JPH11214018A - ゾルゲル法によるZrO2系固体電解質膜の低温作製法 - Google Patents

ゾルゲル法によるZrO2系固体電解質膜の低温作製法

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JPH11214018A
JPH11214018A JP10023768A JP2376898A JPH11214018A JP H11214018 A JPH11214018 A JP H11214018A JP 10023768 A JP10023768 A JP 10023768A JP 2376898 A JP2376898 A JP 2376898A JP H11214018 A JPH11214018 A JP H11214018A
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solid electrolyte
gel
electrolyte membrane
temperature
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Application number
JP10023768A
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English (en)
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Reiichi Chiba
玲一 千葉
Bunichi Yoshimura
文一 吉村
Junichi Yamaki
準一 山木
Masa Yonezawa
政 米沢
Keiko Endo
恵子 遠藤
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Mitsubishi Materials Corp
NTT Inc
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
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    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Fuel Cell (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ZrO2系薄膜固体電解質を比較的製造コス
トの低いゾルゲル法により作製し、その製造プロセス温
度を低く抑えつつ良好な伝導度特性を有する固体電解質
膜を得る事を目的とする。 【解決手段】 主成分元素のZrおよび主添加物元素D
1としてY、Yb、Luのいずれかを含み、かつ、第二
添加物元素D2としてAl、Mg、Siのいずれかを含
むゾルゲル液を用意し、このゾルゲル液を多孔質の電極
基板の上に塗布し、これを電気炉等の中で熱処理するこ
とを特徴とする。 【効果】 比較的低い温度でもイオン伝導性に優れた電
解質を低温で、かつ簡便に薄膜化できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はゾルゲル法によるZrO
2系固体電解質膜の低温作製法に関するものである。
【0002】
【従来の技術および問題点】近年、酸素イオン伝導体を
用いた固体電解質燃料電池に関心が高まりつつある。特
にエネルギーの有効利用という観点から、固体燃料電池
はカルノー効率の制約を受けないため本質的に高いエネ
ルギー変換効率を有し、さらに良好な環境保全が期待さ
れるなどの優れた特長を持っている。
【0003】現在最も良く検討されている酸素イオン導
伝体にY23安定化ZrO2(YSZ)がある。このZ
rO2系材料は酸化・還元雰囲気でイオン輸率がほぼ
1.0であるため、固体電解質燃料電池の電解質として
従来最も有望視されてきた。しかし、十分なイオン伝導
度を得るには1000℃の高温動作が必要であり、この
ような高温では電極界面との反応による部品寿命の劣化
が激しく固体燃料電池の実用化が遅れているのが現状で
ある。そこで動作温度低減(700℃から800℃程度
まで低減)が望まれている。低温動作化には、電解質部
分における抵抗損を低減させなければならないので電解
質の薄膜化が必要である。
【0004】薄膜化の方法としては、気相成長法の一種
であるEVD(Electrochemical Va
por Deposition)法が最も良く検討され
ているが、装置が複雑であり製造コストの高い点及び精
密な組成制御が難しいなどの難点がある。これに対しゾ
ルゲル法は、ゾルゲル液を基板等に塗布し熱処理を行う
事により比較的容易に膜を形成することができる。この
最後の熱処理過程においてアモルファス状態の超微粒子
が凝集し結晶化し、緻密な膜が形成されるが、この熱処
理温度をなるべく低く抑える事で、製造コストの低減を
図ることができる。また、この過程で電解質膜とこれに
接する多孔質基板である空気極との原子の相互拡散によ
る反応劣化も同時に起こるため、この意味からも熱処理
温度の低減が望まれる。
【0005】
【本発明の目的】本発明は低温動作型固体燃料電池に使
用する固体電解質において、ZrO2系薄膜固体電解質
を比較的製造コストの低いゾルゲル法により作製し、そ
の製造プロセス温度を低く抑えつつ良好な伝導度特性を
有する固体電解質膜を得る事を目的とする。
【0006】
【問題点を解決するための手段】上記問題点を解決する
ため本発明によるZrO2系薄膜固体電解質の製造方法
は、主成分元素のZrおよび主添加物元素D1として
Y、Yb、Luのいずれかを含み、かつ、第二添加物元
素D2としてAl、Mg、Siのいずれかを含むゾルゲ
ル液を用意し、このゾルゲル液を多孔質の電極基板の上
に塗布し、これを電気炉等の中で熱処理することを特徴
とする。
【0007】熱処理の過程でゾルゲル液内の有機物は分
解蒸発し、原子レベルで混じりあった状態で残されてい
る金属塩が反応し、電解質膜が得られる。ここで、ゾル
ゲル液の金属イオンは、主成分元素であるZr、及びイ
オン伝導性を発現させる主添加物元素であるY,Yb,
Lu希土類元素、そして第二添加物元素であるAl,M
g,Si軽元素からなっている。
【0008】本発明のごとく第二添加物元素Al,M
g,Siを微量添加する事により低い焼結温度において
も、充分に粒成長が進み緻密で且つ良好なイオン伝導度
を実現する事ができる。また、第二添加物の量は主添加
物に対し半分以下と低く抑えるため第二添加物による結
晶格子の歪みはほとんど起きず、イオン伝導性を損なう
には至らない。
【0009】本発明によるゾルゲル法によるZrO2
固体電解質膜の前述のゾルゲル液の組成は、図1に示す
範囲であるのが好ましい。主添加元素D1をX、第二添
加元素をYとしたとき(Zrは1−X−Y)、0.04
≦X、0.004≦Y、X≦0.5Y、X+Y≦0.3
04であるのがよい。
【0010】また、この方法によれば、ゾルゲル液の塗
布厚を調整する事により最終的なゾルゲル膜の厚みを
0.1μmから100μmまで制御することができる。
ここでゾルゲル液の塗布にはスピンコート法、スクリー
ンプリント法、、スプレー法、ディッピング法等を用い
れば良い。ここで、多孔質基板の上にこの様な薄膜を形
成するには、表面の平坦化(緻密化)が必要であるが、
これには多孔質基板上に微細な電極材を塗布し焼き固め
た後に表面を研磨する、または比較的イオン伝導度の高
いGd23添加CeO2等の混合導電体層を形成し焼
結、緻密化すれば達成できる。
【0011】
【作用】もし、低温のプロセスでもZrO2系電解質を
薄膜化し、良好な伝導度特性を実現することができれ
ば、低い製造コストで発電効率およぴ信頼性の高い低温
動作化に適した燃料電池用固体電解質を作製する事が可
能となる。
【0012】上述の組成の膜とする事で製膜温度を低減
させることができる。これにより、低温のプロセスでも
発電効率が高く低温動作化に適した電解質を作製するこ
とが可能となる。
【0013】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。なお、当
然のことであるが本発明は以下の実施例に限定されるも
のではない。
【0014】
【実施例1】図2aは本発明の材料を用いゾルゲル法に
より電解質膜をAl23板の上に製膜するプロセスを示
したものである。このフローに従いゾルゲル膜組成がZ
0. 76Yb0.20Al0.042の場合を以下に説明する。
【0015】図2aに示すように、2−メトキシエタノ
ール29.4g中にアルミニウムイソプロキシド(Al
−(OPr’)3)1.14gおよび2,4−ペンタジ
オン20.8gを加え、超音波にかけた後、120℃で
温めて溶解させ、約0.3%のアルミニウム溶液を調整
した。これに硝酸イットリビウム・4水和物14.2
g、ジルコニウムノルマルブトキシド(Zr−Obu)
4)(Zr:19.99%)22.56gを加え、再び
超音波にかけ溶解させ、最後に溶液中の酸化物換算濃度
が7.2%になるように2−メトキシエタノール22.
55g添加し、薄膜ゾルゲル液を調整した。これは、主
添加元素をYbとした場合であるが、主添加元素がLu
またはYの場合も硝酸イットリビウム・4水和物に替え
て、硝酸ルテシウム・4水和物、または、硝酸イットリ
ウム・4水和物を使用する。また第二添加元素として、
アルミに替えてマグネシウムまたはシリコンを用いる場
合は、マグネシウムイソプロキシド(Mg−(OP
r’))、またはシリコンイソプロキシド(Si−OP
r’)4)を使用する。
【0016】以上の様に調合した液を図2bに示す手順
でスピンコートする事でAl23基板に塗布を行った。
図で示すように、スピンコート後400℃の電気炉で1
0分間乾燥させた。この行程を所望の膜厚が得られるま
で繰り返し、最後に電気炉で1200℃、1時間の熱処
理を行い結晶化したゾルゲル膜を得た。ここで金属元素
の組成比は、Zr:Yb:Al=0.76:0.20:
0.04であるが、他の組成も混合比を調整することで
得られた。
【0017】これらの薄膜電解質材のイオン伝導度を直
流4端子法により800℃において測定した。ここでは
熱処理温度を800℃から1200℃まで変化させた。
ここで、試料は、約4cm×2cmで、10-7Aの電流
を基板の面内方向に流し、発生した電圧から伝導度を求
めた。これらの測定結果を表1に示す。
【0018】この表には、固相反応法により1600℃
で作製したバルクサンプル(サンプルNo.1−0,試
料は0.2cm角で長さ3cmとした)も、あわせて示
した。第二添加物を微量添加する事により、1100℃
での熱処理でも、ほぼバルク材に匹敵するイオン伝導度
が得られた。その他の組成についても熱処理温度を11
00℃に固定し、サンプルの伝導度を同様に800℃に
おいて測定した。これらの結果を表2−1,表2−2,
表2−3に示す。主添加元素としてYb,Lu,Yそし
て、第二添加元素としてAl,Mg,Siを微量添加し
た。
【0019】いずれも、主添加元素が同一量添加されて
いる場合は、第二添加により伝導度が向上した。
【0020】次に、以下の要領でこの薄膜を多孔質電極
基板上に製膜し単セルを作製した。まず、粒径が20μ
mのLa0.8Sr0.2MnO3カソード材をPVA(ポリ
ビニルアルコール)水溶液で溶き、ドクターブレード法
によりシート状に成形し、1400℃で焼成し、比較的
緻密な厚み約100μmの表面層を得た 。そして表面
を研磨する事で多孔質で且つ表面の平坦性の良い空気極
基板1(カソード電極)を得た。
【0021】この上にスピンコート法でゾルゲル液を数
回にわたり塗布し、1100℃で2時間熱処理し、厚み
約5μmの固体電解質層が得られた。このプロセスによ
り再結晶化が進み固体電解質薄膜2が多孔質空気極基板
1上に形成された。最後に白金ペーストを電解質膜上に
塗布し、1000℃で1時間焼成して燃料極3とした。
さらに上記燃料極3および空起電極基板1に白金の集電
用メッシュ4を設けた。この単セルの模式図を図3a、
図3bに示す。
【0022】このセルを用い図4に示す様な燃料電池を
構成し、800℃において試験を行った。なお、図中、
5は白金端子、6はガスシールを示す。ここで空気極側
には酸素を燃料極側には水素を供給した。この時の出力
電圧を表3に示す。ここで、“セル番号0“はCe0.8
Sm0.22をスクリーンプリント法を用いて、上述の多
孔質空気極基板上に塗布し、電解質とし、セルを作製し
たものの結果である。
【0023】いずれの電解質薄膜の場合においても1.
10Vに近い開放電圧値が得られた。これらの値は、ネ
ルンストの式[V=(RT/nF)・ln(Po2 ca
thode/Po2 anode)、T:絶対温度、R:
ガス定数、n:4.0、F:ファラデー定数、Po2
athode:空気極の酸素分圧、Po2 anode:
燃料極の酸素分圧]から決定される理論起電力値(1.
15eV at 800℃)とほぼ同じ値であり、ゾル
ゲル法により、多孔質カソード基板上に形成された電解
質薄膜は、イオン輸率がほぼ1.0で且つガスシール性
に優れている事が分かる。
【0024】表1 実施例1における800℃におけるゾルゲル膜のイオン
伝導度組成比は各金属イオンのモル比で示してある。サ
ンプルNo.1−0は、固相反応法により1600℃で
作製したバルクサンプルである。
【0025】(ここで用いた膜の組成比は「Al添加な
し」ではZr:Yb:Al=0.80:0.20:0.
00で、「Al添加」ではZr:Yb:Al=0.7
6:0.20:0.04である。)
【0026】表2−1実施例1における800℃におけ
るゾルゲル膜のイオン伝導度組成比は各金属イオンのモ
ル比で示してある。(第二添加物としてAlを用いた場合) No. Zr(mol) Yb(mol) Al(mol) σ(S/cm) 1-1-1 0.960 0.040 0.000 0.0030 1-1-2 0.956 0.040 0.004 0.0074 1-1-3 0.940 0.040 0.020 0.0120 1-1-4 0.800 0.200 0.000 0.0100 1-1-5 0.796 0.200 0.004 0.0248 1-1-6 0.750 0.200 0.050 0.0500 1-1-7 0.696 0.200 0.104 0.0300 1-1-8 0.700 0.300 0.000 0.0080 1-1-9 0.696 0.300 0.004 0.0198 No. Zr(mol) Lu(mol) Al(mol) σ(S/cm) 1-2-1 0.960 0.040 0.000 0.0029 1-2-2 0.956 0.040 0.004 0.0071 1-2-3 0.940 0.040 0.020 0.0114 1-2-4 0.800 0.200 0.000 0.0095 1-2-5 0.796 0.200 0.004 0.0236 1-2-6 0.750 0.200 0.050 0.0475 1-2-7 0.696 0.200 0.104 0.0285 1-2-8 0.700 0.300 0.000 0.0076 1-2-9 0.696 0.300 0.004 0.0188
【0027】表2−1続き No. Zr(mol) Y(mol) Al(mol) σ(S/cm) 1-3-1 0.960 0.040 0.000 0.0015 1-3-2 0.956 0.040 0.004 0.0037 1-3-3 0.940 0.040 0.020 0.0060 1-3-4 0.800 0.200 0.000 0.0050 1-3-5 0.796 0.200 0.004 0.0124 1-3-6 0.750 0.200 0.050 0.0250 1-3-7 0.696 0.200 0.104 0.0150 1-3-8 0.700 0.300 0.000 0.0040 1-3-9 0.696 0.300 0.004 0.0099
【0028】表2−2 実施例1における800℃におけるゾルゲル膜のイオン
伝導度組成比は各金属イオンのモル比で示してある。(第二添加物としてMgを用いた場合) No. Zr(mol) Yb(mol) Mg(mol) σ(S/cm) 2-1-1 0.960 0.040 0.000 0.0030 2-1-2 0.956 0.040 0.004 0.0067 2-1-3 0.940 0.040 0.020 0.0108 2-1-4 0.800 0.200 0.000 0.0100 2-1-5 0.796 0.200 0.004 0.0223 2-1-6 0.750 0.200 0.050 0.0450 2-1-7 0.696 0.200 0.104 0.0270 2-1-8 0.700 0.300 0.000 0.0080 2-1-9 0.696 0.300 0.004 0.0179
【0029】表2−2続き No. Zr(mol) Lu(mol) Mg(mol) σ(S/cm) 2-2-1 0.960 0.040 0.000 0.0029 2-2-2 0.956 0.040 0.004 0.0064 2-2-3 0.940 0.040 0.020 0.0103 2-2-4 0.800 0.200 0.000 0.0095 2-2-5 0.796 0.200 0.004 0.0212 2-2-6 0.750 0.200 0.050 0.0428 2-2-7 0.696 0.200 0.104 0.0257 2-2-8 0.700 0.300 0.000 0.0086 2-2-9 0.696 0.300 0.004 0.0170 No. Zr(mol) Y(mol) Mg(mol) σ(S/cm) 2-3-1 0.960 0.040 0.000 0.0015 2-3-2 0.956 0.040 0.004 0.0033 2-3-3 0.940 0.040 0.020 0.0054 2-3-4 0.800 0.200 0.000 0.0050 2-3-5 0.796 0.200 0.004 0.0112 2-3-6 0.750 0.200 0.050 0.0225 2-3-7 0.696 0.200 0.104 0.0135 2-3-8 0.700 0.300 0.000 0.0040 2-3-9 0.696 0.300 0.004 0.0089
【0030】表2−3 実施例1における800℃におけるゾルゲル膜のイオン
伝導度組成比は各金属イオンのモル比で示してある。(第二添加物としてSiを用いた場合) No. Zr(mol) Yb(mol) Si(mol) σ(S/cm) 3-1-1 0.960 0.040 0.000 0.0030 3-1-2 0.956 0.040 0.004 0.0063 3-1-3 0.940 0.040 0.020 0.0102 3-1-4 0.800 0.200 0.000 0.0100 3-1-5 0.796 0.200 0.004 0.0211 3-1-6 0.750 0.200 0.050 0.0425 3-1-7 0.696 0.200 0.104 0.0255 3-1-8 0.700 0.300 0.000 0.0080 3-1-9 0.696 0.300 0.004 0.0169 No. Zr(mol) Lu(mol) Si(mol) σ(S/cm) 3-2-1 0.960 0.040 0.000 0.0029 3-2-2 0.956 0.040 0.004 0.0060 3-2-3 0.940 0.040 0.020 0.0097 3-2-4 0.800 0.200 0.000 0.0095 3-2-5 0.796 0.200 0.004 0.0200 3-2-6 0.750 0.200 0.050 0.0404 3-2-7 0.696 0.200 0.104 0.0242 3-2-8 0.700 0.300 0.000 0.0076 3-2-9 0.696 0.300 0.004 0.0160
【0031】表2−3続き No. Zr(mol) Y(mol) Si(mol) σ(S/cm) 3-3-1 0.960 0.040 0.000 0.0015 3-3-2 0.956 0.040 0.004 0.0032 3-3-3 0.940 0.040 0.020 0.0051 3-3-4 0.800 0.200 0.000 0.0050 3-3-5 0.796 0.200 0.004 0.0105 3-3-6 0.750 0.200 0.050 0.0213 3-3-7 0.696 0.200 0.104 0.0128 3-3-8 0.700 0.300 0.000 0.0040 3-3-9 0.696 0.300 0.004 0.0084
【0032】 表3 実施例1の燃料電池セルの出力電圧特性ゾルゲル膜の塗布はスピンコート法とした。 セル番号 Zr(mol) Yb(mol) Al(mol) *開放電圧(V) **出力電圧(V) *0 0.000 0.000 0.000 0.75 0.60 0-1 0.960 Yb=0.040 Al=0.000 1.05 0.50 1-1-2 0.956 Yb=0.040 Al=0.004 1.11 0.74 1-1-3 0.940 Yb=0.040 Al=0.020 1.12 0.73 1-1-4 0.800 Yb=0.200 0.000 1.08 0.52 1-1-5 0.796 Yb=0.200 Al=0.004 1.10 0.73 1-1-6 0.750 Yb=0.200 Al=0.050 1.12 0.75 1-1-7 0.696 Yb=0.200 Al=0.104 1.14 0.74 1-1-8 0.750 Yb=0.200 Mg=0.050 1.10 0.71 1-1-9 0.750 Yb=0.200 Si=0.050 1.11 0.68 0-10 0.700 Yb=0.300 0.000 1.08 0.48 1-1-11 0.696 Yb=0.300 Al=0.004 1.11 0.61 0-10 0.800 Lu=0.200 0.000 1.07 0.51 1-1-11 0.750 Lu=0.200 Al=0.050 1.10 0.73 1-1-12 0.750 Lu=0.200 Mg=0.050 1.10 0.68 1-1-13 0.750 Lu=0.200 Si=0.050 1.10 0.65 0-14 0.800 Y=0.200 0.000 1.09 0.42 1-1-15 0.750 Y=0.200 Al=0.050 1.15 0.65 1-1-16 0.750 Y=0.200 Mg=0.050 1.12 0.60 1-1-17 0.750 Y=0.200 Si=0.050 1.12 0.59 *800℃におけるセルの開放電圧。 **800℃、電流密度0.5A/cm2におけるセルの出力電圧。
【0033】
【実施例2】実施例1と同様の組成のゾルゲル液を、厚
み約0.15mmのセリア基板(固体電解質基板)7
(組成が0.80CeO2−0.20Gd23)1上に
スプレー法により塗布した。塗布の手順は図2bのスピ
ンコートの代わりにスプレーを行う。その他熱処理等の
条件は同じである。1100℃で2時間熱処理を行い再
結晶化させ、厚み約1μmの固体電解質薄膜(ゾルゲル
膜)8を得た。
【0034】次に固体電解質薄膜8と反対側に実施例1
と同じ組成で平均粒径が1.0μmのLa0.8Sr0.2
nO3を1100℃で焼き付けて空気極10を設け、さ
らに前記固体電解質薄膜8に白金ペースを1000℃で
焼き付け燃科極9とし、単セルとした。なお11はリフ
ァレンス極(Ptペースト)であり、4は集電用Ptメ
ッシュ(16mmφ)である。この単セルの模式図を図
5a、図5bに示す。
【0035】このセルを実施例1と同様の構成で燃料電
池とし、800℃においてその起電力を測定した。この
結果を表4に示す。ここで薄膜電解質を設けないセリア
基板のみのセルについても測定を行った。セリア基板は
高いイオン伝導性を有しているがイオン輸率が1.0以
下のため理論起電力が得られない。これに対し、ゾルゲ
ル法により設けたZrO2系の電解質薄膜を持つセルは
ほぼ理論起電力に達している。これは、イオン輸率が
1.0である本発明の電解質薄膜が固体電解質として機
能している事を示している。
【0036】 表4 実施例2の燃料電池セルの出力電圧特性 ゾルゲル膜塗布法 *酸素イオン伝導度 **開放電圧 ***出力電圧 (S/cm) (V) (V) ゾルゲル膜なし − 0.75 0.44 スピンコート 0.050 1.12 0.50 ディッピング 0.053 1.12 0.52 スプレー 0.040 1.10 0.40 スクリーンプリント 0.048 1.09 0.42 *800℃におけるイオン伝導度 **800℃におけるセルの開放電圧。 ***800℃、電流密度0.5A/cm2におけるセルの出力電圧。
【0037】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄膜製造
法は、比較的低い温度でもイオン伝導性に優れた電解質
を低温で、かつ簡便に薄膜化できる製造法である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の請求範囲においてゾルゲル液の添加金
属の組成比を示す図。
【図2a】ゾルゲル法におけるゾルゲル液調整のプロセ
スの流れ図。
【図2b】ゾルゲル法における塗布プロセスの流れ図。
【図3a】実施例1で使用した単セルの断面図。
【図3b】実施例1で使用した単セルの平面図。
【図4】実施例1で使用した燃料電池の構造図。
【図5a】実施例2で使用した単セルの断面図。
【図5b】実施例2で使用した単セルの平面図。
【符号の説明】
1 空気極基板 2 固体電解質薄膜 3 燃料極 4 Pt集電用メッシュ 5 白金端子 6 ガスシール 7 固体電解質基板 8 固体電解質薄膜 9 燃料極 10 空気極 11 リファレンス極
フロントページの続き (72)発明者 山木 準一 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 米沢 政 埼玉県大宮市北袋町1−297 三菱マテリ アル株式会社総合研究所内 (72)発明者 遠藤 恵子 埼玉県大宮市北袋町1−297 三菱マテリ アル株式会社総合研究所内

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】主成分元素のZrおよび主添加物元素D1
    としてY、Yb、Luのいずれかを含み、かつ、第二添
    加物元素D2としてAl、Mg、Siのいずれかを含む
    ゾルゲル液を用意し、このゾルゲル液を多孔質の電極基
    板の上に塗布することを特徴とするゾルゲル法によるZ
    rO2系固体電解質膜の低温作製法。
  2. 【請求項2】請求項1記載のゾルゲル法によるZrO2
    系固体電解質膜の低温作製法において、ZrとD1とD
    2の組成比が1−X−Y:X:Y(ただし、0.04≦
    X、0.004≦Y、X≦0.5Y、X+Y≦0.30
    4)であることを特徴とするゾルゲル法によるZrO2
    系固体電解質膜の低温作製法。
  3. 【請求項3】熱処理により再結晶化して電解質膜を形成
    する工程を含むことを特徴とする、請求項1または2記
    載のゾルゲル法によるZrO2系固体電解質膜の低温作
    製法。
  4. 【請求項4】イオン導電体または混合導電体または多孔
    質の電子伝導体を基板として用いることを特徴とする請
    求項1から3記載のいずれかのゾルゲル法によるZrO
    2系固体電解質膜の低温作製法。
  5. 【請求項5】塗布方法としてスピンコート法、スクリー
    ンプリント法、スプレー法またはディッピング法を用い
    ることを特徴とする請求項1から4記載のいずれかのゾ
    ルゲル法によるZrO2系固体電解質膜の低温作製法。
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