JPH11226833A - 真空チャックの吸着板及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】吸着時における吸着面の平坦度を向上させ、以
って吸着時における被吸着物の変形を最小限にとどめる
ことができる真空チャックの吸着板を得る。 【解決手段】表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連通
する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着板
４の外周部に空気の流通を遮断する非通気層４ａを形成
し、吸着板４の裏面から空気を吸引することにより表面
の吸着面４ｃに被吸着物Ｗを吸着するように構成する。
この吸着板４の表面のうち非通気層４ａを除く外周領域
には、非通気層４ａに連続して吸着板４の厚さよりも薄
くかつ吸着面４ｃと面一となる非通気性のシール部４ｄ
を形成した。従って、被吸着物Ｗをその外周部がシール
部４ｄの内周側に差し掛かるように配置すれば、吸着時
に被吸着物Ｗが変形することが殆どなくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被吸着物を吸着す
るための真空チャックに係り、特に、真空チャックの吸
着板及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空チャックの吸着板として、表
裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質を板状に形
成したものが知られている。そして、この吸着板の外周
面を封止した状態で、吸着板の裏面から空気を吸引する
ことにより吸着板の表面にウェハ等の被吸着物を吸着す
るようにしている。

【０００３】上記真空チャックの代表的なものとして、
図８又は図１０に示されたものがある。図８に示された
真空チャックは、円板状に形成されたチャック板１１の
上面側に、同じく円板状に形成された多孔質材料からな
る吸着板１２の下面が固定されている。このタイプの吸
着板１２の外周面には合成樹脂の注入により通気性のな
い非通気層１２ａが形成されている。この非通気層１２
ａにより吸着板１２の外周面の封止が行われ、吸着板１
２の非通気層１２ａに囲まれた内周部が通気領域１２ｂ
となる。そして、吸着板１２の通気領域１２ｂに対応す
る表面が被吸着物Ｗを吸着する吸着面１２ｃとなってい
る。被吸着物Ｗは、その吸着面１２ｃと対向する面が吸
着面１２ｃ全体を覆うとともに、被吸着物Ｗの外周部が
非通気層１２ａの上面に差し掛かるように配置される。
そして、真空源の駆動によりチャック板１１側から空気
を吸引することにより、吸着板１２の吸着面１２ｃに被
吸着物Ｗが吸着保持される。又、上記のように被吸着物
Ｗが吸着面１２ｃ全体を覆うように配置されることで、
チャック板１１側からの空気吸引力が効率良く被吸着物
Ｗに作用する。

【０００４】又、図１０に示された真空チャックは、チ
ャック板１３の上面側に上方へ開口する収容凹部１３ａ
が形成され、その収容凹部１３ａに多孔質材料からなる
円板状の吸着板１４が収容されている。このタイプの真
空チャックでは、収容凹部１３ａ内周面と吸着板１４外
周面との間に接着剤１５を塗布することにより、チャッ
ク板１３への吸着板１４の固定がなされる。又、その接
着剤１５層により吸着板１４の外周部が封止される。従
って、このタイプの真空チャックでは吸着板１４全体が
通気領域１４ａとなっている。被吸着物Ｗは、その吸着
面１４ｂと対向する面が吸着面１４ｂ全体を覆うととも
に、被吸着物Ｗの外周部がチャック板１３の収容凹部１
３ａ外縁に差し掛かるように配置される。そして、真空
源の駆動によりチャック板１３側から空気を吸引するこ
とにより、吸着板１４の吸着面１４ｂに被吸着物Ｗが吸
着される。又、上記のように被吸着物Ｗが吸着面１４ｂ
全体を覆うように配置されることで、チャック板１３側
からの空気吸引力が効率良く被吸着物Ｗに作用する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示された従来の真空チャックでは、真空源の駆動により
チャック板１１より空気を吸引して被吸着物Ｗを吸着面
１２ｃに吸着する場合、空気吸引力が吸着板１２の通気
領域１２ｂに作用する。一方、非通気層１２ａは通気性
を有しないため、非通気層１２ａには空気吸引力が作用
しない。又、通気領域１２ｂと非通気層１２ａとは連続
して一体形成されている。

【０００６】そのため、空気吸引力により、図９に示す
ように、吸着板１２の通気領域１２ｂと非通気層１２ａ
との境から吸着面１２ｃ中央へ向けて吸着面１２がチャ
ック板１１側に変形する。この変形の度合は吸着板１２
の材質、気孔率、チャック板１１からの空気吸引力等に
より様々であるが、通気領域１２ｂに対応する吸着面１
２ｃの表面は例えば非通気層１２ａの表面に比べて０．
５μｍ程度チャック板１１側へ変形する。

【０００７】この場合、空気吸引力が効率良く被吸着物
Ｗに作用するように、被吸着物Ｗの外周部が非通気層１
２ａに差し掛かるように配置されているため、吸着板１
２の非通気層１２ａ表面から吸着面１２ｃにかけての変
形に伴い、吸着時にはその変形した面に沿って被吸着物
Ｗが変形することとなる。

【０００８】以上の問題は、図８の真空チャックにおい
て製作時（非吸着時）に、非通気層１２ａの表面と吸着
面１２ｃとの平坦度を高めてあったとしても、解消する
ことはできない。

【０００９】同様に、図１０に示された従来の真空チャ
ックにおいても、吸着時には、図１１に示すように、吸
着板１４におけるチャック板１３の収容凹部１３ａとの
境界から吸着板１４中央へ向けての変形により、その変
形した面に沿って被吸着物Ｗが変形することとなる。

【００１０】ここで、被吸着物Ｗが高剛性を有するもの
である場合には、吸着板１２，１４の多少の変形では上
記のように被吸着物Ｗが変形することはない。又、被吸
着物Ｗが精度を要求されるものではない場合には上記の
ような０．５μｍ程度の変形は問題とならない。

【００１１】しかしながら、多孔質体からなる吸着板を
用いた真空チャックは、近年では半導体製造過程で頻繁
に用いられている。従って、ウェハ等のようにサブミク
ロンオーダの精度が要求されていたり、薄板状で撓みや
すいものを被吸着物Ｗとする場合には、被吸着物Ｗの精
度低下や製品不良などの問題が生じるため上記した僅か
な変形も重大な問題となる。

【００１２】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、吸着時における吸着面の平坦度を
向上させ、以って吸着時における被吸着物の変形を最小
限にとどめることができる真空チャックの吸着板及びそ
の製造方法を提供することにある。

【００１３】又、本発明の他の目的は、吸着時における
吸着面の平坦度を一層向上させること、更には、そのよ
うな真空チャックの吸着板を簡単に製造できるようにす
ること等にある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１に記載の発明では、表面が平坦に形成さ
れかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体
にて形成された吸着板を、その外周面と外部との空気の
流通を禁止した状態で、裏面から空気を吸引することに
より表面に被吸着物を吸着する真空チャックの吸着板に
おいて、前記吸着板の表面の外周領域には、吸着板の厚
さよりも薄くかつ吸着板の表面と面一となる非通気性の
シール部を設けた。

【００１５】上記手段により、吸着板を多孔質体にて形
成したものでは、吸着板裏面から空気を吸引した場合、
その空気吸引力により、吸着板の表面が裏面側へ向けて
僅かに押しつぶされる。吸着板の表面の大半は平坦を保
持したまま押しつぶされるものの、吸着板の表面の外周
側は、例えば非通気層が形成されていたり、接着剤で固
定されている等の要因により、その変形が抑止されてい
るため、変形が抑止されている吸着板外周側から吸着面
側へ向かって斜めに落ち込むように変形する。しかし、
本発明では、この斜めに変形する部分に非通気性のシー
ル部が設けられているため、被吸着物の外周部をその斜
めに変形する部分を避けてシール部表面の内側に配置す
ることで、被吸着物の吸着時に当該被吸着物の変形を防
止することができる。勿論、被吸着物の外周部がシール
部に差し掛かるように配置することで、吸着板表面と被
吸着物との間からの空気漏れが防止されて、被吸着物に
効率良く空気吸引力を作用させることができる。

【００１６】請求項２に記載の発明では、表面が平坦に
形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多
孔質体にて形成された吸着板の外周部に空気の流通を遮
断する非通気層を形成し、吸着板の裏面から空気を吸引
することにより表面に被吸着物を吸着する真空チャック
の吸着板において、前記吸着板の表面のうち非通気層を
除く外周領域には、非通気層に連続して吸着板の厚さよ
りも薄くかつ吸着板の表面と面一となる非通気性のシー
ル部を設けた。

【００１７】上記手段により、吸着板を多孔質体にて形
成したものでは、吸着板裏面から空気を吸引した場合、
その空気吸引力により、吸着板の表面が裏面側へ向けて
僅かに押しつぶされる。吸着板の表面の大半は平坦を保
持したまま押しつぶされるものの、吸着板の表面のうち
非通気層が形成されている部分には空気吸引力により押
しつぶされる応力が発生しないため、吸着板の表面のう
ち非通気層に対応する部分は変形しない。そのため、吸
着板の表面のうち外周側では、非通気層の内周側端部か
ら内側へ向かって斜めに落ち込むように変形する。しか
し、本発明では、この斜めに変形する部分に非通気性の
シール部が設けられているため、被吸着物の外周部をそ
の斜めに変形する部分を避けてシール部表面の内側に配
置することで、被吸着物の吸着時に当該被吸着物の変形
を防止することができる。勿論、被吸着物の外周部がシ
ール部に差し掛かるように配置することで、吸着板表面
と被吸着物との間からの空気漏れが防止されて、被吸着
物に効率良く空気吸引力を作用させることができる。

【００１８】請求項３に記載の発明では、請求項１又は
請求項２のいずれかに記載の真空チャックの吸着板にお
いて、シール部を、吸着板に封止材料を注入することに
より構成した。

【００１９】上記手段により、請求項１又は請求項２の
作用に加え、シール部を、吸着板を構成する多孔質体と
別体に設ける場合に比べ、吸着板の表面における通気領
域とシール部との境界で段差ができにくくなり、吸着板
の表面の平坦度がだしやすくなる。その結果、被吸着物
が前記境界部分での段差によって変形することが防止さ
れる。

【００２０】請求項４に記載の発明では、請求項２記載
の真空チャックの吸着板において、非通気層及びシール
部を、吸着板に同一の封止材料を注入することにより構
成した。

【００２１】上記手段により、請求項２の作用に加え、
シール部を、吸着板を構成する多孔質体と別体に設ける
場合に比べ、吸着板の表面における通気領域とシール部
との境界で段差ができにくくなり、吸着板の表面の平坦
度がだしやすくなる。その結果、被吸着物が前記境界部
分での段差によって変形することが防止される。しか
も、同一の封止材料によってシール部とともに非通気層
を併せて形成することができ、吸着板の製作が簡素化さ
れる。

【００２２】請求項５に記載の発明では、請求項３又は
請求項４のいずれかに記載の真空チャックの吸着板にお
いて、封止材料のヤング率を、シール部のヤング率と多
孔質体のヤング率とがほぼ同等となるように、多孔質体
のヤング率に対して十分小さなヤング率とした。

【００２３】上記手段により、請求項３又は請求項４の
作用に加え、シール部のヤング率が吸着板を構成する多
孔質体のヤング率とほぼ同等になる。この結果、吸着板
の表面の切削時に刃物が通過する面に対するシール部及
びそれ以外の表面のそれぞれの実際に形成される切削面
のずれがほぼ同等になり、吸着面の表面の平坦度が向上
する。又、被吸着物の吸着時において、シール部内周側
と吸着板の表面との境界部分では、吸着板が押しつぶさ
れる程度が同等となり、シール部内周側と吸着板の表面
との段差の発生も抑制される。

【００２４】請求項６に記載の発明では、請求項５記載
の真空チャックの吸着板において、多孔質体を焼結フッ
素樹脂にて形成し、封止材料をシリコン樹脂とした。上
記手段により、請求項５の作用に加え、吸着板が硬度が
低い焼結フッ素樹脂にて形成されるため、吸着時に被吸
着物が柔軟に保持され、吸着時における精密な被吸着物
の損傷を防止し得る。

【００２５】請求項７に記載の発明では、請求項１乃至
請求項６のいずれかに記載の真空チャックの吸着板にお
いて、シール部の厚さを多孔質体の粒径よりも小さくな
らないようにかつほぼ同等とした。

【００２６】上記手段により、請求項１乃至請求項６の
いずれかの作用に加え、シール部が極端に薄く形成され
ることで、吸着時においてシール部が吸着板を構成する
多孔質体部分と同じように撓むこととなり、シール部内
周側の変形を一層確実に防止し得る。

【００２７】請求項８に記載の発明では、表面が平坦に
形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多
孔質体にて形成された吸着板の表面の外周領域に封止材
料を塗布する工程と、その塗布後に吸着板の表面から封
止材料を拭き取る工程と、その拭き取り後に吸着板の表
面を仕上げ加工する工程とを備えた。

【００２８】上記手段により、表面が平坦に形成されか
つ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて
形成された吸着板の表面の外周領域に封止材料が注入さ
れ、その注入部分がシール部となる。このシール部の形
成に際して、上記のとおり封止材料を塗布することで封
止材料は毛細管現象によって自動的に多孔質体内部に浸
透していくため、シール部の形成が極めて簡単なものと
なる。しかも、後処理としては吸着板表面に残った封止
材料を拭き取って仕上げ加工を施せばよいため、後処理
も簡単である。

【００２９】請求項９に記載の発明では、表面が平坦に
形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多
孔質体にて形成された吸着板の表面の外周領域及び吸着
板の外周面に同一の封止材料を塗布する工程と、その塗
布後に吸着板の表面及び外周面から封止材料を拭き取る
工程と、その拭き取り後に吸着板の表面を仕上げ加工す
る工程とを備えた。

【００３０】上記手段により、表面が平坦に形成されか
つ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて
形成された吸着板の表面の外周領域及び吸着板の外周面
に同一のに封止材料が注入され、その注入部分がシール
部及び非通気層となる。このシール部及び非通気層の形
成に際して、上記のとおり封止材料を塗布することで封
止材料は毛細管現象によって自動的に多孔質体内部に浸
透していくため、シール部及び非通気層の形成が極めて
簡単なものとなる。しかも、後処理としては吸着板表面
及び外周面に残った封止材料を拭き取って仕上げ加工を
施せばよいため、後処理も簡単である。更に、シール部
及び非通気層が同時に形成でき、吸着板の製作の簡素化
を促進し得る。

【００３１】請求項１０に記載の発明では、表面が平坦
に形成されかつ表裏両面に連通する多数の透孔を有する
多孔質体にて形成された吸着板の表面の外周領域を加熱
することにより溶かし、同表面の外周領域に非通気性の
シール部を形成する工程と、そのシール部の形成後に吸
着板の表面を仕上げ加工する工程とを備えた。

【００３２】上記手段により、表面が平坦に形成されか
つ表裏両面に連通する多数の透孔を有する多孔質体にて
形成された吸着板の表面の外周領域を加熱して溶かすこ
とによりシール部を形成できるため、シール部形成のた
めに別の封止材料を用いる必要がなくなる。

【００３３】

【発明の実施の形態】［第１実施形態］以下、第１実施
形態を図１〜図３に基づいて説明する。

【００３４】図１に示すように、本実施形態の真空チャ
ック１は円板状に形成されたチャック本体２を備えてい
る。チャック本体２には、上面に開口する凹所２ａが形
成されるとともに、その凹所２ａの中央部において凹所
２ａとチャック本体２下面とを連通する空気吸引口２ｂ
が形成されている。空気吸引口２ｂには図示しない配管
を介して真空源に接続されている。即ち、空気吸引口２
ｂは真空源に接続するための接続部として機能する。

【００３５】チャック本体２の上面には、前記凹所２ａ
の上部開口側を閉塞するようにチャック板３の下面が固
定されている。チャック板３はチャック本体２と同一の
円板状に形成されており、チャック本体２及びチャック
板３により真空チャック１のチャック本体が構成されて
いる。なお、チャック本体２及びチャック板３は本実施
形態ではアルミニウム等の金属材料により構成されてい
る。

【００３６】チャック板３の上面には、その円板状中心
を中心点としかつ互いに径の異なる円形をなす複数の環
状溝３ａが上方に開口するように形成されている。本実
施形態では環状溝３ａを３つ設けている。各環状溝３ａ
の適宜箇所には環状溝３ａの下面とチャック板３下面と
を連通する連通孔３ｂがそれぞれ形成されている。従っ
て、真空源から空気吸引力を発生させると、チャック板
３の上方の空気が、各環状溝３ａ、各連通孔３ｂ、凹所
２ａ及び空気吸引口２ｂを介して吸引される。即ち、各
環状溝３ａ、各連通孔３ｂ及び凹所２ａにより、接続部
としての空気吸引口２ｂに至る空気通路が構成されてい
る。

【００３７】チャック板３の上面にはチャック本体２及
びチャック板３と同一の円板状をなすように形成された
吸着板４の下面が固定されている。チャック板３への吸
着板４の固定は、本実施形態では接着剤を吸着板４の下
面の外周領域に接着剤を塗布することにより行われる。
吸着板４の上面及び下面はいずれも平坦に形成されてい
る。

【００３８】そこで、以下に吸着板４の具体的構成を説
明する。吸着板４は焼結フッ素樹脂、より具体的には焼
結三フッ化樹脂からなる多孔質体により構成されてお
り、この多孔質体内部に形成された透孔の平均直径はほ
ぼ１００μｍ、気孔率は４２％、ヤング率はほぼ４０ｋ
ｇ／ｍｍ² である。

【００３９】吸着板４の外周面には通気性のない非通気
層４ａが形成されている。この非通気層４ａにより吸着
板４の外周面の封止が行われ、吸着板４の非通気層４ａ
に囲まれた内周部が通気領域４ｂとなっている。そし
て、吸着板４の通気領域４ｂに対応する表面が被吸着物
Ｗの吸着を行う吸着面４ｃとなっている。非通気層４ａ
は吸着板４外周部に封止材料として例えばシリコン樹脂
を染み込ませることにより構成されている。シリコン樹
脂のヤング率は吸着板４を構成する焼結三フッ化樹脂の
ヤング率のほぼ１００分の１と十分小さいため、非通気
層４ａへのシリコン樹脂の注入によるヤング率の増加は
通気領域４ｂのヤング率に比べて無視できる程度のもの
である。即ち、実際上、通気領域４ｂと非通気層４ａと
ではほぼヤング率が等しいと考えて差し支えない。

【００４０】非通気層４ａに連続するように、吸着板４
の上面には吸着面４ｃ側へ向かって延びる環状のシール
部４ｄが設けられている。シール部４ｄは吸着面４ｃと
ともに同一平面を構成している。シール部４ｄは吸着板
４上面外縁部に封止材料として例えばシリコン樹脂を染
み込ませることにより構成されている。即ち、シール部
４ｄそれ自体は前記非通気層４ａの場合と同様の性質を
有し、実際上、シール部４ｄと通気領域４ｂではほぼヤ
ング率が等しいと考えて差し支えない。

【００４１】図２に示すように、シール部４ｄの厚さＡ
は、少なくとも吸着板４の厚さＢよりも薄く、かつ吸着
板４を構成する多孔質体の粒径（１００μｍ）以上の範
囲内に設定されるが、本実施形態では、シール部４ｄの
厚さＡが最小の１００μｍに設定されている。又、シー
ル部４ｄの平面方向の幅Ｃは吸着面４ｃに被吸着物とし
てのウェハＷを配置した場合に、シール部４ｄを除く吸
着面４ｃが全てウェハＷにより覆われ、かつウェハＷが
シール部４ｄ上面に差し掛かるとともに所定のクリアラ
ンスＤが確保できるように設定されている。

【００４２】上述のとおり、シール部４ｄの厚さＡは、
少なくとも吸着板４の厚さＢよりも薄く、かつ吸着板４
を構成する多孔質体の粒径（１００μｍ）以上の範囲内
に設定されるが、その範囲の中でも厚さＡは薄いほどよ
い。具体的には、１００μｍ〜１ｍｍの範囲が好まし
く、更に１００μｍ〜５００μｍの範囲とするのがより
好ましい。これは、シール部４ｄを通気領域４ｂとほぼ
同一のヤング率とするとしても、やはり僅かながらもシ
ール部４ｄのヤング率が上がってしまうため、なるべく
薄いほど吸着面４ｃとシール部４ｄ表面とで連続する面
の平坦度が向上するためである。

【００４３】次に、吸着板４の製造方法について説明す
る。本実施形態の吸着板４は、多孔質体よりなる吸着板
４の基体を成形する第１工程、その第１工程の後に吸着
板４の基体の外周部に非通気層４ａを形成する第２工
程、その第２工程の後にシール部４ｄを形成する第３工
程、及び、その第３工程の後に吸着面４ｃ及びシール部
４ｄ上面の仕上げ加工を行う第４工程からなる製造方法
によって製造される。

【００４４】即ち、第１工程では、平均粒径がほぼ１０
０μｍである三フッ化樹脂の粒子材を成形金型に充填
し、圧縮成形するとともに加熱焼結することにより、多
孔質体としての焼結三フッ化樹脂からなる吸着板４の原
型が成形される。この原型を所定の形状、本実施形態で
は円板状となるように切削することにより、吸着板４の
基体が成形される。

【００４５】第２工程では、吸着板４の外周部全体にシ
リコン樹脂を塗布する。すると、毛細管現象によって吸
着板４の外周面から吸着板４の内部に自然に自動的に染
み込み、この染み込んだ領域が非通気層４ａとなる。な
お、吸着板４を構成する多孔質体へのシリコン樹脂の染
み込みの程度は、シリコン樹脂の粘度により調整するこ
とができる。従って、非通気層４ａの厚さＥはシリコン
樹脂の粘度によって決定された適宜の厚さとなる。その
後、吸着板４の外周部に残ったシリコン樹脂を拭き取
る。

【００４６】第３工程では、吸着板４の上面外縁部にお
ける図１に示す幅Ｃの領域にシリコン樹脂を塗布する。
すると、毛細管現象によって吸着板４の上面から吸着板
４の内部に自然に自動的に染み込み、この染み込んだ領
域がシール部４ｄとなる。なお、上述のとおり、シリコ
ン樹脂の吸着板４への染み込みの程度はシリコン樹脂の
粘度により調整することができる。従って、シール部４
ｄの厚さＡはシリコン樹脂の粘度によって決定された適
宜の厚さとなる。その後、吸着板４の上面に残ったシリ
コン樹脂を拭き取る。この第３工程では、次の第４工程
においてシール部４ｄが切削仕上げされるため、シール
部４ｄにおいて次工程で切削される分を見込んで、最終
的に得ようとするシール部４ｄの厚さＡよりも厚く形成
しておく。

【００４７】又、第２工程と第３工程は同時に行うこと
が可能である。即ち、例えば吸着板４の外周部全体及び
吸着板４の上面外縁部にそれぞれシリコン樹脂を塗布し
た後に、それぞれ残ったシリコン樹脂を拭き取ることも
可能である。

【００４８】次の第４工程では、吸着板４の吸着面４ｃ
側をフライス用カッタで平面切削する作業が行われる。
この切削は、具体的には、粗切削、中切削及び仕上げ切
削の各工程からなっている。まず、粗切削では、吸着板
４の吸着面４ｃ側をほぼ１０μｍの切り込み量で数回切
削し、吸着面４ｃ側の比較的大きい凹凸を除去する。中
切削では、徐々に切り込み量を小さくしながら数回切削
し、切削面にある透孔部分に発生するバリの大きさが徐
々に小さくなるようにする。最後に仕上げ切削として、
ほぼ１μｍの切り込み量で切削する。この仕上げ切削に
より、最終的に吸着面４ｃが形成される。同様に、シー
ル部４ｄの厚さＡが１００μｍに仕上げられる。

【００４９】以上のようにして形成された吸着面４ｃの
平坦度を測定した結果、非通気層４ａ及びシール部４ｄ
の吸着面４ｃに対する飛び出し量を０〜０．２μｍとす
ることができた。

【００５０】次に、上記のように構成された真空チャッ
ク１の作用を説明する。吸着板４の上面にはウェハＷが
配置される。ウェハＷは吸着板４の吸着面４ｃ全体を覆
うとともに、シール部４ｄ上面に差し掛かりかつシール
部４ｄ上面外周側に所定のクリアランスＤを確保するよ
うに配置される。

【００５１】この状態で、真空源から空気吸引力を発生
させると、吸着板４の通気領域４ｂ中の空気が、各環状
溝３ａ、各連通孔３ｂ、凹所２ａ、空気吸引口２ｂを介
して吸引される。

【００５２】ここで、上記のとおり、ウェハＷは吸着面
４ｃ全体を覆っており、しかも、ウェハＷの外周部がシ
ール部４ｄ上面と当接している。そのため、ウェハＷと
シール部４ｄとの当接面がシールとして作用し、外部の
空気が通気領域４ｂに吸い込まれることが殆どなくな
る。これにより、空気吸引力がウェハＷに効率良く作用
し、吸着面４ｃにウェハＷが確実に吸着保持される。

【００５３】吸着板４の通気領域４ｂは多孔質体により
構成され、多数の透孔が存在する。そのため、図３に示
すように、吸着板４の通気領域４ｂ部分が空気吸引力に
よって吸引方向、即ちチャック板３側へ例えば０．５μ
ｍ程度押しつぶされた形となる。一方、吸着板４の非通
気層４ａは基本的には通気領域４ｂと同様の多孔質体に
より構成されているものの、シリコン樹脂が注入されて
多孔質体の多数の透孔中にシリコン樹脂が介在するた
め、通気性が失われている。そのため、空気吸引力によ
って非通気層４ａが吸引方向、即ちチャック板３側へ押
しつぶされる方向への応力は発生せず、非吸着時と同じ
厚さを保持することとなる。そして、通気領域４ｂと非
通気層４ａとは一体に構成されていることから、吸着時
には図３に示すように吸着板４の吸着面４ｃ側の面のう
ち、シール部４ｄに対応する箇所が、吸着面４ｃに中心
部に向けて徐々にチャック板３側へ押しつぶされ、途中
から平坦となるように変形する。この変形は、図２にお
ける所定のクリアランスＤの領域内のごく狭い範囲で発
生する。

【００５４】ここで、ウェハＷの外周縁は、上記のシー
ル部４ｄの変形部分を避けるように、所定のクリアラン
スＤをおいてシール部４ｄの内周側に配置されているた
め、上記のシール部４ｄの変形にかかわらずウェハＷが
変形することはない。即ち、シール部４ｄの平面方向の
幅Ｃは、吸着時における変形部分と、吸着時において吸
着面４ｃとともに平坦面を形成し得る平坦部分とを含む
ように設定されており、その平坦部分がウェハＷ外周部
の設置部分となる。従って、ウェハＷは不用意に撓むこ
となく、平坦な状態を保ったまま真空チャック１に吸着
保持され、所定のウェハＷ処理工程へと搬送される。

【００５５】次に、本第１実施形態において得られる効
果を説明する。 （１）吸着板４の上面の外周領域に、吸着板４の厚さよ
りも薄くかつ吸着面４ｃの上面と面一となる非通気性の
シール部４ｄを設けた。これにより、吸着板４の上面に
おいて、シール部４ｄと非通気層４ａとの境界部分から
吸着面４ｃ側への斜めの変形はシール部４ｄの外周側、
即ち所定のクリアランスＤ内の僅かな範囲で行われ、シ
ール部４ｄ上面の吸着面４ｃ側は吸着面４ｃとともに平
坦面を形成する。従って、ウェハＷの外周部をシール部
４ｄの変形部分を避けるように、シール部４ｄの内周側
に配置することで、吸着時にウェハＷを変形させること
なく吸着保持することができる。

【００５６】（２）ウェハＷの外周部をシール部４ｄの
変形部分を避けるように、シール部４ｄの内周側に配置
することで、吸着面４ｃ全体がウェハＷに覆われること
となり、吸着板４上面とウェハＷとの間からの空気漏れ
が防止されて、ウェハＷに効率良く空気吸引力を作用さ
せることができる。

【００５７】（３）シール部４ｄを、吸着板４を構成す
る多孔質体にシリコン樹脂からなる封止材料を注入する
ことにより形成した。これにより、シール部４ｄを、吸
着板４を構成する多孔質体と別体に設ける場合に比べ、
吸着板４の上面における吸着面４ｃとシール部４ｄとの
境界で段差ができにくくなり、吸着板４の表面の平坦度
がだしやすくなる。その結果、ウェハＷが前記境界部分
での段差によって変形することが防止される。

【００５８】（４）非通気層４ａ及びシール部４ｄを、
吸着板４に同一の封止材料、ここではシリコン樹脂を注
入することにより形成した。これにより、吸着板４の製
作時に、非通気層４ａとシール部４ｄとを同時に形成す
ることが可能となり、吸着板４の製作が簡素化され、し
かも封止材料を複数種用意する必要がなくなって在庫管
理等も容易となる。

【００５９】（５）シール部４ｄの形成時におけるシリ
コン樹脂からなる封止材料のヤング率を、シール部４ｄ
のヤング率と吸着板４を構成する多孔質体のヤング率と
がほぼ同等となるように、吸着板４を構成する多孔質体
のヤング率に対して十分小さなヤング率、具体的には１
００分の１とした。これにより、吸着板４の表面の切削
時に刃物が通過する面に対するシール部４ｄ及び吸着面
４ｃのそれぞれの実際に形成される切削面のずれがほぼ
同等になり、吸着面４ｃとシール部４ｄの表面の平坦度
が向上する。又、ウェハＷの吸着時において、シール部
４ｄ内周側と吸着面４ｃとの境界部分では、吸着板４が
押しつぶされる程度が同等となり、シール部４ｄ内周側
と吸着面４ｃとの段差の発生も抑制することができる。
即ち、吸着時、非吸着時にかかわらず、シール部４ｄと
吸着面４ｃとの境界部分を常に高度に平坦とすることが
できる。

【００６０】（６）吸着板４を構成する多孔質体を、硬
度が低い焼結フッ素樹脂、ここでは焼結三フッ化樹脂に
て形成したことにより、吸着時にウェハＷが柔軟に保持
されるため、吸着時におけるウェハＷの損傷を確実に防
止することができる。

【００６１】（７）シール部４ｄの厚さＡを吸着板４を
構成する多孔質体の粒径とほぼ同一（本実施形態では１
００μｍ）とした。このように、シール部４ｄが極端に
薄く形成されることで、吸着時においてシール部４ｄが
吸着板４を構成する多孔質体部分と同じように撓むこと
となり、シール部４ｄ内周側と吸着面４ｃの平坦度を一
層向上させることができる。

【００６２】（８）吸着板４に非通気層４ａやシール部
４ｄを形成する際に、シリコン樹脂からなる封止材料を
塗布することにより、毛細管現象を利用して自然に多孔
質体内部に浸透していくようにした。このため、非通気
層４ａ及びシール部４ｄの形成が極めて簡単なものとな
る。しかも、後処理としては吸着板４表面及び外周面に
残った封止材料を拭き取って仕上げ加工を施せばよいた
め、後処理も簡単である。

【００６３】［第２実施形態］次に、第２実施形態を図
４に基づいて説明する。なお、第１実施形態と同一の構
成については同一番号を付しその説明を省略し、第１実
施形態との相違点を中心に説明する。

【００６４】第１実施形態では吸着板４の外周部に非通
気層４ａを形成したが、本実施形態の真空チャック５で
は、吸着板４の外周に非通気層４ａを設けていない。
又、チャック板３の上面には、上方に開口する収容凹部
３ｃが形成されている。本実施形態では収容凹部３ｃの
深さは吸着板４の厚さと略同一に形成されているが、必
ずしも完全に一致させる必要はない。

【００６５】そして、収容凹部３ｃに吸着板４が収容さ
れている。吸着板４は、チャック板３の収容凹部３ｃ内
周面と吸着板４外周面との間に接着剤６が介在されるこ
とにより、収容凹部３ｃ内に固定されている。接着剤６
は吸着板４を収容凹部３ｃ内に収容してから注入されて
いる。なお、吸着板４外周面又は収容凹部３ｃ内周面の
少なくとも一方に塗布した後に収容凹部３ｃ内に吸着板
４を収容するようにしてもよい。

【００６６】接着剤６層は吸着板４の外周面全体に行き
渡っており、吸着板４の外周面や、吸着板４の外周面と
シール部４ｄとの境界からの空気漏れが防止されてい
る。従って、本第２実施形態においても、非通気層４ａ
に関する部分を除いて第１実施形態の（１）〜（３）及
び（５）〜（８）の各効果が得られるとともに、次の効
果が得られる。

【００６７】（９）チャック板３に形成された凹部３ｃ
に吸着板４を収容することで、チャック本体２に対する
吸着板４の位置決めが行われるため、吸着板４の位置決
めが容易である。

【００６８】（１０）チャック板３の収容凹部３ｃ内周
面又は吸着板４外周面に接着剤６が塗布されることで、
収容凹部３ｃ内への吸着板４の固定とともに、吸着板４
の外周面や、吸着板４の外周面とシール部４ｄとの境界
からの空気漏れの防止が達成される。従って、第１実施
形態のように非通気層４ａを形成する作業と吸着板４を
チャック板３上に固定する作業とを個別に行う必要がな
く、製作作業を簡素化し得る。

【００６９】［第３実施形態］次に、第３実施形態を図
５に基づいて説明する。なお、第１実施形態と同一の構
成については同一番号を付しその説明を省略し、第１実
施形態との相違点を中心に説明する。

【００７０】第１実施形態では吸着板４の外周に均一厚
さＥの非通気層４ａを形成し、吸着板４の上面外周縁に
前記非通気層４ａに連通する均一厚さＡのシール部４ｄ
を形成したが、本実施形態の真空チャック７では、非通
気層４ａとシール部４ｄとを特に均一厚さすることな
く、非通気層４ａとシール部４ｄとが連続する一つの領
域として捉えることができるように構成した。但し、シ
ール部４ｄを吸着板４表面の内側ほど薄く形成してい
る。

【００７１】従って、本第３実施形態においても、第１
実施形態の（１）〜（８）の効果が得られるとともに、
次の効果が得られる。 （１１）非通気層４ａとシール部４ｄとをそれぞれ均一
厚さとする必要がなくなり、シリコン樹脂からなる封止
材料の塗布時において、シリコン樹脂の粘度を精密に設
定しなくてもよく、非通気層４ａ及びシール部４ｄを形
成する作業を簡素化し得る。

【００７２】［第４実施形態］次に、第４実施形態を図
６に基づいて説明する。なお、第２実施形態と同一の構
成については同一番号を付しその説明を省略し、第２実
施形態との相違点を中心に説明する。

【００７３】第２実施形態では接着剤６層が吸着板４の
外周面全体に行き渡るように構成されているが、本実施
形態の真空チャック８では、吸着板４と収容凹部３ｃと
の上面における境界部分にのみ接着剤６を塗布してい
る。この接着剤６層によって吸着板４の外周面とシール
部４ｄとの境界からの空気漏れが防止されている。

【００７４】従って、本第４実施形態においても、非通
気層４ａに関する部分を除いて第１実施形態の（１）〜
（３）及び（５）〜（８）の各効果、並びに第２実施形
態の（９）の効果が得られるとともに、次の効果が得ら
れる。

【００７５】（１２）収容凹部３ｃへの吸着板４の収容
後に、接着剤６を吸着板４の外周面とシール部４ｄとの
境界部分にのみ施せばよいため、接着剤６の塗布作業が
簡単になるとともに、接着剤６の使用量を低減させるこ
とができる。

【００７６】［第５実施形態］次に、第５実施形態を図
７に基づいて説明する。なお、第２実施形態と同一の構
成については同一番号を付しその説明を省略し、第２実
施形態との相違点を中心に説明する。

【００７７】第２実施形態では接着剤６層が吸着板４の
外周面全体に行き渡るように構成されているが、本実施
形態の真空チャック９では、吸着板４を収容凹部３ｃに
収容するのみとし、その収容時に吸着板４の上面と収容
凹部３ｃ周囲のチャック板３上面と面一となるように設
定している。そして、チャック板３上面から吸着板４上
面のシール部４ｄの一部に差し掛かるように環状の押え
板１０を設け、押え板１０とチャック板３及び吸着板４
を接着剤６によって固定しつつそれらの間からの空気漏
れが防止されている。

【００７８】従って、本第５実施形態においても、非通
気層４ａに関する部分を除いて第１実施形態の（１）〜
（３）及び（５）〜（８）の各効果、並びに第２実施形
態の（９）の効果が得られる。

【００７９】［他の実施形態］以上の各実施形態の他、
次のような他の実施形態もある。 ・吸着板４を形成する多孔質体の平均粒径、透孔の平均
直径、気孔率は適宜変更してもよい。

【００８０】・吸着板４を形成する多孔質焼結体は、焼
結三フッ化樹脂に限らず、その他、例えば四フッ化樹
脂、ナイロン樹脂、ポリアセタール樹脂等の合成樹脂の
多孔質焼結体としてもよい。この場合、各実施形態のシ
ール部４ｄの形成時に注入する封止材料としてはシリコ
ン樹脂の代わりに、同じくヤング率が前記合成樹脂より
も低いエポキシ樹脂を用いてもほぼ同一の効果を得るこ
とが可能である。

【００８１】・吸着板４を形成する多孔質焼結体を、合
成樹脂のものに代えて、焼結銅、焼結アルミニウム、焼
結ステンレス等の金属材料としてもよい。この場合、各
実施形態のシール部４ｄの形成時に注入する封止材料と
してはシリコン樹脂の代わりに、ヤング率が前記金属材
料の多孔質焼結体のほぼ１００分の１であるエポキシ樹
脂、フェノール樹脂等の合成樹脂を使用することが好ま
しい。

【００８２】・吸着板４に非通気層４ａやシール部４ｄ
を形成する方法はシリコン樹脂を塗布する方法に限ら
ず、他の方法で行ってもよい。例えば、吸着板４をシリ
コン樹脂に浸して積極的に吸引することで注入してもよ
い。

【００８３】・同じく、吸着板４に非通気層４ａやシー
ル部４ｄを形成する方法としては、シリコン樹脂等の封
止材料を用いる他、次の方法であってもよい。即ち、吸
着板４の外周面及び表面の外周領域を加熱することによ
り溶かし、同外周面及び表面の外周領域に非通気性の非
通気層４ａやシール部４ｄを形成してもよい。この場
合、非通気層４ａやシール部４ｄを形成するために、何
ら封止材料を用いる必要がなくなるという利点がある。

【００８４】・吸着板４の吸着面４ｃを上面として真空
チャック１，５，７，８，９を使用する例について説明
したが、吸着面４ｃを下面とした実施形態も可能であ
り、更には吸着面４ｃが横や斜めに向いている実施形態
も可能である。 ・吸着板４の形状は円板状に限らず、楕円板状や四角板
状等のように適宜形状を変更してもよい。

【００８５】・非通気層４ａは、どのような材質であっ
てもウェハＷ等の被吸着物の変形とは無関係であるた
め、吸着板４を構成する多孔質体のヤング率等を考慮す
ることなく自由に形成することができる。

【００８６】・シール部４ｄに着色を施し、吸着面４ｃ
と視覚的に区別してもよい。この場合、シール部４ｄの
色を確認することにより、ウェハＷ等の被吸着物を正確
にシール部４ｄに差し掛かるように配置することができ
る。更に、シール部４ｄのうち、吸着時の変形のない領
域を識別可能に着色し、その色を確認することにより確
実にウェハＷの撓みを防止することができる。このよう
な色の確認をセンサで行うことで、ウェハＷを自動的に
所望の位置に配置するよう制御することができるのはい
うまでもない。なお、シール部４ｄ或いはシール部４ｄ
中の特定部位を識別するために色を施す他、シール部４
ｄに注入される封止材料自体の色を利用することも可能
である。

【００８７】・被吸着物としては、ウェハＷに限らず、
半導体チップ等の他の精度を要するものや撓みやすいも
のを対象としてもよい。 ［各実施形態から把握される技術的思想］以上の各実施
形態により把握される技術的思想を以下に列挙する。な
お、括弧内の部材等の記載は各実施形態において対応す
る構成を示している。

【００８８】・請求項１乃至請求項７のいずれかに記載
の吸着板と、吸着板の裏面に取付けられ、吸着板の裏面
に連通する空気通路（環状溝３ａ，連通孔３ｂ，凹所２
ａ）及びその空気通路に連通されて真空源に接続される
接続部（空気吸引口２ｂ）を備えたチャック本体（チャ
ック本体２及びチャック板３）とを設けた真空チャッ
ク。この構成によれば、請求項１乃至請求項７のいずれ
かの効果を奏する真空チャックを得ることができる。

【００８９】・請求項１乃至請求項７のいずれかに記載
の吸着板と、吸着板の裏面に連通する空気通路（環状溝
３ａ，連通孔３ｂ，凹所２ａ）及びその空気通路に連通
されて真空源に接続される接続部（空気吸引口２ｂ）を
備えたチャック本体（チャック本体２及びチャック板
３）とを設け、チャック本体に形成された収容凹部に吸
着板を収容するとともに、吸着板の外周面又は表面外縁
を非通気性の接着剤により固定した。この構成によれ
ば、請求項１乃至請求項７のいずれかの効果を奏する真
空チャックを得ることができる。又、収容凹部に吸着板
を収容することでチャック本体に対する吸着板の位置決
めが行われるため、吸着板の位置決めが容易である。更
に、非通気層を吸着板に予め形成する必要がなく、吸着
板自体の製作が容易になる。

【００９０】・請求項８又は請求項９のいずれかに記載
の真空チャックの吸着板の製造方法において、封止材料
を、シール部のヤング率と多孔質体のヤング率とがほぼ
同等となるように、多孔質体のヤング率に対して十分小
さなヤング率となる材料を用いた真空チャックの吸着板
の製造方法。この製造方法によれば、吸着時、非吸着時
にかかわらず、吸着面とシール部表面との段差が殆ど無
視できるものとなり、常に被吸着物を平坦に保ったまま
吸着することができる。

【００９１】・請求項８、請求項９又は請求項１０のい
ずれかに記載の真空チャックの吸着板の製造方法におい
て、吸着板の表面を仕上げ加工する工程は、吸着板の表
面を粗切削から仕上げ切削へと順次切削精度を上げて行
われる切削工程である真空チャックの吸着板の製造方
法。この製造方法によれば、非吸着時における吸着面と
シール部表面との段差が殆ど無視できるものとなる。

【００９２】・請求項１０に記載の真空チャックの吸着
板の製造方法において、シール部を形成する方法と同じ
く加熱を行うことにより吸着板の外周面を溶かし、吸着
板の外周面に通気層を前記シール部と同時に又は相前後
して形成する真空チャックの吸着板の製造方法。この製
造方法によれば、吸着板に形成される非通気層及びシー
ル部のために一切特別な封止材料を用いる必要がなくな
る。

【００９３】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１及び請求
項２に記載の各発明によれば、吸着時における吸着面の
平坦度を向上させ、以って吸着時における被吸着物の変
形を最小限にとどめることができる。

【００９４】請求項３に記載の発明によれば、請求項１
又は請求項２の効果に加え、吸着板の表面における通気
領域とシール部との境界で段差ができにくくなり、吸着
板の表面の平坦度が一層向上し、被吸着物が前記境界部
分での段差によって変形するのを防止することができ
る。

【００９５】請求項４に記載の発明によれば、請求項２
の効果に加え、吸着板の表面における通気領域とシール
部との境界で段差ができにくくなり、吸着板の表面の平
坦度が一層向上し、被吸着物が前記境界部分での段差に
よって変形するのを防止することができる。しかも、同
一の封止材料によってシール部とともに非通気層を併せ
て形成することができ、吸着板の製作が簡素化される。

【００９６】請求項５に記載の発明によれば、請求項３
又は請求項４の効果に加え、シール部のヤング率が吸着
板を構成する多孔質体のヤング率とほぼ同等になるた
め、吸着板の表面の切削時に刃物が通過する面に対する
シール部及びそれ以外の表面のそれぞれの実際に形成さ
れる切削面のずれがほぼ同等になり、吸着面の表面の平
坦度が向上する。又、被吸着物の吸着時において、シー
ル部内周側と吸着板の表面との境界部分では、吸着板が
押しつぶされる程度が同等となり、シール部内周側と吸
着板の表面との段差の発生も抑制される。

【００９７】請求項６に記載の発明によれば、請求項５
の効果に加え、吸着板が硬度が低い焼結フッ素樹脂にて
形成されるため、吸着時に被吸着物が柔軟に保持され、
吸着時における精密な被吸着物の損傷を防止することが
できる。

【００９８】請求項７に記載の発明によれば、請求項１
乃至請求項６のいずれかの効果に加え、シール部が極端
に薄く形成されることで、吸着時においてシール部が吸
着板を構成する多孔質体部分と同じように撓むこととな
り、シール部内周側の変形を一層確実に防止し得る。

【００９９】請求項８に記載の発明によれば、上記の各
発明における吸着板のシール部を極めて簡単に形成する
ことができ、吸着板の製造が容易になる。請求項９に記
載の発明によれば、上記の各発明における吸着板のシー
ル部を極めて簡単に形成することができ、吸着板の製造
が容易になる。しかも、シール部及び非通気層が同時に
形成でき、吸着板の製作の簡素化を一層促進し得る。

【０１００】請求項１０に記載の発明によれば、上記の
各発明における吸着板のシール部を極めて簡単に形成す
ることができ、吸着板の製造が容易になる。しかも、シ
ール部の形成に際して封止材料を用いる必要がなくな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の真空チャックを示す断面図。

【図２】図１の真空チャックにおける非吸着時の要部拡
大断面図。

【図３】図１の真空チャックにおける吸着時の要部拡大
断面図。

【図４】第２実施形態の真空チャックを示す断面図。

【図５】第３実施形態の真空チャックを示す断面図。

【図６】第４実施形態の真空チャックを示す断面図。

【図７】第５実施形態の真空チャックを示す断面図。

【図８】従来の真空チャックを示す断面図。

【図９】図８の真空チャックにおける吸着時の要部拡大
断面図。

【図１０】従来の真空チャックを示す断面図。

【図１１】図１０の真空チャックにおける吸着時の要部
拡大断面図。

【符号の説明】

１，５，７，８，９…真空チャック、２…チャック本
体、３…チャック板、４…吸着板、４ａ…非通気層、４
ｂ…通気領域、４ｃ…吸着面（表面）、４ｄ…シール
部、Ｗ…被吸着物としてのウェハ。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ２９Ｋ 105:04 483:00 Ｂ２９Ｌ 7:00

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連
   通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着
   板を、その外周面と外部との空気の流通を禁止した状態
   で、裏面から空気を吸引することにより表面に被吸着物
   を吸着する真空チャックの吸着板において、 前記吸着板の表面の外周領域には、吸着板の厚さよりも
   薄くかつ吸着板の表面と面一となる非通気性のシール部
   を設けた真空チャックの吸着板。
2. 【請求項２】 表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連
   通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着
   板の外周部に空気の流通を遮断する非通気層を形成し、
   吸着板の裏面から空気を吸引することにより表面に被吸
   着物を吸着する真空チャックの吸着板において、 前記吸着板の表面のうち非通気層を除く外周領域には、
   非通気層に連続して吸着板の厚さよりも薄くかつ吸着板
   の表面と面一となる非通気性のシール部を設けた真空チ
   ャックの吸着板。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２のいずれかに記載
   の真空チャックの吸着板において、シール部を、吸着板
   に封止材料を注入することにより構成した真空チャック
   の吸着板。
4. 【請求項４】 請求項２記載の真空チャックの吸着板に
   おいて、非通気層及びシール部を、吸着板に同一の封止
   材料を注入することにより構成した真空チャックの吸着
   板。
5. 【請求項５】 請求項３又は請求項４のいずれかに記載
   の真空チャックの吸着板において、封止材料のヤング率
   を、シール部のヤング率と多孔質体のヤング率とがほぼ
   同等となるように、多孔質体のヤング率に対して十分小
   さなヤング率とした真空チャックの吸着板。
6. 【請求項６】 請求項５記載の真空チャックの吸着板に
   おいて、多孔質体を焼結フッ素樹脂にて形成し、封止材
   料をシリコン樹脂とした真空チャックの吸着板。
7. 【請求項７】 請求項１乃至請求項６のいずれかに記載
   の真空チャックの吸着板において、シール部の厚さを多
   孔質体の粒径よりも小さくならないようにかつほぼ同等
   とした真空チャックの吸着板。
8. 【請求項８】 表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連
   通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着
   板の表面の外周領域に封止材料を塗布する工程と、その
   塗布後に吸着板の表面から封止材料を拭き取る工程と、
   その拭き取り後に吸着板の表面を仕上げ加工する工程と
   を備えた真空チャックの吸着板の製造方法。
9. 【請求項９】 表面が平坦に形成されかつ表裏両面に連
   通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸着
   板の表面の外周領域及び吸着板の外周面に同一の封止材
   料を塗布する工程と、その塗布後に吸着板の表面及び外
   周面から封止材料を拭き取る工程と、その拭き取り後に
   吸着板の表面を仕上げ加工する工程とを備えた真空チャ
   ックの吸着板の製造方法。
10. 【請求項１０】 表面が平坦に形成されかつ表裏両面に
    連通する多数の透孔を有する多孔質体にて形成された吸
    着板の表面の外周領域を加熱することにより溶かし、同
    表面の外周領域に非通気性のシール部を形成する工程
    と、そのシール部の形成後に吸着板の表面を仕上げ加工
    する工程とを備えた真空チャックの吸着板の製造方法。