JPH11211765A - 位相差測定装置 - Google Patents

位相差測定装置

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JPH11211765A
JPH11211765A JP10019044A JP1904498A JPH11211765A JP H11211765 A JPH11211765 A JP H11211765A JP 10019044 A JP10019044 A JP 10019044A JP 1904498 A JP1904498 A JP 1904498A JP H11211765 A JPH11211765 A JP H11211765A
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JP
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circuit
integration
output
output voltage
phase difference
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JP10019044A
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English (en)
Inventor
Akio Ota
明男 太田
Hajime Omura
一 大村
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Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
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  • Measuring Phase Differences (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な回路構成で2つの信号の微小な位相差
を正確に測定できる位相差測定装置を提供する。 【解決手段】 積分動作による出力電圧の変化率が常に
一定で、かつ、第1のエッジ検出回路7によりエッジが
検出されたときに積分動作を開始し、第2のエッジ検出
回路8によりエッジが検出されたときに積分動作を終了
する第1の積分回路9と、積分動作による出力電圧の変
化率が第1の積分回路9よりも小さく、かつ、第1の積
分回路9と同時に積分動作を開始する第2の積分回路1
0と、第1の積分回路9の出力電圧と第2の積分回路1
0の出力電圧とを比較し、比較結果に応じた信号を出力
する比較回路11とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本願発明は、周期的な2つの
信号の位相差を測定する位相差測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば位相シフト回路を内蔵した映像
用LSIなどの品質検査においては、2つの信号の極め
て微小な位相差を測定することが必要な場合がある。こ
の位相差は、たとえば1nsec以下の微小な時間のことも
ある。
【0003】ところが、ICテスタなどを用いた従来の
検査装置では、2つの信号の位相差を測定する場合、2
0〜30nsec程度が限界であり、上記のような極めて微
小な位相差を測定することができなかった。
【0004】
【発明の開示】本願発明は、上記した事情のもとで考え
出されたものであって、簡単な回路構成で2つの信号の
微小な位相差を正確に測定できる位相差測定装置を提供
することを、その課題とする。
【0005】上記の課題を解決するため、本願発明で
は、次の技術的手段を講じている。
【0006】本願発明の第1の側面によれば、2つの周
期的な信号の位相差を測定する位相差測定装置であっ
て、2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
の波形整形回路と、2つの信号のうちの他方の信号を波
形整形する第2の波形整形回路と、積分動作による出力
電圧の変化率が常に一定で、かつ、第1の波形整形回路
の出力の立上がりエッジまたは立下がりエッジに同期し
て積分動作を開始し、第2の波形整形回路の出力の立上
がりエッジまたは立下がりエッジに同期して積分動作を
終了する第1の積分回路と、積分動作による出力電圧の
変化率が第1の積分回路よりも小さく、かつ、第1の積
分回路と同時に積分動作を開始する第2の積分回路と、
第1の積分回路の出力電圧と第2の積分回路の出力電圧
とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する比較回路
とを備えたことを特徴とする、位相差測定装置が提供さ
れる。
【0007】このようにすれば、簡単な回路構成で2つ
の信号の微小な位相差を正確に測定できる。
【0008】すなわち、積分動作開始時における第1お
よび第2の積分回路の出力電圧が双方共にグランドレベ
ルであるとすると、第1の積分回路の積分動作終了時の
出力電圧は、2つの信号の位相差に比例しており、第1
および第2の積分回路の積分動作の開始から第2の積分
回路の出力電圧が第1の積分回路の積分動作終了時の出
力電圧に達するまでの時間は、第1の積分回路と第2の
積分回路との時定数の比と第1の積分回路の積分動作時
間との積に比例している。したがって、第1および第2
の積分回路の積分動作の開始から第2の積分回路の出力
電圧が第1の積分回路の積分動作終了時の出力電圧に達
するまでの時間は、2つの信号の位相差に比例してお
り、しかもその位相差を伸長したものであることから、
この伸長された時間を比較回路の出力を利用して測定す
ることにより、2つの信号の微小な位相差を正確に知る
ことができる。
【0009】また、第1および第2の波形整形回路によ
り2つの信号を波形整形するので、元来矩形波でない信
号、あるいは矩形波ではあるがノイズの重畳などにより
波形が乱れた信号であっても、それら2つの信号の位相
差を正確に測定できる。
【0010】本願発明の第2の側面によれば、2つの周
期的な信号の位相差を測定する位相差測定装置であっ
て、2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
の波形整形回路と、2つの信号のうちの他方の信号を波
形整形する第2の波形整形回路と、積分動作による出力
電圧の変化率が常に一定で、かつ、第1の波形整形回路
の出力の立上がりエッジまたは立下がりエッジに同期し
て積分動作を開始し、第2の波形整形回路の出力の立上
がりエッジまたは立下がりエッジに同期して積分動作を
終了する第1の積分回路と、積分動作による出力電圧の
変化率が第1の積分回路よりも小さく、かつ、第1の積
分回路と同時に積分動作を開始する第2の積分回路と、
第1の積分回路の出力電圧と第2の積分回路の出力電圧
とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する比較回路
と、第1の積分回路の積分動作終了後、第2の積分回路
の出力電圧が第1の積分回路の出力電圧に達した時点以
降に、第1および第2の積分回路をリセットするリセッ
ト回路とを備えたことを特徴とする、位相差測定装置が
提供される。
【0011】このようにすれば、簡単な回路構成で2つ
の信号の微小な位相差を正確に測定できる。しかも、リ
セット回路を設けたので、2つの周期的な信号の位相差
を所定の周期で連続的に測定することができる。この結
果、2つの信号の位相差を複数回測定することにより、
2つの信号のジッタ成分を測定することも可能になる。
【0012】本願発明の第3の側面によれば、2つの周
期的な信号の位相差を測定する位相差測定装置であっ
て、2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
の波形整形回路と、2つの信号のうちの他方の信号を波
形整形する第2の波形整形回路と、第1の波形整形回路
の出力を反転させる第1の反転回路と、第2の波形整形
回路の出力を反転させる第2の反転回路と、外部からの
選択信号に基づいて、第1の波形整形回路の出力と第1
の反転回路の出力とのうちのいずれか一方を選択して出
力する第1の選択回路と、外部からの選択信号に基づい
て、第2の波形整形回路の出力と第2の反転回路の出力
とのうちのいずれか一方を選択して出力する第2の選択
回路と、第1の選択回路の出力またはそれを分周した信
号の立上がりエッジまたは立下がりエッジを検出する第
1のエッジ検出回路と、第2の選択回路の出力またはそ
れを分周した信号の立上がりエッジまたは立下がりエッ
ジを検出する第2のエッジ検出回路と、積分動作による
出力電圧の変化率が常に一定で、かつ、第1のエッジ検
出回路によりエッジが検出されたときに積分動作を開始
し、第2のエッジ検出回路によりエッジが検出されたと
きに積分動作を終了する第1の積分回路と、積分動作に
よる出力電圧の変化率が第1の積分回路よりも小さく、
かつ、第1のエッジ検出回路によりエッジが検出された
ときに積分動作を開始する第2の積分回路と、第1の積
分回路の出力電圧と第2の積分回路の出力電圧とを比較
し、比較結果に応じた信号を出力する比較回路と、第1
の積分回路の積分動作終了後、第2の積分回路の出力電
圧が第1の積分回路の出力電圧に達した時点以降に、第
1および第2の積分回路をリセットするリセット回路と
を備えたことを特徴とする、位相差測定装置が提供され
る。
【0013】このようにすれば、簡単な回路構成で2つ
の信号の微小な位相差を正確に測定できる。しかも、第
1および第2の反転回路と第1および第2の選択回路と
を設けたので、2つの信号のうちの一方の信号の立上が
りエッジから他方の信号の立上がりエッジまでの位相
差、一方の信号の立上がりエッジから他方の信号の立下
がりエッジまでの位相差、一方の信号の立下がりエッジ
から他方の信号の立下がりエッジまでの位相差、および
一方の信号の立下がりエッジから他方の信号の立上がり
エッジまでの位相差を、第1および第2の選択回路を制
御することにより任意に選択して測定できる。
【0014】好ましい実施の形態によれば、第1の選択
回路の出力を分周する第1の分周回路と、第1の分周回
路の分周比と同じ分周比で、第2の選択回路の出力を分
周する第2の分周回路とを有し、第1のエッジ検出回路
は、第1の分周回路の出力の立上がりエッジを検出し、
第2のエッジ検出回路は、第2の分周回路の出力の立上
がりエッジを検出する。
【0015】このようにすれば、リセット回路による遅
延時間に起因するリセットタイミングのずれを回避でき
る。すなわち、2つの周期的な信号の周波数が高くなる
と、リセット回路による遅延時間が無視できなくなり、
所望のタイミングでリセットされなくなるので、第1お
よび第2の分周回路を設けて、第1および第2の選択回
路からの信号を分周することにより、リセット回路によ
る遅延時間が無視できる程度にまで周波数を低くしてい
るのである。
【0016】他の好ましい実施の形態によれば、リセッ
ト回路は、第2の選択回路の出力に同期して第1および
第2の分周回路をリセットし、かつ第2の分周回路の出
力に同期して第1および第2のエッジ検出回路をリセッ
トすることにより、第1および第2の積分回路をリセッ
トさせる。
【0017】このようにすれば、第2の分周回路の出力
に同期して第1および第2の積分回路がリセットされる
ので、リセットのタイミングに起因する第1および第2
の積分回路の誤動作を回避できる。
【0018】他の好ましい実施の形態によれば、積分動
作開始時における第2の積分回路の出力電圧が、積分動
作開始時における第1の積分回路の出力電圧よりも若干
大きくなるように構成される。
【0019】このようにすれば、比較回路の動作を安定
させることができる。すなわち、積分動作開始時以前に
おける第1および第2の積分回路の出力電圧が互いに等
しいと、比較回路による比較結果が各種の要因によって
変化し、比較回路の出力レベルが不安定になるが、積分
動作開始時における第2の積分回路の出力電圧を、積分
動作開始時における第1の積分回路の出力電圧よりも若
干大きくしておけば、このような問題が生じるのを回避
できる。
【0020】なお、積分動作開始時における第2の積分
回路の出力電圧を、積分動作開始時における第1の積分
回路の出力電圧よりも大きくすると、積分動作開始から
第1の積分回路の出力電圧が第2の積分回路の出力電圧
を越えるまでの時間だけ、比較回路の出力が反転するタ
イミングに遅延を生じるが、本発明の利点は微小な位相
差を十分大きく伸長して測定することにあり、このよう
な使用に際しては、第1の積分回路と第2の積分回路と
の時定数の比をたとえば1000程度に大きく設定する
ので、上記の遅延は実質的に無視できる。
【0021】本願発明のその他の特徴および利点は、添
付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より
明らかとなろう。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の好ましい実施の
形態を、図面を参照して具体的に説明する。
【0023】図1は、本願発明に係る位相差測定装置の
回路ブロック図であって、この位相差測定装置は、第1
の波形整形および反転回路1、第2の波形整形および反
転回路2、第1の選択回路3、第2の選択回路4、第1
の分周回路5、第2の分周回路6、第1のエッジ検出回
路7、第2のエッジ検出回路8、第1の積分回路9、第
2の積分回路10、比較回路11、およびリセット回路
12を備えている。
【0024】第1の波形整形および反転回路1は、演算
増幅器OP1 を備えている。演算増幅器OP1 は、反転
入力端が端子13に接続され、非反転入力端が端子14
に接続されている。この演算増幅器OP1 は、端子14
に入力される一方の信号と、端子13に入力される所定
の閾値電圧とを比較して、一方の信号の電圧が閾値電圧
よりも高いときに、非反転出力端からハイレベルの信号
を出力し、一方の信号の電圧が閾値電圧以下のときに、
非反転出力端からローレベルの信号を出力する。反転出
力端からの出力は、もちろん非反転出力端からの出力を
反転させたものである。
【0025】第2の波形整形および反転回路2は、演算
増幅器OP2 を備えている。演算増幅器OP2 は、非反
転入力端が端子15に接続され、反転入力端が端子16
に接続されている。この演算増幅器OP2 は、端子15
に入力される他方の信号と、端子16に入力される所定
の閾値電圧とを比較して、他方の信号の電圧が閾値電圧
よりも高いときに、非反転出力端からハイレベルの信号
を出力し、他方の信号の電圧が閾値電圧以下のときに、
非反転出力端からローレベルの信号を出力する。反転出
力端からの出力は、もちろん非反転出力端からの出力を
反転させたものである。
【0026】第1の選択回路3は、スイッチSW1 を備
えている。スイッチSW1 は、MOS−FET(metal-
oxide semiconductor field-effect-transistor )など
の半導体スイッチあるいはデータ・セレクタなどからな
り、制御端が端子17に接続されている。このスイッチ
SW1 は、端子17に入力される選択信号に応じて、演
算増幅器OP1 の非反転出力端からの出力を第1の分周
回路5に入力させる状態と、演算増幅器OP1 の反転出
力端からの出力を第1の分周回路5に入力させる状態と
に切り替わる。
【0027】第2の選択回路4は、スイッチSW2 を備
えている。スイッチSW2 は、MOS−FETなどの半
導体スイッチあるいはデータ・セレクタなどからなり、
制御端が端子18に接続されている。このスイッチSW
2 は、端子18に入力される選択信号に応じて、演算増
幅器OP2 の非反転出力端からの出力を第2の分周回路
6に入力させる状態と、演算増幅器OP2 の反転出力端
からの出力を第2の分周回路6に入力させる状態とに切
り替わる。
【0028】第1の分周回路5は、スイッチSW1 から
の出力を所定の分周比で分周する。
【0029】第2の分周回路6は、スイッチSW2 から
の出力を第1の分周回路5の分周比と同じ分周比で分周
する。
【0030】第1のエッジ検出回路7は、Dフリップフ
ロップからなるフリップフロップ回路FF1 を備えてい
る。フリップフロップ回路FF1 は、入力端Dが電源に
より常時ハイレベルに保持されており、クロック入力端
CKに第1の分周回路5からの出力が入力される。
【0031】第2のエッジ検出回路8は、Dフリップフ
ロップからなるフリップフロップ回路FF2 を備えてい
る。フリップフロップ回路FF2 は、入力端Dが電源に
より常時ハイレベルに保持されており、クロック入力端
CKに第2の分周回路6からの出力が入力される。
【0032】第1の積分回路9は、フリップフロップ回
路FF1 の非反転出力端Qからの出力がローレベルから
ハイレベルに変化したときに積分動作を開始し、フリッ
プフロップ回路FF2 の非反転出力端Qからの出力がロ
ーレベルからハイレベルに変化したときに積分動作を終
了する。
【0033】第2の積分回路10は、フリップフロップ
回路FF1 の非反転出力端Qからの出力がローレベルか
らハイレベルに変化したときに積分動作を開始する。
【0034】比較回路11は、演算増幅器OP3 を備え
ている。演算増幅器OP3 の出力端は、端子19に接続
されている。演算増幅器OP3 の非反転入力端は、第1
の積分回路9に接続されており、演算増幅器OP3 の反
転入力端は、第2の積分回路10に接続されている。
【0035】リセット回路12は、第2の選択回路4の
出力に同期して、所定の周期で第1および第2の分周回
路5,6のリセット信号入力端にリセット信号を供給す
るとともに、第2の分周回路6の出力に同期して、所定
の周期で第1および第2のエッジ検出回路7,8のリセ
ット信号入力端にリセット信号を供給する。このリセッ
ト回路12は、図示していないが、水晶発振子と、この
水晶発振子からの所定周波数の信号に同期してカウント
動作を実行する複数段のカウンタと、このカウンタの複
数の所定ビットの出力を組み合わせて所定の信号を出力
する論理回路と、第2の選択回路4の出力に同期して上
記論理回路の出力をラッチすることにより第1および第
2の分周回路5,6へのリセット信号を生成するフリッ
プフロップ回路と、第2の分周回路6の出力に同期して
上記論理回路の出力をラッチすることにより第1および
第2のエッジ検出回路7,8へのリセット信号を生成す
るフリップフロップ回路とを備えている。
【0036】図2は、第1および第2の積分回路9,1
0の回路図であって、第1の積分回路9は、スイッチS
3 ,SW4 、演算増幅器OP4 、抵抗器R1 ,R2
およびキャパシタC1 を備えている。演算増幅器OP4
の出力端は、キャパシタC1の一端およびスイッチSW
3 の一端に接続されており、演算増幅器OP4 の反転入
力端は、抵抗器R1 の一端、キャパシタC1 の他端、お
よびスイッチSW3 の他端に接続されている。演算増幅
器OP4 の非反転入力端は、抵抗器R2 を介して接地さ
れている。抵抗器R1 の他端は、スイッチSW4 の一端
に接続されており、スイッチSW4 の他端には、電源か
ら−5ボルト程度の負電圧が印加されている。
【0037】スイッチSW3 は、MOS−FETなどの
半導体スイッチからなり、制御端には、フリップフロッ
プ回路FF1 の非反転出力端Qからの出力が入力され
る。スイッチSW4 は、MOS−FETなどの半導体ス
イッチからなり、制御端には、フリップフロップ回路F
2 の非反転出力端Qからの出力が入力される。スイッ
チSW3 ,SW4 は、制御端に入力される信号がハイレ
ベルのときに開成し、制御端に入力される信号がローレ
ベルのときに閉成する。
【0038】第2の積分回路10は、スイッチSW5
SW6 、演算増幅器OP5 、抵抗器R3 ,R4 、および
キャパシタC2 を備えている。演算増幅器OP5 の出力
端は、キャパシタC2 の一端およびスイッチSW5 の一
端に接続されており、演算増幅器OP5 の反転入力端
は、抵抗器R3 の一端、キャパシタC2 の他端、および
スイッチSW5 の他端に接続されている。演算増幅器O
5 の非反転入力端は、抵抗器R4 および直流電源E1
を介して接地されている。抵抗器R3 の他端は、スイッ
チSW6 の一端に接続されており、スイッチSW6 の他
端には、電源から−5ボルト程度の負電圧が印加されて
いる。
【0039】スイッチSW5 は、MOS−FETなどの
半導体スイッチからなり、制御端には、フリップフロッ
プ回路FF1 の非反転出力端Qからの出力が入力され
る。スイッチSW6 は、MOS−FETなどの半導体ス
イッチからなり、制御端が接地されている。スイッチS
5 ,SW6 は、制御端に入力される信号がハイレベル
のときに開成し、制御端に入力される信号がローレベル
のときに閉成する。すなわち、スイッチSW6 は常時閉
成しているのであるが、このスイッチSW6 を設けたの
は、第1の積分回路9のスイッチSW4 に対応させて第
2の積分回路10にスイッチSW6 を設けることによ
り、スイッチSW4 ,SW6 によるオン抵抗などの条件
を第1の積分回路9と第2の積分回路10とで等しくす
るためである。抵抗器R3 の抵抗値は第1の積分回路9
の抵抗器R1 の抵抗値と等しく、キャパシタC2 のキャ
パシタンスは第1の積分回路9のキャパシタC1 のキャ
パシタンスの1000倍である。
【0040】図3および図4は、図1および図2に示す
位相差測定装置の動作を説明するためのタイミングチャ
ートであって、このタイミングチャートを参照しながら
上記位相差測定装置の動作を説明する。
【0041】端子14を介して演算増幅器OP1 の非反
転入力端に入力されている一方の信号の電圧が、端子1
3を介して演算増幅器OP1 の反転入力端に入力されて
いる閾値電圧以下のときには、演算増幅器OP1 の非反
転出力端からローレベルの信号が出力され、演算増幅器
OP1 の反転出力端からハイレベルの信号が出力され
る。逆に、一方の信号の電圧が閾値電圧よりも高いとき
には、演算増幅器OP1の非反転出力端からハイレベル
の信号が出力され、演算増幅器OP1 の反転出力端から
ローレベルの信号が出力される。端子15を介して演算
増幅器OP2 の非反転入力端に入力さている他方の信号
の電圧が、端子16を介して演算増幅器OP2 の反転入
力端に入力さている閾値電圧以下のときには、演算増幅
器OP2 の非反転出力端からローレベルの信号が出力さ
れ、演算増幅器OP2 の反転出力端からハイレベルの信
号が出力される。逆に、他方の信号の電圧が閾値電圧よ
りも高いときには、演算増幅器OP2 の非反転出力端か
らハイレベルの信号が出力され、演算増幅器OP2 の反
転出力端からローレベルの信号が出力される。
【0042】いま、端子17を介してスイッチSW1
制御端に入力されている選択信号によりスイッチSW1
が演算増幅器OP1 の非反転出力端からの信号を出力す
る状態に切り替えられているものとすると、一方の信号
が閾値電圧よりも高いときにハイレベルになり、一方の
信号が閾値電圧以下のときにローレベルになるパルス信
号が、第1の分周回路5により所定の分周比で分周され
る。また、端子18を介してスイッチSW2 の制御端に
入力されている選択信号によりスイッチSW2が演算増
幅器OP2 の非反転出力端からの信号を出力する状態に
切り替えられているものとすると、他方の信号が閾値電
圧よりも高いときにハイレベルになり、他方の信号が閾
値電圧以下のときにローレベルになるパルス信号が、第
2の分周回路6により第1の分周回路5の分周比と同じ
分周比で分周される。
【0043】第1の分周回路5からフリップフロップ回
路FF1 のクロック入力端CKに入力されるパルス信号
と、第2の分周回路6からフリップフロップ回路FF2
のクロック入力端CKに入力されるパルス信号とが双方
共にローレベルの期間は、フリップフロップ回路F
1 ,FF2 の非反転出力端Qからの出力は双方共に初
期値のローレベルであり、スイッチSW3 〜SW6 が全
て閉成している。したがって、スイッチSW3 によって
キャパシタC1 の両端が短絡されており、またスイッチ
SW5 によってキャパシタC2 の両端が短絡されている
ので、演算増幅器OP4 ,OP5 の出力電圧は一定であ
る。ここで、演算増幅器OP5 の非反転入力端には、抵
抗器R4 を介して直流電源E1 が接続されているので、
演算増幅器OP5 の出力電圧は演算増幅器OP4 の出力
電圧よりも若干高い。
【0044】第1の分周回路5からフリップフロップ回
路FF1 のクロック入力端CKに入力されているパルス
信号がローレベルからハイレベルに変化すると、そのパ
ルス信号の立上がりエッジに同期して、フリップフロッ
プ回路FF1 の非反転出力端Qからの出力がローレベル
からハイレベルに変化する。これによりスイッチSW 3
およびスイッチSW5 が開成し、演算増幅器OP4 の出
力電圧がキャパシタC 1 のキャパシタンスと抵抗器R1
の抵抗値との積で決定される時定数に従って上昇すると
ともに、演算増幅器OP5 の出力電圧がキャパシタC2
のキャパシタンスと抵抗器R3 の抵抗値との積で決定さ
れる時定数に従って上昇する。このとき、抵抗器R3
抵抗値は抵抗器R1 の抵抗値に等しく、キャパシタC2
のキャパシタンスはキャパシタC1 のキャパシタンスの
1000倍であるので、演算増幅器OP5 の出力電圧の
増加率は演算増幅器OP4 の出力電圧の増加率の1/1
000である。したがって、演算増幅器OP4 ,OP5
の積分動作開始直後に、演算増幅器OP4 の出力電圧が
演算増幅器OP5 の出力電圧よりも大きくなり、演算増
幅器OP3 の出力電圧がローレベルからハイレベルに変
化する。
【0045】第2の分周回路6からフリップフロップ回
路FF2 のクロック入力端CKに入力されているパルス
信号がローレベルからハイレベルに変化すると、そのパ
ルス信号の立上がりエッジに同期して、フリップフロッ
プ回路FF2 の非反転出力端Qからの出力がローレベル
からハイレベルに変化する。これによりスイッチSW 4
が開成し、演算増幅器OP4 の出力電圧の上昇が停止し
て、その電圧が保持される。
【0046】演算増幅器OP5 の出力電圧は時間の経過
に伴って上昇を継続し、その電圧が演算増幅器OP4
出力電圧V1 を越えた時点で、比較回路11を構成する
演算増幅器OP3 の出力がハイレベルからローレベルに
変化する。ここで、演算増幅器OP5 の出力電圧の増加
率は演算増幅器OP4 の出力電圧の増加率の1/100
0であるので、演算増幅器OP4 ,OP5 の積分動作開
始から演算増幅器OP 3 の出力がハイレベルからローレ
ベルに変化するまでの時間T2 は、第1の分周回路5か
らのパルス信号の立上がりエッジから第2の分周回路6
からのパルス信号の立上がりエッジまでの時間T1 の1
000倍であり、時間T1 を1000倍に伸長した時間
2 が、端子19から出力されるパルス信号のパルス幅
として得られる。そして時間T1 は、端子14に入力さ
れている一方の信号の電圧が閾値電圧を越えた時点から
端子15に入力されている他方の信号の電圧が閾値電圧
を越えた時点までの時間であるから、端子19からの出
力を観測して時間T2 を測定することにより、一方の信
号と他方の信号との位相差を求めることができる。この
とき、位相差がたとえ1nsec程度以下の微小な時間であ
ったとしても、時間T2 は位相差と比較して十分に長い
時間であるので、容易に測定可能である。もちろん、端
子19からの出力を積分することにより、時間T2 に比
例した電圧を得て、その電圧を測定してもよい。
【0047】なお、第2の積分回路10に直流電源E1
を設けて、積分動作開始時における演算増幅器OP5
出力電圧が演算増幅器OP4 の出力電圧よりも若干大き
くなるように設定しているので、演算増幅器OP4 ,O
5 の積分動作開始時点から演算増幅器OP3 の出力の
立上がり時点までに若干の遅延が生じ、演算増幅器OP
3 から出力されるパルス信号のパルス幅が時間T2 より
も僅かに小さい値になるが、上記のように時間T2 は時
間T1 を1000倍に伸長した時間であり、しかも上記
の遅延は時間T1 と比較しても十分に小さい値であるの
で、実質上問題になることはない。
【0048】第2の積分回路10に直流電源E1 を設け
たのは、演算増幅器OP4 ,OP5の積分動作開始以前
における演算増幅器OP3 の出力レベルを安定させるた
めである。
【0049】一方、リセット回路12は、第2の選択回
路4のスイッチSW2 からの出力の立上がりエッジに同
期して第1および第2の分周回路5,6をリセットする
とともに、第2の分周回路6からの反転出力の立上がり
エッジに同期してフリップフロップ回路FF1 ,FF2
をリセットする。そして、リセットの周期は時間T2
りも長くなるように設定されている。
【0050】したがって、演算増幅器OP4 の積分動作
が終了し、かつ演算増幅器OP5 の出力電圧が演算増幅
器OP4 の出力電圧V1 を越えた時点以降に、リセット
回路12から第1および第2の分周回路5,6のリセッ
ト信号入力端ならびにフリップフロップ回路FF1 ,F
2 のリセット信号入力端に供給されているリセット信
号がハイレベルからローレベルに変化する。これによ
り、フリップフロップ回路FF1 ,FF2 の非反転出力
端Qからの出力がハイレベルからローレベルに変化し、
スイッチSW3 〜SW5 が閉成する。この結果、第1の
積分回路9および第2の積分回路10がリセットされ、
演算増幅器OP4 ,OP5 の出力電圧が積分動作開始前
の電圧に戻る。
【0051】所定の時間が経過してリセット回路12か
ら第1および第2の分周回路5,6のリセット信号入力
端ならびにフリップフロップ回路FF1 ,FF2 のリセ
ット信号入力端に供給されているリセット信号がローレ
ベルからハイレベルに変化すると、第1の分周回路5か
らの出力の立上がりエッジに同期して、演算増幅器OP
4 ,OP5 が積分動作を再開する。
【0052】このように、リセット回路12により第1
のエッジ検出回路7および第2のエッジ検出回路8を介
して第1の積分回路9および第2の積分回路10をリセ
ットすることによって、所定の周期で時間T2 を連続的
に測定することが可能になる。したがって、端子19か
ら出力されるパルス信号のパルス幅を複数回観測するこ
とによって、より正確に時間T2 を測定でき、この結
果、より正確に2つの信号の位相差を知ることができ
る。しかも、端子19から出力される初回のパルス信号
の観測が何らかの原因で成功しなかった場合でも、2回
目以降のパルス信号を観測することにより目的を達成で
きる。さらには、時間T2 に基づいて2つの信号の位相
差を連続的に複数回測定することにより、2つの信号の
ジッタ成分を検出することもできる。
【0053】なお、上記実施形態においては、スイッチ
SW1 ,SW2 を制御して、一方の信号が閾値電圧を越
えた時点から他方の信号が閾値電圧を越えた時点までを
2つの信号の位相差として測定する例について説明した
が、一方の信号が閾値電圧以下になった時点から他方の
信号が閾値電圧以下になった時点までを2つの信号の位
相差として測定してもよい。さらには、一方の信号が閾
値電圧を越えた時点から他方の信号が閾値電圧以下にな
った時点までを2つの信号の位相差として測定してもよ
いし、一方の信号が閾値電圧以下になった時点から他方
の信号が閾値電圧を越えた時点までを2つの信号の位相
差として測定してもよい。
【0054】すなわち、演算増幅器OP1 ,OP2 の非
反転出力端からの出力が図5に示すような波形であった
とすると、スイッチSW1 を制御して、演算増幅器OP
1 の非反転出力端からの出力を第1の分周回路5に入力
させ、スイッチSW2 を制御して、演算増幅器OP2
非反転出力端からの出力を第2の分周回路6に入力させ
ることにより、時間T3 を2つの信号の位相差として測
定できる。また、スイッチSW1 を制御して、演算増幅
器OP1 の非反転出力端からの出力を第1の分周回路5
に入力させ、スイッチSW2 を制御して、演算増幅器O
2 の反転出力端からの出力を第2の分周回路6に入力
させることにより、時間T4 を2つの信号の位相差とし
て測定できる。また、スイッチSW1 を制御して、演算
増幅器OP1 の反転出力端からの出力を第1の分周回路
5に入力させ、スイッチSW2 を制御して、演算増幅器
OP2 の反転出力端からの出力を第2の分周回路6に入
力させることにより、時間T5 を2つの信号の位相差と
して測定できる。また、スイッチSW1 を制御して、演
算増幅器OP1 の反転出力端からの出力を第1の分周回
路5に入力させ、スイッチSW2 を制御して、演算増幅
器OP2 の非反転出力端からの出力を第2の分周回路6
に入力させることにより、時間T6 を2つの信号の位相
差として測定できる。
【0055】また、上記実施形態においては、第2の積
分回路10の抵抗器R3 の抵抗値と第1の積分回路9の
抵抗器R1 の抵抗値とを互いに等しくし、第2の積分回
路10のキャパシタC2 のキャパシタンスを第1の積分
回路9のキャパシタC1 のキャパシタンスの1000倍
に設定したが、第2の積分回路10のキャパシタC2
キャパシタンスと第1の積分回路9のキャパシタC1
キャパシタンスとを互いに等しくし、第2の積分回路1
0の抵抗器R3 の抵抗値を第1の積分回路9の抵抗器R
1 の抵抗値の1000倍に設定してもよい。さらには、
抵抗器R1 の抵抗値と抵抗器R3 の抵抗値、およびキャ
パシタC1 のキャパシタンスとキャパシタC2 のキャパ
シタンスとを共に互いに等しくない値に設定してもよ
い。もちろん、上記1000倍の値も一例であり、この
倍率は所望に応じて任意に設定すればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本願発明に係る位相差測定装置の回路ブロック
図である。
【図2】図1に示す位相差測定装置に備えられた第1お
よび第2の積分回路の回路図である。
【図3】図1に示す位相差測定装置の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。
【図4】図1に示す位相差測定装置のリセット動作を説
明するためのタイミングチャートである。
【図5】2つの信号の各種の位相差を説明するためのタ
イミングチャートである。
【符号の説明】
1 第1の波形整形および反転回路 2 第2の波形整形および反転回路 3 第1の選択回路 4 第2の選択回路 5 第1の分周回路 6 第2の分周回路 7 第1のエッジ検出回路 8 第2のエッジ検出回路 9 第1の積分回路 10 第2の積分回路 11 比較回路 12 リセット回路 FF1 ,FF2 フリップフロップ回路 SW1 〜SW6 スイッチ OP1 〜OP5 演算増幅器 R1 〜R4 抵抗器 C1 ,C2 キャパシタ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 2つの周期的な信号の位相差を測定する
    位相差測定装置であって、 前記2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
    の波形整形回路と、 前記2つの信号のうちの他方の信号を波形整形する第2
    の波形整形回路と、 積分動作による出力電圧の変化率が常に一定で、かつ、
    前記第1の波形整形回路の出力の立上がりエッジまたは
    立下がりエッジに同期して積分動作を開始し、前記第2
    の波形整形回路の出力の立上がりエッジまたは立下がり
    エッジに同期して積分動作を終了する第1の積分回路
    と、 積分動作による出力電圧の変化率が前記第1の積分回路
    よりも小さく、かつ、前記第1の積分回路と同時に積分
    動作を開始する第2の積分回路と、 前記第1の積分回路の出力電圧と前記第2の積分回路の
    出力電圧とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する
    比較回路とを備えたことを特徴とする、位相差測定装
    置。
  2. 【請求項2】 2つの周期的な信号の位相差を測定する
    位相差測定装置であって、 前記2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
    の波形整形回路と、 前記2つの信号のうちの他方の信号を波形整形する第2
    の波形整形回路と、 積分動作による出力電圧の変化率が常に一定で、かつ、
    前記第1の波形整形回路の出力の立上がりエッジまたは
    立下がりエッジに同期して積分動作を開始し、前記第2
    の波形整形回路の出力の立上がりエッジまたは立下がり
    エッジに同期して積分動作を終了する第1の積分回路
    と、 積分動作による出力電圧の変化率が前記第1の積分回路
    よりも小さく、かつ、前記第1の積分回路と同時に積分
    動作を開始する第2の積分回路と、 前記第1の積分回路の出力電圧と前記第2の積分回路の
    出力電圧とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する
    比較回路と、 前記第1の積分回路の積分動作終了後、前記第2の積分
    回路の出力電圧が前記第1の積分回路の出力電圧に達し
    た時点以降に、前記第1および第2の積分回路をリセッ
    トするリセット回路とを備えたことを特徴とする、位相
    差測定装置。
  3. 【請求項3】 2つの周期的な信号の位相差を測定する
    位相差測定装置であって、 前記2つの信号のうちの一方の信号を波形整形する第1
    の波形整形回路と、 前記2つの信号のうちの他方の信号を波形整形する第2
    の波形整形回路と、 前記第1の波形整形回路の出力を反転させる第1の反転
    回路と、 前記第2の波形整形回路の出力を反転させる第2の反転
    回路と、 外部からの選択信号に基づいて、前記第1の波形整形回
    路の出力と前記第1の反転回路の出力とのうちのいずれ
    か一方を選択して出力する第1の選択回路と、 外部からの選択信号に基づいて、前記第2の波形整形回
    路の出力と前記第2の反転回路の出力とのうちのいずれ
    か一方を選択して出力する第2の選択回路と、 前記第1の選択回路の出力またはそれを分周した信号の
    立上がりエッジまたは立下がりエッジを検出する第1の
    エッジ検出回路と、 前記第2の選択回路の出力またはそれを分周した信号の
    立上がりエッジまたは立下がりエッジを検出する第2の
    エッジ検出回路と、 積分動作による出力電圧の変化率が常に一定で、かつ、
    前記第1のエッジ検出回路によりエッジが検出されたと
    きに積分動作を開始し、前記第2のエッジ検出回路によ
    りエッジが検出されたときに積分動作を終了する第1の
    積分回路と、 積分動作による出力電圧の変化率が前記第1の積分回路
    よりも小さく、かつ、前記第1のエッジ検出回路により
    エッジが検出されたときに積分動作を開始する第2の積
    分回路と、 前記第1の積分回路の出力電圧と前記第2の積分回路の
    出力電圧とを比較し、比較結果に応じた信号を出力する
    比較回路と、 前記第1の積分回路の積分動作終了後、前記第2の積分
    回路の出力電圧が前記第1の積分回路の出力電圧に達し
    た時点以降に、前記第1および第2の積分回路をリセッ
    トするリセット回路とを備えたことを特徴とする、位相
    差測定装置。
  4. 【請求項4】 前記第1の選択回路の出力を分周する第
    1の分周回路と、 前記第1の分周回路の分周比と同じ分周比で、前記第2
    の選択回路の出力を分周する第2の分周回路とを有し、 前記第1のエッジ検出回路は、前記第1の分周回路の出
    力の立上がりエッジを検出し、 前記第2のエッジ検出回路は、前記第2の分周回路の出
    力の立上がりエッジを検出する構成とした、請求項3に
    記載の位相差測定装置。
  5. 【請求項5】 前記リセット回路は、前記第2の選択回
    路の出力に同期して前記第1および第2の分周回路をリ
    セットし、かつ前記第2の分周回路の出力に同期して前
    記第1および第2のエッジ検出回路をリセットすること
    により、前記第1および第2の積分回路をリセットさせ
    る、請求項4に記載の位相差測定装置。
  6. 【請求項6】 積分動作開始時における前記第2の積分
    回路の出力電圧が、積分動作開始時における前記第1の
    積分回路の出力電圧よりも若干大きくなるように構成し
    た、請求項1ないし5のいずれかに記載の位相差測定装
    置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001324551A (ja) * 2000-05-16 2001-11-22 Advantest Corp 時間測定装置、半導体デバイス試験装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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