JPH11220225A - ハイブリッドモジュール - Google Patents
ハイブリッドモジュールInfo
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- JPH11220225A JPH11220225A JP10019336A JP1933698A JPH11220225A JP H11220225 A JPH11220225 A JP H11220225A JP 10019336 A JP10019336 A JP 10019336A JP 1933698 A JP1933698 A JP 1933698A JP H11220225 A JPH11220225 A JP H11220225A
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- circuit board
- circuit
- parent
- heat
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/877—Bump connectors and die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/721—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
- H10W90/724—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
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- Structure Of Printed Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型で且つ放熱性の良好なハイブリッドモジ
ュールを提供する 【解決手段】 回路基板11を多層基板によって構成す
ると共に、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部14を形成し、凹部14内に発熱性の回
路部品13を実装して、回路基板11を親回路基板に実
装したときに、回路部品13が親回路基板に直接或いは
放熱部材を介して当接し、回路部品13からの発熱が親
回路基板に熱伝導されて放熱されるようにハイブリッド
モジュール10を構成する。これにより、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、ストリップラ
イン41をトリプレート型に形成し、信号ライン41a
を挟む2つのグランドライン41b,41cのうちの少
なくとも一方を回路基板11の内層に形成する。これに
より、回路基板11の体積を有効に利用できると共に、
モジュールの小型化を図れる。
ュールを提供する 【解決手段】 回路基板11を多層基板によって構成す
ると共に、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部14を形成し、凹部14内に発熱性の回
路部品13を実装して、回路基板11を親回路基板に実
装したときに、回路部品13が親回路基板に直接或いは
放熱部材を介して当接し、回路部品13からの発熱が親
回路基板に熱伝導されて放熱されるようにハイブリッド
モジュール10を構成する。これにより、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、ストリップラ
イン41をトリプレート型に形成し、信号ライン41a
を挟む2つのグランドライン41b,41cのうちの少
なくとも一方を回路基板11の内層に形成する。これに
より、回路基板11の体積を有効に利用できると共に、
モジュールの小型化を図れる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、回路パターンが形
成された回路基板に、積層コンデンサや積層インダクタ
などのチップ部品や半導体部品を搭載して回路を構成し
たハイブリッドモジュールに関し、特に回路基板上に電
界効果型トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有す
る回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関する
ものである。
成された回路基板に、積層コンデンサや積層インダクタ
などのチップ部品や半導体部品を搭載して回路を構成し
たハイブリッドモジュールに関し、特に回路基板上に電
界効果型トランジスタやパワー半導体等の発熱性を有す
る回路部品を搭載したハイブリッドモジュールに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来、回路基板上に電界効果型トランジ
スタやパワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載
したハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、図2に示すように、回路基板21に
放熱フィン22を設け、回路基板21上に搭載された発
熱性を有する回路部品23を、板バネ状の熱伝導部材2
4を介して放熱フィン22と接続したものである。この
ハイブリッドモジュール20では、回路部品23で発生
した熱が、放熱フィン22を介して大気中に放出され
る。
スタやパワー半導体等の発熱性を有する回路部品を搭載
したハイブリッドモジュールでは、回路部品から放熱を
図るため、特殊な放熱手段を設けたものがある。例え
ば、特開平5−13627号公報に示されたハイブリッ
ドモジュールでは、図2に示すように、回路基板21に
放熱フィン22を設け、回路基板21上に搭載された発
熱性を有する回路部品23を、板バネ状の熱伝導部材2
4を介して放熱フィン22と接続したものである。この
ハイブリッドモジュール20では、回路部品23で発生
した熱が、放熱フィン22を介して大気中に放出され
る。
【0003】また、回路基板上に発熱性を有する回路部
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図3に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュール20’では、回路基板25として窒化アルミニ
ウム系のセラミックが使用され、この回路基板25上の
ランド電極26上にチップ状電子部品27が実装される
と共に、ランド電極26上に半田バンプ28を介して発
熱性を有する半導体素子等の回路部品29が搭載されて
いる。
品を搭載したハイブリッドモジュールの他の従来例とし
て、図3に示すようなものもある。このハイブリッドモ
ジュール20’では、回路基板25として窒化アルミニ
ウム系のセラミックが使用され、この回路基板25上の
ランド電極26上にチップ状電子部品27が実装される
と共に、ランド電極26上に半田バンプ28を介して発
熱性を有する半導体素子等の回路部品29が搭載されて
いる。
【0004】また、回路基板25は親回路基板30上に
搭載されると共に、回路基板25の端子電極25aが、
親回路基板30上に形成されたランド電極31に半田で
接続されている。
搭載されると共に、回路基板25の端子電極25aが、
親回路基板30上に形成されたランド電極31に半田で
接続されている。
【0005】さらに、回路基板25と親回路基板30と
の対向した面は、親回路基板30の上に形成された熱伝
導性の良好な導体膜32を介して接合されている。
の対向した面は、親回路基板30の上に形成された熱伝
導性の良好な導体膜32を介して接合されている。
【0006】窒化アルミニウム系セラミックは、熱伝導
性が良い絶縁材料として注目されている。前述したハイ
ブリッドモジュールでは、回路基板25上に搭載された
回路部品29から発生する熱が、窒化アルミニウム系セ
ラミックからなる熱伝導性良好な回路基板25と導体膜
32を介して親回路基板30へと伝導され、放熱され
る。
性が良い絶縁材料として注目されている。前述したハイ
ブリッドモジュールでは、回路基板25上に搭載された
回路部品29から発生する熱が、窒化アルミニウム系セ
ラミックからなる熱伝導性良好な回路基板25と導体膜
32を介して親回路基板30へと伝導され、放熱され
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来例における前者のハイブリッドモジュール20
は、放熱フィン22を介して回路部品23で発生した熱
を大気中に放出するものであり、放熱効率を高めるため
には、必然的に放熱フィン22の表面積を広げることが
必要となる。このため、ハイブリッドモジュール20に
おいて放熱フィン22の占める容積が大きくなり、小型
化し難くなるという問題点があった。
た従来例における前者のハイブリッドモジュール20
は、放熱フィン22を介して回路部品23で発生した熱
を大気中に放出するものであり、放熱効率を高めるため
には、必然的に放熱フィン22の表面積を広げることが
必要となる。このため、ハイブリッドモジュール20に
おいて放熱フィン22の占める容積が大きくなり、小型
化し難くなるという問題点があった。
【0008】また、前述した従来例における後者のハイ
ブリッドモジュール20’では、回路部品29で発生し
た熱が回路基板25を介して親回路基板30へと放熱さ
れるため、放熱フィンは不要であり、回路基板25が放
熱手段を兼ねるため、容積の増大はないが、窒化アルミ
ニウム系セラミックは、熱伝導性が良いものの、現在で
はアルミナ等の一般的な基板材料に比べて極めて高価で
あり、材料のコスト高を招くという問題点があった。
ブリッドモジュール20’では、回路部品29で発生し
た熱が回路基板25を介して親回路基板30へと放熱さ
れるため、放熱フィンは不要であり、回路基板25が放
熱手段を兼ねるため、容積の増大はないが、窒化アルミ
ニウム系セラミックは、熱伝導性が良いものの、現在で
はアルミナ等の一般的な基板材料に比べて極めて高価で
あり、材料のコスト高を招くという問題点があった。
【0009】本発明の目的は上記の問題点に鑑み、小型
で且つ放熱性の良好なハイブリッドモジュールを提供す
ることにある。
で且つ放熱性の良好なハイブリッドモジュールを提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために請求項1では、回路基板と、該回路基板上
に実装された発熱性を有する回路部品と、前記回路基板
に形成されたストリップラインとを備え、親回路基板上
に実装して使用されるハイブリッドモジュールにおい
て、前記回路基板は多層基板であり且つ前記親回路基板
と対向する主面に形成された凹部を有すると共に、前記
回路部品は前記回路基板の凹部内に実装され、少なくと
も1つのストリップラインは、少なくとも一方のグラン
ドラインが前記回路基板の内層に形成されたトリプレー
ト型ストリップラインからなり、前記回路部品から前記
親回路基板に熱伝導されるハイブリッドモジュールを提
案する。
成するために請求項1では、回路基板と、該回路基板上
に実装された発熱性を有する回路部品と、前記回路基板
に形成されたストリップラインとを備え、親回路基板上
に実装して使用されるハイブリッドモジュールにおい
て、前記回路基板は多層基板であり且つ前記親回路基板
と対向する主面に形成された凹部を有すると共に、前記
回路部品は前記回路基板の凹部内に実装され、少なくと
も1つのストリップラインは、少なくとも一方のグラン
ドラインが前記回路基板の内層に形成されたトリプレー
ト型ストリップラインからなり、前記回路部品から前記
親回路基板に熱伝導されるハイブリッドモジュールを提
案する。
【0011】該ハイブリッドモジュールによれば、回路
基板が多層基板によって構成され、該回路基板には、親
回路基板に実装する際に親回路基板に対向する主面に凹
部が形成され、該凹部内に回路部品が実装される。これ
により、前記回路基板を親回路基板に実装したときに、
前記回路部品は親回路基板に直接或いは放熱部材を介し
て当接され、前記回路部品からの発熱は親回路基板に熱
伝導されて放熱されるので、小型にして効率よく放熱を
行うことができる。さらに、少なくとも1つのストリッ
プラインは、信号ラインを挟む2つのグランドラインの
うちの少なくとも一方が回路基板の内層に形成されたト
リプレート型に構成されているため、回路基板の体積を
有効に利用できると共に、モジュールの小型化を図れ
る。
基板が多層基板によって構成され、該回路基板には、親
回路基板に実装する際に親回路基板に対向する主面に凹
部が形成され、該凹部内に回路部品が実装される。これ
により、前記回路基板を親回路基板に実装したときに、
前記回路部品は親回路基板に直接或いは放熱部材を介し
て当接され、前記回路部品からの発熱は親回路基板に熱
伝導されて放熱されるので、小型にして効率よく放熱を
行うことができる。さらに、少なくとも1つのストリッ
プラインは、信号ラインを挟む2つのグランドラインの
うちの少なくとも一方が回路基板の内層に形成されたト
リプレート型に構成されているため、回路基板の体積を
有効に利用できると共に、モジュールの小型化を図れ
る。
【0012】また、請求項2では、回路基板と、該回路
基板上に実装された発熱性を有する回路部品とを備え、
親回路基板上に実装して使用されるハイブリッドモジュ
ールにおいて、前記回路基板は前記親回路基板と対向す
る主面に形成された凹部を有し、該凹部内に前記回路部
品が実装され、前記回路部品から前記親回路基板に熱伝
導されると共に、前記回路基板には、前記主面以外の所
定の面に形成された測定用端子電極と、一端が前記測定
用端子電極に接続され且つ他端が前記回路部品の所定端
子に接続された測定用接続導体とが設けられているハイ
ブリッドモジュールを提案する。
基板上に実装された発熱性を有する回路部品とを備え、
親回路基板上に実装して使用されるハイブリッドモジュ
ールにおいて、前記回路基板は前記親回路基板と対向す
る主面に形成された凹部を有し、該凹部内に前記回路部
品が実装され、前記回路部品から前記親回路基板に熱伝
導されると共に、前記回路基板には、前記主面以外の所
定の面に形成された測定用端子電極と、一端が前記測定
用端子電極に接続され且つ他端が前記回路部品の所定端
子に接続された測定用接続導体とが設けられているハイ
ブリッドモジュールを提案する。
【0013】該ハイブリッドモジュールによれば、回路
基板には、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部が形成され、該凹部内に回路部品が実装
される。これにより、前記回路基板を親回路基板に実装
したときに、前記回路部品は親回路基板に直接或いは放
熱部材を介して当接され、前記回路部品からの発熱は親
回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、前記回路基板
には、測定用接続導体によって前記回路部品の所定端子
に接続された測定用端子電極が前記主面以外の所定の面
に形成されているため、前記凹部内に回路部品を実装し
た後にも前記測定用端子電極を用いて回路部品の評価を
容易に行うことができる。
基板には、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部が形成され、該凹部内に回路部品が実装
される。これにより、前記回路基板を親回路基板に実装
したときに、前記回路部品は親回路基板に直接或いは放
熱部材を介して当接され、前記回路部品からの発熱は親
回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、前記回路基板
には、測定用接続導体によって前記回路部品の所定端子
に接続された測定用端子電極が前記主面以外の所定の面
に形成されているため、前記凹部内に回路部品を実装し
た後にも前記測定用端子電極を用いて回路部品の評価を
容易に行うことができる。
【0014】また、請求項3では、回路基板と、該回路
基板上に実装された発熱性を有する回路部品とを備え、
親回路基板上に実装して使用されるハイブリッドモジュ
ールにおいて、前記回路基板は前記親回路基板と対向す
る主面に形成された凹部を有し、該凹部内に前記回路部
品が実装され、前記回路部品から前記親回路基板に熱伝
導されると共に、前記凹部内の回路部品実装面は、前記
回路部品の端子と接続されるランドを有すると共に、該
回路部品実装面上のランド以外の部分はランドと絶縁さ
れたグランド導体パターンによって覆われているハイブ
リッドモジュールを提案する。
基板上に実装された発熱性を有する回路部品とを備え、
親回路基板上に実装して使用されるハイブリッドモジュ
ールにおいて、前記回路基板は前記親回路基板と対向す
る主面に形成された凹部を有し、該凹部内に前記回路部
品が実装され、前記回路部品から前記親回路基板に熱伝
導されると共に、前記凹部内の回路部品実装面は、前記
回路部品の端子と接続されるランドを有すると共に、該
回路部品実装面上のランド以外の部分はランドと絶縁さ
れたグランド導体パターンによって覆われているハイブ
リッドモジュールを提案する。
【0015】該ハイブリッドモジュールによれば、回路
基板には、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部が形成され、該凹部内に回路部品が実装
される。これにより、前記回路基板を親回路基板に実装
したときに、前記回路部品は親回路基板に直接或いは放
熱部材を介して当接され、前記回路部品からの発熱は親
回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、前記凹部内の
回路部品実装面は、前記回路部品の端子と接続されたラ
ンド以外の部分が、ランドと絶縁されたグランド導体パ
ターンによって覆われているため、前記回路基板上に実
装された他のチップ部品や回路パターンと前記親回路基
板との間のアイソレーションが向上し、良好な特性を有
すると共にバラツキの無いモジュールが得られる。
基板には、親回路基板に実装する際に親回路基板に対向
する主面に凹部が形成され、該凹部内に回路部品が実装
される。これにより、前記回路基板を親回路基板に実装
したときに、前記回路部品は親回路基板に直接或いは放
熱部材を介して当接され、前記回路部品からの発熱は親
回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型にして効
率よく放熱を行うことができる。さらに、前記凹部内の
回路部品実装面は、前記回路部品の端子と接続されたラ
ンド以外の部分が、ランドと絶縁されたグランド導体パ
ターンによって覆われているため、前記回路基板上に実
装された他のチップ部品や回路パターンと前記親回路基
板との間のアイソレーションが向上し、良好な特性を有
すると共にバラツキの無いモジュールが得られる。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の一
実施形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態
の高周波電力増幅用のハイブリッドモジュールを示す側
面断面図である。図において、10はハイブリッドモジ
ュールで、回路パターンが形成された回路基板11に複
数のチップ状電子部品12と発熱性を有する半導体素子
等の回路部品13が搭載されて構成されている。
実施形態を説明する。図1は、本発明の第1の実施形態
の高周波電力増幅用のハイブリッドモジュールを示す側
面断面図である。図において、10はハイブリッドモジ
ュールで、回路パターンが形成された回路基板11に複
数のチップ状電子部品12と発熱性を有する半導体素子
等の回路部品13が搭載されて構成されている。
【0017】回路基板11は、直方体形状のアルミナを
主体としたセラミック多層基板からなり、その底面、即
ち親回路基板30への実装時に親回路基板に対向する主
面11aには、発熱性の回路部品13を搭載するための
凹部14が形成されている。
主体としたセラミック多層基板からなり、その底面、即
ち親回路基板30への実装時に親回路基板に対向する主
面11aには、発熱性の回路部品13を搭載するための
凹部14が形成されている。
【0018】凹部14は、2段階に形成され、主面11
a側に第1の凹部14Aが形成され、さらに第1の凹部
14A内にやや小さい第2の凹部14Bが形成されてい
る。
a側に第1の凹部14Aが形成され、さらに第1の凹部
14A内にやや小さい第2の凹部14Bが形成されてい
る。
【0019】第2の凹部14Bは、その中に実装される
回路部品13の形状に合わせて、その縦横厚み寸法より
やや大きく形成される。さらに、この第2の凹部14B
の底面には、前記回路部品13の端子電極を接続するラ
ンド電極15が形成されている。
回路部品13の形状に合わせて、その縦横厚み寸法より
やや大きく形成される。さらに、この第2の凹部14B
の底面には、前記回路部品13の端子電極を接続するラ
ンド電極15が形成されている。
【0020】第2の凹部14Bの中には発熱性を有する
半導体素子,FET等の回路部品13が収納されると共
に、回路部品13の端子電極は凹部14Bの底面に形成
されたランド電極15に接続され、隣り合うランド電極
15間には絶縁性の封止樹脂が充填されている。この状
態で、回路部品13の裏面は、第1の凹部14Aの底面
とほぼ同じ面となる。
半導体素子,FET等の回路部品13が収納されると共
に、回路部品13の端子電極は凹部14Bの底面に形成
されたランド電極15に接続され、隣り合うランド電極
15間には絶縁性の封止樹脂が充填されている。この状
態で、回路部品13の裏面は、第1の凹部14Aの底面
とほぼ同じ面となる。
【0021】ここで、回路部品13の端子電極とランド
電極15との接続は、半田付けしても良いし、導電性樹
脂用いた接続、異方導電性樹脂(ACF)用いた接続、
或いはランド電極15上に金(Au)を用いたボールバ
ンプを形成し超音波併用熱圧着する等して行う。
電極15との接続は、半田付けしても良いし、導電性樹
脂用いた接続、異方導電性樹脂(ACF)用いた接続、
或いはランド電極15上に金(Au)を用いたボールバ
ンプを形成し超音波併用熱圧着する等して行う。
【0022】上記導電性樹脂を用いた接続では、安価で
あり、導電性樹脂によって応力を吸収できるため高信頼
性が得られるという効果がある。さらに、異方導電性樹
脂を用いれば、ランド電極15間を絶縁する封止樹脂が
不要となり、コストの低減を図ることができる。
あり、導電性樹脂によって応力を吸収できるため高信頼
性が得られるという効果がある。さらに、異方導電性樹
脂を用いれば、ランド電極15間を絶縁する封止樹脂が
不要となり、コストの低減を図ることができる。
【0023】また、上記ランド電極15上にボールバン
プを形成し超音波併用熱圧着する方法によれば、ドライ
プロセスであるためメッキ液による回路部品13へのダ
メージが少なく、設備コストを低減できると共に、回路
基板11への回路部品13の実装作業時間を短縮でき、
実装コストを低減できる。さらに、Au-Au接合なので接
触抵抗が少なく高信頼性を得られる。
プを形成し超音波併用熱圧着する方法によれば、ドライ
プロセスであるためメッキ液による回路部品13へのダ
メージが少なく、設備コストを低減できると共に、回路
基板11への回路部品13の実装作業時間を短縮でき、
実装コストを低減できる。さらに、Au-Au接合なので接
触抵抗が少なく高信頼性を得られる。
【0024】また、上記半田を用いた方法では、セルフ
アラインメントにより位置補正されるため、実装精度を
必要としない、また、実装時に低荷重で実装できるため
回路部品13へのダメージが少なく、さらに、半田バン
プにより応力吸収できるため高信頼性を得られる。
アラインメントにより位置補正されるため、実装精度を
必要としない、また、実装時に低荷重で実装できるため
回路部品13へのダメージが少なく、さらに、半田バン
プにより応力吸収できるため高信頼性を得られる。
【0025】一方、第1の凹部14A内には、第1の凹
部14Aに嵌合する大きさの放熱板16が装着され、放
熱板16と第1の凹部14Aの底側面及び回路部品13
の裏面との間は熱伝導性樹脂17によって接着され、凹
部14は放熱板16によって封止されている。この状態
で、放熱板16の表面は回路基板11の主面11aとほ
ぼ同じ面となる。
部14Aに嵌合する大きさの放熱板16が装着され、放
熱板16と第1の凹部14Aの底側面及び回路部品13
の裏面との間は熱伝導性樹脂17によって接着され、凹
部14は放熱板16によって封止されている。この状態
で、放熱板16の表面は回路基板11の主面11aとほ
ぼ同じ面となる。
【0026】また、回路基板11の主面11aと対向す
る面、即ち図示における回路基板11の上面にはランド
電極15が形成され、このランド電極15にチップ状電
子部品12が半田付けされ、これらのチップ状電子部品
12は、回路基板11の上面に嵌合する金属ケース18
によって覆われている。さらに、回路基板11の側面に
は回路パターンに接続された複数の端子電極19が形成
されている。
る面、即ち図示における回路基板11の上面にはランド
電極15が形成され、このランド電極15にチップ状電
子部品12が半田付けされ、これらのチップ状電子部品
12は、回路基板11の上面に嵌合する金属ケース18
によって覆われている。さらに、回路基板11の側面に
は回路パターンに接続された複数の端子電極19が形成
されている。
【0027】一方、前述したように、回路基板11は多
層構造になっており、その内部に回路パターンが形成さ
れ、各ランド電極15はこの回路パターンに接続され、
さらに、回路部品13への信号供給線路及び回路部品1
3からの信号出力線路はトリプレート型ストリップライ
ン41から構成され、このストリップライン41の信号
ライン41aと、この信号ライン41aを挟む2つのグ
ランドライン41b,41cの一方のグランドライン4
1bは、回路基板11の内層に形成されている。これに
より、回路基板の体積を有効に利用して、モジュールの
小型化を図っている。
層構造になっており、その内部に回路パターンが形成さ
れ、各ランド電極15はこの回路パターンに接続され、
さらに、回路部品13への信号供給線路及び回路部品1
3からの信号出力線路はトリプレート型ストリップライ
ン41から構成され、このストリップライン41の信号
ライン41aと、この信号ライン41aを挟む2つのグ
ランドライン41b,41cの一方のグランドライン4
1bは、回路基板11の内層に形成されている。これに
より、回路基板の体積を有効に利用して、モジュールの
小型化を図っている。
【0028】前述の構成よりなるハイブリッドモジュー
ル10を親回路基板に実装するときは、図4に示すよう
に、回路基板11の回路部品13が搭載された凹部14
側を下側に向け、主面11aを親回路基板30に対向さ
せて実装し、回路基板11の側面の端子電極19を親回
路基板30のランド電極31に半田付けする。
ル10を親回路基板に実装するときは、図4に示すよう
に、回路基板11の回路部品13が搭載された凹部14
側を下側に向け、主面11aを親回路基板30に対向さ
せて実装し、回路基板11の側面の端子電極19を親回
路基板30のランド電極31に半田付けする。
【0029】この親回路基板30の表面において、ハイ
ブリッドモジュール10の放熱板16と対向する位置に
は、ランド電極31と共に、熱伝導性の導体膜32(例
えばグランドパターン等)が予め形成されており、回路
基板11の端子電極19がランド電極31に半田付けさ
れるのと同時に、この導体膜32に放熱板16の表面が
半田付けされる。
ブリッドモジュール10の放熱板16と対向する位置に
は、ランド電極31と共に、熱伝導性の導体膜32(例
えばグランドパターン等)が予め形成されており、回路
基板11の端子電極19がランド電極31に半田付けさ
れるのと同時に、この導体膜32に放熱板16の表面が
半田付けされる。
【0030】尚、放熱板16と導体膜32とは半田付け
でなくても、単に当接させるのみ、或いは熱伝導性樹脂
を介して当接させても良いし、導体膜32を介すること
なく放熱板16を直接親回路基板30の表面に当接して
も良い。
でなくても、単に当接させるのみ、或いは熱伝導性樹脂
を介して当接させても良いし、導体膜32を介すること
なく放熱板16を直接親回路基板30の表面に当接して
も良い。
【0031】このハイブリッドモジュールでは、発熱性
を有する半導体素子等の回路部品13から生じる熱が放
熱板16、熱伝導性樹脂17及び導体膜32を介して親
回路基板30に伝導され、或いはグランド等の広い導体
膜に伝導されて放熱される。
を有する半導体素子等の回路部品13から生じる熱が放
熱板16、熱伝導性樹脂17及び導体膜32を介して親
回路基板30に伝導され、或いはグランド等の広い導体
膜に伝導されて放熱される。
【0032】従って、小型にして効率よく放熱を行うこ
とができるハイブリッドモジュールを安価にて製造する
ことができる。
とができるハイブリッドモジュールを安価にて製造する
ことができる。
【0033】さらに、ストリップライン41は、信号ラ
イン41aを挟む2つのグランドライン41b,41c
のうちの少なくとも一方が回路基板11の内層に形成さ
れたトリプレート型に構成されているため、回路基板1
1の体積を有効に利用できると共に、モジュールの小型
化を図ることができる。
イン41aを挟む2つのグランドライン41b,41c
のうちの少なくとも一方が回路基板11の内層に形成さ
れたトリプレート型に構成されているため、回路基板1
1の体積を有効に利用できると共に、モジュールの小型
化を図ることができる。
【0034】次に、本発明の第2の実施形態を説明す
る。
る。
【0035】図5は、第2の実施形態のハイブリッドモ
ジュール50を示す側面断面図である。図において、前
述した第1の実施形態と同一構成部分は同一符号をもっ
て表しその説明を省略する。
ジュール50を示す側面断面図である。図において、前
述した第1の実施形態と同一構成部分は同一符号をもっ
て表しその説明を省略する。
【0036】また、第1の実施形態と第2の実施形態と
の相違点は、回路基板11の上面に測定用端子電極51
を設けると共に、測定用接続導体52を介して測定用端
子電極51と回路部品13の所定の端子電極とを接続し
たことにある。
の相違点は、回路基板11の上面に測定用端子電極51
を設けると共に、測定用接続導体52を介して測定用端
子電極51と回路部品13の所定の端子電極とを接続し
たことにある。
【0037】即ち、測定用接続導体52は、例えば、回
路基板11の所定の内層に形成されたスルーホール53
の充填導体によって形成され、測定用接続導体52の一
端が回路部品13の端子電極に、また他端が測定用端子
電極51にそれぞれ接続されている。
路基板11の所定の内層に形成されたスルーホール53
の充填導体によって形成され、測定用接続導体52の一
端が回路部品13の端子電極に、また他端が測定用端子
電極51にそれぞれ接続されている。
【0038】前述の構成よりなるハイブリッドモジュー
ル50によれば、第1の実施形態の効果に加えて、凹部
14内に回路部品13を実装した後にも測定用端子電極
51を用いて回路部品13の評価を容易に行うことがで
きるという効果を奏する。
ル50によれば、第1の実施形態の効果に加えて、凹部
14内に回路部品13を実装した後にも測定用端子電極
51を用いて回路部品13の評価を容易に行うことがで
きるという効果を奏する。
【0039】尚、第2の実施形態では測定用接続導体5
2を複数のスルーホール53のみによって構成したが、
図6に示すように、スルーホール53と内層導体パター
ン54を組み合わせて構成しても良い。また、回路基板
11に回路部品13を実装し、測定用端子電極51を用
いて回路部品13の動作試験を行った後にチップ状電子
部品12を実装するならば、測定用端子電極51とチッ
プ状電子部品12用のランド電極15を併用しても良
い。
2を複数のスルーホール53のみによって構成したが、
図6に示すように、スルーホール53と内層導体パター
ン54を組み合わせて構成しても良い。また、回路基板
11に回路部品13を実装し、測定用端子電極51を用
いて回路部品13の動作試験を行った後にチップ状電子
部品12を実装するならば、測定用端子電極51とチッ
プ状電子部品12用のランド電極15を併用しても良
い。
【0040】次に、本発明の第3の実施形態を説明す
る。
る。
【0041】図7は、第3の実施形態のハイブリッドモ
ジュール60を示す側面断面図である。図において、前
述した第2の実施形態と同一構成部分は同一符号をもっ
て表しその説明を省略する。
ジュール60を示す側面断面図である。図において、前
述した第2の実施形態と同一構成部分は同一符号をもっ
て表しその説明を省略する。
【0042】また、第2の実施形態と第3の実施形態と
の相違点は、第2の凹部14Bの底面のランド電極15
以外の部分に、ランド電極15に対して絶縁されたグラ
ンド導体パターン61を形成したことにある。
の相違点は、第2の凹部14Bの底面のランド電極15
以外の部分に、ランド電極15に対して絶縁されたグラ
ンド導体パターン61を形成したことにある。
【0043】即ち、回路基板11の主面11aに形成さ
れている第2の凹部14Bの底面には、回路部品13の
端子電極を接続するランド電極15が形成されると共
に、第2の凹部14Bの底面を含む内層面にはランド電
極15及び他の信号伝達用回路パターン以外の部分にこ
れらと絶縁されたグランド導体パターン61が形成され
ている。これにより、回路基板11上に実装された他の
チップ状電子部品12や回路パターンと親回路基板30
との間のアイソレーションが向上し、良好な特性を有す
るバラツキの無いモジュールが得られる。
れている第2の凹部14Bの底面には、回路部品13の
端子電極を接続するランド電極15が形成されると共
に、第2の凹部14Bの底面を含む内層面にはランド電
極15及び他の信号伝達用回路パターン以外の部分にこ
れらと絶縁されたグランド導体パターン61が形成され
ている。これにより、回路基板11上に実装された他の
チップ状電子部品12や回路パターンと親回路基板30
との間のアイソレーションが向上し、良好な特性を有す
るバラツキの無いモジュールが得られる。
【0044】さらに、親回路基板30の表面において、
ハイブリッドモジュール60の放熱板16と対向して設
けられた熱伝導性の導体膜32をグランド導体パターン
によって構成すれば、回路部品13に対するシールド効
果をより高めることができる。
ハイブリッドモジュール60の放熱板16と対向して設
けられた熱伝導性の導体膜32をグランド導体パターン
によって構成すれば、回路部品13に対するシールド効
果をより高めることができる。
【0045】尚、前述した第1乃至第3の実施形態にお
いては、放熱板16を介して回路部品13からの発熱を
親回路基板30に熱伝導するようにしたが、図8に示す
ハイブリッドモジュール70のように放熱板16を設け
ず、回路部品13の裏面を導体膜32に直接当接或いは
半田付け等するようにしても良い。
いては、放熱板16を介して回路部品13からの発熱を
親回路基板30に熱伝導するようにしたが、図8に示す
ハイブリッドモジュール70のように放熱板16を設け
ず、回路部品13の裏面を導体膜32に直接当接或いは
半田付け等するようにしても良い。
【0046】また、高周波電力増幅用の回路部品13と
しては、GaAsMES型FET、GaAsPHEMT
型FET、或いはInP系FETを用いることが望まし
い。
しては、GaAsMES型FET、GaAsPHEMT
型FET、或いはInP系FETを用いることが望まし
い。
【0047】即ち、回路部品13としてGaAsMES
型FETを用いた場合、素子内部での電子の移動が早い
ため素子からの発熱が少ない、GaAsの線膨張係数が
6ppm/℃とシリコン(Si)よりも大きく、回路基
板11、放熱板16、及び熱伝導性樹脂17等の線膨張
係数と近くなるため、温度変化によって発生する応力が
小さくなり高信頼性を得られる。
型FETを用いた場合、素子内部での電子の移動が早い
ため素子からの発熱が少ない、GaAsの線膨張係数が
6ppm/℃とシリコン(Si)よりも大きく、回路基
板11、放熱板16、及び熱伝導性樹脂17等の線膨張
係数と近くなるため、温度変化によって発生する応力が
小さくなり高信頼性を得られる。
【0048】また、回路部品13としてGaAsPHE
MT型FETを用いた場合には、素子内部での電子の移
動速度がMES型FETよりも速いため、素子からの発
熱をさらに小さくできると共に、同様に線膨張係数がシ
リコン(Si)よりも大きく、回路基板11、放熱板1
6、及び熱伝導性樹脂17等の線膨張係数と近くなるた
め、温度変化によって発生する応力が小さくなり高信頼
性を得られる。
MT型FETを用いた場合には、素子内部での電子の移
動速度がMES型FETよりも速いため、素子からの発
熱をさらに小さくできると共に、同様に線膨張係数がシ
リコン(Si)よりも大きく、回路基板11、放熱板1
6、及び熱伝導性樹脂17等の線膨張係数と近くなるた
め、温度変化によって発生する応力が小さくなり高信頼
性を得られる。
【0049】さらに、回路部品13としてInP系FE
Tを用いた場合には、素子内部での電子の移動速度がG
aAsよりも速いため、素子からの発熱をさらに小さく
できると共に、線膨張係数が5ppm/℃とシリコン
(Si)よりも大きく、回路基板11、放熱板16、及
び熱伝導性樹脂17等の線膨張係数と近くなるため、温
度変化によって発生する応力が小さくなり高信頼性を得
られる。
Tを用いた場合には、素子内部での電子の移動速度がG
aAsよりも速いため、素子からの発熱をさらに小さく
できると共に、線膨張係数が5ppm/℃とシリコン
(Si)よりも大きく、回路基板11、放熱板16、及
び熱伝導性樹脂17等の線膨張係数と近くなるため、温
度変化によって発生する応力が小さくなり高信頼性を得
られる。
【0050】また、上記回路部品13の端子電極間の絶
縁(パシベーション)にSiN又はSiO2 或いはこれ
らの複合膜を用いることが好ましい。これらを用いるこ
とにより、上記封止樹脂の防湿性が不十分であっても素
子の特性を劣化させることが無く、封止樹脂にボイドが
生じて水分の進入があっても素子の信頼性を劣化させな
い。さらに、上記封止樹脂の残留イオンが多くても素子
の信頼性が劣化しないため、安価な封止樹脂を用いるこ
とができる。
縁(パシベーション)にSiN又はSiO2 或いはこれ
らの複合膜を用いることが好ましい。これらを用いるこ
とにより、上記封止樹脂の防湿性が不十分であっても素
子の特性を劣化させることが無く、封止樹脂にボイドが
生じて水分の進入があっても素子の信頼性を劣化させな
い。さらに、上記封止樹脂の残留イオンが多くても素子
の信頼性が劣化しないため、安価な封止樹脂を用いるこ
とができる。
【0051】また、上記実施形態では、発熱性の回路部
品13を1個実装したモジュールを構成したが、複数の
発熱性回路部品を実装したモジュールであっても良く、
この場合のも同様の効果を得ることができる。
品13を1個実装したモジュールを構成したが、複数の
発熱性回路部品を実装したモジュールであっても良く、
この場合のも同様の効果を得ることができる。
【0052】ここで、複数の発熱性FETを用いる場合
には、これら複数のFETを1つのGaAs上に形成し
た回路部品13を用いることが好ましい。これにより、
複数のFETを個別に実装するよりも実装エリアを縮小
できると共に、一度の実装作業で済むため実装コストを
低減することができる。さらに、複数のFETを個別に
実装した場合に比べて、放熱板16或いは親回路基板3
0と容易に接触させることができ、放熱性を安定化させ
ることができる。
には、これら複数のFETを1つのGaAs上に形成し
た回路部品13を用いることが好ましい。これにより、
複数のFETを個別に実装するよりも実装エリアを縮小
できると共に、一度の実装作業で済むため実装コストを
低減することができる。さらに、複数のFETを個別に
実装した場合に比べて、放熱板16或いは親回路基板3
0と容易に接触させることができ、放熱性を安定化させ
ることができる。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項1記
載のハイブリッドモジュールによれば、親回路基板に対
向する主面に形成された凹部内に回路部品が実装され、
前記回路基板を親回路基板に実装したときに、前記回路
部品は親回路基板に直接或いは放熱部材を介して当接さ
れ、前記回路部品からの発熱は親回路基板に熱伝導され
て放熱されるので、小型にして効率よく放熱を行うこと
ができる。さらに、少なくとも1つのストリップライン
は、信号ラインを挟む2つのグランドラインのうちの少
なくとも一方が回路基板の内層に形成されたトリプレー
ト型に構成されているため、回路基板の体積を有効に利
用できると共に、モジュールの小型化を図ることができ
る。
載のハイブリッドモジュールによれば、親回路基板に対
向する主面に形成された凹部内に回路部品が実装され、
前記回路基板を親回路基板に実装したときに、前記回路
部品は親回路基板に直接或いは放熱部材を介して当接さ
れ、前記回路部品からの発熱は親回路基板に熱伝導され
て放熱されるので、小型にして効率よく放熱を行うこと
ができる。さらに、少なくとも1つのストリップライン
は、信号ラインを挟む2つのグランドラインのうちの少
なくとも一方が回路基板の内層に形成されたトリプレー
ト型に構成されているため、回路基板の体積を有効に利
用できると共に、モジュールの小型化を図ることができ
る。
【0054】また、請求項2記載のハイブリッドモジュ
ールによれば、親回路基板に対向する主面に形成された
凹部内に回路部品が実装され、前記回路基板を親回路基
板に実装したときに、前記回路部品は親回路基板に直接
或いは放熱部材を介して当接され、前記回路部品からの
発熱は親回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型
にして効率よく放熱を行うことができる。さらに、前記
回路基板には、測定用接続導体によって前記回路部品の
所定端子に接続された測定用端子電極が前記主面以外の
所定の面に形成されているため、前記凹部内に回路部品
を実装した後にも前記測定用端子電極を用いて回路部品
の評価を容易に行うことができる。
ールによれば、親回路基板に対向する主面に形成された
凹部内に回路部品が実装され、前記回路基板を親回路基
板に実装したときに、前記回路部品は親回路基板に直接
或いは放熱部材を介して当接され、前記回路部品からの
発熱は親回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型
にして効率よく放熱を行うことができる。さらに、前記
回路基板には、測定用接続導体によって前記回路部品の
所定端子に接続された測定用端子電極が前記主面以外の
所定の面に形成されているため、前記凹部内に回路部品
を実装した後にも前記測定用端子電極を用いて回路部品
の評価を容易に行うことができる。
【0055】また、請求項3記載のハイブリッドモジュ
ールによれば、親回路基板に対向する主面に形成された
凹部内に回路部品が実装され、前記回路基板を親回路基
板に実装したときに、前記回路部品は親回路基板に直接
或いは放熱部材を介して当接され、前記回路部品からの
発熱は親回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型
にして効率よく放熱を行うことができる。さらに、前記
凹部内の回路部品実装面は、前記回路部品の端子と接続
されたランド以外の部分が、ランドと絶縁されたグラン
ド導体パターンによって覆われているため、前記回路基
板上に実装された他のチップ部品や回路パターンと前記
親回路基板との間のアイソレーションが向上し、良好な
特性を有すると共にバラツキの無いモジュールが得られ
る。
ールによれば、親回路基板に対向する主面に形成された
凹部内に回路部品が実装され、前記回路基板を親回路基
板に実装したときに、前記回路部品は親回路基板に直接
或いは放熱部材を介して当接され、前記回路部品からの
発熱は親回路基板に熱伝導されて放熱されるので、小型
にして効率よく放熱を行うことができる。さらに、前記
凹部内の回路部品実装面は、前記回路部品の端子と接続
されたランド以外の部分が、ランドと絶縁されたグラン
ド導体パターンによって覆われているため、前記回路基
板上に実装された他のチップ部品や回路パターンと前記
親回路基板との間のアイソレーションが向上し、良好な
特性を有すると共にバラツキの無いモジュールが得られ
る。
【図1】本発明の第1の実施形態のハイブリッドモジュ
ールを示す側面断面図
ールを示す側面断面図
【図2】従来例のハイブリッドモジュールを示す側面断
面図
面図
【図3】従来例の他のハイブリッドモジュールを示す側
面断面図
面断面図
【図4】本発明の第1の実施形態のハイブリッドモジュ
ールの親回路基板搭載例を示す図
ールの親回路基板搭載例を示す図
【図5】本発明の第2の実施形態のハイブリッドモジュ
ールを示す側面断面図
ールを示す側面断面図
【図6】本発明の第2の実施形態における測定用接続導
体の他の構成例を説明する図
体の他の構成例を説明する図
【図7】本発明の第3施形態のハイブリッドモジュール
を示す側面断面図
を示す側面断面図
【図8】本発明のハイブリッドモジュールの他の実施形
態を示す側面断面図
態を示す側面断面図
10,50,60,70…ハイブリッドモジュール、1
1…回路基板、11a…主面、12…チップ状電子部
品、13…発熱性の回路部品、14…凹部、14A…第
1の凹部、14B…第2の凹部、15…ランド電極、1
6…放熱板、17…熱伝導性樹脂、18…金属ケース、
19…端子電極、30…親回路基板、31…ランド電
極、32…熱伝導性の導体膜、41…トリプレート型ス
トリップライン、41a…信号ライン、42b,42c
…グランドライン、51…測定用端子電極、52…測定
用接続導体、53…スルーホール、61…グランド導体
パターン。
1…回路基板、11a…主面、12…チップ状電子部
品、13…発熱性の回路部品、14…凹部、14A…第
1の凹部、14B…第2の凹部、15…ランド電極、1
6…放熱板、17…熱伝導性樹脂、18…金属ケース、
19…端子電極、30…親回路基板、31…ランド電
極、32…熱伝導性の導体膜、41…トリプレート型ス
トリップライン、41a…信号ライン、42b,42c
…グランドライン、51…測定用端子電極、52…測定
用接続導体、53…スルーホール、61…グランド導体
パターン。
Claims (3)
- 【請求項1】 回路基板と、該回路基板上に実装された
発熱性を有する回路部品と、前記回路基板に形成された
ストリップラインとを備え、親回路基板上に実装して使
用されるハイブリッドモジュールにおいて、 前記回路基板は多層基板であり且つ前記親回路基板と対
向する主面に形成された凹部を有すると共に、 前記回路部品は前記回路基板の凹部内に実装され、 少なくとも1つのストリップラインは、少なくとも一方
のグランドラインが前記回路基板の内層に形成されたト
リプレート型ストリップラインからなり、 前記回路部品から前記親回路基板に熱伝導されることを
特徴とするハイブリッドモジュール。 - 【請求項2】 回路基板と、該回路基板上に実装された
発熱性を有する回路部品とを備え、親回路基板上に実装
して使用されるハイブリッドモジュールにおいて、 前記回路基板は前記親回路基板と対向する主面に形成さ
れた凹部を有し、 該凹部内に前記回路部品が実装され、前記回路部品から
前記親回路基板に熱伝導されると共に、 前記回路基板には、前記主面以外の所定の面に形成され
た測定用端子電極と、一端が前記測定用端子電極に接続
され且つ他端が前記回路部品の所定端子に接続された測
定用接続導体とが設けられていることを特徴とするハイ
ブリッドモジュール。 - 【請求項3】 回路基板と、該回路基板上に実装された
発熱性を有する回路部品とを備え、親回路基板上に実装
して使用されるハイブリッドモジュールにおいて、 前記回路基板は前記親回路基板と対向する主面に形成さ
れた凹部を有し、 該凹部内に前記回路部品が実装され、前記回路部品から
前記親回路基板に熱伝導されると共に、 前記凹部内の回路部品実装面は、前記回路部品の端子と
接続されるランドを有すると共に、該回路部品実装面上
のランド以外の部分はランドと絶縁されたグランド導体
パターンによって覆われていることを特徴とするハイブ
リッドモジュール。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10019336A JPH11220225A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ハイブリッドモジュール |
| KR1019990002702A KR100563122B1 (ko) | 1998-01-30 | 1999-01-28 | 하이브리드 모듈 및 그 제조방법 및 그 설치방법 |
| US09/239,669 US6163456A (en) | 1998-01-30 | 1999-01-29 | Hybrid module and methods for manufacturing and mounting thereof |
| CNB991018370A CN1319422C (zh) | 1998-01-30 | 1999-01-29 | 混合模块及其制造方法与其安装方法 |
| DE69935628T DE69935628T2 (de) | 1998-01-30 | 1999-01-29 | Hybridmodul |
| EP99101533A EP0933816B1 (en) | 1998-01-30 | 1999-01-29 | Hybrid module |
| HK00100488.9A HK1021608B (en) | 1998-01-30 | 2000-01-26 | Hybrid module and methods for manufacturing and mounting thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10019336A JPH11220225A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ハイブリッドモジュール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11220225A true JPH11220225A (ja) | 1999-08-10 |
Family
ID=11996573
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10019336A Pending JPH11220225A (ja) | 1998-01-30 | 1998-01-30 | ハイブリッドモジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11220225A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002141433A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
| JP2015080633A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 電気ユニット及び電気ユニットを用いた内視鏡装置 |
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1998
- 1998-01-30 JP JP10019336A patent/JPH11220225A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002141433A (ja) * | 2000-10-30 | 2002-05-17 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
| JP2015080633A (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-27 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 電気ユニット及び電気ユニットを用いた内視鏡装置 |
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