JPH09162269A - チャックテーブル - Google Patents
チャックテーブルInfo
- Publication number
- JPH09162269A JPH09162269A JP33989095A JP33989095A JPH09162269A JP H09162269 A JPH09162269 A JP H09162269A JP 33989095 A JP33989095 A JP 33989095A JP 33989095 A JP33989095 A JP 33989095A JP H09162269 A JPH09162269 A JP H09162269A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- chuck table
- frame
- frame body
- adsorbent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェーハ等を吸引保持するチャックテーブル
において、枠体からの吸着体の浮き上がりを防止する。 【解決手段】 枠体と吸着体とから構成されるウェーハ
等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸
着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部を形成す
る。吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ状に形成
し、枠体によって吸着体を押える。複数の枠体と吸着体
とが同心円状に配設され、被加工物の径に対応して適宜
被加工物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠
体と吸着体とが交互に押える構成にする。
において、枠体からの吸着体の浮き上がりを防止する。 【解決手段】 枠体と吸着体とから構成されるウェーハ
等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸
着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部を形成す
る。吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ状に形成
し、枠体によって吸着体を押える。複数の枠体と吸着体
とが同心円状に配設され、被加工物の径に対応して適宜
被加工物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠
体と吸着体とが交互に押える構成にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハ等を吸引
保持するチャックテーブルに関する。
保持するチャックテーブルに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェーハ等を切削するダイサーや表面を
研削するサーフェースグラインダー等には、図５(イ) 、
(ロ) に示すようにウェーハＷ等を吸引保持するチャック
テーブルＴ1 が装着され、枠体Ａ1 の凹陥部に吸着体Ｂ
1 が嵌着された構成になっている。又、図６(イ) 、(ロ)
に示すように複数の枠体Ａ2 と吸着体Ｂ2 とが同心円状
に配設され、ウェーハ等の被加工物の径に対応して吸着
領域を選択的に使用できるようにしたチャックテーブル
Ｔ2 も従来存在する。
研削するサーフェースグラインダー等には、図５(イ) 、
(ロ) に示すようにウェーハＷ等を吸引保持するチャック
テーブルＴ1 が装着され、枠体Ａ1 の凹陥部に吸着体Ｂ
1 が嵌着された構成になっている。又、図６(イ) 、(ロ)
に示すように複数の枠体Ａ2 と吸着体Ｂ2 とが同心円状
に配設され、ウェーハ等の被加工物の径に対応して吸着
領域を選択的に使用できるようにしたチャックテーブル
Ｔ2 も従来存在する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来のチャックテ
ーブルＴ1 において、吸着体Ｂ1 は枠体Ａ1 の凹陥部に
接着されているが、経年変化によって接着層の一部が剥
離して吸着体Ｂ1 が浮き上がり、吸引機能を低下させる
のみならず精密切削や精密研磨に悪影響を及ぼすことが
ある。チャックテーブルＴ2 においても同様に、同心円
状に配設された各吸着体Ｂ2は枠体Ａ2 に接着されてい
るが、その接着層の一部が剥離して吸着体Ｂ2 が浮き上
がる問題がある。本発明は、このような従来の問題を解
決するためになされ、接着層の剥離に起因する吸着体の
浮き上がりを防止できるようにしたチャックテーブルを
提供することを目的とする。
ーブルＴ1 において、吸着体Ｂ1 は枠体Ａ1 の凹陥部に
接着されているが、経年変化によって接着層の一部が剥
離して吸着体Ｂ1 が浮き上がり、吸引機能を低下させる
のみならず精密切削や精密研磨に悪影響を及ぼすことが
ある。チャックテーブルＴ2 においても同様に、同心円
状に配設された各吸着体Ｂ2は枠体Ａ2 に接着されてい
るが、その接着層の一部が剥離して吸着体Ｂ2 が浮き上
がる問題がある。本発明は、このような従来の問題を解
決するためになされ、接着層の剥離に起因する吸着体の
浮き上がりを防止できるようにしたチャックテーブルを
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、枠体と吸着体とから
構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブル
において、前記枠体と吸着体との接触部に少なくとも押
え部、被押え部が形成されているチャックテーブルを要
旨とする。又、吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ
状に形成し、枠体によって吸着体を押えること、複数の
枠体と吸着体とが同心円状に配設され、被加工物の径に
対応して適宜被加工物を吸引保持するチャックテーブル
において、前記枠体と吸着体とが交互に押えること、を
要旨とする。
するための手段として、本発明は、枠体と吸着体とから
構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブル
において、前記枠体と吸着体との接触部に少なくとも押
え部、被押え部が形成されているチャックテーブルを要
旨とする。又、吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ
状に形成し、枠体によって吸着体を押えること、複数の
枠体と吸着体とが同心円状に配設され、被加工物の径に
対応して適宜被加工物を吸引保持するチャックテーブル
において、前記枠体と吸着体とが交互に押えること、を
要旨とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳説する。図１(イ) 、(ロ) は第１の実施
の形態を示すもので、リング状に形成された枠体１と吸
着体２と受け板３とを有し、枠体１はその内周面をテー
パ状に形成して押え部１ａが設けられ、吸着体２は外周
面を前記枠体１の押え部１ａに対応するテーパ状に形成
して被押え部２ｂが設けられている。又、受け板３は円
盤状に形成されると共に、複数個の吸引用孔３ａが配設
され、周辺部には複数個の取付用孔３ｂが設けられてい
る。
図面に基づいて詳説する。図１(イ) 、(ロ) は第１の実施
の形態を示すもので、リング状に形成された枠体１と吸
着体２と受け板３とを有し、枠体１はその内周面をテー
パ状に形成して押え部１ａが設けられ、吸着体２は外周
面を前記枠体１の押え部１ａに対応するテーパ状に形成
して被押え部２ｂが設けられている。又、受け板３は円
盤状に形成されると共に、複数個の吸引用孔３ａが配設
され、周辺部には複数個の取付用孔３ｂが設けられてい
る。
【０００６】前記吸着体２は、枠体１と受け板３とを介
してチャックテーブル４の基台４ａに取り付けられる。
即ち、図１(ロ) のように基台４ａの上面に受け板３を載
せ、その上に吸着体２を載置すると共に枠体１を上から
被せ、止めねじ５を枠体１のフランジ部１ｂに形成され
た取付用孔１ｃから前記受け板３の取付用孔３ｂに挿通
し、基台４ａのねじ孔４ｂに螺合締着することにより取
り付けることができる。この際、受け板３の吸引用孔３
ａと基台４ａに配設された吸引経路６とがそれぞれ連通
する。
してチャックテーブル４の基台４ａに取り付けられる。
即ち、図１(ロ) のように基台４ａの上面に受け板３を載
せ、その上に吸着体２を載置すると共に枠体１を上から
被せ、止めねじ５を枠体１のフランジ部１ｂに形成され
た取付用孔１ｃから前記受け板３の取付用孔３ｂに挿通
し、基台４ａのねじ孔４ｂに螺合締着することにより取
り付けることができる。この際、受け板３の吸引用孔３
ａと基台４ａに配設された吸引経路６とがそれぞれ連通
する。
【０００７】このようにしてチャックテーブル４を形成
すると、吸着体２は外周面の被押え部２ｂが枠体１の内
周面の押え部１ａによって押えられ、しかも枠体１の押
え部１ａは前記のように上面側に行くに従って縮径する
テーパ状に形成されているため、吸着体２の浮き上がり
を確実に防止することができる。
すると、吸着体２は外周面の被押え部２ｂが枠体１の内
周面の押え部１ａによって押えられ、しかも枠体１の押
え部１ａは前記のように上面側に行くに従って縮径する
テーパ状に形成されているため、吸着体２の浮き上がり
を確実に防止することができる。
【０００８】図２は本発明の第２の実施の形態を示すも
ので、リング状の枠体１１と吸着体１２と受け板１３と
を有し、枠体１１は内周面が段部状に形成されて押え部
１１ａを設け、吸着体１２は外周面が前記枠体１１の押
え部１１ａに対応して段部状に形成された被押え部１２
ｂを設けてある。受け板１３は前記受け板３と同じく円
盤状に形成されると共に、複数個の吸引用孔１３ａが配
設され、周辺部には複数個の取付用孔１３ｂが設けられ
ている。
ので、リング状の枠体１１と吸着体１２と受け板１３と
を有し、枠体１１は内周面が段部状に形成されて押え部
１１ａを設け、吸着体１２は外周面が前記枠体１１の押
え部１１ａに対応して段部状に形成された被押え部１２
ｂを設けてある。受け板１３は前記受け板３と同じく円
盤状に形成されると共に、複数個の吸引用孔１３ａが配
設され、周辺部には複数個の取付用孔１３ｂが設けられ
ている。
【０００９】この場合も、吸着体１２は枠体１１と受け
板１３とを介して、チャックテーブル１４の基台１４ａ
に止めねじ１５により固定され、受け板１３の吸引用孔
１３ａと基台１４ａに配設された吸引経路１６とがそれ
ぞれ連通する。
板１３とを介して、チャックテーブル１４の基台１４ａ
に止めねじ１５により固定され、受け板１３の吸引用孔
１３ａと基台１４ａに配設された吸引経路１６とがそれ
ぞれ連通する。
【００１０】このようにして形成されたチャックテーブ
ル１４において、吸着体１２は段部状の被押え部１２ｂ
が枠体１１の段部状の押え部１１ａによって押えられ、
しかも枠体１１は押え部１１ａによって上面の孔径が下
面の孔径より小さく形成されているため、吸着体１２の
浮き上がりを確実に防止することができる。
ル１４において、吸着体１２は段部状の被押え部１２ｂ
が枠体１１の段部状の押え部１１ａによって押えられ、
しかも枠体１１は押え部１１ａによって上面の孔径が下
面の孔径より小さく形成されているため、吸着体１２の
浮き上がりを確実に防止することができる。
【００１１】図３は本発明の第３の実施の形態を示すも
ので、複数の吸着体２２と複数の枠体２１、２７とが同
心円状に配設されたタイプのチャックテーブル２４であ
り、吸着体２２及び枠体２１、２７は円盤状の受け板２
３を介してチャックテーブル２４の基台２４ａに止めね
じ２５で固定された構成になっている。この際、受け板
２３の吸引用孔２３ａと基台２４ａに配設された吸引経
路２６とがそれぞれ連通する。
ので、複数の吸着体２２と複数の枠体２１、２７とが同
心円状に配設されたタイプのチャックテーブル２４であ
り、吸着体２２及び枠体２１、２７は円盤状の受け板２
３を介してチャックテーブル２４の基台２４ａに止めね
じ２５で固定された構成になっている。この際、受け板
２３の吸引用孔２３ａと基台２４ａに配設された吸引経
路２６とがそれぞれ連通する。
【００１２】この場合、枠体２１は前記枠体１と同様に
内周面にテーパ状の押え部２１ａが設けられ、吸着体２
２及びリング状の枠体２７は外周面にテーパ状の被押え
部２２ｂ、２７ｂが形成されると共に、内周面にはテー
パ状の押え部２２ａ、２７ａがそれぞれ形成され、交互
に外周面は外側の部材から押え付けられると同時に内周
面は内側の部材を押え付けるという構成にしてある。
内周面にテーパ状の押え部２１ａが設けられ、吸着体２
２及びリング状の枠体２７は外周面にテーパ状の被押え
部２２ｂ、２７ｂが形成されると共に、内周面にはテー
パ状の押え部２２ａ、２７ａがそれぞれ形成され、交互
に外周面は外側の部材から押え付けられると同時に内周
面は内側の部材を押え付けるという構成にしてある。
【００１３】このように形成されたチャックテーブル２
４は、吸着体２２及びリング状の枠体２７をテーパ状押
え部でいずれも押え付けている構造であるため、吸着体
２２の浮き上がりを確実に防止することができる。
４は、吸着体２２及びリング状の枠体２７をテーパ状押
え部でいずれも押え付けている構造であるため、吸着体
２２の浮き上がりを確実に防止することができる。
【００１４】図４は本発明の第４の実施の形態を示すも
ので、これも複数の吸着体３２と複数の枠体３１、３７
とが同心円状に配設されたチャックテーブル３４であ
り、吸着体３２及び枠体３１、３７は円盤状の受け板３
３を介してチャックテーブル３４の基台３４ａに止めね
じ３５で固定されている。この際も、受け板３３の吸引
用孔３３ａと基台３４ａに配設された吸引経路３６とは
それぞれ連通する。
ので、これも複数の吸着体３２と複数の枠体３１、３７
とが同心円状に配設されたチャックテーブル３４であ
り、吸着体３２及び枠体３１、３７は円盤状の受け板３
３を介してチャックテーブル３４の基台３４ａに止めね
じ３５で固定されている。この際も、受け板３３の吸引
用孔３３ａと基台３４ａに配設された吸引経路３６とは
それぞれ連通する。
【００１５】この場合は、枠体３１は前記枠体１１と同
様に内周面に段部状の押え部３１ａが設けられ、吸着体
３２及びリング状の枠体３７の外周面には段部状の被押
え部３２ｂ、３７ｂが形成されると共に、内周面には段
部状の押え部３２ａ、３７ａがそれぞれ形成され、交互
に外周面は外側の部材から押え付けられると同時に内周
面は内側の部材を押え付けるという構成にしてある。
様に内周面に段部状の押え部３１ａが設けられ、吸着体
３２及びリング状の枠体３７の外周面には段部状の被押
え部３２ｂ、３７ｂが形成されると共に、内周面には段
部状の押え部３２ａ、３７ａがそれぞれ形成され、交互
に外周面は外側の部材から押え付けられると同時に内周
面は内側の部材を押え付けるという構成にしてある。
【００１６】このように形成されたチャックテーブル３
４は、吸着体３２及びリング状の枠体３７をいずれも段
部状押え部で押え付けている構造であるため、吸着体３
２の浮き上がりを確実に防止することができる。
４は、吸着体３２及びリング状の枠体３７をいずれも段
部状押え部で押え付けている構造であるため、吸着体３
２の浮き上がりを確実に防止することができる。
【００１７】尚、前記実施の形態においては、いずれも
吸着体及び非吸着体を押え付けただけであるが、これら
を相互に或は枠体又は受け板に接着して固定状態を更に
向上させることも可能である。
吸着体及び非吸着体を押え付けただけであるが、これら
を相互に或は枠体又は受け板に接着して固定状態を更に
向上させることも可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、
吸着体を枠体で押え付ける構成としたので、吸着体の浮
き上がりを確実に防止することができ、これにより吸着
機能の低下を防止すると共に、精密な切削又は研磨を確
保できる等の優れた効果を奏する。
ウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、
吸着体を枠体で押え付ける構成としたので、吸着体の浮
き上がりを確実に防止することができ、これにより吸着
機能の低下を防止すると共に、精密な切削又は研磨を確
保できる等の優れた効果を奏する。
【図１】 本発明の第１の実施の形態を示すもので、
(イ) は要部の分解斜視図、(ロ) はチャックテーブルの概
略断面図である。
(イ) は要部の分解斜視図、(ロ) はチャックテーブルの概
略断面図である。
【図２】 本発明の第２の実施の形態を示すチャックテ
ーブルの概略断面図である。
ーブルの概略断面図である。
【図３】 本発明の第３の実施の形態を示すチャックテ
ーブルの概略断面図である。
ーブルの概略断面図である。
【図４】 本発明の第４の実施の形態を示すチャックテ
ーブルの概略断面図である。
ーブルの概略断面図である。
【図５】 従来のチャックテーブルを示すもので、(イ)
は上部の斜視図、(ロ) は概略断面図である。
は上部の斜視図、(ロ) は概略断面図である。
【図６】 従来の他のチャックテーブルを示すもので、
(イ) は上部の斜視図、(ロ) は概略断面図である。
(イ) は上部の斜視図、(ロ) は概略断面図である。
１…枠体 １ａ…押え部 １ｂ…フランジ部 １ｃ…取付用孔 ２…吸着体 ２ｂ…被押え部 ３…受け板 ３ａ…吸引用孔 ３ｂ…取付用孔 ４…チャックテーブル ４ａ…基台 ４ｂ…ねじ孔 ５…止めねじ ６…吸引経路
Claims (3)
- 【請求項１】 枠体と吸着体とから構成されるウェーハ
等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、前記枠体
と吸着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部が形
成されているチャックテーブル。 - 【請求項２】 吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ
状に形成し、枠体によって吸着体を押える請求項１記載
のチャックテーブル。 - 【請求項３】 複数の枠体と吸着体とが同心円状に配設
され、被加工物の径に対応して適宜被加工物を吸引保持
するチャックテーブルにおいて、前記枠体と吸着体とが
交互に押える請求項１又は２記載のチャックテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33989095A JPH09162269A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | チャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33989095A JPH09162269A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | チャックテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09162269A true JPH09162269A (ja) | 1997-06-20 |
Family
ID=18331783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33989095A Pending JPH09162269A (ja) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | チャックテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09162269A (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11226833A (ja) * | 1998-02-13 | 1999-08-24 | Ckd Corp | 真空チャックの吸着板及びその製造方法 |
| JP2002231745A (ja) * | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バンプボンディング装置 |
| JP2005034863A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 摩擦攪拌接合方法及び装置 |
| JP2006167821A (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-29 | Konica Minolta Opto Inc | 装着物の取り付け方法及びスピンドル装置 |
| JP2012178447A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Kyocera Corp | 吸着用部材 |
| JP2014013802A (ja) * | 2012-07-04 | 2014-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験治具およびそれを用いた半導体試験方法 |
| JP2014200888A (ja) * | 2013-04-05 | 2014-10-27 | ローム株式会社 | 吸引保持装置およびウエハ研磨装置 |
| JP2014212190A (ja) * | 2013-04-18 | 2014-11-13 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
| JP2016051749A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 京セラ株式会社 | 吸着用部材 |
| JP2017195274A (ja) * | 2016-04-20 | 2017-10-26 | 日本特殊陶業株式会社 | 真空吸着装置及びその製造方法 |
| JP2018034299A (ja) * | 2017-11-22 | 2018-03-08 | ローム株式会社 | 吸引保持装置およびウエハ研磨装置 |
| JP2020062722A (ja) * | 2018-10-17 | 2020-04-23 | 株式会社ディスコ | 切削装置のチャックテーブルユニット及び被加工物の分割方法 |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP33989095A patent/JPH09162269A/ja active Pending
Cited By (13)
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050510 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050913 |