JPH11207678A - 吸着位置検出パッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークやトレイに位置決めのための加工を行
わないで、多様な形状のワークを吸着把持することがで
きる真空吸着パッドを提供し、また、吸着把持した状態
でワークの位置や姿勢を検出できるような真空吸着パッ
ドを提供する。 【解決手段】 真空室４と連絡する複数の吸引穴２を表
面に備え、各吸引穴が閉止弁５を組み込んでいて、パッ
ド表面を把持対象物に当てて真空吸引したときにワーク
が塞がない吸引穴は閉止弁が気流を塞ぐようになってい
ることを特徴とする。なお、浮動子８と貫通穴等の内側
に設けた電極１０により、閉止弁が気流を塞いでいるこ
ともしくは対象物が吸引穴を塞いでいることを検出する
センサを備えるようにしてもよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、産業用ロボットの
手先に付けるなどして使用し、真空を用いてワークを吸
着把持する吸着パッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】吸着パッドで把持したワークを正確な位
置に運搬してセットする作業は、従来決められた位置に
決められた姿勢でワークをセットした上、定められた姿
勢に誘導した吸着パッドで定位置のワークを掴んで、目
的位置に運搬してセットすることによって行われてき
た。例えば、特開昭５９−８８２８９号公報にはハンド
型にガイド部材による案内路を設けることによって把持
したワークを正確に位置決めする産業用ロボットのハン
ドが開示されている。ただし、このロボット用ハンドで
はひとつのハンドで掴めるワークの形状が決まるため、
多様な形状のワークを扱うことはできない。

【０００３】また、特開昭６１−２５６６５５号公報に
は吸着対象のワークに設けたガイド穴を利用してハンド
におけるワークの位置を正確に定める方法が開示されて
いる。さらに、特開平３−１３５０３８号公報にはワー
クを供給するトレイに部品位置決めピンを設けてこれを
利用してワークを正確な位置で吸着する方法が開示され
ている。これらの方法は、ワークに位置決めのための加
工を行うため、製作工程に余分な工程を付加し製作費用
が大きくなる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明が解決
しようとする課題は、ワークやトレイに位置決めのため
の加工を行わないで、多様な形状のワークを吸着把持す
ることができる真空吸着型ハンドを提供することであ
る。また、吸着把持した状態でワークの位置や姿勢を検
出できるような真空吸着型ハンドを提供することであ
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の真空吸着パッドは、真空室と連絡する複数
の吸引穴を表面に備え、各吸引穴が閉止弁を組み込んで
いて、パッド表面を把持対象物に当てて真空吸引したと
きに該把持対象物で塞がらない吸引穴については前記閉
止弁が気流を塞ぐようになっていることを特徴とする。
なお、閉止弁が気流を塞いでいることを検出するセンサ
を備えるようにしてもよい。

【０００６】また、本発明の真空吸着パッドは、真空室
と連絡する複数の吸引穴を表面に備え、各吸引穴が真空
室に繋がる奥側に縊部を有し浮動子を挿入した中間室を
備え、浮動子は中間室内を圧力差で移動し縊部の当接面
に係合すると気流を塞ぐようになっていることを特徴と
するものであってもよい。この真空吸着パッドは、パッ
ド表面を把持対象物に当てて真空吸引したときに把持対
象物で塞がらない吸引穴については浮動子が気流を塞い
で真空が逃げないようになっている。

【０００７】本発明の真空吸着パッドによれば、ワーク
が当接しない領域の吸引穴は浮動子で塞がれて真空が漏
洩しないので、ワークの当接する面に存在する吸引穴そ
れぞれに真空室の真空が作用してワークを吸着して支え
る。したがって、ワークの当接する面が塞ぐ吸引穴に作
用する真空力を加算した全体がワークを把持するために
十分でありさえすれば、どのようなワークでも吸引把持
することできる。

【０００８】なお、上記の縊部の中間室側に浮動子が当
接して気流を塞いでいることを検出するセンサを備える
ことが好ましい。このようなセンサにより、パッド面の
うちワークからはみ出した領域を知ることができ、これ
からワークの占める部分が明確になる。したがって、真
空把持した状態におけるワークの形状と位置および姿勢
が把握できる。上記発明の真空吸着パッドによれば、任
意の位置で把持したワークの姿勢や把持位置が明らかに
なるため、次の工程に運搬した後に要求されるワークの
位置決めを正確に行うことができる。

【０００９】把持後のワークの位置・姿勢を測定するた
めには、中間室のパッド表面側に第２の縊部を有し、第
２縊部の内側に浮動子の検出センサを備えるようにして
もよい。上記のように浮動子が真空吸着パッドの把持面
側にあることを検出する場合は、検出した領域はそのま
まワークが当接する面であるから、より直接的にワーク
形状・位置等の情報を得ることができる。なお、真空吸
引したときにワークで塞がれた吸引穴の浮動子が確実に
第２縊部に密着するようにするため、バネを設けて浮動
子を第２縊部側に軽く押し付けるようにしても良い。ま
た、確実に検出するため、浮動子が第１の縊部に当接し
ていることを検出するセンサと併用するようにしてもよ
い。

【００１０】なお、上記の浮動子位置検出用センサは１
対の電極とし、浮動子がセンサに当接する部分を導電性
にして、縊部に浮動子が当接して通電するのを検出する
ようにしてもよい。このようなスイッチは、小型で簡単
な構造を形成することで作製することができ、例えば積
層型プリント基板上に形成することも可能である。さら
に、多数の吸引穴をパッド面に行列状に配設して、行側
に順次検出電流を供給し、列側に表れる電流を走査して
検出するようにすれば、大面積の真空吸着パッド面を用
いる場合にも容易に把持対象物が当接するパッド表面の
領域を検知することができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の詳
細を実施例に基づいて説明する。図１は本発明の実施例
の真空吸着パッドの斜視図、図２は本実施例に用いられ
る吸引穴の部分を示す断面図、図３は本実施例の吸着パ
ッド部分におけるプリント基板回路を示す回路パターン
図、図４は検出回路を示すブロック図、図５は吸引穴の
第２の態様を示す一部断面図、図６は吸引穴の第３の態
様を示す一部断面図、図７は吸引穴の第４の態様を示す
一部断面図である。

【００１２】

【実施例】本発明の真空吸着パッドはロボットハンドの
手先などに装着されてワークを把持するために用いられ
る。図１に示したように、本実施例の真空吸着パッド１
は多数の吸引穴２が設けられた吸着パッド本体３を持
つ。真空吸着パッド１を対象ワークに当てて真空吸着し
持ち上げるときは、吸引穴２の内部に組み込まれた閉止
弁の作用により、ワークに当接しない吸引穴２からは真
空漏洩しないようになっている。吸引穴２の径寸法や間
隔は、吸着把持する対象物の大きさ・重量、および要求
されるワーク位置の検出精度に応じて算出される。吸着
パッド１の吸着力は、一般的な計算式に基づいて真空度
と吸引穴面積の積に対象物で塞がれる吸引穴２の数と適
当な補正係数を掛けて求めることができる。

【００１３】図２は吸引穴２の部分の一部断面図であ
る。吸着パッド本体３はエア流路部４、弁部５、プリン
ト基板部６、接触部７からなる。接触部７はラバーなど
ワークと接触したときに吸引のためのエアが漏れにくい
材質で製作されており、吸引穴２に対応した穴が開けら
れている。接触部７の上にはプリント基板部６が固定さ
れている。プリント基板部６は積層型のプリント基板
で、接触部７と同じ位置に同じ穴が開けられている。穴
の内側周縁部には導電性材料が表面凝着されている。こ
の導電性材料部分は互いに絶縁されていて１対の電極１
０を形成している。

【００１４】弁部５は、上部に設けられるエア流路部４
に通じる小径の貫通穴１１とプリント基板部６の穴１２
とに挟まれたより大きな径を有する中間室１３を形成
し、内部に上下に自由に移動することができる浮動子８
が組み込まれている。浮動子８は、弁部５の貫通穴１１
より大きな直径を有し貫通穴１１に当接すると穴を密封
して空気が漏れないようになっている。また浮動子８の
下面には導電板９が取り付けられていて、プリント基板
部６の穴１２に当接すると１対の電極１０の間を導通さ
せる。

【００１５】エア流路部４はエジェクタや真空ポンプな
ど真空装置に接続されたヘッダーで、ワークを吸着する
際にエアの流路となる。エア流路部４は弁部５の貫通穴
１１と対応する位置に穴を有し、中間室１３の空気を吸
引して真空圧にする。なお、浮動子８がプリント基板部
６の穴１２に当接しても吸着させたワークの面に真空を
作用させるため、浮動子８とプリント基板部６の間には
空気が流通する間隙を形成してある。

【００１６】図３は、プリント基板部６の上に形成され
る回路を示す回路パターン図である。プリント基板部６
の貫通穴１２は正方陣形に配置されている。各貫通穴１
２の周囲には、それぞれ１対の電極１０が表面凝着によ
り形成されている。１対の電極１０のうち一方の電極は
列毎にそれぞれダイオード１４を介して励起導線１５に
接続されている。また１対の電極１０のうち他方の電極
は行毎にそれぞれ直接に検出導線１６に接続されてい
る。励起導線１５と検出導線１６はプリント基板６の積
層部に配線され、それぞれ行と列ごとに引出端子１７を
介して外部の検出回路と接続される。

【００１７】図４はプリント基板部６と浮動子の導電板
９を含んで構成される浮動子の検出回路を示すブロック
図である。プリント基板部６内に表示されたスイッチ
は、遊動子が浮動子８の導電板９に対応し、固定電極が
表面凝着した電極１０に対応する。この回路にはＶＤシ
フトレジスタ１９とＨＤシフトレジスタ２０の２個のシ
フトレジスタを備え、これらにはタイミング信号が入力
される。ＶＤシフトレジスタ１９は励起導線１５を介し
てタイミング信号に従い列毎の電極の一方に順次電圧を
供給する垂直駆動用のシフトレジスタである。またＨＤ
シフトレジスタ２０の各出力端子が、行毎に他方の電極
１０と並列接続された検出導線１６を入力とするアンド
回路素子１８の他方の入力端子にそれぞれ接続されてい
る。

【００１８】なお、検出導線１６の他端にはそれぞれ抵
抗器２１を介して接地されていて、検出導線１６に電圧
が印加されたときに導線の電位を確保するようになって
いる。アンド回路素子１８の出力はＯＲ接続され、検出
信号として検出出力端子２２に出力される。

【００１９】プリント基板部６の中に閉成されたスイッ
チが存在すると、ＶＤシフトレジスタ１９とＨＤシフト
レジスタ２０の出力パルスのタイミングがその配置に対
応するときに検出出力端子２２から検出信号が出る。し
たがって、２個のシフトレジスタの走査タイミングから
閉成されたスイッチの位置が分かる。なお、ここでは全
てのスイッチを１個ずつ順次に走査する基本的な方法を
示したが、信号を並列に取り込んで行あるいは列毎に一
挙に検査する方法も使用できることはいうまでもない。

【００２０】本実施例の真空吸着パッド１は、真空吸引
をしていない状態で吸着したいワークに接近し、ワーク
に接触した位置で吸着操作を行いワークを吸着する。こ
のとき、多数の吸引穴２のうちワークに接触していない
吸引穴２の内部の浮動子８は、エア流路部４の負圧によ
り、吸引穴２から流入するエアで上方に吸い上げられ中
間室上方の貫通穴１１を密封する。従ってワークに接触
していない吸引穴２からエア流路部４の真空が漏洩しな
い。

【００２１】吸引穴２のうちワークと直接接触している
ものがワークの吸着に寄与する。ワークと接触している
吸引穴２内の浮動子８の周りにはエアの流動が生じない
ので、浮動子８はその重力によって中間室１３の下端位
置に留まっている。なお、浮動子８とプリント基板部６
の間に形成した間隙を通してワークの当接面に真空が作
用し、ワークを吸着支持する。

【００２２】このように、ワークの形状により専用のパ
ッドを使用する必要が無く、ワークの形状が変化しても
その形状に合った吸引穴が自動的に有効になって吸着を
することができる。したがって、従来のようにワークや
ワーク供給装置に特別な加工をしておく必要がない。ま
た、吸着前のワーク位置や姿勢を厳密に管理する必要も
なくなる。なお、ワークを支持する吸着力は、エア流路
部４の真空度と吸引穴２の開口面積とワークにより塞が
った吸引穴の数を掛けた値になる。

【００２３】また、ワークと直接接触している吸引穴２
では、浮動子８の導電板９がプリント基板部６の穴の周
囲に形成された１対の電極１０と接触し短絡するので、
検出回路によりその吸引穴２がワークにより塞がってい
ることを知ることができる。すなわち、吸着しているワ
ークの接触面を２次元的に把握することにより、ワーク
がパッドのどの位置に把持されているか、またワークが
どんな姿勢になっているかを検知することができる。し
たがって、搬送先で位置決めが要求される作業にも使用
することができる。

【００２４】なお、本実施例の真空吸着パッドでは、ワ
ークを吸着している吸引穴の個数を検出することができ
るため、ワーク重量が分かれば、ワークを吸着し持ち上
げて搬送するのに十分な余裕があるかを判断することが
できる。また、本実施例の真空吸着パッドでは、ワーク
を吸着している吸引穴の位置を検出することができるた
め、ワーク重量と形状が分かれば、ワークを吸着し持ち
上げて搬送するのに十分な余裕があるかを、ワークに作
用するモーメントなどから判断することができる。

【００２５】たとえば、ワークの小面積面で吸着したと
きなどでも、パッドのどの位置でどれだけの吸引穴で吸
着したかを知ることができるので、ワークをちゃんと持
ち上げて搬送することができるかを判断することができ
る。本実施例の真空吸着パッドは、産業用ロボットの手
先に取り付けて使用するほか、パレットからワークを取
り出すワーク取り出し専用機のワーク吸着装置に使用す
ることも可能である。

【００２６】図５は、本発明の真空吸着パッドの吸引穴
の第２の態様を示す一部断面図である。本図における態
様が図２のものと異なる点は、閉塞位置検出スイッチが
中間室のパッド表面側でなくエア流路側に付けられてい
るところである。このスイッチによりワークに接触して
いない吸引穴の位置を検出して、上記実施例と同じ作用
を行わせることができる。以下、図２と同じ作用を行う
要素については同じ参照番号を付して説明を簡単にす
る。

【００２７】本態様の吸引穴２の部分は、エア流路部
４、プリント基板部６、弁部５、接触部７からなる。接
触部７はワークが接触したときにエアが漏れにくい材質
で製作されており、吸引穴２に対応した穴１２が開けら
れている。接触部７の上には弁部５が形成されている。
弁部５の下部には穴１２と同じ位置に穴が開けられた蓋
板２４が付けられていて、接触部７はこの蓋板に支持さ
れている。弁部５の上部にはプリント基板部６が固定さ
れている。プリント基板部６は積層型のプリント基板
で、エア流路部４に通じる小径の貫通穴１１が開けられ
ている。穴の内側周縁部には互いに絶縁された１対の電
極２３が形成されている。

【００２８】弁部５内には、浮動子８が組み込まれてい
る。浮動子８は、貫通穴１１より大きな直径を有し、貫
通穴１１に当接すると穴を密封するようになっている。
また浮動子８の上面には導電板９が張り付けられてい
て、プリント基板部６に当接したときに１対の電極２３
の間を導通させる。また、ワークが吸引穴２に当接した
ときにワークに真空を作用させるため、浮動子８が穴１
２に当たっても空気が流通するような間隙が蓋板２４に
形成されている。エア流路部４は、貫通穴１１を介して
中間室１３の空気を吸引する。

【００２９】この態様の吸引穴２では、ワークが当接し
ない状態で真空吸引したときに浮動子８が上方に吸い寄
せられ貫通穴１１を塞いで真空漏れを防ぐと共に電極２
３を短絡するので、検出回路を作動させることによりワ
ークが当接していない領域を２次面情報として検知する
ことができる。ワークが当接していない領域以外の部分
はワークが存在する領域であるから、この情報から前記
のパッドと同様にワークの接触面・把持位置・姿勢を知
ることができる。

【００３０】この態様の吸引穴構造では、真空を作用さ
せていないときは浮動子が下方に落ちて確実に電極から
離れており、しかも真空を作用させたときにワークが接
触していない領域では確実に浮動子が電極を短絡させる
ので、信頼性の高い検知ができる。なお、図２と図５の
吸引穴構造を併存させて、弁部５の上下にそれぞれ１対
の電極を備え、上面と下面の両方に導電板を張り付けた
浮動子８を仕込んで使用することもできる。このように
ワークが接触する領域と存在しない領域をそれぞれ独立
に検出するようにすれば、検出結果の信頼性が向上す
る。

【００３１】図６は、吸引穴の第３の態様を示す一部断
面図であり、説明を簡単にするため図２と同じ作用を行
う要素については同じ参照番号を付してある。本図に示
した態様の吸引穴構造は、浮動子の裏側にバネを設けた
点だけが図２のものと異なるもので、ワークが吸着して
いる吸引穴の浮動子が確実に電極を短絡するようにした
ものである。

【００３２】図２の吸引穴では、ワークの性状、接触部
７とワークとの係合状態、浮動子８の重量などの条件に
よっては、ワークの吸着部から多少の空気が流入して浮
動子８が上方に浮遊し、吸引穴２にワークが当接しても
位置検出用のスイッチが作動しない場合がある。

【００３３】これに対して、本態様の吸引穴２は、浮動
子８の裏側に浮動子８をプリント基板部６に押し付ける
力を発生するバネ２６を設けたため、ワークが吸引穴２
を塞いでいるときには浮動子８の導電板９が確実に電極
１０に接触するようになる。なお、バネ２６はエア流路
部４の壁に取り付けられたガイドピン２５により容易に
組み込みができるようになっている。ガイドピン２５
は、ワークが吸引穴２を塞がないときにエアがエア流路
部４に流れないように貫通穴を密封するように、先端が
浮動子８に触れないようになっている。

【００３４】図７は、吸引穴の第４の態様を示す一部断
面図であり、説明を簡単にするため図２と同じ作用を行
う要素については同じ参照番号を付してある。本図に示
した態様の吸引穴２の構造は、浮動子として球体３０を
使用したもので、浮動子３０の運動がスムーズで姿勢の
影響を受けず、また浮動子３０の形状が単純なため製造
が容易になる利点がある。

【００３５】図７において、球体状浮動子３０は、エア
流路部４と弁部５の間に設けられた仕切壁２７に開けら
れた貫通穴１１と、真空吸着パッドの接触部７と弁部５
の間に設けられた仕切壁２８に開けられた穴１２の間に
形成される中間室の中に挿入されている。真空吸引をし
ていない状態で真空吸着パッドをワークに接近し、ワー
クに接触した位置で吸着操作を行うと、ワークに接触し
ていない吸引穴２の内部の浮動子３０はエア流路部４の
負圧により上方に吸い上げられ貫通穴１１を密封し、ワ
ークと直接接触している吸引穴２の浮動子３０は下端位
置の穴１２の上に留まって、下側の仕切壁２８の上面に
形成された２９と浮動子３０の間にできる間隙を通して
ワークの当接面に真空が作用してワークを吸着支持す
る。

【００３６】なお、貫通穴１１と接触部７の側の穴１２
の一方あるいは両方の周囲にそれぞれ１対の電極を形成
し、かつ浮動子３０を金属球とするか表面を金属メッキ
するなどして導電性を付与して、ワークが吸着している
領域を検出するようにすることが好ましい。

【００３７】以上の実施例においては、真空吸着パッド
を水平に設備して、浮動子が上下に動く場合について説
明したが、たとえば横向きに設備して浮動子が左右に動
くようにするなど、任意の姿勢でセットできることはい
うまでもない。なお、真空吸着パッドを横向きに設置す
る場合は、使用に先立って真空吸着パッドを傾けたりエ
ア流路部に正の空気圧をかけるようにして、浮動子の初
めの位置を確定するようにしても良い。また、中間室を
真空吸着パッドの吸着面に対して垂直にせずに適当な傾
きを与えておいて、真空が働かないときには浮動子が重
力で接触部の方に近寄っているようにしても良い。

【００３８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明の真空吸着パ
ッドを用いれば、ワークやトレイに位置決めの目的だけ
に必要な特別の加工を行うことなく、多様な形状のワー
クを吸着把持することができる真空吸着型ハンドを構成
することができる。また、吸着把持した状態でワークの
位置や姿勢を検出できるような真空吸着型ハンドを構成
することができるので、吸着前にワークの位置姿勢を正
確に規制しなくても、運搬後に決められたとおりの位置
や姿勢でワークをセットすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の真空吸着パッドの斜視図であ
る。

【図２】本実施例に用いられる吸引穴の部分を示す一部
断面図である。

【図３】本実施例の吸着パッド部分におけるプリント基
板回路を示す回路パターン図である。

【図４】本実施例に用いられる検出回路を示すブロック
図である。

【図５】本実施例に用いられる吸引穴の第２の態様を示
す一部断面図である。

【図６】本実施例に用いられる吸引穴の第３の態様を示
す一部断面図である。

【図７】本実施例に用いられる吸引穴の第４の態様を示
す一部断面図である。

【符号の説明】

１ 真空吸着パッド ２ 吸引穴 ３ 吸着パッド本体 ４ エア流路部 ５ 弁部 ６ プリント基板部 ７ 接触部 ８ 浮動子 ９ 導電板 １０ 電極 １１ 貫通穴 １２ 穴 １３ 中間室 １４ ダイオード １５ 励起導線 １６ 検出導線 １７ 引出端子 １８ アンド回路素子 １９ ＶＤシフトレジスタ ２０ ＨＤシフトレジスタ ２１ 抵抗器 ２２ 検出出力端子 ２３ 電極 ２４ 蓋板 ２５ ガイドピン ２６ バネ ２７、２８ 仕切壁 ２９ マウンド ３０ 球体状浮動子

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１１年２月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００５

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の真空吸着パッドは、真空室と連絡する複数
の吸引穴を表面に備え、各吸引穴が閉止弁を組み込んで
いて、パッド表面を把持対象物に当てて真空吸引したと
きに該把持対象物で塞がらない吸引穴については前記閉
止弁が気流を塞ぐようになっており、閉止弁が気流を塞
いでいることを検出するセンサを備えることを特徴とす
る。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】なお、上記の縊部の中間室側に浮動子が当
接して気流を塞いでいることを検出するセンサを備えて
いる。このようなセンサにより、パッド面のうちワーク
からはみ出した領域を知ることができ、これからワーク
の占める部分が明確になる。したがって、真空把持した
状態におけるワークの形状と位置および姿勢が把握でき
る。上記発明の真空吸着パッドによれば、任意の位置で
把持したワークの姿勢や把持位置が明らかになるため、
次の工程に運搬した後に要求されるワークの位置決めを
正確に行うことができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】なお、上記の浮動子位置検出用センサは１
対の電極とし、浮動子がセンサに当接する部分を導電性
にして、縊部に浮動子が当接して通電するのを検出する
ようにしてある。このようなスイッチは、小型で簡単な
構造を形成することで作製することができ、例えば積層
型プリント基板上に形成することも可能である。さら
に、多数の吸引穴をパッド面に行列状に配設して、行側
に順次検出電流を供給し、列側に表れる電流を走査して
検出するようにすれば、大面積の真空吸着パッド面を用
いる場合にも容易に把持対象物が当接するパッド表面の
領域を検知することができる。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空室と連絡する複数の吸引穴を表面に
   備える真空吸着パッドであって、各吸引穴は閉止弁を備
   え、該パッド表面を把持対象物に当てて真空吸引したと
   きに該把持対象物で塞がらない吸引穴については前記閉
   止弁が気流を塞ぐようにした真空吸着ハンド。
2. 【請求項２】 前記閉止弁が気流を塞いでいることを検
   出するセンサを備えたことを特徴とする請求項１記載の
   真空吸着ハンド。
3. 【請求項３】 真空室と連絡する複数の吸引穴を表面に
   備える真空吸着パッドであって、各吸引穴は真空室に繋
   がる奥側に縊部を有する中間室を備え、該中間室内に圧
   力差で移動し該縊部と係合すると気流を塞ぐ浮動子を装
   着してあって、該パッド表面を把持対象物に当てて真空
   吸引したときに該把持対象物で塞がらない吸引穴につい
   ては前記浮動子が気流を塞ぐようになった真空吸着ハン
   ド。
4. 【請求項４】 前記縊部の中間室側に前記浮動子が気流
   を塞いでいることを検出するセンサを備えたことを特徴
   とする請求項３記載の真空吸着ハンド。
5. 【請求項５】 前記中間室がパッド表面側に第２の縊部
   を有し、該第２縊部の内側に前記浮動子が該第２縊部の
   側にいることを検出するセンサを備えたことを特徴とす
   る請求項３または４記載の真空吸着ハンド。
6. 【請求項６】 前記センサが１対の電極であって、前記
   浮動子の該センサに当接する部分が導電性を有してい
   て、前記縊部に前記浮動子が当接することを検出するこ
   とを特徴とする請求項４または５記載の真空吸着ハン
   ド。
7. 【請求項７】 前記複数の吸引穴を行列状に配設して、
   行側に検出電流を供給し、列側で電流を検出するように
   構成して、行ごとに順次検出電流を供給して列側に表れ
   る電流を走査して検出することにより、把持対象物が当
   接する吸引穴が存在するパッド表面の領域を検知するこ
   とを特徴とする請求項６記載の真空吸着ハンド。