JPH11218560A - 検査回路 - Google Patents

検査回路

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JPH11218560A
JPH11218560A JP10021184A JP2118498A JPH11218560A JP H11218560 A JPH11218560 A JP H11218560A JP 10021184 A JP10021184 A JP 10021184A JP 2118498 A JP2118498 A JP 2118498A JP H11218560 A JPH11218560 A JP H11218560A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】バウンダリスキャン回路が付いていないIC
に、回路基板の大きさやICの大きさを大きくすること
なく回路基板上のアナログ素子および/またはデジタル
素子の検査を可能にするバウンダリスキャンテスト機能
を付加するようにした検査回路を提供することを目的と
する。 【解決手段】回路基板11上にインタポーザ基板13を
介してバウンダリスキャン機能を有しないIC14をマ
ウントするとともに、上記インタポーザ基板13上にベ
アチップから成るバウンダリスキャンセル15、16を
マウントし、これらのバウンダリスキャンセル15、1
6によって検査機能を付加する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は検査回路に係り、と
くに集積回路の外部入出力端子を順次走査するようにテ
ストデータの入出力を行なうようにした検査回路に関す
る。
【0002】
【従来の技術】集積回路(IC)を含む電子回路装置に
おいては、集積回路それ自身の検査や、この集積回路と
外部ロジックとの接続の検査等を行なうために、バウン
ダリスキャンテストの機能を備えるようにしている。バ
ウンダリスキャンテストはLSI、ASIC等の集積回
路の総ての外部入出力端子を順次走査するようにテスト
データの入出力を行なうものである。
【0003】従ってこのような方法によるテストを行な
うことができるようにするためには、回路基板上の必要
とするデバイスがこのテスト手法をサポートする必要が
ある。なおこのようなバウンダリスキャンテストの機能
を採用すると、制御線を含めた数本の専用線を必要とす
ることになる。そしてこのようなテストによって、上述
の如くICのデバイス自身の検証の他に、ICと外部ロ
ジックとの接続検証を行なうことが可能になる。
【0004】バウンダリスキャンテスト機能を有するバ
ウンダリスキャン対応デバイスは、デバイス本来の機能
を行なうための内部ロジックの他にTAP(テストアク
セスポート)コントローラによって構成されるテストロ
ジックをも内蔵することになる。そしてこの制御線を外
部のホストコンピュータから制御することにより、バウ
ンダリスキャンテストが実施されることになる。
【0005】図8は回路基板1上にバウンダリスキャン
対応デバイスから成るIC2、3をそれぞれマウントし
た構成を示している。これらのIC2、3はそれぞれ対
応する機能を行なうための内部ロジック4の他に、TA
Pコントローラ5が設けられている。従ってその制御線
を外部のホストコンピュータ7から制御することによ
り、バウンダリスキャンテストが実施されることにな
り、これによってIC2、3の検査や、これらのIC
2、3と外部のロジックとの接続の検査が行なわれるこ
とになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】最近開発された新しい
ICデバイスの多くはTAPコントローラを内蔵してお
り、バウンダリスキャンテストの機能を有するものが多
い。ところが既存のICデバイスにはこのような機能が
付いていないものがある。このようなICデバイスにつ
いては、回路基板上にテストピンと接触するテスト用ラ
ンドを設置してバウンダリスキャンテスト機能をエミュ
レートする方法が採用されている。ところがICのピン
の数が多くなると、これに伴って回路基板上のテストピ
ンと接続されるランドの面積の和が大きくなり、このよ
うなランドによって高密度実装が妨げられるという問題
がある。
【0007】回路基板上にテストピン用ランドを設ける
代りに、検査用IC6を用いてバウンダリスキャンテス
ト機能を付加する方法がある。この方法が図9に示され
ている。すなわち内部ロジック2のみを有し、バウンダ
リスキャンテスト機能を有しないIC2については、こ
のようなIC2に対応するように検査用IC6を回路基
板1上にマウントするものである。
【0008】このようなIC6をマウントすることによ
って、IC2についてバウンダリスキャン機能を付加す
ることが可能になり、IC2の検査や、このIC2と外
部のロジックとの接続検査等を自動的に行なうことが可
能になる。なおこの場合における検査の方法は、ホスト
コンピュータ7を用いて制御線によってテストを行なう
ものであって、図8に示す構成の場合と同様である。
【0009】図9に示すような構成によると、テストピ
ンと接触するランドを回路基板1上に設けることなくし
かも自動的にバウンダリスキャンテストが行なわれるよ
うな機能を付加できるようになる。ところがこのような
構成は、回路基板1上に内部ロジック4のみを有するI
C2に対応するように一対の検査用IC6を付加しなけ
ればならず、このようなIC6によって大きなスペース
を要するようになり、高密度実装が妨げられる。またI
Cの数が増えるために、電子回路のコストが増大する欠
点がある。
【0010】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、検査機能を有しない集積回路に対し
て、そのパッケージの大きさ以上のスペースを要するこ
となくしかも検査機能を付加することを可能にした検査
回路を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明は、集積回路の外
部入出力端子を順次走査するようにテストデータの入出
力を行なう検査回路において、検査機能をそれ自身が有
しない集積回路対してベアチップから成る検査用セルを
付加したことを特徴とする検査回路に関するものであ
る。
【0012】前記集積回路のパッケージとほぼ同じ大き
さの補助中間基板を具備し、該補助中間基板を介して前
記集積回路を前記回路基板にマウントするとともに、前
記補助中間基板上に前記検査用セルをマウントしてよ
い。また前記集積回路と前記補助中間基板との間に前記
検査用セルが位置するように前記補助中間基板上に前記
検査用セルがマウントされてよい。また前記集積回路と
前記回路基板との間に前記検査用セルが位置するように
前記補助中間基板上に前記検査用セルがマウントされて
よい。また前記集積回路の横に配列されるように前記検
査用セルが前記補助中間基板上にマウントされてよい。
【0013】前記集積回路のパッケージ上に前記検査用
セルがマウントされてよい。また前記検査用セルによっ
てバウンダリスキャン回路が形成されてよい。
【0014】本発明の好ましい態様によれば、バウンダ
リスキャン回路が付いていないICから成る集積回路に
対して、回路基板の大きさおよびICのサイズを大きく
することなく回路基板上のアナログ素子および/または
デジタル素子の検査をできるようにするものであって、
バウンダリスキャンテストに対応していない集積回路、
例えばLSIの外部にバウンダリスキャンテスト機能専
用のICを同じパッケージサイズに追加配置することに
ある。ここで追加されたICを使用して回路基板の検査
が行なわれる。とくにこの態様においては、追加配置さ
れるICを回路基板上に直接配置することなく、バウン
ダリスキャンテスト機能が付加される被対象のICと同
じ大きさのパッケージに作り直すことで、回路基板のサ
イズを大きくしないことを特徴とする。
【0015】とくに既存のASIC、LSI、ロジッ
ク、アナログIC等の既存のICデバイス、またはその
他の能動部品や受動部品、電源部品にバウンダリスキャ
ンテスト機能を付加し、しかもそのときのデバイスおよ
び部品サイズが元のデバイスおよび部品サイズと同じに
することができるようにしたパッケージング技術を含む
ものである。従って回路基板のサイズが大きくならず、
このためにこのような回路基板が搭載される機器の筐体
の設計を変更する必要がなくなる。またこのような回路
を応用して、バウンダリスキャンテスト機能が最初から
付いているICと組合わせて、回路基板を基板単体でか
つ高速にほとんど100%の検査が可能になる。
【0016】また本発明の別の好ましい態様において
は、既存のICのデバイスを変更せずにそのまま利用
し、このICデバイスと同じ大きさのパッケージ上に、
上記ICデバイスのピン数と追加する制御ピンの数の和
に相当する数のバウンダリスキャンセルを搭載するよう
にしたものである。ここでバウンダリスキャンテスト機
能を付加するために、回路基板上には必要に応じて数本
の配線が追加される。
【0017】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施の形態に係
るバウンダリスキャンテスト機能を有する電子回路を示
している。この電子回路は回路基板11上にマウントさ
れるようになっている。すなわち回路基板11上にはバ
ウンダリスキャン機能を有するIC12がマウントされ
るとともに、インタポーザ基板から成る補助中間基板1
3がマウントされている。そしてこの補助中間基板上に
バウンダリスキャンテスト機能を有しないIC14がマ
ウントされるようになっている。そしてこのIC14に
対してバウンダリスキャンテスト機能を付加するための
バウンダリスキャンセル15、16が補助中間基板13
上にIC14とともにマウントされるようになってお
り、これらが互いに所定の配線によって接続されるよう
になっている。なおバウンダリスキャンセル15、16
はそれぞれTAPコントローラ17を備えている。
【0018】図2はこのような回路基板11上における
IC14とバウンダリスキャンセル15、16とのマウ
ントの状態を示している。すなわち回路基板11上には
補助中間基板13を介してIC14とバウンダリスキャ
ンセル15,16とがそれぞれマウントされるようにな
っている。
【0019】ここでIC14のリード23はインタポー
ザ基板13の配線パターン24に半田付けされるととも
に、補助中間基板13の下面に形成されている配線パタ
ーン25が半田ボール26を介して回路基板11上の配
線パターン27に接続されるようになっている。これに
対してバウンダリスキャンセル15、16は半田ボール
29を介してインタポーザ基板13の上面の配線パター
ン30に接続されるようになっている。すなわちここで
はIC14とインタポーザ基板13との間に上記バウン
ダリスキャンセル15、16が位置するようになってい
る。なおバウンダリスキャンテスト機能を有するIC1
2は例えば図7に示すように、そのリード23が回路基
板11上の配線パターン24に直接半田付けされて接続
されている。
【0020】このように本実施の形態においては、バウ
ンダリスキャンテスト機能を有するIC12については
そのままのパッケージで従来と同様にマウントする。ま
たバウンダリスキャン機能を有しないIC14について
も、パッケージをそのまま使用することになる。またバ
ウンダリスキャンセル15、16についてはパッケージ
を有しないベアチップを利用するようにしている。そし
てバウンダリスキャン機能を有しないIC14とバウン
ダリスキャンセル15、16については、CSPまたは
BGAのようなインタポーザ基板13を使用するように
しており、バウンダリスキャンセル15、16をインタ
ポーザ基板13の上面に実装するようにし、これによっ
てバウンダリスキャンセル15,16を付加しても回路
基板11上におけるスペースが元のIC14の大きさと
同じスペースしか使用しないようにしている。またここ
ではバウンダリスキャンセル15、16がIC14とイ
ンタポーザ基板13との間に配置されるようにしてい
る。
【0021】図1に示すような構成の電子回路の検査を
行なう場合には、外部のホストコンピュータ18からバ
ウンダリスキャンセル15、16を用いてIC14の総
ての外部入出力端子を順次走査するようにテストデータ
の入出力を行なう。このようなテストによって、IC1
4それ自身の検査と、IC14と外部ロジックとの接続
テスト等を行なうことが可能になる。すなわち制御線を
外部ホストコンピュータ18から制御することによりバ
ウンダリスキャンテストが実施されることになる。
【0022】一般に回路基板11上の回路の検査は、1
00%の検査ができないと、人手による検査工程を設定
する必要があり、これによって1枚の回路基板の検査時
間が非常に長くなる。また人手による検査工程を挿入す
ると、確実に不良を検出することが必ずしもできず、不
良原因の究明にも時間を多く要する問題がある。
【0023】従来は回路基板上のデバイスの接続部の検
査を実施するために、インサーキットテストを行なうよ
うにしており、あるいはまた非接触の電気的測定機器を
併用するようにしていた。このような従来の検査方法に
よると、回路基板上に各テストを実施するためのテスト
ランドを増設する必要があり、しかも専用治具が必要に
なる。このためにコストおよび測定時間が大きくなって
しまう問題がある。
【0024】また回路基板上に形成されるテストランド
の大きさも、プローブの先端部の直径との関係であまり
小さくすることができず、このことが回路基板の寸法を
小さくするのを妨げていた。一方でコンパクトな機器を
製作するためには、回路基板の寸法を小さくするととも
に、回路基板の検査時間の短縮によるコストダウンが要
求されており、とくに回路基板を100%検査可能にす
ることによって、信頼性の向上を図ることが要請され
る。
【0025】上記実施の形態は、バウンダリスキャンテ
スト機能がないICデバイス14に、そのデバイスサイ
ズの大きさを大きくすることなく、ベアチップICから
成るバウンダリスキャンセル15、16を増設すること
によって、上記3つの要因を解決して小型でしかも信頼
性の高い電子回路を提供することを可能にしたものであ
る。またバウンダリスキャンセル15、16を付加して
も、もともとのICデバイス14のパッケージと同じス
ペースしか回路基板11上で面積をとらないために、回
路基板11の大きさが大きくならず、このためにこの回
路基板11を収納する電子機器の筐体の寸法を変更する
必要がなくなる。
【0026】次に別の実施の形態を図3によって説明す
る。この実施の形態は、ICデバイス14に対してバウ
ンダリスキャンテスト機能を付加するためのバウンダリ
スキャンセル15、16をインタポーザ基板13の上面
ではなく下面に配するようにしたものである。すなわち
バウンダリスキャンセル15、16がインタポーザ基板
から成る補助中間基板13の下面にマウントされてお
り、このためにバウンダリスキャンセル15、16はこ
の補助中間基板13と回路基板11との間に位置するこ
とになる。なおこのような構成によっても、回路構成は
図1と同様であって、図1と同様のバウンダリスキャン
テスト機能が付加される。
【0027】図4はさらに別の実施の形態を示してい
る。この実施の形態は、バウンダリスキャンテスト機能
を付加するためのバウンダリスキャンセル15、16を
補助中間基板13の上面であって回路基板11の横にリ
ード23と交錯しないようにマウントするようにしたも
のである。このような構成においても、回路が図1と同
じくなり、冒頭の実施の形態と同様の機能を発揮するこ
とが可能になる。
【0028】図5はさらに別の実施の形態を示してい
る。この実施の形態は、補助中間基板13上にマウント
されたIC14であって、バウンダリスキャン機能を有
しないIC14のパッケージの上面にベアチップから成
るバウンダリスキャンセル15、16をそれぞれマウン
トするようにしたものである。従ってこの場合には、バ
ウンダリスキャンセル15、16を補助中間基板13上
にマウントする必要がなくなり、後からベアチップIC
15、16やバウンダリスキャンテスト機能を付加する
ためのICデバイス14のパッケージ上にマウントすれ
ばよい。
【0029】図6はさらに別の実施の形態を示してい
る。この実施の形態においては、インタポーザ基板から
成る補助中間基板13を省略するようにしたものであ
る。すなわち回路基板11上にIC12と同様にIC1
4を直接マウントするようにしており、そのリード23
を回路基板11上の配線パターン24に直接半田付けす
るようにしている。そしてIC14のパッケージ上にバ
ウンダリスキャンセル15、16をマウントするように
している。ここでバウンダリスキャンセル15、16の
電極が半田ボール29を介してIC14のパッケージ上
の配線パターン30に接続されるようになっている。従
ってこのような構成においても、ベアチップ15、16
によってIC14にバウンダリスキャンテスト機能が付
加され、回路基板11をホストコンピュータ18によっ
て100%検査することが可能になる。
【0030】
【発明の効果】以上のように本発明は、集積回路の外部
入出力端子を順次走査するようにテストデータの入出力
を行なう検査回路において、検査機能をそれ自身が有し
ない集積回路対してベアチップから成る検査用セルを付
加したものである。
【0031】従って本発明によれば、ベアチップから成
る検査用セルの付加によって、集積回路の外部入出力端
子を順次走査するようにテストデータの入出力を行なっ
て検査を行なうことが可能になる。しかもベアチップか
ら成る検査用セルを付加しただけであるから、そのスペ
ースがほとんど増加することがない。
【0032】集積回路のパッケージとほぼ同じ大きさの
補助中間基板を具備し、この補助中間基板を介して集積
回路を回路基板にマウントするとともに、補助中間基板
上に検査用セルをマウントした構成によれば、補助中間
基板上の検査用セルによって検査機能が付加されること
になり、しかも回路基板上におけるスペースが増大する
ことがない。
【0033】集積回路と補助中間基板との間に検査用セ
ルが位置するように補助中間基板上に検査用セルがマウ
ントされるようにした構成によれば、この検査用セルに
よって検査機能が付加される。
【0034】集積回路と回路基板との間に検査用セルが
位置するように補助中間基板上に検査用セルがマウント
されるようにした構成によれば、この検査用セルによっ
て検査機能が付加される。
【0035】集積回路の横に配列されるように検査用セ
ルが補助中間基板上にマウントされるようにした構成に
よれば、この検査用セルによって検査機能が付加され
る。
【0036】集積回路のパッケージ上に検査用セルがマ
ウントされるようにした構成によれば、この検査用セル
によって検査機能が付加されるとともに、回路基板上に
おけるスペースの増大が防止される。
【0037】検査用セルによってバウンダリスキャン回
路が形成されるようにした構成によれば、このバウンダ
リスキャン回路によってバウンダリスキャンテストが可
能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】検査回路の回路構成を示すブロック図である。
【図2】ICとバウンダリスキャンセルのマウントを示
す縦断面図である。
【図3】ICとバウンダリスキャンセルのマウントを示
す別の形態の縦断面図である。
【図4】ICとバウンダリスキャンセルのマウントを示
すさらに別の形態の縦断面図である。
【図5】ICとバウンダリスキャンセルのマウントを示
すさらに別の形態の縦断面図である。
【図6】ICとバウンダリスキャンセルのマウントを示
すさらに別の形態の縦断面図である。
【図7】バウンダリスキャンテスト機能を有するICの
マウントを示す縦断面図である。
【図8】バウンダリスキャン機能を有するICをマウン
トした回路基板のブロック図である。
【図9】バウンダリスキャン機能を有するICとバウン
ダリスキャン機能を有しないICとをマウントした回路
基板のブロック図である。
【符号の説明】
1‥‥回路基板、2、3‥‥IC、4‥‥内部ロジッ
ク、5‥‥TAPコントローラ、6‥‥検査用IC、7
‥‥ホストコンピュータ、11‥‥回路基板、12‥‥
IC、13‥‥補助中間基板(インタポーザ基板)、1
4‥‥IC、15、16‥‥バウンダリスキャンセル、
17‥‥TAPコントローラ、18‥‥ホストコンピュ
ータ、23‥‥リード、24、25‥‥配線パターン、
26‥‥半田ボール、27‥‥配線パターン、29‥‥
半田ボール、30‥‥配線パターン

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】集積回路の外部入出力端子を順次走査する
    ようにテストデータの入出力を行なう検査回路におい
    て、 検査機能をそれ自身が有しない集積回路対してベアチッ
    プから成る検査用セルを付加したことを特徴とする検査
    回路。
  2. 【請求項2】前記集積回路のパッケージとほぼ同じ大き
    さの補助中間基板を具備し、該補助中間基板を介して前
    記集積回路を前記回路基板にマウントするとともに、前
    記補助中間基板上に前記検査用セルをマウントしたこと
    を特徴とする請求項1に記載の検査回路。
  3. 【請求項3】前記集積回路と前記補助中間基板との間に
    前記検査用セルが位置するように前記補助中間基板上に
    前記検査用セルがマウントされることを特徴とする請求
    項2に記載の検査回路。
  4. 【請求項4】前記集積回路と前記回路基板との間に前記
    検査用セルが位置するように前記補助中間基板上に前記
    検査用セルがマウントされることを特徴とする請求項2
    に記載の検査回路。
  5. 【請求項5】前記集積回路の横に配列されるように前記
    検査用セルが前記補助中間基板上にマウントされること
    を特徴とする請求項2に記載の検査回路。
  6. 【請求項6】前記集積回路のパッケージ上に前記検査用
    セルがマウントされることを特徴とする請求項1に記載
    の検査回路。
  7. 【請求項7】前記検査用セルによってバウンダリスキャ
    ン回路が形成されることを特徴とする請求項1に記載の
    検査回路。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009229296A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Alps Electric Co Ltd 磁気センサパッケージ
US7613968B2 (en) 2005-02-09 2009-11-03 Fujitsu Microelectronics Limited Device and method for JTAG test
JP2014062925A (ja) * 2009-12-18 2014-04-10 Tektronix Inc 信号測定装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7613968B2 (en) 2005-02-09 2009-11-03 Fujitsu Microelectronics Limited Device and method for JTAG test
JP2009229296A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Alps Electric Co Ltd 磁気センサパッケージ
JP2014062925A (ja) * 2009-12-18 2014-04-10 Tektronix Inc 信号測定装置

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