JPH11214887A - 電気部品装着機支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気部品装着機の振動による床の振動が少な
くて済む電気部品装着機支持装置を提供する。 【解決手段】 プリント基板支持装置１６，装着装置１
８，移動式電気部品供給装置２０を支持する基台２２を
電気部品装着機支持装置１２を介して床面１０に設置す
る。支持装置１２は傾き調節装置９０，スプリングユニ
ット９２，支持ユニット９４を含む。スプリングユニッ
ト９２は圧縮コイルスプリング，減衰特性を調節しない
非調節式ダンパを含み、支持ユニット９４は４個の圧縮
コイルスプリング１３４，減衰特性の調節可能な８つの
調節式ダンパ１３６を含む。電気部品装着時に電気部品
装着機１４が振動するが、スプリング１３４等が基台２
２の床面１０に対する移動を許容し、床の振動が少なく
て済むとともに、基台２２と床との相対振動をダンパ１
３６等が減衰し、基台２２の振動の継続等を防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電気部品装着機を支
持する装置に関するものであり、特に、電気部品装着機
を支持する床の振動の軽減に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電気部品装着機には、基材支持装置，電
気部品供給装置および装着装置を含むものがある。これ
ら装置は、床面上に設置された共通の基台に支持されて
おり、装着装置は電気部品供給装置から電気回路（電子
回路を含む）を構成する電気部品を受け取り、基材支持
装置により支持されているプリント基板等の回路基材に
装着する。この種の電気部品装着機においては、装着装
置，基材支持装置および電気部品供給装置のうちの少な
くとも１つの装置の構成部材が移動して、電気部品供給
装置からの電気部品の供給および回路基材への装着が行
われる。そのため、電気部品の装着時には、上記構成部
材の加速，減速に基づいて基台が加振されるが、基台は
床により固定的に支持されており、振動エネルギの殆ど
全部が床に伝達され、基台と共に床が振動する。例え
ば、床面に鋼製のレベリングシートが敷かれるととも
に、基台が複数のレベリングボルトを介してレベリング
シート上に載置され、回路基材の搬送高さ，装着装置お
よび電気部品供給装置の高さが調節されるとともに、レ
ベリングボルトの床面に対する接地圧が均一になるよう
にされる。そのため、基台と床とはほぼ一体的につなが
った状態となり、床に基台の振動エネルギの殆ど全部が
伝達されるのである。

【０００３】レベリングシートと床との間にゴムシート
を敷けば、ゴムシートの弾性変形によって床に伝達され
る振動エネルギが減少させられるが、十分ではなく、場
合によっては固有振動数が加振周波数に近くなって共振
状態が発生し、振幅が大きくなってしまうこともある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題，課題解決手段，作用お
よび効果】本発明は、以上の事情を背景とし、電気部品
装着機の振動による床の振動が少なくて済む電気部品装
着機支持装置を提供することを課題として為されたもの
である。本発明によって、下記各態様の電気部品装着機
支持装置が得られる。各態様は請求項と同様に、項に区
分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を
引用する形式で記載する。各項に記載の特徴の組合わせ
の可能性を明示するためである。 （１）回路基材を支持する基材支持装置と、回路基材に
装着されるべき電気部品を供給する電気部品供給装置
と、その電気部品供給装置から電気部品を受け取って前
記基材支持装置に支持されている回路基材に装着する装
着装置と、それら基材支持装置，電気部品供給装置およ
び装着装置を支持する基台とを含む電気部品装着機を支
持する装置であって、前記基台とその基台を支持する床
面との間に設けられる弾性部材と、その弾性部材の弾性
変形に伴う基台と床面との相対振動を減衰させるダンパ
とを含む電気部品装着機支持装置（請求項１）。装着装
置は、例えば、共通の旋回軸線のまわりを旋回可能な複
数の部品保持具と、それら複数の部品保持具をそれらの
旋回軌跡上に予め定められた作業位置に順次位置決めす
る保持具位置決め装置とを含むものとされる。作業位置
の１つが電気部品供給装置から電気部品を受け取る部品
受取位置である。保持具位置決め装置は、上記旋回軸線
のまわりに互いに独立に回動可能な複数の回動部材と、
それら複数の回動部材に、それぞれ上記旋回軸線を一周
するとともに、その一周の間に１回以上の停止を含み、
かつ互いに一定時間差を有する回動運動を付与する回動
運動付与装置とを備えたものとし、それら回動部材の各
々に旋回軸線から等距離の位置に部品保持具を保持させ
てもよく、あるいは上記旋回軸線のまわりに間欠回転可
能な間欠回転体と、その間欠回転体を間欠回転させる回
転駆動装置とを備えたものとし、間欠回転体の旋回軸線
から等距離の位置に、複数の部品保持具を間欠回転角度
に等しい角度間隔で保持させてもよい。複数の部品保持
具を保持して回転する回転体は、間欠回転体に限らず、
正逆両方向に任意の角度回転するものとしてもよい。装
着装置はさらに、一平面内において直交する２方向のう
ちの少なくとも一方の方向に直線移動する移動部材と、
その移動部材に保持された部品保持具とを含むものとし
てもよい。まだ、未公開であるが、本出願人の出願であ
る特願平８−３１５８５９号の明細書に記載されている
ように、移動部材が上記保持具位置決め装置を保持して
一平面内において直交する２方向に移動するものとして
もよい。基材支持装置は、回路基材を保持して移動させ
る装置、回路基材を位置決めし、支持するが移動させな
い装置等、種々の態様の装置がある。また、電気部品供
給装置も、電気部品を保持して移動する装置、電気部品
を保持するが移動せず、位置固定に設けられる装置等、
種々の態様の装置がある。電気部品の回路基材への装着
時に電気部品装着機が振動すれば、弾性部材の弾性変形
により基台が床面に対して移動することが許容され、床
への振動の伝達が回避されるとともに、ダンパにより基
台と床との相対振動が減衰される。ダンパを設ければ、
基台と床との相対振動がダンパにより抑制される分、床
に振動が伝達されることとなるが、弾性部材を設けない
場合に比較して僅かであり、床の振動が小さくて済むと
ともに、基台が長く振動し続けたり、共振等による振幅
の増大が生じたりすることを良好に防止し得る。床に伝
達される振動エネルギは、従来のように、レベリングシ
ートと床との間にゴムシートを敷く場合に比較して大幅
に減少させられるのであり、床の振動により床面上に設
けられた他の装置が振動したり、騒音が発生したり、電
気部品装着機が設けられた建造物の耐久性が悪くなった
りすることが防止される。また、振動の減衰によって電
気部品装着機自体の振幅が小さく抑えられることによ
り、例えば、基材支持装置が別の装置との間で回路基材
の受渡しを行う場合、基材支持装置と別の装置との間の
ずれが大きくなって回路基材の受渡しが困難になること
がない。弾性部材は、例えばコイルスプリングにより構
成される。コイルスプリングは、中心線に平行な方向お
よび中心線と直交する方向において弾性変形可能であ
り、床面にほぼ直角に設けられて、基台と床とのあらゆ
る方向の相対振動を許容する。 （２）さらに、前記基台に固定される上部材と、前記床
面上に設置される下部材とを含み、前記弾性部材と前記
ダンパとがそれら上下部材の間に設けられた (1)項に記
載の電気部品装着機支持装置。弾性部材およびダンパ
は、それぞれ別々の上部材と下部材との間に設けてもよ
いが、共通の上部材と下部材との間に設ければ、弾性部
材とダンパとが上部材と下部材とにより互いに連結され
ることとなり、弾性部材の弾性変形がダンパにより効果
的に抑制され、基台と床との相対振動が効果的に減衰さ
せられる。また、弾性部材とダンパとを含む支持装置を
ユニット化された装置として取り扱うことができ、電気
部品装着機の設置作業等が容易になる利点もある。上部
材は基台に対してずれず、実質的に固定された状態にな
ればよく、ボルト等の固定手段を用いて固定することは
不可欠ではない。 （３）前記装着装置が一定の部品受取位置で電気部品を
受け取るものであり、前記電気部品供給装置が、その部
品受取位置を通る１本の直線に沿って移動する移動テー
ブルとその移動テーブル上に設置された複数の部品供給
ユニットとを含み、移動テーブルの移動により複数の部
品供給ユニットの各々を部品受取位置に選択的に位置決
めする移動式電気部品供給装置であり、前記ダンパが少
なくとも前記直線に平行な方向の相対振動を減衰させる
ものである (1)または (2)項に記載の電気部品装着機支
持装置（請求項２）。部品供給ユニットは、電気部品を
キャリヤテープに保持させ、それら電気部品およびキャ
リヤテープを含む部品保持テープをテープ送り装置によ
って送ることにより、電気部品を１個ずつ部品供給部へ
送るものとしてもよく、あるいは振動，傾斜，空気流，
コンベアベルトあるいはそれらの組合わせにより、電気
部品を一列に並べて部品供給部へ送り、電気部品を１個
ずつ供給するものとしてもよい。いずれの場合でも、電
気部品を部品供給部へ送る部品送り装置と、電気部品を
収容する部品収容装置とは、共通のユニット本体に設
け、移動テーブルの移動により部品送り装置と部品収容
装置とが一緒に移動するようにしてもよく、別々に設け
てもよい。後者の場合、部品送り装置と部品収容装置と
をそれぞれ別々の移動テーブルに支持させて別々に移動
させてもよく、部品収容装置は位置を固定して設けても
よい。部品供給ユニットが複数設置された移動テーブル
は質量が大きいため、移動テーブルの移動開始，停止時
には、移動テーブルの移動方向と平行な方向の大きな加
振力が基台に加えられ、その方向に基台が振動する。し
がたって、本態様におけるように、ダンパをその方向の
振動を減衰させるものとすれば、基台の振動を良好に減
衰させることができる。移動テーブルは、直線以外の
線、例えば、円周，円弧（部分円周），円弧以外の曲
線、あるいはそれらが組み合わされた１本の線に沿って
移動するテーブルとしてもよい。移動テーブルは、１本
の線が円周であれば、一軸線まわりに回転する円形（全
円）テーブルとされ、円弧であれば、一軸線まわりに回
転する扇形テーブルとされる。これら円形テーブルおよ
び扇形テーブルはいずれも、一軸線まわりに回転する回
転テーブルである。移動テーブルを回転テーブルとし、
弾性部材およびダンパを設けても、弾性部材の弾性変形
により基台と床との相対振動が許容されるとともに、そ
の振動がダンパにより減衰させられる。しかし、直線移
動テーブルの方が移動開始，停止に伴って発生する基台
の振動が大きいのが普通であり、弾性部材およびダンパ
を設ける効果が大きい。 （４）前記ダンパが少なくとも前記直線に平行な垂直面
内のあらゆる方向の相対振動を減衰させるものである
(3)項に記載の電気部品装着機支持装置（請求項２）。
前述のように、直線的に移動する移動テーブルの移動開
始，停止時には、移動テーブルの移動方向と平行な方向
の大きな加振力が基台に加えられるのであるが、この加
振力が加えられる高さと、基台が電気部品装着機支持装
置により支持される高さとは異なるのが普通であるた
め、基台に回転モーメントが作用し、回転振動も生じ
る。そのため、基台の電気部品装着機支持装置により支
持される部分には、移動テーブルの移動方向と平行な垂
直面内のあらゆる方向の成分を含む振動が生じる。した
がって、本態様におけるように、ダンパを移動テーブル
の移動方向と平行な垂直面内のあらゆる方向の相対振動
を減衰させるものとすれば、基台の振動を良好に減衰さ
せることができる。ダンパを更に、床面に平行な平面内
において移動テーブルの移動方向と直交する方向の相対
振動をも減衰させるものとすれば、一層確実に基台の振
動を抑制することができる。 （５）前記ダンパが減衰特性を調節可能な調節式ダンパ
を含む (1)ないし (4)項のいずれか１つに記載の電気部
品装着機支持装置（請求項３）。基台から伝達される振
動に基づく床の振幅は、床の条件、例えば剛性，質量，
減衰特性等により変わる。そこで、ダンパを調節式ダン
パとしておけば、電気部品装着機の設置時に、床の条件
に合わせてダンパの減衰特性を調節することにより、床
の振幅を小さくすることができる。また、基台から床に
伝達される振動の振幅や周波数は、電気部品装着機の条
件、例えば質量，可動部材の移動速度等により変わる。
搭載される部品供給ユニットの数や各ユニットに収容さ
れている電気部品の数の変化等に伴う移動式電気部品供
給装置全体の質量の変化や、電気部品装着機の運転速度
の変化等に応じて変わるのであるが、ダンパの減衰特性
を調節すれば、それら変化にもかかわらず、床の振幅を
小さく保つことができる。 （６）前記調節式ダンパが、前記基台と一体的に移動す
る可動部材と、前記床面と実質的に相対移動不能な固定
部材と、それら可動部材と固定部材との一方に摩擦接触
可能な摩擦材と、その摩擦材と前記可動部材と固定部材
との他方との間に設けられ、摩擦材を前記可動部材と固
定部材との一方に押し付けるとともにその押付力が調節
可能な押付装置とを含む (5)項に記載の電気部品装着機
支持装置。可動部材と固定部材との一方に摩擦材が押し
付けられることにより、振動エネルギが摩擦による熱エ
ネルギに変換されて振動が減衰させられる。そして、摩
擦材の押付力の調節により減衰特性を調節することがで
きる。 （７）前記押付装置が、シリンダとピストンとを備えて
前記可動部材と固定部材との他方に固定された流体圧シ
リンダを含み、前記摩擦材が前記ピストンにより前記可
動部材と固定部材との一方に押し付けられる (6)項に記
載の電気部品装着機支持装置。流体圧シリンダはエアシ
リンダでもよく、液圧シリンダでもよい。いずれにして
も、流体の圧力の調節により、押付力が調節される。摩
擦材は、例えば、ピストンに固定してもよく、あるいは
可動部材と固定部材との他方、ピストンとは別に、ピス
トンの移動方向と平行な方向に移動可能に設けてもよ
い。 （８）前記ダンパが減衰特性を調節不可能な非調節式ダ
ンパを含む (1)ないし (7)項のいずれか１つに記載の電
気部品装着機支持装置。減衰特性の調節が不可能であっ
ても、ダンパを設ければ基台と床との相対振動を減衰さ
せることができ、電気部品装着機の振幅の増大，共振の
発生を回避することができる。特に、減衰力の一部のみ
を調節できればよい場合には、ダンパを調節式ダンパと
非調節式ダンパとの両方を含むものとすることにより、
比較的安価に目的を達し得る。 （９）さらに、前記基台と前記床面との間に配設され、
基台の床面に対する傾きを調節する傾き調節装置を含む
(1)ないし (8)項のいずれか１つに記載の電気部品装着
機支持装置（請求項４）。電気部品装着機を床面に、弾
性部材を介して相対振動可能に支持させれば、基台が床
面に対して傾き易い。例えば、複数の弾性部材がそれぞ
れ弾性変形した状態で、基台が床面に対して傾かないよ
うに、弾性部材を製造することは容易ではなく、弾性部
材の製造誤差により基台が傾く。また、電気部品供給装
置は、それに搭載される部品供給ユニットの数や、各ユ
ニットに収容されている電気部品の数によって、全体の
重量が変わるため、それによっても基台が傾く。それに
対して、傾き調節装置を設ければ、基台を床面と平行な
状態に保つことが容易になり、例えば、隣接装置との間
での回路基材の受渡しにミスが発生することを回避する
ことができる。 （１０）前記傾き調節装置が、気体の圧縮性を利用した
気体スプリングと、その気体スプリング内の気圧を調節
することにより傾き調節を行うレベリングバルブ装置と
を含む (9)項に記載の電気部品装着機支持装置。気体
は、例えば、空気でもよく、窒素ガス等でもよい。レベ
リングバルブ装置は、例えば、気体スプリングの高さが
常に一定になるように気体スプリング内の気圧を調節す
るものとされる。 （１１）前記レベリングバルブ装置が、前記基台と前記
床面との間に配設され、両者の上下方向の相対移動に基
づいて作動する機械式バルブ装置を含む(10)項に記載の
電気部品装着機支持装置。レベリングバルブ装置は、電
磁切換弁装置を含むものとしてもよいが、電磁切換弁装
置は、気体源から気体スプリングへの気体の供給を許容
する気体供給状態と、気体スプリングからの気体の流出
を許容する開放状態とに一気に切り換えられるため、気
体スプリング内の気圧をきめ細かに制御することが困難
であるが、機械式バルブ装置は、気体供給状態と開放状
態とへの切換えが徐々に行われるため、気体スプリング
内の気圧をきめ細かに制御することが容易であり、基台
の傾きを精度よく調節することができる。 （１２）前記上部材と下部材とそれら上，下部材間に配
設された前記弾性部材およびダンパとを含む支持ユニッ
トを２組含み、それら２組の支持ユニットが互いに水平
方向に隔たった２個所において前記基台を支持する (2)
ないし(11)項のいずれか１つに記載の電気部品装着機支
持装置。「互いに隔たった水平方向」は、水平であれ
ば、いずれの方向でもよく、基台は２組の支持ユニット
を介して床面により安定して支持される。支持ユニット
を構成するダンパは、調節式でもよく、非調節式でもよ
い。 （１３）前記上部材および下部材が共に長手形状の部材
であり、前記弾性部材およびダンパが、それら上，下部
材の長手方向の両端近傍部に少なくとも１つずつ配設さ
れた(12)項に記載の電気部品装着機支持装置。弾性部材
およびダンパが基台の四方に設けられることとなり、基
台が床面により特に安定して支持されるとともに、基台
全体が床面に対して移動し得る。 （１４）前記電気部品供給装置が、部品供給テーブル
と、その部品供給テーブル上に各部品供給部が１本の直
線に沿って並ぶ状態で設置された複数の部品供給ユニッ
トとを含み、前記基台の前記部品供給テーブルを支持す
る部分と前記床面との間に基台の床面に対する傾きを調
節する傾き調節装置が配設された(12)または(13)項に記
載の電気部品装着機支持装置。例えば、部品供給テーブ
ルに搭載される部品供給ユニットの数は、例えば、回路
基材の種類によって異なり、複数の部品供給ユニットの
各々において保持されている電気部品の数は、回路基材
への電気部品の装着が進行するにつれて減少し、それら
によって電気部品供給装置の重量が変わる。そのため、
複数の部品供給ユニットの各部品供給部が並ぶ方向と直
角な方向において基台が床面に対して傾くことになる
が、傾き調節装置を設けることにより、基台を床面に対
してほぼ平行な状態に保つことができる。 （１５）前記装着装置が一定の部品受取位置で電気部品
を受け取るものであり、前記部品供給部が並ぶ１本の直
線が前記部品受取位置を通り、部品供給テーブルがその
１本の直線に沿って移動する移動テーブルであって、前
記電気部品供給装置が移動テーブルの移動により複数の
部品供給ユニットの各々の部品供給部を部品受取位置に
選択的に位置決めする移動式電気部品供給装置であり、
前記２組の支持ユニットが前記１本の直線に平行な方向
に互いに隔たって配設されるとともに、支持ユニットの
ダンパが、前記基台と前記床面との少なくとも前記直線
に平行な垂直面内のあらゆる方向の相対振動を減衰させ
る機能を有する(14)項に記載の電気部品装着機支持装
置。移動テーブルは質量が大きく、その移動方向、すな
わち部品受取位置を通る１本の直線に平行な方向に生ず
る加振力が大きいが、支持ユニットがこの方向において
互いに隔たって配設されるとともに、ダンパが移動テー
ブルの移動方向と平行な垂直面内のあらゆる方向におけ
る基台と床面との相対振動を減衰させるため、床に伝達
される振動が少なくて済むとともに、電気部品装着機の
振動も少なくて済む。また、移動テーブルが移動領域内
のいずれの位置において移動開始，停止しても、また、
移動方向が正，逆いずれであっても、基台と床との相対
移動が許容されるとともにその相対振動が良好に減衰さ
せられる。移動テーブルの移動に伴って基台の、移動テ
ーブルの移動方向に隔たった部分から電気部品装着機支
持装置への荷重が変化するため、基台に傾きが生じる。
したがって、この方向の傾きを調節する傾き調節装置を
設けることが望ましい。この傾き調節装置は、基台と床
面との距離を調節する装置を、テーブル移動方向に距離
を隔てた２箇所に設ける構成とすることが望ましい。例
えば、前記気体スプリングとレベリングバルブ装置とを
含む傾き調節装置を、テーブル移動方向に距離を隔てた
２箇所にそれぞれ設けるのである。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて詳細に説明する。図１において１０は床面であ
る。床面１０は水平であり、床面１０上には、電気部品
装着機支持装置１２（図３参照）を介して電気部品装着
機１４が設けられている。電気部品装着機１４は、プリ
ント基板支持装置１６，装着装置１８および移動式電気
部品供給装置２０と、それら装置１６，１８，２０を支
持する基台２２とを含む。

【０００６】プリント基板支持装置１６は、Ｘ軸方向
（図１において左右方向）に移動するＸ軸テーブル２８
と、Ｘ軸テーブル２８上に設けられ、水平面内において
Ｘ軸と直交するＹ軸方向（図１において上下方向）に移
動するＹ軸テーブル３０とを含む。Ｙ軸テーブル３０上
には、回路基材たるプリント基板３２を位置決めし、保
持する基板保持装置（図示省略）が昇降可能に設けられ
ている。

【０００７】Ｘ軸テーブル２８は、駆動源たるＸ軸移動
用サーボモータ３４と、ねじ軸３６およびナット（図示
省略）を有し、Ｘ軸移動用サーボモータ３４の回転を直
線運動に変換する運動変換装置とを含むＸ軸テーブル移
動装置３７により、案内部材たる直線状のガイドレール
３８に案内されてＸ軸方向に移動させられる。Ｙ軸テー
ブル３０は、駆動源たるＹ軸移動用サーボモータ（図示
省略）と、ねじ軸４２およびナット（図示省略）を有
し、Ｙ軸移動用サーボモータの回転を直線運動に変換す
る運動変換装置とを含むＹ軸テーブル移動装置４３によ
り、案内部材たる直線状のガイドレール４４に案内され
てＹ軸方向に移動させられる。

【０００８】プリント基板３２は、基板搬入コンベヤ４
６によりプリント基板支持装置１６へ搬入され、基板搬
出コンベヤ４８により搬出される。これら基板搬入コン
ベヤ４６および基板搬出コンベヤ４８はそれぞれ、床面
１０に設けられるとともに、図示しない連結部材により
互いに連結されており、それぞれプリント基板３２をＸ
軸方向に搬送する。Ｙ軸テーブル３０上に設けられた基
板保持装置は、上昇位置において基板搬入コンベヤ４
６，基板搬出コンベヤ４８との間でプリント基板３２の
受渡しを行い、下降位置においてＸ軸，Ｙ軸テーブル２
８，３０により移動させられ、プリント基板３２の多数
の部品装着箇所が順次部品装着位置に位置決めされる。

【０００９】装着装置１８は、特開平９−２３７９９７
号公報に記載の装着装置と同様に構成されており、簡単
に説明する。装着装置１８は、基台２２上に設けられた
装置本体（図示省略）と、回動部材たる複数（本実施形
態においては１２個）の回動板６０と、それら回動板６
０に回動運動を付与する回動運動付与装置たる回動板回
動装置と、１２個の回動板６０の各々に保持された部品
保持ヘッド６２とを含む。回動板６０は、装置本体に垂
直に設けられた軸６４（図１参照）に互いに独立に回動
可能に取り付けられている。部品保持ヘッド６２は、部
品保持具の一種であって、負圧により電気部品を吸着す
る部品吸着具（図示省略）を備え、回動板６０に昇降可
能に保持されている。

【００１０】回動板回動装置は、図示は省略するが、１
２個の回動板６０の各々に対してそれぞれ設けられたカ
ムフォロワたるローラと、それらローラに順次係合して
ローラを移動させることにより回動板６０を回動させる
回動運動付与カムたる４個の鼓形カムとを含む。これら
鼓形カムは、サーボモータを駆動源とするカム駆動装置
により一斉に同期して回転させられ、１２個の回動板６
０が別々に回動し、１２個の部品保持ヘッド６２が軸６
４の軸線まわりに旋回させられる。１２個のうちの３個
の回動板６０が部品受取位置たる部品吸着位置，部品装
着位置および撮像位置に停止して部品保持ヘッド６２が
電気部品の吸着，装着を行い、撮像が行われるが、その
間も他の回動板６０は回動させられており、部品吸着位
置，部品装着位置および撮像位置に部品保持ヘッド６２
が順次到達する到達時間ピッチが短くて済み、高い電気
部品装着能率が得られる。

【００１１】部品吸着位置と部品装着位置とは１８０度
隔たった位置に設定され、Ｙ軸方向において並んで設け
られている。これら部品吸着位置と部品装着位置とにそ
れぞれ対応する位置にはそれぞれ、移動式電気部品供給
装置２０と回路基材支持装置１６とが設けられるととも
に、図示は省略するが、それぞれ部品保持ヘッド昇降装
置が設けられており、部品吸着位置，部品装着位置に到
達した部品保持ヘッド６２は、部品保持ヘッド昇降装置
により昇降させられて電気部品の吸着，装着を行う。ま
た、撮像位置には、撮像装置を構成するＣＣＤカメラ
（図示省略）が設けられている。部品吸着具は部品保持
ヘッド６２に自身の軸線のまわりに回転可能に設けられ
ており、１２個の回動板６０にそれぞれ設けられた部品
吸着具回転装置（図示省略）により自身の軸線まわりに
回転させられて方位誤差が修正される。なお、プリント
基板支持装置１６の一部は、装着装置１８の下方に位置
し、別の一部は基板搬入コンベヤ４６および基板搬出コ
ンベヤ４８の下方に位置している。

【００１２】移動式電気部品供給装置２０は、図１に示
すように、移動テーブル７０と、その移動テーブル７０
上に着脱可能に設置された複数の部品供給ユニット７２
とを含む。この部品供給ユニット７２により供給される
電気部品は、キャリヤテープにより保持されて、キャリ
ヤテープと共に部品保持テープを構成している。部品保
持テープはリールに巻き付けられており、リールはユニ
ット本体に設けられた部品収容装置たるテープ収容装置
により回転可能に支持されている。リールから引き出さ
れた部品保持テープは、ユニット本体に設けられた部品
送り装置たるテープ送り装置により送られ、電気部品が
１個ずつ部品供給部へ送られる。

【００１３】複数の部品供給ユニット７２は、移動テー
ブル７０上に各部品供給部がＸ軸方向に平行な一直線上
に並ぶ状態で着脱可能に設置されている。この１本の直
線は装着装置１８の部品吸着位置を通り、移動テーブル
７０は、移動テーブル移動装置７４によりＸ軸方向、す
なわち部品吸着位置を通る１本の直線に沿って移動させ
られる。この移動テーブル７０の移動方向をテーブル移
動方向と称する。テーブル移動方向は、前記基板搬入コ
ンベヤ４６および基板搬出コンベヤ４８によるプリント
基板３２の搬送方向と平行である。

【００１４】移動テーブル移動装置７４は、駆動源たる
テーブル移動用サーボモータ７６と、ねじ軸７８および
ナット（図示省略）を有し、サーボモータ７６の回転を
直線運動に変換する運動変換装置とを含み、移動テーブ
ル７０が案内部材たる直線状のガイドレール８０により
案内されて移動させられることにより、複数の部品供給
ユニット７０の各部品供給部が装着装置１８の部品吸着
位置に選択的に位置決めされる。部品供給部の部品吸着
位置への位置決めは、部品供給ユニット７０の部品吸着
位置への位置である。部品吸着位置は移動式電気部品供
給装置２０においては部品供給位置であり、この位置に
位置決めされた部品供給ユニット７０の部品供給部は、
部品吸着位置へ移動させられた部品保持ヘッド６２の下
方に位置する状態となる。なお、テーブル移動用サーボ
モータ７６，前記Ｘ軸，Ｙ軸移動用サーボモータ３４お
よび回動板回動装置を構成するカム駆動装置のサーボモ
ータは、回転角度および回転速度の精度の良い制御が可
能な電動モータの一種である電動回転モータである。サ
ーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。

【００１５】電気部品装着機支持装置１２は、図２およ
び図３に示すように、基台２２を構成するフレーム８８
と床面１０との間に設けられ、傾き調節装置９０，３組
のスプリングユニット９２および２組の支持ユニット９
４を含んでいる。なお、床面１０は水平とされるが、何
らかの事情で水平になっていなければ、床面１０の傾き
調節装置９０，３組のスプリングユニット９２および２
組の支持ユニット９４が設けられる部分にそれぞれ支持
部材が設けられ、それら支持部材により構成される水平
な床面に電気部品装着機支持装置１２が設けられる。

【００１６】傾き調節装置９０は、気体スプリングの一
種であるエアスプリング９６および機械式バルブ装置９
８を含み、基台２２の移動テーブル７０を支持する部分
であって、テーブル移動領域の移動方向における中間
部、すなわちテーブル移動方向（Ｘ軸方向）と水平面内
において直角な方向（Ｙ軸方向であり、前後方向と称す
る。図２においては上下方向である）において装着装置
１８に隣接する部分と、床面１０との間に設けられてい
る。前後方向においてプリント基板支持装置１６側を前
側、移動式電気部品供給装置２０側を後側とする。傾き
調節装置９０は、基台２２の後部と床面１０との間に設
けられているのである。エアスプリング９６は、ゴムに
より作られていて筒状を成し、床面１０と基台２２との
間に配設されており、内部のエア圧の調節により弾性力
を調節できる。

【００１７】機械式バルブ装置９８は、図４および図５
に示すように、方向切換弁１００およびドッグ装置１０
２を含む。方向切換弁１００のバルブハウジング１０４
は床面１０に固定されるとともに、図示しない接続部材
により気体源たるエア源１０６（図６参照）と、エアス
プリング９６とに接続されている。方向切換弁１００は
ポート弁の一種であるスプール弁により構成されてお
り、バルブハウジング１０４内に移動可能に設けられた
図示しないスプールを備えている。方向切換弁１００
は、スプールの移動により、エアスプリング９６をエア
源１０６に連通させるエア供給状態と、エアスプリング
９６を大気に開放し、エアスプリング９６からのエアの
流出を許容する開放状態とに切り換えられる。この方向
切換弁１００は、スプールのランド部と、バルブハウジ
ング１０４のポートを画定する部分とのオーバラップが
ないか、あるいは少なくされており、エア源１０６から
供給されるエアを大気へ逃がしながら、エアスプリング
９６内のエア圧を一定に保つ。スプールは、バルブハウ
ジング１０４に回動可能に設けられた係合部材たるレバ
ー１０８の回動により移動させられ、レバー１０８が一
定の回動位置にあるときに、エアスプリング９６へのエ
アの供給，エアスプリング９６からのエアの流出のいず
れも生じないか、あるいはエア源１０６から供給される
エアが大気へ漏れることにより、エアスプリング９６内
のエア圧が一定に保たれ、その回動位置からレバー１０
８が回動させられることにより、方向切換弁１００がエ
ア供給状態あるいは開放状態に切り換えられて、エアス
プリング９６内のエア圧が変化させられる。本実施形態
において「一定の回動位置」は、レバー１０８が水平に
なる位置である。

【００１８】なお、方向切換弁１００とエア源１０６と
の間には、図６に示すように、常開のパイロット式開閉
弁１１０および常閉のパイロット式開閉弁１１２が設け
られている。開閉弁１１０の閉弁圧は、エアスプリング
９６に供給されるべきエアの圧力より高く、開閉弁１１
２の開弁圧は、開閉弁１１０の閉弁圧よりやや高く設定
されており、これら開閉弁１１０，１１２により、エア
源１０６から供給されるエアの圧力が所望の高さに減圧
されて方向切換弁１００に供給される。

【００１９】ドッグ装置１０２は、図５に示すように、
ねじ部材１１６により基台２２に高さ調節可能に取り付
けられたドッグ１１８を有する。ドッグ１１８は半径方
向外向きに延び出す一対のフランジ部１２０を備えてお
り、それらフランジ部１２０の間に、上記レバー１０８
の自由端部に回転可能に設けられて係合部を構成するロ
ーラ１２２が挿入されている。

【００２０】ドッグ１１８の高さは、作業者がねじ部材
１１６を回転操作することにより、基台２２が床面１０
に対して平行となる状態でレバー１０８が水平になり、
エアスプリング９６内のエア圧が変化しない状態となる
高さに調節されている。ドッグ１１８の高さの調節は、
例えば、電気部品装着機１４の据付け時に、部品供給ユ
ニット７２が搭載されていない移動テーブル７０を移動
領域の中央に位置させた状態で行われる。レバー１０８
は、移動式電気部品供給装置２０の重量が変化し、基台
２０が床面１０に対して傾くのに伴ってドッグ１１８に
より回動させられ、方向切換弁１００がエア供給状態あ
るいは開放状態に切り換えられてエアスプリング９６内
のエア圧が変化させられる。エア圧は、レバー１０８が
水平となり、エアスプリング９６の高さが、ドッグ１１
８の高さ調節時の高さに保たれる大きさに調節され、そ
れにより基台２２の床面１０に対する前後方向の傾きが
修正され、基台２２が床面１０に対して平行な状態に保
たれる。ドッグ装置１０２は、方向切換弁１００を切り
換える切換装置を構成し、切換部材たるドッグ１１８と
方向切換弁１００との高さ方向の相対位置を調節する高
さ方向相対位置調節装置の一種であるドッグ高さ調節装
置を含んでいるのである。高さ方向相対位置調節装置
は、方向切換弁１００の高さを調節する装置としてもよ
く、あるいは、ドッグ１１８および方向切換弁１００の
両方の高さを調節する装置としてもよい。

【００２１】前記３組のスプリングユニット９２は市販
のものであり、それぞれ、弾性部材の一種であり、ばね
部材たる圧縮コイルスプリングおよびダンパ（図示省
略）を含んでいる。これら圧縮コイルスプリングおよび
ダンパは、床面１０と基台２２との間に上下方向に設け
られている。ダンパはシリコーンが封入されており、圧
縮コイルスプリングの伸縮に伴う基台２２と床面１０と
の相対振動を減衰させるが、減衰特性は調節不可能な非
調節式ダンパである。３組のスプリングユニット９２の
うちの２組は、図２に示すように、前記傾き調節装置９
０のＸ軸方向（テーブル移動方向）の両側（基台２２の
後部と床面１０との間であって、Ｘ軸方向に距離を隔て
た２箇所）にそれぞれ設けられ、１組は、傾き調節装置
９０に対してＹ軸方向において距離を隔てた位置（基台
２２の前部と床面１０との間）に設けられている。

【００２２】２組の支持ユニット９４を説明する。これ
ら支持ユニット９４は、図２に示すように、テーブル移
動方向に平行な方向（図２においては左右方向であり、
本実施形態では基台２２の長手方向に平行な方向）に互
いに隔たって配設されている。これら支持ユニット９４
の構成は同じであり、一方の支持ユニット９４を代表的
に説明する。

【００２３】支持ユニット９４は、図２，図７ないし図
１０に示すように、上部材１３０，下部材１３２，それ
ら上部材１３０と下部材１３２との間に配設された弾性
部材の一種である４つの圧縮コイルスプリング１３４お
よび８つの調節式ダンパ１３６を含む。

【００２４】下部材１３２は、図８および図９に示すよ
うに、断面形状がコの字形の長手形状の部材であり、床
面１０上にパッド１４０を介して、コの字の開口を上に
向けるとともに、長手方向が水平面内においてテーブル
移動方向と直角となる向きに設置されている。パッド１
４０は、ゴム製あるいは樹脂製であってもゴム弾性を有
するシートの両面に粘着剤が塗布されて粘着性を有し、
床面１０および下部材１３２に貼り付いていて、下部材
１３２が床面１０に対してすべることがなく、また、パ
ッド１４０の弾性変形により下部材１３２が床面上に安
定して設置され、固定部材として機能する。

【００２５】下部材１３２の長手方向の両端部にはそれ
ぞれ、スプリングリテーナ１４２が２個ずつ設けられて
いる（図８には一方の端部に設けられた２個のスプリン
グリテーナ１４２のみが図示されている）。これらスプ
リングリテーナ１４２は円形断面の突状を成し、下部材
１３２の長手方向の両端部にそれぞれ設けられた２個ず
つのスプリングリテーナ１４２は、テーブル移動方向に
並んで設けられている。

【００２６】下部材１３２の長手方向の両端部にはそれ
ぞれ、２個ずつのスプリングリテーナ１４２に、下部材
１３２の長手方向において隣接して、摩擦材１４４およ
びエアシリンダ１４６が４つずつ設けられている。図８
には、下部材１３２の長手方向の一方の端部に設けられ
た摩擦材１４４およびエアシリンダ１４６が図示されて
いる。下部材１３２の長手方向の両端部にそれぞれ設け
られた摩擦材１４４およびエアシリンダ１４６の構成は
同じであり、一方の端部に設けられた摩擦材１４４およ
びエアシリンダ１４６を代表的に図示し、説明する。

【００２７】下部材１３２には、スプリングリテーナ１
４２に隣接してシリンダハウジング１４８が一体的に設
けられている。シリンダハウジング１４８内には、２個
のシリンダボア１５０が、下部材１３２の長手方向と平
行な方向（水平面内においてテーブル移動方向と直角な
方向）に貫通して設けられるとともに、各シリンダボア
１５０内にそれぞれ、ピストン１５２が２個ずつ、互い
に逆向きに、気密かつ摺動可能に嵌合されている。

【００２８】２個のシリンダボア１５０内にそれぞれ嵌
合された２個ずつのピストン１５２は、シリンダハウジ
ング１４８の下部材１３２の長手方向において互いに逆
向きの端面から突出させられるとともに、突出端部に摩
擦材１４４が固定されている。エアシリンダ１４６は、
水平面内においてテーブル移動方向と直角（下部材１３
２の長手方向と平行）に設けられ、摩擦材１４４はテー
ブル移動方向に平行にかつ垂直に設けられている。

【００２９】２個のシリンダボア１５０の２個ずつのピ
ストン１５２の間に設けられたエア室１５４はそれぞ
れ、図６に示すように、前記エア源１０６に接続されて
いる。エア室１５４とエア源１０６との間には、常開の
パイロット式可変開閉弁１５８および常閉のパイロット
式可変開閉弁１６０が設けられている。開閉弁１５８の
閉弁圧および開閉弁１６０の開弁圧はそれぞれ、ばねの
付勢力を調節することにより調節することができ、それ
によりエア室１５４に供給されるエアの圧力を調節する
ことができる。開閉弁１５８の閉弁圧は、エア室１５４
に供給されるべきエア圧に設定され、開閉弁１６０の開
弁圧は、エア室１５４に供給されるべきエア圧よりやや
高く設定され、エア室１５４には所望の高さの圧のエア
が供給される。

【００３０】なお、下部材１３２には、図１０に示すよ
うに、長手方向の一端部に取付部１６２が設けられてい
る。２組の支持ユニット９４の各下部材１３２の一方の
取付部１６２に前記基板搬入コンベヤ４６が固定され、
他方の取付部１６２に前記基板搬出コンベヤ４８が固定
されている。

【００３１】また、下部材１３２には、図８に示すよう
に、２個を一対とする連結部１６４が２対、下部材１３
２の長手方向に隔たった位置に設けられている（図８に
は一方の対の連結部１６４のみが図示されている）。こ
れら連結部１６４にはそれぞれ、下部材１３２の幅方向
において外側に開口し、上下方向に貫通するＵ字形の切
欠１６６が形成されている。連結部１６４の用途につい
ては、後に説明する。

【００３２】前記上部材１３０は、図７および図９に示
すように、断面形状がコの字形の長手形状の部材であ
り、上部材１３０の長手方向の両端部にそれぞれ、スプ
リングリテーナ１７０が２個ずつ設けられている。図７
および図９には、上部材１３０の長手方向の一方の端部
に設けられたスプリングリテーナ１７０のみが図示され
ている。これらスプリングリテーナ１７０は断面形状が
円形の突状を成し、上部材１３０の長手方向の両端部に
それぞれ設けられた２個ずつのスプリングリテーナ１７
０は、テーブル移動方向に並んで設けられている。上部
材１３０は、テーブル移動方向と直角に、かつコの字の
開口を下向きにして配設され、スプリングリテーナ１７
０と、下部材１３２のスプリングリテーナ１４２とによ
り、圧縮コイルスプリング１３４の両端部が支持されて
いる。上，下部材１３０，１３２の長手方向の両端近傍
部に、圧縮コイルスプリング１３４が２つずつ設けられ
ているのである。複数（２つ）ずつの圧縮コイルスプリ
ング１３４を含むばね部材グループが、上，下部材１３
０，１３２の長手方向の両端近傍部に１組ずつ設けられ
ているとも言うことができる。

【００３３】また、図７に示すように、上部材１３０に
は、両端部の２個ずつのスプリングリテーナ１７０に、
上部材１３０の長手方向において隣接して、２個ずつの
摩擦リブ１７２がテーブル移動方向と直角な方向（上部
材１３０の長手方向）に互いに隔たって設けられてい
る。図７には、上部材１３０の一方の端部に設けられた
２個の摩擦リブ１７２が図示されている。これら摩擦リ
ブ１７２は、上部材１３０の長手方向と直角であって、
上部材１３０の幅方向と平行に設けられている。摩擦リ
ブ１７２は、テーブル移動方向と平行にかつ垂直に設け
られているのであり、可動部材として機能する。２個ず
つの摩擦リブ１７２の間に、下部材１３２に設けられた
摩擦材１４４およびエアシリンダ１４６が嵌合され、摩
擦材１４４はエアシリンダ１４６によって摩擦リブ１７
２に押し付けられている。摩擦材１４４および摩擦リブ
１７２の互いに押し付けられる面が摩擦面であり、摩擦
面はテーブル移動方向に平行かつ垂直な面である。摩擦
材１４４，エアシリンダ１４６，摩擦リブ１７２および
下部材１３２が調節式ダンパ１３６を構成し、上，下部
材１３０，１３２の長手方向の両端近傍部に調節式ダン
パ１３６が４つずつ設けられているのである。複数（４
つ）ずつの調節式ダンパ１３６を含むダンパグループ
が、上，下部材１３０，１３２の長手方向の両端近傍部
に１組ずつ設けられているということもできる。ダンパ
グループおよび前記ばね部材グループはそれぞれ、４つ
ずつ設けられているのであり、基台２２の四方にダンパ
グループおよびばね部材グループが１つずつ設けられて
いる。

【００３４】前記基台２２は、図９に示すように、パッ
ド１７４を介して上部材１３０上に載置されている。パ
ッド１７４は、前記パッド１４０と同様に粘着剤が塗布
され、上部材１３０と基台２２とにそれぞれずれなく貼
り付けられていて、基台２２は上部材１３０に対してず
れることなく、実質的に固定された状態で安定して設置
されている。

【００３５】上部材１３０にも、図２および図７に示す
ように、２個を一対とする連結部１７６が２対、上部材
１３０の長手方向に隔たった位置に設けられている（図
７には連結部１７６は１対のみ図示されている）。これ
ら連結部１７６にも、前記連結部１６４と同様に、Ｕ字
形の切欠１７８が形成されている。

【００３６】電気部品装着機１４を電気部品装着機支持
装置１２を介して床面１０上に設置するとき、上部材１
３０と下部材１３２とは、コの字の開口が互いに対向す
る状態で向き合わされるとともに、図９に示すように、
スプリングリテーナ１７０，１４２により、前記圧縮コ
イルスプリング１３４の両端部が支持されている。上部
材１３０，下部材１３２にそれぞれ設けられた連結部１
６４，１７６の切欠１６６，１７８にボルト等のねじ部
材が係合させられるとともにナットが螺合され、連結部
１６４，１７６が密着するまで締めつけられており、上
部材１３０と下部材１３２とが一体的に結合されてい
る。圧縮コイルスプリング１３４は予圧縮された状態に
ある。

【００３７】下部材１３２をパッド１４０を介して床面
１０上に載置し、上部材１３０上にパッド１７４を介し
て基台２２を載置した後、上記ねじ部材およびナットを
外して上部材１３０と下部材１３２との固定を解く。基
台２２には、プリント基板支持装置１６，装着装置１８
および移動式電気部品供給装置２０の移動テーブル７０
および移動テーブル移動装置７４が既に設けられてい
る。上部材１３０と下部材１３２との固定が解かれるこ
とにより圧縮コイルスプリング１３４が伸長し、上部材
１３０が下部材１３２から離れる。この離間距離は、上
部材１３０に掛かる電気部品装着機１４の荷重と圧縮コ
イルスプリング１３４のばね特性とにより決まり、図９
に示すように、圧縮コイルスプリング１３４の伸縮によ
る上部材１３０の下部材１３２に対する移動が可能な状
態となる。上部材１３０と下部材１３２とは、圧縮コイ
ルスプリング１３４の両端部を支持しているため、両者
がずれることはなく、基台２２が床面１０に対してずれ
ることはない。また、摩擦リブ１７２は、図１０に示す
ように、摩擦材１４４に対向する状態に保たれ、エアシ
リンダ１４６にエアが供給されて摩擦材１４４が摩擦リ
ブ１７２に押し付けられる。このように支持ユニット９
４を介して電気部品装着機１４が床面１０上に設置され
た後、スプリングユニット９２および傾き調節装置９０
が基台２２と床面１０との間にセットされる。

【００３８】電気部品のプリント基板３２への装着時に
は、駆動用サーボモータが起動され、１２個の回動板６
０が別々に回動させられて部品保持ヘッド６２が順次部
品吸着位置，撮像位置および部品装着位置へ移動させら
れる。部品吸着具は、部品受取位置に位置決めされた部
品供給ユニット７２の部品供給部から電気部品を取り出
した後、ＣＣＤカメラにより電気部品の保持姿勢が撮像
されるとともに、部品吸着具による保持位置誤差および
保持方位誤差が演算され、部品吸着具回転装置により自
身の軸線まわりに回転させられて電気部品の保持方位誤
差が修正された後、電気部品をプリント基板３２に装着
する。

【００３９】移動式電気部品供給装置２０において、複
数の部品供給ユニット７２の各部品供給部は、移動テー
ブル７０の移動により部品吸着位置に選択的に位置決め
される。プリント基板支持装置１６においては、プリン
ト基板３２に電気部品が１個装着される毎にプリント基
板３２がＸ軸，Ｙ軸テーブル２８，３０により移動させ
られ、部品装着箇所が、部品装着位置へ移動させられた
部品吸着具の下方に位置する位置に位置決めされる。Ｘ
軸，Ｙ軸テーブル２８，３０の移動距離は、部品吸着具
による電気部品の保持位置誤差（電気部品の中心位置の
Ｘ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差）およびプリント基板３２
の部品装着箇所のＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差を修正す
べく、修正される。電気部品のプリント基板３２への装
着に先立って、プリント基板３２に対角線上に設けられ
た２個の基準マーク（図示省略）が図示しない基準マー
ク撮像装置により撮像され、撮像データに基づいて多数
の部品装着箇所の各々についてＸ軸，Ｙ軸方向の各位置
誤差が演算されている。電気部品の中心位置のＸ軸，Ｙ
軸方向の各保持位置誤差は、部品吸着具が電気部品を吸
着する際に生ずる中心位置誤差と、電気部品の保持方位
誤差の修正により生ずる中心位置の変化との和である。

【００４０】電気部品装着機１４においては、これら移
動テーブル７０，Ｘ軸，Ｙ軸テーブル２８，３０，回動
板６０等の加速，減速に基づいて基台２２が加振され、
基台２２が振動させられる。２組の支持ユニット９４の
各４個ずつの圧縮コイルスプリング１３４，３組のスプ
リングユニット９２の各圧縮コイルスプリングおよびエ
アスプリング９６の弾性変形により基台２２が床面１０
に対して移動することが許容され、床への振動の伝達が
回避されるとともに、スプリングユニット９２を構成す
る非調節式ダンパおよび支持ユニット９４を構成する調
節式ダンパ１３６により、基台２２と床１０との相対振
動が減衰させられる。圧縮コイルスプリングは、上下方
向，テーブル移動方向および前後方向のいずれにおいて
も弾性変形可能であり、床面１０に直角に設けられてい
て、基台２２と床面１０とのあらゆる方向の相対振動が
許容される。エアスプリング９６も、基台２２と床面１
０とのあらゆる方向の相対振動を許容する。

【００４１】基台２２が床面１０に対して移動すると
き、支持ユニット９４を構成する上部材１３０が下部材
１３２に対して移動するが、調節式ダンパ１３６におい
ては、摩擦材１４４がエアシリンダ１４６によって摩擦
リブ１７２に押し付けられており、振動エネルギが摩擦
による熱エネルギに変換されて基台２２と床面１０との
相対振動が減衰させられる。摩擦材１４４および摩擦リ
ブ１７２は、テーブル移動方向に平行にかつ垂直に設け
られており、調節式ダンパ１３６は、基台２２と床面１
０とのテーブル移動方向に平行な垂直面内のあらゆる方
向の相対振動を減衰させる。前述のように、圧縮コイル
スプリング１３４および調節式ダンパ１３６は、基台２
２の四方に設けられており、基台２２が床面１０に対し
て特に安定して支持され、基台２２全体が床面１０に対
して移動し得るとともに、基台２２と床面１０との相対
振動が減衰される。非調節式ダンパは、基台２２と床面
１０との上下方向および水平方向の相対振動を減衰させ
る。

【００４２】複数の部品供給ユニット７２が設置された
移動テーブル７０は質量が大きいため、移動テーブル７
０の移動開始，停止時には、移動テーブル７０の移動方
向と平行な方向の大きな加振力が基台２２に加えられ、
前述のように、回転振動も生じ、基台２２の電気部品装
着機支持装置１２により支持される部分には、テーブル
移動方向と平行な垂直面内のあらゆる方向の成分を含む
振動が生じるが、２組の支持ユニット９４がテーブル移
動方向において互いに隔たって配設されるとともに、調
節式ダンパ１３６は、基台２２と床面１０とのテーブル
移動方向に平行な垂直面内のあらゆる方向の相対振動を
減衰させるものとされており、調節式ダンパ１３６によ
り、テーブル移動方向の基台２２と床面１０との上記あ
らゆる方向の相対振動が効果的に減衰させられ、床に伝
達される振動が少なくて済むとともに、電気部品装着機
１４の振動も少なくて済む。この振動は、非調節式ダン
パによっても減衰させられる。Ｙ軸テーブル３０の移動
等により、基台２２には、水平面内においてテーブル移
動方向と直角な前後方向の加振力も加えられるが、大き
くなく、基台２２と床面１０との前後方向の相対振動を
減衰させるダンパを設けなくても支障はない。

【００４３】調節式ダンパ１３６の減衰特性は、電気部
品装着機１４ごとに調節される。前記パイロット式可変
開閉弁１５８の閉弁圧およびパイロット式可変開閉弁１
６０の開弁圧を調節して、エアシリンダ１４６のエア室
１５４に供給されるエアの圧力を調節し、エアシリンダ
１４６が摩擦材１４４を摩擦リブ１７２に押し付ける押
付力を調節することにより、減衰特性が調節される。こ
の調節は、電気部品装着機１４の基台２２への据付け時
に行われる。電気部品装着機１４が試運転され、その際
に生ずる床の振動が測定され、床の振幅が小さく、か
つ、電気部品装着機１４の振幅が過大にならない大きさ
にエア圧が設定される。電気部品装着機１４の振動によ
る床の振幅の大きさは、床の条件、例えば剛性，質量，
減衰特性等により変わる。そこで、ダンパを調節式ダン
パとし、電気部品装着機１４の設置時に、床の条件に合
わせて調節式ダンパ１３６の減衰特性を調節することに
より、床の振幅を小さくすることができる。また、基台
２２から床に伝達される振動の振幅や周波数は、電気部
品装着機１４の条件、例えば質量，Ｘ軸，Ｙ軸テーブル
２８，３０や移動テーブル７０の各移動速度等により変
わる。搭載される部品供給ユニット７２の数や各部品供
給ユニット７２に収容されている電気部品の数の変化等
に伴う移動式電気部品供給装置２０全体の質量の変化
や、電気部品装着機１４の運転速度の変化等に応じて変
わるのであるが、ダンパの減衰特性を調節すれば、それ
ら変化にもかかわらず、床に伝達される振動の低減，電
気部品装着機１４の過大な振動の防止に最適な減衰量が
得られる。

【００４４】また、基台２２の移動テーブル７０を支持
する部分の荷重は基台２２の装着装置１８に対して移動
テーブル７０とは反対側の部分の荷重より大きく、か
つ、加振力も大きいが、基台２２の移動テーブル７０を
支持する部分と床面１０との間には、反対側の部分と床
面１０との間よりも多くのスプリングユニット９２が設
けられているため、基台２２は水平に保たれ、かつ、移
動テーブル７０の移動に伴う基台２２の振動が効果的に
減衰させられる。

【００４５】このように電気部品装着機支持装置１２を
設ければ、基台２２の床面１０に対する移動が許容され
るとともに、相対振動が減衰させられるため、基台２２
と床との相対振動が調節式ダンパ１３６および非調節式
ダンパにより抑制される分、床に振動が伝達されること
となるが、弾性部材たる圧縮コイルスプリング１３４等
を設けない場合に比較して僅かであり、床に伝達される
振動が少なくて済み、床の振動が小さくて済むととも
に、基台２２が長く振動し続けたり、共振等による振幅
の増大が生じたりすることを良好に防止し得る。したが
って、例えば、基板搬入コンベヤ４６，基板搬出コンベ
ヤ４８と、プリント基板支持装置１６の基板保持装置と
の間においてプリント基板３２の受渡しが行われる際の
両者のずれは無視し得るほど小さく、プリント基板３２
は支障なく、受渡しされる。プリント基板３２への電気
部品の装着が終了し、プリント基板３２が基板搬出コン
ベヤ４８へ搬出され、あるいは新たなプリント基板３２
が基板搬入コンベヤ４６から基板保持装置へ搬入され、
あるいはプリント基板３２が搬出，搬入されるのと並行
して、移動テーブル７０が移動させられて部品供給開始
位置へ戻されるとき、それにより生ずる振動によって基
板搬入コンベヤ４６，基板搬出コンベヤ４８と基板保持
装置との間にずれが生じ、プリント基板３２の受渡しに
ミスが生ずることはないのである。

【００４６】また、装着装置１８による電気部品の取出
時に電気部品装着機１４が振動しているが、部品吸着具
による電気部品の保持位置誤差，保持方位誤差は修正さ
れてプリント基板３２への装着が行われるため、振動が
装着誤差の原因になることはない。電気部品のプリント
基板３２への装着時にも電気部品装着機１４が振動して
いるが、装着精度は、従来、すなわち電気部品装着機支
持装置１２を設けず、レベリングシートを床に敷き、レ
ベリングボルトを用いて電気部品装着機を設置する場合
と殆ど変わらないことが実験により確認されている。こ
れは、プリント基板支持装置１６，装着装置１８，移動
式電気部品供給装置２０の各可動部（Ｘ軸テーブル２
８，Ｙ軸テーブル３０，回動板６０，移動テーブル７０
等）がサーボモータ３４，７６等を駆動源として移動さ
せられるため、揺れの周波数がサーボの応答周波数より
はるかに小さく、サーボが揺れに対して十分対応できる
ためと考えられる。

【００４７】さらに、傾き調節装置９０が設けられてい
るため、移動式電気部品供給装置２０全体の重量が変わ
っても、基台２２を水平、すなわち床面１０に対して平
行な状態に保つことができる。前述のように、ドッグ１
１８の高さの調節は、例えば、電気部品装着機１４の据
付け時に、移動テーブル７０に部品供給ユニット７２が
搭載されていない状態で行われる。そのため、移動テー
ブル７０への部品供給ユニット７２の搭載により移動式
電気部品供給装置２０の重量が増大すれば、基台２２の
後部（前後方向において移動式電気部品供給装置２０を
支持する部分）の負荷が増大して、傾き調節装置９０の
テーブル移動方向における両側にそれぞれ設けられたス
プリングユニット９２（基台２２の後部と床面１０との
間に設けられた２組のスプリングユニット９２）の各圧
縮コイルスプリングおよび２組の支持ユニット９４をそ
れぞれ構成する圧縮コイルスプリング１３４のうち、基
台２２の後部側に設けられた圧縮コイルスプリング１３
４と共にエアスプリング９６が圧縮され、レバー１０８
が、エア供給方向（図５においては反時計方向）へ回動
させられて方向切換弁１００がエア供給状態に切り換え
られる。それにより、エアスプリング９６にエアが供給
されてエア圧が増大させられ、エアスプリング９６の弾
性力が増大させられて、基台２２の後部が押し上げられ
る。エアスプリング９６の弾性力が移動式電気部品供給
装置２０の重量の増大に見合う分だけ増大したとき、レ
バー１０８が水平な状態となり、エアスプリング９６へ
のエア供給が停止させられる。つまり、移動式電気部品
供給装置２０の重量増大に起因する基台後部の負荷の増
大にかかわらず、エアスプリング９６の高さが一定、す
なわち基台２２の床面１０からの高さが一定に保たれ、
基台２２が床面１０に対して平行に保たれる。移動テー
ブル７０に搭載される部品供給ユニット７２の数は、例
えば、プリント基板３２の種類によって異なるが、基台
２２が床面１０に対して平行に保たれる。

【００４８】また、装着装置１８への電気部品の供給の
進行により、複数の部品供給ユニット７２の各々に保持
されている電気部品の数が減少し、移動式電気部品供給
装置２０の重量が減少すれば、基台２２の後部が上昇し
てレバー１０８をエア流出方向（図５においては時計方
向）へ回動させるため、方向切換弁１００が開放状態に
切り換えられ、エアスプリング９６内のエアが大気へ流
出させられてエア圧が減少させられる。それにより、エ
アスプリング９６の弾性力が減少させられ、基台２２の
後部が下降してレバー１０８が水平な状態となり、エア
スプリング９６へのエア供給が停止させられ、エアスプ
リング９６の高さが一定に保たれて、基台２２が床面１
０に対して平行な状態に保たれる。電気部品の数の減少
による重量の減少は、電気部品の装着中に徐々に生ずる
が、重量の減少に応じて方向切換弁１００が切り換えら
れ、基台２２は自動的に床面１０に対して平行な状態に
保たれる。

【００４９】このように、基台２２の後部の負荷の変動
にもかかわらず、エアスプリング９６の高さが予め設定
された一定の高さに保たれることにより、基台２２の床
面１０に対する前後方向の傾きが修正され、平行な状態
に保たれる。方向切換弁１００は、基台２２の床面１０
に対する傾きに伴って自動的にかつ機械的に切り換えら
れる弁である。このように、方向切換弁１００が基台２
２の傾きに伴って機械的に切り換えられるため、基台２
２の傾きが僅かである状態では方向切換弁１００が僅か
に開かれ、エアの流入もしくは流出が小流量で許容され
る。方向切換弁１００は流量制御の機能も果たすのであ
り、基台２２の傾きの微妙な調整が自動的に行われる。

【００５０】上記実施形態の電気部品装着支持装置１２
は、傾き調節装置９０を１組含むものとされており、傾
き調節装置９０が１組で済むメリットを有するが、図１
１に示す電気部品装着機支持装置２００のように、傾き
調節装置９０を２組含むものとしてもよい。基台２２の
移動テーブル７０を支持する部分であって、テーブル移
動領域の移動方向における両端部と床面１０との間にそ
れぞれ、傾き調節装置９０が設けられている。これら傾
き調節装置９０はそれぞれ、エアスプリング９６および
機械式バルブ装置９８を含む。２組の傾き調節装置９０
のうちの一方は他方を、基台２２の中心を通り、基台２
２に直角な回転軸線に対して１８０度反転させた装置に
相当し、２組の傾き調節装置９０の構成は全く同じであ
って、基台２２の長手方向（移動テーブル７０の移動方
向と平行な方向）において対称の位置に設けられてい
る。このように傾き調節装置９０を移動テーブル７０の
移動方向と平行な方向において距離を隔てた２箇所にそ
れぞれ設ければ、前記電気部品装着機支持装置１２にお
けると同様に、複数の部品供給ユニット７２の各部品供
給部が並ぶ方向と直角な方向における基台２２の床面１
０に対する傾きを調節し、基台２２を床面１０に対して
平行な状態に保つことができ、しかも、移動テーブル７
０の移動に伴って基台２２の、移動テーブル７０の移動
方向に隔たった部分から電気部品装着機支持装置１２へ
の荷重が変化しても、基台２２を床面１０に対して平行
な状態に保つことができる。傾き調節装置９０が２組設
けられても、１組設ける場合と同様に、方向切換弁１０
０が切り換えられてエアスプリング９６内のエアの圧力
が調節され、エアスプリング９６の高さが一定に保たれ
て基台２２が床面１０に対して平行な状態に保たれる。

【００５１】なお、床面１０のうねりや傾きが特に大き
い場合には、床面１０上に適宜の厚さの水平調節部材、
例えば、鋼板を介して電気部品装着機支持装置１２およ
び電気部品装着機１４を設けてもよい。鋼板は、例え
ば、レベリングボルトを用いて電気部品装着機支持装置
１２および電気部品装着機１４を支持する面が水平とな
るようにされる。

【００５２】また、弾性部材および非調節式ダンパのみ
を含み、調節式ダンパを含まない電気部品装着機支持装
置も、本発明の一実施形態である。例えば、支持ユニッ
ト９４に代えてスプリングユニット９２を設けるのであ
る。あるいは前記パイロット式可変開閉弁１５８，１６
０に代えて、閉弁圧および開弁圧が調節されず、一定の
パイロット式開閉弁を設けてもよい。

【００５３】さらに、傾き調節装置９０は、１組あるい
は２組に限らず、３組以上設けてもよい。例えば、基台
２２の移動テーブル７０を支持する部分であって、テー
ブル移動方向に隔たった２箇所と床面１０との間にそれ
ぞれ、傾き調節装置９０を設けるとともに、基台２２の
プリント基板支持装置１６を支持する部分と床面１０と
の間であって、前後方向において装着装置１８に、移動
式電気部品供給装置２０とは反対側において隣接する部
分に１組、合計３組設ける。あるいは、基台２２のプリ
ント基板支持装置１６を支持する部分と床面１０との間
であって、基板搬入コンベヤ４６および基板搬出コンベ
ヤ４８によるプリント基板３２の搬送方向（上記各実施
形態では移動テーブル７０の移動方向と平行である）に
隔たった２箇所にそれぞれ傾き調節装置９０を設け、合
計４組設けてもよい。基台２２の四方と床面１０との間
にそれぞれ傾き調節装置９０を設けるのである。このよ
うにすれば、基台２２の床面１０に対する傾きが調節さ
れ、基台２２を床面１０に対して平行な状態に保つこと
ができるとともに、基台２２（電気部品装着機１４）の
レベル（高さ）を所望の高さに調節でき、水平度を高め
ることができる。

【００５４】その他、特許請求の範囲を逸脱することな
く、当業者の知識に基づいて種々の変形，改良を施した
態様で本発明を実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である電気部品装着機支持
装置により支持された電気部品装着機を概略的に示す平
面図である。

【図２】上記電気部品装着機の基台を構成するフレーム
を電気部品装着機支持装置と共に示す平面図である。

【図３】上記電気部品装着機支持装置を示す正面図であ
る。

【図４】上記電気部品装着機支持装置の構成要素である
傾き調節装置のレベリングバルブを示す平面図である。

【図５】上記レベリングバルブを示す正面図である。

【図６】上記レベリングバルブの方向切換弁へのエアの
供給を説明する回路図である。

【図７】上記電気部品装着機支持装置の構成要素である
支持ユニットの上部材の一端部を示す底面図である。

【図８】上記支持ユニットの下部材の一端部を示す平面
図である。

【図９】上記支持ユニットの構成要素である圧縮コイル
スプリングが上部材と下部材とに係合させられた状態を
示す正面図（一部断面）である。

【図１０】上記支持ユニットの構成要素である押付装置
を示す正面図（一部断面）である。

【図１１】本発明の別の実施形態である電気部品装着機
支持装置を、電気部品装着機の基台を構成するフレーム
と共に示す平面図である。

【符号の説明】

１０：床面 １２：電気部品装着機支持装置 １
４：電気部品装着機 １６：プリント基板支持装置 １８：装着装置 ２
０：電気部品供給装置 ２２：基台 ３２：プリント基板 ７０：移動テー
ブル ７２：部品供給ユニット ９０：傾き調節装
置 ９４：支持ユニット ９６：エアスプリング
９８：機械式バルブ装置 １３０：上部材 １３
２：下部材 １３４：圧縮コイルスプリング １３６：調節式ダン
パ １４４：摩擦材 １４６：エアダンパ １７２：摩擦リブ ２００：
電気部品装着機支持装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回路基材を支持する基材支持装置と、回
   路基材に装着されるべき電気部品を供給する電気部品供
   給装置と、その電気部品供給装置から電気部品を受け取
   って前記基材支持装置に支持されている回路基材に装着
   する装着装置と、それら基材支持装置，電気部品供給装
   置および装着装置を支持する基台とを含む電気部品装着
   機を支持する装置であって、 前記基台とその基台を支持する床面との間に設けられる
   弾性部材と、その弾性部材の弾性変形に伴う基台と床面
   との相対振動を減衰させるダンパとを含むことを特徴と
   する電気部品装着機支持装置。
2. 【請求項２】 前記装着装置が一定の部品受取位置で電
   気部品を受け取るものであり、前記電気部品供給装置
   が、その部品受取位置を通る１本の直線に沿って移動す
   る移動テーブルとその移動テーブル上に設置された複数
   の部品供給ユニットとを含み、移動テーブルの移動によ
   り複数の部品供給ユニットの各々を部品受取位置に選択
   的に位置決めする移動式電気部品供給装置であり、前記
   ダンパが少なくとも前記直線に平行な垂直面内のあらゆ
   る方向の相対振動を減衰させるものであることを特徴と
   する (1)項に記載の電気部品装着機支持装置。
3. 【請求項３】 前記ダンパが減衰特性を調節可能な調節
   式ダンパを含むことを特徴とする (1)または (2)項に記
   載の電気部品装着機支持装置。
4. 【請求項４】 さらに、前記基台と前記床面との間に配
   設され、基台の床面に対する傾きを調節する傾き調節装
   置を含むことを特徴とする (1)ないし (3)項のいずれか
   １つに記載の電気部品装着機支持装置。