JPH11212010A - 光学装置、および光学装置の調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】この発明は、レーザビームの収束位置を高精度
に調整できる光学装置、および光学装置の調整方法を提
供することを課題とする。 【解決手段】光学装置１は、レーザビームの反射角度を
副走査方向に調整可能な可動部７を備えたガルバノミラ
ー６ａを有している。ガルバノミラー６ａは、回転軸２
２ｂを中心に回転可能に設けられた台座２２上に固設さ
れ、台座２２の回転とともに、レーザビームの反射角度
を主走査方向に変化させる方向に回転される。ガルバノ
ミラー６ａは、台座２２の回転軸２２ｂが反射面７ａを
通るように位置決めされ、主走査方向の回転に起因した
光路長の変化を防止している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザビームを
走査してターゲット上に収束させる光学装置、および光
学装置の調整方法に係り、特に、複数のレーザビームを
１つのポリゴンミラーを介して走査する光学装置、およ
び光学装置の調整方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザビームを走査してターゲッ
ト上に収束させる光学装置として、例えば、マルチビー
ム方式を採用したプリンタ装置に組込まれたマルチビー
ム光学装置が知られている。

【０００３】この種の光学装置では、複数のレーザビー
ムを１つのポリゴンミラーを介して同時に走査し、感光
体ドラム上に集束することにより、予め所定の電位が与
えられたドラム表面上に像を形成する。この場合、複数
のレーザビームのドラム表面上での副走査方向の間隔を
一定にするとともに、主走査方向の書込み開始位置を揃
える必要がある。

【０００４】このため、従来の光学装置では、各レーザ
ビームがポリゴンミラーに向う光路上に副走査方向のビ
ーム集束位置を調整できるガルバノミラーをそれぞれ設
け、副走査方向の各ビーム間隔を調整するようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一方、各レーザビーム
の主走査方向の書込み開始位置は、ガルバノミラーの取
付け角度を調整することにより調整される。さらに、各
レーザビームの主走査方向の書込みタイミングを電気的
に制御することにより、各レーザビームの主走査方向の
書込み開始位置が微調整される。しかし、各レーザビー
ムの主走査方向のずれが僅かなものであれば、このよう
に書込みタイミングを電気的に制御するだけで調整可能
であるが、主走査方向に比較的大きなずれを生じた場
合、電気的な書込みタイミングの制御だけでは調整不可
能となる。

【０００６】この発明は、以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、レーザビームの収束位置を高精度に調
整できる光学装置、および光学装置の調整方法を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明のうち請求項１記載の光学装置は、光源か
ら射出された光を所定の収束位置に向けて収束させる収
束手段と、上記収束手段から上記収束位置へ向う光路上
に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビームを上
記収束位置で第１の方向に走査する走査手段と、上記収
束手段から上記走査手段へ向う光路上に設けられ、上記
収束手段にて収束された光ビームを上記走査手段へ反射
する反射面、および上記収束位置へ収束される光ビーム
を上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化させるよ
うに上記反射面の角度を調整する調整機構を有する光学
手段と、上記光学手段を積載してなり、上記第２の方向
に延びた回転軸を中心に回転することによって、上記収
束位置へ収束される光ビームを上記第１の方向へ変化さ
せる調整手段と、を備えている。

【０００８】また、この発明のうち請求項２記載の光学
装置によると、光源から射出された光を所定の収束位置
に向けて収束させる収束手段と、上記収束手段から上記
収束位置へ向う光路上に設けられ、上記収束手段にて収
束された光ビームを上記収束位置で第１の方向に走査す
る走査手段と、上記収束手段から上記走査手段へ向う光
路上に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビーム
を上記走査手段へ反射する反射面、および上記収束位置
へ収束される光ビームを上記第１の方向と直交する第２
の方向へ変化させるように上記反射面の角度を調整する
調整機構を有する光学手段と、上記光学手段を上記第２
の方向に延びた回転軸を中心に回転させて、上記収束位
置へ収束される光ビームを上記第１の方向へ変化させる
調整手段と、を備え、上記調整手段の回転軸は、上記収
束手段にて収束された光ビームが上記収束位置で少なく
とも所定値以下のビーム径を形成する程度に、上記光学
手段の反射面に近接されていることを特徴とする。

【０００９】また、この発明のうち請求項３記載の光学
装置によると、光源から射出された光を所定の収束位置
に向けて収束させる収束手段と、上記収束手段から上記
収束位置へ向う光路上に設けられ、上記収束手段にて収
束された光ビームを上記収束位置で第１の方向に走査す
る走査手段と、上記収束手段から上記走査手段へ向う光
路上に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビーム
を上記走査手段へ反射する反射面、および上記収束位置
へ収束される光ビームを上記第１の方向と直交する第２
の方向へ変化させるように上記反射面の角度を調整する
調整機構を有する光学手段と、上記光学手段を上記第２
の方向に延びた回転軸を中心に回転させて、上記収束位
置へ収束される光ビームを上記第１の方向へ変化させる
調整手段と、を備え、上記調整手段の回転軸は、上記光
学手段の反射面上を通るように設けられていることを特
徴とする。

【００１０】また、この発明のうち請求項４記載の光学
装置は、複数の光源と、上記各光源から射出された光を
所定の収束位置に向けてそれぞれ収束させる複数の収束
手段と、上記各収束手段から上記収束位置へ向う光路上
に設けられ、上記各収束手段にて収束された複数の光ビ
ームを同時にまとめて上記収束位置で第１の方向に走査
する走査手段と、上記各収束手段から上記走査手段へ向
うそれぞれの光路上に設けられ、上記収束手段にて収束
された光ビームを上記走査手段へ反射する反射面、およ
び上記収束位置へ収束される光ビームを上記第１の方向
と直交する第２の方向へ変化させるように上記反射面の
角度を調整する調整機構をそれぞれ有する複数の光学手
段と、上記各光学手段を上記第２の方向に延びたそれぞ
れの回転軸を中心に回転させて、上記収束位置へ収束さ
れる光ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化させる複
数の調整手段と、を備えている。

【００１１】また、この発明のうち請求項５記載の光学
装置によると、複数の光源と、上記各光源から射出され
た光を所定の収束位置に向けてそれぞれ収束させる複数
の収束手段と、上記各収束手段から上記収束位置へ向う
光路上に設けられ、上記各収束手段にて収束された複数
の光ビームを同時にまとめて上記収束位置で第１の方向
に走査する走査手段と、上記各収束手段から上記走査手
段へ向うそれぞれの光路上に設けられ、上記収束手段に
て収束された光ビームを上記走査手段へ反射する反射
面、および上記収束位置へ収束される光ビームを上記第
１の方向と直交する第２の方向へ変化させるように上記
反射面の角度を調整する調整機構をそれぞれ有する複数
の光学手段と、上記各光学手段を上記第２の方向に延び
たそれぞれの回転軸を中心に回転させて、上記収束位置
へ収束される光ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化
させる複数の調整手段と、を備え、上記各調整手段の回
転軸は、それぞれの収束手段にて収束された光ビームが
上記収束位置で少なくとも所定値以下のビーム径を形成
する程度に、上記光学手段の反射面に近接されているこ
とを特徴とする。

【００１２】また、この発明のうち請求項６記載の光学
装置によると、複数の光源と、上記各光源から射出され
た光を所定の収束位置に向けてそれぞれ収束させる複数
の収束手段と、上記各収束手段から上記収束位置へ向う
光路上に設けられ、上記各収束手段にて収束された複数
の光ビームを同時にまとめて上記収束位置で第１の方向
に走査する走査手段と、上記各収束手段から上記走査手
段へ向うそれぞれの光路上に設けられ、上記収束手段に
て収束された光ビームを上記走査手段へ反射する反射
面、および上記収束位置へ収束される光ビームを上記第
１の方向と直交する第２の方向へ変化させるように上記
反射面の角度を調整する調整機構をそれぞれ有する複数
の光学手段と、上記各光学手段を上記第２の方向に延び
たそれぞれの回転軸を中心に回転させて、上記収束位置
へ収束される光ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化
させる複数の調整手段と、を備え、上記各調整手段の回
転軸は、それぞれの光学手段の反射面上を通るように設
けられていることを特徴とする。

【００１３】また、この発明のうち請求項７記載の光学
装置の調整方法によると、光源から射出された光を収束
手段を通して所定の収束位置に向けて収束し、収束した
光ビームを角度調整可能な反射面を備えた光学手段を介
して反射し、反射した光ビームを走査手段によって上記
収束位置で第１の方向に走査する調整方法であって、上
記反射面の角度を調整して、上記収束位置へ収束される
光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化
させる第１の調整工程と、上記収束手段にて収束された
光ビームが上記収束位置で少なくとも所定値以下のビー
ム径を形成する程度に上記反射面に近接され、且つ上記
第２の方向に延びた回転軸を中心に、上記光学手段を回
転させて、上記収束位置へ収束される光ビームを上記第
１の方向へ変化させる第２の調整工程と、を有すること
を特徴とする。

【００１４】更に、この発明のうち請求項８記載の光学
装置の調整方法によると、光源から射出された光を収束
手段を通して所定の収束位置に向けて収束し、収束した
光ビームを角度調整可能な反射面を備えた光学手段を介
して反射し、反射した光ビームを走査手段によって上記
収束位置で第１の方向に走査する調整方法であって、上
記反射面の角度を調整して、上記収束位置へ収束される
光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化
させる第１の調整工程と、上記反射面に沿って上記第２
の方向に延び、かつ上記反射面上を通る回転軸を中心
に、上記光学手段を回転させて、上記収束位置へ収束さ
れる光ビームを上記第１の方向へ変化させる第２の調整
工程と、を有することを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながらこの発
明の実施の形態について詳細に説明する。図１には、マ
ルチビーム露光方式を採用したプリンタ装置に組込まれ
た光学装置１を概略的に示してある。

【００１６】光学装置１は、それぞれ画像信号に応じた
所定強度および所定波長のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌ
ｃ、およびＬｄを射出する半導体レーザ素子によって形
成された４つの光源２ａ、２ｂ、２ｃ、および２ｄを有
している。それぞれの光源２ａ、２ｂ、２ｃ、および２
ｄから射出されたレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、およ
びＬｄは、それぞれ有限焦点レンズ４ａ、４ｂ、４ｃ、
および４ｄを通過されて所定の収束性が与えられる。

【００１７】収束性が与えられたレーザビームＬａ、Ｌ
ｂ、Ｌｃ、およびＬｄは、それぞれの光路上に設けられ
たガルバノミラー６ａ、６ｂ、６ｃ、および６ｄによっ
て所定方向に折り曲げられる。各ガルバノミラー６ａ、
６ｂ、６ｃ、および６ｄは、後述する感光体ドラム２０
の表面２０ａ上に収束される各レーザビームＬａ、Ｌ
ｂ、Ｌｃ、およびＬｄの副走査方向間隔が一定となるよ
うに、各レーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、およびＬｄの
反射角度を副走査方向に微少量変化させる構成を有して
いる。

【００１８】図２には、ガルバノミラー６ａによってレ
ーザビームＬａの反射方向を副走査方向に変化させる概
略構成を代表して示してある。ガルバノミラー６ａは、
入射されるレーザビームと反射するレーザビームを含む
面と略直交する反射面７ａ、およびこの反射面７ａを主
走査方向に延びた回転軸７ｂの周りに回転させる図示し
ない回転機構を有する可動部７、および、この可動部７
を所定位置に位置決めして配置するための保持部８を有
している。尚、他のガルバノミラー６ｂ、６ｃ、および
６ｄも、同様に、それぞれのレーザビームＬｂ、Ｌｃ、
およびＬｄの反射角度を副走査方向に変化させる構成を
有している。

【００１９】ガルバノミラー６ａによって反射されたレ
ーザビームＬａ、およびガルバノミラー６ｂによって反
射されたレーザビームＬｂが合流する光路上には、レー
ザビームＬａ、およびＬｂを副走査方向に所定間隔で並
んだ合成レーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ）にまとめるハーフ
ミラー１１が設けられている。また、この合成レーザビ
ーム（Ｌａ＋Ｌｂ）、およびガルバノミラー６ｃによっ
て反射されたレーザビームＬｃが合流する光路上には、
レーザビームＬａ、Ｌｂ、およびＬｃを副走査方向に所
定間隔で並んだ合成レーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ）
にまとめるハーフミラー１２が設けられている。さら
に、この合成レーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ）、およ
びガルバノミラー６ｄによって反射されたレーザビーム
Ｌｄが合流する光路上には、全てのレーザビームＬａ、
Ｌｂ、Ｌｃ、およびＬｄを副走査方向に所定間隔で並ん
だ合成レーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）にまと
めるハーフミラー１３が設けられている。

【００２０】このハーフミラー１３より下流側の合成レ
ーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）の光路上には、
この合成レーザビームをまとめて主走査方向に偏向させ
て感光体ドラム２０の表面２０ａをその軸方向、すなわ
ち主走査方向に露光走査するポリゴンミラー１０が設け
られている。また、ポリゴンミラー１０と感光体ドラム
２０との間の光路上には、２つのｆθレンズ１４、１６
が並んで設けられている。

【００２１】次に、上記のように構成された光学装置１
による露光走査について説明する。光源２ａから射出さ
れたレーザビームＬａは、有限焦点レンズ４ａにより所
定の収束性が与えられてガルバノミラー６ａによって反
射され、ハーフミラー１１を通過される。また、光源２
ｂから射出されたレーザビームＬｂは、有限焦点レンズ
４ｂにより所定の収束性が与えられてガルバノミラー６
ｂによって反射される。なお、レーザビームＬｂは、ハ
ーフミラー１１で反射されて、レーザビームＬａと合成
される。さらに、光源２ｃから射出されたレーザビーム
Ｌｃは、有限焦点レンズ４ｃにより所定の収束性が与え
られてガルバノミラー６ｃで反射され、ハーフミラー１
２に案内される。ハーフミラー１２に案内されたレーザ
ビームＬｃは、ハーフミラー１２で反射され、ハーフミ
ラー１１で合成されたレーザビーム（Ｌａ＋Ｌｂ）に、
さらに合成される。また、光源２ｄから射出されたレー
ザビームＬｄは、有限焦点レンズ４ｄにより所定の収束
性が与えられてガルバノミラー６ｄで反射され、ハーフ
ミラー１３に案内される。このハーフミラー１３に案内
されたレーザビームＬｄは、ハーフミラー１３で反射さ
れ、ハーフミラー１２で合成されたレーザビーム（Ｌａ
＋Ｌｂ＋Ｌｃ）に、さらに合成される。このようにし
て、平面方向からみた状態では１本で、副走査方向には
所定間隔を有するレーザビームＬ＝（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ
＋Ｌｄ）が合成される。

【００２２】４本のレーザビームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、お
よびＬｄが合成されたレーザビームＬは、副走査方向に
関してのみ所定の間隔が与えられた１本のレーザビーム
Ｌ＝（Ｌａ＋Ｌｂ＋Ｌｃ＋Ｌｄ）として、ポリゴンミラ
ー１０によって同時に偏向（走査）され、２つのｆθレ
ンズ１４、１６を介して、感光体ドラム２０の表面２０
ａ上の所定位置に結像される。

【００２３】つまり、本実施の形態のように、マルチビ
ーム露光方式を採用することにより、通常の１ライン露
光方式の光学装置と比較して、副走査方向については４
倍の速度で露光できる。

【００２４】ところで、この種のマルチビーム方式の光
学装置において、各レーザビームを正確な位置に収束さ
せて良好な露光状態を達成するためには、各レーザビー
ムの感光体ドラム２０上での副走査方向間隔を一定にす
るとともに、各レーザビームの主走査方向の書込み開始
位置を高精度に一致させることが重要となる。

【００２５】各レーザビームの副走査方向の間隔は、一
般に、４００ｄｐｉの印字で６３．５μｍ程度に設定さ
れ、６００ｄｐｉの印字で４２．３μｍ程度に設定され
るが、それぞれの光路上に設けられたガルバノミラー４
ａ、４ｂ、４ｃ、および４ｄによるレーザビームの副走
査方向の反射角度を変化させることにより比較的高精度
に調整できる。

【００２６】一方、各レーザビームの主走査方向の書込
み開始位置は、概ね、光学装置１を構成した各光学素子
の取付け位置精度や部品精度を高めることにより調整さ
れ、主走査方向の書込み開始位置の微調整は、各レーザ
ビームの書込みタイミングを電気的に調整することによ
り成される。

【００２７】この場合、各レーザビームの主走査方向の
書込み開始位置に僅かなずれを生じているだけなら、各
レーザビームの書込みタイミングを電気的に調整するこ
とによって、書込み開始位置を略一致させることができ
るが、書込み開始位置が所定の範囲を超えて大きくずれ
ている場合には、書込みタイミングを電気的に調整して
も、ポリゴンミラーの有効面からレーザビームが逸脱し
たり、ｆθレンズの性能が十分に発揮できなかったりと
いった不具合を生じる。

【００２８】このため、本発明においては、各レーザビ
ームＬａ、Ｌｂ、Ｌｃ、およびＬｄの光路上にそれぞれ
配設されたガルバノミラー４ａ、４ｂ、４ｃ、および４
ｄの取付け角度を調整できるようにして、各レーザビー
ムの反射角度を主走査方向に変化可能とした。

【００２９】図３には、ガルバノミラー６ａの主走査方
向の取付け角度を調整するための調整機構を概略的に示
してある。ここでは、ガルバノミラー６ａについて代表
して説明するが、他のガルバノミラー６ｂ、６ｃ、およ
び６ｄも同様の構成を有している。

【００３０】ガルバノミラー６ａは、上述したように、
反射面７ａによるレーザビームの反射角度を副走査方向
に調整する可動部７、およびこの可動部７を保持した保
持部８を有している。そして、保持部８が円柱形の台座
２２の上面２２ａ上に固設され、台座２２の回転ととも
にガルバノミラー６ａが回転するようになっている。
尚、台座２２は、光学装置１の筐体側に形成された円形
の嵌合孔２４に対して回転自在に嵌入されおり、その回
転位置がネジ２６により固定されるようになっている。

【００３１】ガルバノミラー６ａは、その反射面７ａを
副走査方向に回転させる回転軸７ｂ（図２参照）が、台
座２２の回転軸２２ｂと直交するように配置され、且
つ、台座２２の回転軸２２ｂが反射面７ａを通るように
位置決めされる。

【００３２】このように、ガルバノミラー６ａの主走査
方向の回転中心を反射面７ａ上に位置させることによ
り、図４に示すように、ガルバノミラー６ａによって反
射されたレーザビームの光路長が、ガルバノミラー６ａ
の調整動作に起因した回転の前後で変化することがな
く、感光体ドラム２０の表面２０ａ上にレーザビームを
所定の径で常に収束させることができる。

【００３３】つまり、光源２ａから射出されたレーザビ
ームＬａは、有限焦点レンズ４ａによって所定の焦点距
離で収束されるため、図６に模式的に示したレーザビー
ムＬａのビームウエストの略中央位置がドラム表面２０
ａで結像し、ドラム表面２０ａに所定のスポット径が形
成できるように、その光路長を設定する必要がある。

【００３４】一方、図５に示すように、ガルバノミラー
６ａの主走査方向の回転中心が反射面７ａ上になく、反
射面７ａから後退した位置にある場合、ガルバノミラー
６ａによって反射されるレーザビームの光路長が、ガル
バノミラー６ａの回転の前後で変化される。このときの
光路長の変化量をａとした場合、ドラム表面２０ａ上で
許容できるビームスポットの最大径Φｄを形成するビー
ムウエストの範囲ｂより、光路長の変化量ａが少なくと
も小さければ、すなわちａ＜ｂの関係が成立していれ
ば、光路長のずれを許容できる。言い換えれば、光路長
の変化量ａがビームウエストの許容範囲ｂを超えない程
度であれば、ガルバノミラー６ａの主走査方向の回転中
心が反射面７ａから離間しても良い。

【００３５】以上のように、本実施の形態の光学装置に
よると、レーザビームの反射角度を副走査方向に調整可
能なガルバノミラーを、レーザビームの反射角度を主走
査方向に変化できる調整機構に取付けたため、レーザビ
ームの主走査方向および副走査方向の収束位置を高精度
に調整できる。

【００３６】また、ガルバノミラーの主走査方向の回転
中心をガルバノミラーの反射面上に配置したため、ガル
バノミラーによるレーザビームの反射の前後で光路長が
変化されることを防止でき、常に、所定のスポット径で
感光体ドラム表面上にビームを収束させることができ
る。さらに、ガルバノミラーの主走査方向の回転中心を
反射面から僅かに離間させても良く、そのときの反射の
前後における光路長の変化量ａがレーザビームのビーム
ウエストの許容範囲ｂを超えなければ良い。尚、この発
明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、
この発明の範囲内で種々変形可能である。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、この発明の光学装
置は、上記のような構成および作用を有しているので、
レーザビームの収束位置を高精度に調整できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態に係る光学装置を示す概
略図。

【図２】図１の光学装置に組込まれたガルバノミラーの
作用を説明するための図。

【図３】図２のガルバノミラーの取付け角度を調整する
ための調整機構を示す概略図。

【図４】ガルバノミラーの主走査方向の回転中心を反射
面上に配置した状態を示す図。

【図５】ガルバノミラーの主走査方向の回転中心を反射
面から後退した位置に配置した状態を示す図。

【図６】ビームウエストの許容範囲を説明するための
図。

【符号の説明】

１…光学装置、 ２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄ…光源、 ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ…有限焦点レンズ、 ６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ…ガルバノミラー、 ７…可動部、 ７ａ…反射面、 ７ｂ…回転軸、 ８…保持部、 １０…ポリゴンミラー、 １１、１２、１３…ハーフミラー、 １４、１６…ｆθレンズ、 ２０…感光体ドラム、 ２０ａ…表面、 ２２…台座、 ２２ａ…上面、 ２２ｂ…回転軸、 ２４…嵌合孔、 ２６…ネジ、 ａ…光路長の変化量、 ｂ…ビームウエストの許容範囲。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光源から射出された光を所定の収束位置
   に向けて収束させる収束手段と、 上記収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記収束位
   置で第１の方向に走査する走査手段と、 上記収束手段から上記走査手段へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記走査手
   段へ反射する反射面、および上記収束位置へ収束される
   光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化
   させるように上記反射面の角度を調整する調整機構を有
   する光学手段と、 上記光学手段を積載してなり、上記第２の方向に延びた
   回転軸を中心に回転することによって、上記収束位置へ
   収束される光ビームを上記第１の方向へ変化させる調整
   手段と、 を備えていることを特徴とする光学装置。
2. 【請求項２】 光源から射出された光を所定の収束位置
   に向けて収束させる収束手段と、 上記収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記収束位
   置で第１の方向に走査する走査手段と、 上記収束手段から上記走査手段へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記走査手
   段へ反射する反射面、および上記収束位置へ収束される
   光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化
   させるように上記反射面の角度を調整する調整機構を有
   する光学手段と、 上記光学手段を上記第２の方向に延びた回転軸を中心に
   回転させて、上記収束位置へ収束される光ビームを上記
   第１の方向へ変化させる調整手段と、を備え、 上記調整手段の回転軸は、上記収束手段にて収束された
   光ビームが上記収束位置で少なくとも所定値以下のビー
   ム径を形成する程度に、上記光学手段の反射面に近接さ
   れていることを特徴とする光学装置。
3. 【請求項３】 光源から射出された光を所定の収束位置
   に向けて収束させる収束手段と、 上記収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記収束位
   置で第１の方向に走査する走査手段と、 上記収束手段から上記走査手段へ向う光路上に設けら
   れ、上記収束手段にて収束された光ビームを上記走査手
   段へ反射する反射面、および上記収束位置へ収束される
   光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変化
   させるように上記反射面の角度を調整する調整機構を有
   する光学手段と、 上記光学手段を上記第２の方向に延びた回転軸を中心に
   回転させて、上記収束位置へ収束される光ビームを上記
   第１の方向へ変化させる調整手段と、を備え、 上記調整手段の回転軸は、上記光学手段の反射面上を通
   るように設けられていることを特徴とする光学装置。
4. 【請求項４】 複数の光源と、 上記各光源から射出された光を所定の収束位置に向けて
   それぞれ収束させる複数の収束手段と、 上記各収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記各収束手段にて収束された複数の光ビームを同
   時にまとめて上記収束位置で第１の方向に走査する走査
   手段と、 上記各収束手段から上記走査手段へ向うそれぞれの光路
   上に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビームを
   上記走査手段へ反射する反射面、および上記収束位置へ
   収束される光ビームを上記第１の方向と直交する第２の
   方向へ変化させるように上記反射面の角度を調整する調
   整機構をそれぞれ有する複数の光学手段と、 上記各光学手段を上記第２の方向に延びたそれぞれの回
   転軸を中心に回転させて、上記収束位置へ収束される光
   ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化させる複数の調
   整手段と、 を備えていることを特徴とする光学装置。
5. 【請求項５】 複数の光源と、 上記各光源から射出された光を所定の収束位置に向けて
   それぞれ収束させる複数の収束手段と、 上記各収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記各収束手段にて収束された複数の光ビームを同
   時にまとめて上記収束位置で第１の方向に走査する走査
   手段と、 上記各収束手段から上記走査手段へ向うそれぞれの光路
   上に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビームを
   上記走査手段へ反射する反射面、および上記収束位置へ
   収束される光ビームを上記第１の方向と直交する第２の
   方向へ変化させるように上記反射面の角度を調整する調
   整機構をそれぞれ有する複数の光学手段と、 上記各光学手段を上記第２の方向に延びたそれぞれの回
   転軸を中心に回転させて、上記収束位置へ収束される光
   ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化させる複数の調
   整手段と、を備え、 上記各調整手段の回転軸は、それぞれの収束手段にて収
   束された光ビームが上記収束位置で少なくとも所定値以
   下のビーム径を形成する程度に、上記光学手段の反射面
   に近接されていることを特徴とする光学装置。
6. 【請求項６】 複数の光源と、 上記各光源から射出された光を所定の収束位置に向けて
   それぞれ収束させる複数の収束手段と、 上記各収束手段から上記収束位置へ向う光路上に設けら
   れ、上記各収束手段にて収束された複数の光ビームを同
   時にまとめて上記収束位置で第１の方向に走査する走査
   手段と、 上記各収束手段から上記走査手段へ向うそれぞれの光路
   上に設けられ、上記収束手段にて収束された光ビームを
   上記走査手段へ反射する反射面、および上記収束位置へ
   収束される光ビームを上記第１の方向と直交する第２の
   方向へ変化させるように上記反射面の角度を調整する調
   整機構をそれぞれ有する複数の光学手段と、 上記各光学手段を上記第２の方向に延びたそれぞれの回
   転軸を中心に回転させて、上記収束位置へ収束される光
   ビームを上記第１の方向へそれぞれ変化させる複数の調
   整手段と、を備え、 上記各調整手段の回転軸は、それぞれの光学手段の反射
   面上を通るように設けられていることを特徴とする光学
   装置。
7. 【請求項７】 光源から射出された光を収束手段を通し
   て所定の収束位置に向けて収束し、収束した光ビームを
   角度調整可能な反射面を備えた光学手段を介して反射
   し、反射した光ビームを走査手段によって上記収束位置
   で第１の方向に走査する光学装置の調整方法であって、 上記反射面の角度を調整して、上記収束位置へ収束され
   る光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変
   化させる第１の調整工程と、 上記収束手段にて収束された光ビームが上記収束位置で
   少なくとも所定値以下のビーム径を形成する程度に上記
   反射面に近接され、且つ上記第２の方向に延びた回転軸
   を中心に、上記光学手段を回転させて、上記収束位置へ
   収束される光ビームを上記第１の方向へ変化させる第２
   の調整工程と、 を有することを特徴とする調整方法。
8. 【請求項８】 光源から射出された光を収束手段を通し
   て所定の収束位置に向けて収束し、収束した光ビームを
   角度調整可能な反射面を備えた光学手段を介して反射
   し、反射した光ビームを走査手段によって上記収束位置
   で第１の方向に走査する光学装置の調整方法であって、 上記反射面の角度を調整して、上記収束位置へ収束され
   る光ビームを上記第１の方向と直交する第２の方向へ変
   化させる第１の調整工程と、 上記反射面に沿って上記第２の方向に延び、かつ上記反
   射面上を通る回転軸を中心に、上記光学手段を回転させ
   て、上記収束位置へ収束される光ビームを上記第１の方
   向へ変化させる第２の調整工程と、 を有することを特徴とする調整方法。