向
する２つの枠体辺部の少なくとも一方の側面に圧力を加
える手段とを備えてなることを特徴とするスクリーン印
刷装置。 - 【請求項７】 基板上に並列された複数のストライプ状
隔壁の間に形成される細長い溝内に、ストライプ状の蛍
光体ペーストを充填するスクリーン印刷装置であって、 前記複数の細長い溝の形状に対応した複数の開口部を有
するスクリーンと、 前記スクリーンを所定の張力をもって支持する四辺形の
スクリーン固定用フレームと、 前記スクリーン固定用フレームにおける前記ストライプ
状開口部群と平行する２つの枠体辺部の少なくとも一方
の側面に圧力を加える手段とを備え、 前記圧力を印加する手段は、印刷時その圧力により、前
記フレームの枠体辺部を内方向に変形させて前記スクリ
ーンのストライプ状開口部の幅寸法を縮小し、当該開口
部の配列ピッチを前記基板上の細長い溝の配列ピッチと
一致させることを特徴とするスクリーン印刷装置。 - 【請求項８】 前記圧力を印加する手段が、前記２つの
枠体辺部に対して個別に圧力を加える２組のエアーシリ
ンダーからなることを特徴とする請求項６又は請求項７
記載のスクリーン印刷装置。 - 【請求項９】 前記圧力を印加する手段が、一方の枠体
辺部の側面に面接触する当接ブロックと、他方の枠体辺
部の側面に圧力を加えるエアーシリンダーとからなるこ
とを特徴とする請求項６又は請求項７記載のスクリーン
印刷装置。 - 【請求項１０】 前記スクリーンのストライプ状開口部
群のトータルピッチを検出する手段をさらに備え、この
検出出力に基づいて前記圧力印加手段の圧力を制御する
ことを特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18018097A JP4059305B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | スクリーン印刷装置 |
| US09/042,849 US6012388A (en) | 1997-07-04 | 1998-03-17 | Screen printing method and screen printing apparatus |
| KR1019980009664A KR100301738B1 (ko) | 1997-07-04 | 1998-03-20 | 스크린인쇄방법및스크린인쇄장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18018097A JP4059305B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | スクリーン印刷装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1120127A true JPH1120127A (ja) | 1999-01-26 |
| JPH1120127A5 JPH1120127A5 (ja) | 2005-05-12 |
| JP4059305B2 JP4059305B2 (ja) | 2008-03-12 |
Family
ID=16078794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18018097A Expired - Fee Related JP4059305B2 (ja) | 1997-07-04 | 1997-07-04 | スクリーン印刷装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6012388A (ja) |
| JP (1) | JP4059305B2 (ja) |
| KR (1) | KR100301738B1 (ja) |
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| CN101794019A (zh) * | 2010-03-10 | 2010-08-04 | 深圳市宇顺电子股份有限公司 | 电湿润显示器的注入网版及注入制程 |
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| KR20180063732A (ko) * | 2016-12-02 | 2018-06-12 | 최정곤 | 메탈 마스크 지지장치 |
| CN111417902A (zh) * | 2017-11-24 | 2020-07-14 | 梵尼克斯有限公司 | 印刷丝网框架固定装置 |
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| KR100327352B1 (ko) * | 1998-11-18 | 2002-05-09 | 구자홍 | 플라즈마디스플레이패널 |
| KR100407170B1 (ko) * | 2001-08-08 | 2003-11-28 | 박수관 | 평면브라운관 제조공정 중 패널상 형광체 인쇄방법 및 그장치 |
| US7107901B2 (en) * | 2003-10-14 | 2006-09-19 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for rapid cooling of metal screening masks |
| DE102011005157A1 (de) * | 2011-03-04 | 2012-09-27 | JRT Photovoltaics GmbH & Co. KG | Bearbeitungsstation für flächige Substrate, insbesondere Solarzellen |
| KR101315597B1 (ko) | 2012-05-08 | 2013-10-08 | 덕우전자주식회사 | 스티프너 부품의 도장용 지그 |
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| CN109703225A (zh) * | 2018-09-12 | 2019-05-03 | 湖南飞优特电子科技有限公司 | 一种丝印偏位改善方法 |
| CN113941787B (zh) * | 2021-12-09 | 2025-01-28 | 苏州德龙激光股份有限公司 | 丝网印刷板激光加工气动夹具 |
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|---|---|---|---|---|
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| DE3517011C1 (de) * | 1985-05-11 | 1986-06-12 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Siebdruckvorrichtung |
| US5162008A (en) * | 1988-07-22 | 1992-11-10 | Zenith Electronics Corporation | Method and apparatus for stretching interchangeable tension masks in color cathode ray tubes |
| JPH03120047A (ja) * | 1989-10-03 | 1991-05-22 | Kooken Kagaku Kk | スクリーン印刷用マスク装置 |
| US5063842A (en) * | 1990-10-02 | 1991-11-12 | M & R Printing Equipment, Inc. | Screen tensioning and framing device and method therefor |
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-
1997
- 1997-07-04 JP JP18018097A patent/JP4059305B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-03-17 US US09/042,849 patent/US6012388A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-20 KR KR1019980009664A patent/KR100301738B1/ko not_active Expired - Fee Related
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| US6012388A (en) | 2000-01-11 |
| KR19990013334A (ko) | 1999-02-25 |
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