JPH11201865A - 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 - Google Patents
液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法Info
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- JPH11201865A JPH11201865A JP354298A JP354298A JPH11201865A JP H11201865 A JPH11201865 A JP H11201865A JP 354298 A JP354298 A JP 354298A JP 354298 A JP354298 A JP 354298A JP H11201865 A JPH11201865 A JP H11201865A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液晶パネルのセルギャップのむらが許容範囲
内にあるか否かを検査する装置及び方法、並びにセルギ
ャップを測定する装置及び方法において、検査精度及び
測定精度を夫々高める。 【解決手段】 液晶パネル（１０１）を撮像してＲＧＢ
別の受光信号を出力するカラーＣＣＤカメラ（１）と、
該撮像された表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫
々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの
光量をＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段
（１０）と、一点についてＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較手段（１０）と、各点
間における検査用色の光量の差を出力する出力手段（２
０）とを備える。
内にあるか否かを検査する装置及び方法、並びにセルギ
ャップを測定する装置及び方法において、検査精度及び
測定精度を夫々高める。 【解決手段】 液晶パネル（１０１）を撮像してＲＧＢ
別の受光信号を出力するカラーＣＣＤカメラ（１）と、
該撮像された表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫
々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの
光量をＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手段
（１０）と、一点についてＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較手段（１０）と、各点
間における検査用色の光量の差を出力する出力手段（２
０）とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネルのセル
ギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを検査する検
査装置及び方法、並びに液晶パネルのセルギャップを測
定するセルギャップ測定装置及び方法の技術分野に属す
る。
ギャップのむらが許容範囲内にあるか否かを検査する検
査装置及び方法、並びに液晶パネルのセルギャップを測
定するセルギャップ測定装置及び方法の技術分野に属す
る。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルは、液晶セル内の液晶層の各
画素における光の透過率（以下、単に“透過率”とい
う）を変化させることによりパネル全体として画像を表
示する。ここで、液晶セル内の液晶層の厚み（以下、
“セルギャップ”と称する）が２次元的広がりを持つパ
ネル面内の各位置で異なる（即ち、“セルギャップむ
ら”がある）と、同じ液晶配向状態における透過率の値
や液晶印加電圧に対する透過率の変化特性が各位置で異
なってしまう。すると、このセルギャップむらに応じて
各画素における表示品質に差が出て、液晶パネル全体と
して画質が低下してしまう。このため、この種の液晶パ
ネルの製品化の際には、例えばパネル表面の中央部と端
部との間でのセルギャップむらが、画質維持のために必
要な許容範囲を超えてしまう場合には、当該液晶パネル
は不良品であると判定するセルギャップむら検査が必要
となる。
画素における光の透過率（以下、単に“透過率”とい
う）を変化させることによりパネル全体として画像を表
示する。ここで、液晶セル内の液晶層の厚み（以下、
“セルギャップ”と称する）が２次元的広がりを持つパ
ネル面内の各位置で異なる（即ち、“セルギャップむ
ら”がある）と、同じ液晶配向状態における透過率の値
や液晶印加電圧に対する透過率の変化特性が各位置で異
なってしまう。すると、このセルギャップむらに応じて
各画素における表示品質に差が出て、液晶パネル全体と
して画質が低下してしまう。このため、この種の液晶パ
ネルの製品化の際には、例えばパネル表面の中央部と端
部との間でのセルギャップむらが、画質維持のために必
要な許容範囲を超えてしまう場合には、当該液晶パネル
は不良品であると判定するセルギャップむら検査が必要
となる。
【０００３】他方で、液晶パネルの伝統的な製品検査と
して、液晶パネルの表面全体における輝度むら検査があ
る。この輝度むら検査では、液晶パネルの表面全体をＣ
ＣＤカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部にお
ける輝度を検出して検出値を数値比較したり、或いは、
検出された各輝度をディスプレイ画面上にて２次元表示
して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネルの各
画素における輝度とセルギャップとの間には比較的リニ
アに近い関係があるとされており、このため従来は、液
晶パネルのセルギャップむら検査方法においては、上述
の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部と
端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセルギ
ャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か（即ち、セ
ルギャップむらが大きいために不良品であるか否か）を
検査している。
して、液晶パネルの表面全体における輝度むら検査があ
る。この輝度むら検査では、液晶パネルの表面全体をＣ
ＣＤカメラで撮影して、液晶パネルの中央部と端部にお
ける輝度を検出して検出値を数値比較したり、或いは、
検出された各輝度をディスプレイ画面上にて２次元表示
して目視比較したりする。ここで特に、液晶パネルの各
画素における輝度とセルギャップとの間には比較的リニ
アに近い関係があるとされており、このため従来は、液
晶パネルのセルギャップむら検査方法においては、上述
の輝度むら検査方法を応用して、液晶パネルの中央部と
端部とにおける輝度の差に基づいて液晶パネルのセルギ
ャップの差が所定の許容範囲を超えるか否か（即ち、セ
ルギャップむらが大きいために不良品であるか否か）を
検査している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般的な或いは実用化
されている液晶パネルのセルギャップの値は、４μｍ程
度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によ
ると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギ
ャップの検査方法によれば、３．５μｍ程度より小さい
ギャップや４．５μｍよりも大きいギャップについて
は、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係と
なっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範
囲に入っているか否かを精度良く判定できる。
されている液晶パネルのセルギャップの値は、４μｍ程
度であることが多い。ここで、本願発明者らの研究によ
ると、前述した従来の輝度に基づく液晶パネルのセルギ
ャップの検査方法によれば、３．５μｍ程度より小さい
ギャップや４．５μｍよりも大きいギャップについて
は、輝度とセルギャップとが比較的リニアに近い関係と
なっており、輝度に基づきセルギャップが所定の許容範
囲に入っているか否かを精度良く判定できる。
【０００５】しかしながら、この約４±０．５μｍの範
囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しな
い。或いは、この約４±０．５μｍの範囲内のセルギャ
ップに対して輝度が極小となる個所（即ち、輝度が小さ
くなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所）が存在す
る。このため、特に実用上必要な約４±０．５μｍの範
囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむら
を精度良く検査することは根本的に困難であるという問
題点がある。
囲では、セルギャップが変化しても輝度は余り変化しな
い。或いは、この約４±０．５μｍの範囲内のセルギャ
ップに対して輝度が極小となる個所（即ち、輝度が小さ
くなり且つ輝度の変化率も小さくなる個所）が存在す
る。このため、特に実用上必要な約４±０．５μｍの範
囲内においては、輝度の差に基づいてセルギャップむら
を精度良く検査することは根本的に困難であるという問
題点がある。
【０００６】本発明は上述した問題点に鑑みなされたも
のであり、高精度の液晶パネルのセルギャップむら検査
装置及び方法、並びに高精度のセルギャップ測定装置及
び方法を提供することを課題とする。
のであり、高精度の液晶パネルのセルギャップむら検査
装置及び方法、並びに高精度のセルギャップ測定装置及
び方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の液晶パ
ネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決する
ために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パ
ネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の
光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該
液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫
々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの
光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手
段と、該検出手段により前記第１の点と前記第２の点と
のうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量と
の大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応する
Ｒ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、前記第
１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色
の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力
する出力手段とを備えたことを特徴とする。
ネルのセルギャップむら検査装置は上記課題を解決する
ために、面状光源と、該面状光源上に載せられた液晶パ
ネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の
光を受光すると共に受光信号を出力する受光素子と、該
液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に夫
々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧの
光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出手
段と、該検出手段により前記第１の点と前記第２の点と
のうちの一点について検出されたＲの光量とＧの光量と
の大小を比較すると共に小さくない方の光量に対応する
Ｒ又はＧを検査用色として設定する比較手段と、前記第
１の点と前記第２の点夫々との間における前記検査用色
の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫々出力
する出力手段とを備えたことを特徴とする。
【０００８】請求項１に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査装置によれば、受光素子により、面状光源上
に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光され
る。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第
１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおける
Ｒの光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段によ
り、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。
ここで、本願発明者らの研究によると、セルギャップに
対するＲの光量（Ｒの透過率）の変化特性と、セルギャ
ップに対するＧの光量（Ｇの透過率）の変化特性とは相
異なり、一般にはセルギャップが約４．２μｍ程度のと
ころを境に、これよりもセルギャップが小さい範囲で
は、セルギャップに対するＲの光量の変化率の方が、セ
ルギャップに対するＧの光量の変化率よりも大きくな
り、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏
感に反応する。これに対して、約４．２μｍ程度よりも
セルギャップが大きい範囲では、セルギャップに対する
Ｇの光量の変化率の方が、セルギャップに対するＲの光
量の変化率よりも大きくなり、Ｇの光量の方がセルギャ
ップの増減に対してより敏感に反応する。従って、上述
のように比較手段により検査用色として設定されるＲ又
はＧは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏
感に反応する方の色となる。そして、このように設定さ
れた検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫
々との間における光量の差が、出力手段によりセルギャ
ップむらの指標値として夫々出力される。
プむら検査装置によれば、受光素子により、面状光源上
に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光され
る。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第
１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおける
Ｒの光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出される。続いて、比較手段によ
り、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。
ここで、本願発明者らの研究によると、セルギャップに
対するＲの光量（Ｒの透過率）の変化特性と、セルギャ
ップに対するＧの光量（Ｇの透過率）の変化特性とは相
異なり、一般にはセルギャップが約４．２μｍ程度のと
ころを境に、これよりもセルギャップが小さい範囲で
は、セルギャップに対するＲの光量の変化率の方が、セ
ルギャップに対するＧの光量の変化率よりも大きくな
り、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に対してより敏
感に反応する。これに対して、約４．２μｍ程度よりも
セルギャップが大きい範囲では、セルギャップに対する
Ｇの光量の変化率の方が、セルギャップに対するＲの光
量の変化率よりも大きくなり、Ｇの光量の方がセルギャ
ップの増減に対してより敏感に反応する。従って、上述
のように比較手段により検査用色として設定されるＲ又
はＧは、その光量がセルギャップの増減に対してより敏
感に反応する方の色となる。そして、このように設定さ
れた検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫
々との間における光量の差が、出力手段によりセルギャ
ップむらの指標値として夫々出力される。
【０００９】この結果、セルギャップむらの指標値とし
て出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定
された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該
検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品
であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
て出力された光量の差が、予め経験上または計算上設定
された所定の許容範囲に入っているか否かにより、当該
検査された液晶パネルがセルギャップむらに関して良品
であるか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００１０】請求項２に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１に
記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置におい
て、前記出力手段は、前記ＲＧＢ別の受光信号のうち前
記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの
表面全体について擬似カラー化して２次元表示するカラ
ー表示手段を備えたことを特徴とする。
プむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１に
記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置におい
て、前記出力手段は、前記ＲＧＢ別の受光信号のうち前
記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液晶パネルの
表面全体について擬似カラー化して２次元表示するカラ
ー表示手段を備えたことを特徴とする。
【００１１】請求項２に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査装置によれば、カラー表示手段により、検査
用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネルの表面全体
について擬似カラー化されて２次元表示される。従っ
て、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に対
応する）セルギャップの差を、カラー表示手段の画面上
における色の差として視覚的に認識できる。
プむら検査装置によれば、カラー表示手段により、検査
用色の受光信号の出力レベルが、液晶パネルの表面全体
について擬似カラー化されて２次元表示される。従っ
て、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に対
応する）セルギャップの差を、カラー表示手段の画面上
における色の差として視覚的に認識できる。
【００１２】請求項３に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１又
は２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置に
おいて、前記第１の点と前記第２の点夫々との間におけ
る前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内
にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特
徴とする。
プむら検査装置は上記課題を解決するために請求項１又
は２に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置に
おいて、前記第１の点と前記第２の点夫々との間におけ
る前記検査用色の光量の差が予め設定された許容範囲内
にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたことを特
徴とする。
【００１３】請求項３に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査装置によれば、判定手段により、第１の点と
第２の点夫々との間における検査用色の光量の差が、予
め設定された許容範囲内にあるか否かが判定される。従
って、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に
対応する）セルギャップの差を自動的に数値比較でき
る。例えば、光量の差が許容範囲内にあれば、自動的に
良品であるとの判定結果が出力され、光量の差が許容範
囲内になければ、自動的に不良品であるとの判定結果が
下される。
プむら検査装置によれば、判定手段により、第１の点と
第２の点夫々との間における検査用色の光量の差が、予
め設定された許容範囲内にあるか否かが判定される。従
って、液晶パネルの中央部と端部における（光量の差に
対応する）セルギャップの差を自動的に数値比較でき
る。例えば、光量の差が許容範囲内にあれば、自動的に
良品であるとの判定結果が出力され、光量の差が許容範
囲内になければ、自動的に不良品であるとの判定結果が
下される。
【００１４】請求項４に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査方法は上記課題を解決するために、面状光源
上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ
（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を
出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置
する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とに
おけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号
から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第
１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出され
たＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さく
ない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定
する比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々との
間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむら
の指標値として夫々出力する出力工程とを備えたことを
特徴とする。
プむら検査方法は上記課題を解決するために、面状光源
上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ
（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を
出力する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置
する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とに
おけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号
から夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第
１の点と前記第２の点とのうちの一点について検出され
たＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さく
ない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定
する比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々との
間における前記検査用色の光量の差をセルギャップむら
の指標値として夫々出力する出力工程とを備えたことを
特徴とする。
【００１５】請求項４に記載の液晶パネルのセルギャッ
プむら検査方法によれば、受光素子により、面状光源上
に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光され
る。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第
１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおける
Ｒの光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程によ
り、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。
そして、このように設定された検査用色（即ちＲ又は
Ｇ）の第１の点と第２の点夫々との間における光量の差
が、出力工程によりセルギャップむらの指標値として夫
々出力される。
プむら検査方法によれば、受光素子により、面状光源上
に載せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光され
る。すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第
１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおける
Ｒの光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出される。続いて、比較工程によ
り、第１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの
光量とＧの光量との大小が比較され、小さくない方の光
量に対応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。
そして、このように設定された検査用色（即ちＲ又は
Ｇ）の第１の点と第２の点夫々との間における光量の差
が、出力工程によりセルギャップむらの指標値として夫
々出力される。
【００１６】この結果、前述した本発明のセルギャップ
むら検査装置の場合と同様に、検査された液晶パネルが
セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるか
を精度良く検査できる。
むら検査装置の場合と同様に、検査された液晶パネルが
セルギャップむらに関して良品であるか不良品であるか
を精度良く検査できる。
【００１７】請求項５に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定装置は上記課題を解決するために、面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ
（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に
受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の
中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第
２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別
の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段に
より前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点につい
て検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると
共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色
として設定する比較手段と、前記Ｒ及びＧの各光量に夫
々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルッ
クアップテーブルを格納する記憶手段と、前記第１の点
と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対
応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブ
ルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々と
におけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手
段とを備えたことを特徴とする。
プ測定装置は上記課題を解決するために、面状光源と、
該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ
（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に
受光信号を出力する受光素子と、該液晶パネルの表面の
中央に位置する第１の点と四隅に夫々位置する４つの第
２の点とにおけるＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別
の受光信号から夫々検出する検出手段と、該検出手段に
より前記第１の点と前記第２の点とのうちの一点につい
て検出されたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると
共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色
として設定する比較手段と、前記Ｒ及びＧの各光量に夫
々対する前記セルギャップの各値が予め設定されたルッ
クアップテーブルを格納する記憶手段と、前記第１の点
と前記第２の点夫々とにおける前記検査用色の光量に対
応する前記セルギャップの値を前記ルックアップテーブ
ルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々と
におけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力手
段とを備えたことを特徴とする。
【００１８】請求項５に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定装置によれば、受光素子により、面状光源上に載
せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。
すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の
点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の受光
信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第
１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量と
Ｇの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対
応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここ
で、前述したように、比較手段により検査用色として設
定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶
手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップ
の各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納
されている。そして、比較手段により設定された検査用
色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納
されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点
と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫
々出力される。
プ測定装置によれば、受光素子により、面状光源上に載
せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。
すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の
点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、検出手段により、ＲＧＢ別の受光
信号から夫々検出される。続いて、比較手段により、第
１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量と
Ｇの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対
応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここ
で、前述したように、比較手段により検査用色として設
定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶
手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップ
の各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納
されている。そして、比較手段により設定された検査用
色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納
されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点
と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫
々出力される。
【００１９】この結果、セルギャップの大小に応じて、
より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャッ
プを精度良く測定できる。
より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャッ
プを精度良く測定できる。
【００２０】請求項６に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定装置は上記課題を解決するために請求項５に記載
の液晶パネルのセルギャップ測定装置において、前記記
憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格
納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セル
ギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出し
て出力するようにプログラムされたＰＲＯＭ（プログラ
マブル読み出し専用メモリ）から構成されていることを
特徴とする。
プ測定装置は上記課題を解決するために請求項５に記載
の液晶パネルのセルギャップ測定装置において、前記記
憶手段及び出力手段は、前記ルックアップテーブルを格
納しており且つ前記検査用色の光量に対応する前記セル
ギャップの値を前記ルックアップテーブルから読み出し
て出力するようにプログラムされたＰＲＯＭ（プログラ
マブル読み出し専用メモリ）から構成されていることを
特徴とする。
【００２１】請求項６に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定装置によれば、ルックアップテーブルはＰＲＯＭ
に格納されており、当該ＰＲＯＭにより検査用色の光量
に対応するセルギャップの値が、このルックアップテー
ブルから読み出されて出力される。このようにＰＲＯＭ
から構成された記憶手段及び出力手段により、セルギャ
ップの測定を迅速に行うことが出来る。
プ測定装置によれば、ルックアップテーブルはＰＲＯＭ
に格納されており、当該ＰＲＯＭにより検査用色の光量
に対応するセルギャップの値が、このルックアップテー
ブルから読み出されて出力される。このようにＰＲＯＭ
から構成された記憶手段及び出力手段により、セルギャ
ップの測定を迅速に行うことが出来る。
【００２２】請求項７に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定方法は上記課題を解決するために、面状光源上に
載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑
色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力
する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する
第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけ
るＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から
夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第１の
点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲ
の光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない
方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する
比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけ
る前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値
を、前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャッ
プの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルッ
クアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記
第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々
出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
プ測定方法は上記課題を解決するために、面状光源上に
載せられた液晶パネルの表面からのＲ（赤色）Ｇ（緑
色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に受光信号を出力
する受光工程と、該液晶パネルの表面の中央に位置する
第１の点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけ
るＲの光量及びＧの光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から
夫々検出する検出工程と、該検出工程により前記第１の
点と前記第２の点とのうちの一点について検出されたＲ
の光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さくない
方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設定する
比較工程と、前記第１の点と前記第２の点夫々とにおけ
る前記検査用色の光量に対応する前記セルギャップの値
を、前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャッ
プの各値が予め設定され且つ記憶手段に格納されたルッ
クアップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記
第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々
出力する出力工程とを備えたことを特徴とする。
【００２３】請求項７に記載の液晶パネルのセルギャッ
プ測定方法によれば、受光素子により、面状光源上に載
せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。
すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の
点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の受光
信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第
１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量と
Ｇの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対
応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここ
で、前述したように、比較手段により検査用色として設
定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶
手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップ
の各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納
されている。そして、比較工程により設定された検査用
色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納
されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点
と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫
々出力される。
プ測定方法によれば、受光素子により、面状光源上に載
せられた液晶パネルからのＲＧＢ別の光が受光される。
すると、この液晶パネルの表面の中央に位置する第１の
点と四隅に夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、検出工程により、ＲＧＢ別の受光
信号から夫々検出される。続いて、比較工程により、第
１の点と第２の点とのうちの一点について、Ｒの光量と
Ｇの光量との大小が比較され、小さくない方の光量に対
応するＲ又はＧが、検査用色として設定される。ここ
で、前述したように、比較手段により検査用色として設
定されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。他方で、記憶
手段には、Ｒ及びＧの各光量に夫々対するセルギャップ
の各値が、予め設定されたルックアップテーブルが格納
されている。そして、比較工程により設定された検査用
色（即ちＲ又はＧ）の第１の点と第２の点夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、記憶手段に格納
されたルックアップテーブルから読み出され、第１の点
と第２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫
々出力される。
【００２４】この結果、前述した本発明のセルギャップ
測定装置の場合と同様に、セルギャップの大小に応じ
て、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギ
ャップを精度良く測定できる。
測定装置の場合と同様に、セルギャップの大小に応じ
て、より適切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギ
ャップを精度良く測定できる。
【００２５】本発明のこのような作用及び他の利得は次
に説明する実施の形態から明らかにされよう。
に説明する実施の形態から明らかにされよう。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００２７】（第１の実施の形態）図１に、本発明によ
るセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップ
むら検査装置の全体構成を示す。
るセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップ
むら検査装置の全体構成を示す。
【００２８】図１において、検査装置１００は、受光素
子の一例としてのカラーＣＣＤカメラ１と、パソコン
（パーソナルコンピュータ）１０と、カラーモニター２
０とを備えて構成されている。
子の一例としてのカラーＣＣＤカメラ１と、パソコン
（パーソナルコンピュータ）１０と、カラーモニター２
０とを備えて構成されている。
【００２９】カラーＣＣＤカメラ１は、所定の撮影用台
上の、面状光源の一例としてのバックライト１１０上に
置かれた液晶パネル１０１の表面全体を撮像し、ＲＧＢ
別の受光信号を出力するように構成されている。
上の、面状光源の一例としてのバックライト１１０上に
置かれた液晶パネル１０１の表面全体を撮像し、ＲＧＢ
別の受光信号を出力するように構成されている。
【００３０】パソコン１０は、カラーＣＣＤカメラ１か
らのＲＧＢ別の受光信号線が夫々接続される外部入力端
子１１と、外部入力端子１１を介してカラーＣＣＤカメ
ラ１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されるインタ
ーフェースボード１２と、フロッピーディスク１３ａか
ら検査及び測定用プログラムや後述のルックアップテー
ブルを読み込んだり、フロッピーディスク１３ａに各種
の検査及び測定結果データを格納したりするＦＤ（フロ
ッピーディスク）ドライブ１３と、後述の検査及び測定
用プログラムが実行されるＣＰＵ（中央演算装置）１５
とを備えて構成されている。
らのＲＧＢ別の受光信号線が夫々接続される外部入力端
子１１と、外部入力端子１１を介してカラーＣＣＤカメ
ラ１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されるインタ
ーフェースボード１２と、フロッピーディスク１３ａか
ら検査及び測定用プログラムや後述のルックアップテー
ブルを読み込んだり、フロッピーディスク１３ａに各種
の検査及び測定結果データを格納したりするＦＤ（フロ
ッピーディスク）ドライブ１３と、後述の検査及び測定
用プログラムが実行されるＣＰＵ（中央演算装置）１５
とを備えて構成されている。
【００３１】ＣＰＵ１５は、フロッピーディスク１３ａ
から読み込まれるか或いは内蔵ハードディスクに格納さ
れた検査及び制御用プログラムにしたがって検出手段の
一例として機能して、カラーＣＣＤカメラ１により撮像
された液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて、図
２に示すように中央に位置する第１の点Ｐ１と四隅に夫
々位置する４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの光
量及びＧの光量をＲＧＢ別の受光信号から夫々検出す
る。
から読み込まれるか或いは内蔵ハードディスクに格納さ
れた検査及び制御用プログラムにしたがって検出手段の
一例として機能して、カラーＣＣＤカメラ１により撮像
された液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて、図
２に示すように中央に位置する第１の点Ｐ１と四隅に夫
々位置する４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの光
量及びＧの光量をＲＧＢ別の受光信号から夫々検出す
る。
【００３２】再び図１において、ＣＰＵ１５は、検査及
び制御用プログラムにしたがって比較手段の一例として
も機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのう
ちの一点（例えば、第１の点Ｐ１のみ）について検出さ
れたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さ
くない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設
定するように構成されている。即ちＲの透過率（光量）
＞Ｇの透過率（光量）の場合には、Ｒを検査用色として
設定し、Ｒの透過率（光量）＜Ｇの透過率（光量）の場
合には、Ｇを検査用色として設定し、両者が等しい場合
は（極めて希ではあるが）、Ｒ又はＧを検査用色として
設定するように構成されている。
び制御用プログラムにしたがって比較手段の一例として
も機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのう
ちの一点（例えば、第１の点Ｐ１のみ）について検出さ
れたＲの光量とＧの光量との大小を比較すると共に小さ
くない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色として設
定するように構成されている。即ちＲの透過率（光量）
＞Ｇの透過率（光量）の場合には、Ｒを検査用色として
設定し、Ｒの透過率（光量）＜Ｇの透過率（光量）の場
合には、Ｇを検査用色として設定し、両者が等しい場合
は（極めて希ではあるが）、Ｒ又はＧを検査用色として
設定するように構成されている。
【００３３】そして、ＣＰＵ１５は、検査及び制御用プ
ログラムにしたがってカラーモニター２０と共に出力手
段の一例としても機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ
２〜Ｐ５夫々との間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光
量の差を、セルギャップむらの指標値として夫々出力す
る。
ログラムにしたがってカラーモニター２０と共に出力手
段の一例としても機能して、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ
２〜Ｐ５夫々との間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光
量の差を、セルギャップむらの指標値として夫々出力す
る。
【００３４】他方で、フロッピーディスク１３ａ及びＦ
Ｄドライブ１３から記憶手段の一例が構成されており、
フロッピーディスク１３ａには、Ｒ及びＧの各光量に夫
々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルック
アップテーブルが格納されている。そして、ＣＰＵ１５
により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点
と第２の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップ
の値が、ＣＰＵ１５によりフロッピーディスク１３ａに
格納されたルックアップテーブルからＦＤドライブ１３
を介して読み出される。このように読み出された第１の
点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャッ
プの値が、セルギャップ測定値として夫々出力される。
Ｄドライブ１３から記憶手段の一例が構成されており、
フロッピーディスク１３ａには、Ｒ及びＧの各光量に夫
々対するセルギャップの各値が、予め設定されたルック
アップテーブルが格納されている。そして、ＣＰＵ１５
により設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点
と第２の点夫々とにおける光量に対応するセルギャップ
の値が、ＣＰＵ１５によりフロッピーディスク１３ａに
格納されたルックアップテーブルからＦＤドライブ１３
を介して読み出される。このように読み出された第１の
点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャッ
プの値が、セルギャップ測定値として夫々出力される。
【００３５】ここで、液晶パネル１０１において一対の
基板間に挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berrem
anの４×４マトリクス法で計算することが出来る。ま
た、液晶パネル１０１の一対の基板の対向面に夫々設け
られた配向膜の配向方向及び液晶の性質により規定され
る液晶のツイスト角が９０°であるＴＮ（ツイステッド
ネマチック）モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次
に示すように、簡単に計算できる。
基板間に挟持された液晶中の光の伝播は一般に、Berrem
anの４×４マトリクス法で計算することが出来る。ま
た、液晶パネル１０１の一対の基板の対向面に夫々設け
られた配向膜の配向方向及び液晶の性質により規定され
る液晶のツイスト角が９０°であるＴＮ（ツイステッド
ネマチック）モードの場合には、Gooch-Tarryの式で次
に示すように、簡単に計算できる。
【００３６】即ち、ノーマリーブラックモードの時、液
晶セルの透過率は Ｔ＝Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１＋ｕ2） 但し、ｕ＝２Δｎｄ／λ （ｎ：屈折率、ｄ：セルギ
ャップ、λ：波長） また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過
率は Ｔ＝１−｛Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１
＋ｕ2）｝ で計算できる。
晶セルの透過率は Ｔ＝Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１＋ｕ2） 但し、ｕ＝２Δｎｄ／λ （ｎ：屈折率、ｄ：セルギ
ャップ、λ：波長） また、ノーマリーホワイトモードの時、液晶セルの透過
率は Ｔ＝１−｛Ｓｉｎ2（π／２×（１＋ｕ2）1/2）／（１
＋ｕ2）｝ で計算できる。
【００３７】このような計算に基づきシミュレーション
されるか或いは実験的に得られる液晶パネル１０１のセ
ルギャップとＲＧＢ各色の透過率（光量）との関係を図
３の特性図に示す。
されるか或いは実験的に得られる液晶パネル１０１のセ
ルギャップとＲＧＢ各色の透過率（光量）との関係を図
３の特性図に示す。
【００３８】図３に示すように、セルギャップｄに対す
るＲの透過率（光量）の変化特性、Ｇの透過率（光量）
の変化特性、及びＢの透過率（光量）の変化特性は、相
異なる。そして、セルギャップｄが約４．２μｍ程度の
ところを境に、これよりもセルギャップｄが小さい範囲
では、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率の方
が、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率よりも大
きくなっており、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応することが分かる。これに対し
て、約４．２μｍ程度よりもセルギャップｄが大きい範
囲では、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率の方
が、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率よりも大
きくなり、Ｇの光量の方がセルギャップｄの増減に対し
てより敏感に反応することが分かる。また、Ｂの光量に
ついては、セルギャップｄが約３μｍ程度のところに極
小値を持ち、約４．６μｍ程度の所に極大値を持つの
で、Ｂの透過率からセルギャップを特定することは理論
上も（実際上も）不可能であることが分かる。
るＲの透過率（光量）の変化特性、Ｇの透過率（光量）
の変化特性、及びＢの透過率（光量）の変化特性は、相
異なる。そして、セルギャップｄが約４．２μｍ程度の
ところを境に、これよりもセルギャップｄが小さい範囲
では、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率の方
が、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率よりも大
きくなっており、Ｒの光量の方がセルギャップの増減に
対してより敏感に反応することが分かる。これに対し
て、約４．２μｍ程度よりもセルギャップｄが大きい範
囲では、セルギャップｄに対するＧの光量の変化率の方
が、セルギャップｄに対するＲの光量の変化率よりも大
きくなり、Ｇの光量の方がセルギャップｄの増減に対し
てより敏感に反応することが分かる。また、Ｂの光量に
ついては、セルギャップｄが約３μｍ程度のところに極
小値を持ち、約４．６μｍ程度の所に極大値を持つの
で、Ｂの透過率からセルギャップを特定することは理論
上も（実際上も）不可能であることが分かる。
【００３９】従って、上述のように検査及び測定プログ
ラムにしたがって比較手段として機能するＣＰＵ１５に
より検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量が
セルギャップｄの増減に対してより敏感に反応する方の
色となる。
ラムにしたがって比較手段として機能するＣＰＵ１５に
より検査用色として設定されるＲ又はＧは、その光量が
セルギャップｄの増減に対してより敏感に反応する方の
色となる。
【００４０】そして、このように設定された検査用色
（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５
夫々との間における光量の差が、ＣＰＵ１５により計算
されて、カラーモニター２０の画面の上に例えば、セル
ギャップむらの指標値として表示される。
（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５
夫々との間における光量の差が、ＣＰＵ１５により計算
されて、カラーモニター２０の画面の上に例えば、セル
ギャップむらの指標値として表示される。
【００４１】この結果、本実施の形態によれば、セルギ
ャップむらの指標値としてカラーモニター２０の画面上
に表示された光量（透過率）の差が、予め経験上または
計算上設定された所定の許容範囲（例えば、±０．数μ
ｍ程度）に入っているか否かにより、当該検査された液
晶パネル１０１が、セルギャップむらに関して良品であ
るか不良品であるかを精度良く検査できる。
ャップむらの指標値としてカラーモニター２０の画面上
に表示された光量（透過率）の差が、予め経験上または
計算上設定された所定の許容範囲（例えば、±０．数μ
ｍ程度）に入っているか否かにより、当該検査された液
晶パネル１０１が、セルギャップむらに関して良品であ
るか不良品であるかを精度良く検査できる。
【００４２】更に、本実施の形態では特に、例えば図３
に示したようなＲの透過率（光量）とセルギャップｄと
の関係及びＢの透過率（光量）とセルギャップｄとの関
係を示すルックアップテーブルが、フロッピーディスク
１３ａに予め格納されている。そして、ＣＰＵ１５によ
り設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１
と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセ
ルギャップｄの値が、このルックアップテーブルから読
み出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とに
おけるセルギャップ測定値（合計５点おけるセルギャッ
プ測定値）として夫々出力される。
に示したようなＲの透過率（光量）とセルギャップｄと
の関係及びＢの透過率（光量）とセルギャップｄとの関
係を示すルックアップテーブルが、フロッピーディスク
１３ａに予め格納されている。そして、ＣＰＵ１５によ
り設定された検査用色（即ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１
と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおける光量に対応するセ
ルギャップｄの値が、このルックアップテーブルから読
み出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とに
おけるセルギャップ測定値（合計５点おけるセルギャッ
プ測定値）として夫々出力される。
【００４３】この結果、本実施の形態によれば、セルギ
ャップｄの大小に応じて、より適切なＲの光量（透過
率）又はＧの光量（透過率）を用いて、第１の点Ｐ１及
び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけるセルギャップｄを夫々精
度良く測定できる。
ャップｄの大小に応じて、より適切なＲの光量（透過
率）又はＧの光量（透過率）を用いて、第１の点Ｐ１及
び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけるセルギャップｄを夫々精
度良く測定できる。
【００４４】本実施の形態では特に、出力手段として機
能するＣＰＵ１５及びカラーモニター２０は、ＲＧＢ別
の受光信号のうち検査用色の受光信号の出力レベルを液
晶パネル１０１の表面全体について擬似カラー化して２
次元表示するように構成されている。図４にこのような
擬似カラー化した２次元表示の一例を示す。
能するＣＰＵ１５及びカラーモニター２０は、ＲＧＢ別
の受光信号のうち検査用色の受光信号の出力レベルを液
晶パネル１０１の表面全体について擬似カラー化して２
次元表示するように構成されている。図４にこのような
擬似カラー化した２次元表示の一例を示す。
【００４５】図４に示すように、カラーモニター２０の
画面２０ａには、例えば、液晶パネル１０１の表面の中
央に位置する第１の点Ｐ１におけるセルギャップの値を
基準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所
を赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇
所を黄色として、しかも第１の点Ｐ１におけるセルギャ
ップの値からの差を色濃度に対応するようにした擬似カ
ラー表面１０２が表示されている。
画面２０ａには、例えば、液晶パネル１０１の表面の中
央に位置する第１の点Ｐ１におけるセルギャップの値を
基準として、それよりも小さいセルギャップを持つ箇所
を赤色として、それよりも大きいセルギャップを持つ箇
所を黄色として、しかも第１の点Ｐ１におけるセルギャ
ップの値からの差を色濃度に対応するようにした擬似カ
ラー表面１０２が表示されている。
【００４６】この結果、検査装置１００によれば、液晶
パネル１０１の中央部と端部におけるセルギャップｄの
差を、カラーモニター２０の画面２０ａ上における色の
差として視覚的に認識できる。
パネル１０１の中央部と端部におけるセルギャップｄの
差を、カラーモニター２０の画面２０ａ上における色の
差として視覚的に認識できる。
【００４７】更に本実施の形態では、検査及び測定用プ
ログラムに従って、ＣＰＵ１５は判定手段の一例として
も機能し、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との
間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光量の差が、予め設
定された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定する。
判定結果としては、各点間のセルギャップ夫々につい
て、表示画面上に判定結果を示す欄を設けておき、この
欄に“良品”或いは“不良品”の如きテキストデータを
表示する。或いは、一つでも許容範囲内にない光量の差
が存在する場合に、液晶パネル１０１全体に対する判定
結果として、“不良品”の如きテキストデータを表示し
てもよい。尚、図４に示した表示画面２０ａ内の左上領
域には、このような判定結果として、“不良品”とのテ
キストデータ２０ｂが表示されている。
ログラムに従って、ＣＰＵ１５は判定手段の一例として
も機能し、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との
間における検査用色（Ｒ又はＧ）の光量の差が、予め設
定された許容範囲内にあるか否かを自動的に判定する。
判定結果としては、各点間のセルギャップ夫々につい
て、表示画面上に判定結果を示す欄を設けておき、この
欄に“良品”或いは“不良品”の如きテキストデータを
表示する。或いは、一つでも許容範囲内にない光量の差
が存在する場合に、液晶パネル１０１全体に対する判定
結果として、“不良品”の如きテキストデータを表示し
てもよい。尚、図４に示した表示画面２０ａ内の左上領
域には、このような判定結果として、“不良品”とのテ
キストデータ２０ｂが表示されている。
【００４８】このように本実施の形態の検査装置１００
によれば、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセ
ルギャップｄの差を自動的に数値比較できるだけでな
く、自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力
されるので便利である。
によれば、液晶パネル１０１の中央部と端部におけるセ
ルギャップｄの差を自動的に数値比較できるだけでな
く、自動的に良品又は不良品であるとの判定結果が出力
されるので便利である。
【００４９】尚、ＣＰＵ２において、Ｒの光量とＧの光
量を比較した結果、Ｇの光量の方がＲの光量よりも小さ
くない場合に、Ｇの光量を検査用色として設定したが、
この場合にも、Ｒの光量を検査用色として設定して、Ｒ
の光量を用いてセルギャップむら検査やセルギャップ測
定を行うようにしてもよい。
量を比較した結果、Ｇの光量の方がＲの光量よりも小さ
くない場合に、Ｇの光量を検査用色として設定したが、
この場合にも、Ｒの光量を検査用色として設定して、Ｒ
の光量を用いてセルギャップむら検査やセルギャップ測
定を行うようにしてもよい。
【００５０】次に、本実施の形態の検査装置１００を用
いたセルギャップむら検査及びセルギャップ測定の手順
について説明する。尚、検査装置１００にロードされる
フロッピーディスク１３ａには、前述のＲ及びＧの各光
量に対応する各セルギャップの値を示すルックアップテ
ーブルが予め格納されているものとする。
いたセルギャップむら検査及びセルギャップ測定の手順
について説明する。尚、検査装置１００にロードされる
フロッピーディスク１３ａには、前述のＲ及びＧの各光
量に対応する各セルギャップの値を示すルックアップテ
ーブルが予め格納されているものとする。
【００５１】先ず、実際に液晶パネル１０１を撮像する
前に、カラーＣＣＤカメラ１のホワイトバランスをと
る。この処理は液晶パネル１０１を撮影用台上のバック
ライト１１０上に載せる前に、バックライト１１０だけ
を撮影用台上に載せて、ＲＧＢ別に受光信号を得て、こ
れら各受光信号の出力レベルが相互に同じになるように
各色のゲインを設定する。このようにホワイトバランス
を採れば、色温度の高低に拘わらず受光信号中の光源む
らやレンズむらを補正できる。
前に、カラーＣＣＤカメラ１のホワイトバランスをと
る。この処理は液晶パネル１０１を撮影用台上のバック
ライト１１０上に載せる前に、バックライト１１０だけ
を撮影用台上に載せて、ＲＧＢ別に受光信号を得て、こ
れら各受光信号の出力レベルが相互に同じになるように
各色のゲインを設定する。このようにホワイトバランス
を採れば、色温度の高低に拘わらず受光信号中の光源む
らやレンズむらを補正できる。
【００５２】次に、液晶パネル１０１を撮影用台上のバ
ックライト１１０上に載せて、カラーＣＣＤカメラ１に
より、液晶パネル１０１の表面全体が撮像され、ＲＧＢ
別の受光信号が出力される。すると、この撮像された表
面の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、パソコン１０により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出され、続いて、第１の点Ｐ１と第
２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例えば、第１の点Ｐ
１）について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較さ
れ、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用
色として設定される。このように検査用色として設定さ
れるＲ又はＧは、前述のようにその光量がセルギャップ
ｄの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
ックライト１１０上に載せて、カラーＣＣＤカメラ１に
より、液晶パネル１０１の表面全体が撮像され、ＲＧＢ
別の受光信号が出力される。すると、この撮像された表
面の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにおけるＲの
光量及びＧの光量が、パソコン１０により、ＲＧＢ別の
受光信号から夫々検出され、続いて、第１の点Ｐ１と第
２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例えば、第１の点Ｐ
１）について、Ｒの光量とＧの光量との大小が比較さ
れ、小さくない方の光量に対応するＲ又はＧが、検査用
色として設定される。このように検査用色として設定さ
れるＲ又はＧは、前述のようにその光量がセルギャップ
ｄの増減に対してより敏感に反応する方の色となる。
【００５３】次に、このように設定された検査用色（即
ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々
との間における光量の差が、カラーモニター２０の画面
上にセルギャップむらの指標値として夫々表示される。
ちＲ又はＧ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々
との間における光量の差が、カラーモニター２０の画面
上にセルギャップむらの指標値として夫々表示される。
【００５４】これと並行して、検査用色（即ちＲ又は
Ｇ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、フロッピーディ
スク１３ａに格納されたルックアップテーブルから読み
出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにお
けるセルギャップ測定値（５つの測定値）として夫々出
力される。
Ｇ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップの値が、フロッピーディ
スク１３ａに格納されたルックアップテーブルから読み
出され、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにお
けるセルギャップ測定値（５つの測定値）として夫々出
力される。
【００５５】そして、検査者は、セルギャップの大小に
応じてより適切なＲの光量又はＧの光量についての光量
の差をカラーモニター２０上で見た後、この表示された
光量の差が、許容範囲に入っているか否かを判断する。
応じてより適切なＲの光量又はＧの光量についての光量
の差をカラーモニター２０上で見た後、この表示された
光量の差が、許容範囲に入っているか否かを判断する。
【００５６】以上により、当該検査された液晶パネル１
０１がセルギャップむらに関して良品であるか不良品で
あるかを精度良く検査できる。
０１がセルギャップむらに関して良品であるか不良品で
あるかを精度良く検査できる。
【００５７】また、セルギャップの大小に応じてより適
切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャップを精
度良く測定できる。
切なＲの光量又はＧの光量を用いて、セルギャップを精
度良く測定できる。
【００５８】尚、本実施の形態では特に、前述のように
カラーモニター２０の画面２０ａ上には、検査用色の受
光信号の出力レベルが、液晶パネル１０１の表面全体に
ついて擬似カラー化されて２次元表示される（図４参
照）。従って、これを見た検査者は、液晶パネル１０１
の中央部と端部におけるセルギャップｄの差を、カラー
モニター２０の画面上における色の差として視覚的に認
識できる。
カラーモニター２０の画面２０ａ上には、検査用色の受
光信号の出力レベルが、液晶パネル１０１の表面全体に
ついて擬似カラー化されて２次元表示される（図４参
照）。従って、これを見た検査者は、液晶パネル１０１
の中央部と端部におけるセルギャップｄの差を、カラー
モニター２０の画面上における色の差として視覚的に認
識できる。
【００５９】また、本実施の形態では特に、前述のよう
にパソコン１０により、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜
Ｐ５夫々との間における検査用色の光量の差が、許容範
囲内にあるか否かが自動的に判定されて、判定結果がカ
ラーモニター２０の画面２０ａ上に表示される。従っ
て、検査者は、検査された液晶パネル１０１がセルギャ
ップむらについて良品であるか不良品であるかを自ら判
断することなく簡単に知ることが出来るので便利であ
る。
にパソコン１０により、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜
Ｐ５夫々との間における検査用色の光量の差が、許容範
囲内にあるか否かが自動的に判定されて、判定結果がカ
ラーモニター２０の画面２０ａ上に表示される。従っ
て、検査者は、検査された液晶パネル１０１がセルギャ
ップむらについて良品であるか不良品であるかを自ら判
断することなく簡単に知ることが出来るので便利であ
る。
【００６０】（第２の実施の形態）図５に、本発明によ
るセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップ
むら検査装置の全体構成を示す。尚、図５において、図
１に示した第１の実施の形態の場合と同じ構成要素につ
いては同じ参照符号を付し、その説明は省略する。
るセルギャップ測定装置の機能をも有するセルギャップ
むら検査装置の全体構成を示す。尚、図５において、図
１に示した第１の実施の形態の場合と同じ構成要素につ
いては同じ参照符号を付し、その説明は省略する。
【００６１】図５において、検査装置２００は、カラー
ＣＣＤカメラ１と、Ａ／Ｄ変換器３１と、ＲＧ比較及び
選択器３３と、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５と、ＰＲＯＭ（Ｇ）
３６と、入力切り換えスイッチ３７と、ギャップ測定及
びギャップむら検査出力器３８とを備えて構成されてい
る。
ＣＣＤカメラ１と、Ａ／Ｄ変換器３１と、ＲＧ比較及び
選択器３３と、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５と、ＰＲＯＭ（Ｇ）
３６と、入力切り換えスイッチ３７と、ギャップ測定及
びギャップむら検査出力器３８とを備えて構成されてい
る。
【００６２】Ａ／Ｄ変換器３１は、カラーＣＣＤカメラ
１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されると、これ
らを夫々ＡＤ変換してＲＧＢ別のデジタル信号を出力す
る。そして、 Ａ／Ｄ変換器３１は、Ｒ及びＧのデジタ
ル信号を常にＲＧ比較及び選択器３３に通すように構成
されている。
１からのＲＧＢ別の受光信号が夫々入力されると、これ
らを夫々ＡＤ変換してＲＧＢ別のデジタル信号を出力す
る。そして、 Ａ／Ｄ変換器３１は、Ｒ及びＧのデジタ
ル信号を常にＲＧ比較及び選択器３３に通すように構成
されている。
【００６３】ＲＧ比較及び選択器３３は、検査及び制御
用ロジックにしたがって検出手段及び比較手段の一例と
して機能して、ＡＤ変換されたＲＧＢ別のデジタル信号
から液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて図２に
示した第１の点Ｐ１と４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにお
けるＲの光量及びＧの光量を夫々検出する。更に、第１
の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例え
ば、第１の点Ｐ１のみ）について検出されたＲの光量
（透過率）とＧの光量（透過率）との大小を比較すると
共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色
として設定するように構成されている。
用ロジックにしたがって検出手段及び比較手段の一例と
して機能して、ＡＤ変換されたＲＧＢ別のデジタル信号
から液晶パネル１０１の液晶面１０１ａにおいて図２に
示した第１の点Ｐ１と４つの第２の点Ｐ２〜Ｐ５とにお
けるＲの光量及びＧの光量を夫々検出する。更に、第１
の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５とのうちの一点（例え
ば、第１の点Ｐ１のみ）について検出されたＲの光量
（透過率）とＧの光量（透過率）との大小を比較すると
共に小さくない方の光量に対応するＲ又はＧを検査用色
として設定するように構成されている。
【００６４】ＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、記憶手段の一例を
構成しており、Ｒの各光量に夫々対するセルギャップの
各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納され
ている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫
々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格
納されたルックアップテーブルから読み出されるように
ＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、プログラムされている。
構成しており、Ｒの各光量に夫々対するセルギャップの
各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納され
ている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫
々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格
納されたルックアップテーブルから読み出されるように
ＰＲＯＭ（Ｒ）３５は、プログラムされている。
【００６５】ＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、記憶手段の一例を
構成しており、Ｇの各光量に夫々対するセルギャップの
各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納され
ている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫
々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格
納されたルックアップテーブルから読み出されるように
ＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、プログラムされている。
構成しており、Ｇの各光量に夫々対するセルギャップの
各値が予め設定されたルックアップテーブルが格納され
ている。そして、第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫
々とにおける光量に対応するセルギャップｄの値が、格
納されたルックアップテーブルから読み出されるように
ＰＲＯＭ（Ｇ）３６は、プログラムされている。
【００６６】そして、このように読み出された第１の点
Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップ
測定値のうちのＲＧ比較及び選択器３３により設定され
た検査用色（即ちＲ又はＧ）に対応する一方が、入力切
り換えスイッチ３７を介して、ギャップ測定及びギャッ
プむら検査出力器３８に入力される。
Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけるセルギャップ
測定値のうちのＲＧ比較及び選択器３３により設定され
た検査用色（即ちＲ又はＧ）に対応する一方が、入力切
り換えスイッチ３７を介して、ギャップ測定及びギャッ
プむら検査出力器３８に入力される。
【００６７】ギャップ測定及びギャップむら検査出力器
３８は、このように入力された、検査用色（即ちＲ又は
Ｇ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップｄの値を、表示画面や紙
面上に出力するように構成されている。同時に、ギャッ
プ測定及びギャップむら検査出力器３８は、第１の点Ｐ
１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色
（Ｒ又はＧ）の光量に基づくセルギャップの差を、セル
ギャップむらの指標値として、表示画面や紙面上に出力
するように構成されている。
３８は、このように入力された、検査用色（即ちＲ又は
Ｇ）の第１の点Ｐ１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々とにおけ
る光量に対応するセルギャップｄの値を、表示画面や紙
面上に出力するように構成されている。同時に、ギャッ
プ測定及びギャップむら検査出力器３８は、第１の点Ｐ
１と第２の点Ｐ２〜Ｐ５夫々との間における検査用色
（Ｒ又はＧ）の光量に基づくセルギャップの差を、セル
ギャップむらの指標値として、表示画面や紙面上に出力
するように構成されている。
【００６８】従って、第１の実施の形態の場合と同様
に、ＲＧ比較及び選択器３３により検査用色として設定
されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップｄの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。この結果、本
実施の形態によれば、セルギャップｄの大小に応じて、
より適切なＲの光量（透過率）又はＧの光量（透過率）
を用いて、第１の点Ｐ１及び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけ
るセルギャップｄを迅速に且つ精度良く測定できる。更
に、セルギャップむらの指標値としてギャップ測定及び
ギャップむら検査出力器３８から出力されたセルギャッ
プの差が、予め設定された所定の許容範囲に入っている
か否かにより、当該検査された液晶パネル１０１が、セ
ルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを
迅速に且つ精度良く検査できる。
に、ＲＧ比較及び選択器３３により検査用色として設定
されるＲ又はＧは、その光量がセルギャップｄの増減に
対してより敏感に反応する方の色となる。この結果、本
実施の形態によれば、セルギャップｄの大小に応じて、
より適切なＲの光量（透過率）又はＧの光量（透過率）
を用いて、第１の点Ｐ１及び第２の点Ｐ２〜Ｐ５におけ
るセルギャップｄを迅速に且つ精度良く測定できる。更
に、セルギャップむらの指標値としてギャップ測定及び
ギャップむら検査出力器３８から出力されたセルギャッ
プの差が、予め設定された所定の許容範囲に入っている
か否かにより、当該検査された液晶パネル１０１が、セ
ルギャップむらに関して良品であるか不良品であるかを
迅速に且つ精度良く検査できる。
【００６９】尚、以上説明した第１及び第２の実施の形
態においては、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性の違い
や撮影用台上に載せられるバックライト１１０の色温度
の違い等により図３に示したような特性は変動する。従
って、図３に示したような一つの特性について前述のル
ックアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の
際に、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性やバックライト
１１０の色温度等のパラメータの相違に応じてルックア
ップテーブルから読み出した各セルギャップ値に対して
補正を加えるのが好ましい。このような補正は、例え
ば、第１の実施の形態の場合であれば、ＣＰＵ２を制御
する検査及び測定用プログラムの中に、ルックアップテ
ーブルから読み出した各セルギャップ値と上記分光特性
等のパラメータとを入力とする所定関数を用いた補正用
プログラムを組み込んでおけばよい。或いは、第２の実
施の形態の場合であれば、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５やＰＲＯ
Ｍ（Ｇ）３６の中にこのような補正用プログラムを組み
込んでおけばよい。更に、カラーＣＣＤカメラ１のレン
ズのシェージング（周辺の輝度むら）、液晶の材質等に
対する補正を行うようにしてもよい。
態においては、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性の違い
や撮影用台上に載せられるバックライト１１０の色温度
の違い等により図３に示したような特性は変動する。従
って、図３に示したような一つの特性について前述のル
ックアップテーブルを予め用意しておき、実際の検査の
際に、カラーＣＣＤカメラ１の分光特性やバックライト
１１０の色温度等のパラメータの相違に応じてルックア
ップテーブルから読み出した各セルギャップ値に対して
補正を加えるのが好ましい。このような補正は、例え
ば、第１の実施の形態の場合であれば、ＣＰＵ２を制御
する検査及び測定用プログラムの中に、ルックアップテ
ーブルから読み出した各セルギャップ値と上記分光特性
等のパラメータとを入力とする所定関数を用いた補正用
プログラムを組み込んでおけばよい。或いは、第２の実
施の形態の場合であれば、ＰＲＯＭ（Ｒ）３５やＰＲＯ
Ｍ（Ｇ）３６の中にこのような補正用プログラムを組み
込んでおけばよい。更に、カラーＣＣＤカメラ１のレン
ズのシェージング（周辺の輝度むら）、液晶の材質等に
対する補正を行うようにしてもよい。
【００７０】また、受光素子の一例としてカラーＣＣＤ
カメラについて説明したが、その他の固体撮像素子、テ
レビカメラ、光ファイバなどを受光素子として用いるこ
とも可能である。特に、ＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方式など
のテレビカメラを受光素子として用いた場合には、ＮＴ
ＳＣ信号やＰＡＬ信号に含まれるＲやＧの色差信号を抽
出して受光信号として本発明を適用すれば、色差信号に
基づいてセルギャップを測定したりセルギャップむらを
示す指標値を出力することが可能である。更に、透過光
のみならず液晶パネルからの反射光を受光する構成とし
ても、透過光を用いた場合と同様にセルギャップを測定
したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが
可能である。
カメラについて説明したが、その他の固体撮像素子、テ
レビカメラ、光ファイバなどを受光素子として用いるこ
とも可能である。特に、ＮＴＳＣ方式やＰＡＬ方式など
のテレビカメラを受光素子として用いた場合には、ＮＴ
ＳＣ信号やＰＡＬ信号に含まれるＲやＧの色差信号を抽
出して受光信号として本発明を適用すれば、色差信号に
基づいてセルギャップを測定したりセルギャップむらを
示す指標値を出力することが可能である。更に、透過光
のみならず液晶パネルからの反射光を受光する構成とし
ても、透過光を用いた場合と同様にセルギャップを測定
したりセルギャップむらを示す指標値を出力することが
可能である。
【００７１】以上説明したように、第１及び第２の実施
の形態によれば、高精度で液晶パネルのセルギャップむ
らを検査することができ、且つ高精度でセルギャップを
測定することができる。
の形態によれば、高精度で液晶パネルのセルギャップむ
らを検査することができ、且つ高精度でセルギャップを
測定することができる。
【００７２】
【発明の効果】本発明の液晶パネルのセルギャップむら
検査装置及び方法によれば、液晶パネルがセルギャップ
むらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検
査できる。また、検査用色の受光信号の出力レベルを擬
似カラー化して２次元表示することにより、セルギャッ
プむらを視覚的に認識できる。更に、検査用色の光量の
差が許容範囲内にあるか否かを判定することにより、液
晶パネルが良品であるか不良品であるかを自動的に判定
できる。
検査装置及び方法によれば、液晶パネルがセルギャップ
むらに関して良品であるか不良品であるかを精度良く検
査できる。また、検査用色の受光信号の出力レベルを擬
似カラー化して２次元表示することにより、セルギャッ
プむらを視覚的に認識できる。更に、検査用色の光量の
差が許容範囲内にあるか否かを判定することにより、液
晶パネルが良品であるか不良品であるかを自動的に判定
できる。
【００７３】本発明の液晶パネルのセルギャップ測定装
置及び方法によれば、Ｒ又はＧの光量を用いることによ
り、液晶パネルのセルギャップを精度良く測定すること
が出来る。更に、ルックアップテーブルをＰＲＯＭに格
納することにより、セルギャップの測定を迅速に行うこ
とが出来る。
置及び方法によれば、Ｒ又はＧの光量を用いることによ
り、液晶パネルのセルギャップを精度良く測定すること
が出来る。更に、ルックアップテーブルをＰＲＯＭに格
納することにより、セルギャップの測定を迅速に行うこ
とが出来る。
【図１】 本発明による検査装置の第１の実施の形態の
全体構成を示すブロック図である。
全体構成を示すブロック図である。
【図２】 図１の検査装置により検査される液晶パネル
の斜視図である。
の斜視図である。
【図３】 液晶パネルにおけるセルギャップと各色の透
過率（光量）との関係を示す特性図である。
過率（光量）との関係を示す特性図である。
【図４】 図1の検査装置に備えられたカラーモニター
の表示画面の一例を示す平面図である。
の表示画面の一例を示す平面図である。
【図５】 本発明による検査装置の第２の実施の形態の
全体構成を示すブロック図である。
全体構成を示すブロック図である。
１…カラーＣＣＤカメラ １０…パソコン １１…外部入力端子 １２…インターフェースボード １３…ＦＤドライブ １３ａ…フロッピーディスク １５…ＣＰＵ ２０…カラーモニター ２０ａ…表示画面 ３１…Ａ／Ｄ変換器 ３３…ＲＧ比較及び選択器 ３５…ＰＲＯＭ（Ｒ） ３６…ＰＲＯＭ（Ｇ） ３７…入力切り換えスイッチ ３８…ギャップ測定及びギャップむら検査出力器 １００…検査装置 １１０…バックライト １０１…液晶パネル １０１ａ…液晶パネルの表面 ２００…検査装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 越川 耕一 東京都目黒区東山１丁目３番６号804
Claims (7)
- 【請求項１】 面状光源と、 該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ
（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に
受光信号を出力する受光素子と、 該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に
夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧ
の光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出
手段と、 該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうち
の一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較手段と、 前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検
査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫
々出力する出力手段とを備えたことを特徴とする液晶パ
ネルのセルギャップむら検査装置。 - 【請求項２】 前記出力手段は、前記ＲＧＢ別の受光信
号のうち前記検査用色の受光信号の出力レベルを前記液
晶パネルの表面全体について擬似カラー化して２次元表
示するカラー表示手段を備えたことを特徴とする請求項
１に記載の液晶パネルのセルギャップむら検査装置。 - 【請求項３】 前記第１の点と前記第２の点夫々との間
における前記検査用色の光量の差が予め設定された許容
範囲内にあるか否かを判定する判定手段を更に備えたこ
とを特徴とする請求項１又は２に記載の液晶パネルのセ
ルギャップむら検査装置。 - 【請求項４】 面状光源上に載せられた液晶パネルの表
面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光
すると共に受光信号を出力する受光工程と、 該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に
夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧ
の光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出
工程と、 該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうち
の一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較工程と、 前記第１の点と前記第２の点夫々との間における前記検
査用色の光量の差をセルギャップむらの指標値として夫
々出力する出力工程とを備えたことを特徴とする液晶パ
ネルのセルギャップむら検査方法。 - 【請求項５】 面状光源と、 該面状光源上に載せられた液晶パネルの表面からのＲ
（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光すると共に
受光信号を出力する受光素子と、 該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に
夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧ
の光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出
手段と、 該検出手段により前記第１の点と前記第２の点とのうち
の一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較手段と、 前記Ｒ及びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの
各値が予め設定されたルックアップテーブルを格納する
記憶手段と、 前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用
色の光量に対応する前記セルギャップの値を前記ルック
アップテーブルから読み出して、前記第１の点と前記第
２の点夫々とにおけるセルギャップ測定値として夫々出
力する出力手段とを備えたことを特徴とする液晶パネル
のセルギャップ測定装置。 - 【請求項６】 前記記憶手段及び出力手段は、前記ルッ
クアップテーブルを格納しており且つ前記検査用色の光
量に対応する前記セルギャップの値を前記ルックアップ
テーブルから読み出して出力するようにプログラムされ
たＰＲＯＭ（プログラマブル読み出し専用メモリ）から
構成されていることを特徴とする請求項５に記載の液晶
パネルのセルギャップ測定装置。 - 【請求項７】 面状光源上に載せられた液晶パネルの表
面からのＲ（赤色）Ｇ（緑色）Ｂ（青色）別の光を受光
すると共に受光信号を出力する受光工程と、 該液晶パネルの表面の中央に位置する第１の点と四隅に
夫々位置する４つの第２の点とにおけるＲの光量及びＧ
の光量を前記ＲＧＢ別の受光信号から夫々検出する検出
工程と、 該検出工程により前記第１の点と前記第２の点とのうち
の一点について検出されたＲの光量とＧの光量との大小
を比較すると共に小さくない方の光量に対応するＲ又は
Ｇを検査用色として設定する比較工程と、 前記第１の点と前記第２の点夫々とにおける前記検査用
色の光量に対応する前記セルギャップの値を、前記Ｒ及
びＧの各光量に夫々対する前記セルギャップの各値が予
め設定され且つ記憶手段に格納されたルックアップテー
ブルから読み出して、前記第１の点と前記第２の点夫々
とにおけるセルギャップ測定値として夫々出力する出力
工程とを備えたことを特徴とする液晶パネルのセルギャ
ップ測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00354298A JP3665462B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00354298A JP3665462B2 (ja) | 1998-01-09 | 1998-01-09 | 液晶パネルのセルギャップむら検査装置及び方法並びにセルギャップ測定装置及び方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11201865A true JPH11201865A (ja) | 1999-07-30 |
| JP3665462B2 JP3665462B2 (ja) | 2005-06-29 |
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ID=11560312
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2010079387A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Omron Corp | 画像処理方法および画像処理装置 |
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| CN105509627A (zh) * | 2015-12-28 | 2016-04-20 | 南京沃联科技有限公司 | 一种高度检测治具 |
| CN115283277A (zh) * | 2022-07-21 | 2022-11-04 | 江西合力泰科技有限公司 | 一种背光间隙测量装置及方法 |
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1998
- 1998-01-09 JP JP00354298A patent/JP3665462B2/ja not_active Expired - Fee Related
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