JPH11207615A

JPH11207615A - 研削装置

Info

Publication number: JPH11207615A
Application number: JP1116098A
Authority: JP
Inventors: Koji Takamatsu; 浩司高松
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1998-01-23
Filing date: 1998-01-23
Publication date: 1999-08-03

Abstract

(57)【要約】【目的】別の工作機械や修正機構を不要とし、時系列的
な変化に対応したシステムの構築をなし、仕上げの高精
度化を図った研削装置を提供する。【解決手段】コラムの平面傾き度を微調整する３点支持
ボルト３と、コラムを部分的に加熱伸張させる複数のヒ
ータ１４Ａ，１４Ｂおよびコラムを部分的に冷却収縮さ
せる複数の電子冷却素子１３Ａ，１３Ｂと、コラムの異
なる部位の温度を計測する温度計１５ａ，１５ｂと、ベ
ッドに対するコラムの相対的な傾きを計測する複数の変
位計１６ａ，１６ｂと、コラムを事前に傾けて調整する
マイクロメータヘッド１７および室温温度計１８と、ヒ
ータおよび電子冷却素子の設定温度と室温との差を検知
し常に室温と設定温度との差を一定に保持する比例制御
回路７Ａを有し、ヒータもしくは電子冷却素子に制御信
号を送りコラムに対し適応する熱影響を付与して磁石の
軸方向Ｌａを矯正する制御回路７とを具備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば大径のシ
リコンウエハを研削するための研削装置に係り、特に装
置を構成するコラムの蓄熱にともなう熱変形と、この熱
変形に応じた研削工具の軸方向を矯正する構成の改良に
関する。

【０００２】

【従来の技術】研削装置において、連続して研削加工を
行なうと、研削工具である砥石の中心軸が被加工物を支
持するテーブルの中心軸とは相対的に傾くことがある。
そのため、被加工物における加工面が凹面状から凸面
状、もしくは凸面状から凹面状に変化する。

【０００３】これは加工中に発生した熱が研削装置自体
に蓄積され、その蓄熱状態によって装置が部分的に熱膨
張して変形するところとなり、砥石の軸方向が異なって
くることで、この砥石軸の傾きによる影響が加工面に及
ぶものと考えられる。

【０００４】発生源として具体的には、研削工具を支持
する軸受構造体における空気軸受と空気との摩擦によっ
て発生する熱があり、研削工具が被加工物を研削するの
にともなって発生する熱があり、被加工物を支持するテ
ーブルが加工中に回転することによって発生する熱など
がある。

【０００５】特に、軸受構造体から発生する熱の影響を
除去するために、水冷用ジャケットを取付けて冷却水を
流している。研削工具と被加工物との間で発生する熱を
除去するために、これらに対して研削液である冷却水を
流している。あるいは、テーブルから発生する熱を除去
するために冷却水を流している。

【０００６】ところが、冷却水として、市水（水道水）
と地下水があり、いずれも季節によって水温が変動す
る。特に、地下水は夏季に冷たく冬季に暖かくなって、
市水と逆の水温となり、使用水において微妙な熱影響を
装置に与える。

【０００７】このような熱影響を見込んで、作業前に機
械的に調整することが考えられる。しかるに、連続加工
を行なえば、当然、熱影響が出て装置に蓄積される。た
とえば、冷却水の温度や作業場の室温を一定に保持する
よう調整しても、加工中の蓄熱で新たな影響が出ること
には変わりがない。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】蓄熱による影響を除去
するため、従来、たとえば３点支持ボルトによる調整を
なしている。すなわち、砥石を支持する軸受構造体がコ
ラムに取付けられ、このコラムは３点支持ボルトを介し
てベッドに支持される。コラムに対する平面傾き度の調
整は、必要な部位の支持ボルトを上昇回転もしくは下降
回転させて、ピッチ分の移動で行なっている。

【０００９】しかしながら、調整の前後にボルトの移動
ピッチのバックラッシュ変動が必ずあって、調整状態が
安定しない。しかも、作業者自身が行なうところから、
調整に時間がかかって極めて面倒な作業となっている。

【００１０】別の調整手段としては、別途、専用の工作
機械を用いたり、あるいはテーブル上に別の調整機構を
取付けて行なうことが考えられるが、コスト高になると
ともに、非常に手間がかかる作業となる。

【００１１】近時、半導体素子製造のもととなるシリコ
ンウエハが大径化の傾向にある。従来のシリコンウエハ
は、直径２０cm（８インチ）であったものが、直径３０
cmが一般化しつつあり、直径４０cmに拡大される見通し
がある。

【００１２】このようなシリコンウエハをスライスした
うえ、その表面を超精密研磨して高精度の平面仕上げを
なす。この作業は、シリコンウエハの大径化にともなっ
てラップ加工から研削加工に変化している。

【００１３】それとともに、装置の蓄熱の影響で被加工
物の加工面が変化し易く、高精度の平面仕上げを得られ
ずに歩留まりの低下がみられる。対策としては、１回毎
に計測して補正するとよいが、非常に手間がかかって面
倒である。

【００１４】上述したように、装置の立ち上げから実際
の作業において、種々の要因から発熱が避けられず、コ
ラムにおける蓄熱がなされる。そして、この蓄熱状態は
所定時間の領域の中で非定常的に相違するところから、
時系列的な変化に対応しなければならない。

【００１５】本発明は上記事情に着目してなされたもの
であり、その目的とするところは、時系列的な変化に対
応したシステムの構築をなし、被加工物の加工面に対す
る仕上げ精度の高精度化を図った研削装置を提供しよう
とするものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を満足するた
め、第１の発明の研削装置は、請求項１として、ベッド
上に載設され、被加工物を支持するテーブルと、このテ
ーブルと所定間隔を存してベッド上に載置されるコラム
と、このコラムに取着され被加工物を研削する研削工具
を位置調整自在に支持する軸受構造体とを具備し、ベッ
ドに設けられコラムを支持するとともにコラムの平面傾
き度を微調整する微調整手段と、コラムに設けられコラ
ムを加熱もしくは冷却することによりその熱影響でコラ
ムを部分的に伸張もしくは収縮させて研削工具の軸方向
を調整する熱的付勢手段と、ベッドもしくはコラムに設
けられコラムの温度を計測するとともにベッドに対する
コラムの相対的な傾きを計測する計測手段と、この計測
手段からの計測信号を受け熱的付勢手段に制御信号を送
りコラムに対して適応する熱影響を付与し研削工具の軸
方向を矯正する制御手段とを具備したことを特徴とす
る。

【００１７】請求項２の発明は、請求項１記載の研削装
置において上記微調整手段は、コラムの底部を３か所で
支持する３点支持ボルトであることを特徴とする。請求
項３の発明は、請求項２記載の研削装置において上記支
持ボルトは、制御手段の制御信号にもとづいて制御され
る駆動機構に連結され、それぞれの上下位置が調整され
ることを具備したことを特徴とする。

【００１８】請求項４の発明は、請求項１記載の研削装
置において上記熱的付与手段は、コラムの側壁でかつ異
なる位置に取着される複数のヒータおよび複数の電子冷
却素子からなることを特徴とする。

【００１９】請求項５の発明は、請求項１記載の研削装
置において上記計測手段は、コラムの異なる位置に取着
され、それぞれの部位の温度を計測する複数の温度計
と、コラムの傾きを計測する複数の変位計と、コラムを
事前に傾けて調整するマイクロメータヘッドおよび室温
を計測する室温温度計からなることを特徴とする。

【００２０】請求項６の発明は、請求項１記載の研削装
置において上記制御手段は、熱的付与手段の設定温度と
室温との差を検知して、常に室温と熱的付与手段による
設定温度との差を一定に保持する比例制御回路を有する
ことを特徴とする。

【００２１】上記目的を満足するため、第２の発明の研
削装置は、請求項７として、ベッド上に載設され被加工
物を支持するテーブルと、このテーブルと所定間隔を存
して上記ベッド上に載置されるコラムと、このコラムに
取着され被加工物を研削する研削工具を位置調整自在に
支持する軸受構造体とを具備し、ベッドに設けられコラ
ムを支持するとともにコラムの平面傾き度を微調整する
３点支持ボルトと、コラムに設けられ研削工具の軸方向
を調整すべくコラムを部分的に加熱伸張させる複数のヒ
ータおよびコラムを部分的に冷却収縮させる複数の電子
冷却素子と、コラムもしくはベッドに設けられコラムの
異なる部位の温度を計測する温度計と、ベッドに対する
コラムの相対的な傾きを計測する複数の変位計と、コラ
ムを事前に傾けて調整するマイクロメータヘッドおよび
室温を計測する室温温度計と、ヒータおよび電子冷却素
子の設定温度と室温との差を検知して常に室温と設定温
度との差を一定に保持する比例制御回路を有しヒータも
しくは電子冷却素子に制御信号を送りコラムに対し適応
する熱影響を付与して研削工具の軸方向を矯正する制御
回路とを具備したことを特徴とする。

【００２２】このような課題を解決する手段を採用する
ことにより、別の工作機械や修正機構を不要とし、時系
列的な変化に対応したシステムの構築をなし、加工面に
対する仕上げの高精度化を得る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を、
図面にもとづいて説明する。図１は、研削装置を模式的
に示す。図中１は装置全体を支持するためのベッドであ
り、このベッド１上にテーブル２とコラムＫとが所定間
隔だけ離間した位置に載設される。

【００２４】上記テーブル２上には、たとえばシリコン
ウエハである被加工物Ｓが載置されていて、図示しない
保持手段、たとえば真空チャクなどによって位置が変動
しないよう保持される。上記被加工物Ｓは、テーブル載
置面とは反対側の面、すなわち上面が加工されることと
なる。

【００２５】上記テーブル２は、垂直（鉛直）軸線廻り
に回転自在に枢支されるとともに、ベッド１の側部に設
けられるテーブル駆動モータとベルト式伝動機構（いず
れも図示しない）を介して機械的に連結されていて、自
身の中心軸線廻りに回転駆動されるようになっている。

【００２６】上記コラムＫは、上記ベッド１に設けられ
る微調整手段を構成する３点支持ボルト３上に支持され
る。図２にも示すように、コラムＫに対する支持ボルト
３の位置は、コラムＫの長手方向一側に２つの支持ボル
ト３，３が位置し、他側中央に残りの支持ボルト３が位
置するように設定されている。

【００２７】再び図１に示すように、ベッド１の所定位
置には，ねじ孔が設けられた支持片４が突設されてい
る。この支持片４のねじ孔軸心は鉛直方向に向けられて
おり、ここに上記支持ボルト３のねじ部３ａが螺合して
いる。

【００２８】各支持ボルト３のねじ部３ａ先端（上端）
に上記コラムＫが支持され、支持片４に対する支持ボル
ト３の螺合深さに応じてコラムＫの平面傾き度が調整さ
れるようになっている。

【００２９】各支持ボルト３のねじ部３ａ下端にはギヤ
部３ｂが一体に連結される。それぞれの支持ボルト３の
ギヤ部３ｂには駆動機構を構成する駆動ギヤ５が噛合し
ている。この駆動ギヤ５はそれぞれサーボモータ６の回
転軸に嵌着される。各サーボモータ６は制御手段をなす
制御回路７に電気的に接続され、ここから駆動信号を受
けて回転駆動するようになっている。

【００３０】一方、上記コラムＫのテーブル１側面には
上下方向にリニアガイド部８が設けられていて、このリ
ニアガイド部８に高剛性構造体による軸受支持部９が上
下方向である、上記テーブル２と対面方向に移動可能に
剛性接続されている。

【００３１】上記コラムＫには、上下方向に延在する送
りねじ軸が回転可能に設けられており、この送りねじ軸
には軸受支持部９に固定された送りナットが螺合してい
る。送りねじ軸は所定の剛性を備え、コラムＫに取付け
られた切り込み加圧サーボモータによって回転駆動さ
れ、軸受支持部９をテーブルとの対向面方向に駆動加圧
するようになっている。（以上、符号を付さない部品は
リニアガイド部８内に設けられるので図示しない）上記
軸受支持部９には、空気軸受部１０を介して主軸ヘッド
１１が取付けられており、この主軸ヘッド１１の主軸部
には研削工具である砥石１２が取付けられる。

【００３２】上記主軸ヘッド１１は主軸部とともに砥石
１２を、砥石の中心軸Ｌａ廻りに回転駆動する図示しな
いモータと機械的に連結されている。上記砥石１２はテ
ーブル２上の被加工物Ｓに対向して配置されることにな
る。

【００３３】これらリニアガイド部８と、軸受支持部９
と、空気軸受部１０および主軸ヘッド１１とで、砥石１
２に対する軸受構造体Ｚが構成され、上記コラムＫに取
付けられることとなる。

【００３４】上記コラムＫは長手方向に対して肉抜き構
造となっていて、この前面側であるテーブル２側の側面
に、第１の電子冷却素子（いわゆるペルチェ素子）１３
Ａおよび第１の電気ヒータ１４Ａが取着される。

【００３５】コラムＫの背面側である反テーブル２側の
側面に、第２の電子冷却素子（いわゆるペルチェ素子）
１３Ｂおよび第２の電気ヒータ１４Ｂが取着される。こ
れら第１，第２の電子冷却素子１３Ａ，１３Ｂと、第
１，２の電気ヒータ１４Ａ，１４Ｂとで熱的付勢手段Ｎ
が構成される。

【００３６】このようなコラムＫに対して、後述する計
測手段Ｍが取付けられる。すなわち、上記コラムＫの所
定部位には、コラムの異なる部位の温度を計測する第
１，第２の温度計１５ａ，１５ｂが取付けられる。上記
ベッド１には、コラムＫの相対的な傾きを計測する第
１，第２の変位計１６ａ，１６ｂが取付けられる。コラ
ムＫには、コラムＫを事前に傾けるマイクロメータヘッ
ド１７が取付けられる。また、この研削装置を配備した
作業場には室温を計測する室温温度計１８が取付けられ
る。

【００３７】このマイクロメータヘッド１７は、ナット
であるコラムＫに対するボルトの関係にあり、この下端
部は上記ベッド１上面に載る。そして、マイクロメータ
ヘッド１７の頭部はコラムＫから上方に突出しており、
ここを旋回操作することによりコラムＫの底面から突出
する量が調整できる。

【００３８】すなわち、あらかじめマイクロメータヘッ
ド１７のコラムＫからの突出量を調整し、コラムＫの一
端部を支点としてベッド１を基準にしてコラムＫ全体を
傾けさせ所定の位置まで調整するためのものである。

【００３９】一方、上記制御回路７には、上記第１，第
２の電子冷却素子１３Ａ，１３Ｂと第１，第２の電気ヒ
ータ１４Ａ，１４Ｂと、第１，第２の温度計１５ａ，１
５ｂと、第１，第２の変位計１６ａ，１６ｂおよび室温
温度計１８が電気的に接続される。

【００４０】さらに制御回路７には、第１，第２の電子
冷却素子１３Ａ，１３Ｂと第１，第２の電気ヒータ１４
Ａ，１４Ｂに対する設定温度と、室温温度計１８が計測
する室温との差を検知して、常に室温と設定温度との差
を一定に保持する比例制御回路７Ａを有している。

【００４１】そして、制御回路７は上記第１，第２の電
子冷却素子１３Ａ，１３Ｂと第１，第２の電気ヒータ１
４Ａ，１４Ｂに制御信号を送り、コラムＫに対し適応す
る熱影響を付与して部分的に加熱伸張もしくは冷却収縮
させ、上記砥石１２の中心軸Ｌａ方向を矯正するように
なっている。

【００４２】コラムＫの傾きである砥石１２に対するテ
ーブル２の相対位置の変動は、上記第１，第２の変位計
１６ａ，１６ｂが計測し、その計測信号を上記制御回路
７へ送るようになっている。これら変位計１６ａ，１６
ｂの組み合わせにより磁石１２中心軸の傾きが検出され
ることになる。

【００４３】このようにして構成される研削装置であ
り、テーブル２上に被加工物Ｓであるたとえばシリコン
ウエハを保持して、この平面研削加工を行なう。する
と、加工にともなって加工中に生じる熱がコラムＫ周囲
に蓄積される。

【００４４】加工中に生じる熱として、たとえば砥石１
２を支持する空気軸受部１０における空気軸受と空気と
の摩擦によって発生する熱があり、砥石１２が被加工物
Ｓを研削するのにともなって発生する熱があり、被加工
物Ｓを支持するテーブル２が加工中に回転することによ
って発生する熱などがある。

【００４５】コラムＫの部分的な温度変化を第１，第２
の温度計１５ａ，１５ｂが常時計測し、その計測信号を
制御回路７へ送る。蓄熱の程度によって砥石１２の中心
軸とテーブル２中心軸との相対位置が変動する。

【００４６】変動の確認は、第１の変位計１６ａと、第
２の変位計１６ｂが行ない、逐一、その計測信号が制御
回路７へ送られる。そして、これら変位計１６ａ，１６
ｂの計測信号から、さらに砥石１２中心軸の傾きが正確
に検出される。

【００４７】加工の進捗にともなってコラムＫ周囲にお
ける蓄熱が顕著なものとなる。第１の温度計１５ａの検
出温度と、第２の温度計１５ｂの検出温度との差が所定
値を越えると、事前に設定した砥石１２とテーブル２と
の相対位置の変動になって現れる。

【００４８】そこで、制御回路７は第１のヒータ１４Ａ
もしくは第２のヒータ１４Ｂのいずれかを加熱制御する
信号を送る。あるいは、第１の電子冷却素子１３Ａもし
くは第２の電子冷却素子１３Ｂのいずれかを加熱制御す
る信号を送る。

【００４９】したがって、これら手段の作用により第１
の温度計１５ａと第２の温度計１５ｂとの温度差をなく
すこととなり、また比例制御回路７Ａの作用によって温
度差が生じないようにコラムＫとテーブル２の相対位置
が調整される。

【００５０】すなわち、時系列的な変化に対応したシス
テムの構築をなし、連続的な作業の最中にリアルタイム
で熱補正が可能となる。そのため、作業手間の軽減化
と、被加工物の加工面に対する仕上げ精度の高精度化を
得られる。

【００５１】これらの調整により、必要に応じた種々の
被加工物Ｓの加工面形状が得られることとなる。たとえ
ば、図３（Ａ）に模式的に示すように、第２のヒータ１
４Ｂを加熱し、このヒータが取付けられるコラムＫ部位
を伸張させることにより、磁石１２の中心軸Ｌａが所定
方向に傾く。その結果、同図（Ｂ）に示すような加工面
形状が得られる。

【００５２】すなわち、第２のヒータ１４Ｂを発熱する
ことにより、被加工物Ｓａの加工面として凹面ａを得
た。このときの周端縁に対する最深部の深さが１μm で
あり、温度差は５℃以上を設定した。

【００５３】また、図４（Ａ）に模式的に示すように、
第１のヒータ１４Ａを加熱して、このヒータが取付けら
れるコラムＫ部位を伸張させることにより、磁石１２の
中心軸Ｌａが所定方向に傾く。その結果、同図（Ｂ）に
示すような加工面形状が得られる。

【００５４】すなわち、第１のヒータ１４Ａを発熱する
ことにより、被加工物Ｓｂの加工面として凸面ｂを得
た。このときの周端縁に対する最高部の高さが１μm で
あり、温度差は５℃以上を設定した。

【００５５】さらに、コラムＫを冷却する時間やタイミ
ングおよび設定温度などは、あらかじめ制御回路７に記
憶させておく。そして、必要に応じて第１の電子冷却素
子１３Ａもしくは第２の電子冷却素子１３Ｂを各ヒータ
１４Ａ，１４Ｂと相対的に作用させ、あるいはそれぞれ
単独で作用させることにより、所望の加工面形状が得ら
れることとなる。

【００５６】また、この研削装置は上記構成に限定され
るものではなく、たとえば非球面形状研削装置の研磨定
盤にヒータを配置し、このヒータを加熱することで局部
的に微小変位を生じさせ、修正研磨を可能とした装置に
適用してもよい。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、時
系列的な変化に対応したシステムの構築をなし、連続的
な作業の最中にリアルタイムで熱補正を可能とし、作業
手間の軽減化と、被加工物の加工面に対する仕上げ精度
の高精度化を得られるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の、研削装置の概略構成
と、その電気回路図。

【図２】同実施の形態の、３点支持ボルトの位置を表す
図。

【図３】同実施の形態の、一方のヒータを発熱させたと
きの状態を模式的に表すとともに、得られる加工面形状
の図。

【図４】同実施の形態の、他方のヒータを発熱させたと
きの状態を模式的に表すとともに、得られる加工面形状
の図。

【符号の説明】

１…ベッド、Ｓ…被加工物、２…テーブル、Ｋ…コラム、１２…研削工具（砥石）、Ｚ…軸受構造体、３…３点支持ボルト（微調整手段）、Ｎ…熱的付勢手段、Ｍ…計測手段、１４Ａ，１４Ｂ…第１，第２の電気ヒータ、１３Ａ，１３Ｂ…第１，第２の電子冷却素子、１５ａ，１５ｂ…第１，第２の温度計、１６ａ，１６ｂ…第１，第２の変位計、１８…室温温度計、７Ａ…比例制御回路、７…制御回路。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベッド上に載設され、被加工物を支持する
テーブルと、このテーブルと所定間隔を存して上記ベッド上に載置さ
れるコラムと、このコラムに取着され、上記被加工物を研削する研削工
具を位置調整自在に支持する軸受構造体とを具備した研
削装置において、上記ベッドに設けられ、上記コラムを支持するととも
に、コラムの平面傾き度を微調整する微調整手段と、上記コラムに設けられ、コラムを加熱もしくは冷却する
ことにより、その熱影響でコラムを部分的に伸張もしく
は収縮もしくは維持させて上記研削工具の軸方向を調整
する熱的付勢手段と、上記ベッドもしくはコラムに設けられ、コラムの温度を
計測するとともに、ベッドに対するコラムの相対的な傾
きを計測する計測手段と、この計測手段からの計測信号を受け、上記熱的付勢手段
に制御信号を送りコラムに対して適応する熱影響を付与
し上記研削工具の軸方向を矯正する制御手段と、を具備
したことを特徴とする研削装置。
【請求項２】上記微調整手段は、上記コラムの底部を３
か所で支持する３点支持ボルトであることを特徴とする
請求項１記載の研削装置。
【請求項３】上記支持ボルトは、上記制御手段の制御信
号にもとづいて制御される駆動機構に連結され、それぞ
れの上下位置が調整されることを具備したことを特徴と
する請求項２記載の研削装置。
【請求項４】上記熱的付与手段は、上記コラムの側壁
で、かつ異なる位置に取着される複数のヒータおよび複
数の電子冷却素子からなることを特徴とする請求項１記
載の研削装置。
【請求項５】上記計測手段は、上記コラムの異なる位置
に取着され、それぞれの部位の温度を計測する複数の温
度計と、コラムの傾きを計測する複数の変位計と、コラ
ムを事前に傾けて調整するマイクロメータヘッドおよび
室温を計測する室温温度計からなることを特徴とする請
求項１記載の研削装置。
【請求項６】上記制御手段は、上記熱的付与手段の設定
温度と室温との差を検知して、常に室温と熱的付与手段
による設定温度との差を一定に保持する比例制御回路を
有することを特徴とする請求項１記載の研削装置。
【請求項７】ベッド上に載設され、被加工物を支持する
テーブルと、このテーブルと所定間隔を存して上記ベッド上に載置さ
れるコラムと、このコラムに取着され、上記被加工物を研削する研削工
具を位置調整自在に支持する軸受構造体とを具備した研
削装置において、上記ベッドに設けられ、上記コラムを支持するととも
に、コラムの平面傾き度を微調整する３点支持ボルト
と、上記コラムに設けられ、上記研削工具の軸方向を調整す
べく、コラムを部分的に加熱伸張させる複数のヒータお
よびコラムを部分的に冷却収縮させる複数の電子冷却素
子と、上記コラムもしくは上記ベッドに設けられ、コラムの異
なる部位の温度を計測する温度計と、ベッドに対するコ
ラムの相対的な傾きを計測する複数の変位計と、コラム
を事前に傾けて調整するマイクロメータヘッドおよび室
温を計測する室温温度計と、上記ヒータおよび電子冷却素子の設定温度と室温との差
を検知して、常に室温と設定温度との差を一定に保持す
る比例制御回路を有し、上記ヒータもしくは電子冷却素
子に制御信号を送りコラムに対して適応する熱影響を付
与し上記研削工具の軸方向を矯正する制御回路と、を具
備したことを特徴とする研削装置。