JPH11214952A - 圧電部品及び圧電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インピーダンスの低い外部回路との接続が容
易であり、小型化が容易で機械的強度が強く信頼性が高
い圧電部品及び圧電装置を得る。 【解決手段】 圧電部品は、圧電体層４１〜４３及び電
極膜４４〜４７を積層して構成している。圧電体層４１
〜４３は電極膜４４，４５を間にしてその厚み方向に積
層され、上面及び下面にそれぞれ電極膜４６，４７を形
成している。圧電体層４１は電極膜４４から電極膜４６
に向かう方向に、圧電体層４２は電極膜４４から電極膜
４５に向かう方向にそれぞれ分極されている。圧電体層
４３は電極膜４７から電極膜４５に向かう方向に分極さ
れている。この圧電部品全体は分極方向に対して直交す
る方向に、長さ振動モードで振動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電部品、特に、
発振子、ディスクリミネータ、フィルタ等に利用される
圧電部品及び圧電装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、例えば図１１に示されている
電気等価回路のように、入力端子１と出力端子２との間
に三つの圧電部品３〜５が梯子状に接続されている、い
わゆる梯子（ラダー）型のフィルタ１１が考えられてい
る。圧電部品３，４は直列共振子と呼ばれ、入力端子１
と出力端子２との間に直列に接続されている。圧電部品
５は並列共振子と呼ばれ、入力端子１と出力端子２を接
続する信号ラインとグランド端子Ｇとの間に接続されて
いる。

【０００３】このフィルタ１１の具体的な構成の一例を
図１２に示す。フィルタ１１は、圧電部品３〜５と、こ
れら圧電部品３〜５を支持する絶縁性基板１２とで構成
されている。圧電部品３〜５は、それぞれ短冊状の圧電
体基板１３〜１５の表裏面に、振動電極１３ａ，１３
ｂ、１４ａ，１４ｂ、１５ａ，１５ｂを形成したもので
ある。圧電部品３，４の各圧電体基板１３，１４の板厚
は、圧電部品５の圧電体基板１５よりも厚く設定されて
いる。これらの圧電部品３〜５は、圧電体基板１３〜１
５の長さ方向に振動する長さ振動モードで振動する。

【０００４】絶縁性基板１２の表面には、入力端子１、
出力端子２、グランド端子Ｇ及び中継端子２３が形成さ
れている。圧電部品３は、可撓性を有する導電性接着剤
により、その振動電極１３ｂの略中央部にて入力端子１
に接着されて保持されている。圧電部品４は、その振動
電極１４ｂの略中央部にて出力端子２に接着されて保持
されている。圧電部品５は、その振動電極１５ｂの略中
央部にてグランド端子Ｇに接着されて保持されている。

【０００５】圧電部品３，４，５のそれぞれの振動電極
１３ａ，１４ａ，１５ａは、ボンディングワイヤ２５に
より中継端子２３に電気的に接続されている。以上の導
電性接着剤及びボンディングワイヤ２５による圧電部品
３〜５の電気的な接続により、絶縁性基板１２上には図
１１の回路構成を有する梯子型のフィルタ１１が構成さ
れている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の梯子
型のフィルタ１１では、圧電部品５（並列共振子）の静
電容量と圧電部品３，４（直列共振子）の静電容量との
比が大きいほど、減衰域での挿入損失特性が大きく良好
なフィルタ特性を有するものが得られる。このため、並
列共振子５の圧電体基板１５は、その厚みが直列共振子
３，４の圧電体基板１３，１４の厚みよりも薄く設定さ
れている。しかし、このように圧電体基板１５の厚みが
薄くなると、並列共振子５の機械的強度が弱くなり、フ
ィルタ１１に外部からショック等が加わると容易に破損
するという問題があった。

【０００７】このような問題を解消するため、長さ振動
モードを利用した並列共振子５に代えて、図１３に示す
ように、拡がり振動モードを利用した並列共振子５ｓを
用いたフィルタ２１も考えられている。このフィルタ２
１は、圧電体基板２２を正方形状にして振動電極２２
ａ，２２ｂの対向面積を大きくすることにより、並列共
振子５ｓの静電容量を大きくしている。従って、その分
だけ圧電体基板２２の厚みを厚くすることができるの
で、その機械的強度を強くすることができる。しかしな
がら、この場合、並列共振子５ｓの形状が大きくなるの
で、フィルタ２１のサイズが大きくなるという問題があ
った。

【０００８】さらに、図１２及び図１３のフィルタ１１
及び２１に用いられる直列共振子３，４は、振動電極１
３ａ，１３ｂ及び１４ａ，１４ｂの面積が小さく、その
間に形成される静電容量が小さいので、インピーダンス
が高い。このため、フィルタ１１及び２１の入力インピ
ーダンス及び出力インピーダンスが高くなり、入出力イ
ンピーダンスが低い半導体集積回路にフィルタ１１及び
２１を接続する際に、インピーダンス整合が取りにくい
という問題もあった。

【０００９】そこで、本発明の目的は、低インピーダン
スで機械的強度が強く信頼性が高い小型の圧電部品、並
びに、半導体集積回路等からなるインピーダンスの低い
外部回路との整合が容易な圧電装置を提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段及び作用】前記目的を達成
するため、本発明に係る圧電部品は、複数の圧電体層と
複数の電極膜を積み重ねて積層体を構成し、各々の前記
圧電体層の分極軸を揃えると共に、隣接する圧電体層の
分極方向が互いに逆方向になるようにし、前記積層体が
前記圧電体層の分極方向に対して直交する方向に長さ振
動モードで振動することを特徴とする。ここに、積層体
に配設された複数の電極膜は、例えば、ビアホールを介
して電気的に接続される。

【００１１】以上の構成により、圧電体層の積層枚数が
多くなるにつれて、圧電部品の静電容量が大きくなり、
圧電部品のインピーダンスが低下する。また、圧電体層
の多層化により、圧電部品の機械的強度も強くなる。

【００１２】また、本発明に係る圧電装置は、複数の圧
電体層と複数の電極膜を積み重ねて積層体を構成し、各
々の圧電体層の分極軸を揃えると共に、隣接する圧電体
層の分極方向が互いに逆方向になるようにし、積層体が
圧電体層の分極方向に対して直交する方向に長さ振動モ
ードで振動する圧電部品を備えたことを特徴とする。

【００１３】圧電装置の具体例としては、入力端子と出
力端子との間に直列共振子と並列共振子とが梯子状に接
続され、直列共振子又は並列共振子の少なくともいずれ
か一つの共振子に前記圧電部品を採用した圧電装置があ
る。この圧電装置において、直列共振子に前記圧電部品
を採用した場合には、圧電体層の積層枚数が多くなるに
つれて、この直列共振子の静電容量が大きくなる。従っ
て、直列共振子のインピーダンスも低くなり、圧電装置
にインピーダンスの低い外部回路を接続する際のインピ
ーダンスマッチングが容易になる。一方、並列共振子に
前記圧電部品を採用した場合には、圧電体層の積層枚数
が多くなるにつれて、この並列共振子の静電容量が大き
くなる。従って、並列共振子の静電容量と直列共振子の
静電容量の比が大きくなり、この圧電装置をフィルタと
して使用する場合には減衰特性が向上する。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る圧電部品及び
圧電装置の実施形態について添付の図面を参照して説明
する。各実施形態は、圧電装置としてフィルタを例にし
て説明するが、発振子、ディスクリミネータ等であって
もよいことは言うまでもない。

【００１５】［第１実施形態、図１〜図４］図１に示す
ように、梯子型フィルタ３０は、アルミナ等の絶縁材料
からなる絶縁性基板３６と、この絶縁性基板３６上に支
持された５つの圧電部品３１〜３５を有する。圧電部品
３１〜３５はいずれも圧電セラミックからなり、そのう
ちの二つの圧電部品３１，３３の各々は、図２に示すよ
うに、三層の矩形状の圧電体層４１〜４３からなり、こ
れら圧電体層４１〜４３を電極膜４４，４５を間にして
その厚み方向に積層するとともに、さらに上面及び下面
にそれぞれ電極膜４６，４７を形成して積層体４０を構
成したものである。

【００１６】これら三層の圧電体層４１〜４３は、その
分極軸を揃えると共に、隣接する圧電体層４１〜４３の
分極方向が互いに逆方向になるように配設されている。
すなわち、圧電体層４１〜４３は、図３において矢印Ｐ
１，Ｐ２及びＰ３でそれぞれ示すように分極されてい
る。圧電体層４１は、その厚み方向に電極膜４４から電
極膜４６に向かう方向に分極されている。また、圧電体
層４２は、その厚み方向に電極膜４４から電極膜４５に
向かう方向に分極されている。さらに、圧電体層４３
は、その厚み方向に電極膜４７から電極膜４５に向かう
方向に分極されている。圧電体層４１〜４３の長さは、
圧電部品３１，３３に要求される共振周波数に基づいて
決定される。

【００１７】圧電体層４２と圧電体層４３との間に配設
された電極膜４５と、圧電体層４１の上に形成された電
極膜４６とは、ビアホール４８により電気的に接続され
ている。ビアホール４８は、圧電体層４１と圧電体層４
２との間に配設された電極膜４４と電気的に絶縁されて
いる。また、圧電体層４１と圧電体層４２との間に配設
された電極膜４４と、圧電体層４３の上に形成された電
極膜４７とは、ビアホール４９により電気的に接続され
ている。ビアホール４９は、圧電体層４２と圧電体層４
３との間に配設された電極膜４５と電気的に絶縁されて
いる。

【００１８】圧電体層４１〜４３の材料としては、圧電
セラミックや圧電単結晶等が用いられる。電極膜４４〜
４７は、例えば、真空蒸着やスパッタリング等の物理気
相蒸着法（ＰＶＤ法）、コーティングや印刷等の塗布
法、あるいは無電解及び電解メッキ法を利用して形成さ
れる。また、圧電体層４１〜４３の材料として圧電セラ
ミックを用いた場合には、圧電セラミックの分極処理時
に印加する分極電圧を電極膜４６，４７に印加すること
により、圧電部品３１，３３の製造を容易にすることが
できる。なお、必要に応じて、圧電部品３１〜３５を覆
うケース（図示せず）を絶縁性基板３６の上に載せても
よい。

【００１９】こうして得られた積層型の圧電部品は、電
極膜４６，４７が入出力電極として使用される。電極膜
４６，４５と電極膜４４，４７との間に電気信号が印加
されると、圧電体層４１〜４３が圧電的に活性となる。
すなわち、この積層型圧電部品は、電極膜４６，４７に
電気信号を与えることにより、互いに逆向きに分極した
圧電体層４１〜４３に互いに逆向きの電圧が印加される
ため、圧電体層４１〜４３は全て同じ方向に伸縮しよう
とする。そのため、圧電部品全体が、積層体４０の中心
部をノードとした長さ振動モードで励振される。しか
も、積層型圧電部品は、圧電体層４１〜４３の分極方向
（矢印Ｐ１，Ｐ２及びＰ３で表示された方向）に対して
直交する方向に、言換えると圧電部品の長さ方向に、長
さ振動モードで振動する。こうして、三層の圧電体層４
１〜４３により形成される積層体４０は、二端子圧電部
品として機能する。

【００２０】図１に戻って、残る三つの圧電部品３２，
３４及び３５の各々はいずれも、短冊状の圧電体基板５
２，５４及び５５の表裏面に振動電極５２ａ，５２ｂ、
５４ａ，５４ｂ及び５５ａ，５５ｂをそれぞれ形成して
なるものである。圧電体基板５２，５４及び５５は厚み
方向に分極されており、その長さ方向に振動する長さ振
動モードで振動する。

【００２１】一方、絶縁性基板３６の表面には、入力端
子６１、出力端子６２、グランド端子６３及び中継端子
６５，６６が形成されている。圧電部品３１は、可撓性
を有する導電性接着剤により、その電極膜４７の略中央
部にて入力端子６１に接着されて保持されている。圧電
部品３３は、可撓性を有する導電性接着剤により、その
電極膜４７の略中央部にて出力端子６２に接着されて保
持されている。圧電部品３２は、可撓性を有する導電性
接着剤により、その振動電極５２ｂの略中央部にて中継
端子６５に接着されて保持されている。圧電部品３４，
３５は、それぞれ可撓性を有する導電性接着剤により、
その振動電極５４ｂ，５５ｂの略中央部にてグランド端
子６３に接着されて保持されている。

【００２２】圧電部品３１の電極膜４６及び圧電部品３
４の振動電極５４ａは、それぞれボンディングワイヤ６
８により中継端子６５に電気的に接続されている。さら
に、圧電部品３２の振動電極５２ａ、圧電部品３３の電
極膜４６及び圧電部品３５の振動電極５５ａは、それぞ
れボンディングワイヤ６８により中継端子６６に電気的
に接続されている。

【００２３】以上の導電性接着剤及びボンディングワイ
ヤ６８による圧電部品３１〜３５の電気的な接続によ
り、図４に示した回路構成を有する梯子型フィルタ３０
が構成される。即ち、圧電部品（直列共振子）３１〜３
３が、入力端子６１と出力端子６２の間に直列に接続さ
れている。圧電部品（並列共振子）３４，３５が入力端
子６１と出力端子６２を接続する信号ラインとグランド
端子６３との間に接続されている。

【００２４】このような構成の梯子型フィルタ３０にお
いて、入力端子６１及び出力端子６２にそれぞれ接続さ
れている入力側圧電部品３１及び出力側圧電部品３３
は、圧電体層４１〜４３と電極膜４４〜４７とで多層構
造を構成しているので、圧電部品３１，３３の静電容量
が大きくなり、圧電部品３１，３３のインピーダンスが
低下する。従って、梯子型フィルタ３０にインピーダン
スの低い外部回路を接続する際のインピーダンスマッチ
ングが容易になる。また、圧電体層４１〜４３の多層化
により、圧電部品３１，３３の機械的強度も強くなる。
さらに、圧電体層４１〜４３と電極膜４４〜４７の積層
枚数を変えることにより、圧電部品３１及び３３の静電
容量を変えることができる。従って、フィルタ３０が接
続される外部回路の入出力インピーダンスに応じて圧電
体層の積層枚数を調整することにより、外部回路と容易
にインピーダンス整合を取ることができる。

【００２５】［第２実施形態、図５］図５に示すよう
に、梯子型フィルタ７０は図１２で説明したフィルタ１
１において、圧電部品５（並列共振子）に代えて、図２
及び図３にて説明した構成を有する圧電部品７１を用い
たものである。なお、図５において、図２，図３及び図
１２に対応する部分には対応する符号を付して示し、重
複した説明は省略する。

【００２６】圧電部品７１（並列共振子）は、圧電体層
４１〜４３と電極膜４４〜４７とで多層構造を構成して
いるので、並列共振子７１の静電容量が大きくなる。従
って、並列共振子７１の静電容量と、入力端子１と出力
端子２間に接続される圧電部品３，４（直列共振子）の
静電容量との比が大きくなり、良好な減衰特性を有する
梯子型フィルタ７０を得ることができる。また、圧電体
層４１〜４３の多層化により、並列共振子７１の機械的
強度も強くなる。

【００２７】［第３実施形態、図６］図６に示すよう
に、梯子型フィルタ７０ａは、図１２で説明したフィル
タ１１の圧電部品３，４（直列共振子）及び圧電部品５
（並列共振子）に代えて、図２及び図３にて説明した構
成を有する圧電部品７３，７４（直列共振子）及び圧電
部品７５（並列共振子）を用いたものである。ただし、
これら圧電部品７３〜７５のうち、並列共振子７５は直
列共振子７３，７４よりも多くの圧電体層及び電極膜を
積層し、その静電容量が直列共振子７３，７４の各々の
静電容量よりも大きくなるようにしている。なお、図６
においても、図２，図３及び図１２に対応する部分には
対応する符号を付して示し、重複した説明は省略する。

【００２８】梯子型フィルタ７０ａは、並列共振子７５
の積層数が直列共振子７３，７４の積層数よりも多いの
で、並列共振子７５の静電容量と直列共振子７３，７４
の静電容量との比が大きくなる。これにより、良好な減
衰特性を有する梯子型フィルタ７０ａを得ることができ
る。また、入力端子１及び出力端子２にそれぞれ接続さ
れる入力側圧電部品７３及び出力側圧電部品７４は、圧
電体層４１〜４３と電極膜４４〜４７とで多層構造を構
成しているので、圧電部品７３，７４の静電容量が大き
くなり、圧電部品７３，７４のインピーダンスが低下す
る。従って、梯子型フィルタ７０ａにインピーダンスの
低い外部回路を接続する際のインピーダンスマッチング
が容易になる。

【００２９】［第４実施形態、図７］図７に示すよう
に、梯子型フィルタ７０ｂは図５で説明した梯子型フィ
ルタ７０において、長さ振動モードで振動する圧電部品
３，４（直列共振子）に代えて、拡がり振動モードで振
動する圧電部品３ａ，４ａを用いたものである。なお、
図７において、図５に対応する部分には対応する符号を
付して示し、重複した説明は省略する。

【００３０】梯子型フィルタ７０ａは、圧電部品７１
（並列共振子）は、圧電体層４１〜４３と電極膜４４〜
４７とで多層構造を構成しているので、並列共振子７１
の静電容量が大きくなる。従って、圧電部品７１の静電
容量と、入力端子１もしくは出力端子２に接続される圧
電部品３ａ，４ａ（直列共振子）の静電容量との比が大
きくなり、良好な減衰特性を有するフィルタ７０ａを得
ることができる。また、入力端子１もしくは出力端子２
に接続された圧電部品３ａ，４ａ（直列共振子）は、そ
の振動電極の対向面積が大きく静電容量も大きいので、
低インピーダンスである。従って、梯子型フィルタ７０
ａは、低い入出力インピーダンスを有する外部回路と容
易にインピーダンス整合を取ることができる。

【００３１】［第５実施形態、図８及び図９］図８に示
すように、圧電部品８１は、図２で説明した構成を有す
る圧電部品４０において、電極膜４６の幅の中央部にて
その長手方向に走る凹溝８２を形成し、凹溝８２により
電極膜４４及び電極膜４６をそれぞれ二つの電極膜４４
ａ，４４ｂ及び４６ａ，４６ｂに分割することにより、
三端子型の圧電部品を構成したものである。圧電部品８
１の分割された電極膜４６ａと電極膜４５とはビアホー
ル８３により電気的に接続され、又、分割された電極膜
４４ａと電極膜４７とはビアホール８４により電気的に
接続されている。同様に、圧電部品８１の分割された電
極膜４６ｂと電極膜４５とはビアホール８５により電気
的に接続され、又、分割された電極膜４４ｂと電極膜４
７とはビアホール８６により電気的に接続されている。
電極膜４６ａ及び４６ｂはそれぞれ入力端子９１及び出
力端子９２に接続され、電極膜４７はグランド端子９３
に接続されている。

【００３２】以上のような構成を有する三端子型の圧電
部品８１は、三層の圧電体層４１ａ（４１ｂ），４２及
び４３が積層されているので、入力端子９１とグランド
端子９３との間の静電容量及び出力端子９２とグランド
端子９３との間の静電容量が大きくなる。従って、圧電
部品８１は、低い入出力インピーダンスを有する外部回
路と容易にインピーダンス整合を取ることができる。

【００３３】［他の実施形態］本発明は前記実施形態に
限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変
更することができる。

【００３４】例えば図２及び図３に示された圧電部品に
おいて、電極膜４５と４６との接続や電極膜４４と４７
との接続は、任意の位置及び数で行われる。また、ビア
ホール４８，４９に代えて、図１０に示すように、積層
体４０の側面や端面に形成した接続用電極１００，１０
１にて行うようにしてもよい。この場合、接続電極１０
０，１０１は、積層体４０の側面や端面に形成した絶縁
膜１０２，１０３により、それぞれ電極膜４４，４５と
電気的に絶縁される。さらに、圧電体層４１〜４３や電
極膜４４〜４７の形状、積層数、厚み等も任意である。

【００３５】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、複数の圧電体層と複数の電極膜を積み重ねて
積層体を構成し、各々の前記圧電体層の分極軸を揃える
と共に、隣接する圧電体層の分極方向が互いに逆方向に
なるようにし、前記積層体が前記圧電体層の分極方向に
対して直交する方向に長さ振動モードで振動するように
したので、圧電部品の静電容量が大きくなり、圧電部品
のインピーダンスも低くすることができる。また、圧電
体層の多層化により、機械的強度の高い小型の圧電部品
を得ることができる。

【００３６】また、電気的な接続が必要な電極膜をビア
ホールにより接続するようにすれば、積層体の内部で電
極膜を電気的に接続することができ、圧電部品の外部に
接続用の電極を引き出したり、接続用の電極と電極膜と
の短絡防止のための絶縁膜を形成する必要がなく、圧電
部品の構造が簡単になるとともにその製造も容易にな
る。

【００３７】また、入力端子と出力端子との間に直列共
振子と並列共振子とを梯子状に接続した圧電装置におい
て、直列共振子又は並列共振子の少なくともいずれか一
つの共振子として、複数の圧電体層と複数の電極膜を積
み重ねて積層体を構成し、各々の圧電体層の分極軸を揃
えると共に、隣接する圧電体層の分極方向が互いに逆方
向になるようにし、積層体が圧電体層の分極方向に対し
て直交する方向に長さ振動モードで振動する圧電部品を
採用したので、直列共振子に前記圧電部品を採用した場
合には、圧電体層の積層枚数が多くなるにつれて、この
直列共振子の静電容量が大きくなる。従って、直列共振
子のインピーダンスも低くなり、圧電装置にインピーダ
ンスの低い外部回路を接続する際のインピーダンスマッ
チングが容易になる。一方、並列共振子に前記圧電部品
を採用した場合には、圧電体層の積層枚数が多くなるに
つれて、この並列共振子の静電容量が大きくなる。従っ
て、並列共振子の静電容量と直列共振子の静電容量の比
が大きくなり、この圧電装置をフィルタとして使用する
場合には減衰特性が向上する。また、圧電部品の機械的
強度も高くなり、ショックに強く信頼性の高い圧電装置
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態を示すフィルタの構成を
示す斜視図。

【図２】図１のフィルタに使用される圧電部品の斜視
図。

【図３】図２の圧電部品を構成する圧電体層の分極及び
電極膜の接続関係を示す断面図。

【図４】図１のフィルタの等価回路図。

【図５】本発明の第２実施形態を示すフィルタの構成を
示す斜視図。

【図６】本発明の第３実施形態を示すフィルタの構成を
示す斜視図。

【図７】本発明の第４実施形態を示すフィルタの構成を
示す斜視図。

【図８】本発明の第５実施形態を示す三端子型圧電部品
の斜視図。

【図９】図８の三端子型圧電部品の横断面図。

【図１０】他の実施形態を示す圧電部品の斜視図。

【図１１】梯子形フィルタの回路図。

【図１２】図１１の回路構成を有する従来のフィルタの
構成を示す斜視図。

【図１３】図１１の回路構成を有する従来のフィルタの
構成を示す斜視図。

【符号の説明】

１…入力端子 ２…出力端子 ３，４，３ａ，４ａ…圧電部品 １３，１４…圧電体層 １３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ…振動電極 ３０…梯子型フィルタ ３１〜３５…圧電部品 ４０…積層体 ４１〜４３…圧電体層 ４４〜４７…電極膜 ４４ａ，４４ｂ，４６ａ，４６ｂ…電極膜 ４８，４９…ビアホール ５２，５４，５５…圧電体層 ５２ａ，５２ｂ，５４ａ，５４ｂ，５５ａ，５５ｂ…振
動電極 ６１…入力端子 ６２…出力端子 ７０，７０ａ，７０ｂ…圧電装置 ７１，７３〜７５…圧電部品 ８１…圧電部品 ８２…凹溝 ８３〜８６…ビアホール

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の圧電体層と複数の電極膜を積み重
   ねて積層体を構成し、各々の前記圧電体層の分極軸を揃
   えると共に、隣接する圧電体層の分極方向が互いに逆方
   向になるようにし、前記積層体が前記圧電体層の分極方
   向に対して直交する方向に長さ振動モードで振動するこ
   とを特徴とする圧電部品。
2. 【請求項２】 前記複数の電極膜がビアホールを介して
   電気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載
   の圧電部品。
3. 【請求項３】 請求項１記載の圧電部品を備えたことを
   特徴とする圧電装置。
4. 【請求項４】 入力端子と出力端子との間に直列共振子
   と並列共振子とが梯子状に接続され、前記直列共振子又
   は前記並列共振子の少なくともいずれか一つの共振子が
   請求項１記載の圧電部品であることを特徴とする圧電装
   置。