JPH11218917A - Photosensitive resin composition and production of photosensitive solder resist using that - Google Patents

Photosensitive resin composition and production of photosensitive solder resist using that

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JPH11218917A
JPH11218917A JP2350098A JP2350098A JPH11218917A JP H11218917 A JPH11218917 A JP H11218917A JP 2350098 A JP2350098 A JP 2350098A JP 2350098 A JP2350098 A JP 2350098A JP H11218917 A JPH11218917 A JP H11218917A
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JP
Japan
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resin composition
photosensitive resin
component
weight
composition according
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Application number
JP2350098A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinji Tsuchikawa
信次 土川
Hiroshi Nishizawa
廣 西澤
Hiroyuki Kawakami
広幸 川上
Fumihiko Ota
文彦 太田
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin compsn. which can be used for the production of a printed circuit board, which can be hardened by heating at <=250 deg.C, which has excellent PCT resistance and heat resistance such as soldering heat resistance, and excellent characteristics required as a solder resist such as resistance to a plating liquid, chemical resistance and electric insulating property, which can be developed with an aq. developer preferable for the working environment and which has excellent storage stability, and to provide a producing method of a solder resist using this compsn. SOLUTION: This resin compsn. contains (A) a polyimide precursor, (B) a photopolymerizable unsatd. compd. which is the urethane reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate. aliphatic or aromatic alcohol and a compd. having at least one (meth)acrylate group and alcohol groups, and (C) a photopolymn. initiator.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の製造に用いる感光性樹脂組成物、これを用いたソルダ
ーレジストの製造法に関する。
The present invention relates to a photosensitive resin composition used for producing a printed wiring board and the like, and a method for producing a solder resist using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型、軽量化、多機能
化、高信頼化、低価格化に対応してプリント配線板は、
表面実装方式と呼ばれる部品穴を使わないで導体パター
ンの表面で部品と基板との電気的接続を行う部品搭載方
法が急激に伸展している。プリント配線板の製造には、
従来より高精度化、高信頼化のため感光性樹脂組成物を
用い、配線の形成されたプリント配線板の写真法による
はんだ付け位置の限定及び配線の保護の目的で使用する
感光性ソルダーレジストが用いられている。しかしなが
ら、表面実装方式を用いるプリント配線板に使用される
感光性ソルダーレジストには、高耐熱性や長期信頼性が
要求され、従来のエポキシアクリレートを主成分とする
感光性ソルダーレジストでは、プレッシャー・クッカー
・テスト(以下PCTと略す)を行うとレジストにふく
れやハガレが生じてしまい、耐熱湿性が不十分であると
いう問題がある。また、PCTを行うと銅マイグレーシ
ョンによって電気絶縁性が破壊され、信頼性に欠けると
いう問題がある。また従来の芳香族ポリアミック酸を用
いた感光性ソルダーレジストでは、写真法による像形成
後の加熱硬化温度が350℃以上と高く、基板等の耐熱
性の点からプリント配線板には使用できないという問題
がある。また、芳香族ポリイミドを用いた感光性ソルダ
ーレジストは高い耐熱性を維持するものの、現像液に有
機溶剤を用いるため安全性や作業環境に問題がある。
2. Description of the Related Art In recent years, printed wiring boards have been developed in response to miniaturization, weight reduction, multifunctionality, high reliability, and low price of electronic devices.
A component mounting method for electrically connecting a component and a substrate on the surface of a conductor pattern without using a component hole called a surface mounting method is rapidly expanding. For the manufacture of printed wiring boards,
Using a photosensitive resin composition for higher precision and higher reliability than before, the photosensitive solder resist used for the purpose of limiting the soldering position of the printed wiring board on which the wiring is formed by photographic method and protecting the wiring is Used. However, the photosensitive solder resist used for printed wiring boards using the surface mounting method requires high heat resistance and long-term reliability, and the conventional photosensitive solder resist mainly composed of epoxy acrylate requires pressure cooker. Performing a test (hereinafter abbreviated as PCT) causes blistering and peeling of the resist, and has a problem that the heat and humidity resistance is insufficient. In addition, when PCT is performed, there is a problem in that electrical insulation is broken due to copper migration, and reliability is lacking. Further, in the case of a conventional photosensitive solder resist using an aromatic polyamic acid, the heat curing temperature after forming an image by a photographic method is as high as 350 ° C. or more, and it cannot be used for a printed wiring board due to the heat resistance of a substrate or the like. There is. Further, a photosensitive solder resist using an aromatic polyimide maintains high heat resistance, but has a problem in safety and work environment because an organic solvent is used for a developer.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】(1)本発明は、プリ
ント配線板の製造に適用できる250℃以下の加熱硬化
により、耐PCT性、低温硬化性、はんだ耐熱性、耐め
っき液性、耐薬品性、電気絶縁性等のソルダーレジスト
に必要な諸特性に優れ、また保存安定性に優れ、作業環
境の良い水系の現像液を用いて現像できる感光性樹脂組
成物を提供するものである。 (2)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、より現像性が優れ、高感度な感光性樹脂組成
物を提供するものである。 (3)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、より低温硬化性が優れる感光性樹脂組成物を
提供するものである。 (4)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、より耐めっき液性が優れる感光性樹脂組成物
を提供するものである。 (5)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、よりはんだ耐熱性が優れる感光性樹脂組成物
を提供するものである。 (6)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、より保存安定性が優れ、より高感度な感光性
樹脂組成物を提供するものである。 (7)更に、本発明は、(3)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、特に低温硬化性が優れる感光性樹脂組成物を
提供するものである。 (8)更に、本発明は、(1)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、さらに相溶性が優れ、特に耐PCT性が優れ
る感光性樹脂組成物を提供するものである。 (9)更に、本発明は、(6)の感光性樹脂組成物の効
果を奏し、特に保存安定性が優れ、特に高感度な感光性
樹脂組成物を提供するものである。 (10)更に、本発明は、作業環境の良好なアルカリ性
水溶液を用いて、耐PCT性、低温硬化性、はんだ耐熱
性、耐めっき液性、耐薬品性、電気絶縁性等が優れるソ
ルダーレジストの製造法を提供するものである。 (11)更に、本発明は、(10)のソルダーレジスト
の製造法の効果を奏し、より耐PCT性、はんだ耐熱
性、電気絶縁性等に優れるソルダーレジストの製造法を
提供するものである。
(1) The present invention provides a PCT resistance, a low-temperature curing property, a solder heat resistance, a plating solution resistance, and a heat resistance of 250 ° C. or less which can be applied to the manufacture of a printed wiring board. An object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition which is excellent in various properties required for a solder resist such as chemical property and electrical insulation property, is excellent in storage stability, and can be developed using an aqueous developer having a good working environment. (2) Further, the present invention provides the photosensitive resin composition which exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), is more excellent in developability, and has high sensitivity. (3) Further, the present invention provides a photosensitive resin composition which exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1) and has more excellent low-temperature curability. (4) Further, the present invention provides a photosensitive resin composition which exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1) and has more excellent plating solution resistance. (5) Further, the present invention provides a photosensitive resin composition exhibiting the effect of the photosensitive resin composition of (1) and having more excellent solder heat resistance. (6) Further, the present invention provides the photosensitive resin composition which exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), has more excellent storage stability, and has higher sensitivity. (7) Further, the present invention provides a photosensitive resin composition exhibiting the effects of the photosensitive resin composition of (3), and particularly having excellent low-temperature curability. (8) Further, the present invention provides a photosensitive resin composition exhibiting the effects of the photosensitive resin composition of (1), further having excellent compatibility, and particularly having excellent PCT resistance. (9) Further, the present invention provides the photosensitive resin composition having the effect of the photosensitive resin composition of (6), particularly having excellent storage stability and particularly high sensitivity. (10) The present invention further provides a solder resist having excellent PCT resistance, low-temperature curability, solder heat resistance, plating solution resistance, chemical resistance, electrical insulation, etc., using an alkaline aqueous solution having a good working environment. It provides a manufacturing method. (11) Further, the present invention provides a method for producing a solder resist which exhibits the effects of the method for producing a solder resist of (10) and is more excellent in PCT resistance, solder heat resistance, electrical insulation and the like.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、(A)一般式
(I)
According to the present invention, there is provided (A) a compound represented by the following general formula (I):

【0005】[0005]

【化5】 Embedded image

【0006】(式中、R1 は炭素原子数2〜30の4価
の有機基を示し、R2 は炭素原子数2〜240の2価の
有機基を示し、Xはそれぞれ独立にOH又は炭素原子数
1〜30の1価の有機基を示す)で表される繰り返し単
位を有するポリイミド前駆体、(B)トリメチルヘキサ
メチレンジイソシアネートと、脂肪族または芳香族ジア
ルコールと、少なくとも1つの(メタ)アクリレート基
とアルコール基とを有する化合物とのウレタン化反応生
成物である光重合性不飽和化合物、及び(C)活性光の
照射により遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を含有
してなることを特徴とする感光性樹脂組成物に関する。
(Wherein, R 1 represents a tetravalent organic group having 2 to 30 carbon atoms, R 2 represents a divalent organic group having 2 to 240 carbon atoms, and Xs independently represent OH or A polyimide precursor having a repeating unit represented by a monovalent organic group having 1 to 30 carbon atoms), (B) trimethylhexamethylene diisocyanate, an aliphatic or aromatic dialcohol, and at least one (meth) A) a photopolymerizable unsaturated compound which is a urethanization reaction product of a compound having an acrylate group and an alcohol group, and (C) a photopolymerization initiator which generates free radicals upon irradiation with actinic light; And a photosensitive resin composition characterized by the following.

【0007】また、本発明は、(A)成分のポリイミド
前駆体が、固形分で20〜95重量部、(B)成分の光
重合性不飽和化合物が、5〜80重量部(ただし(A)
成分の固形分及び(B)成分の合計量100重量部に対
して)、(C)成分の光重合開始剤が、0.01〜20
重量部(ただし(A)成分の固形分及び(B)成分の合
計量100重量部に対して)、の配合割合である前記感
光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、(A)成分
のポリイミド前駆体又はその高分子溶液において、その
溶媒が、非含窒素系溶媒である前記感光性樹脂組成物に
関する。
In the present invention, the polyimide precursor of the component (A) is 20 to 95 parts by weight in solids, and the photopolymerizable unsaturated compound of the component (B) is 5 to 80 parts by weight (where (A) )
The solid content of the component and the total amount of the component (B) are 100 parts by weight), and the photopolymerization initiator of the component (C) is 0.01 to 20 parts by mass.
The photosensitive resin composition having a mixing ratio of 100 parts by weight (with respect to 100 parts by weight of the total of the solid content of the component (A) and the component (B)). The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the solvent is a non-nitrogen-containing solvent in the polyimide precursor of the component (A) or a polymer solution thereof.

【0008】また、本発明は、(A)成分の一般式
(I)中のR1 が、下記一般式(VI)
In the present invention, R 1 in the general formula (I) of the component (A) is represented by the following general formula (VI)

【化6】 (式中、Yは単結合か、又は−CO−、−SO2 −、−
O−、−C(CF3 2 −のいずれかを示す)で表され
る4価の有機性基である前記感光性樹脂組成物に関す
る。
Embedded image (In the formula, Y is a single bond or -CO -, - SO 2 -, -
O-, -C (CF 3 ) 2- ) or the photosensitive resin composition, which is a tetravalent organic group.

【0009】また、本発明は、(A)成分の一般式
(I)中のR2 が、下記一般式(VII)
In the present invention, R 2 in the general formula (I) of the component (A) is represented by the following general formula (VII):

【化7】 (式中Xは単結合か、又は−O−、−S−、−CO−、
−SO2 −、−CONH−、−CH2 −、−C(C
3 2 −、−C(CF3 2 −若しくは
Embedded image (Wherein X is a single bond or —O—, —S—, —CO—,
—SO 2 —, —CONH—, —CH 2 —, —C (C
H 3) 2 -, - C (CF 3) 2 - or

【0010】[0010]

【化8】 のいずれかを示し、R11〜R14は各々独立に炭素数1〜
6の炭化水素基を示し、nは各々独立に0〜4の整数を
示す)で表される前記感光性樹脂組成物に関する。
Embedded image Wherein R 11 to R 14 each independently represent a group having 1 to 1 carbon atoms.
6 represents a hydrocarbon group, and n independently represents an integer of 0 to 4).

【0011】また、本発明は、(C)成分が、分子構造
中にアミン構造を有さない、活性光の照射により遊離ラ
ジカルを生成する光重合開始剤である前記感光性樹脂組
成物に関する。また、本発明は、(A)成分の非含窒素
系溶剤がラクトン類、脂環式ケトン類又はエーテル類で
ある前記感光性樹脂組成物に関する。また、本発明は、
(B)成分の光重合性不飽和化合物が、トリメチルヘキ
サメチレンジイソシアネートとシクロヘキサンジメタノ
ールと2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの
反応生成物である前記感光性樹脂組成物に関する。
[0011] The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the component (C) is a photopolymerization initiator which has no amine structure in the molecular structure and generates free radicals upon irradiation with active light. The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the non-nitrogen-containing solvent as the component (A) is a lactone, an alicyclic ketone or an ether. Also, the present invention
The present invention relates to the photosensitive resin composition, wherein the photopolymerizable unsaturated compound as the component (B) is a reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, cyclohexane dimethanol, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate.

【0012】また、本発明は、(C)成分の光重合開始
剤が、ベンジルジメチルケタールである前記感光性樹脂
組成物に関する。
[0012] The present invention also relates to the photosensitive resin composition, wherein the photopolymerization initiator of the component (C) is benzyldimethyl ketal.

【0013】また、本発明は、前記感光性樹脂組成物の
溶液を基板状に塗布し、乾燥後、像的に露光し、次いで
界面活性剤又は有機溶剤を0.1〜50重量%及び無機
アルカリ性化合物を0.01〜30重量%含有するアル
カリ性水溶液を現像液に用いて、現像を行うことを特徴
とするソルダーレジストの製造法に関する。また、本発
明は、現像後に活性光を照射する工程と後加熱する工程
を含むソルダーレジストの製造法に関する。
Further, the present invention provides a method for applying a solution of the photosensitive resin composition on a substrate, drying and applying imagewise exposure, and then adding a surfactant or an organic solvent in an amount of 0.1 to 50% by weight to an inorganic material. The present invention relates to a method for producing a solder resist, wherein development is performed using an alkaline aqueous solution containing 0.01 to 30% by weight of an alkaline compound as a developer. In addition, the present invention relates to a method for manufacturing a solder resist including a step of irradiating active light after development and a step of post-heating.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下本発明の感光性樹脂組成物に
ついて詳細に説明する。本発明の感光性樹脂組成物にお
いて、(A)成分であるポリイミド前駆体は、上記一般
式(I)で表わすことができる。(A)成分は、例え
ば、(a)一般式(III)
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail. In the photosensitive resin composition of the present invention, the polyimide precursor as the component (A) can be represented by the above general formula (I). The component (A) includes, for example, (a) a compound represented by the general formula (III):

【0015】[0015]

【化9】 Embedded image

【0016】(式中、R1 は炭素原子数が2〜30の4
価の有機性基を示す)で表わされるテトラカルボン酸二
無水物又はその誘導体及び(b)一般式(IV) H2 N−R2 −NH2 (IV) (式中、R2 は炭素原子数が2〜240、好ましくは2
〜60、より好ましくは2〜30の2価の有機性基を示
す)で表されるジアミンとを有機溶媒中で反応させるこ
とによって製造することができる。
(Wherein, R 1 is a group of 4 having 2 to 30 carbon atoms)
And (b) a general formula (IV) H 2 N—R 2 —NH 2 (IV) wherein R 2 is a carbon atom The number is 2 to 240, preferably 2
To 60, more preferably 2 to 30 divalent organic groups) in an organic solvent.

【0017】上記一般式(I)で表されるテトラカルボ
ン酸二無水物としては、例えば、一般式(VI)で表さ
れる、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカル
ボン酸、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボ
ン酸、2,3’,3,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸、2,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン
酸、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカ
ルボン酸、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテ
トラカルボン酸等のテトラカルボン酸二無水物等が好ま
しい。これらは単独又は2種以上を組み合わせて使用さ
れる。また、このようなテトラカルボン酸二無水物等の
一部として、ピロメリット酸、1,2,5,6−ナフタ
レンテトラカルボン酸、2,3,6,7−ナフタレンテ
トラカルボン酸、1,4,5,8−ナフタレンテトラカ
ルボン酸、m−ターフェニル−3,3’,4,4’−テ
トラカルボン酸、p−ターフェニル−3,3’,4,
4’−テトラカルボン酸、1,1,1,3,3,3−ヘ
キサフルオロ−2,2−ビス(2,3−又は3,4−ジ
カルボキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(2,3
−又は3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン、2,
2−ビス〔4’−(2,3−又は3,4−ジカルボキシ
フェノキシ)フェニル〕プロパン、1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロ−2,2−ビス〔4’−(2,
3−又は3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル〕
プロパン、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボ
ン酸、1,2,7,8−フェナンスレンテトラカルボン
酸、4,4’−ビス(2,3−ジカルボキシフェノキ
シ)ジフェニルメタン等の芳香族テトラカルボン酸の二
無水物、下記一般式(VIII)
The tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (I) includes, for example, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic acid represented by the general formula (VI): , 3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3', 3,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 2,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic acid, 3,3', 4 And tetracarboxylic dianhydrides such as 4,4'-diphenylethertetracarboxylic acid and 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic acid. These are used alone or in combination of two or more. As a part of such tetracarboxylic dianhydride, pyromellitic acid, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic acid, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic acid, 1,4 , 5,8-Naphthalenetetracarboxylic acid, m-terphenyl-3,3 ′, 4,4′-tetracarboxylic acid, p-terphenyl-3,3 ′, 4,
4'-tetracarboxylic acid, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2,2-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,2-bis (2 , 3
-Or 3,4-dicarboxyphenyl) propane, 2,
2-bis [4 '-(2,3- or 3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl] propane, 1,1,1,3,
3,3-hexafluoro-2,2-bis [4 ′-(2,
3- or 3,4-dicarboxyphenoxy) phenyl]
Aromatics such as propane, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic acid, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic acid, and 4,4′-bis (2,3-dicarboxyphenoxy) diphenylmethane Tetracarboxylic acid dianhydride, the following general formula (VIII)

【0018】[0018]

【化10】 Embedded image

【0019】(式中、R5 及びR6 は一価の炭化水素
基、好ましくは炭素数1〜10の炭化水素基、より好ま
しくは炭素数1〜5のアルキル基又は炭素数6〜10の
アリール基(フェニル基、トリル基、ナフチル基)を示
し、それぞれ同一でも異なっていてもよく、1は1以上
の整数である)で表わされる芳香族テトラカルボン酸二
無水物、また、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボ
ン酸、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸、
シクロブテンテトラカルボン酸、ブタンテトラカルボン
酸等の脂肪族テトラカルボン酸二無水物などを使用する
こともできる。
(Wherein, R 5 and R 6 are monovalent hydrocarbon groups, preferably C 1-10 hydrocarbon groups, more preferably C 1-5 alkyl groups or C 6-10 alkyl groups. An aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by an aryl group (phenyl group, tolyl group, naphthyl group), which may be the same or different, and 1 is an integer of 1 or more); , 5,6-pyridinetetracarboxylic acid, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic acid,
Aliphatic tetracarboxylic dianhydrides such as cyclobutenetetracarboxylic acid and butanetetracarboxylic acid can also be used.

【0020】上記一般式(IV)で表わされるジアミン
としては、特に制限はなく、例えば、一般式(VII)
で示される、2,2−ビス−〔4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル〕プロパン、2,2−ビス−〔3−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン、ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、ビス
〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕スルホン、
2,2−ビス−〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス−〔4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプ
ロパン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)〕ビフェ
ニル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)〕ビフェニ
ル、ビス〔1−(4−アミノフェノキシ)〕ビフェニ
ル、ビス〔1−(3−アミノフェノキシ)〕ビフェニ
ル、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕メ
タン、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕
メタン、ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル〕エーテル、ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フ
ェニル〕エーテル、ビス〔4−(4−アミノフェノキ
シ)〕ベンゾフェノン、ビス〔4−(3−アミノフェノ
キシ)〕ベンゾフェノン、ビス〔4−(4−アミノフェ
ノキシ)〕ベンズアニリド、ビス〔4−(3−アミノフ
ェノキシ)〕ベンズアニリド、9,9−ビス〔4−(4
−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオレン、9,9−
ビス〔4−(3−アミノフェノキシ)フェニル〕フルオ
レン等が好ましい。これらは、2種以上を併用すること
もできるし、また、これらのジエーテル系ジアミン以外
の芳香族ジアミンも少量であれば併用することができ
る。尚、一般式(VII)において、R11〜R14は各々
独立に、好ましくは炭素数1〜6のアルキル基又はアル
コキシ基である。他の芳香族ジアミンとしては、例え
ば、4,4’−(又は3,4’−、3,3’−、2,
4’−、2,2’−)ジアミノジフェニルエーテル、
4,4’−(又は3,4’−、3,3’−、2,4’
−、2,2’−)ジアミノジフェニルメタン、4,4’
−(又は3,4’−、3,3’−、2,4’−、2,
2’−)ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−(又
は3,4’−、3,3’−、2,4’−、2,2’−)
ジアミノジフェニルスルフィド、p−フェニレンジアミ
ン、m−フェニレンジアミン、p−キシリレンジアミ
ン、m−キシリレンジアミン、o−トリジン、o−トリ
ジンスルホン、4,4’−メチレン−ビス−(2,6−
ジエチルアニリン)、4,4’−メチレン−ビス−
(2,6−ジイソプロピルアニリン)、2,4−ジアミ
ノメシチレン、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’
−ベンゾフェノンジアミン、1,1,1,3,3,3−
ヘキサフルオロ−2,2−ビス(4−アミノフェニル)
プロパン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノジ
フェニルメタン、3,3’,5,5’−テトラメチル−
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス
(4−アミノフェニル)プロパン、ベンジジン、2,6
−ジアミノピリジン、3,3’−ジメトキシベンジジ
ン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,
4’−〔1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデ
ン)〕ビスアニリン、4,4’−〔1,3−フェニレン
ビス(1−メチルエチリデン)〕ビスアニリン、3,5
−ジアミノ安息香酸等を挙げることができる。また、上
記ジアミン成分の一部に、例えば、エチレンジアミン、
テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、
1,2−ジアミノシクロヘキサン、下記一般式(IX)
The diamine represented by the general formula (IV) is not particularly limited. For example, the diamine represented by the general formula (VII)
2,2-bis- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and 2,2-bis- [3- (4
-Aminophenoxy) phenyl] propane, bis [4-
(4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone,
2,2-bis- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis- [4-
(3-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, bis [4- (4-aminophenoxy)] biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy)] biphenyl, bis [1- (4-aminophenoxy)] biphenyl , Bis [1- (3-aminophenoxy)] biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]
Methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy)] benzophenone, bis [4- (3- Aminophenoxy)] benzophenone, bis [4- (4-aminophenoxy)] benzanilide, bis [4- (3-aminophenoxy)] benzanilide, 9,9-bis [4- (4
-Aminophenoxy) phenyl] fluorene, 9,9-
Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene and the like are preferred. These may be used in combination of two or more, and may be used in combination with a small amount of an aromatic diamine other than these diether-based diamines. In the formula (VII), R 11 to R 14 are each independently preferably an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms. As other aromatic diamines, for example, 4,4′- (or 3,4′-, 3,3′-, 2,
4'-, 2,2'-) diaminodiphenyl ether,
4,4'- (or 3,4'-, 3,3'-, 2,4 '
-, 2,2 '-) diaminodiphenylmethane, 4,4'
-(Or 3,4'-, 3,3'-, 2,4'-, 2,
2'-) diaminodiphenyl sulfone, 4,4'- (or 3,4'-, 3,3'-, 2,4'-, 2,2'-)
Diaminodiphenyl sulfide, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, p-xylylenediamine, m-xylylenediamine, o-tolidine, o-tolidine sulfone, 4,4′-methylene-bis- (2,6-
Diethylaniline), 4,4'-methylene-bis-
(2,6-diisopropylaniline), 2,4-diaminomesitylene, 1,5-diaminonaphthalene, 4,4 ′
-Benzophenone diamine, 1,1,1,3,3,3-
Hexafluoro-2,2-bis (4-aminophenyl)
Propane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3 ', 5,5'-tetramethyl-
4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, benzidine, 2,6
-Diaminopyridine, 3,3'-dimethoxybenzidine, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene,
1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,
4 '-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, 3,5
-Diaminobenzoic acid and the like. In addition, a part of the diamine component, for example, ethylene diamine,
Tetramethylene diamine, hexamethylene diamine,
1,2-diaminocyclohexane, the following general formula (IX)

【0021】[0021]

【化11】 Embedded image

【0022】(式中、R7 及びR8 は炭素原子数1〜1
0の二価の炭化水素基を示し、それぞれ同一でも異なっ
ていてもよく、R9 及びR10は一価の炭化水素基(好ま
しくは炭素数1〜10)を示し、それぞれ同一でも異な
っていてもよく、mは1以上の整数である)で表わされ
るジアミノポリシロキサン、1,3−ビス(アミノメチ
ル)シクロヘキサン、サン テクノケミカル(株)製
ジェファーミン D−230,D−400,D−200
0,D−4000,ED−600,ED−900,ED
−2001,EDR−148等のポリオキシアルキレン
ジアミン等の脂肪族ジアミン成分を使用してもよい。
(Wherein R 7 and R 8 each have 1 to 1 carbon atoms)
0 represents a divalent hydrocarbon group, which may be the same or different; R 9 and R 10 each represent a monovalent hydrocarbon group (preferably having 1 to 10 carbon atoms); And m is an integer of 1 or more), 1,3-bis (aminomethyl) cyclohexane, manufactured by San Techno Chemical Co., Ltd.
Jeffamine D-230, D-400, D-200
0, D-4000, ED-600, ED-900, ED
An aliphatic diamine component such as polyoxyalkylenediamine such as -2001 and EDR-148 may be used.

【0023】本発明で使用されるポリイミド前駆体は、
既に知られた各種方法により製造することができる。一
般式(I)においてXがOHである場合は、テトラカル
ボン酸無水物とジアミンを必要に応じて用いる有機溶媒
中で反応させることにより得ることができる。またXが
一価の有機基を含む場合で、−O−を介するものの場合
は、テトラカルボン酸二無水物とヒドロキシル基含有化
合物を混合して反応させ、テトラカルボン酸のハーフエ
ステルを製造した後、塩化チオニルにより酸クロリド化
し、次いで、ジアミンと反応させる方法や、前記テトラ
カルボン酸ハーフエステルをカルボジイミド類を縮合剤
としてジアミンと反応させる等により合成することがで
きる。Xが一価の有機基である場合で、−NH−を介す
るものの場合は、テトラカルボン酸無水物とジアミンを
必要に応じて用いる有機溶媒中で反応させ、次いでイソ
シアネート化合物を反応させること等により製造するこ
とができる。
The polyimide precursor used in the present invention comprises:
It can be produced by various known methods. When X is OH in the general formula (I), it can be obtained by reacting a tetracarboxylic anhydride and a diamine in an organic solvent used as required. In the case where X contains a monovalent organic group, and in the case of via -O-, tetracarboxylic dianhydride and a hydroxyl group-containing compound are mixed and reacted to produce a half ester of tetracarboxylic acid. The acid can be chlorided with thionyl chloride and then reacted with a diamine, or the tetracarboxylic acid half ester can be synthesized with a diamine using a carbodiimide as a condensing agent. In the case where X is a monovalent organic group, and in the case of via -NH-, by reacting tetracarboxylic anhydride and a diamine in an organic solvent used as required, and then reacting with an isocyanate compound, Can be manufactured.

【0024】上記一般式(III)で表わされるテトラ
カルボン酸二無水物と上記一般式(IV)で表させるジ
アミンの使用量の比率は、1.1/1.0〜1.0/
1.1(モル)の範囲とすることが好ましい。この範囲
を超えると、ポリイミド前駆体の分子量が成長しないた
め、耐熱性等が低下する傾向がある。本発明で使用され
るポリイミド前駆体の重量平均分子量としては、5,0
00〜200,000であることが、低温硬化性に優
れ、耐熱性、機械特性、作業性にも優れるので好まし
い。
The ratio of the amount of the tetracarboxylic dianhydride represented by the general formula (III) to the diamine represented by the general formula (IV) is 1.1 / 1.0 to 1.0 / 1.0.
It is preferred to be in the range of 1.1 (mol). If it exceeds this range, the molecular weight of the polyimide precursor does not grow, so that heat resistance and the like tend to decrease. The weight average molecular weight of the polyimide precursor used in the present invention is 5,0
It is preferable that it is 00 to 200,000 because it is excellent in low-temperature curability, heat resistance, mechanical properties and workability.

【0025】また、ここで(A)成分であるポリイミド
前駆体を生成する反応に用いられる溶媒としては、ポリ
イミド前駆体に対して不活性である必要がある。例え
ば、「溶剤ハンドブック」(講談社、1976年刊行)
の143〜852頁に掲載されている溶剤が用いられ
る。例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルアセトア
ミド、ジメチルホルムアミド、1,3−ジメチル−3,
4,5,6−テトラヒドロ−2(1H)−ピリミジノ
ン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等の含窒
素化合物、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の硫黄
化合物、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、γ
−カプロラクトン、γ−ヘプタラクトン、α−アセチル
−γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン等のラクト
ン類、ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン、ジエチ
レングリコールジメチル(又はジエチル、ジプロピル、
ジブチル)エーテル、トリエチレングリコールジメチル
(又はジエチル、ジプロピル、ジブチル)エーテル、テ
トラエチレングリコールジメチル(又はジエチル、ジプ
ロピル、ジブチル)エーテル等のエーテル類、エチレン
カーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネー
ト類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、
シクロヘキサノン、アセトフェノン等のケトン類、ブタ
ノール、オクチルアルコール、エチレングリコール、グ
リセリン、ジエチレングリコールモノメチル(又はモノ
エチル)エーテル、トリエチレングリコールモノメチル
(又はモノエチル)エーテル、テトラエチレングリコー
ルモノメチル(又はモノエチル)エーテル等のアルコー
ル類、フェノール、クレゾール、キシレノール等のフェ
ノール類、酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセロソルブ
アセテート、ブチルセロソルブアセテート等のエステル
類、トルエン、キシレン、ジエチルベンゼン、シクロヘ
キサン等の炭化水素類、トリクロロエタン、テトラクロ
ロエタン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素
類などが用いられる。これらは単独又は混合して用いら
れる。
Further, the solvent used in the reaction for producing the polyimide precursor as the component (A) must be inert to the polyimide precursor. For example, "Solvent Handbook" (Kodansha, published in 1976)
Solvents described on pages 143 to 852 of the above are used. For example, N-methylpyrrolidone, dimethylacetamide, dimethylformamide, 1,3-dimethyl-3,
Nitrogen-containing compounds such as 4,5,6-tetrahydro-2 (1H) -pyrimidinone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone, sulfur compounds such as sulfolane and dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, γ-valerolactone; γ
Lactones such as caprolactone, γ-heptalactone, α-acetyl-γ-butyrolactone, ε-caprolactone, dioxane, 1,2-dimethoxyethane, diethylene glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl,
Ethers such as dibutyl) ether, triethylene glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl, dibutyl) ether and tetraethylene glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl, dibutyl) ether; carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate; methyl ethyl ketone; methyl isobutyl Ketone,
Ketones such as cyclohexanone and acetophenone, butanol, octyl alcohol, alcohols such as ethylene glycol, glycerin, diethylene glycol monomethyl (or monoethyl) ether, triethylene glycol monomethyl (or monoethyl) ether, and tetraethylene glycol monomethyl (or monoethyl) ether; Phenols such as phenol, cresol and xylenol, esters such as ethyl acetate, butyl acetate, ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate, hydrocarbons such as toluene, xylene, diethylbenzene and cyclohexane, halogens such as trichloroethane, tetrachloroethane and monochlorobenzene Hydrocarbons and the like are used. These are used alone or in combination.

【0026】また、耐PCT性や低温硬化性等の点から
非含窒素系溶剤であることが好ましく、例えば、γ−ブ
チロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−カプロラクト
ン、γ−ヘプタラクトン、α−アセチル−γ−ブチロラ
クトン、ε−カプロラクトン等のラクトン類、ジオキサ
ン、1,2−ジメトキシエタン、ジエチレングリコール
ジメチル(又はジエチル、ジプロピル、ジブチル)エー
テル、トリエチレングリコールジメチル(又はジエチ
ル、ジプロピル、ジブチル)エーテル、テトラエチレン
グリコールジメチル(又はジエチル、ジプロピル、ジブ
チル)エーテル等のエーテル類、エチレンカーボネー
ト、プロピレンカーボネート等のカーボネート類、メチ
ルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキ
サノン、アセトフェノン等のケトン類を用いることが好
ましい。
It is preferable to use a non-nitrogen-containing solvent from the viewpoints of PCT resistance and low-temperature curability, for example, γ-butyrolactone, γ-valerolactone, γ-caprolactone, γ-heptalactone, α-acetyl. Lactones such as -γ-butyrolactone, ε-caprolactone, dioxane, 1,2-dimethoxyethane, diethylene glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl, dibutyl) ether, triethylene glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl, dibutyl) ether, tetraethylene Ethers such as glycol dimethyl (or diethyl, dipropyl, dibutyl) ether, carbonates such as ethylene carbonate and propylene carbonate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, acetophenone, etc. It is preferred to use a ketone.

【0027】前記溶媒の使用量は、生成するポリイミド
前駆体の1〜10倍(重量比)とすることが好ましい。
1倍未満では、合成時の粘度が高すぎて、攪拌不能によ
り合成が困難となる傾向があり、10倍を超えると、反
応速度が低下する傾向がある。
The amount of the solvent used is preferably 1 to 10 times (weight ratio) the polyimide precursor to be produced.
If it is less than 1 time, the viscosity at the time of synthesis tends to be too high and the synthesis tends to be difficult due to inability to stir, and if it exceeds 10 times, the reaction rate tends to decrease.

【0028】(B)成分であるトリメチルヘキサメチレ
ンジイソシアネートと、脂肪族または芳香族ジアルコー
ルと、少なくとも1つの(メタ)アクリレート基とアル
コール基とを有する化合物とのウレタン化反応生成物で
ある光重合性不飽和化合物は、トリメチルヘキサメチレ
ンジイソシアネートと、脂肪族または芳香族ジアルコー
ルと、少なくとも1つの(メタ)アクリレート基とアル
コール基とを有する化合物とを可溶性溶媒中で反応さ
せ、ウレタン化反応により製造することができる。ここ
で用いられる脂肪族または芳香族ジアルコールとして
は、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコー
ル、ヘキサメチレングリコール、シクロヘキサンジメタ
ノール等の脂肪族ジアルコール、又はベンゼンジメタノ
ール、ベンゼンジエタノール等の芳香族ジアルコールが
用いられ、耐PCT性の点からシクロヘキサンジメタノ
ールが好ましい。また、ここで用いられる少なくとも1
つの(メタ)アクリレート基とアルコール基とを有する
化合物としては、例えば、2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)ア
クリレート、2−ヒドロキシイソプロピル(メタ)アク
リレート、モノエポキシ化合物と(メタ)アクリレート
とのエステル化反応生成物等が用いられ、光感度の点か
ら2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートが好まし
い。
Photopolymerization which is a urethanization reaction product of component (B), trimethylhexamethylene diisocyanate, an aliphatic or aromatic dialcohol, and a compound having at least one (meth) acrylate group and an alcohol group. The unsaturated compound is produced by reacting trimethylhexamethylene diisocyanate, an aliphatic or aromatic dialcohol, and a compound having at least one (meth) acrylate group and an alcohol group in a soluble solvent, and subjecting the compound to a urethanation reaction. can do. Examples of the aliphatic or aromatic dialcohol used herein include, for example, an aliphatic dialcohol such as ethylene glycol, propylene glycol, hexamethylene glycol, and cyclohexane dimethanol, or an aromatic dialcohol such as benzene dimethanol and benzene diethanol. Cyclohexanedimethanol is preferred from the viewpoint of PCT resistance. Also, at least one of the
Examples of the compound having two (meth) acrylate groups and an alcohol group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxyisopropyl (meth) acrylate, and a monoepoxy compound. Esterification reaction products with (meth) acrylate are used, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate is preferred from the viewpoint of photosensitivity.

【0029】また、このウレタン化反応に用いられる可
溶性溶媒としては、ウレタン化反応生成物及び上記ウレ
タン化反応の原料に対して不活性である必要があり、例
えば、「溶剤ハンドブック」(講談社、1976年刊
行)の143〜852頁に掲載されている溶剤が用いら
れる。例えば、N−メチルピロリドン、ジメチルアセト
アミド、ジメチルホルムアミド、1,3−ジメチル−
3,4,5,6−テトラヒドロ−2(1H)−ピリミジ
ノン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等の含
窒素化合物、スルホラン、ジメチルスルホキシド等の硫
黄化合物、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、
γ−カプロラクトン、γ−ヘプタラクトン、α−アセチ
ル−γ−ブチロラクトン、ε−カプロラクトン等のラク
トン類、ジオキサン、1,2−ジメトキシエタン、エチ
レンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボ
ネート類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、シクロヘキサノン、アセトフェノン等のケトン類、
酢酸エチル、酢酸ブチル、エチルセロソルブアセテー
ト、ブチルセロソルブアセテート等のエステル類、トル
エン、キシレン、ジエチルベンゼン、シクロヘキサン等
の炭化水素類、トリクロロエタン、テトラクロロエタ
ン、モノクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素類など
が用いられる。これらは単独又は混合して用いられる。
また耐PCT性や低温硬化性の点から非含窒素系溶剤で
あることが好ましく、トルエン、キシレン、メチルエチ
ルケトン、メチルイソブチルケトンが好ましい。
The soluble solvent used in the urethanization reaction needs to be inert to the urethanization reaction product and the raw material for the urethanization reaction. For example, the solvent is described in "Solvent Handbook" (Kodansha, 1976). Solvents described on pages 143 to 852 of Jpn. For example, N-methylpyrrolidone, dimethylacetamide, dimethylformamide, 1,3-dimethyl-
Nitrogen-containing compounds such as 3,4,5,6-tetrahydro-2 (1H) -pyrimidinone and 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone; sulfur compounds such as sulfolane and dimethyl sulfoxide; γ-butyrolactone; γ-valero Lactone,
lactones such as γ-caprolactone, γ-heptalactone, α-acetyl-γ-butyrolactone, ε-caprolactone, dioxane, 1,2-dimethoxyethane, ethylene carbonate, carbonates such as propylene carbonate, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, Ketones such as cyclohexanone and acetophenone,
Esters such as ethyl acetate, butyl acetate, ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate, hydrocarbons such as toluene, xylene, diethylbenzene and cyclohexane, and halogenated hydrocarbons such as trichloroethane, tetrachloroethane and monochlorobenzene are used. These are used alone or in combination.
Further, it is preferably a non-nitrogen-containing solvent from the viewpoint of PCT resistance and low-temperature curability, and toluene, xylene, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone are preferable.

【0030】(C)成分である活性光の照射により遊離
ラジカルを生成する光重合開始剤の例としては、例え
ば、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブ
チルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾ
インエーテル類、ベンゾフェノン、N,N’−テトラメ
チル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケ
トン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノ
ベンゾフェノン等のベンゾフェノン類、ベンジルジメチ
ルケタール(チバ・ガイギー社製、イルガキュア65
1)、ベンジルジエチルケタール等のベンジルケタール
類、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、p
−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン
類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジイソ
プロピルチオキサントン等のキサントン類、あるいはヒ
ドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(チバ・ガイギ
ー社製、イルガキュア184)、1−(4−イソプロピ
ルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−
1−オン(メルク社製、ダロキュア1116)、2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン(メルク社製、ダロキュア1173)等が挙げられ、
これらは単独で又は2種以上を組み合わせて用いられ
る。
Examples of the photopolymerization initiator which generates free radicals upon irradiation with actinic light as the component (C) include, for example, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin phenyl ether and the like. Benzoin ethers, benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone (Michler's ketone), benzophenones such as N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone, benzyldimethylketal (Ciba・ Geigy, Irgacure 65
1), benzyl ketals such as benzyl diethyl ketal, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, p
Acetophenones such as dimethylaminoacetophenone, xanthones such as 2,4-dimethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone, or hydroxycyclohexylphenyl ketone (Irgacure 184, manufactured by Ciba-Geigy), 1- (4-isopropylphenyl ) -2-Hydroxy-2-methylpropane-
1-one (manufactured by Merck, Darocure 1116), 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one (manufactured by Merck, Darocure 1173) and the like,
These are used alone or in combination of two or more.

【0031】また、(C)成分として使用しうる光重合
開始剤としては、例えば、2,4,5−トリアリルイミ
ダゾール二量体と2−メルカプトベンゾオキサゾール、
ロイコクリスタルバイオレット、トリス(4−ジエチル
アミノ−2−メチルフェニル)メタン等との組み合わせ
も挙げられる。また、それ自体では光重合開始性はない
が、前記物質と組み合わせて用いることにより全体とし
て光重合開始性能のより良好な増感剤系となるような添
加剤、例えば、ベンゾフェノンに対するトリエタノール
アミン等の三級アミンを用いることができる。
The photopolymerization initiator which can be used as the component (C) includes, for example, 2,4,5-triallylimidazole dimer and 2-mercaptobenzoxazole,
Combinations with leuco crystal violet, tris (4-diethylamino-2-methylphenyl) methane and the like are also included. Additives which do not have photoinitiating property by themselves, but provide a sensitizer system having better photopolymerization initiating performance as a whole when used in combination with the above substances, such as triethanolamine for benzophenone. Can be used.

【0032】本発明者らは鋭意研究の結果、(C)成分
である光開始剤は、分子構造中にアミン構造を有さない
ものが、感光性樹脂組成物の保存安定性を特に良好にす
ることを見出した。分子構造中にアミン構造を有さな
い、活性光の照射により遊離ラジカルを生成する光重合
開始剤としては、例えば、ベンゾフェノンあるいはアミ
ン構造を有さないベンゾフェノン誘導体、ベンジルジメ
チルケタール(チバ・ガイギー社製、イルガキュア65
1)、ベンジルジエチルケタール等のベンジルケタール
類、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、等
のアセトフェノン類、2,4−ジメチルチオキサント
ン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のキサン
トン類、ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(チ
バ・ガイギー社製、イルガキュア184)、1−(4−
イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチル
プロパン−1−オン(メルク社製、ダロキュア111
6)、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロ
パン−1−オン(メルク社製、ダロキュア1173)な
どが好ましく、感度や解像度およびレジスト形状の点か
ら、ベンジルジメチルケタールが特に好ましい。
The present inventors have conducted intensive studies and found that the photoinitiator as the component (C), which does not have an amine structure in the molecular structure, has particularly good storage stability of the photosensitive resin composition. I found to do. Examples of the photopolymerization initiator which has no amine structure in the molecular structure and generates free radicals upon irradiation with actinic light include benzophenone or a benzophenone derivative having no amine structure, benzyl dimethyl ketal (manufactured by Ciba Geigy) , Irgacure 65
1), benzyl ketals such as benzyl diethyl ketal, acetophenones such as 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, 2,4-dimethylthioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone Xanthones, hydroxycyclohexyl phenyl ketone (Irgacure 184, manufactured by Ciba-Geigy), 1- (4-
Isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one (manufactured by Merck, Darocure 111)
6), 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one (manufactured by Merck, Darocure 1173) and the like are preferable, and benzyldimethyl ketal is particularly preferable in terms of sensitivity, resolution, and resist shape.

【0033】このようにして得られる本発明の感光性樹
脂組成物において、(A)成分の固形分の使用量は20
〜95重量部(ただし(A)成分の固形分及び(B)成
分の総量を100重量部とする)とするのが好ましい。
(A)成分の固形分の使用量が20重量部未満であると
耐PCT性が低下し、95重量部を越えると感度が低下
する。(B)成分の使用量は5〜80重量部(ただし
(A)成分の固形分及び(B)成分の総量を100重量
部とする)とするのが好ましい。(B)成分の使用量が
5重量部未満であると感度が低下し、80重量部を越え
ると耐PCT性が低下する。(C)成分の使用量は0.
01〜20重量部(ただし(A)成分の固形分及び
(B)成分の総量を100重量部とする)とするのが好
ましい。(C)成分の使用量が0.01重量部未満であ
ると感度が低下し、20重量部を越えると形成されるネ
ガティブパターンのレジスト形状が悪くなる。
In the photosensitive resin composition of the present invention thus obtained, the amount of the solid component (A) used is 20
It is preferable that the amount be from 95 to 95 parts by weight (provided that the total amount of the solid content of the component (A) and the component (B) is 100 parts by weight).
If the amount of the solid component (A) used is less than 20 parts by weight, the PCT resistance is reduced, and if it exceeds 95 parts by weight, the sensitivity is reduced. The amount of the component (B) is preferably 5 to 80 parts by weight (provided that the total amount of the solid content of the component (A) and the component (B) is 100 parts by weight). If the amount of the component (B) is less than 5 parts by weight, the sensitivity is lowered, and if it is more than 80 parts by weight, the PCT resistance is lowered. The amount of the component (C) used is 0.
The content is preferably from 0.01 to 20 parts by weight (provided that the total amount of the solid content of the component (A) and the component (B) is 100 parts by weight). When the amount of the component (C) is less than 0.01 part by weight, the sensitivity is lowered. When the amount exceeds 20 parts by weight, the negative pattern formed has a poor resist shape.

【0034】本発明の感光性樹脂組成物には、染料、顔
料、可塑剤、安定剤等の添加剤を必要に応じて添加して
もよい。これらの添加剤の添加量は、樹脂組成物100
重量部に対して、0.001〜10重量部とすることが
好ましい。また、本発明の感光性樹脂組成物には耐熱
性、耐湿性、耐電食性等の特性を向上させる目的で公知
慣用の熱硬化樹脂、橋架け剤を用いることができる。
[0034] Additives such as dyes, pigments, plasticizers and stabilizers may be added to the photosensitive resin composition of the present invention as needed. The amount of these additives is 100
It is preferably 0.001 to 10 parts by weight based on parts by weight. In addition, a known and commonly used thermosetting resin and a bridging agent can be used in the photosensitive resin composition of the present invention for the purpose of improving properties such as heat resistance, moisture resistance, and corrosion resistance.

【0035】熱硬化剤としては、例えば、ビスフェノー
ルA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノー
ルノボラック、クレゾールノボラック、クレゾールノボ
ラック型等公知慣用のエポキシ樹脂とアミン系、酸無水
物系等のエポキシ硬化剤の組み合わせ、メラミン樹脂、
尿素樹脂、グアナミン樹脂等のアミノ樹脂やその誘導
体、フェノール樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、無
水マレイン酸とジアミン化合物やジイソシアネート化合
物とからなるマレイミド樹脂などを用いることができ
る。耐PCT性の点からブロックイソシアネート樹脂、
又は無水マレイン酸とジアミン化合物あるいはジイソシ
アネート化合物とからなるマレイミド樹脂が好ましく、
更に光感度の点からブロックイソシアネート樹脂が特に
好ましい。
As the thermosetting agent, for example, a combination of a commonly used epoxy resin such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenol novolak, cresol novolac, cresol novolac type and an epoxy curing agent of amine type, acid anhydride type or the like can be used. , Melamine resin,
Amino resins such as urea resins and guanamine resins and derivatives thereof, phenol resins, blocked isocyanate resins, and maleimide resins composed of maleic anhydride and a diamine compound or a diisocyanate compound can be used. Blocked isocyanate resin from the viewpoint of PCT resistance,
Or a maleimide resin composed of maleic anhydride and a diamine compound or a diisocyanate compound is preferable,
Further, a blocked isocyanate resin is particularly preferred from the viewpoint of light sensitivity.

【0036】熱硬化剤の添加量は、(A)成分の固形分
及び(B)成分の合計量100重量部に対して、0.1
〜50重量部とすることが好ましく、0.5〜40重量
部とすることがより好ましい。この添加量が0.1重量
部未満では硬化性の向上が不十分となる可能性があり、
50重量部を超えると、粘度安定性が劣る傾向がある。
The amount of the thermosetting agent added is 0.1 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the solid content of the component (A) and the component (B).
The amount is preferably from 50 to 50 parts by weight, more preferably from 0.5 to 40 parts by weight. If the addition amount is less than 0.1 part by weight, the curability may be insufficiently improved,
If it exceeds 50 parts by weight, viscosity stability tends to be poor.

【0037】感光性ソルダーレジストを製造するに際し
ては、まず、(A)〜(C)成分を含む感光性樹脂組成
物を均一に溶解する。次いで、溶液状となった感光性樹
脂組成物を、シリコンウエハー、金属、セラミックス、
銅張積層板等の基板上に均一に塗布した後、加熱又は熱
風吹き付けにより溶剤を除去し、乾燥皮膜とする。乾燥
皮膜の厚さには特に制限はなく、5〜100μmとする
ことが好ましく、10〜60μmとすることがより好ま
しい。感光性樹脂組成物の乾燥の条件は特に制限はない
が、乾燥温度は60〜130℃とすることが好ましく、
また必要により減圧下で乾燥を行ってもよい。
In producing a photosensitive solder resist, first, a photosensitive resin composition containing the components (A) to (C) is uniformly dissolved. Next, the photosensitive resin composition in the form of a solution was added to a silicon wafer, metal, ceramic,
After uniformly coated on a substrate such as a copper-clad laminate, the solvent is removed by heating or blowing with hot air to form a dry film. The thickness of the dried film is not particularly limited, and is preferably 5 to 100 μm, more preferably 10 to 60 μm. The conditions for drying the photosensitive resin composition are not particularly limited, but the drying temperature is preferably from 60 to 130 ° C,
If necessary, drying may be performed under reduced pressure.

【0038】本発明の感光性樹脂組成物を用いる場合に
は、前記のように加熱すれば、予め基板を予熱処理する
ことは必要ではないが、基板と感光性樹脂層との密着性
をさらに向上させるために、基板の予熱処理を行っても
よい。このようにして得られた感光層は、次いで、ネガ
フィルム又はポジフィルムを用いて活性光により画像的
に露光される。活性光は、公知の活性光源、例えば、カ
ーボンアーク、水銀蒸気アーク、キセノンアーク等から
発生する光が用いられる。感光層に含まれる光開始剤の
感受性は、通常、紫外線領域において最大であるので、
その場合は活性光源は紫外線を有効に放射するものにす
べきである。次いで、露光後、界面活性剤又は有機溶剤
を好ましくは0.1〜50wt%含有するアルカリ性水
溶液を用いて、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシ
ング、スクラッピング等の公知の方法により未露光部を
除去して現像する。現像液に用いられる界面活性剤又は
有機溶剤は、ヘプタン酸ジエタノールアミド、ポリオキ
シエチレンパラクミルフェニルエーテル、ポリジメチル
シロキサン等が用いられ、ヘプタン酸ジエタノールアミ
ド又はポリオキシエチレンパラクミルフェニルエーテル
が好ましく、ポリオキシエチレンパラクミルフェニルエ
ーテルが特に好ましい。また、現像液に用いるアルカリ
成分としては、炭酸ソーダ、水酸化ナトリウム、ほう砂
等が好ましくは0.01〜30wt%の範囲で用いられ
る。アルカリ成分としては好ましくは無機アルカリ性化
合物が用いられる。また、現像に用いる際の現像液の温
度は、感光層の現像性によって調節される。また、この
現像液中には、他の界面活性剤、消泡剤等を混入させて
もよい。
In the case of using the photosensitive resin composition of the present invention, it is not necessary to preheat the substrate in advance by heating as described above, but the adhesion between the substrate and the photosensitive resin layer is further improved. Pre-heat treatment of the substrate may be performed for improvement. The photosensitive layer thus obtained is then imagewise exposed to actinic light using a negative or positive film. As the active light, light generated from a known active light source, for example, a carbon arc, a mercury vapor arc, a xenon arc, or the like is used. Since the sensitivity of the photoinitiator contained in the photosensitive layer is usually maximum in the ultraviolet region,
In that case, the active light source should emit ultraviolet light effectively. Next, after the exposure, the unexposed portion is removed by a known method such as spraying, rocking immersion, brushing, and scraping using an alkaline aqueous solution preferably containing 0.1 to 50% by weight of a surfactant or an organic solvent. Remove and develop. Surfactants or organic solvents used in the developer include heptanoic acid diethanolamide, polyoxyethylene paracumylphenyl ether, polydimethylsiloxane, and the like, and heptanoic acid diethanolamide or polyoxyethylene paracumylphenyl ether is preferable. Oxyethylene paracumyl phenyl ether is particularly preferred. Further, as the alkali component used in the developer, sodium carbonate, sodium hydroxide, borax and the like are preferably used in the range of 0.01 to 30% by weight. As the alkali component, an inorganic alkaline compound is preferably used. Further, the temperature of the developer used for development is adjusted by the developability of the photosensitive layer. Further, another surfactant, an antifoaming agent, and the like may be mixed in the developer.

【0039】更に、現像後、耐PCT性、はんだ耐熱
性、耐薬品性等を向上させる目的で、高圧水銀ランプに
よる紫外線照射や、加熱を行う。紫外線照射時の紫外線
照射量は、0.2〜10J/cm2 とすることが好まし
く、照射の際の温度は、60〜150℃とすることが好
ましい。加熱温度は、150〜250℃とすることが好
ましく、加熱時間は15〜120分とすることが好まし
い。これら紫外線の照射と加熱の順は、どちらでもよい
が、紫外線の照射を先に、加熱をその後に行うことがよ
り好ましい。このようにして、本発明の感光性樹脂組成
物は、各種保護膜、絶縁膜等に使用することができる。
Further, after the development, irradiation with ultraviolet rays by a high-pressure mercury lamp or heating is performed for the purpose of improving PCT resistance, solder heat resistance, chemical resistance and the like. The irradiation amount of the ultraviolet rays during the irradiation of the ultraviolet rays is preferably 0.2 to 10 J / cm 2, and the temperature during the irradiation is preferably 60 to 150 ° C. The heating temperature is preferably 150 to 250 ° C., and the heating time is preferably 15 to 120 minutes. The order of the irradiation of the ultraviolet rays and the heating may be any order, but it is more preferable that the irradiation of the ultraviolet rays is performed first and the heating is performed thereafter. Thus, the photosensitive resin composition of the present invention can be used for various protective films, insulating films, and the like.

【0040】[0040]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに詳しく説
明する。下記例中の部は、特に断らないかぎり重量部を
意味する。
Next, the present invention will be described in more detail by way of examples. Parts in the following examples mean parts by weight unless otherwise specified.

【0041】(合成例1 ポリイミド前駆体の合成)温
度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管の付いた、加
熱及び冷却可能な容積約5リットルの反応容器にγ−ブ
チロラクトン2954.7gと、2,2−ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン410.
00g(1.00モル)を入れ、45℃に昇温し、43
〜50℃に保ちながら、3,3’,4,4’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物334.88g(1.
04モル)を少量づつ添加した。添加後、45℃で約5
時間反応を続けた後、室温に冷却してポリイミド前駆体
の溶液(A−1)を得た。
Synthesis Example 1 Synthesis of Polyimide Precursor 2954.7 g of γ-butyrolactone was placed in a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe and a nitrogen gas introduction pipe and capable of heating and cooling and having a capacity of about 5 liters. , 2,2-bis [4-
(4-aminophenoxy) phenyl] propane 410.
00 g (1.00 mol), and the temperature was raised to 45 ° C.
While keeping the temperature at 5050 ° C., 334.88 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (1.
04 mol) was added in small portions. After the addition, about 5
After continuing the reaction for an hour, the mixture was cooled to room temperature to obtain a polyimide precursor solution (A-1).

【0042】(合成例2 ポリイミド前駆体の合成)温
度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管の付いた、加
熱及び冷却可能な容積約5リットルの反応容器に、γ−
ブチロラクトン3109.3gと、2,2−ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパン410.
0g(1.00モル)を入れ、45℃に昇温し、43〜
50℃に保ちながら、3,3’,4,4’−ビフェニル
スルホンテトラカルボン酸二無水物372.32g
(1.04モル)を少量づつ添加した。添加後、45℃
で約5時間反応を続けた後、室温に冷却してポリイミド
前駆体の溶液(A−2)を得た。
(Synthesis Example 2 Synthesis of Polyimide Precursor) In a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, and a nitrogen gas introduction pipe and capable of heating and cooling and having a volume of about 5 liters, γ-
3109.3 g of butyrolactone and 2,2-bis [4-
(4-aminophenoxy) phenyl] propane 410.
0 g (1.00 mol), and the temperature was raised to 45 ° C.
While maintaining the temperature at 50 ° C., 372.32 g of 3,3 ′, 4,4′-biphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride
(1.04 mol) was added in small portions. After addition, 45 ° C
The reaction was continued for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyimide precursor solution (A-2).

【0043】(合成例3 ポリイミド前駆体の合成)温
度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管の付いた、加
熱及び冷却可能な容積約5リットルの反応容器にγ−ブ
チロラクトン2857.6gと、2,2−ビス〔4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル384.
00g(1.00モル)を入れ、45℃に昇温し、43
〜50℃に保ちながら、3,3’,4,4’−ベンゾフ
ェノンテトラカルボン酸二無水物334.88g(1.
04モル)を少量づつ添加した。添加後、45℃で約5
時間反応を続けた後、室温に冷却してポリイミド前駆体
の溶液(A−3)を得た。
Synthesis Example 3 Synthesis of Polyimide Precursor 2857.6 g of γ-butyrolactone was placed in a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, and a nitrogen gas introduction pipe and capable of heating and cooling and having a capacity of about 5 liters. , 2,2-bis [4-
(4-aminophenoxy) phenyl] ether 384.
00 g (1.00 mol), and the temperature was raised to 45 ° C.
While keeping the temperature at 5050 ° C., 334.88 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (1.
04 mol) was added in small portions. After the addition, about 5
After the reaction was continued for an hour, the solution was cooled to room temperature to obtain a polyimide precursor solution (A-3).

【0044】(合成例4 ポリイミド前駆体の合成)温
度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管の付いた、加
熱及び冷却可能な容積約5リットルの反応容器にγ−ブ
チロラクトン2808.0gと、2−ビス〔4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル〕エーテル384.00g
(1.00モル)を入れ、45℃に昇温し、43〜50
℃に保ちながら、3,3’,4,4’−ビフェニルエー
テルテトラカルボン酸二無水物322.40g(1.0
4モル)を少量づつ添加した。添加後、45℃で約5時
間反応を続けた後、室温に冷却してポリイミド前駆体の
溶液(A−4)を得た。
Synthesis Example 4 Synthesis of Polyimide Precursor 2808.0 g of γ-butyrolactone was placed in a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, and a nitrogen gas introduction pipe and capable of heating and cooling and having a volume of about 5 liters. , 2-bis [4- (4-
Aminophenoxy) phenyl] ether 384.00 g
(1.00 mol), and the temperature was raised to 45 ° C.
C., while maintaining 3,3 ′, 4,4′-biphenylethertetracarboxylic dianhydride in 322.40 g (1.0%).
4 mol) was added in small portions. After the addition, the reaction was continued at 45 ° C. for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyimide precursor solution (A-4).

【0045】(合成例5 光重合性不飽和化合物の合
成)温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及び滴
下器の付いた、加熱及び冷却可能な容積約1リットルの
反応容器に、トルエン137gとトリメチルヘキサメチ
レンジイソシアネート210.0g(1.0モル)を入
れ、70℃に昇温し、70〜75℃に保ちながら、シク
ロヘキサンジメタノール72.0g(0.5モル)と2
−ヒドロキシエチルメタクリレート130.0g(1.
0モル)を少量づつ滴下した。滴下後、70℃で約5時
間反応を続けた後、室温に冷却して光重合性モノマの溶
液(B−1)を得た。
(Synthesis Example 5 Synthesis of Photopolymerizable Unsaturated Compound) In a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, a nitrogen gas introduction pipe, and a dropper and capable of heating and cooling and having a volume of about 1 liter, 137 g of toluene and 210.0 g (1.0 mol) of trimethylhexamethylene diisocyanate were added, and the temperature was raised to 70 ° C., and while maintaining the temperature at 70 to 75 ° C., 72.0 g (0.5 mol) of cyclohexanedimethanol and 2 mol
130.0 g of hydroxyethyl methacrylate (1.
0 mol) was added dropwise little by little. After the dropwise addition, the reaction was continued at 70 ° C. for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a photopolymerizable monomer solution (B-1).

【0046】(比較合成例1 ポリイミド前駆体の合
成)温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管の付い
た、加熱及び冷却可能な容積約5リットルの反応容器に
N−メチルピロリドン1696.3gと、4,4−ジア
ミノジフェニルエーテル200.0g(1.00モル)
を入れ、45℃に昇温し、43〜50℃に保ちながら、
ピロメリット酸二無水物226.72g(1.04モ
ル)を少量づつ添加した。添加後、45℃で約5時間反
応を続けた後、室温に冷却してポリイミド前駆体の溶液
(A−5)を得た。
(Comparative Synthesis Example 1 Synthesis of Polyimide Precursor) N-methylpyrrolidone 1696.N was placed in a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, and a nitrogen gas introduction pipe and capable of heating and cooling and having a capacity of about 5 liters. 3 g and 4,4-diaminodiphenyl ether 200.0 g (1.00 mol)
And raise the temperature to 45 ° C, while keeping it at 43-50 ° C,
226.72 g (1.04 mol) of pyromellitic dianhydride were added in small portions. After the addition, the reaction was continued at 45 ° C. for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a polyimide precursor solution (A-5).

【0047】(比較合成例2 光重合性不飽和化合物の
合成)温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及び
滴下器の付いた、加熱及び冷却可能な容積約1リットル
の反応容器に、トルエン174gとトリレンジイソシア
ネート174.0g(1.0モル)を入れ、70℃に昇
温し、70〜75℃に保ちながら、2−ヒドロキシエチ
ルアクリレート232.0g(2.0モル)をを少量づ
つ滴下した。滴下後、70℃で約5時間反応を続けた
後、室温に冷却して光重合性モノマの溶液(B−3)を
得た。
(Comparative Synthesis Example 2 Synthesis of Photopolymerizable Unsaturated Compound) In a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, a nitrogen gas introducing pipe and a dropper, and capable of heating and cooling and having a capacity of about 1 liter. , 174 g of toluene and 174.0 g (1.0 mol) of tolylene diisocyanate were added, and the temperature was raised to 70 ° C, and while maintaining the temperature at 70 to 75 ° C, 232.0 g (2.0 mol) of 2-hydroxyethyl acrylate was added. It was dripped little by little. After the dropwise addition, the reaction was continued at 70 ° C. for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a photopolymerizable monomer solution (B-3).

【0048】(比較合成例3 光重合性不飽和化合物の
合成)温度計、攪拌装置、冷却管、窒素ガス導入管及び
滴下器の付いた、加熱及び冷却可能な容積約1リットル
の反応容器に、トルエン193gとジフェニルメタンジ
イソシアネート250.0g(1.0モル)を入れ、7
0℃に昇温し、70〜75℃に保ちながら、シクロヘキ
サンジメタノール72g(0.5モル)と2−ヒドロキ
シエチルメタクリレート130g(1.0モル)を少量
づつ滴下した。滴下後、70℃で約5時間反応を続けた
後、室温に冷却して光重合性モノマの溶液(B−4)を
得た。
(Comparative Synthesis Example 3 Synthesis of Photopolymerizable Unsaturated Compound) In a reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a cooling pipe, a nitrogen gas introduction pipe, and a dropper and capable of heating and cooling and having a capacity of about 1 liter. And 193 g of toluene and 250.0 g (1.0 mol) of diphenylmethane diisocyanate.
The temperature was raised to 0 ° C, and while maintaining the temperature at 70 to 75 ° C, 72 g (0.5 mol) of cyclohexanedimethanol and 130 g (1.0 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate were added dropwise little by little. After the dropwise addition, the reaction was continued at 70 ° C. for about 5 hours, and then cooled to room temperature to obtain a photopolymerizable monomer solution (B-4).

【0049】実施例1〜6、比較例1〜4 合成例1〜4及び比較合成例1で得られた(A)成分、
合成例5及び比較合成例2、3によって得られた光重合
性不飽和化合物等の(B)成分、並びに(C)成分、染
料を、それぞれ表1に配合及び表2に示した配合割合
(重量部)で混合して感光性樹脂組成物の溶液を得た。
Examples 1 to 6, Comparative Examples 1 to 4 Component (A) obtained in Synthesis Examples 1 to 4 and Comparative Synthesis Example 1
The component (B) such as the photopolymerizable unsaturated compound obtained in Synthesis Example 5 and Comparative Synthesis Examples 2 and 3, the component (C), and the dye were mixed in Table 1 and in the mixing ratio shown in Table 2, respectively. Parts by weight) to obtain a solution of the photosensitive resin composition.

【0050】[0050]

【表1】 [Table 1]

【0051】次に、銅厚18μmの銅張積層板(日立化
成工業社製MCL−E−679)を、住友スリーエム社
製スコッチブライトで研磨し、水洗し、80℃で15分
乾燥した。この試験基板に、アプリケーターを用いて上
記配合の感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、90
℃のホットプレートで約10分間乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは、約20μmであった。
Next, a copper-clad laminate having a copper thickness of 18 μm (MCL-E-679 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was polished with Scotch Bright manufactured by Sumitomo 3M, washed with water, and dried at 80 ° C. for 15 minutes. A solution of the photosensitive resin composition having the above composition was uniformly applied to the test substrate using an applicator.
Dried on a hot plate at about 10 minutes. The dried thickness of the layer of the photosensitive resin composition was about 20 μm.

【0052】このようにして得られた感光性樹脂組成物
の層を形成した試験基板について、現像性、保存安定
性、耐PCT性、はんだ耐熱性について以下の方法で試
験した。その結果を表2に示した。
The test substrate on which the layer of the photosensitive resin composition thus obtained was formed was tested for developability, storage stability, PCT resistance and solder heat resistance by the following methods. The results are shown in Table 2.

【0053】(1)現像性 上記で得られた感光性樹脂組成物の層を形成した試験基
板を、ポリオキシエチレンパラクミルフェニルエーテル
2wt%、炭酸ソーダ0.5wt%を含有するアルカリ
性水溶液を用いて45℃で60秒間スプレー現像した。
現像後、30倍に拡大して残存する樹脂を目視で現像性
を評価した。評価の基準は次の通りである。 ○:現像性の良好なもの(基板表面上に樹脂が全く残ら
ないもの) ×:現像性の不良なもの(基板表面上に樹脂が少し残る
もの)
(1) Developability The test substrate on which the layer of the photosensitive resin composition obtained above was formed was prepared using an alkaline aqueous solution containing 2 wt% of polyoxyethylene paracumyl phenyl ether and 0.5 wt% of sodium carbonate. At 45 ° C. for 60 seconds.
After the development, the resin remaining after being magnified 30 times was visually evaluated for developability. The evaluation criteria are as follows. :: Good developability (no resin left on substrate surface) ×: Poor developability (residual resin left on substrate surface)

【0054】(2)保存安定性 上記で得られた感光性樹脂組成物を室温(20〜23
℃)で1週間保管した後、(1)と同じ方法で試験基板
を作製し、現像性を評価した。評価の基準は次の通りで
ある。 ○:保存安定性の良好なもの(基板表面上に樹脂が全く
残らず、現像性の良好なもの) ×:保存安定性の不良なもの(基板表面上に樹脂が少し
でも残り、現像性の不良なもの)
(2) Storage stability The photosensitive resin composition obtained above was treated at room temperature (20 to 23).
C.) for one week, a test substrate was prepared in the same manner as in (1), and the developability was evaluated. The evaluation criteria are as follows. :: Good storage stability (no resin remains on the substrate surface and good developability) ×: Poor storage stability (a little resin remains on the substrate surface and developability) Bad one)

【0055】(3)耐PCT性 前述の銅厚18μmの銅張積層板(日立化成工業社製M
CL−E−679)を、住友スリーエム社製スコッチブ
ライトで研磨し、水洗し、80℃で15分乾燥した。こ
の試験基板に、前述と同様にアプリケーターを用いて上
記配合の感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、90
℃のホットプレートで約10分間乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは、約20μmであった。次
にオーク製作所製HMW−590型露光機を使用し、5
00mJ/cm2 の露光量で露光した。次いで東芝電材
社製紫外線照射装置を用いて3J/cm2 の量で紫外線
を再照射し、その後更に乾燥機で200℃で60分加熱
した。このようにして得られた試験基板を、平山製作所
製PCT試験装置を用いて、121℃、2atmの条件
で300時間までPCT処理を行い、以下に示す評価法
でクロスカット法によるテープテストによって、密着性
を評価した。 A/B(B個中A個剥離しなかったことを示す)
(3) PCT resistance The copper-clad laminate having a copper thickness of 18 μm (M, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
CL-E-679) was polished with Scotch Bright manufactured by Sumitomo 3M Limited, washed with water, and dried at 80 ° C. for 15 minutes. The test substrate was uniformly coated with the photosensitive resin composition solution having the above composition using an applicator in the same manner as described above.
Dried on a hot plate at about 10 minutes. The dried thickness of the layer of the photosensitive resin composition was about 20 μm. Next, using an HMW-590 type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.
Exposure was performed at an exposure of 00 mJ / cm 2 . Next, ultraviolet light was re-irradiated at a dose of 3 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Electric Materials Co., Ltd., and then further heated at 200 ° C. for 60 minutes by a dryer. The test substrate thus obtained was subjected to a PCT treatment for up to 300 hours at 121 ° C. and 2 atm using a PCT test apparatus manufactured by Hirayama Seisakusho, and a tape test by a cross cut method was performed according to the evaluation method described below. The adhesion was evaluated. A / B (indicates that A out of B did not peel)

【0056】(4)はんだ耐熱性 前述の銅厚18μmの銅張積層板(日立化成工業社製M
CL−E−679)を、住友スリーエム社製スコッチブ
ライトで研磨し、水洗し、80℃で15分乾燥した。こ
の試験基板に、前述と同様にアプリケーターを用いて上
記配合の感光性樹脂組成物の溶液を均一に塗布し、90
℃のホットプレートで約10分間乾燥した。感光性樹脂
組成物の層の乾燥後の厚さは、約20μmであった。次
に、図1に示すネガマスクを感光性樹脂組成物の層の上
から密着させ、オーク製作所製HMW−590型露光機
を使用し、500mJ/cm2 の露光量で露光した。次
いでネガマスクを剥離した後、現像液にポリオキシエチ
レンパラクミルフェニルエーテル2wt%、炭酸ソーダ
0.5wt%を含有するアルカリ性水溶液を用いて45
℃で60秒間スプレー現像した。現像後、80℃で10
分間加熱乾燥し、東芝電材社製紫外線照射装置を用いて
3J/cm2 の量で紫外線を再照射し、その後更に乾燥
機で200℃で60分加熱した。このようにして得られ
た試験基板表面に、ロジン系フラックスA−226(田
村化研社製)を塗布し、260℃のはんだ浴に180秒
間浸漬し、その後25℃のトリクレンに20秒間浸漬し
てフラックスを除去した。このような操作を行なった
後、レジストの外観を評価した。評価基準は次のとおり
である。 ○:はんだ耐熱性が良好なもの(レジストにクラックや
浮き、ハガレの発生が全く無いもの) ×:はんだ耐熱性が不良なもの(レジストにクラックや
浮き、ハガレの発生するもの)
(4) Solder heat resistance The copper-clad laminate having a copper thickness of 18 μm (M, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)
CL-E-679) was polished with Scotch Bright manufactured by Sumitomo 3M Limited, washed with water, and dried at 80 ° C. for 15 minutes. The test substrate was uniformly coated with the photosensitive resin composition solution having the above composition using an applicator in the same manner as described above.
Dried on a hot plate at about 10 minutes. The dried thickness of the layer of the photosensitive resin composition was about 20 μm. Next, the negative mask shown in FIG. 1 was brought into close contact with the photosensitive resin composition layer, and exposed using an HMW-590 type exposure machine manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. at an exposure dose of 500 mJ / cm 2 . Next, after the negative mask is peeled off, an alkaline aqueous solution containing 2 wt% of polyoxyethylene paracumyl phenyl ether and 0.5 wt% of sodium carbonate is used as a developing solution.
Spray developed at 60 ° C for 60 seconds. After development, 10
Then, the film was heated and dried again for 3 minutes, and was again irradiated with ultraviolet rays at a dose of 3 J / cm 2 using an ultraviolet irradiation device manufactured by Toshiba Electric Materials Co., Ltd., and then further heated at 200 ° C. for 60 minutes by a dryer. A rosin-based flux A-226 (manufactured by Tamura Kaken) is applied to the surface of the test substrate thus obtained, immersed in a 260 ° C. solder bath for 180 seconds, and then immersed in 25 ° C. trichlene for 20 seconds. To remove the flux. After performing such an operation, the appearance of the resist was evaluated. The evaluation criteria are as follows. :: Good solder heat resistance (no crack, floating or peeling of resist) ×: Poor solder heat resistance (Crack, floating or peeling of resist)

【0057】[0057]

【表2】 [Table 2]

【0058】[0058]

【発明の効果】(1)本発明の感光性樹脂組成物は、プ
リント配線板の製造に適用できる250℃以下の加熱硬
化により、耐PCT性、低温硬化性、はんだ耐熱性、耐
めっき液性、耐薬品性、電気絶縁性等のソルダーレジス
トに必要な諸特性に優れ、また保存安定性に優れ、作業
環境の良い水系の現像液を用いて現像できる。 (2)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、より現像性が優れ、高感度なも
のである。 (3)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、より低温硬化性が優れる。 (4)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、より耐めっき液性が優れる。 (5)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、よりはんだ耐熱性が優れる。 (6)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、より保存安定性が優れ、より高
感度なものである。 (7)本発明の感光性樹脂組成物は、(3)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、特に低温硬化性が優れる。 (8)本発明の感光性樹脂組成物は、(1)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、さらに相溶性が優れ、特に耐P
CT性が優れる。 (9)本発明の感光性樹脂組成物は、(6)の感光性樹
脂組成物の効果を奏し、特に保存安定性が優れ、特に高
感度なものである。 (10)本発明のソルダーレジストの製造法は、作業環
境の良好なアルカリ性水溶液を用いて、耐PCT性、低
温硬化性、はんだ耐熱性、耐めっき液性、耐薬品性、電
気絶縁性等が優れる。 (11)本発明のソルダーレジストの製造法は、(1
0)のソルダーレジストの製造法の効果を奏し、より耐
PCT性、はんだ耐熱性、電気絶縁性等に優れる。
(1) The photosensitive resin composition of the present invention has a PCT resistance, a low-temperature curing property, a solder heat resistance, and a plating solution resistance by heating and curing at 250 ° C. or less which can be applied to the production of printed wiring boards. It is excellent in various properties required for a solder resist, such as chemical resistance and electrical insulation, is excellent in storage stability, and can be developed using an aqueous developer having a good working environment. (2) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), and has excellent developability and high sensitivity. (3) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), and is excellent in low-temperature curability. (4) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), and is more excellent in plating solution resistance. (5) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), and has more excellent solder heat resistance. (6) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), is more excellent in storage stability, and has higher sensitivity. (7) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (3), and is particularly excellent in low-temperature curability. (8) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (1), further has excellent compatibility, and particularly has a P resistance.
Excellent CT properties. (9) The photosensitive resin composition of the present invention exhibits the effect of the photosensitive resin composition of (6), has particularly excellent storage stability, and has particularly high sensitivity. (10) The method for producing a solder resist according to the present invention uses an alkaline aqueous solution having a good working environment to improve the PCT resistance, low-temperature curing property, solder heat resistance, plating solution resistance, chemical resistance, electrical insulation property, etc. Excellent. (11) The method for producing a solder resist of the present invention comprises the steps of (1)
The effect of the method 0) for producing a solder resist is exhibited, and the PCT resistance, solder heat resistance, electrical insulation, and the like are further improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明においてはんだ耐熱性を評価す
るのに用いるネガマスクの概略図を示す。
FIG. 1 is a schematic view of a negative mask used for evaluating solder heat resistance in the present invention.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 3/18 H05K 3/18 D 3/28 3/28 D (72)発明者 太田 文彦 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification symbol FI H05K 3/18 H05K 3/18 D 3/28 3/28 D (72) Inventor Fumihiko Ota 4--13 Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture No. 1 Hitachi Chemical Co., Ltd. Ibaraki Research Laboratory

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】(A)一般式(I) 【化1】 (式中、R1 は炭素原子数2〜30の4価の有機基を示
し、R2 は炭素原子数2〜240の2価の有機基を示
し、Xはそれぞれ独立にOH又は炭素原子数1〜30の
1価の有機基を示す)で表される繰り返し単位を有する
ポリイミド前駆体、(B)トリメチルヘキサメチレンジ
イソシアネートと、脂肪族または芳香族ジアルコール
と、少なくとも1つの(メタ)アクリレート基とアルコ
ール基とを有する化合物とのウレタン化反応生成物であ
る光重合性不飽和化合物、及び(C)活性光の照射によ
り遊離ラジカルを生成する光重合開始剤を含有してなる
ことを特徴とする感光性樹脂組成物。
(A) General formula (I) (Wherein, R 1 represents a tetravalent organic group having 2 to 30 carbon atoms, R 2 represents a divalent organic group having 2 to 240 carbon atoms, and Xs each independently represent OH or carbon atoms. (B) trimethylhexamethylene diisocyanate, an aliphatic or aromatic dialcohol, and at least one (meth) acrylate group And a photopolymerizable unsaturated compound which is a urethanation reaction product of a compound having an alcohol group and a compound having an alcohol group, and (C) a photopolymerization initiator which generates free radicals upon irradiation with actinic light. Photosensitive resin composition.
【請求項2】(A)成分のポリイミド前駆体が、固形分
で20〜95重量部、(B)成分の光重合性不飽和化合
物が、5〜80重量部(ただし(A)成分の固形分及び
(B)成分の合計量100重量部に対して)、(C)成
分の光重合開始剤が、0.01〜20重量部(ただし
(A)成分の固形分及び(B)成分の合計量100重量
部に対して)、の配合割合とした請求項1記載の感光性
樹脂組成物。
2. The polyimide precursor of component (A) has a solid content of 20 to 95 parts by weight, and the photopolymerizable unsaturated compound of component (B) has 5 to 80 parts by weight (provided that the solid content of component (A) is 5 to 80 parts by weight). And the photopolymerization initiator of the component (C) is 0.01 to 20 parts by weight (provided that the solid content of the component (A) and the solid content of the component (B) are 100 parts by weight). The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the mixing ratio is based on the total amount of 100 parts by weight).
【請求項3】(A)成分のポリイミド前駆体又はその高
分子溶液において、その溶媒が、非含窒素系溶媒である
請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the solvent in the polyimide precursor of the component (A) or the polymer solution thereof is a non-nitrogen-containing solvent.
【請求項4】 一般式(I)中のR1 が、下記一般式
(VI) 【化2】 (式中、Yは単結合か、又は−CO−、−SO2 −、−
O−、−C(CF3 2 −のいずれかを示す)で表され
る4価の有機性基である請求項1〜3のいずれか1項に
記載の感光性樹脂組成物。
4. A compound represented by the following general formula (VI) wherein R 1 in the general formula (I) is (In the formula, Y is a single bond or -CO -, - SO 2 -, -
O -, - C (CF 3 ) 2 - photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3 is a tetravalent organic group represented by any one shows a) the.
【請求項5】 一般式(I)中のR2 が、下記一般式
(VII) 【化3】 (式中Xは単結合か、又は−O−、−S−、−CO−、
−SO2 −、−CONH−、−CH2 −、−C(C
3 2 −、−C(CF3 2 −若しくは 【化4】 のいずれかを示し、R11〜R14は各々独立に炭素数1〜
6の炭化水素基を示し、nは各々独立に0〜4の整数を
示す)で表される請求項1〜4のいずれか1項に記載の
感光性樹脂組成物。
5. A compound represented by the following general formula (VII), wherein R 2 in the general formula (I) is (Wherein X is a single bond or —O—, —S—, —CO—,
—SO 2 —, —CONH—, —CH 2 —, —C (C
H 3 ) 2- , -C (CF 3 ) 2 -or Wherein R 11 to R 14 each independently represent a group having 1 to 1 carbon atoms.
6 represents a hydrocarbon group, and n independently represents an integer of 0 to 4.) The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4.
【請求項6】 (C)成分が、分子構造中にアミン構造
を有さない光重合開始剤である請求項1〜5のいずれか
1項に記載の感光性樹脂組成物。
6. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the component (C) is a photopolymerization initiator having no amine structure in the molecular structure.
【請求項7】 非含窒素系溶剤がラクトン類、脂環式ケ
トン類又はエーテル類である請求項3〜6のいずれか1
項に記載の感光性樹脂組成物。
7. The method according to claim 3, wherein the non-nitrogen-containing solvent is a lactone, an alicyclic ketone or an ether.
Item 6. The photosensitive resin composition according to item 1.
【請求項8】 (B)成分の光重合性不飽和化合物が、
トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとシクロヘ
キサンジメタノールと2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレートとの反応生成物である請求項1〜7のいずれ
か1項に記載の感光性樹脂組成物。
8. The photopolymerizable unsaturated compound as the component (B),
The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7, which is a reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, cyclohexane dimethanol, and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate.
【請求項9】 (C)成分の光重合開始剤が、ベンジル
ジメチルケタールである請求項1〜8のいずれか1項に
記載の感光性樹脂組成物。
9. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator of the component (C) is benzyldimethyl ketal.
【請求項10】 請求項1〜9のいずれか1項に記載の
感光性樹脂組成物の溶液を基板状に塗布し、乾燥後、像
的に露光し、次いで界面活性剤又は有機溶剤を0.1〜
50重量%及び無機アルカリ性化合物を0.01〜30
重量%含有するアルカリ性水溶液を現像液に用いて、現
像を行うことを特徴とするソルダーレジストの製造法。
10. A solution of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9, which is applied to a substrate, dried, and imagewise exposed, and then a surfactant or an organic solvent is added to the substrate. .1 to
50% by weight and 0.01 to 30 inorganic alkaline compounds
A method for producing a solder resist, wherein development is performed using an alkaline aqueous solution containing by weight as a developing solution.
【請求項11】 現像後に活性光を照射する工程と後加
熱する工程を含む請求項10記載のソルダーレジストの
製造法。
11. The method for producing a solder resist according to claim 10, which comprises a step of irradiating with active light after the development and a step of post-heating.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004092838A1 (en) * 2003-04-15 2004-10-28 Kaneka Corporation Photosensitive resin composition capable of being developed with aqueous developer and photosensitive dry film resist, and use thereof
JP2010145522A (en) * 2008-12-16 2010-07-01 Hitachi Chem Co Ltd Photosensitive resin composition, saw filter and method of manufacturing the same
JP2010222568A (en) * 2009-02-24 2010-10-07 Mitsubishi Chemicals Corp Active energy ray-curable resin composition, cured film and laminate

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