JPH11209558A - Photopolymerizable pigment dispersant, photosensitive coloring composition and composition for light-shielding layer - Google Patents
Photopolymerizable pigment dispersant, photosensitive coloring composition and composition for light-shielding layerInfo
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- JPH11209558A JPH11209558A JP1542998A JP1542998A JPH11209558A JP H11209558 A JPH11209558 A JP H11209558A JP 1542998 A JP1542998 A JP 1542998A JP 1542998 A JP1542998 A JP 1542998A JP H11209558 A JPH11209558 A JP H11209558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、分散安定性が高い光重合性顔料分
散剤であって、レジスト特性の向上に有効な顔料分散レ
ジスト用分散剤、およびカラーフィルターの作製に適し
た感光性着色組成物、特に、遮光層用組成物を提供する
ことにある。
【解決手段】 本発明の光重合性顔料分散剤は、親水性
部と疎水性部とからなるブロックポリマーであって、該
ブロックポリマーがエチレン性不飽和二重結合を分子内
に少なくとも1個有するものであり、また、本発明の感
光性着色組成物は、アルカリ可溶性バインダー、光重合
性モノマー、光重合性開始剤、顔料、上記の光重合性顔
料分散剤、及び溶剤からなるものであり、さらに、本発
明の遮光層用組成物は、感光性着色組成物における顔料
として、少なくとも銅、マンガン、鉄の3種の金属を含
む複合金属酸化物からなるものとする。PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photopolymerizable pigment dispersant having high dispersion stability, which is effective for improving resist characteristics, and suitable for producing a color filter. An object of the present invention is to provide a photosensitive coloring composition, particularly a composition for a light-shielding layer. SOLUTION: The photopolymerizable pigment dispersant of the present invention is a block polymer comprising a hydrophilic portion and a hydrophobic portion, and the block polymer has at least one ethylenically unsaturated double bond in a molecule. And the photosensitive coloring composition of the present invention comprises an alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator, a pigment, the above-described photopolymerizable pigment dispersant, and a solvent, Further, the composition for a light-shielding layer of the present invention comprises a composite metal oxide containing at least three metals of copper, manganese, and iron as a pigment in the photosensitive coloring composition.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、光重合性を有する
顔料分散剤に関するものであり、特に有機溶媒系におけ
る顔料分散安定性に優れており、また、UVやEBに対
する反応性を有するため、UV・EB硬化性塗料やイン
キ、ソルダーレジスト等の各種レジスト、ポリマーアロ
イの相溶化剤としても適用できる。特に、顔料分散法カ
ラーフィルターにおける着色組成物の分散剤、遮光層用
の分散剤として好適な光重合性顔料分散剤、また、該分
散剤を使用した感光性着色組成物及び遮光層用組成物に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photopolymerizable pigment dispersant, and particularly to a pigment dispersant having excellent pigment dispersion stability in an organic solvent system and having reactivity to UV and EB. It can also be used as a compatibilizer for various resists such as UV / EB curable paints, inks, solder resists, and polymer alloys. In particular, a dispersant for a coloring composition in a pigment dispersion color filter, a photopolymerizable pigment dispersant suitable as a dispersant for a light-shielding layer, a photosensitive coloring composition using the dispersant, and a composition for a light-shielding layer About.
【0002】[0002]
【従来の技術】顔料分散レジストを用いフォトリソ法に
よってカラーフィルターを作製する方法は、顔料を使用
するため、光や熱などに安定であると共にフォトリソ法
によってパターニングするため、位置精度も十分で大画
面、高精細カラーディスプレーの作製に好適な方法であ
る。しかしながら、顔料分散法で作製されたカラーフィ
ルターにおいては、顔料の分散性が不十分であると色純
度や寸法精度に問題を生じたり、消偏作用のため表示コ
ントラスト比が著しく劣化する。また、顔料の分散安定
性の悪いレジスト組成物は、カラーフィルター製造プロ
セスにおける塗布時の膜厚均一性、露光時の感度、現像
時の溶解性に悪影響を及ぼすばかりか、経時によって凝
集を起こして粘度が上昇し、ポットライフが極めて短い
という問題もある。2. Description of the Related Art A method of producing a color filter by a photolithography method using a pigment-dispersed resist is stable with respect to light and heat due to the use of a pigment, and is patterned by the photolithography method. And a method suitable for producing a high-definition color display. However, in a color filter produced by the pigment dispersion method, if the dispersibility of the pigment is insufficient, problems occur in color purity and dimensional accuracy, and the display contrast ratio is significantly deteriorated due to depolarization. In addition, resist compositions with poor pigment dispersion stability not only adversely affect the film thickness uniformity during application in the color filter manufacturing process, the sensitivity during exposure, and the solubility during development, but also cause aggregation over time. There is also a problem that the viscosity increases and the pot life is extremely short.
【0003】一般に、顔料は有機溶媒、高分子化合物等
の有機媒質中への分散性や混和性が悪いため、顔料の分
散性を高める手段として、低分子量界面活性剤、こうふ
っし界面活性剤、顔料誘導体等の分散剤が用いられてい
る。[0003] Generally, pigments have poor dispersibility and miscibility in organic media such as organic solvents and high molecular compounds. Therefore, low molecular weight surfactants and high-density surfactants are used as means for enhancing the dispersibility of pigments. And a dispersant such as a pigment derivative.
【0004】しかし、低分子量界面活性剤は分散安定性
が低く、さらにカラーフィルターの使用中に界面活性剤
が析出してくるという問題がある。特開平4−7606
2号では、低分子量イオン性界面活性剤と同極性のイオ
ン性樹脂の組み合わせによる分散安定化が図られたが、
満足する結果が得られていないのが実情である。[0004] However, low molecular weight surfactants have a problem that dispersion stability is low, and furthermore, surfactants are precipitated during use of color filters. JP-A-4-7606
In No. 2, dispersion stabilization was achieved by combining a low molecular weight ionic surfactant and an ionic resin having the same polarity.
The fact is that satisfactory results have not been obtained.
【0005】高分子型界面活性剤の場合には、顔料・分
散剤・溶剤の3成分系での分散効果は優れるが、レジス
トの他成分(バインダー樹脂、多官能モノマー等)を添
加すると添加成分の種類によっては分散系が破壊され、
粘度が上昇するとか、また保存中に顔料が沈降するとい
う欠点を有する。そこで、特開平9−146272号で
は、側鎖に酸性基を有するグラフト共重合体に分散剤及
びバインダー樹脂の両方の役割を果たさせて、感光性着
色組成物中の顔料の分散安定性を改善している。[0005] In the case of a polymer type surfactant, the dispersing effect of a three-component system of a pigment, a dispersant and a solvent is excellent. Depending on the type of the dispersion system is destroyed,
It has the disadvantage that the viscosity increases and the pigment sediments during storage. Therefore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-146272 discloses that a graft copolymer having an acidic group in a side chain serves as both a dispersant and a binder resin to improve the dispersion stability of a pigment in a photosensitive coloring composition. Has improved.
【0006】また、顔料誘導体は、その他の界面活性剤
と併用することによって、顔料の分散性を高めることが
できるが、そのもの自体に着色能力があり、分光特性が
重要視されるカラーフィルターでは使用限界がある。The pigment derivative can enhance the dispersibility of the pigment when used in combination with other surfactants. However, the pigment derivative itself has a coloring ability and is used in a color filter where spectral characteristics are regarded as important. There is a limit.
【0007】従来の分散剤はいずれにしても、その分子
中に感光性基を有しないため、レジスト組成物中に、バ
インダー樹脂・分散剤等の光硬化性を持たない材料が多
量に存在することはレジストの感度を低下させる原因と
なる。また、分散剤が酸性基を有しアルカリ水溶液に可
溶な場合、露光部に存在する分散剤がアルカリ現像時に
光硬化部から溶出することにより、塗膜の基材に対する
密着性、パターン形状に悪影響を及ぼすという大きな問
題を有する。In any case, the conventional dispersant does not have a photosensitive group in its molecule, so that a large amount of non-photocurable materials such as a binder resin and a dispersant are present in the resist composition. This lowers the sensitivity of the resist. In addition, when the dispersant has an acidic group and is soluble in an aqueous alkaline solution, the dispersant present in the exposed portion is eluted from the photocured portion during alkali development, so that the adhesion of the coating film to the substrate and the pattern shape are reduced. It has a major problem of adverse effects.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の従来
技術の問題点を解決するものであり、その目的は、分散
安定性が高い光重合性顔料分散剤であって、レジスト特
性の向上に有効な顔料分散レジスト用分散剤、およびカ
ラーフィルターの作製に適した感光性着色組成物、特に
遮光層用組成物を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a photopolymerizable pigment dispersant having a high dispersion stability and an improved resist characteristic. It is an object of the present invention to provide a dispersant for a pigment-dispersed resist which is effective for the above, and a photosensitive coloring composition suitable for producing a color filter, particularly a composition for a light-shielding layer.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに鋭意検討を行った結果、本発明の光重合性顔料分散
剤は、親水性部と疎水性部とからなるブロックポリマー
であって、該ブロックポリマーがエチレン性不飽和二重
結合を分子内に少なくとも1個有するものであることを
特徴とする。As a result of diligent studies to achieve the above object, the photopolymerizable pigment dispersant of the present invention is a block polymer comprising a hydrophilic part and a hydrophobic part. The block polymer has at least one ethylenically unsaturated double bond in the molecule.
【0010】上記の親水性部が、−OH基、−COOH
基、−SO3 H基、−PO3 H2 基、−PO(OH)
(OR)基(Rは炭化水素基を表す)、又は低級ポリオ
キシアルキレン基から選ばれる少なくとも一つの親水性
基を少なくとも一種含有する重合体であることを特徴と
する。The above-mentioned hydrophilic part is represented by —OH group, —COOH
Group, -SO 3 H group, -PO 3 H 2 group, -PO (OH)
It is a polymer containing at least one hydrophilic group selected from an (OR) group (R represents a hydrocarbon group) or a lower polyoxyalkylene group.
【0011】上記のブロックポリマーの重量平均分子量
が5,000〜200,000、ブロックポリマーの親
水性部と疎水性部の重量比が5/95〜90/10であ
ることを特徴とする。The weight average molecular weight of the block polymer is 5,000 to 200,000, and the weight ratio of the hydrophilic part to the hydrophobic part of the block polymer is 5/95 to 90/10.
【0012】上記のエチレン性不飽和二重結合基導入量
が、ブロックポリマー1gあたり0.1ミリモル〜5ミ
リモルであることを特徴とする。[0012] The amount of the ethylenically unsaturated double bond group introduced is 0.1 to 5 mmol per 1 g of the block polymer.
【0013】本発明の感光性着色組成物は、アルカリ可
溶性バインダー、光重合性モノマー、光重合性開始剤、
分散剤、顔料及び溶剤を主成分とし、該分散剤が、親水
性部と疎水性部とからなり、エチレン性不飽和二重結合
を分子内に少なくとも1個有するブロックポリマーを少
なくとも1種含むことを特徴とする。The photosensitive coloring composition of the present invention comprises an alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator,
A dispersant, a pigment and a solvent as main components, the dispersant comprising a hydrophilic part and a hydrophobic part and containing at least one block polymer having at least one ethylenically unsaturated double bond in a molecule. It is characterized by.
【0014】本発明の遮光層用組成物は、アルカリ可溶
性バインダー、光重合性モノマー、光重合性開始剤、分
散剤、無機黒色顔料、及び溶剤を主成分とし、該分散剤
が、親水性部と疎水性部とからなり、エチレン性不飽和
二重結合を分子内に少なくとも1個有するブロックポリ
マーを少なくとも1種含むことを特徴とする。The composition for a light-shielding layer of the present invention comprises an alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator, a dispersant, an inorganic black pigment, and a solvent as main components, and the dispersant comprises a hydrophilic part. And at least one block polymer having at least one ethylenically unsaturated double bond in the molecule.
【0015】上記の無機黒色顔料が、少なくとも銅、マ
ンガン、鉄を含む複合金属酸化物であることを特徴とす
る。The inorganic black pigment is a composite metal oxide containing at least copper, manganese and iron.
【0016】上記の光重合性モノマーが、3個〜6個の
反応性二重結合基を持つ多官能アクリレート、及び/ま
たは多官能メタクリレートであることを特徴とする。The photopolymerizable monomer is a polyfunctional acrylate and / or a polyfunctional methacrylate having 3 to 6 reactive double bond groups.
【0017】上記のアルカリ可溶性バインダーの少なく
とも一部が、1gあたり反応性二重結合基を0.05ミ
リモル〜5ミリモル含み、かつ、酸価が50mgKOH
/g〜250mgKOH/gのエポキシ樹脂であること
を特徴とする。At least a part of the above-mentioned alkali-soluble binder contains 0.05 to 5 mmol of a reactive double bond group per 1 g, and has an acid value of 50 mg KOH.
/ G to 250 mgKOH / g epoxy resin.
【0018】上記のエポキシ樹脂が、ビスフェノールA
型ビニルエステルであることを特徴とする。The epoxy resin is bisphenol A
It is characterized by being a type vinyl ester.
【0019】[0019]
【発明の実施の形態】本発明の光重合性顔料分散剤は、
親水性部と疎水性部とからなるブロックポリマーであっ
て、該ブロックポリマーがエチレン性不飽和二重結合を
分子内に少なくとも1個有するものとすることにより、
顔料の分散を安定化し、さらにレジスト特性を向上させ
ることを見出し、本発明を完成させるに至った。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photopolymerizable pigment dispersant of the present invention comprises
A block polymer comprising a hydrophilic portion and a hydrophobic portion, wherein the block polymer has at least one ethylenically unsaturated double bond in the molecule,
The inventors have found that the dispersion of the pigment is stabilized and that the resist characteristics are further improved, thereby completing the present invention.
【0020】光重合性顔料分散剤における親水性部とし
ては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロ
キシエチルメタクリレート{以下、この両者をヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレートと示す。以下、同様)、
ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシ
ブチル(メタ)アクリレート、N−ヒドロキシメチルア
クリルアミド、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピ
ル(メタ)アクリレート等の−OH基含有モノマー、ア
クリル酸、α−、またはβ−置換アクリル酸、例えばα
−アセトキシ体、α−アセトキシメチル体、α−クロロ
体、β−クロロ体等、メタクリル酸、マレイン酸、イタ
コン酸、クロトン酸、マレイン酸の半エステル、マレイ
ン酸の半アミド、イタコン酸の半エステル、イタコン酸
の半アミド等のエチレン性不飽和カルボン酸、ビニルベ
ンゼンスルホン酸、ビニルスルホン酸、ビニルホスホ
酸、リン酸−2−(メタ)アクリロイルオキシエチル、
リン酸メチル−2−(メタ)アクリロイルオキシエチ
ル、リン酸エチル−(メタ)アクリロイルオキシエチル
等のモノマーの単独重合体、または他のエチレン性不飽
和モノマーとの共重合体、ポリ(エチレンオキシド)等
のポリ(アルキレンオキシド)が挙げられる。しかし、
これらの重合体に限定されることはなく、ポリエステ
ル、ポリウレタン等に親水性基を化学的に導入したもの
等も使用できる。The hydrophilic portion in the photopolymerizable pigment dispersant is, for example, hydroxyethyl acrylate or hydroxyethyl methacrylate (hereinafter referred to as hydroxyethyl (meth) acrylate). The same applies hereinafter),
-OH group-containing monomers such as hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, N-hydroxymethylacrylamide, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl (meth) acrylate, acrylic acid, α- or β-substituted Acrylic acid, for example α
-Acetoxy form, α-acetoxymethyl form, α-chloro form, β-chloro form, etc., methacrylic acid, maleic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid half ester, maleic acid half amide, itaconic acid half ester , Ethylenically unsaturated carboxylic acids such as half-amides of itaconic acid, vinylbenzenesulfonic acid, vinylsulfonic acid, vinylphosphonic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl phosphate,
Monopolymers of monomers such as methyl-2- (meth) acryloyloxyethyl phosphate and ethyl- (meth) acryloyloxyethyl phosphate, copolymers with other ethylenically unsaturated monomers, poly (ethylene oxide), etc. Of poly (alkylene oxide). But,
The polymer is not limited to these, and those obtained by chemically introducing a hydrophilic group into polyester, polyurethane or the like can also be used.
【0021】疎水部としては、アクリル酸メチル、アク
リル酸−n−ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル
酸−2−エチルヘキシル、アクリル酸−2−メトキシエ
チル、アクリル酸−2−エトキシエチル、ベンジルアク
リレート等のアクリル酸エステルやメタクリル酸メチ
ル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸ブチル、メタク
リル酸イソブチル、メタクリル酸−t−ブチル、メタク
リル酸−2−エチルヘキシル、メタクリル酸ラウリル、
メタクリル酸トリデシル、メタクリル酸ステアリル、ベ
ンジルメタクリレート等のメタクリル酸エステル、ま
た、スチレン、α−スチレン、ビニルトルエン等の芳香
族ビニル化合物の1種又は数種の組み合わせからなる重
合体成分である。この場合もこれらの重合体に限定され
るものではなく、疎水性の高いポリエステル、ポリウレ
タン等の重合体も用いることができる。Examples of the hydrophobic part include methyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-methoxyethyl acrylate, 2-ethoxyethyl acrylate and benzyl acrylate. Acrylic esters and methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, t-butyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, lauryl methacrylate,
It is a polymer component comprising one or a combination of methacrylic esters such as tridecyl methacrylate, stearyl methacrylate, and benzyl methacrylate, and aromatic vinyl compounds such as styrene, α-styrene and vinyltoluene. Also in this case, the polymer is not limited to these polymers, and polymers having high hydrophobicity such as polyester and polyurethane can also be used.
【0022】ブロックポリマーの合成法の中で、リビン
グアニオン重合を利用するのが最も信頼し得る方法であ
るが、実験的には真空系の技術を必要とし、大量合成に
は難点が多い。ラジカル重合を用いたブロックポリマー
の合成は、末端官能性プレポリマーのカップリング法、
高分子開始剤法、イニファーター法等により行うことが
できる。Among the methods for synthesizing block polymers, the most reliable method is to use living anionic polymerization. However, experimentally requires a vacuum-based technique, and there are many difficulties in mass synthesis. Synthesis of the block polymer using radical polymerization is based on a method of coupling a terminal functional prepolymer,
It can be performed by a polymer initiator method, an iniferter method, or the like.
【0023】末端官能性プレポリマーは、分子中にカル
ボキシル基、ヒドロキシル基、アミノ基等の官能基を含
有する重合開始剤または連鎖移動剤を用いて合成され
る。例えば重合開始剤ではアゾビスシアノペンタン酸に
よりカルボキシル基、アゾビスシアノペンタノールによ
りヒドロキシル基、アペビスイソブチロアミジンにより
アミノ基が導入される。連鎖移動剤では、チオジグリコ
ール酸によりカルボキシル基、メルカプトエタノールに
よりヒドロキシル基、ビス−4−アミノフェニル−ジス
ルフィドによりアミノ基が導入される。この方法は、
(メタ)アクリル酸系、ビニル系等のモノマーに適用可
能であり、親水性基あるいは疎水性基を含有するプレポ
リマーを種々合成できる。The terminal-functional prepolymer is synthesized using a polymerization initiator or a chain transfer agent containing a functional group such as a carboxyl group, a hydroxyl group or an amino group in the molecule. For example, in a polymerization initiator, a carboxyl group is introduced by azobiscyanopentanoic acid, a hydroxyl group is introduced by azobiscyanopentanol, and an amino group is introduced by apebisisobutyroamidine. In the chain transfer agent, a carboxyl group is introduced by thiodiglycolic acid, a hydroxyl group is introduced by mercaptoethanol, and an amino group is introduced by bis-4-aminophenyl-disulfide. This method
It is applicable to monomers such as (meth) acrylic acid type and vinyl type, and various prepolymers containing a hydrophilic group or a hydrophobic group can be synthesized.
【0024】また、末端官能性プレポリマーとしては、
ポリオキシエチレンモノメチルエーテルのような片末端
ヒドロキシル基ポリマー、末端ヒドロキシル基ポリエス
テル、末端ヒドロキシル基または末端イソシアネート基
ポリウレタン等も挙げられる。Further, as the terminal functional prepolymer,
One-terminal hydroxyl group polymers such as polyoxyethylene monomethyl ether, terminal hydroxyl group polyesters, terminal hydroxyl group or terminal isocyanate group polyurethane and the like are also included.
【0025】次に、互いに縮合または付加し得る官能基
を有する末端官能性プレポリマーのカップリングにより
ブロックポリマーを合成する。片末端官能性プレポリマ
ー、両末端官能性プレポリマーの組合せでAB型、AB
A型など様々なブロックポリマーを合成可能である。Next, a block polymer is synthesized by coupling a terminal functional prepolymer having a functional group which can be condensed or added to each other. AB type, AB with a combination of one-end functional prepolymer and bi-terminal functional prepolymer
Various block polymers such as A type can be synthesized.
【0026】但し、親水性プレポリマーと疎水性プレポ
リマーのカップリング反応の際には、親水性基の保護が
必要な場合がある。親水性基を保護したプレポリマーと
疎水性プレポリマーを反応させてブロックポリマーを合
成し、その後脱保護を行う。親水性基の保護基導入反応
及び脱保護基反応については、従来公知の方法により行
うことができる。However, in the coupling reaction between the hydrophilic prepolymer and the hydrophobic prepolymer, protection of the hydrophilic group may be required. A block polymer is synthesized by reacting a prepolymer protected with a hydrophilic group with a hydrophobic prepolymer, and then deprotection is performed. The protective group introduction reaction and the deprotection group reaction of the hydrophilic group can be performed by a conventionally known method.
【0027】アゾ基またはペルオキシ基を有するポリマ
ーへのモノマー付加によりブロックポリマーを合成する
高分子開始剤法は、具体的には 上田明、永井進「高分
子」39、202(1990)、山本隆「高分子」3
5、1010(1986)の総説及びそれに引用の文献
に記載される方法に従って合成できる。また、米国特許
第3,994,994号に記載の二官能性重合開始剤を
使用する方法も挙げられる。The polymer initiator method for synthesizing a block polymer by adding a monomer to a polymer having an azo group or a peroxy group is specifically described in Akira Ueda and Susumu Nagai, “Polymer” 39, 202 (1990), Takashi Yamamoto "Polymer" 3
5, 1010 (1986) and the literature cited therein. Also, a method using a bifunctional polymerization initiator described in U.S. Pat. No. 3,994,994 can be mentioned.
【0028】イニファーター法は、具体的には、大津隆
行「高分子」37、248(1988)の総説及びそれ
に引用の文献に記載される方法にしたがって合成するこ
とができる。The iniferter method can be specifically synthesized according to the method described in the review of Takatsu Otsu “Polymer” 37, 248 (1988) and the literature cited therein.
【0029】ブロックポリマーにおける親水性基含有量
の最適値は、親水性基の種類によって異なるが、ブロッ
クポリマーあたり1重量%〜80重量%が好ましい。親
水性基が1重量%より少ないと分散安定化が不十分とな
る。親水性基含有量が80重量%を越えると、顔料の凝
集を防ぐ効果に寄与する立体障害層が少なくなり、分散
安定性が低くなる。また、親水性基量が多すぎると高極
性溶剤のみに可溶となり、使用溶剤が著しく制限され
る。The optimum value of the content of the hydrophilic group in the block polymer varies depending on the type of the hydrophilic group, but is preferably 1% by weight to 80% by weight per block polymer. When the content of the hydrophilic group is less than 1% by weight, dispersion stabilization becomes insufficient. When the content of the hydrophilic group exceeds 80% by weight, the steric hindrance layer contributing to the effect of preventing the aggregation of the pigment decreases, and the dispersion stability decreases. On the other hand, if the amount of the hydrophilic group is too large, it becomes soluble only in a highly polar solvent, and the solvent used is significantly restricted.
【0030】ブロックポリマーの重量平均分子量(以
下、Mwと示す)は5,000〜200,000が好ま
しい。Mwが5,000より小さいと分散性の効果が十
分発揮されず、Mwが200,000を越えると、溶解
性が低下し、レジスト特性が悪化する。The weight average molecular weight (hereinafter, referred to as Mw) of the block polymer is preferably from 5,000 to 200,000. If Mw is less than 5,000, the effect of dispersibility is not sufficiently exhibited, and if Mw exceeds 200,000, solubility is reduced and resist characteristics are deteriorated.
【0031】ブロックポリマーにおける親水性部と疎水
性部との割合は、重量比が5/95〜90/10が好ま
しい。この範囲を外れると、ブロックポリマーであると
いう形態上の効果が低下する。The weight ratio of the hydrophilic part to the hydrophobic part in the block polymer is preferably from 5/95 to 90/10. Outside this range, the morphological effect of being a block polymer is reduced.
【0032】次に、ブロックポリマーへのエチレン性不
飽和二重結合の導入は、従来公知の方法により行われ
る。分子内にカルボキシル基を含有するブロックポリマ
ーの場合には、例えばエポキシ基を有するエチレン性不
飽和基含有化合物、ヒドロキシル基を有するエチレン性
不飽和基含有化合物等を反応させる方法が挙げられる。
このような化合物としては、例えば、グリシジル(メ
タ)アクリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アク
リート、アリルグリシジルエーテル、アリル−2−メチ
ルグリシジルエーテル、ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、
ヒドロキシブチル(メタ)アクリレートなどがある。ヒ
ドロキシル基を有する場合には、例えば、イソシアネー
トエチルメタクリレート、(メタ)アクリル酸、(メ
タ)アクリル酸クロライド等のヒドロキシル基と反応し
うる官能基を有するエチレン性不飽和基含有化合物を反
応させる方法がある。Next, introduction of an ethylenically unsaturated double bond into the block polymer is carried out by a conventionally known method. In the case of a block polymer containing a carboxyl group in the molecule, for example, a method of reacting an ethylenically unsaturated group-containing compound having an epoxy group, an ethylenically unsaturated group-containing compound having a hydroxyl group, or the like can be mentioned.
Examples of such a compound include glycidyl (meth) acrylate, 2-methylglycidyl (meth) acrylate, allyl glycidyl ether, allyl-2-methyl glycidyl ether, hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate,
Hydroxybutyl (meth) acrylate and the like. When the compound has a hydroxyl group, for example, a method of reacting an ethylenically unsaturated group-containing compound having a functional group capable of reacting with a hydroxyl group such as isocyanate ethyl methacrylate, (meth) acrylic acid, and (meth) acrylic acid chloride is used. is there.
【0033】また、ブロックポリマーへのエチレン性不
飽和基導入は、エチレン性不飽和基を含有する末端官能
性プレポリマーを使用することによっても可能である。
エチレン性不飽和基を含有する末端官能性プレポリマー
としては、例えば米国特許第3,321,552号明細
書に記載のエチル−α−(ヒドロキシルエチル)アクリ
レートを縮合して得られる片末端ヒドロキシル基ポリエ
ステルがある。また、トリレンジイソシアネート、ジフ
ェニルメタンジイソシアネート等のジイソシアネートと
グリセリルメタクリレート等のようなヒドロキシル基を
2個含有するエチレン性不飽和基含有化合物単独もしく
は、それとブチレンアジペート、エチレンアジペート、
ポリテトラメチレングリコール、ポリエチレングリコー
ル等の両末端にヒドロキシル基を有するポリエステルジ
オール、ポリエーテルジオールの混合物との反応により
得られるポリウレタンがある。The introduction of an ethylenically unsaturated group into the block polymer is also possible by using a terminal functional prepolymer containing an ethylenically unsaturated group.
Examples of the terminal functional prepolymer containing an ethylenically unsaturated group include a one-terminal hydroxyl group obtained by condensing ethyl-α- (hydroxylethyl) acrylate described in US Pat. No. 3,321,552. There is polyester. Further, tolylene diisocyanate, a diisocyanate such as diphenylmethane diisocyanate and an ethylenically unsaturated group-containing compound containing two hydroxyl groups such as glyceryl methacrylate alone or butylene adipate, ethylene adipate,
There is a polyurethane obtained by a reaction with a mixture of a polyester diol and a polyether diol having hydroxyl groups at both terminals such as polytetramethylene glycol and polyethylene glycol.
【0034】エチレン性不飽和基の導入量は、ブロック
ポリマー1gあたり0.1ミリモル〜5ミリモルが好ま
しい。導入量が0.1ミリモルよりも少ないと光硬化性
が低く、塗膜密着性、レジスト特性の改善効果が小さ
い。The amount of the ethylenically unsaturated group to be introduced is preferably from 0.1 mmol to 5 mmol per 1 g of the block polymer. If the amount is less than 0.1 mmol, the photocurability is low, and the effect of improving the coating film adhesion and the resist properties is small.
【0035】本発明の光重合性顔料分散剤は、種々の無
機顔料及び有機顔料に適用できる。具体的には、鉄、コ
バルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、
マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン、マンガン等
の金属酸化物、及び前記金属の複合酸化物、硫酸バリウ
ム、シリカ、クロム酸亜鉛、クロム酸ストロンチウム、
カーボンブラック、金属アルミニウム、金属鉛、金属亜
鉛、塩基性硫酸鉛、水酸化アルミニウム、塩基性炭酸鉛
等の無機化合物、或いは有機顔料、例えばキナクリド
ン、フタロシアニン青、フタロシアニン緑、アゾ顔料、
イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料などカラーイン
デックス(C.I.; The Society of Dyersand Colou
rists 社発行)のピグメントに分類される化合物が挙げ
られる。The photopolymerizable pigment dispersant of the present invention can be applied to various inorganic pigments and organic pigments. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium,
Magnesium, chromium, zinc, antimony, metal oxides such as manganese, and composite oxides of the above metals, barium sulfate, silica, zinc chromate, strontium chromate,
Inorganic compounds such as carbon black, metallic aluminum, metallic lead, metallic zinc, basic lead sulfate, aluminum hydroxide, basic lead carbonate, or organic pigments such as quinacridone, phthalocyanine blue, phthalocyanine green, azo pigments,
Color indices such as isoindoline pigments and dioxazine pigments (CI; The Society of Dyersand Colou)
rists).
【0036】本発明の顔料分散剤における顔料分散機構
は不明な点が多いが、顔料は、水酸基のような親水性官
能基や吸着水分等の存在により親水性の状態にあり、ブ
ロックポリマーは親水部と疎水部に分かれているため、
親水部により顔料に吸着し、疎水部が溶媒中に溶解する
ことによって分散安定化する能力が高いものと考えられ
る。しかし、顔料表面と溶媒の親水−疎水のバランス、
ブロックポリマーの溶媒に対する溶解性によって分散機
構は異なるため一概にはいえない。Although the pigment dispersing mechanism of the pigment dispersant of the present invention is largely unknown, the pigment is in a hydrophilic state due to the presence of a hydrophilic functional group such as a hydroxyl group, adsorbed moisture and the like, and the block polymer is hydrophilic. Part and hydrophobic part,
It is considered that the ability to adsorb to the pigment by the hydrophilic portion and stabilize the dispersion by dissolving the hydrophobic portion in the solvent is high. However, the hydrophilic-hydrophobic balance of the pigment surface and the solvent,
The dispersing mechanism differs depending on the solubility of the block polymer in the solvent, and thus cannot be determined unconditionally.
【0037】顔料は通常凝集体を形成しており、顔料を
微粒子化するのは容易ではない。そのため、本発明の感
光性着色組成物は、顔料、光重合性分散剤、溶媒からな
る着色液を予め調製し、その着色液にアルカリ可溶性バ
インダー、光重合性モノマー、光重合性開始剤、溶媒を
混合して調製する。The pigment usually forms an aggregate, and it is not easy to make the pigment into fine particles. Therefore, the photosensitive coloring composition of the present invention is a pigment, a photopolymerizable dispersant, a coloring solution comprising a solvent is prepared in advance, and the coloring solution is an alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator, a solvent. Is prepared by mixing.
【0038】上記着色液の調製において、本発明の分散
剤は予め微粉状の顔料等に均質に混合するか、あるいは
分散媒中に予め溶解して用い、または顔料等と非水溶媒
からなる分散系に添加して用いるのが好ましい。In the preparation of the above-mentioned colored liquid, the dispersant of the present invention is previously mixed homogeneously with a finely divided pigment or the like, or dissolved in a dispersion medium beforehand, or used as a dispersion comprising a pigment or the like and a non-aqueous solvent. It is preferable to use it by adding it to the system.
【0039】また、本分散剤は、単独もしくは一般的な
低分子界面活性剤、高分子界面活性剤、顔料誘導体と混
合して用いることができる。このような分散剤として
は、市販されている(メタ)アクリル酸系(共)重合体
ポリフローNo.75、No.90、No.95(共栄
社油脂化学工業製)、メガファックF171、F17
2、F173(大日本インキ化学工業製)、フロラード
Fc430、Fc431(住友スリーエム製)、ソルス
パス12000、13240、20000、2400
0、26000、28000などの各種ソルスパース分
散剤(ゼネカ製)、ディスパースビッグ111、16
1、164、165(ビッグケミー製)等を用いること
ができる。The present dispersant can be used alone or as a mixture with a general low-molecular surfactant, high-molecular surfactant, or pigment derivative. As such a dispersant, commercially available (meth) acrylic acid-based (co) polymer Polyflow No. 75, no. 90, no. 95 (manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo), Megafac F171, F17
2, F173 (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals), Florad Fc430, Fc431 (manufactured by Sumitomo 3M), Solspass 12000, 13240, 20000, 2400
Solsperse dispersants such as 0, 26000 and 28000 (manufactured by Zeneca), Disperse Big 111 and 16
1, 164, 165 (made by Big Chemie) or the like can be used.
【0040】着色液の調製においては、いずれの分散機
を使用してもよく、例えば、ポールミル、サンドミル、
ビスコミル、ロールミル、ニーダー、アトライター、ハ
イスピードミキサー、ホモミキサー等が挙げられる。In the preparation of the coloring liquid, any disperser may be used, for example, a pole mill, a sand mill,
Visco mills, roll mills, kneaders, attritors, high-speed mixers, homomixers and the like can be mentioned.
【0041】光重合性顔料分散剤は、液状感光性組成物
の全固形分に対して、2重量%〜80重量%、好ましく
は2重量%〜40重量%添加する。2重量%よりが少な
いと分散安定性が不十分であり、経時的に粘度上昇や顔
料の沈降が生じる。但し、分散剤の最適な添加量は、使
用する顔料、溶剤、レジスト成分の組み合わせにより変
動する。また、光重合性顔料分散剤は、上述したよう
に、単独で用いても、他の非水系分散剤と併用してもよ
い。この場合の他の非水系分散剤は、本発明の分散剤の
0〜80重量%用いることができる。80重量%を越え
て使用すると、本発明の目的である感度が低下する。The photopolymerizable pigment dispersant is added in an amount of 2% by weight to 80% by weight, preferably 2% by weight to 40% by weight, based on the total solid content of the liquid photosensitive composition. If the amount is less than 2% by weight, the dispersion stability is insufficient, and the viscosity increases and the pigment sediments over time. However, the optimal amount of the dispersant varies depending on the combination of the pigment, solvent, and resist component used. Further, as described above, the photopolymerizable pigment dispersant may be used alone or in combination with another non-aqueous dispersant. In this case, the other non-aqueous dispersant can be used in an amount of 0 to 80% by weight of the dispersant of the present invention. If it is used in excess of 80% by weight, the sensitivity which is the object of the present invention is reduced.
【0042】本発明の光重合性顔料分散剤は、感光性着
色組成物に使用されると、分散剤以外に、バインダー樹
脂としての役割も果たし、レジストの他成分(バインダ
ー樹脂、多官能モノマー等)による粘着性を取り除く、
塗膜物性改質剤としても作用する。溶剤乾燥後の粘着性
は、カラーフィルター製造プロセスの異物の付着等によ
って欠陥が生じやすくなるため、非粘着性とすることが
好ましい。さらに、エチレン性不飽和基を含有している
ため、光硬化性を有しており、例えば顔料分散レジスト
に使用した場合、レジストの感度を向上させる。また、
光硬化性のない分散剤の欠点であった、アルカリ現像に
よる塗膜の基材密着性の低下、パターン形状の悪化を改
善することが出来る。When the photopolymerizable pigment dispersant of the present invention is used in a photosensitive coloring composition, it also serves as a binder resin in addition to the dispersant, and serves as another component of the resist (binder resin, polyfunctional monomer, etc.). ) To remove stickiness,
It also acts as a coating property modifier. The adhesiveness after drying the solvent is preferably non-adhesive because defects are likely to occur due to adhesion of foreign substances in the color filter manufacturing process. Further, since it contains an ethylenically unsaturated group, it has photocurability and, for example, when used in a pigment-dispersed resist, improves the sensitivity of the resist. Also,
It is possible to improve the disadvantages of the dispersant having no photocurability, such as a decrease in the adhesion of the coating film to the base material due to the alkali development and a deterioration in the pattern shape.
【0043】以下、本発明の感光性着色組成物として、
特に、遮光層用組成物である場合について詳述する。Hereinafter, as the photosensitive coloring composition of the present invention,
In particular, the case where the composition is a light shielding layer composition will be described in detail.
【0044】本発明の光重合性顔料分散剤は、無機黒色
顔料を用いた遮光層用組成に対して優れた効果を示す。
これは遮光性のため膜中の露光量の低下が著しく、硬化
不足となり、非反応性成分の悪影響が出やすくなるが、
本発明の分散剤によって感度が上がるためである。既に
本発明者らが提案している、少なくとも銅、マンガン、
鉄の金属を含む複合金属酸化物微粒子を用いた遮光層用
組成物に対しては、分散性という観点では特に優れた効
果を発揮する。The photopolymerizable pigment dispersant of the present invention exhibits an excellent effect on a composition for a light-shielding layer using an inorganic black pigment.
This is because the amount of exposure in the film is remarkably reduced due to the light shielding property, the curing is insufficient, and the adverse effect of the non-reactive component is likely to occur,
This is because sensitivity is increased by the dispersant of the present invention. Already proposed by the present inventors, at least copper, manganese,
The composition for a light-shielding layer using composite metal oxide fine particles containing an iron metal exhibits particularly excellent effects in terms of dispersibility.
【0045】本発明の遮光層用組成物における顔料は、
特開平9−25126号公報に開示される湿式法に準
じ、銅、マンガン、鉄の3種類の水溶性金属塩にアルカ
リを添加し、中和析出させ、その析出したスラリー中に
過酸化水素などの酸化剤を加え、液相中で酸化した後、
洗浄、乾燥、焼成および粉砕して製造することができ
る。The pigment in the composition for a light-shielding layer of the present invention includes:
According to the wet method disclosed in JP-A-9-25126, an alkali is added to three kinds of water-soluble metal salts of copper, manganese, and iron, and the precipitate is neutralized and precipitated. After oxidizing in the liquid phase,
It can be manufactured by washing, drying, baking and pulverizing.
【0046】また、顔料の表面状態をより分散しやすく
するため、ジルコニウムや亜鉛の水溶性金属塩を添加す
ることもできる。In order to make the surface state of the pigment more easily dispersed, a water-soluble metal salt of zirconium or zinc may be added.
【0047】更に、ジルコニウムや亜鉛の金属酸化物を
粒子表面に多く集めるためには、銅、マンガン、鉄の水
溶性金属塩にアルカリを添加し、中和析出させ、その析
出したスラリー中に過酸化水素などの酸化剤を加え、液
相中で酸化して複合金属酸化物を作製する工程の途中、
または作製後にジルコニウム、及び亜鉛の水溶性金属塩
を添加する方法等により調製することができる。Further, in order to collect a large amount of zirconium and zinc metal oxides on the particle surface, an alkali is added to a water-soluble metal salt of copper, manganese, and iron, and the mixture is neutralized and precipitated. During the process of adding a oxidizing agent such as hydrogen oxide and oxidizing in the liquid phase to produce a composite metal oxide,
Alternatively, it can be prepared by a method of adding a water-soluble metal salt of zirconium and zinc after preparation.
【0048】銅、マンガン、鉄からなる複合金属酸化物
は、例えば、CuMn2 O4 のMnの一部をFeによっ
て置換したもので、組成比としては、CuOが25重量
%〜40重量%、Fe2 O3 が5重量%〜30重量%、
およびMn2 O3 が40重量%〜60重量%の範囲のも
のが挙げられる。The composite metal oxide composed of copper, manganese, and iron is obtained, for example, by substituting a part of Mn of CuMn 2 O 4 with Fe. The composition ratio of CuO is 25% by weight to 40% by weight. 5 wt% to 30 wt% of Fe 2 O 3 ,
And those having Mn 2 O 3 in the range of 40% by weight to 60% by weight.
【0049】ジルコニウム及び亜鉛の複合金属酸化物の
含有量は、銅、マンガン、鉄からなる複合金属酸化物に
対し、0.1重量%〜50重量%、好ましくは0.3重
量%〜10重量%である。0.1重量%未満の場合には
アルカリ可溶性バインダー等との親和性に劣るため所望
の遮光層を得ることができず、また50重量%を越える
と顔料の黒色度が大幅に低下し、カラーフィルターとし
て使用した際に現像性に劣るので好ましくない。The content of the composite metal oxide of zirconium and zinc is 0.1% by weight to 50% by weight, preferably 0.3% by weight to 10% by weight, based on the composite metal oxide of copper, manganese and iron. %. When the amount is less than 0.1% by weight, a desired light-shielding layer cannot be obtained due to poor affinity with an alkali-soluble binder and the like. When used as a filter, it is not preferable because of poor developability.
【0050】本発明における顔料は、少なくとも銅、マ
ンガン、鉄の3種類の金属を含む複合金属酸化物で、必
要に応じてジルコニウム、及び亜鉛の金属酸化物を添加
することができるが、コバルト、ニッケル等の金属酸化
物も含有していてもよい。The pigment in the present invention is a composite metal oxide containing at least three kinds of metals of copper, manganese and iron, and zirconium and zinc metal oxides can be added as needed. A metal oxide such as nickel may be contained.
【0051】また、本発明の遮光層用組成物において使
用する黒色顔料は、粒子径、比表面積、表面水酸基量に
夫々最適値が存在する。The black pigment used in the composition for a light-shielding layer of the present invention has optimum values for the particle diameter, the specific surface area and the amount of surface hydroxyl groups.
【0052】粒子径については、0.01μm〜0.5
μm、好ましくは0.01μm〜0.3μmの範囲にあ
ることが好ましい。粒子径が0.01μm未満では遮光
性が十分でなく、0.5μmを越えると膜面の平滑性が
損なわれたり、パターン形成精度を大幅に低減させるた
め好ましくない。The particle size is 0.01 μm to 0.5 μm.
μm, preferably in the range of 0.01 μm to 0.3 μm. If the particle diameter is less than 0.01 μm, the light-shielding property is not sufficient, and if it exceeds 0.5 μm, it is not preferable because the smoothness of the film surface is impaired or the precision of pattern formation is greatly reduced.
【0053】比表面積としては、15m2 /g〜40m
2 /g、好ましくは18m2 /g〜35m2 /gの範囲
である。ここで比表面積が40m2 /gを越えるものと
なるには適性粒子径以下の顔料が含まれる場合と、適性
粒子径の範囲内であっても多孔質やアモルファス構造を
とる場合とが考えられる。適性粒子径未満の場合は遮光
性が十分にとれず、また、適性粒子径の範囲内であって
も顔料が多孔質体やアモルファス構造を取る場合には、
顔料自身の凝集力が強いと同時にバインダー成分をも強
固に吸着し凝集体を形成するため、顔料の分散性が著し
く阻害され好ましくない。比表面積が15m2 /g未満
では適性粒子径以上の顔料が含まれるために好ましくな
い。The specific surface area is 15 m 2 / g to 40 m
2 / g, preferably in the range of 18m 2 / g~35m 2 / g. Here, it is considered that the specific surface area exceeds 40 m 2 / g when a pigment having an appropriate particle size or less is contained, and when the pigment has a porous or amorphous structure even within the range of the appropriate particle size. If the particle size is less than the appropriate particle size, light-shielding properties cannot be sufficiently obtained, and even if the pigment has a porous structure or an amorphous structure even within the range of the appropriate particle size,
At the same time, the pigment itself has a strong cohesive force and, at the same time, firmly adsorbs the binder component to form an aggregate, which is not preferable because the dispersibility of the pigment is significantly inhibited. When the specific surface area is less than 15 m 2 / g, it is not preferable because a pigment having an appropriate particle size or more is contained.
【0054】さらに、粒子径、および比表面積が適性範
囲内にある場合でも、本発明で使用される顔料は表面の
水酸基量が0.1μmol/g〜40μmol/g、好
ましくは、0.5μmol/g〜25μmol/gであ
る必要がある。表面水酸基量が0.1μmol/g未満
では、顔料表面の溶剤や分散剤に対する親和性が極端に
落ちるために顔料の凝集や析出等が起こり、40μmo
l/gを越えると、比表面積が大きすぎる場合と同様、
顔料自身の凝集力や他のバインダー成分の吸着力が強く
なりすぎるため好ましくない。Further, even when the particle diameter and the specific surface area are within the appropriate ranges, the pigment used in the present invention has a surface hydroxyl group content of 0.1 μmol / g to 40 μmol / g, preferably 0.5 μmol / g. g to 25 μmol / g. When the amount of surface hydroxyl groups is less than 0.1 μmol / g, the affinity of the pigment surface for the solvent or dispersant is extremely reduced, so that the aggregation or precipitation of the pigment occurs, and the pigment content is reduced to 40 μmol / g.
When the specific surface area is more than 1 / g, as in the case where the specific surface area is too large,
It is not preferable because the cohesive force of the pigment itself and the adsorbing force of other binder components become too strong.
【0055】なお、本発明における顔料表面の水酸基量
は、以下の定量法で決定するものである。The amount of hydroxyl groups on the pigment surface in the present invention is determined by the following quantitative method.
【0056】(定量法)顔料2.0gに対し、0.01
Nの水酸化テトラブチルアンモニウム−エタノール溶液
30mlを添加し、1時間攪拌させて上澄み10mlを
取り、エタノール30mlを加え、0.01N過塩素酸
−エタノール溶液で定量した残留水酸化テトラブチルア
ンモニウム量を、上記0.01Nの水酸化テトラブチル
アンモニウム−エタノール溶液30ml中に含まれる水
酸化テトラブチルアンモニウム量から引いた値を顔料表
面の水酸基量とする。(Quantitative method) For 2.0 g of pigment, 0.01 g
Add 30 ml of N-tetrabutylammonium hydroxide-ethanol solution, stir for 1 hour, take 10 ml of supernatant, add 30 ml of ethanol, and determine the amount of residual tetrabutylammonium hydroxide determined with 0.01N perchloric acid-ethanol solution. The value obtained by subtracting the amount of tetrabutylammonium hydroxide contained in 30 ml of the above 0.01N tetrabutylammonium hydroxide-ethanol solution is defined as the amount of hydroxyl groups on the pigment surface.
【0057】このような顔料は、市販されているものと
して、例えば大日精化工業(株)製「ダイピロキサイド
TMブラック♯3950」、「ダイピロキサイドTMブ
ラック#3952」、「ダイピロキサイドTMブラック
#9550」、「ダイピロキサイドTMブラック#35
50」、BASF社製「SICOCER F Black 2904」、「SI
COCER F Black 2912」、「SICOPUR SE 1435 」等が挙げ
られる。Such pigments are commercially available, for example, "Dipiroxide TM Black # 3950", "Dipiroxide TM Black # 3952", "Dipiroxide TM" manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Black # 9550 "," Dipiroxide Side Black # 35 "
50 ", BASF" SICOCER F Black 2904 "," SI
COCER F Black 2912 "and" SICOPUR SE 1435 ".
【0058】また、上記の条件を満たす場合でも、特に
十分な遮光性を実現するために多量の顔料を含有させる
ような場合には、顔料同士の凝集が起こりやすくなる。
そのため、本発明の遮光層用組成物では、更に、顔料粒
子表面にアルキル基やフェニル基等の疎水性基を共有結
合により導入するか、または、顔料粒子表面に遷移金属
水酸化物粒子や遷移金属酸化物粒子を被覆することによ
り、分散剤との親和性を増大させ、顔料の凝集状態を緩
和させることができる。Even when the above conditions are satisfied, aggregation of the pigments is likely to occur particularly when a large amount of pigments is contained in order to realize sufficient light-shielding properties.
Therefore, in the composition for a light-shielding layer of the present invention, a hydrophobic group such as an alkyl group or a phenyl group is further introduced into the surface of the pigment particle by a covalent bond, or the transition metal hydroxide particles or the transition By coating the metal oxide particles, the affinity with the dispersant can be increased, and the aggregation state of the pigment can be reduced.
【0059】顔料表面に疎水性基を共有結合により導入
するには、例えば顔料表面の水酸基をシラン系、チタネ
ート系、アルミニウム系等のカップリング剤で処理する
ことによりアルキル化またはフェニル化すればよく、そ
の置換量は0.01重量%〜20重量%が適当である。In order to introduce a hydrophobic group into the pigment surface by a covalent bond, for example, the hydroxyl group on the pigment surface may be alkylated or phenylated by treating it with a silane-based, titanate-based, or aluminum-based coupling agent. The amount of substitution is suitably from 0.01% by weight to 20% by weight.
【0060】また、顔料表面を、粒子径が0.005μ
m〜0.02μmのZr、Zn、Fe、Co、又はNi
等の遷移金属水酸化物微粒子、及び/又は遷移金属酸化
物微粒子で被覆してもよい。また、遷移金属は単独でも
また複合していてもよい。Further, the surface of the pigment is made to have a particle size of 0.005 μm.
m to 0.02 μm of Zr, Zn, Fe, Co, or Ni
And / or the like. Further, the transition metal may be used alone or in combination.
【0061】被覆方法としては、遷移金属塩水溶液中に
顔料を分散させ、アルカリ溶液を滴下させて顔料表面に
遷移金属水酸化物微粒子及び/又は遷移金属酸化物微粒
子として中和析出・沈着させる等の公知の方法で被覆す
るとよい。顔料粒子表面への被覆量としては、0.01
重量%〜20重量%である。As a coating method, a pigment is dispersed in an aqueous solution of a transition metal salt, and an alkali solution is dropped to neutralize and deposit and deposit as transition metal hydroxide fine particles and / or transition metal oxide fine particles on the pigment surface. May be coated by a known method. The coating amount on the pigment particle surface is 0.01
% To 20% by weight.
【0062】次に、アルカリ可溶性バインダーとして
は、顔料粒子の分散性に寄与し、光重合性モノマーや光
重合性開始剤との相性が良く、また、アルカリ現像液に
対する溶解性や有機溶剤溶解性に優れることが要求され
る。また、露光、現像を含むパターン形成工程にあって
は、特にアルカリ現像液や洗浄液に長時間曝された場合
でも基板に対する密着性に優れることが要求され、更
に、カラーフィルター部材としての強度、軟化温度等が
適当であるものが好ましい。Next, the alkali-soluble binder contributes to the dispersibility of the pigment particles, has good compatibility with the photopolymerizable monomer and the photopolymerizable initiator, and has solubility in an alkali developing solution and solubility in an organic solvent. It is required to be excellent. Further, in the pattern forming process including exposure and development, it is required to have excellent adhesion to the substrate even when exposed to an alkali developing solution or a cleaning solution for a long time, and further, the strength and softening as a color filter member are required. Those having an appropriate temperature and the like are preferable.
【0063】このようなアルカリ可溶性バインダーとし
ては、エポキシ樹脂、特に、基本骨格がビスフェノール
Aとエピクロロヒドリンとの縮合反応物であって、分子
内に2個以上含まれるエポキシ基の開環反応を利用して
グリシジルメタクリレート等により反応性二重結合基や
環状酸無水物を付加し、得られるカルボキシル基等によ
り重合開始能やアルカリ現像性を付与したものが好まし
い。例えば、ビスフェノールA型ビニルエステルが挙げ
られ、アルカリに対する耐性や基板密着性、膜強度の実
現の上で上記特性を満たすものである。Examples of the alkali-soluble binder include an epoxy resin, particularly a condensation reaction product of bisphenol A and epichlorohydrin whose basic skeleton is a ring-opening reaction of two or more epoxy groups contained in the molecule. Preferably, a reactive double bond group or a cyclic acid anhydride is added using glycidyl methacrylate or the like, and polymerization initiation ability or alkali developability is imparted using a resulting carboxyl group or the like. For example, a bisphenol A type vinyl ester is mentioned, which satisfies the above-mentioned characteristics in realizing alkali resistance, substrate adhesion, and film strength.
【0064】また、本発明のアルカリ可溶性バインダー
においては、更に、反応性二重結合基の導入により重合
性のバインダーとすることで形成される遮光層の各種強
度を向上させることができる。導入される反応性二重結
合基は、1gあたり0.05ミリモル〜5ミリモル、好
ましくは0.2ミリモル〜3ミリモルの範囲である。ま
た、適度なアルカリ現像液耐性を付与するためには、そ
の酸価が50mgKOH/g〜250mgKOH/g、
好ましくは60mgKOH/g〜150mgKOH/g
の範囲である。Further, in the alkali-soluble binder of the present invention, various strengths of the light-shielding layer formed by forming a polymerizable binder by introducing a reactive double bond group can be further improved. The reactive double bond groups introduced are in the range from 0.05 mmol to 5 mmol, preferably from 0.2 mmol to 3 mmol, per gram. Further, in order to impart a suitable alkali developing solution resistance, the acid value is 50 mgKOH / g to 250 mgKOH / g,
Preferably from 60 mgKOH / g to 150 mgKOH / g
Range.
【0065】酸価数が250mgKOH/gを越える
と、露光・現像後においてパターン解像はされるが、ア
ルカリ現像液に対する耐性がなく、現像パターン面に小
さなクラックが発生し、ここからアルカリ現像液の浸透
が急速に生じて最終的にはガラス基板面からレジスト剥
がれ(剥離)を引き起こす。また、酸価数が50mgK
OH/g未満であると、アルカリに対する溶解性が無く
なり、未露光部でも溶解が起こらず、適切なパターン形
成が行えない。If the acid value exceeds 250 mg KOH / g, the pattern is resolved after exposure and development, but there is no resistance to the alkali developing solution, and small cracks are generated on the developed pattern surface. Is rapidly generated and eventually causes the resist to be peeled (peeled) from the glass substrate surface. In addition, the acid value is 50 mgK
If it is less than OH / g, the solubility to alkali is lost, and no dissolution occurs even in the unexposed area, so that an appropriate pattern cannot be formed.
【0066】アルカリ可溶性バインダーの平均分子量
は、2000〜20,000、好ましくは3000〜1
5,000の範囲である。2000未満ではバインダー
として十分に機能せず、20,000を越えると顔料同
士の凝集物を作りやすく、顔料凝集に起因する組成物寿
命や、基板密着性、パターン形成性や塗膜の平滑性の低
下を引き起こすため好ましくない。また、アルカリ可溶
性バインダーとして、上述したエポキシ樹脂を使用する
と、遮光層用組成物中での顔料に対する分散安定化の効
果も有する。The average molecular weight of the alkali-soluble binder is 2000 to 20,000, preferably 3000 to 1
It is in the range of 5,000. If it is less than 2,000, it does not function sufficiently as a binder, and if it exceeds 20,000, it is easy to form aggregates of pigments, and the composition life due to pigment aggregation, substrate adhesion, pattern formability and smoothness of coating film It is not preferable because it causes a decrease. Further, when the above-mentioned epoxy resin is used as the alkali-soluble binder, it also has an effect of stabilizing the dispersion of the pigment in the composition for a light-shielding layer.
【0067】アルカリ可溶性バインダーとして好ましい
エポキシ樹脂としては、例えば昭和高分子(株)製「ビ
スフェノールA型エポキシアクリレート、VR−60T
H、1gあたりの二重結合基0.29ミリモル、酸価7
0mgKOH/g、平均分子量7,000」、「ビスフ
ェノールA型エポキシアクリレート、VR−90TH、
1gあたりの二重結合基0.57ミリモル、酸価125
mgKOH/g、平均分子量3500」、「クレゾール
型ノボラック型エポキシアクリレート、1gあたりの二
重結合基0.6ミリモル、酸価110mgKOH/g、
平均分子量7500」、「フェノールノボラック型エポ
キシアクリレート、1gあたりの二重結合基0.6ミリ
モル、酸価120mgKOH/g、平均分子量550
0」等が挙げられる。Examples of the epoxy resin preferable as the alkali-soluble binder include, for example, “Bisphenol A type epoxy acrylate, VR-60T” manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.
H, 0.29 mmol of double bond groups per gram, acid value 7
0 mgKOH / g, average molecular weight 7,000 "," bisphenol A type epoxy acrylate, VR-90TH,
0.57 mmol of double bond groups / g, acid value 125
mgKOH / g, average molecular weight 3500 "," cresol type novolak type epoxy acrylate, 0.6 mmol of double bond group per 1 g, acid value 110 mgKOH / g,
"Average molecular weight 7500", "phenol novolak type epoxy acrylate, 0.6 mmol of double bond group per 1 g, acid value 120 mgKOH / g, average molecular weight 550
0 "and the like.
【0068】アルカリ可溶性バインダーは、遮光層用組
成物中の全固形分の5重量%〜80重量%、好ましくは
5重量%〜60重量%の範囲である。The content of the alkali-soluble binder is in the range of 5% by weight to 80% by weight, preferably 5% by weight to 60% by weight of the total solids in the composition for a light-shielding layer.
【0069】本発明のアルカリ可溶性バインダーには、
例えば特願平8−95884号)に記載される高分子量
のものでも、アルカリ可溶性バインダーとして好ましい
エポキシ樹脂の作用を損なわない範囲において併用して
もよい。The alkali-soluble binder of the present invention includes
For example, even those having a high molecular weight described in Japanese Patent Application No. 8-95884 may be used in combination as long as the action of an epoxy resin preferable as an alkali-soluble binder is not impaired.
【0070】次に、光重合性モノマーとしては、一つの
分子中に3個以上の二重結合官能基を持つ多官能アクリ
レートや多官能メタアクリレート(以下、アクリレート
体とメタクリレート体とを同時に示す場合(メタ)アク
リレートと称する)が好ましい。多官能(メタ)アクリ
レートにおいて、官能基数が6を越えると、膜自身が固
くなる反面、脆くなるため十分な強度が発現し得ず、4
未満では効果が不十分で、この場合も強度が不十分とな
ることが考えられるが、実使用上は3個以上の二重結合
基を有していればよい。特に5個の二重結合基を持つジ
ペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート及び
その誘導体が好ましい。Next, as the photopolymerizable monomer, a polyfunctional acrylate or a polyfunctional methacrylate having three or more double bond functional groups in one molecule (hereinafter, an acrylate and a methacrylate are referred to simultaneously) (Referred to as (meth) acrylate). In a polyfunctional (meth) acrylate, if the number of functional groups exceeds 6, the film itself becomes hard, but becomes brittle, so that sufficient strength cannot be exhibited, and
If it is less than 3, the effect is insufficient, and in this case, the strength is considered to be insufficient. However, in practical use, it is only necessary to have three or more double bond groups. Particularly, dipentaerythritol penta (meth) acrylate having five double bond groups and a derivative thereof are preferable.
【0071】その他にも、例えば、ポリエチレングリコ
ールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコー
ルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ
アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペン
タエリスリトールヘキサアクリレート、ヘキサンジオー
ルジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパント
リ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(ア
クリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(ア
クリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリント
リ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンやグ
リセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシドやプ
ロピレンオキシドを付加反応した後に(メタ)アクリレ
ート化したもの、ポリエステルアクリレート類が挙げら
れる。また、上記のアクリレート体とメタクリレート体
とはそれぞれ単独、また混合して使用してもよく、ま
た、モノマーの他にプレポリマー、即ち、2量体や3量
体も有効である。上記モノマーの含有量は、遮光層用組
成物中の全固形分の5重量%〜50重量%、好ましくは
5重量%〜40重量%の範囲である。In addition, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolethane triacrylate, trimethylolpropane diacrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate,
Pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, hexanediol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, Ethylene oxide and propylene oxide were added to polyfunctional alcohols such as tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane and glycerin, and then subjected to (meth) acrylate conversion. And polyester acrylates. The acrylate and methacrylates described above may be used alone or as a mixture. In addition to monomers, prepolymers, that is, dimers and trimers are also effective. The content of the above monomer is in the range of 5% by weight to 50% by weight, preferably 5% by weight to 40% by weight of the total solids in the composition for a light-shielding layer.
【0072】また、上述した本発明の光重合性顔料分散
剤は、遮光層用組成物の全固形分に対して、2重量%〜
80重量%、好ましくは2重量%〜40重量%添加す
る。2重量%よりが少ないと分散安定性が不十分であ
り、経時的に粘度上昇や顔料の沈降が生じる。また、前
述したように、光重合性分散剤に対して、0〜80重量
%の割合で、光硬化性を有しない一般的な分散剤を加え
てもよい。80重量%を越えると、本発明の主眼とする
反応性が低下し、その効果が認められなくなる。The above-mentioned photopolymerizable pigment dispersant of the present invention is used in an amount of from 2% by weight to 2% by weight based on the total solid content of the composition for a light-shielding layer.
80% by weight, preferably 2% to 40% by weight is added. If the amount is less than 2% by weight, the dispersion stability is insufficient, and the viscosity increases and the pigment sediments over time. Further, as described above, a general dispersant having no photocurability may be added at a ratio of 0 to 80% by weight based on the photopolymerizable dispersant. If it exceeds 80% by weight, the reactivity, which is the main feature of the present invention, is reduced, and the effect is not recognized.
【0073】光重合性開始剤としては、チオキサントン
系、アセトフェノン系、ベンゾフェノン系、ベンゾイン
エーテル系、パーオキシド系、ビイミダゾール系の化合
物が挙げられ、感度の向上などの必要性に応じて、アミ
ン系やキノン系の光重合促進剤の添加が有効である。Examples of the photopolymerizable initiator include thioxanthone-based, acetophenone-based, benzophenone-based, benzoin ether-based, peroxide-based, and biimidazole-based compounds. It is effective to add a quinone-based photopolymerization accelerator.
【0074】光重合開始剤や光重合促進剤の含有量は、
遮光層用組成物の全固形分の0.5重量%〜40重量
%、好ましくは5重量%〜40重量%である。The content of the photopolymerization initiator and the photopolymerization accelerator is
It is 0.5% by weight to 40% by weight, preferably 5% by weight to 40% by weight of the total solids of the composition for a light-shielding layer.
【0075】溶剤としては、遮光層用組成物の塗布適
性、アルカリ可溶性バインダー等のポリマーやモノマ
ー、光重合性顔料分散剤、光重合開始剤に対する溶解
性、ならびに顔料の分散性を考慮して、下記に示す1種
又は2種以上の溶剤を適宜選択して用いることができる
が、好ましくは多価アルコールまたはその誘導体を1種
以上含むことが望ましい。特に、顔料の分散性を考慮す
ると、20℃で水100重量部に対して20重量部以上
の溶解性を持つ多価アルコールまたはその誘導体が有効
である。As the solvent, taking into consideration the applicability of the composition for a light-shielding layer, the solubility of a polymer or monomer such as an alkali-soluble binder, a photopolymerizable pigment dispersant, a photopolymerization initiator, and the dispersibility of the pigment, One or more solvents described below can be appropriately selected and used, but it is preferable that one or more polyhydric alcohols or derivatives thereof are contained. In particular, considering the dispersibility of the pigment, a polyhydric alcohol or a derivative thereof having a solubility of 20 parts by weight or more in 100 parts by weight of water at 20 ° C. is effective.
【0076】溶剤の具体例としては、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、グリコールモノエチルエーテルアセテート、エ
チレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリ
コールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリ
コールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノブ
チルエーテルアセテート、エチレングリコールジエチル
エーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エ
チレングリコールイソアミルエーテル、メトキシメトキ
シエーテル、エチレングリコールモノアセテート、ジエ
チレングリコール、ジエチレングリコールモノメチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジ
エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチル
エチルエーテル、プロピレングリコール、プロピレング
リコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテル、1−ブトキシエトキシプロパノー
ル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、3−
メチル−3−メトキシブタノール、3−メチル−3−メ
トキシブチルアセテート、メチルアミルケトン、乳酸メ
チル、乳酸エチル、メチル−α−ヒドロキシイソブチレ
ート、メチル−β−メトキシイソブチレート等が挙げら
れる。Specific examples of the solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether, glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monopropyl ether acetate, and ethylene glycol monobutyl ether. , Ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol isoamyl ether, methoxymethoxy ether, ethylene glycol monoacetate, diethylene glycol, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol Monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether, 1-butoxyethoxypropanol, dipropylene Glycol monomethyl ether, 3-
Examples thereof include methyl-3-methoxybutanol, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, methyl amyl ketone, methyl lactate, ethyl lactate, methyl-α-hydroxyisobutyrate, and methyl-β-methoxyisobutyrate.
【0077】本発明の遮光層用組成物には、以上の成分
の他に、組成物が塗布される基板との密着性を付与する
ために、組成物中にシランカップリング剤やチタネート
カップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を添加
することができる。In addition to the above components, the composition for a light-shielding layer of the present invention may further comprise a silane coupling agent or a titanate coupling in order to impart adhesion to a substrate to which the composition is applied. , An aluminum coupling agent and the like can be added.
【0078】また、塗膜におけるベタツキ防止は、本発
明の顔料分散剤も作用するが、更に、塗膜物性改良剤を
添加してもよく、例えば綜研化学(株)製「L−20−
3(グラフトポリマー)、二重結合基0モル%、酸価0
mgKOH/g、平均分子量56,000」、「L−4
03A、二重結合基0モル%、酸価0mgKOH/g、
平均分子量30,000」、「LH−448、二重結合
基0モル%、酸価0mgKOH/g、平均分子量30,
000」等を、遮光層用組成物の全固形分の0.1重量
%〜50重量%、好ましくは0.1重量%〜30重量%
の範囲で添加してもよい。In order to prevent stickiness in the coating film, the pigment dispersant of the present invention also acts. However, a physical property improving agent for the coating film may be further added. For example, "L-20-" manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.
3 (graft polymer), 0 mol% of double bond group, acid value 0
mgKOH / g, average molecular weight 56,000 "," L-4
03A, double bond group 0 mol%, acid value 0 mgKOH / g,
"Average molecular weight 30,000", "LH-448, 0 mol% of double bond group, acid value 0 mgKOH / g, average molecular weight 30,
000 "or the like, from 0.1% to 50% by weight, preferably from 0.1% to 30% by weight of the total solids of the composition for a light-shielding layer.
May be added.
【0079】本発明の遮光層用組成物は、公知の方法で
基板上に塗布、および乾燥させることにより、基板上に
遮光層を形成することができる。塗布の方法の具体例と
しては、スピンナー、ホワイラーローラーコーター、カ
ーテンコーター、ナイフコーター、バーコーター、エク
ストルーダー等が挙げられ、乾燥後膜厚0.5μm〜5
μm、好ましくは0.5μm〜3μmで塗工される。The composition for a light-shielding layer of the present invention can be applied on a substrate by a known method and dried to form a light-shielding layer on the substrate. Specific examples of the coating method include a spinner, a wheeler roller coater, a curtain coater, a knife coater, a bar coater, an extruder, and the like.
μm, preferably 0.5 μm to 3 μm.
【0080】遮光層を形成した基板の露光に際しては、
光源は遮光層の感光性に応じて選択され、超高圧水銀
灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴンレーザー
等の公知のものが使用できる。When exposing the substrate on which the light shielding layer is formed,
The light source is selected according to the photosensitivity of the light-shielding layer, and a known light source such as an ultra-high pressure mercury lamp, a xenon lamp, a carbon arc lamp, and an argon laser can be used.
【0081】パターン露光した遮光層を現像するための
現像液として好適に用いられるものはアルカリ水系現像
剤である。アルカリ水系現像液とは、現像を水系で行な
うため、狭義には現像時にOH- を放出する現像液であ
る。このアルカリ水系現像液のpHは、最適には7.5
〜12までの領域である。使用するアルカリ成分は、例
えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウ
ム、さらに有機アンモニウム系化合物、例えば水酸化テ
トラエチルアンモニウムで、その他、硫化物、酸化物或
いは弱酸の陰イオン(例えば、F- 、CN- 等)等によ
り加水分解されたものが挙げられる。また、このpH領
域の緩衝溶液を調製してアルカリ水系現像液として使用
してもよい。An alkali water-based developer is preferably used as a developer for developing the light-shielding layer subjected to pattern exposure. The alkaline aqueous developer, for performing development with an aqueous, OH at the time of development in a narrow sense - a developer releasing. The pH of the alkaline aqueous developer is optimally 7.5.
領域 12. The alkali component used is, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, or an organic ammonium compound such as tetraethylammonium hydroxide, and other anions of sulfide, oxide or weak acid (for example, F − , CN - ) And the like. Further, a buffer solution in this pH range may be prepared and used as an alkaline aqueous developer.
【0082】本発明の遮光層用組成物は、透明基板上に
赤、緑および青の画素を区画するためのブラックマトリ
ックスの形成に使用され、その後公知の方法に従って、
赤、緑、青の画素が形成される。その表面にさらに透明
電極層を設けてカラーフィルタとされる。ただし、必要
に応じて、透明導電層を設ける前に保護膜が形成され
る。The composition for a light-shielding layer of the present invention is used for forming a black matrix for partitioning red, green and blue pixels on a transparent substrate, and thereafter, according to a known method.
Red, green, and blue pixels are formed. A transparent electrode layer is further provided on the surface to form a color filter. However, if necessary, a protective film is formed before providing the transparent conductive layer.
【0083】以下、本発明を実施例によって具体的に説
明するが、本発明はそれらによって何ら限定されるもの
でない。実施例中の「部」は重量部を意味する。Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto. “Parts” in the examples means parts by weight.
【0084】[0084]
【実施例】(1)光重合性顔料分散剤の作製 (ブロックポリマーの合成)温度計、攪拌機、滴下ロー
ト、ガス導入管及び還流冷却器を備えたガラス製反応容
器にメタクリル酸−2−ヒドロキシエチル39部と、エ
チルセルソルブ390部とを仕込み、撹拌下に反応容器
内をアルゴンガス気流下で、80℃に加熱した。その
後、パーヘキサMC(二官能重合開始剤、日本油脂
(株)製)0.87部、エチルセルソルブ120部の混
合溶液を滴下した。30分間、80℃で反応させた後急
冷した。EXAMPLES (1) Preparation of photopolymerizable pigment dispersant (Synthesis of block polymer) A 2-hydroxymethacrylic acid was placed in a glass reactor equipped with a thermometer, a stirrer, a dropping funnel, a gas inlet tube and a reflux condenser. 39 parts of ethyl and 390 parts of ethyl cellosolve were charged, and the inside of the reaction vessel was heated to 80 ° C. under a stream of argon gas with stirring. Thereafter, a mixed solution of 0.87 parts of Perhexa MC (a bifunctional polymerization initiator, manufactured by NOF Corporation) and 120 parts of ethyl cellosolve was dropped. After reaction at 80 ° C. for 30 minutes, the mixture was quenched.
【0085】次いで、反応溶液をヘキサンに滴下し、沈
殿精製を行った。減圧乾燥して得られたペルオキシ基末
端ポリメタクリル酸−2−ヒドロキシルエチル35部を
エチルセルソルブ390部に溶解し、この溶液にメタク
リル酸メチル30部を添加し、100℃に昇温し10時
間反応させた。反応溶液をヘキサンに滴下し、再沈殿精
製を行った。ろ過後、室温で減圧乾燥した。得られたポ
リマーをメチルイソブチルケトンで抽出した。メチルイ
ソブチルケトン可溶部はポリメタクリル酸に富んでお
り、これを除去し、ブロックポリマーを50部得た。Next, the reaction solution was added dropwise to hexane to carry out precipitation purification. 35 parts of peroxy group-terminated 2-hydroxyethyl methacrylate obtained by drying under reduced pressure was dissolved in 390 parts of ethyl cellosolve, 30 parts of methyl methacrylate was added to this solution, and the temperature was raised to 100 ° C. for 10 hours. Reacted. The reaction solution was dropped into hexane to perform reprecipitation purification. After filtration, the filtrate was dried under reduced pressure at room temperature. The obtained polymer was extracted with methyl isobutyl ketone. The methylisobutylketone-soluble portion was rich in polymethacrylic acid, which was removed to obtain 50 parts of a block polymer.
【0086】得られたブロックポリマーは、ポリメタク
リル酸−2−ヒドロキシル/ポリメタクリル酸メチル
(重量比45/55)であり、重量平均分子量は30,
000であった。The obtained block polymer was poly (hydroxyl methacrylate) / poly (methyl methacrylate) (weight ratio: 45/55), and had a weight average molecular weight of 30,
000.
【0087】(エチレン性不飽和二重結合の導入)次
に、得られたブロックポリマー5部、メチルエチルケト
ン100部、ジメチルホルムアミド10部、ハイドロキ
ノン0.1部を温度計、撹拌機を備えたガラス製反応容
器に仕込み、ポリマーが溶解した時点でメタクリル酸エ
チルイソシアネート1.5部を添加した。撹拌下に、5
0℃で18時間反応させた。反応溶液をヘキサンに滴下
し、沈殿を精製した。(Introduction of Ethylenically Unsaturated Double Bond) Next, 5 parts of the obtained block polymer, 100 parts of methyl ethyl ketone, 10 parts of dimethylformamide and 0.1 part of hydroquinone were made of glass equipped with a thermometer and a stirrer. The reaction vessel was charged, and when the polymer was dissolved, 1.5 parts of ethyl methacrylate isocyanate was added. 5 with stirring
The reaction was carried out at 0 ° C. for 18 hours. The reaction solution was added dropwise to hexane, and the precipitate was purified.
【0088】ろ過後室温で減圧乾燥し、メタクロイル基
を、ブロックポリマー1g当たり3ミリモル含有し、重
量平均分子量30,000の光重合性顔料分散剤5.5
部を得た。After filtration, the mixture was dried under reduced pressure at room temperature, and 5.5 g of a photopolymerizable pigment dispersant having a weight average molecular weight of 30,000 containing 3 mmol of a methacryloyl group per 1 g of a block polymer.
Got a part.
【0089】以下、得られた光重合性顔料分散剤を顔料
分散レジスト用分散剤として用い、レジスト特性を評価
した。The resist properties were evaluated using the obtained photopolymerizable pigment dispersant as a dispersant for a pigment-dispersed resist.
【0090】 (実施例1) (1)黒色顔料分散液の調製 ・黒色顔料:TMブラック#3952(CuMn2 O4 のMnの一部をFeに置 換した複合酸化物微粒子表面付近にZrをZrO2 換算で複合金属酸化物に対し 2.5重量%、ZnをZnO換算で1.0重量%付与した顔料;大目精化工業( 株)製) ・・・ 100重量部 ・上記で得た光重合性顔料分散剤 ・・・ 3.5重量部 ・分散剤(高分子分散剤;Disperbyk 111、ビックケミー・ジャパ ン(株)製) ・・・ 3.5重量部 ・ジエチレングリコールジメチルエーテル ・・・ 136重量部 ・乳酸エチル ・・・ 15重量部 上記の各成分を混合し、サンドミルにて十分に分散し
た。Example 1 (1) Preparation of Black Pigment Dispersion Black Pigment: TM Black # 3952 (Zr was deposited near the surface of composite oxide fine particles in which a part of Mn of CuMn 2 O 4 was replaced with Fe). 100 parts by weight of pigment obtained by adding 2.5% by weight to the composite metal oxide in terms of ZrO 2 and 1.0% by weight in terms of ZnO in terms of ZnO; manufactured by Daime Seika Kogyo Co., Ltd. Photopolymerizable pigment dispersant 3.5 parts by weight Dispersant (polymer dispersant; Disperbyk 111, manufactured by BYK Japan KK) 3.5 parts by weight Diethylene glycol dimethyl ether 136 parts by weight-ethyl lactate ... 15 parts by weight The above components were mixed and sufficiently dispersed by a sand mill.
【0091】 (2)遮光層用組成物の調製 ・(1)で作製した黒色顔料分散液 ・・・ 61重量部 ・アルカリ可溶性バインダー{昭和高分子(株)製、VR−60TH(ビスフェ ノールA型エポキシアクリレート)} ・・・ 2.8重量部 ・光重合性モノマー(ジペンタエリスリトールペンタアクリレート) ・・・ 3.5重量部 ・光重合性開始剤 ・2−ベンジルー2−ジメチルアミノ−1ー(4−モルフォリノフェニル) −プタノン) ・・・ 1.6重量部 ・4,4′−ジエチルチオキサントン ・・・ 0.3重量部 ・2,4−ジエチルチオキサントン ・・・ 0.1重量部 ・ビイミダゾール ・・・ 0.4重量部 ・ジエチレングリコルジメチルエーテル・・・ 30重量部 上記の各成分を十分に混合して、本発明の遮光層用組成
物を得た。(2) Preparation of composition for light-shielding layer-Black pigment dispersion prepared in (1) ... 61 parts by weight-Alkali-soluble binder {VR-60TH (Bisphenol A) manufactured by Showa Polymer Co., Ltd. 2.8 parts by weight-Photopolymerizable monomer (dipentaerythritol pentaacrylate) ... 3.5 parts by weight-Photopolymerizable initiator-2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -ptanone) 1.6 parts by weight 4,4'-diethylthioxanthone 0.3 parts by weight 2,2,4-diethylthioxanthone 0.1 parts by weight Biimidazole 0.4 parts by weight Diethylene glycol dimethyl ether 30 parts by weight The above components are sufficiently mixed to obtain the composition for a light-shielding layer of the present invention. Was.
【0092】(3)遮光層の作製 ガラス基板上に(2)で作製した遮光層用組成物をスピ
ンコーターで塗布し、100℃で3分間乾燥させ、膜厚
約1μmの遮光層を形成した。(3) Preparation of light-shielding layer The composition for light-shielding layer prepared in (2) was applied on a glass substrate by a spin coater and dried at 100 ° C. for 3 minutes to form a light-shielding layer having a thickness of about 1 μm. .
【0093】(4)露光、及び現像 上記の遮光層に対して、窒素気流下、超高圧水銀灯で遮
光層パターンを、露光量500mJ/cm2 、300m
J/cm2 の2通りで露光した後、1%水酸化カリウム
水溶液で現像した。(4) Exposure and development The above light-shielding layer was exposed to a light-shielding layer pattern with an ultra-high pressure mercury lamp under a nitrogen stream to form an exposure of 500 mJ / cm 2 , 300 m
After exposure in two ways, J / cm 2 , the film was developed with a 1% aqueous potassium hydroxide solution.
【0094】 (比較例1) (1)黒色顔料分散液の調製 ・黒色顔料:TMブラック#3952(CuMn2 O4 のMnの一部をFeに置 換した複合酸化物微粒子表面付近にZrをZrO2 換算で複合金属酸化物に対し 2.5重量%、ZnをZnO換算で1.0重量%付与した顔料;大目精化工業( 株)製) ・・・ 100重量部 ・分散剤(高分子分散剤;Disperbyk 111、ビックケミー・ジャパ ン(株)製) ・・・ 7重量部 ・ジエチレングリコールジメチルエーテル ・・・ 136重量部 ・乳酸エチル ・・・ 15重量部 上記の各成分を混合し、サンドミルにて十分に分散し
た。Comparative Example 1 (1) Preparation of Black Pigment Dispersion Black Pigment: TM Black # 3952 (Zr was deposited near the surface of the composite oxide fine particles in which part of Mn of CuMn 2 O 4 was replaced with Fe). Pigment with 2.5% by weight based on the composite metal oxide in terms of ZrO 2 and 1.0% by weight in terms of ZnO in terms of ZnO; manufactured by Daime Seika Kogyo Co., Ltd. 100 parts by weight Dispersant ( Polymer dispersant; Disperbyk 111, manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. 7 parts by weight Diethylene glycol dimethyl ether 136 parts by weight Ethyl lactate 15 parts by weight Was sufficiently dispersed.
【0095】(2)遮光層用組成物の調製 実施例1における遮光層用組成物の調製において、その
黒色顔料分散液に代えて(1)で作製した黒色顔料分散
液を使用した以外は同様にして遮光層用組成物を調製
し、また、実施例1と同様に遮光層を作製、露光、及び
現像した。(2) Preparation of composition for light-shielding layer The preparation of the composition for light-shielding layer in Example 1 was the same except that the black pigment dispersion prepared in (1) was used instead of the black pigment dispersion. Then, a composition for a light-shielding layer was prepared, and a light-shielding layer was prepared, exposed, and developed in the same manner as in Example 1.
【0096】実施例1、比較例1において、露光量を5
00mJ/cm2 、300mJ/cm2 とするそれぞれ
の場合についての現像特性(解像度:μmライン&スペ
ース解像)を比較した結果を下記の表に示す。In Example 1 and Comparative Example 1, the exposure amount was 5
00mJ / cm 2, development characteristics of each case to 300 mJ / cm 2 (resolution: [mu] m line and space resolution) result of comparison are shown in the table below.
【0097】[0097]
【表1】 [Table 1]
【0098】表からわかるように、本発明の実施例1に
おいては、比較例1よりも現像特性が優れていることは
明らかである。As can be seen from the table, it is clear that Example 1 of the present invention has better development characteristics than Comparative Example 1.
【0099】また、比較例1で作製された遮光層は、現
像時におけるパターン形成中にパターン部(顔料凝集
部)が容易に剥離したが、実施例1で作製される遮光層
は現像時や洗浄中での剥がれや欠落は認められなかっ
た。Further, in the light-shielding layer produced in Comparative Example 1, the pattern portion (pigment aggregated portion) was easily peeled off during the pattern formation at the time of development. No peeling or missing during cleaning.
【0100】[0100]
【発明の効果】本発明の光重合性顔料分散剤は、塗料の
分散安定性に優れると共に、塗膜の基材密着性とパター
ン形成性に優れるものであり、感光性着色組成物、特に
遮光層用組成物における分散剤として有用である。The photopolymerizable pigment dispersant of the present invention is excellent in the dispersion stability of a coating material and also in the substrate adhesion of a coating film and the pattern-forming property. Useful as a dispersant in layer compositions.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C09D 7/12 C09D 7/12 A 163/10 163/10 G02B 5/00 G02B 5/00 B 5/20 101 5/20 101 5/22 5/22 G03F 7/027 501 G03F 7/027 501 // C08F 2/44 C08F 2/44 A C09D 11/00 C09D 11/00 (72)発明者 安藤 雅之 東京都新宿区市谷加賀町一丁目1番1号 大日本印刷株式会社内──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI C09D 7/12 C09D 7/12 A 163/10 163/10 G02B 5/00 G02B 5/00 B 5/20 101 5/20 101 5/22 5/22 G03F 7/027 501 G03F 7/027 501 // C08F 2/44 C08F 2/44 A C09D 11/00 C09D 11/00 (72) Inventor Masayuki Ando Masakazu Ichigaya, Shinjuku-ku, Tokyo No.1-1, Dai Nippon Printing Co., Ltd.
Claims (10)
ポリマーであって、該ブロックポリマーがエチレン性不
飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有するものであ
ることを特徴とする光重合性顔料分散剤。1. A photopolymer comprising a block polymer comprising a hydrophilic portion and a hydrophobic portion, wherein the block polymer has at least one ethylenically unsaturated double bond in a molecule. Pigment dispersant.
−SO3 H基、−PO3 H2 基、−PO(OH)(O
R)基(Rは炭化水素基を表す)、又は低級ポリオキシ
アルキレン基から選ばれる少なくとも一つの親水性基を
少なくとも一種含有する重合体であることを特徴とする
請求項1記載の光重合性顔料分散剤。2. The method according to claim 1, wherein the hydrophilic portion has an —OH group, a —COOH group,
—SO 3 H group, —PO 3 H 2 group, —PO (OH) (O
2. The photopolymerizable polymer according to claim 1, wherein the polymer is a polymer containing at least one hydrophilic group selected from R) groups (R represents a hydrocarbon group) or lower polyoxyalkylene groups. Pigment dispersant.
5,000〜200,000、ブロックポリマーの親水
性部と疎水性部の重量比が5/95〜90/10である
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の光重合性
顔料分散剤。3. The weight average molecular weight of the block polymer is 5,000 to 200,000, and the weight ratio of the hydrophilic part to the hydrophobic part of the block polymer is 5/95 to 90/10. The photopolymerizable pigment dispersant according to claim 1 or 2.
ブロックポリマー1gあたり0.1ミリモル〜5ミリモ
ルであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれ
か一つ記載の光重合性分散剤。4. The amount of ethylenically unsaturated double bond group introduced,
The photopolymerizable dispersant according to any one of claims 1 to 3, wherein the amount is 0.1 mmol to 5 mmol per 1 g of the block polymer.
ノマー、光重合性開始剤、分散剤、顔料及び溶剤を主成
分とし、該分散剤が、親水性部と疎水性部とからなり、
エチレン性不飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有
するブロックポリマーを少なくとも1種含むことを特徴
とする感光性着色組成物。5. An alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator, a dispersant, a pigment and a solvent as main components, the dispersant comprising a hydrophilic part and a hydrophobic part,
A photosensitive coloring composition comprising at least one block polymer having at least one ethylenically unsaturated double bond in a molecule.
ノマー、光重合性開始剤、分散剤、無機黒色顔料、及び
溶剤を主成分とし、該分散剤が、親水性部と疎水性部と
からなり、エチレン性不飽和二重結合を分子内に少なく
とも1個有するブロックポリマーを少なくとも1種含む
ことを特徴とする遮光層用組成物。6. An alkali-soluble binder, a photopolymerizable monomer, a photopolymerizable initiator, a dispersant, an inorganic black pigment, and a solvent as main components, the dispersant comprising a hydrophilic part and a hydrophobic part, A composition for a light-shielding layer, comprising at least one block polymer having at least one ethylenically unsaturated double bond in a molecule.
ン、鉄を含む複合金属酸化物であることを特徴とする請
求項6記載の遮光層用組成物。7. The composition for a light-shielding layer according to claim 6, wherein the inorganic black pigment is a composite metal oxide containing at least copper, manganese, and iron.
性二重結合基を持つ多官能アクリレート、及び/または
多官能メタクリレートであることを特徴とする請求項
6、または請求項7記載の遮光層用組成物。8. The photopolymerizable monomer is a polyfunctional acrylate having three to six reactive double bond groups and / or a polyfunctional methacrylate. The composition for a light-shielding layer according to the above.
一部が、1gあたり反応性二重結合基を0.05ミリモ
ル〜5ミリモル含み、かつ、酸価が50mgKOH/g
〜250mgKOH/gのエポキシ樹脂であることを特
徴とする請求項6、または請求項7記載の遮光層用組成
物。9. At least a part of the alkali-soluble binder contains 0.05 to 5 mmol of a reactive double bond group per 1 g, and has an acid value of 50 mg KOH / g.
The composition for a light-shielding layer according to claim 6 or 7, wherein the composition is an epoxy resin of up to 250 mgKOH / g.
ニルエステルであることを特徴とする請求項9記載の遮
光層用組成物。10. The composition for a light-shielding layer according to claim 9, wherein the epoxy resin is a bisphenol A type vinyl ester.
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| JP1542998A JPH11209558A (en) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | Photopolymerizable pigment dispersant, photosensitive coloring composition and composition for light-shielding layer |
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