JPH11208818A - 保管庫 - Google Patents
保管庫Info
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- JPH11208818A JPH11208818A JP10016796A JP1679698A JPH11208818A JP H11208818 A JPH11208818 A JP H11208818A JP 10016796 A JP10016796 A JP 10016796A JP 1679698 A JP1679698 A JP 1679698A JP H11208818 A JPH11208818 A JP H11208818A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 11
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の保管庫は、ガラス基板用カセットを１
個ずつ移載機２のカセット用アーム部３により、入庫又
は出庫するため入出庫に時間がかかっていた。 【解決手段】 複数のガラス基板用カセットをそれぞれ
保管することができる複数の保管棚１と、ガラス基板用
カセットを外部から搬入する入庫口と、ガラス基板用カ
セットを外部へ搬出する出庫口と、カセット用アーム部
３ａ及びカセット用アーム部３ｂでガラス基板用カセッ
トを別々に保持して、カセット用アーム部３ａ及びカセ
ット用アーム部３ｂを上下動させ且つ保管棚１と入庫口
又は出庫口との間を移動して、ガラス基板用カセットの
搬送を行うよう構成された移載機２を備えて、ガラス基
板用カセットを二つ同時に搬送することにより、搬送効
率を向上する。
個ずつ移載機２のカセット用アーム部３により、入庫又
は出庫するため入出庫に時間がかかっていた。 【解決手段】 複数のガラス基板用カセットをそれぞれ
保管することができる複数の保管棚１と、ガラス基板用
カセットを外部から搬入する入庫口と、ガラス基板用カ
セットを外部へ搬出する出庫口と、カセット用アーム部
３ａ及びカセット用アーム部３ｂでガラス基板用カセッ
トを別々に保持して、カセット用アーム部３ａ及びカセ
ット用アーム部３ｂを上下動させ且つ保管棚１と入庫口
又は出庫口との間を移動して、ガラス基板用カセットの
搬送を行うよう構成された移載機２を備えて、ガラス基
板用カセットを二つ同時に搬送することにより、搬送効
率を向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、保管庫特に、液
晶表示装置におけるガラス基板の製造工程において、ガ
ラス基板を収納したカセットを保管する保管庫に関す
る。
晶表示装置におけるガラス基板の製造工程において、ガ
ラス基板を収納したカセットを保管する保管庫に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図７は、従来のカセット保管庫を示す正
面図である。図において、１はガラス基板を収納したガ
ラス基板用カセットを保管する保管棚で、複数設けられ
ている。２はガラス基板用カセットを移動させる移載
機、３は移載機２に設けられ、ガラス基板用カセットを
保持するカセット用アーム部である。従来のカセット保
管庫では、図７に示すように、移載機２上に１つのカセ
ット用アーム部３を備えており、ガラス基板を収納した
カセットをカセット用アーム部３に保持し、保管棚１か
ら出庫、あるいは保管棚１に入庫する。
面図である。図において、１はガラス基板を収納したガ
ラス基板用カセットを保管する保管棚で、複数設けられ
ている。２はガラス基板用カセットを移動させる移載
機、３は移載機２に設けられ、ガラス基板用カセットを
保持するカセット用アーム部である。従来のカセット保
管庫では、図７に示すように、移載機２上に１つのカセ
ット用アーム部３を備えており、ガラス基板を収納した
カセットをカセット用アーム部３に保持し、保管棚１か
ら出庫、あるいは保管棚１に入庫する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなカセット保管庫は、ガラス基板用カセットの入庫、
出庫の際、ガラス基板用カセットを１個ずつ移載機２の
カセット用アーム部３により、入庫又は出庫するため、
入出庫に時間がかかっていた。さらに、時間を短縮する
ためには、移載機２の走行、昇降スピード及びカセット
用アーム部３の動作スピードを上げる必要があり、その
ためには、駆動モータ等の容量を大きくする必要がある
などの問題があった。
うなカセット保管庫は、ガラス基板用カセットの入庫、
出庫の際、ガラス基板用カセットを１個ずつ移載機２の
カセット用アーム部３により、入庫又は出庫するため、
入出庫に時間がかかっていた。さらに、時間を短縮する
ためには、移載機２の走行、昇降スピード及びカセット
用アーム部３の動作スピードを上げる必要があり、その
ためには、駆動モータ等の容量を大きくする必要がある
などの問題があった。
【０００４】この発明は、このような課題を解決するた
めになされたものであり、従来と同様の移載機本体仕様
において、被保管物の入出庫効率を大幅に改善した保管
庫を提供することを第一の目的とする。また、被保管物
中のガラス基板を入れ替えることができる保管庫を得る
ことを第二の目的としている。
めになされたものであり、従来と同様の移載機本体仕様
において、被保管物の入出庫効率を大幅に改善した保管
庫を提供することを第一の目的とする。また、被保管物
中のガラス基板を入れ替えることができる保管庫を得る
ことを第二の目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる保管庫
は、複数の被保管物をそれぞれ保管することができる複
数の保管棚と、被保管物を外部から搬入する搬入口と、
被保管物を外部へ搬出する搬出口と、被保管物を各別に
保持して保管棚への移載を行う第一のアーム部及び第二
のアーム部を有し、第一のアーム部及び第二のアーム部
を上下動させると共に、保管棚と搬入口又は搬出口との
間を移動して、被保管物の搬送を行うよう構成された移
載機を備えたものである。また、移載機は、第一の保管
棚に保管されている第一の被保管物を第一のアーム部に
保持すると共に、第二の保管棚に保管されている第二の
被保管物を第二のアーム部に保持して、搬出口まで搬送
するものである。
は、複数の被保管物をそれぞれ保管することができる複
数の保管棚と、被保管物を外部から搬入する搬入口と、
被保管物を外部へ搬出する搬出口と、被保管物を各別に
保持して保管棚への移載を行う第一のアーム部及び第二
のアーム部を有し、第一のアーム部及び第二のアーム部
を上下動させると共に、保管棚と搬入口又は搬出口との
間を移動して、被保管物の搬送を行うよう構成された移
載機を備えたものである。また、移載機は、第一の保管
棚に保管されている第一の被保管物を第一のアーム部に
保持すると共に、第二の保管棚に保管されている第二の
被保管物を第二のアーム部に保持して、搬出口まで搬送
するものである。
【０００６】また、移載機は、搬入口に搬入された第一
の被保管物を第一のアーム部に保持すると共に、搬入口
に搬入された第二の被保管物を第二のアーム部に保持し
て、第一の被保管物を第一の保管棚まで、第二の被保管
物を第二の保管棚まで搬送するものである。さらに、移
載機は、搬入口及び搬出口のいずれか一方または両方と
保管棚との間の被保管物の搬送を、移載機の移動距離が
最短になるように行うものである。
の被保管物を第一のアーム部に保持すると共に、搬入口
に搬入された第二の被保管物を第二のアーム部に保持し
て、第一の被保管物を第一の保管棚まで、第二の被保管
物を第二の保管棚まで搬送するものである。さらに、移
載機は、搬入口及び搬出口のいずれか一方または両方と
保管棚との間の被保管物の搬送を、移載機の移動距離が
最短になるように行うものである。
【０００７】また、ガラス基板を収納する複数の被保管
物をそれぞれ保管することができる複数の保管棚と、被
保管物を外部から搬入する搬入口と、被保管物を外部へ
搬出する搬出口と、被保管物を保持して保管棚への移載
を行う第一のアーム部とガラス基板を保持して被保管物
中の所定位置への移載を行う第二のアーム部を有し、第
一のアーム部と第二のアーム部を上下動させると共に、
保管棚と搬入口又は搬出口との間を移動して、第一のア
ーム部により被保管物の搬送を行い、第二のアーム部に
より被保管物内のガラス基板の移載を行うよう構成され
た移載機を備えたものである。また、移載機は、第一の
アーム部による被保管物の搬送と、第二のアーム部によ
る被保管物内のガラス基板の移載を、移載機の移動距離
が最短になるように行うものである。
物をそれぞれ保管することができる複数の保管棚と、被
保管物を外部から搬入する搬入口と、被保管物を外部へ
搬出する搬出口と、被保管物を保持して保管棚への移載
を行う第一のアーム部とガラス基板を保持して被保管物
中の所定位置への移載を行う第二のアーム部を有し、第
一のアーム部と第二のアーム部を上下動させると共に、
保管棚と搬入口又は搬出口との間を移動して、第一のア
ーム部により被保管物の搬送を行い、第二のアーム部に
より被保管物内のガラス基板の移載を行うよう構成され
た移載機を備えたものである。また、移載機は、第一の
アーム部による被保管物の搬送と、第二のアーム部によ
る被保管物内のガラス基板の移載を、移載機の移動距離
が最短になるように行うものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】実施の形態１．図１は、この発明
の実施の形態１による保管庫を示す正面図である。図に
おいて、１は複数のガラス基板用カセットをそれぞれ保
管する複数の保管棚、２は保管棚１から搬出口である出
庫口（図示せず）又は、出庫口と別に設けられた搬入口
である入庫口（図示せず）から保管棚１の間を移動し、
ガラス基板用カセットを出庫又は入庫するための移載
機、３ａ、３ｂは移載機２上に設けられたカセット用ア
ーム部で、移載機２によって上下動され、ガラス基板用
カセットを保持して保管棚１に対して、ガラス基板用カ
セットの移載、入庫口からのカセット取り出し、出庫口
へのカセット降しを行うものである。
の実施の形態１による保管庫を示す正面図である。図に
おいて、１は複数のガラス基板用カセットをそれぞれ保
管する複数の保管棚、２は保管棚１から搬出口である出
庫口（図示せず）又は、出庫口と別に設けられた搬入口
である入庫口（図示せず）から保管棚１の間を移動し、
ガラス基板用カセットを出庫又は入庫するための移載
機、３ａ、３ｂは移載機２上に設けられたカセット用ア
ーム部で、移載機２によって上下動され、ガラス基板用
カセットを保持して保管棚１に対して、ガラス基板用カ
セットの移載、入庫口からのカセット取り出し、出庫口
へのカセット降しを行うものである。
【０００９】図２は、この発明の実施の形態１による移
載機を説明するための図であり、図２（ａ）は、移載機
の詳細を示す図で、カセット用アーム部３ｂの図示を省
略している。図２（ｂ）は、図２（ａ）のカセット用ア
ーム部を上方Ａより見た図である。図において、４はカ
セット用アーム部３ａを駆動するアーム駆動部、５はカ
セット用アーム部３ａのハンド、６はハンド５上に載置
されたカセットである。このような保管庫においては、
移載機２上に二つのカセット用アーム部３ａ、３ｂを備
えて、それぞれガラス基板用カセットを保持して、保管
棚１と入庫口または出庫口の間を搬送して、ガラス基板
用カセットの保管棚１への入庫または保管棚１からの出
庫を行う。このため、一度に二個のガラス基板用カセッ
トの入出庫が可能となり、入出庫に要する時間が短縮さ
れる。
載機を説明するための図であり、図２（ａ）は、移載機
の詳細を示す図で、カセット用アーム部３ｂの図示を省
略している。図２（ｂ）は、図２（ａ）のカセット用ア
ーム部を上方Ａより見た図である。図において、４はカ
セット用アーム部３ａを駆動するアーム駆動部、５はカ
セット用アーム部３ａのハンド、６はハンド５上に載置
されたカセットである。このような保管庫においては、
移載機２上に二つのカセット用アーム部３ａ、３ｂを備
えて、それぞれガラス基板用カセットを保持して、保管
棚１と入庫口または出庫口の間を搬送して、ガラス基板
用カセットの保管棚１への入庫または保管棚１からの出
庫を行う。このため、一度に二個のガラス基板用カセッ
トの入出庫が可能となり、入出庫に要する時間が短縮さ
れる。
【００１０】また、出庫については、保管庫１に複数の
カセット出庫要求がある場合、第一の出庫カセットをカ
セット用アーム部３ａに保持し、第二の出庫カセットを
カセット用アーム部３ｂに保持する。次に、移載機２
は、出庫口へ移動し、カセット用アーム部３ａ、３ｂ上
の出庫カセットを連続して、出庫口へ出庫する。これに
より、２つのガラス基板用カセットを効率よく出庫する
ことができる。次にこの出庫時のカセット用アーム部３
ａ、３ｂの動きをさらに詳しく説明する。
カセット出庫要求がある場合、第一の出庫カセットをカ
セット用アーム部３ａに保持し、第二の出庫カセットを
カセット用アーム部３ｂに保持する。次に、移載機２
は、出庫口へ移動し、カセット用アーム部３ａ、３ｂ上
の出庫カセットを連続して、出庫口へ出庫する。これに
より、２つのガラス基板用カセットを効率よく出庫する
ことができる。次にこの出庫時のカセット用アーム部３
ａ、３ｂの動きをさらに詳しく説明する。
【００１１】出庫カセット６をカセット用アーム部３ａ
に保持する場合は、まず移載機２は出庫カセット６のあ
る保管棚１正面にカセット用アーム部３ａを位置決め
し、次に、アーム駆動部４内のアーム駆動アクチュエー
タにより、カセット用アーム部３ａを出庫カセット６の
下部まで伸ばす。次に移載機２の上下動により、カセッ
ト用アーム部３ａ全体を上昇させ、カセット６を掬い上
げ、カセット用アーム部３ａのハンド５上に出庫カセッ
ト６を保持する。次にアーム駆動部４内のアーム駆動ア
クチュエータにより、カセット用アーム部３ａを移載機
２側に戻し、出庫カセット６を保管棚１より取り出す。
に保持する場合は、まず移載機２は出庫カセット６のあ
る保管棚１正面にカセット用アーム部３ａを位置決め
し、次に、アーム駆動部４内のアーム駆動アクチュエー
タにより、カセット用アーム部３ａを出庫カセット６の
下部まで伸ばす。次に移載機２の上下動により、カセッ
ト用アーム部３ａ全体を上昇させ、カセット６を掬い上
げ、カセット用アーム部３ａのハンド５上に出庫カセッ
ト６を保持する。次にアーム駆動部４内のアーム駆動ア
クチュエータにより、カセット用アーム部３ａを移載機
２側に戻し、出庫カセット６を保管棚１より取り出す。
【００１２】この間、カセット用アーム部３ｂは、停止
している。両カセット用アーム部３ａ、３ｂの上下動に
関しては、実施の形態１では、移載機２内の一つの上下
機構により動作するため、両カセット用アーム部３ａ、
３ｂは同時に動作するが、アームの伸縮に関しては個別
に動作する。ここで、アーム上下動に関しては、カセッ
ト用アーム部３ａ、３ｂそれぞれに上下動用のアーム駆
動アクチュエータを備え、個別に上下動するように構成
しても同様の効果がある。
している。両カセット用アーム部３ａ、３ｂの上下動に
関しては、実施の形態１では、移載機２内の一つの上下
機構により動作するため、両カセット用アーム部３ａ、
３ｂは同時に動作するが、アームの伸縮に関しては個別
に動作する。ここで、アーム上下動に関しては、カセッ
ト用アーム部３ａ、３ｂそれぞれに上下動用のアーム駆
動アクチュエータを備え、個別に上下動するように構成
しても同様の効果がある。
【００１３】次に、出庫口へ出庫カセット６を降ろす場
合は、移載機２は、出庫口正面にカセット用アーム部３
ａを位置決めし、出庫カセット６を保持したカセット用
アーム部３ａを出庫口側に伸ばし、次に移載機２の上下
動作によりカセット用アーム部３ａを下降させ、出庫口
のカセット６を載置し、その後カセット用アーム部３ａ
を移載機２側に戻すことにより行う。
合は、移載機２は、出庫口正面にカセット用アーム部３
ａを位置決めし、出庫カセット６を保持したカセット用
アーム部３ａを出庫口側に伸ばし、次に移載機２の上下
動作によりカセット用アーム部３ａを下降させ、出庫口
のカセット６を載置し、その後カセット用アーム部３ａ
を移載機２側に戻すことにより行う。
【００１４】また、入庫については、入庫口より、複数
個のガラス基板用カセットの入庫要求がある場合、移載
機２は、入庫口へ移動し、第一の入庫カセットをカセッ
ト用アーム部３ａに保持し、第二の入庫カセットをカセ
ット用アーム部３ｂに保持する。次に移載機２は、目的
とする保管棚１まで移動し、カセット用アーム部３ａ、
３ｂに保持されたガラス基板用カセットをそれぞれ保管
棚１へ移載する。この時のカセット用アーム部３ａの動
作も、出庫の場合と同様のものである。以上より、保管
棚１と入庫口または出庫口間の移載機２の移動回数が、
従来の１／２となるため、入出庫時間が短縮される。
個のガラス基板用カセットの入庫要求がある場合、移載
機２は、入庫口へ移動し、第一の入庫カセットをカセッ
ト用アーム部３ａに保持し、第二の入庫カセットをカセ
ット用アーム部３ｂに保持する。次に移載機２は、目的
とする保管棚１まで移動し、カセット用アーム部３ａ、
３ｂに保持されたガラス基板用カセットをそれぞれ保管
棚１へ移載する。この時のカセット用アーム部３ａの動
作も、出庫の場合と同様のものである。以上より、保管
棚１と入庫口または出庫口間の移載機２の移動回数が、
従来の１／２となるため、入出庫時間が短縮される。
【００１５】実施の形態２．実施の形態２は、ガラス基
板用カセットの入庫、出庫要求が複数ある場合のもの
で、図１を援用して説明する。ガラス基板用カセットの
入庫と出庫の要求が複数ある場合、保管庫コントローラ
（図示せず）の制御により、移載機２の移動距離が最短
となる経路で、ガラス基板用カセットの移載をカセット
用アーム部３ａ、３ｂで行うことにより、効率の良い入
出庫作業が実現できる。図３は、この発明の実施の形態
２による保管庫の入庫口と出庫口の位置と移載機の移動
経路を示す図であり、図３（ａ）は保管棚と入庫口、出
庫口との関係を示す図、図３（ｂ）は最短ではない移動
経路を示す図、図３（ｃ）は最短の移動経路を示す図で
ある。
板用カセットの入庫、出庫要求が複数ある場合のもの
で、図１を援用して説明する。ガラス基板用カセットの
入庫と出庫の要求が複数ある場合、保管庫コントローラ
（図示せず）の制御により、移載機２の移動距離が最短
となる経路で、ガラス基板用カセットの移載をカセット
用アーム部３ａ、３ｂで行うことにより、効率の良い入
出庫作業が実現できる。図３は、この発明の実施の形態
２による保管庫の入庫口と出庫口の位置と移載機の移動
経路を示す図であり、図３（ａ）は保管棚と入庫口、出
庫口との関係を示す図、図３（ｂ）は最短ではない移動
経路を示す図、図３（ｃ）は最短の移動経路を示す図で
ある。
【００１６】図において、１は保管棚、２は移載機、９
は入庫口、１０は出庫口、Ａ、Ｂはカセット、Ｃは特定
の保管棚を示している。図３（ａ）に示す入庫口９にあ
るカセットＡを保管棚Ｃに移載すると共に、カセットＢ
を出庫口１０へ移載する場合について考える。図３
（ｂ）は、カセット用アーム部が一つの場合を示してお
り、移載機２はスタートｓからカセットＡのある入庫口
９に移動して、これを保持し（ｖ）、保管棚Ｃまで移動
してカセットＡを載置し（ｗ）、カセットＢの載置され
ている保管棚まで引き返して、カセットＢをカセット用
アーム部に保持して（ｘ）、出庫口１０へ移動して出庫
する（ｙ）。この場合、途中一旦引き返す行程（ｗ−
ｘ）があり、移載機２の移動は最短とはなっていない。
は入庫口、１０は出庫口、Ａ、Ｂはカセット、Ｃは特定
の保管棚を示している。図３（ａ）に示す入庫口９にあ
るカセットＡを保管棚Ｃに移載すると共に、カセットＢ
を出庫口１０へ移載する場合について考える。図３
（ｂ）は、カセット用アーム部が一つの場合を示してお
り、移載機２はスタートｓからカセットＡのある入庫口
９に移動して、これを保持し（ｖ）、保管棚Ｃまで移動
してカセットＡを載置し（ｗ）、カセットＢの載置され
ている保管棚まで引き返して、カセットＢをカセット用
アーム部に保持して（ｘ）、出庫口１０へ移動して出庫
する（ｙ）。この場合、途中一旦引き返す行程（ｗ−
ｘ）があり、移載機２の移動は最短とはなっていない。
【００１７】これに対し、図３（ｃ）は、カセット用ア
ーム部が２つある場合を示すもので、移載機２はスター
トｓから、入庫口９まで移動してカセットＡをカセット
用アーム部３ａに保持して（ｖ）、次にカセットＢまで
移動してこれをカセット用アーム部３ｂに保持し
（ｘ）、さらに保管棚Ｃに移動して、カセットＡを入庫
し（ｗ）、最後に出庫口１０まで移動して、カセットＢ
を出庫する（ｙ）。この場合の移載機２は、最短距離を
移動することになる。
ーム部が２つある場合を示すもので、移載機２はスター
トｓから、入庫口９まで移動してカセットＡをカセット
用アーム部３ａに保持して（ｖ）、次にカセットＢまで
移動してこれをカセット用アーム部３ｂに保持し
（ｘ）、さらに保管棚Ｃに移動して、カセットＡを入庫
し（ｗ）、最後に出庫口１０まで移動して、カセットＢ
を出庫する（ｙ）。この場合の移載機２は、最短距離を
移動することになる。
【００１８】実施の形態３．図４は、この発明の実施の
形態３による保管庫を示す正面図である。図において、
１、２、３ａは、図１におけるものと同一のものであ
る。１１はガラス基板用カセット内のガラス基板を保持
し、ガラス基板用カセット内のガラス基板の出入を行う
ガラス基板用アーム部である。図５は、この発明の実施
の形態３による保管庫のガラス基板用アーム部を示す図
である。図において、１１はカセット用アーム部３ａと
同様に構成され、ハンド１２の構造が異なるガラス基板
用アーム部で、アーム先端のハンド１２には、ガラス基
板を吸着把持できるように吸着パッド１３が設けられて
いる。
形態３による保管庫を示す正面図である。図において、
１、２、３ａは、図１におけるものと同一のものであ
る。１１はガラス基板用カセット内のガラス基板を保持
し、ガラス基板用カセット内のガラス基板の出入を行う
ガラス基板用アーム部である。図５は、この発明の実施
の形態３による保管庫のガラス基板用アーム部を示す図
である。図において、１１はカセット用アーム部３ａと
同様に構成され、ハンド１２の構造が異なるガラス基板
用アーム部で、アーム先端のハンド１２には、ガラス基
板を吸着把持できるように吸着パッド１３が設けられて
いる。
【００１９】図６は、この発明の実施の形態３による保
管庫のガラス基板の移載状況を示す図である。図におい
て、１１、１２は図５におけるものと同一のものであ
る。６はカセット、１４はガラス基板である。図６に示
すように、カセット６内のガラス基板１４間にガラス基
板用アーム部１１のハンド１２を挿入し、次にガラス基
板用アーム部１１を上昇させ、ハンド１２上の吸着パッ
ド１３にてガラス基板１４を吸着し、ガラス基板１４を
把持し、その後ガラス基板用アーム部１１を戻し、ガラ
ス基板１４を取り出す。ガラス基板１４をカセット６に
入れる場合は、ガラス基板１４を把持したハンド１２を
カセット６の挿入すべき段に挿入し、次に吸着を解除
し、ガラス基板用アーム部１１を下降させ、カセット６
内にガラス基板１４を載置する。その後ガラス基板用ア
ーム部１１を戻す。このようにして、カセット６内のガ
ラス基板１４の品質グレードを揃えるなどのガラス基板
１４の編成を行う。
管庫のガラス基板の移載状況を示す図である。図におい
て、１１、１２は図５におけるものと同一のものであ
る。６はカセット、１４はガラス基板である。図６に示
すように、カセット６内のガラス基板１４間にガラス基
板用アーム部１１のハンド１２を挿入し、次にガラス基
板用アーム部１１を上昇させ、ハンド１２上の吸着パッ
ド１３にてガラス基板１４を吸着し、ガラス基板１４を
把持し、その後ガラス基板用アーム部１１を戻し、ガラ
ス基板１４を取り出す。ガラス基板１４をカセット６に
入れる場合は、ガラス基板１４を把持したハンド１２を
カセット６の挿入すべき段に挿入し、次に吸着を解除
し、ガラス基板用アーム部１１を下降させ、カセット６
内にガラス基板１４を載置する。その後ガラス基板用ア
ーム部１１を戻す。このようにして、カセット６内のガ
ラス基板１４の品質グレードを揃えるなどのガラス基板
１４の編成を行う。
【００２０】このようにして、カセット用アーム部３ａ
にて、ガラス基板用カセットの入出庫を行うと共に、ガ
ラス基板用アーム部１１にて、ガラス基板用カセット６
内の所定位置のガラス基板１４の入れ替えを行う。これ
により、ガラス基板用カセットの入出庫作業と、ガラス
基板用カセット内のガラス基板の編成を同一の保管庫で
行えるので、新たにガラス基板を編成する装置等を設置
する必要もなく、省スペースで生産効率の良い保管庫が
実現できる。なお、実施の形態３でも、移載機２の移動
は、移動距離が最短になるように行うものである。ま
た、実施の形態１〜実施の形態３で、アーム部を３つ以
上有するものであっても、さらに効率を上げることがで
きる。
にて、ガラス基板用カセットの入出庫を行うと共に、ガ
ラス基板用アーム部１１にて、ガラス基板用カセット６
内の所定位置のガラス基板１４の入れ替えを行う。これ
により、ガラス基板用カセットの入出庫作業と、ガラス
基板用カセット内のガラス基板の編成を同一の保管庫で
行えるので、新たにガラス基板を編成する装置等を設置
する必要もなく、省スペースで生産効率の良い保管庫が
実現できる。なお、実施の形態３でも、移載機２の移動
は、移動距離が最短になるように行うものである。ま
た、実施の形態１〜実施の形態３で、アーム部を３つ以
上有するものであっても、さらに効率を上げることがで
きる。
【００２１】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。複数の
被保管物をそれぞれ保管することができる複数の保管棚
と、被保管物を外部から搬入する搬入口と、被保管物を
外部へ搬出する搬出口と、被保管物を各別に保持して保
管棚への移載を行う第一のアーム部及び第二のアーム部
を有し、第一のアーム部及び第二のアーム部を上下動さ
せると共に、保管棚と搬入口又は搬出口との間を移動し
て、被保管物の搬送を行うよう構成された移載機を備え
たので、被保管物を二つ同時に搬送することができ、搬
出入の効率を向上することができる。
れているので、以下に示すような効果を奏する。複数の
被保管物をそれぞれ保管することができる複数の保管棚
と、被保管物を外部から搬入する搬入口と、被保管物を
外部へ搬出する搬出口と、被保管物を各別に保持して保
管棚への移載を行う第一のアーム部及び第二のアーム部
を有し、第一のアーム部及び第二のアーム部を上下動さ
せると共に、保管棚と搬入口又は搬出口との間を移動し
て、被保管物の搬送を行うよう構成された移載機を備え
たので、被保管物を二つ同時に搬送することができ、搬
出入の効率を向上することができる。
【００２２】また、移載機は、第一の保管棚に保管され
ている第一の被保管物を第一のアーム部に保持すると共
に、第二の保管棚に保管されている第二の被保管物を第
二のアーム部に保持して、搬出口まで搬送するので、被
保管物を二つ同時に搬出口まで搬送することができる。
また、移載機は、搬入口に搬入された第一の被保管物を
第一のアーム部に保持すると共に、搬入口に搬入された
第二の被保管物を第二のアーム部に保持して、第一の被
保管物を第一の保管棚まで、第二の被保管物を第二の保
管棚まで搬送するので、被保管物を二つ同時に搬入口か
ら保管棚まで搬送することができる。
ている第一の被保管物を第一のアーム部に保持すると共
に、第二の保管棚に保管されている第二の被保管物を第
二のアーム部に保持して、搬出口まで搬送するので、被
保管物を二つ同時に搬出口まで搬送することができる。
また、移載機は、搬入口に搬入された第一の被保管物を
第一のアーム部に保持すると共に、搬入口に搬入された
第二の被保管物を第二のアーム部に保持して、第一の被
保管物を第一の保管棚まで、第二の被保管物を第二の保
管棚まで搬送するので、被保管物を二つ同時に搬入口か
ら保管棚まで搬送することができる。
【００２３】さらに、移載機は、搬入口及び搬出口のい
ずれか一方または両方と保管棚との間の被保管物の搬送
を、移載機の移動距離が最短になるように行うので、効
率よく被保管物の搬送を行うことができる。また、ガラ
ス基板を収納する複数の被保管物をそれぞれ保管するこ
とができる複数の保管棚と、被保管物を外部から搬入す
る搬入口と、被保管物を外部へ搬出する搬出口と、被保
管物を保持して保管棚への移載を行う第一のアーム部と
ガラス基板を保持して被保管物中の所定位置への移載を
行う第二のアーム部を有し、第一のアーム部と第二のア
ーム部を上下動させると共に、保管棚と搬入口又は搬出
口との間を移動して、第一のアーム部により被保管物の
搬送を行い、第二のアーム部により被保管物内のガラス
基板の移載を行うよう構成された移載機を備えたので、
同じ保管庫で、被保管物の搬送を行うと共に被保管物内
のガラス基板の編成を行うことができる。
ずれか一方または両方と保管棚との間の被保管物の搬送
を、移載機の移動距離が最短になるように行うので、効
率よく被保管物の搬送を行うことができる。また、ガラ
ス基板を収納する複数の被保管物をそれぞれ保管するこ
とができる複数の保管棚と、被保管物を外部から搬入す
る搬入口と、被保管物を外部へ搬出する搬出口と、被保
管物を保持して保管棚への移載を行う第一のアーム部と
ガラス基板を保持して被保管物中の所定位置への移載を
行う第二のアーム部を有し、第一のアーム部と第二のア
ーム部を上下動させると共に、保管棚と搬入口又は搬出
口との間を移動して、第一のアーム部により被保管物の
搬送を行い、第二のアーム部により被保管物内のガラス
基板の移載を行うよう構成された移載機を備えたので、
同じ保管庫で、被保管物の搬送を行うと共に被保管物内
のガラス基板の編成を行うことができる。
【００２４】また、移載機は、第一のアーム部による被
保管物の搬送と、第二のアーム部による被保管物内のガ
ラス基板の移載を、移載機の移動距離が最短になるよう
に行うので、効率よく、被保管物の搬送と被保管物内の
ガラス基板の編成を行うことができる。
保管物の搬送と、第二のアーム部による被保管物内のガ
ラス基板の移載を、移載機の移動距離が最短になるよう
に行うので、効率よく、被保管物の搬送と被保管物内の
ガラス基板の編成を行うことができる。
【図１】 この発明の実施の形態１、２による保管庫を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による保管庫のカセ
ット用アーム部の詳細を示す図である。
ット用アーム部の詳細を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による保管庫の入庫
口と出庫口の位置を示す図である。
口と出庫口の位置を示す図である。
【図４】 この発明の実施の形態３による保管庫を示す
正面図である。
正面図である。
【図５】 この発明の実施の形態３による保管庫のガラ
ス基板用アーム部を示す図である。
ス基板用アーム部を示す図である。
【図６】 この発明の実施の形態３による保管庫のガラ
ス基板の移載状況を示す図である。
ス基板の移載状況を示す図である。
【図７】 従来の保管庫を示す正面図である。
１ 保管棚、 ２ 移載機、 ３ａ，３ｂ カセット用
アーム部、５，１２ ハンド、 ６ カセット、 ９
入庫口、 １０ 出庫口、１１ ガラス基板用アーム
部、 １４ ガラス基板。
アーム部、５，１２ ハンド、 ６ カセット、 ９
入庫口、 １０ 出庫口、１１ ガラス基板用アーム
部、 １４ ガラス基板。
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の被保管物をそれぞれ保管すること
ができる複数の保管棚、上記被保管物を外部から搬入す
る搬入口、上記被保管物を外部へ搬出する搬出口、上記
被保管物を各別に保持して保管棚への移載を行う第一の
アーム部及び第二のアーム部を有し、上記第一のアーム
部及び第二のアーム部を上下動させると共に、上記保管
棚と上記搬入口又は搬出口との間を移動して、上記被保
管物の搬送を行うよう構成された移載機を備えたことを
特徴とする保管庫。 - 【請求項２】 移載機は、第一の保管棚に保管されてい
る第一の被保管物を第一のアーム部に保持すると共に、
第二の保管棚に保管されている第二の被保管物を第二の
アーム部に保持して、搬出口まで搬送することを特徴と
する請求項１記載の保管庫。 - 【請求項３】 移載機は、搬入口に搬入された第一の被
保管物を第一のアーム部に保持すると共に、上記搬入口
に搬入された第二の被保管物を第二のアーム部に保持し
て、第一の被保管物を第一の保管棚まで、第二の被保管
物を第二の保管棚まで搬送することを特徴とする請求項
１記載の保管庫。 - 【請求項４】 移載機は、搬入口及び搬出口のいずれか
一方または両方と保管棚との間の被保管物の搬送を、移
載機の移動距離が最短になるように行うことを特徴とす
る請求項１記載の保管庫。 - 【請求項５】 ガラス基板を収納する複数の被保管物を
それぞれ保管することができる複数の保管棚、上記被保
管物を外部から搬入する搬入口、上記被保管物を外部へ
搬出する搬出口、上記被保管物を保持して保管棚への移
載を行う第一のアーム部と上記ガラス基板を保持して被
保管物中の所定位置への移載を行う第二のアーム部を有
し、上記第一のアーム部と第二のアーム部を上下動させ
ると共に、上記保管棚と上記搬入口又は搬出口との間を
移動して、上記第一のアーム部により上記被保管物の搬
送を行い、上記第二のアーム部により被保管物内のガラ
ス基板の移載を行うよう構成された移載機を備えたこと
を特徴とする保管庫。 - 【請求項６】 移載機は、第一のアーム部による被保管
物の搬送と、第二のアーム部による被保管物内のガラス
基板の移載を、移載機の移動距離が最短になるように行
うことを特徴とする請求項５記載の保管庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10016796A JPH11208818A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 保管庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10016796A JPH11208818A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 保管庫 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11208818A true JPH11208818A (ja) | 1999-08-03 |
Family
ID=11926132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10016796A Pending JPH11208818A (ja) | 1998-01-29 | 1998-01-29 | 保管庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11208818A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007030163A (ja) * | 2006-10-16 | 2007-02-08 | Nidec Sankyo Corp | ダブルアーム型ロボット |
| JP2008174335A (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-31 | Asyst Technologies Japan Inc | ストッカ及びスタッカ装置の制御方法 |
| CN101890711A (zh) * | 2009-05-19 | 2010-11-24 | 株式会社安川电机 | 机器人系统 |
| US7887279B2 (en) | 2006-09-04 | 2011-02-15 | Murata Machinery, Ltd. | Automated storage and retrieval system with improved storage efficiency and method of storing articles in, and retrieving articles from the automated storage and retrieval system |
| JP2013203526A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Murata Machinery Ltd | 自動倉庫 |
| JP2016155659A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | 村田機械株式会社 | 搬送装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62161609A (ja) * | 1986-01-13 | 1987-07-17 | Fuji Seiko Honsha:Kk | 自動貸金庫装置 |
| JPH06336308A (ja) * | 1993-05-27 | 1994-12-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板交換方法および基板交換装置 |
| JPH08192905A (ja) * | 1995-01-18 | 1996-07-30 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 自動倉庫における入出庫制御方法及び装置 |
| JPH0912108A (ja) * | 1995-06-30 | 1997-01-14 | Tsubakimoto Chain Co | 移載装置 |
-
1998
- 1998-01-29 JP JP10016796A patent/JPH11208818A/ja active Pending
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