JPH11226530A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH11226530A JPH11226530A JP7300698A JP7300698A JPH11226530A JP H11226530 A JPH11226530 A JP H11226530A JP 7300698 A JP7300698 A JP 7300698A JP 7300698 A JP7300698 A JP 7300698A JP H11226530 A JPH11226530 A JP H11226530A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- washing
- drying
- tank
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005406 washing Methods 0.000 title claims abstract description 36
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 79
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 239000011538 cleaning material Substances 0.000 claims description 7
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000010407 vacuum cleaning Methods 0.000 claims description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】洗浄物螺旋送り溝を有する洗浄装置の洗浄，乾
燥を真空中で行なう。 【解決手段】洗浄物投入，洗浄，水切り，乾燥及び洗浄
物排出機能をもち，且つ螺旋送り機構を有する多孔性洗
浄筒を真空室に，ベアリング，シール装置を介して装着
する。真空室は洗浄，乾燥などの用途に応じて任意仕切
られる。洗浄物を真空洗浄，真空乾燥することにより精
密洗浄を実現する。
燥を真空中で行なう。 【解決手段】洗浄物投入，洗浄，水切り，乾燥及び洗浄
物排出機能をもち，且つ螺旋送り機構を有する多孔性洗
浄筒を真空室に，ベアリング，シール装置を介して装着
する。真空室は洗浄，乾燥などの用途に応じて任意仕切
られる。洗浄物を真空洗浄，真空乾燥することにより精
密洗浄を実現する。
Description
【従来の技術】従来の螺旋送り機構を有する洗浄装置は
大気中で洗浄が行なわれていた。高沸点洗浄液使用時の
大気中では洗浄性，特に洗浄後の洗浄物の乾燥性に難が
あった。また超音波洗浄時大気中で洗浄するより真空中
の洗浄時の方が超音波効果が遙かに高い。この様に大気
中洗浄より真空中洗浄の方が洗浄性，乾燥性いずれの面
においても優れている。また従来の螺旋送り洗浄装置で
は，洗浄物は螺旋溝に添って移動するだけで上下反転は
せず洗浄，乾燥性が悪かった。
大気中で洗浄が行なわれていた。高沸点洗浄液使用時の
大気中では洗浄性，特に洗浄後の洗浄物の乾燥性に難が
あった。また超音波洗浄時大気中で洗浄するより真空中
の洗浄時の方が超音波効果が遙かに高い。この様に大気
中洗浄より真空中洗浄の方が洗浄性，乾燥性いずれの面
においても優れている。また従来の螺旋送り洗浄装置で
は，洗浄物は螺旋溝に添って移動するだけで上下反転は
せず洗浄，乾燥性が悪かった。
【発明が解決しようとする課題】本発明は，洗浄物投
入，真空洗浄，真空水切り，真空乾燥及び洗浄物排出機
能を洗浄筒に持たせ，洗浄槽乾燥槽に区切りしている真
空室にベアリング，シール装置を介して装着し，真空に
よる洗浄効果及び乾燥効果を高め，さらに，螺旋送り螺
旋溝側面，底面に突起物を付けて洗浄物を螺旋送り回転
力にて上下反転させ洗浄性，乾燥性を更に向上させ精密
洗浄を実現しようとするものである。
入，真空洗浄，真空水切り，真空乾燥及び洗浄物排出機
能を洗浄筒に持たせ，洗浄槽乾燥槽に区切りしている真
空室にベアリング，シール装置を介して装着し，真空に
よる洗浄効果及び乾燥効果を高め，さらに，螺旋送り螺
旋溝側面，底面に突起物を付けて洗浄物を螺旋送り回転
力にて上下反転させ洗浄性，乾燥性を更に向上させ精密
洗浄を実現しようとするものである。
【課題を解決するための手段】例えば図に示すように，
内側に送り螺旋溝を有する大径の洗浄筒，小径の乾燥筒
及びこれら洗浄筒と乾燥筒を結合する送り螺旋溝を有す
るテーパコーンをもって一体として結合し，これに洗浄
物投入口，排出口を取り付けて，必要な数の洗浄槽，乾
燥槽を有する真空室にベアリング，シール装置を介して
装着し，モータにて送り回転を行なう。これら筒には気
密シール部分，ベアリング部分を除いて無数の穴があ
る。こ穴よりシヤワー洗浄の場合は洗浄槽へ洗浄液が落
下し，浸漬洗浄の場合は洗浄液が洗浄筒内に入り洗浄を
行なう。ちなみに乾燥筒は洗浄液レベルより上になるよ
うな小径となっているので洗浄液に浸かることはない。
洗浄槽の洗浄液は，新液洗浄槽から１次洗浄槽へ順次オ
ーバフローにて流れ，１次洗浄液を漏過，蒸留し新液槽
に送られる。温熱真空乾燥の時の温熱は乾燥効率を高め
るものである。螺旋溝側面，底面には洗浄物を上下反転
させる突起物が取り付けられ洗浄性，乾燥性を高めてい
る。シヤワーノズル，洗浄物搬入，搬出口などには気密
機構があることは勿論のことである。
内側に送り螺旋溝を有する大径の洗浄筒，小径の乾燥筒
及びこれら洗浄筒と乾燥筒を結合する送り螺旋溝を有す
るテーパコーンをもって一体として結合し，これに洗浄
物投入口，排出口を取り付けて，必要な数の洗浄槽，乾
燥槽を有する真空室にベアリング，シール装置を介して
装着し，モータにて送り回転を行なう。これら筒には気
密シール部分，ベアリング部分を除いて無数の穴があ
る。こ穴よりシヤワー洗浄の場合は洗浄槽へ洗浄液が落
下し，浸漬洗浄の場合は洗浄液が洗浄筒内に入り洗浄を
行なう。ちなみに乾燥筒は洗浄液レベルより上になるよ
うな小径となっているので洗浄液に浸かることはない。
洗浄槽の洗浄液は，新液洗浄槽から１次洗浄槽へ順次オ
ーバフローにて流れ，１次洗浄液を漏過，蒸留し新液槽
に送られる。温熱真空乾燥の時の温熱は乾燥効率を高め
るものである。螺旋溝側面，底面には洗浄物を上下反転
させる突起物が取り付けられ洗浄性，乾燥性を高めてい
る。シヤワーノズル，洗浄物搬入，搬出口などには気密
機構があることは勿論のことである。
【発明の実施の形態】以下，この発明の実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は，この実施形態が適
用された１例の概略的な１断面を示している。この洗浄
装置には真空室１，がありこれに洗浄筒２，乾燥筒１
８，洗浄筒と乾燥筒とを結合するテーパコーン１２，テ
ーパコーン１２にて結合された洗浄筒１９，がベアリン
グ，シール装置を介し真空室に装着されている。これら
内側には洗浄物を送る螺旋溝３，がある。洗浄筒１９を
回転し洗浄物８．を送るモータ４，があり洗浄物を洗浄
筒から乾燥筒搬出口へと送る。その間に洗浄物は順次洗
浄乾燥が行なわれる。シヤワー洗浄の場合はシャワーノ
ズル５，新液シャワーノズル６，蒸気投入口１６，があ
る。浸漬洗浄の時は洗浄液が乾燥筒１８，下面まで洗浄
液が充填されている。密閉機構を有する洗浄物投入口
７，排出口１４，が洗浄筒１９に取り付けられ洗浄物の
搬入，搬出が行なわれる。真空室内は１次洗浄室９，新
液洗浄室１０，蒸気洗浄室１１，温熱真空乾燥室１３，
に仕切られており個々の機能を発揮する。これらの仕切
は用途により任意に仕切数，機能を決められる。図２は
螺旋溝３，の拡大図を示す。溝側面突起物２０，底面突
起物２１，があり洗浄物は溝に沿って移動する。この時
これら突起物により洗浄物が上下反転させられる。突起
物の数任意である。なお，この発明は上述の実施形態に
限らす，この発明の要旨を逸脱することなく種々形態を
取り得ることは勿論のことである。
て図面を参照して説明する。図１は，この実施形態が適
用された１例の概略的な１断面を示している。この洗浄
装置には真空室１，がありこれに洗浄筒２，乾燥筒１
８，洗浄筒と乾燥筒とを結合するテーパコーン１２，テ
ーパコーン１２にて結合された洗浄筒１９，がベアリン
グ，シール装置を介し真空室に装着されている。これら
内側には洗浄物を送る螺旋溝３，がある。洗浄筒１９を
回転し洗浄物８．を送るモータ４，があり洗浄物を洗浄
筒から乾燥筒搬出口へと送る。その間に洗浄物は順次洗
浄乾燥が行なわれる。シヤワー洗浄の場合はシャワーノ
ズル５，新液シャワーノズル６，蒸気投入口１６，があ
る。浸漬洗浄の時は洗浄液が乾燥筒１８，下面まで洗浄
液が充填されている。密閉機構を有する洗浄物投入口
７，排出口１４，が洗浄筒１９に取り付けられ洗浄物の
搬入，搬出が行なわれる。真空室内は１次洗浄室９，新
液洗浄室１０，蒸気洗浄室１１，温熱真空乾燥室１３，
に仕切られており個々の機能を発揮する。これらの仕切
は用途により任意に仕切数，機能を決められる。図２は
螺旋溝３，の拡大図を示す。溝側面突起物２０，底面突
起物２１，があり洗浄物は溝に沿って移動する。この時
これら突起物により洗浄物が上下反転させられる。突起
物の数任意である。なお，この発明は上述の実施形態に
限らす，この発明の要旨を逸脱することなく種々形態を
取り得ることは勿論のことである。
【発明の効果】以上説明したように，この発明によれば
インラインにて洗浄物１個ずつ真空下で洗浄乾燥が行な
われるため短時間のうちに精密洗浄が出来る。加工機械
に直結して使用すればバツチ（纏め）洗浄の洗浄物集
合，運搬の必要がなく高速にて真空下における精密洗浄
ができる。
インラインにて洗浄物１個ずつ真空下で洗浄乾燥が行な
われるため短時間のうちに精密洗浄が出来る。加工機械
に直結して使用すればバツチ（纏め）洗浄の洗浄物集
合，運搬の必要がなく高速にて真空下における精密洗浄
ができる。
【図１】この発明の実施形態の主なる構成の一断面であ
る。
る。
【図２】螺旋溝の一断面である。
１ 真空室 ２ 洗浄筒 ３ 螺旋溝 ４ モータ ５ シャワーノズル ６ 新液シャワーノズル ７ 洗浄物投入口 ８ 洗浄物 ９ １次洗浄室 １０ 新液洗浄室 １１ 蒸気洗浄室 １２ テーパーコーン １３ 温熱真空乾燥室 １４ 排出口 １５ 温熱器 １６ 蒸気投入口 １７ アイドル室 １８ 乾燥筒 １９ 螺旋送り洗浄筒 ２０ 溝側面突起物 ２１ 溝底面突起物 ２２ シール材
Claims (5)
- 【請求項１】真空洗浄に於いて真空室に，洗浄物投入，
洗浄，水切り，乾燥，及び洗浄物排出機能を持ち，且つ
螺旋送り機構を有する多孔性洗浄筒をベアリング，シー
ル装置を介して装着し，真空室を浸漬，シヤワー洗浄な
ど洗浄機能の必要に応じて幾つかの洗浄槽に分割，且つ
温熱真空乾燥などの乾燥機能の必要に応じた乾燥槽に分
割する。洗浄槽における洗浄液は新液洗浄槽から１次洗
浄槽にオーバフローして流れ，１次洗浄槽の洗浄液は漏
過，蒸留処理などにより新液化され新液洗浄槽に供給さ
れることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】１次洗浄をシヤワー洗浄，２次洗浄を新液
シャワー洗浄，３次洗浄を蒸気洗浄とし，乾燥を温熱真
空乾燥を行なうことを特徴とした請求項１の洗浄装置 - 【請求項３】１次洗浄を浸漬洗浄，２次洗浄を蒸気洗
浄，乾燥を温熱真空乾燥を行なうことを特徴とした請求
項１の洗浄装置 - 【請求項４】螺旋送り機構螺旋溝側面，両側面及び底面
に突起を付け螺旋送り回転力により洗浄物を上下反転さ
せ洗浄物の洗浄性，乾燥性を向上させることを特徴とし
た請求項１の洗浄装置。 - 【請求項５】洗浄室に超音波発振機を取り付け洗浄筒内
にキヤビテイションを起こさせて洗浄効果を高めること
を特徴とした請求項１の洗浄装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7300698A JPH11226530A (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7300698A JPH11226530A (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11226530A true JPH11226530A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=13505840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7300698A Pending JPH11226530A (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11226530A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003082111A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Daikin Ind Ltd | フッ素樹脂の製法および該製法に用いる濾過脱水装置 |
| KR100679283B1 (ko) | 2005-03-17 | 2007-02-06 | (주)클레슨 | 체결요소의 자동 세척 시스템 |
| CN110406913A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-05 | 湖北天宜机械股份有限公司 | 一种半焦输送与干燥设备 |
| CN118002542A (zh) * | 2024-03-18 | 2024-05-10 | 江门市东江环保技术有限公司 | 一种一体式清洗干燥装置 |
-
1998
- 1998-02-16 JP JP7300698A patent/JPH11226530A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003082111A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Daikin Ind Ltd | フッ素樹脂の製法および該製法に用いる濾過脱水装置 |
| KR100679283B1 (ko) | 2005-03-17 | 2007-02-06 | (주)클레슨 | 체결요소의 자동 세척 시스템 |
| CN110406913A (zh) * | 2019-08-27 | 2019-11-05 | 湖北天宜机械股份有限公司 | 一种半焦输送与干燥设备 |
| CN118002542A (zh) * | 2024-03-18 | 2024-05-10 | 江门市东江环保技术有限公司 | 一种一体式清洗干燥装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4197000A (en) | Positive developing method and apparatus | |
| US5653820A (en) | Method for cleaning metal articles and removing water from metal articles | |
| US5259407A (en) | Surface treatment method and apparatus for a semiconductor wafer | |
| HU210266B (en) | Method and apparatus for cleaning metal workpieces | |
| KR950005364A (ko) | 진공처리장치 및 그 세정방법 | |
| JP2004066212A (ja) | 洗浄乾燥装置 | |
| US6895979B2 (en) | Processing apparatus and processing method | |
| KR970011644B1 (ko) | 도포 처리 장치 | |
| JP7455608B2 (ja) | 洗浄方法及び洗浄装置 | |
| US5976311A (en) | Semiconductor wafer wet processing device | |
| CN105728403B (zh) | 液压管清洗机转鼓结构 | |
| JPH11226530A (ja) | 洗浄装置 | |
| CN113140488A (zh) | 一种晶片清洗装置 | |
| CN105880227A (zh) | 全自动液压管清洗机 | |
| US3055378A (en) | Washer unit | |
| KR0179284B1 (ko) | 코우팅장비의 필터하우징내 버블제거장치 | |
| KR100717529B1 (ko) | 장 파이프 세척 및 건조장치 | |
| JPH07171525A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2724870B2 (ja) | 処理装置 | |
| KR101744532B1 (ko) | 열처리 부품용 세척장치 | |
| JPH0236473Y2 (ja) | ||
| RU2318614C1 (ru) | Двухуровневая моечная машина с дефектоскопом | |
| JPH08332463A (ja) | 部品類の洗浄装置 | |
| JP2001153556A (ja) | 真空乾燥装置 | |
| SU1511177A1 (ru) | Способ слива нефтепродукта при низких температурах |