JPH11214484A - 基板検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の検出を確実に、かつ基板格納用カセッ
トの態様に限られることなく行う。 【解決手段】 基板２２の格納部４６を有するカセット
４３に対応して基板検出用のセンサ５０が配置される基
板検出装置において、センサ５０に、格納部４６内の基
板２２に接近したときに基板２２を検出可能な近接セン
サを用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カセット内に格納
された基板を検出する基板検出装置に関し、例えば、半
導体素子製造装置工程において、露光装置で露光される
基板を格納するカセットに対して、ローダ系により該基
板を搬出および搬入する際に用いて好適な基板検出装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体素子を製造するためのフ
ォトリソグラフィ工程で使用されている露光装置では、
フォトマスクまたはレチクルのパターンを効率的に１ロ
ットのウエハ上に露光するために、ウエハの搬入および
搬出を行うためのウエハローダ系が備えられている。さ
らに、上記露光装置には、多数のレチクルを選択して露
光装置に設定するためのレチクルローダ系も備えられて
いる。

【０００３】この種のローダ系は、ウエハが格納された
ウエハカセットからロボットアーム等によりウエハを一
枚毎取り出して、ウエハステージ上に搬送すると共に、
そのウエハステージからウエハカセットへ搬入するもの
である。

【０００４】従来、このウエハカセットには、ウエハが
上下方向に複数並列状態に格納されると共に、この並列
状態のウエハに向かう一面およびこの一面に対向する対
向面が開口しているものが使用されている。そして、ウ
エハカセット外の上記一面および対向面近傍には、ウエ
ハカセット内に格納されたウエハ検出用のセンサを備え
る検出装置が設けられている。

【０００５】この種のセンサとしては、発光体が発した
光を受光体が受光するかしないかによって、これらの間
の検出対象物の有無を検出する光透過型のものが多く使
用されている。

【０００６】そして、ロボットがウエハカセットからウ
エハを搬出する際には、ウエハがウエハカセット内の所
定位置に格納されているかを上記センサによって検出し
ている。また、ウエハをウエハカセットに搬入する際に
も、搬入すべき所定位置にウエハが格納されていないこ
とを上記センサによって検出している。そして、このウ
エハカセットが、上記センサに対して上下方向に移動す
ることにより、ウエハカセット内に上下方向に並列状態
に格納されたウエハをセンサが順次検出している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の検出装置には、以下のような問題が存在
する。センサの受光体は、受光した光が発光体が発した
ものでなくても所定通り受光したと検知するため、例え
ば、露光装置内で発光された別の光を発光体から発せら
れた光として検知してしまうことがある。

【０００８】この場合、センサは、ウエハを格納すべき
所定位置に既に他のウエハが格納されているにもかかわ
らず、この位置にウエハが格納されていないという検出
結果を出力することになる。その結果、ウエハのウエハ
カセットへの搬入時に、高価なウエハおよび場合によっ
てはロボットも破損してしまう可能性があった。

【０００９】一方、近年のウエハの大口径化（例えば、
直径１２インチ）が進むことに伴い、このウエハに対応
するウエハカセットも種々開発され提供されている。こ
の種のウエハカセットとしては、ウエハを密閉状態に格
納すると共に、上記一面に開閉自在な蓋体を設けた、い
わゆるミニインバイロメント型ウエハカセットが提供さ
れている。

【００１０】このミニインバイロメント型ウエハカセッ
トでは、ウエハの搬入・搬出時以外は蓋体を閉じている
ので、カセット内に侵入する塵埃を大幅に低減すること
ができる。

【００１１】ところが、このミニインバイロメント型ウ
エハカセットは、蓋体と対向する対向面が外部に開口し
ていないので、上記従来の光透過型のセンサを使用する
ことができなかった。そのため、ミニインバイロメント
型ウエハカセットに格納されたウエハであっても検出可
能な検出装置が求められていた。

【００１２】本発明は、以上のような点を考慮してなさ
れたもので、ウエハ等の基板の検出が確実に行えると共
に、基板を格納するカセットの態様に限られることなく
基板の検出が可能な検出装置を提供することを目的とす
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、実施の形態を示す図１ないし図６に対応
付けした以下の構成を採用している。請求項１記載の基
板検出装置は、基板（２２）の格納部（４６）を有する
カセット（４３）に対応して基板検出用のセンサ（５
０）が配置される基板検出装置において、センサ（５
０）に、格納部（４６）内の基板（２２）に接近したと
きに当該基板（２２）を検出可能な近接センサを用いた
ものである。

【００１４】従って、本発明の基板検出装置では、近接
センサ（５０）が格納部（４６）に接近したときに格納
部（４６）内の基板（２２）を検出することができる。

【００１５】請求項２記載の基板検出装置は、請求項１
記載の基板検出装置において、センサ（５０）が格納部
（４６）に対して接近・離間可能に支持されるものであ
る。

【００１６】従って、本発明の基板検出装置では、セン
サ（５０）が格納部（４６）に対して接近したときに、
格納部（４６）内の基板（２２）を検出することができ
る。また、この基板検出装置では、センサ（５０）が格
納部（４６）に対して離間したときに、カセット（４
６）の格納部（４６）から基板（２２）を搬出・搬入す
ることができる。

【００１７】請求項３記載の基板検出装置は、請求項１
または２記載の基板検出装置において、センサ（５０）
が格納部（４６）に格納された一枚の基板（２２）に対
し、基板周縁部の離間した二点を検出可能とする一対の
センサ（５０，５０）からなるものである。

【００１８】従って、本発明の基板検出装置では、一対
のセンサ（５０，５０）が格納部（４６）に接近したと
きに格納部（４６）内の基板（２２）を検出することが
できる。このとき、一枚の基板（２２）の周縁部のう
ち、その一部が所定位置に格納されていない場合は、一
対のセンサ（５０，５０）の一方が基板（２２）を検出
して、他方が基板（２２）を検出しない。

【００１９】請求項４記載の基板検出装置は、請求項１
から３のいずれかに記載の基板検出装置において、カセ
ット（４３）が格納部（４６）に対して基板（２２）の
出し入れを行う開口部（４８）を備えたカセット本体
（４４）と、開口部（４８）を開閉自在とする蓋体（４
７）とを備えるものである。

【００２０】従って、本発明の基板検出装置では、蓋体
（４７）がカセット本体（４４）の開口部（４８）を開
いたときに、近接センサ（５０）が格納部（４６）に接
近した状態で格納部（４６）内の基板（２２）を検出す
ることができる。

【００２１】請求項５記載の基板検出装置は、請求項１
から４のいずれかに記載の基板検出装置において、カセ
ット（４３）に、複数の基板（２２）を間隔をあけて並
列状態に保持する保持部（４５）を設け、センサ（５
０）が保持部（４５）に保持された複数の基板（２２）
の各周縁部に対応した複数のセンサ（５０）からなるも
のである。

【００２２】従って、本発明の基板検出装置では、複数
のセンサ（５０）が保持部（４５）に接近したときに、
各センサ（５０）に対応する保持部（４５）に保持され
た基板（２２）の周縁部を検出することができる。

【００２３】請求項６記載の基板検出装置は、請求項１
から４のいずれかに記載の基板搬送装置において、カセ
ット（４３）に、複数の基板（２２）を間隔をあけて並
列状態に保持する保持部（４５）を設け、カセット（４
３）またはセンサ（５０）の少なくとも一方に、センサ
（５０）が格納部（４６）に接近した状態で保持部（４
５）に保持された複数の基板（２２）それぞれと対応す
るように、一方を他方に対して順次相対移動させる駆動
機構（５５、５６）を設けたものである。

【００２４】従って、本発明の基板検出装置では、セン
サ（５０）が格納部（４６）に接近したときに格納部
（４６）内の基板（２２）を検出することができる。そ
して、この基板検出装置では、駆動機構（５５，５６）
によりカセット（４３）またはセンサ（５０）の少なく
とも一方が他方に対して相対移動する。そのため、セン
サ（５０）は、格納部（４６）に接近した状態で保持部
（４５）に保持された複数の基板（２２）それぞれと対
応するので、上記相対移動により複数の基板（２２）を
順次検出することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の基板検出装置の第
１の実施の形態を、図１ないし図４を参照して説明す
る。ここでは、例えば、露光装置内にカセットが配設さ
れると共に、カセット内にウエハが格納される場合の例
を用いて説明する。

【００２６】図３は、露光装置の平面断面図であり、図
４は、図３におけるＡ−Ａ線視断面図であり、これらの
図において、符号１は露光装置である。

【００２７】露光装置１は、互いに独立する独立チャン
バ６，７，８を順次並べた構成とされている。図４に示
すように、独立チャンバ８は、仕切板９によって下部チ
ャンバ８Ａと上部チャンバ８Ｂとに分離されている。

【００２８】独立チャンバ６内には、空調装置１０が設
置されている。この空調装置１０の内部には空気を温度
調整する空調ユニット（図示せず）が配設されている。
また、空調装置１０は、空調ユニットで温度調整された
空気を独立チャンバ７の天井に設置された塵除去用のフ
ィルタ１１を介して該独立チャンバ７内へダウンフロー
させると共に、独立チャンバ７の床に設置されたリター
ン１２から空調ユニットに戻す機能を有している。

【００２９】さらに、空調装置１０は、下部チャンバ８
Ａ、上部チャンバ８Ｂにおいても、それぞれの天井に設
置されたフィルタ１３，１４を介して各チャンバ８Ａ、
８Ｂ内へダウンフローさせると共に、各チャンバ８Ａ、
８Ｂの床に設置されたリターン１５、１６から空調ユニ
ットに戻す機能を有している。

【００３０】一方、独立チャンバ７内には、露光装置本
体１７が設置されている。露光装置本体１７は、防振台
２０とウエハステージ２１とコラム２３と投影光学系２
４とレチクルホルダ（図示せず）と照明系（図示せず）
とから概略構成されている。

【００３１】防振台２０は、独立チャンバ７の床上に防
振パッド１８，１９を介して設置されるものである。ウ
エハステージ２１は、防振台２０上に設置され露光時に
フォトレジストが塗布されたウエハ（基板）２２をロー
ドするものである。

【００３２】コラム２３は、防振台２０上に立設される
ものである。投影光学系２４は、コラム２３の中段に固
定されるものである。レチクルホルダは、コラム２３の
上端部に設けられ、レチクル２５が載置されるものであ
る。

【００３３】図３に示すように、ウエハステージ２１
は、ベース２６、Ｙステージ２７、Ｘステージ２８、お
よびウエハホルダ２９等から構成されている。ウエハホ
ルダ２９上には、露光対象であるウエハ２２が真空吸着
により保持されている。

【００３４】ウエハ２２の外周には、ノッチと呼ばれる
切り欠き部が形成されている。ウエハ２２は、この切り
欠き部が所定の方向に向くように、且つウエハ２２の中
心がウエハホルダ２９に対して所定の位置関係になるよ
うに、ウエハホルダ２９上にウエハローダ系３０によっ
てロードされる設定になっている。

【００３５】ウエハローダ系３０は、独立チャンバ８の
下部チャンバ８Ａ内に設置されている。このウエハロー
ダ系３０は、Ｘ方向に延在する横スライダ本体３１およ
びＹ方向に延在する縦スライダ本体３２によりガイド部
が構成されている。横スライダ本体３１上には、Ｘ方向
に摺動自在なロボットハンド３３が配置されている。

【００３６】ロボットハンド３３は、Ｘ軸移動部３４と
Ｚ軸移動部３５とθ軸回転部３６とＲ軸回転部３７とハ
ンド部３８とから概略構成されている。Ｘ軸移動部３４
は、横スライダ本体３１に沿ってＸ方向に移動自在とさ
れている。Ｚ軸移動部３５は、Ｘ軸移動部３４上でＸＹ
平面に垂直なＺ方向に伸縮自在とされている。

【００３７】θ軸回転部３６は、Ｚ軸移動部３５の中心
を軸として回転自在とされている。Ｒ軸回転部３７は、
θ軸回転部３６の先端に回転自在に設けられている。ハ
ンド部３８は、Ｒ軸回転部３７の先端に回転自在に設け
られている。また、ハンド部３８の先端には真空吸着部
３９が取り付けられている。

【００３８】さらに、ハンド部３８は、θ軸回転部３６
が回転したときにθ方向に回転自在とされ、Ｒ軸回転部
３７およびハンド部３８の回転角を組み合わせることに
よって、該ハンド部３８の中心から半径方向（Ｒ方向）
への位置を調整可能な構成とされている。

【００３９】また、横スライダ本体３１の側方には、ロ
ボットハンド３３に対して位置合わせされた設置台４
０、４１が配設されている。そして、これら設置台４
０、４１上には、該設置台４０、４１の所定位置に位置
決めされたウエハカセット（カセット）４３が載置され
ている。

【００４０】図１に示すように、ウエハカセット４３
は、内部が密閉空間とされるカセット本体４４と開閉扉
（蓋体）４７とから構成されている。カセット本体４４
内の両側面には、上下方向に一定の間隔をあけて保持棚
（保持部）４５が対になるように並列状態に設けられて
いる。

【００４１】この保持棚４５は、ウエハ２２の周縁部を
下方から保持することにより、ウエハ２２を格納するス
ロット（格納部）４６を形成するものである。また、カ
セット本体４４には、スロット４６に対してウエハ２２
の出し入れを行う開口部４８が形成されている。開閉扉
４７は、開口部４８を自在に開閉するものである。

【００４２】一方、ウエハカセット４３の近傍には、ウ
エハ検出装置（基板検出装置）４９が設けられている。
ウエハ検出装置４９は、ウエハカセット４３のスロット
４６内に格納されたウエハ２２を検出するものであっ
て、センサ５０と移動部５１とを備えた構成とされてい
る。

【００４３】センサ５０には、スロット４６内のウエハ
２２に接近したときに、ウエハ２２を検出可能な静電容
量型近接センサが用いられている。移動部５１は、セン
サ５０をスロット４６に対して接近・離間可能に、即ち
ウエハ検出可能位置と、ロボットハンド３３によるウエ
ハロード時の退避位置との間を移動させるものである。
また、移動部５１は、図２に示すように、軸線回りに回
転自在な回転軸５２と、回転軸５２に取り付けられた支
持部材５３および切換部５４とを備えるものである。

【００４４】図１に示すように、支持部材５３には、複
数の保持棚４５に保持されたウエハ２２の各周縁部に対
応する位置にセンサ５０が支持されている。そして、図
２に示すように、この移動部５１は、スロット４６に格
納された一枚のウエハ２２に対してウエハ周縁部の離間
した二点を一対のセンサ５０が検出可能なように二箇所
配設されている。

【００４５】再度、図２に戻り、横スライダ本体３１の
側方には、ウエハ２２を一時的に載置するための仮置き
台６４，６５が設置されている。これら仮置き台６４，
６５上には、ウエハ載置用のピンが複数個植設されてい
る。また、設置台４０，４１および仮置き台６４，６５
の近傍の独立チャンバ８の側面には、それぞれ外部から
ウエハカセット４３等を交換するための開口６６，６
７，６８が設けられている。

【００４６】一方、縦スライダ本体３２は、独立チャン
バ７の側面の開口６９および独立チャンバ８の下部チャ
ンバ８Ａの側面の開口７０を通して独立チャンバ７内に
突出している。縦スライダ本体３２の側面には、長手方
向に摺動自在に平面視コ字状のスライダ７１，７２が設
けられている。

【００４７】スライダ７１，７２は、それぞれ真空吸着
によりウエハ２２を保持可能とされると共に、独立チャ
ンバ７内と下部チャンバ８Ａ内との間を独立して移動可
能とされている。また、スライダ７１，７２の下方、且
つ横スライダ本体３１の側方には、上下動可能なターン
テーブル７３が配設されている。

【００４８】一方、独立チャンバ８の上部チャンバ８Ｂ
内には、レチクルローダ系７４が設置されている。レチ
クルローダ系７４は、縦スライダ本体７７によりガイド
部が構成されている。この縦スライダ本体７７は、独立
チャンバ７の開口７５および上部チャンバ８Ｂの開口７
６を通して独立チャンバ７内に突出している。

【００４９】また、縦スライダ本体７７には、該縦スラ
イダ本体７７に沿って摺動自在なスライダ７８，７９が
取り付けられている。そして、縦スライダ本体７７の近
傍には、ロボットハンド８０が設置されている。

【００５０】ロボットハンド８０は、ベース８１とＺ軸
移動部８２とθ軸回転部８３とＲ軸回転部８４とハンド
部８５とから構成されている。Ｚ軸移動部８２は、ベー
ス８１上でＸＹ平面に垂直なＺ方向に伸縮するものであ
る。

【００５１】θ軸回転部８３は、Ｚ軸移動部８２の中心
を軸として回転するものである。Ｒ軸回転部８４は、θ
軸回転部８３の先端に回転自在に設けられている。ハン
ド部８５は、Ｒ軸回転部８４の先端に回転自在に設けら
れている。そして、ロボットハンド８０の近傍には、レ
チクルを保管する保管棚８６が設置されている。

【００５２】上記の構成の露光装置およびウエハ検出装
置の内、まずウエハ検出装置の作用について以下に説明
する。設置台４０上に載置されたウエハカセット４３か
らロボットハンド３３が所定のウエハ２２を搬出する際
には、まずウエハ検出装置４９が作動してウエハ２２を
検出する。

【００５３】即ち、まず、図２に示す切換部５４がウエ
ハカセット４３に対して離間する方向に移動する。これ
に伴って、回転軸５２および支持部材５３が、回転軸５
２の軸線回りに回転する。これにより、支持部材５３に
支持されたセンサ５０が、ウエハカセット４３のスロッ
ト４６に接近したウエハ検出可能位置に到達する。

【００５４】このとき、開閉扉４７は、ロボットハンド
３３の搬出作動に備えて予め開いているので、センサ５
０は、カセット本体４４の開口部４８から密閉空間４２
のスロット４６近傍に支障なく到達することができる。
そして、複数のセンサ５０の内、搬出するウエハ２２の
スロット４６に対応するセンサ５０が、このウエハ２２
を検出する。

【００５５】即ち、センサ５０は、近接センサなので所
定のスロット４６内にウエハ２２が保持棚４５に保持さ
れた状態で格納されていれば、このウエハ２２を検出す
ることができる。また、このスロット４６内にウエハ２
２が格納されていなければ、センサ５０は異常状態を検
出し、警報を発すると共にロボットハンド３３による搬
出作動を停止させる。

【００５６】そして、所定通りスロット４６内にウエハ
２２が格納されていることをセンサ５０が検出すると、
切換部５４がウエハカセット４３に対して接近する方向
に移動する。これに伴って、回転軸５２および支持部材
５３が、回転軸５２の軸線回りに回転する。

【００５７】これにより、支持部材５３に支持されたセ
ンサ５０が、ウエハカセット４３のスロット４６から離
間してウエハロード時の退避位置に到達する。この後、
ロボットハンド３３が、スロット４６内に格納されたウ
エハ２２を開口部４８から搬出する。

【００５８】一方、ウエハ２２をウエハカセット４３の
スロット４６内に搬入する際には、上記搬出の際と同様
に、まずウエハ検出装置４９が作動して搬入すべき所定
のスロット４６内にウエハが格納されていないことを検
出する。このスロット４６内に別のウエハが格納されて
いた場合には、センサ５０は、上記と同様に警報を発す
ると共にロボットハンド３３による搬入作動を停止させ
る。

【００５９】そして、所定通りスロット４６内にウエハ
２２が格納されていないことをセンサ５０が検出した場
合には、センサ５０がウエハロード時の退避位置に移動
した後に、ウエハ２２がスロット４６内へ格納される。

【００６０】続いて、露光装置１の作動について説明す
る。ロボットハンド３３が、設置台４０に位置決めされ
たウエハカセット４３からウエハ２２を取り出した後、
位置Ｑへ移動してターンテーブル７３を介してスライダ
７１または７２にウエハ２２を渡す。

【００６１】スライダ７１，７２は、ウエハ２２を真空
吸着により保持した状態でウエハステージ２１のウエハ
ホルダ２９へ所定位置になるようにロードする。ウエハ
ホルダ２９の真空吸着で保持されたウエハ２２は、照明
系からの光線によって投影光学系２４を介してレチクル
２５のパターンの像をウエハ２２に露光する。

【００６２】露光されたウエハ２２は、再度、スライダ
７１または７２によりロードされ、ターンテーブル７３
の上下動を介してロボットハンド３３に渡される。そし
て、ロボットハンド３３は、このウエハ２２を例えば、
ウエハカセット４３に戻す。

【００６３】一方、レチクル２５をセットする際には、
保管棚８６からロボットハンド８０のハンド部８５が真
空吸着によりレチクル２５を取り出すと共に、この取り
出したレチクル２５を縦スライダ本体７７のスライダ７
８または７９に渡す。その後、スライダ７８または７９
は、レチクル２５を真空吸着で保持した状態で、縦スラ
イダ本体７７に沿って独立チャンバ７内に移動し、図示
しないレチクル受け渡し手段を介して露光装置本体１７
のコラム２３上のレチクルホルダ上にそのレチクル２５
を設置する。

【００６４】また、レチクル２５を交換する際には、レ
チクルホルダから取り出されたレチクル２５が、スライ
ダ７８または７９、およびロボットハンド８０を介して
保管棚８６へ戻される。そして、新たなレチクルを上記
と同様の動作により、レチクルホルダに設置することに
より交換が完了する。

【００６５】本実施の形態の基板検出装置では、ウエハ
検出用のセンサ５０として、ウエハ２２に接近したとき
にウエハ２２を検出する近接センサを用いているので、
外乱の影響を受けることなく確実にウエハ２２を検出す
ることができる。また、このウエハ２２の検出は、カセ
ット本体４４の開口部４８からセンサ５０をスロット４
６に接近することにより行われるので、開口部４８の対
向面が開口していないウエハカセットにおいても対応で
きる。

【００６６】そして、センサ５０が、移動部５１により
ウエハ検出可能位置とウエハロード時の退避位置との間
を移動可能なので、ロボットハンド３３によるウエハ２
２の搬送にも支障を来すことがない。また、センサ５０
が、複数の保持棚４５に保持されたウエハ２２に対応し
て設けられているので、回転軸５２の軸線回りに回転す
るという簡単な動作で各スロット４６内のウエハ２２を
検出することができると共に、全てのウエハを一度に検
出することもできる。

【００６７】さらに、センサ５０が、スロット４６に格
納された一枚のウエハ２２に対して、その周縁部の離間
した二点を検出可能なように一対からなる構成としたの
で、例えば、一枚のウエハ２２の一側部が所定の保持棚
４５に保持されて、他の側部が所定位置から一段ずれた
保持棚４５に保持された斜め状態で格納されている場合
でも、一対のセンサ５０のどちらか一方がウエハ２２の
異常状態を検出することができる。

【００６８】そして、上記ウエハ検出装置４９を備える
露光装置１では、ウエハカセット４３に対して、確実に
ロボットハンド３３によりウエハ２２の搬入・搬出が行
えるので、ウエハカセット４３およびロボットハンド３
３等の搬送時の破損を防止することができる。

【００６９】図５は、本発明の基板検出装置の第２の実
施の形態を示す図である。この図において、図１ないし
図４に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素に
ついては同一符号を付し、その説明を省略する。第２の
実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、
ウエハ検出装置４９の構成である。

【００７０】即ち、ウエハ検出装置４９は、センサ５０
と移動部５１とを備えた構成とされている。移動部５１
は、回転軸５２と支持部材５７と切換部５４と駆動機構
５５とを備えるものである。

【００７１】支持部材５７には、センサ５０が一つ支持
されている。駆動機構５５は、センサ５０がスロット４
６に接近した状態で保持棚４５に保持された複数のウエ
ハ２２それぞれと対応するように、支持部材５７を介し
てセンサ５０をウエハカセット４３に対して上下方向に
順次相対移動させるものである。他の構成は、上記第１
の実施の形態と同様である。

【００７２】上記の構成のウエハ検出装置では、駆動機
構５５の作動により、支持部材５７を介してセンサ５０
がスロット４６に接近した状態で保持棚４５に保持され
た複数のウエハ２２に対応するように上下方向に移動し
て、順次ウエハ２２を検出することができる。

【００７３】本実施の形態の基板検出装置では、上記第
１の実施の形態と同様の効果が得られることに加えて、
高価なセンサを多数使用する必要がないので、コストを
低減することができる。また、センサ５０を複数使用す
る場合のように、センサ５０間のピッチと保持棚４５間
のピッチとを高精度に位置決めする必要がないため、作
業効率が向上する。

【００７４】図６は、本発明の基板検出装置の第３の実
施の形態を示す図である。この図において、図１ないし
図４に示す第１の実施の形態の構成要素と同一の要素に
ついては同一符号を付し、その説明を省略する。第３の
実施の形態と上記の第１の実施の形態とが異なる点は、
ウエハ検出装置４９の構成である。

【００７５】即ち、ウエハ検出装置４９は、センサ５０
と移動部５１と駆動機構５６とを備えた構成とされてい
る。駆動機構５６は、センサ５０がスロット４６に接近
した状態で保持棚４５に保持された複数のウエハ２２そ
れぞれと対応するように、ウエハカセット４３をセンサ
５０に対して上下方向に順次相対移動させるものであ
る。他の構成は、上記第１の実施の形態と同様である。

【００７６】上記の構成のウエハ検出装置では、駆動機
構５６の作動により、センサ５０がスロット４６に接近
した状態で保持棚４５に保持された複数のウエハ２２に
対応するようにウエハカセット４３が上下方向に移動す
ることにより、センサ５０が順次ウエハ２２を検出する
ことができる。

【００７７】本実施の形態の基板検出装置では、上記第
１の実施の形態と同様の効果が得られることに加えて、
高価なセンサを多数使用する必要がないのでコストを低
減することができる。また、センサ５０を複数使用する
場合のように、センサ５０間のピッチと保持棚４５間の
ピッチとを高精度に位置決めする必要がないため、作業
効率が向上する。

【００７８】なお、本発明の基板検出装置は、上記の実
施形態に限定されるものではなく、以下の変更を加えた
ものも含むものである。 （１）近接センサを静電容量型ではなく、超音波式や光
学式にしたもの。 （２）レチクルや、液晶ディスプレイに用いられるガラ
ス基板を格納するカセットに適用したもの。 （３）カセットを露光装置外、例えば、図３中開口６８
近傍に配設したもの。 （４）露光装置ではなく、ウエハにフォトレジストを塗
布するコータや、露光装置で露光されたウエハを現像す
る現像装置（ディベロッパー）で使用するカセットに適
用したもの。 （５）ロボットハンドによる基板搬送の都度、センサが
基板検出を行う構成ではなく、カセットが設置された時
点でカセット内の格納部を全て検出して、その検出結果
に基づいてロボットハンドが基板を搬送するような構成
にしたもの。 （６）第２の実施の形態において、ロボットハンドによ
る基板搬送時、センサの退避を移動部の回転動作ではな
く、駆動機構によるセンサの上下動で行う構成にしたも
の。 （７）ウエハカセットおよびセンサ双方を上下方向に相
対移動させる駆動機構を設けたもの。

【００７９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る基
板検出装置は、基板検出用のセンサとして、格納部内の
基板に接近したときに該基板を検出する近接センサを用
いた構成となっている。これにより、この基板検出装置
では、外乱の影響を受けることなく確実に基板を検出す
ることができる。また、この基板の検出は、格納部に格
納された基板に接近して行われるので、基板を格納する
カセットの態様に限られることなく、例えば、ミニイン
バイロメント型カセットにおいても対応できるという優
れた効果を奏するものである。

【００８０】請求項２に係る基板検出装置は、センサが
格納部に対して接近・離間自在に支持される構成となっ
ている。これにより、この基板検出装置では、基板をカ
セットから出し入れする際にも、センサが基板搬送の支
障になることを防止できるという効果が得られる。

【００８１】請求項３に係る基板検出装置は、センサが
格納部に格納された一枚の基板に対して、離間した二点
を検出する一対のセンサからなる構成となっている。こ
れにより、この基板検出装置では、一枚の基板が格納部
に対して不完全な状態で格納されている場合でも、この
異常状態を検出することができるという優れた効果を奏
する。

【００８２】請求項４に係る基板検出装置は、カセット
が開口部を備えたカセット本体と、この開口部を開閉自
在とする蓋体とを備える構成となっている。これによ
り、この基板検出装置では、カセットが密閉された函体
であっても蓋体を開けた状態にしたときに、開口部から
センサを格納部内の基板に接近させて基板の検出を行う
ことができる。また、蓋体を閉めた状態状態にするとカ
セット本体内が密閉されて塵埃が侵入することを防止で
きるという効果が得られる。

【００８３】請求項５に係る基板検出装置は、カセット
に、基板を並列状態に保持する保持部が設けられ、セン
サがこの保持された基板に対応した複数のセンサからな
る構成となっている。これにより、この基板検出装置で
は、各格納部内の全ての基板を一度に検出することがで
きるという優れた効果を奏する。

【００８４】請求項６に係る基板検出装置は、カセット
に基板を並列状態に保持する保持部が設けられ、このカ
セットまたはセンサの少なくとも一方に、センサを他方
に対して順次相対移動させる駆動機構が設けられる構成
となっている。これにより、この基板検出装置では、高
価なセンサを多数使用する必要がないので、コストを低
減することができると共に、センサを複数使用する場合
のように、センサ間のピッチと保持部間のピッチとを高
精度に位置決めする必要がないので、作業効率を向上さ
せることができるという優れた効果を奏するものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、ウエハカセット内に格納された複数のウエハに対応
した近接センサが設けられている断面図である。

【図２】 本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、ウエハ周縁部近傍に一対のセンサが離間して配置さ
れる平面断面図である。

【図３】 本発明の第１の実施の形態を示す図であっ
て、ウエハ検出装置を備える露光装置の平面断面図であ
る。

【図４】 図３におけるＡ−Ａ線視断面図である。

【図５】 本発明の第２の実施の形態を示す図であっ
て、近接センサをウエハカセットに対して上下方向に相
対移動させる駆動機構が設けられている断面図である。

【図６】 本発明の第３の実施の形態を示す図であっ
て、ウエハカセットを近接センサに対して上下方向に相
対移動させる駆動機構が設けられている断面図である。

【符号の説明】

２２ ウエハ（基板） ４３ ウエハカセット（カセット） ４４ カセット本体 ４５ 保持棚（保持部） ４６ スロット（格納部） ４７ 開閉扉（蓋体） ４８ 開口部 ４９ ウエハ検出装置（基板検出装置） ５０ センサ ５５，５６ 駆動機構

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板の格納部を有するカセットに対応し
   て基板検出用のセンサが配置される基板検出装置におい
   て、 前記センサには、前記格納部内の基板に接近したときに
   当該基板を検出可能な近接センサが用いられていること
   を特徴とする基板検出装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板検出装置において、 前記センサは、前記格納部に対して接近・離間可能に支
   持されていることを特徴とする基板検出装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の基板検出装置に
   おいて、 前記センサは、前記格納部に格納された一枚の基板に対
   し、該基板周縁部の離間した二点を検出可能とする一対
   のセンサからなることを特徴とする基板検出装置。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載の基板
   検出装置において、 前記カセットは、前記格納部に対して基板の出し入れを
   行う開口部を備えたカセット本体と、前記開口部を開閉
   自在とする蓋体とを備えることを特徴とする基板検出装
   置。
5. 【請求項５】 請求項１から４のいずれかに記載の基板
   検出装置において、 前記カセットには、複数の基板を間隔をあけて並列状態
   に保持する保持部が設けられ、 前記センサは、該保持部に保持された複数の基板の各周
   縁部に対応した複数のセンサからなることを特徴とする
   基板検出装置。
6. 【請求項６】 請求項１から４のいずれかに記載の基板
   搬送装置において、 前記カセットには、複数の基板を間隔をあけて並列状態
   に保持する保持部が設けられ、 前記カセットまたは前記センサの少なくとも一方には、
   該センサが前記格納部に接近した状態で前記保持部に保
   持された複数の基板それぞれと対応するように、前記一
   方を他方に対して順次相対移動させる駆動機構が設けら
   れていることを特徴とする基板検出装置。