JPH11231124A - カラーフィルタ用感放射線性組成物 - Google Patents
カラーフィルタ用感放射線性組成物Info
- Publication number
- JPH11231124A JPH11231124A JP4638398A JP4638398A JPH11231124A JP H11231124 A JPH11231124 A JP H11231124A JP 4638398 A JP4638398 A JP 4638398A JP 4638398 A JP4638398 A JP 4638398A JP H11231124 A JPH11231124 A JP H11231124A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- meth
- acrylate
- acid
- acrylic acid
- copolymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
なプロセスで形成でき、しかも現像処理時の溶解性にも
優れたカラーフィルタ用感放射線性組成物を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタ用感放射線性組成物は、
(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官
能性モノマー、(D)光重合開始剤および(E)2個以
上のエポキシ基を有する化合物を含有することを特徴と
する。
Description
置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタの
製造に使用されるカラーフィルタ用感放射線性組成物に
関する。
等にはカラーフィルタが必須であり、その製造方法とし
ては、従来より、感光性樹脂の塗膜にフォトマスクを介
し放射線を照射して、放射線照射部を硬化させ、その後
現像処理を行なって、塗膜の放射線未照射部を除去して
パターンを形成したのち、染色する方法(染色法)や、
感光性樹脂に着色剤を分散した組成物を用い、前記と同
様に塗膜形成、放射線照射および現像処理を行うフォト
リソグラフィー法等が知られている。このようなカラー
フィルタは、スペーサー等により局所的な荷重を受ける
ため、それに耐えうる充分な硬度が必要である。そし
て、カラーフィルタの硬度を向上させるためには、放射
線の照射により酸を発生する成分を含有し、その酸の作
用により硬化する熱硬化性樹脂組成物を用いることが考
えられるが、この組成物では、放射線照射後に加熱処理
(PEB)等を必要とし、プロセスの数が多くなって生
産性の面で不利である。そこで、PEB等を必要とせ
ず、高い硬度を有するカラーフィルタを簡便なプロセス
で形成しうる感放射線性組成物の開発が望まれていた。
な事情に鑑みてなされたものであり、その課題は、PE
B等の付加工程を必要とせず、高い画素硬度を有するカ
ラーフィルタを簡便なプロセスで形成でき、しかも現像
処理時の溶解性にも優れたカラーフィルタ用感放射線性
組成物を提供することにある。
剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマ
ー、(D)光重合開始剤および(E)2個以上のエポキ
シ基を有する化合物を含有することを特徴とするカラー
フィルタ用感放射線性組成物、からなる。
ものではなく、カラーフィルタの用途に応じて適宜選定
され、有機着色剤および無機着色剤のいずれか一方ある
いは両方を使用することができる。前記有機着色剤とし
ては、染料、有機顔料、天然色素等を挙げることがで
き、また前記無機着色剤としては、無機顔料のほか、体
質顔料と呼ばれる無機塩等を挙げることができるが、カ
ラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が求められるこ
とから、本発明における着色剤としては、発色性が高
く、且つ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着
色剤が好ましく、具体的には有機顔料が好ましい。前記
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス(C.
I.;The Society ofDyers and Colourists 社発行) に
おいてピグメント(Pigment)に分類されている種々の化
合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス
(C.I.)番号が付されているものを挙げることができ
る。即ち、C.I.ピグメントイエロー1、C.I.ピグメント
イエロー3、C.I.ピグメントイエロー12、C.I.ピグメ
ントイエロー13、C.I.ピグメントイエロー14、C.I.
ピグメントイエロー15、C.I.ピグメントイエロー1
6、C.I.ピグメントイエロー17、C.I.ピグメントイエ
ロー20、C.I.ピグメントイエロー24、C.I.ピグメン
トイエロー31、C.I.ピグメントイエロー55、C.I.ピ
グメントイエロー60、C.I.ピグメントイエロー61、
C.I.ピグメントイエロー65、C.I.ピグメントイエロー
71、C.I.ピグメントイエロー73、C.I.ピグメントイ
エロー74、C.I.ピグメントイエロー81、C.I.ピグメ
ントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー93、C.I.
ピグメントイエロー95、C.I.ピグメントイエロー9
7、C.I.ピグメントイエロー98、C.I.ピグメントイエ
ロー100、C.I.ピグメントイエロー101、C.I.ピグ
メントイエロー104、C.I.ピグメントイエロー10
6、C.I.ピグメントイエロー108、C.I.ピグメントイ
エロー109、C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピ
グメントイエロー113、C.I.ピグメントイエロー11
4、C.I.ピグメントイエロー116、C.I.ピグメントイ
エロー117、C.I.ピグメントイエロー119、C.I.ピ
グメントイエロー120、C.I.ピグメントイエロー12
6、C.I.ピグメントイエロー127、C.I.ピグメントイ
エロー128、C.I.ピグメントイエロー129、C.I.ピ
グメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー13
9、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイ
エロー151、C.I.ピグメントイエロー152、C.I.ピ
グメントイエロー153、C.I.ピグメントイエロー15
4、C.I.ピグメントイエロー155、C.I.ピグメントイ
エロー156、C.I.ピグメントイエロー166、C.I.ピ
グメントイエロー168、C.I.ピグメントイエロー17
5;C.I.ピグメントオレンジ1、C.I.ピグメントオレン
ジ5、C.I.ピグメントオレンジ13、C.I.ピグメントオ
レンジ14、C.I.ピグメントオレンジ16、C.I.ピグメ
ントオレンジ17、C.I.ピグメントオレンジ24、C.I.
ピグメントオレンジ34、C.I.ピグメントオレンジ3
6、C.I.ピグメントオレンジ38、C.I.ピグメントオレ
ンジ40、C.I.ピグメントオレンジ43、C.I.ピグメン
トオレンジ46、C.I.ピグメントオレンジ49、C.I.ピ
グメントオレンジ51、C.I.ピグメントオレンジ61、
C.I.ピグメントオレンジ63、C.I.ピグメントオレンジ
64、C.I.ピグメントオレンジ71、C.I.ピグメントオ
レンジ73;
レッド2、C.I.ピグメントレッド3、C.I.ピグメントレ
ッド4、C.I.ピグメントレッド5、C.I.ピグメントレッ
ド6、C.I.ピグメントレッド7、C.I.ピグメントレッド
8、C.I.ピグメントレッド9、C.I.ピグメントレッド1
0、C.I.ピグメントレッド11、C.I.ピグメントレッド
12、C.I.ピグメントレッド14、C.I.ピグメントレッ
ド15、C.I.ピグメントレッド16、C.I.ピグメントレ
ッド17、C.I.ピグメントレッド18、C.I.ピグメント
レッド19、C.I.ピグメントレッド21、C.I.ピグメン
トレッド22、C.I.ピグメントレッド23、C.I.ピグメ
ントレッド30、C.I.ピグメントレッド31、C.I.ピグ
メントレッド32、C.I.ピグメントレッド37、C.I.ピ
グメントレッド38、C.I.ピグメントレッド40、C.I.
ピグメントレッド41、C.I.ピグメントレッド42、C.
I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメントレッド4
8:2、C.I.ピグメントレッド48:3、C.I.ピグメン
トレッド48:4、C.I.ピグメントレッド49:1、C.
I.ピグメントレッド49:2、C.I.ピグメントレッド5
0:1、C.I.ピグメントレッド52:1、C.I.ピグメン
トレッド53:1、C.I.ピグメントレッド57、C.I.ピ
グメントレッド57:1、C.I.ピグメントレッド57:
2、C.I.ピグメントレッド58:2、C.I.ピグメントレ
ッド58:4、C.I.ピグメントレッド60:1、C.I.ピ
グメントレッド63:1、C.I.ピグメントレッド63:
2、C.I.ピグメントレッド64:1、C.I.ピグメントレ
ッド81:1、C.I.ピグメントレッド83、C.I.ピグメ
ントレッド88、C.I.ピグメントレッド90:1、C.I.
ピグメントレッド97、C.I.ピグメントレッド101、
C.I.ピグメントレッド102、C.I.ピグメントレッド1
04、C.I.ピグメントレッド105、C.I.ピグメントレ
ッド106、C.I.ピグメントレッド108、C.I.ピグメ
ントレッド112、C.I.ピグメントレッド113、C.I.
ピグメントレッド114、C.I.ピグメントレッド12
2、C.I.ピグメントレッド123、C.I.ピグメントレッ
ド144、C.I.ピグメントレッド146、C.I.ピグメン
トレッド149、C.I.ピグメントレッド150、C.I.ピ
グメントレッド151、C.I.ピグメントレッド166、
C.I.ピグメントレッド168、C.I.ピグメントレッド1
70、C.I.ピグメントレッド171、C.I.ピグメントレ
ッド172、C.I.ピグメントレッド174、C.I.ピグメ
ントレッド175、C.I.ピグメントレッド176、C.I.
ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド17
8、C.I.ピグメントレッド179、C.I.ピグメントレッ
ド180、C.I.ピグメントレッド185、C.I.ピグメン
トレッド187、C.I.ピグメントレッド188、C.I.ピ
グメントレッド190、C.I.ピグメントレッド193、
C.I.ピグメントレッド194、C.I.ピグメントレッド2
02、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレ
ッド207、C.I.ピグメントレッド208、C.I.ピグメ
ントレッド209、C.I.ピグメントレッド215、C.I.
ピグメントレッド216、C.I.ピグメントレッド22
0、C.I.ピグメントレッド224、C.I.ピグメントレッ
ド226、C.I.ピグメントレッド242、C.I.ピグメン
トレッド243、C.I.ピグメントレッド245、C.I.ピ
グメントレッド254、C.I.ピグメントレッド255、
C.I.ピグメントレッド264、C.I.ピグメントレッド2
65;C.I.ピグメントバイオレット1、C.I.ピグメント
バイオレット19、C.I.ピグメントバイオレット23、
C.I.ピグメントバイオレット29、C.I.ピグメントバイ
オレット32、C.I.ピグメントバイオレット36、C.I.
ピグメントバイオレット38;C.I.ピグメントブルー1
5、C.I.ピグメントブルー15:3、C.I.ピグメントブ
ルー15:4、C.I.ピグメントブルー15:6、C.I.ピ
グメントブルー60;C.I.ピグメントグリーン7、C.I.
ピグメントグリーン36;C.I.ピグメントブラウン2
3、C.I.ピグメントブラウン25;C.I.ピグメントブラ
ック1、ピグメントブラック7。
体例としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシ
ウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤
色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロ
ム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄
黒、カーボンブラック等を挙げることができる。前記各
顔料は、場合により、顔料粒子の表面をポリマーで改質
して使用することができる。顔料粒子の表面を改質する
ためのポリマーとしては、例えば、特開平8−2598
76号公報等に記載されているポリマーや、市販の顔料
分散用の各種のポリマーまたはオリゴマーを挙げること
ができる。本発明において、着色剤は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。さらに、本発
明における着色剤は、所望により、分散剤とともに使用
することができる。このような分散剤としては、公知の
分散剤が広く使用することができるが、その例として
は、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性、シリ
コーン系、フッ素系等の界面活性剤を挙げることができ
る。前記界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチ
レンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリル
エーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポ
リオキシエチレンアルキルエーテル類;ポリオキシエチ
レンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノ
ニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキル
フェニルエーテル類;ポリエチレングリコールジラウレ
ート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリ
エチレングリコールジエステル類;ソルビタン脂肪酸エ
ステル類;脂肪酸変性ポリエステル類;3級アミン変性
ポリウレタン類;ポリエチレンイミン類等を挙げること
ができ、また商品名では、例えば、KP(信越化学工業
製)、ポリフロー(共栄社油脂化学工業製)、エフトッ
プ(トーケムプロダクツ製)、メガファック(大日本イ
ンキ化学工業製)、フロラード(住友スリーエム製)、
アサヒガード、サーフロン(旭硝子製)等を挙げること
ができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。界面活性剤の使用
量は、着色剤100重量部に対して、通常、30重量部
以下、好ましくは0〜20重量部である。
色剤に対してバインダーとして作用し、かつブラックマ
トリックスおよびスペーサーを製造する際に用いられる
現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に可溶性である
限り、適宜の樹脂を使用することができる。本発明にお
ける好ましいアルカリ可溶性樹脂は、カルボキシル基を
含有する樹脂であり、特に、1個以上のカルボキシル基
を有するエチレン性不飽和モノマー(以下、単に「カル
ボキシル基含有不飽和モノマー」という。)と他の共重
合可能なエチレン性不飽和モノマー(以下、単に「他の
不飽和モノマー」という。)との共重合体(以下、単に
「カルボキシル基含有共重合体」という。)が好まし
い。カルボキシル基含有不飽和モノマーとしては、例え
ば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、α−クロ
ルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類;
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、
無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メ
サコン酸等の不飽和ジカルボン酸(無水物)類;3価以
上の不飽和多価カルボン酸(無水物)類;こはく酸モノ
(2−アクリロイロキシエチル)、こはく酸モノ(2−
メタクリロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−アク
リロイロキシエチル)、フタル酸モノ(2−メタクリロ
イロキシエチル)等の非重合性ジカルボン酸のモノ(2
−アクリロイロキシエチル)エステルまたはモノ(2−
アクリロイロキシエチル)エステル類;ω−カルボキシ
−ポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキ
シ−ポリカプロラクトンモノメタクリレート等を挙げる
ことができる。これらのカルボキシル基含有エチレン性
不飽和モノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。
ば、スチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエ
ン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−ク
ロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシス
チレン、p−メトキシスチレン、インデン、p−ビニル
ベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジ
ルエーテル等の芳香族ビニル化合物;メチルアクリレー
ト、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチ
ルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プ
ロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i
−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、
n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、
i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレー
ト、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルアクリ
レート、t−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエ
チルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロ
キシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピル
アクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレー
ト、2−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキ
シブチルメタクリレート、3−ヒドロキシブチルアクリ
レート、3−ヒドロキシブチルメタクリレート、4−ヒ
ドロキシブチルアクリレート、4−ヒドロキシブチルメ
タクリレート、アリルアクリレート、アリルメタクリレ
ート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレー
ト、フェニルアクリレート、フェニルメタクリレート、
メトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシ
ジエチレングリコールメタクリレート、メトキシトリエ
チレングリコールアクリレート、メトキシトリエチレン
グリコールメタクリレート、メトキシジプロピレングリ
コールアクリレート、メトキシジプロピレングリコール
メタクリレート、グリセリンモノアクリレート、グリセ
リンモノメタクリレート等の不飽和カルボン酸エステル
類;2−アミノエチルアクリレート、2−アミノエチル
メタクリレート、2−ジメチルアミノエチルアクリレー
ト、2−ジメチルアミノエチルメタクリレート、2−ア
ミノプロピルアクリレート、2−アミノプロピルメタク
リレート、2−ジメチルアミノプロピルアクリレート、
2−ジメチルアミノプロピルメタクリレート、3−アミ
ノプロピルアクリレート、3−アミノプロピルメタクリ
レート、3−ジメチルアミノプロピルアクリレート、3
−ジメチルアミノプロピルメタクリレート等の不飽和カ
ルボン酸アミノアルキルエステル類;グリシジルアクリ
レート、グリシジルメタクリレート等の不飽和カルボン
酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロピオン酸ビ
ニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニ
ルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエ
ーテル、アリルグリシジルエーテル、メタクリルグリシ
ジルエーテル等の不飽和エーテル類;アクリロニトリ
ル、メタクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリ
ル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物;ア
クリルアミド、メタクリルアミド、α−クロロアクリル
アミド、N−2−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N
−2−ヒドロキシエチルメタクリルアミド、N−メチロ
ールアクリルアミド、N−メチロールメタクリルアミド
等の不飽和アミド類;N−シクロヘキシルマレイミド、
N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニル
マレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、
N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−メチ
ルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイ
ミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メ
トキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニル
マレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等の
N−置換マレイミド類;1,3−ブタジエン、イソプレ
ン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類;ポリスチレ
ン、ポリメチルアクリレート、ポリメチルメタクリレー
ト、ポリ−n−ブチルアクリレート、ポリ−n−ブチル
メタクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖末端
にモノアクリロイル基あるいはモノメタクリロイル基を
有するマクロモノマー類等を挙げることができる。これ
らの他の不飽和モノマーは、単独でまたは2種以上を混
合して使用することができる。
に、アクリル酸および/またはメタクリル酸を必須成
分とし、場合により、こはく酸モノ(2−アクリロイロ
キシエチル)および/またはこはく酸モノ(2−メタク
リロイロキシエチル)を含有するカルボキシル基含有不
飽和モノマーと、スチレン、メチルアクリレート、メ
チルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレー
ト、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、ベンジルア
クリレート、ベンジルメタクリレート、フェニルアクリ
レート、フェニルメタクリレート、グリセリンモノアク
リレート、グリセリンモノメタクリレート、N−フェニ
ルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマーおよびポリ
メチルメタクリレートマクロモノマーの群から選ばれる
少なくとも1種との共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(I)」という。)が好ましい。
例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/
メチル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/メチル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/メチル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタ
クリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレ
ート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体からなる二元ないし三元共重合体(以下、「カルボキ
シル基含有共重合体(Ia)」という。);
ル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン
/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N−フェ
ニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセ
リンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリ
レート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモ
ノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリメチル
メタクリレートマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェ
ニル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレ
ンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)ア
クリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー
共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマク
ロモノマー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体からなる四元共重合体(以下、「カルボキシル基含有
共重合体(Ib)」という。);
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリ
スチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フェ
ニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレン/フェニ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/スチレン/メチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/スチレン/メチル(メタ)アクリレート/フェニ
ル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/メ
チル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共
重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)
アクリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/スチレン/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/スチレン/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ベ
ンジル(メタ)アクリレート共重合体、
タ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メタ)アクリ
レート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)ア
クリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチ
レン/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/ベンジル(メ
タ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/スチレン/フェニル(メタ)アクリレート/
ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリ
ル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン
/フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリ
レートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/スチレン/N−
フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重
合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/スチレン/N−フェニルマレイミド/ポリ
メチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メ
タ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/2−
ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アク
リレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フ
ェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アク
リル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル
酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレー
ト/メチル(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレー
ト/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレ
イミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
フェニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/メチル(メタ)アクリレート/
フェニル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレ
ートマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/メチル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミ
ド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)ア
クリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/メチ
ル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポ
リメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
タ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキ
シエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アク
リレート共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモ
ノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジ
ル(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマ
クロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸
モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセ
リンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メ
タ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニ
ルマレイミド共重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メタ)アク
リル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/2−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレート
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく
酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリ
セリンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/N−フェニルマレイミド共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル(メ
タ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アク
リレート/ベンジル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/ポリメチルメタクリレートマク
ロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モ
ノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリ
ンモノ(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリ
レート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)ア
クリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキ
シエチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/ベ
ンジル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノ
マー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2
−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
タ)アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N
−フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマー共
重合体、(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)
アクリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/N−フ
ェニルマレイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモ
ノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリン
モノ(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレ
ート/N−フェニルマレイミド共重合体、(メタ)アク
リル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕/グリセリンモノ(メタ)アクリレート/フェ
ニル(メタ)アクリレート/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレ
ート/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、(メ
タ)アクリル酸/グリセリンモノ(メタ)アクリレート
/フェニル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイ
ミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕/グリセリンモノ(メタ)ア
クリレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマ
クロモノマー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/こ
はく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕/
グリセリンモノ(メタ)アクリレート/N−フェニルマ
レイミド/ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共
重合体からなる五元共重合体(以下、「カルボキシル基
含有共重合体(Ic)」という。);
ロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)
アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリスチレン
マクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/スチレ
ン/2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベン
ジル(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/
ポリメチルメタクリレートマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/スチレン/2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート/フェニル(メタ)アクリレート
/N−フェニルマレイミド/ポリスチレンマクロモノマ
ー共重合体あるいは(メタ)アクリル酸/スチレン/2
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/フェニル
(メタ)アクリレート/N−フェニルマレイミド/ポリ
メチルメタクリレートマクロモノマー共重合体からなる
六元共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(Id)」という。)等を挙げることができる。
ボキシル基含有不飽和モノマーの共重合割合は、通常、
5〜50重量%、好ましくは10〜40重量%である。
この場合、カルボキシル基含有不飽和モノマーの共重合
割合が5重量%未満では、得られる感放射線性組成物の
アルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向があり、
一方50重量%を超えると、得られる感放射線性組成物
のアルカリ現像液に対する溶解性が過大となり、当該ア
ルカリ現像液による現像時に、形成された画素が基板か
ら脱落しやすくなったり、また画素表面の膜荒れを生じ
やすくなったりする傾向がある。本発明におけるアルカ
リ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィ
(GPC;溶出溶媒テトラヒドロフラン)で測定したポ
リスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う。)は、好ましくは1,000〜1,000,00
0、さらに好ましくは5,000〜100,000であ
る。このような重量平均分子量を有するアルカリ可溶性
樹脂を使用することにより、現像性に優れた感放射線性
組成物が得られ、それにより、シャープなパターンエッ
ジを有する画素アレイを形成することができるととも
に、現像処理時に基板上の画素を形成する部分以外の領
域における地汚れ、膜残り等が発生し難いものとなる。
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。本発明におけるアルカリ可溶性樹脂の使用量は、
(A)着色剤100重量部に対して、通常、10〜10
00重量部、好ましくは20〜500重量部である。こ
の場合、アルカリ可溶性樹脂の使用量が10重量部未満
では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、基板上の
画素が形成される部分以外の領域で地汚れや膜残りが発
生するおそれがあり、一方1000重量部を超えると、
相対的に着色剤濃度が低下するため、カラーフィルタに
要求される色濃度を達成することが困難となる場合があ
る。
ン性不飽和結合を2個以上有するモノマーからなる。こ
のような多官能性モノマーとしては、例えば、エチレン
グリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリ
コールのジアクリレートまたはジメタクリレート類;ポ
リエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等の
ポリアルキレングリコールのジアクリレートまたはジメ
タクリレート類;グリセリン、トリメチロールプロパ
ン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等
の3価以上の多価アルコールのポリアクリレートまたは
ポリメタクリレート類や、それらのジカルボン酸変性
物;ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アル
キド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴア
クリレートまたはオリゴメタクリレート類;両末端ヒド
ロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロキシポ
リイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等
の両末端ヒドロキシル化重合体のジアクリレートまたは
ジメタクリレート類のほか、トリスアクリロイルオキシ
エチルフォスフェート、トリスメタクリロイルオキシエ
チルフォスフェート等を挙げることができる。
上の多価アルコールのポリアクリレートまたはポリメタ
クリレート類が好ましく、具体的には、トリメチロール
プロパントリアクリレート、トリメチロールプロパント
リメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペン
タエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリ
トールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトール
ペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメ
タクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、
こはく酸変性ペンタエリスリトールトリアクリレート、
こはく酸変性ペンタエリスリトールトリメタクリレート
等を挙げることができ、特に、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールヘキサアクリレートが、画素強度
が高く、画素表面の平滑性に優れ、かつ基板上の画素が
形成される部分以外の領域で地汚れや膜残りが発生し難
い点で好ましい。本発明において、多官能性モノマー
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。
マーと共に、必要に応じて、単官能性モノマーを併用す
ることができる。このような単官能性モノマーとして
は、例えば、前記カルボキシル基含有共重合体について
例示したカルボキシル基含有不飽和モノマーおよび共重
合性不飽和モノマーを挙げることができる。これらの単
官能性モノマーは、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。単官能性モノマーの使用割合は、
多官能性モノマーと単官能性モノマーとの合計に対し
て、通常、0〜90重量%、好ましくは0〜50重量%
である。この場合、単官能性モノマーの使用割合が90
重量%を超えると、得られる画素の強度あるいは表面平
滑性が低下する傾向がある。本発明における多官能性モ
ノマーと単官能性モノマーとの合計の使用量は、(B)
アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、通常、5〜
500重量部、好ましくは20〜300重量部である。
この場合、前記使用量が5重量部未満では、得られる画
素の強度あるいは表面平滑性が低下する傾向があり、一
方500重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が
低下したり、基板上の画素が形成される部分以外の領域
で地汚れや膜残りが発生しやすくなる傾向がある。
は結合の開裂を生じ、ラジカル、アニオン、カチオン等
の、前記(C)多官能性モノマーの重合を開始すること
ができる活性種を発生する化合物を意味する。このよう
な光重合開始剤としては、例えば、イミダゾール環を有
する化合物、ベンゾイン結合を有する化合物、他の光ラ
ジカル発生剤、トリハロメチル基を有する化合物等を挙
げることができる。前記イミダゾール環を有する化合物
の具体例としては、下記一般式(1)で表される化合物
(以下、「ビイミダゾール系化合物(1)」とい
う。)、下記一般式(2)で表される化合物(以下、
「ビイミダゾール系化合物(2)」という。)等を挙げ
ることができる。
ハロゲン原子、シアノ基、炭素数1〜4のアルキル基ま
たは炭素数6〜9のアリール基を示し、複数存在するX
は相互に同一でも異なってもよく、Aは−COO-R1 (但
し、R1 は炭素数1〜4のアルキル基または炭素数6〜
9のアリール基を示す。)を示し、複数存在するAは相
互に同一でも異なってもよく、mは1〜3の整数、nは
1〜3の整数である。〕
びX3 は相互に独立に水素原子、ハロゲン原子、シアノ
基、炭素数1〜4のアルキル基または炭素数6〜9のア
リール基を示す。但し、X1 、X2 およびX3 のうち2
個以上が同時に水素原子をとることはない。〕 一般式(1)および一般式(2)におけるX、X1 、X
2 およびX3 のハロゲン原子としては、例えば、塩素原
子、臭素原子、よう素原子等を挙げることができ、炭素
数1〜4のアルキル基としては、例えば、メチル基、エ
チル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル
基、i−ブチル基、t−ブチル基等を挙げることがで
き、炭素数6〜9のアリール基としては、例えば、フェ
ニル基、o−トリル基、m−トリル基、p−トリル基等
を挙げることができる。また、一般式(1)において、
Aの−COO-R1 におけるR1 としては、X、X1 、X2
およびX3 について例示した炭素数1〜4のアルキル基
および炭素数6〜9のアリール基と同様の基を挙げるこ
とができる。一般式(1)および一般式(2)は、2個
のイミダゾール単位が1位または2位で相互に結合した
構造を一般的に表している。したがって、ビイミダゾー
ル系化合物(1)およびビイミダゾール系化合物(2)
は、それらの主要骨格が下記式(3)〜(5)に相当す
る化合物の単独あるいは2種以上の混合物である。
ミダゾール系化合物(2)の具体例を示すと、次のとお
りである。ビイミダゾール系化合物(1)としては、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’──テトラキス(4−エトキシカルボニルフェ
ニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
キス(4−フェノキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エ
トキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4,6−トリクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニルフェ
ニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2−シアノフェニル)−4,4’,5.5’−テトラ
キス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−
ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−シアノフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2
−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス
(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2−メチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカル
ボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−エ
チルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4
−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2−エチルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−
ビス(2−フェニルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラキス(4−メトキシカルボニルフェニル)−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−フェニル
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エ
トキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2−フェニルフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−フェノキシカルボニ
ルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール等を挙げるこ
とができる。
ては、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−
ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェ
ニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス
(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4−ジシアノフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリシアノフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジメ
チルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,
4,6−トリメチルフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’
−ビス(2,4−ジエチルフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、
2,2’−ビス(2,4,6−トリエチルフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジフェニルフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−
トリフェニルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ
フェニル−1,2’−ビイミダゾール等を挙げることが
できる。
(1)としては、特に2,2’−ビス(2−クロルフェ
ニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキ
シカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾールお
よび2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾールが好ましく、ま
たビイミダゾール系化合物(2)としては、特に2,
2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジブロモ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールおよび2,2’−ビス(2,
4,6−トリブロモフェニル)−4,4’,5,5’−
テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールが好まし
い。ビイミダゾール系化合物(1)およびビイミダゾー
ル系化合物(2)は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶
解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度
が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十
分進行させるとともに、コントラストが高く、未露光部
で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、
現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高
い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、パタ
ーンの欠落、欠損やアンダーカットのない優れたブラッ
クマトリックスおよびスペーサーを形成することができ
る。
および他の光ラジカル発生剤の具体例としては、2−ヒ
ドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オ
ン、1−(4−i−プロピルフェニル)−2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロパン−1−オン、4−(2−ヒドロ
キシエトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロ
ピル)ケトン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニル
ケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェ
ノン、2−メチル−(4−メチルチオフェニル)−2−
モルフォリノ−1−プロパン−1−オン、2−ベンジル
−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニ
ル)ブタン−1−オン、ベンゾフェノン、3,3’−ジ
メチル−4−メトキシベンゾフェノン、2,4−ジエチ
ルチオキサントン、4−アジドベンズアルデヒド、4−
アジドアセトフェノン、4−アジドベンザルアセトフェ
ノン、アジドピレン、4−ジアゾジフェニルアミン、4
−ジアゾ−4’−メトキシジフェニルアミン、4−ジア
ゾ−3−メトキシジフェニルアミン、ビス(2,6−ジ
メトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチ
ルフォスフィンオキサイド、ジベンゾイル、ベンゾイン
イソブチルエーテル、N−フェニルチオアクリドン、ト
リフェニルピリリウムパークロレート等を挙げることが
できる。さらに、前記トリハロメチル基を有する化合物
の具体例としては、1,3,5−トリス(トリクロロメ
チル)−s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメ
チル)−5−(2’−クロロフェニル)−s−トリアジ
ン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−5−(4’−
クロロフェニル)−s−トリアジン、1,3−ビス(ト
リクロロメチル)−5−(2’−メトキシフェニル)−
s−トリアジン、1,3−ビス(トリクロロメチル)−
5−(4’−メトキシフェニル)−s−トリアジン等を
挙げることができる。これらのベンゾイン結合を有する
化合物、他の光ラジカル発生剤およびトリハロメチル基
を有する化合物のうち、2−ヒドロキシ−2−メチル−
1−フェニルプロパン−1−オン、2−メチル−(4−
メチルチオフェニル)−2−モルフォリノ−1−プロパ
ン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1
−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1−オン等
が、形成されたパターンが現像時に基板から脱離し難
く、パターン強度および感度も高い点で好ましい。本発
明において、光重合開始剤は、単独でまたは2種以上を
組み合せて使用することができる。
重合開始剤と共に、増感剤、硬化促進剤および高分子化
合物からなる光架橋剤あるいは光増感剤(以下、「高分
子光架橋・増感剤」という。)の群から選ばれる1種以
上をさらに併用することもできる。前記増感剤の具体例
としては、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフ
ェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチ
ルアミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミ
ノベンゾエート、2−エチルヘキシル−1,4−ジメチ
ルアミノベンゾエート、2,5−ビス(4’−ジエチル
アミノベンザル)シクロヘキサノン、7−ジエチルアミ
ノ−3−(4−ジエチルアミノベンゾイル)クマリン、
4−(ジエチルアミノ)カルコン等を挙げることができ
る。また、前記硬化促進剤の具体例としては、2−メル
カプトベンゾイミダゾール、2−メルカプトベンゾチア
ゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2,5−
ジメルカプト−1,3,4−チアジアゾール、2−メル
カプト−4,6−ジメチルアミノピリジン、1−フェニ
ル−5−メルカプト−1H−テトラゾール、3−メルカ
プト−4−メチル−4H−1,2,4−トリアゾール等
の連鎖移動剤を挙げることができる。さらに、前記高分
子光架橋・増感剤は、光架橋剤および/または光増感剤
として機能しうる官能基を主鎖および/または側鎖中に
有する高分子化合物であり、その具体例としては、4−
アジドベンズアルデヒドとポリビニルアルコールとの縮
合物、4−アジドベンズアルデヒドとフェノールノボラ
ック樹脂との縮合物、4−アクリロイルフェニルシンナ
モイルエステルの単独重合体あるいは共重合体、1,4
−ポリブタジエン、1,2−ポリブタジエン等を挙げる
ことができる。前記増感剤、硬化促進剤および高分子光
架橋・増感剤のうち、4,4’−ビス(ジメチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノンおよび2−メルカプトベンゾチアゾ
ールが、形成されたパターンが現像時に基板から脱落し
難く、パターン強度および感度も高い点で好ましい。
ビイミダゾール系化合物(1)およびビイミダゾール系
化合物(2)の群から選ばれる1種以上と、ベンゾフェ
ノン系のベンゾイン結合を有する化合物、ベンゾフェノ
ン系の他の光ラジカル発生剤、ベンゾフェノン系の増感
剤およびチアゾール系の硬化促進剤の群から選ばれる1
種以上とを組み合わせて使用することが特に好ましい。
前記特に好ましい組み合わせの具体例としては、2,
2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,
5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)
−1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2−クロ
ロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−
エトキシカルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン/2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ルフォリノフェニル)ブタン−1−オン、2,2’−ビ
ス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボ
ニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾール/4,4’
−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン/1−ヒドロ
キシシクロヘキシルフェニルケトン/2−メルカプトベ
ンゾチアゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフ
ェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,
2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、2,2’−ビス(2,4−ジブロ
モフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジエチル
アミノ)ベンゾフェノン/2−ベンジル−2−ジメチル
アミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタン−1
−オン、2,2’−ビス(2,4−ジブロモフェニル)
−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビ
イミダゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベン
ゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)
ベンゾフェノン/1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニ
ルケトン/2−メルカプトベンゾチアゾール等を挙げる
ことができる。
化合物、他の光ラジカル発生剤、トリハロメチル基を有
する化合物の合計使用割合は、光重合開始剤全体の80
重量%以下であることが好ましく、また増感剤および硬
化促進剤の合計使用割合は、光重合開始剤全体の80重
量%以下であることが好ましく、さらに高分子光架橋・
増感剤の使用割合は、ビイミダゾール系化合物(1)お
よびビイミダゾール系化合物(2)の合計100重量部
に対して、通常、200重量部以下、好ましくは0.0
1〜200重量部、さらに好ましくは50〜180重量
部である。本発明における光重合開始剤の使用量は、
(C)多官能性モノマーと必要に応じて用いられる単官
能性モノマーとの合計100重量部に対して、通常、
0.01〜200重量部、好ましくは1〜120重量
部、特に好ましくは1〜50重量部である。この場合、
光重合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、放射
線照射による硬化が不十分となり、所定のパターン配置
に従った画素アレイを形成することが困難となったり、
パターンにアンダーカットを生じるおそれがあり、一方
200重量部を超えると、形成された画素パターンが現
像時に基板から脱落しやすく、また基板上の画素が形成
される部分以外の領域で地汚れや膜残りが発生しやすく
なる傾向がある。
物 本発明における2個以上のエポキシ基を有する化合物
(以下、「多官能性エポキシ化合物」という。)は、熱
の作用、例えばカラーフィルターの形成工程におけるプ
リベークにより、感放射線性組成物の硬化反応を生起す
る作用を奏する成分である。多官能性エポキシ化合物
は、低分子化合物でも高分子化合物でもよく、その例と
しては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビス
フェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポ
キシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノ
ボラック型エポキシ樹脂、環式脂肪族系エポキシ樹脂、
複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グ
リシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹
脂;前記エポキシ樹脂の臭素化誘導体や、トリス(グリ
シジルフェニル)メタン、トリグリシジルイソシアヌレ
ート等を挙げることができる。これらの多官能性エポキ
シ化合物のうち、ビスフェニルA系エポキシ樹脂、水素
化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ノボラック型エポ
キシ樹脂、環式脂肪族系エポキシ樹脂、グリシジルエス
テル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、トリス(グリシ
ジルフェニル)メタン等のエポキシ基を2〜100個有
する化合物が、カラーフィルタの硬度が高く、かつ感放
射線性組成物の現像性に対する悪影響が少ない点で好ま
しい。本発明において、特に好ましい多官能性エポキシ
化合物は、下記式(6)〜(13)で表される化合物で
ある。
またはメチル基を示し、jは1〜100の整数であ
る。)
式(13)で表される化合物はそれぞれ、i、jあるい
はkの値が異なる2種以上の化合物の混合物であること
もできる。本発明において、多官能性エポキシ化合物
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。本発明における多官能性エポキシ化合物の使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、1〜80重量部、好ましくは5〜40重量部であ
る。この場合、多官能性エポキシ化合物の使用量が1重
量部未満では、本発明における画素硬度の改善効果が低
下する傾向があり、一方80重量部を超えると、画素が
形成される部分以外の領域で、地汚れや膜残りを生じや
すくなる傾向がある。
は、必要に応じて、種々の他の添加剤を含有することも
できる。前記他の添加剤としては、感放射線性組成物の
アルカリ現像液に対する溶解性をより改善し、かつ現像
処理後の未溶解物の残存をより少なくする作用を有する
有機酸を挙げることができる。このような有機酸として
は、分子量が1000以下である、脂肪族カルボン酸あ
るいはフェニル基含有カルボン酸が好ましい。前記脂肪
族カルボン酸の具体例としては、ぎ酸、酢酸、プロピオ
ン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル
酢酸、エナント酸、カプリル酸等のモノカルボン酸類;
しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン
酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン
酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジ
メチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラメチルこはく
酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコン酸、シトラ
コン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン酸等のジカル
ボン酸類;トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロ
ン酸等のトリカルボン酸類等を挙げることができる。ま
た、前記フェニル基含有カルボン酸としては、カルボキ
シル基が直接フェニル基に結合した芳香族カルボン酸
や、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニル基に結合
したカルボン酸等を挙げることができ、それらの具体例
としては、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト
酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸類;フタル
酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の芳香族ジカルボン
酸類;トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、
ピロメリット酸等の3価以上の芳香族ポリカルボン酸類
や、フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロけい皮
酸、マンデル酸、フェニルこはく酸、アトロパ酸、けい
皮酸、シンナミリデン酸、クマル酸、ウンベル酸等を挙
げることができる。
ン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン
酸、フタル酸等の脂肪族ジカルボン酸類および芳香族ジ
カルボン酸類が、アルカリ溶解性、後述する溶媒に対す
る溶解性、基板上の画素が形成される部分以外の領域で
の地汚れや膜残りの防止等の観点から好ましい。前記有
機酸は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。有機酸の使用量は、後述する溶媒を含む感放
射線性組成物に対して、通常、10重量%以下、好まし
くは10重量%以下、さらに好ましくは1重量%以下で
ある。この場合、有機酸の使用量が10重量%を超える
と、形成された画素の基板に対する密着性が低下する傾
向がある。
ば、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填
剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモ
ノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレ
ート)類等の高分子化合物;ノニオン系界面活性剤、カ
チオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活
性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシ
シラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラ
ン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピル・
メチル・ジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)
−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノ
プロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピ
ルトリメトキシシラン、3−グリシジルプロピルトリメ
トキシシラン、3−グリシドキシプロピル・メチル・ジ
メトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシ
ル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピル・
メチル・ジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメ
トキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキ
シシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン
等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−
t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェ
ノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メ
チル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾト
リアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収
剤;ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤;メラミ
ン化合物、ビスアジド化合物等の他の熱架橋剤等を挙げ
ることができる。また、本発明の所期の効果を損なわな
い範囲内の量であれば、後述する溶媒に可溶性の染料を
使用することもできる。
用に際して、溶媒を配合して液状組成物として調製され
る。前記溶媒としては、前記(A)〜(E)成分や、必
要に応じて添加される前記他の添加剤成分を溶解または
分散し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を
有するものである限り、特に限定されるものではない。
このような溶媒としては、例えば、エチレングリコール
モノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエ
ーテル、エチレングリコールモノ−n−プロピルエーテ
ル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジ
エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレング
リコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ
−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメ
チルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエー
テル等の(ポリ)エチレングリコールモノアルキルエー
テル類;プロピレングリコールモノメチルエーテル、プ
ロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレング
リコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ
エチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プ
ロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブ
チルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエ
ーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル
等の(ポリ)プロピレングリコールモノアルキルエーテ
ル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート
等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテー
ト類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテ
ート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテ
ート等のプロピレングリコールモノアルキルエーテルア
セテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等
の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサ
ノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;
2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプ
ロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒ
ドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキ
シプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチ
ル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプ
ロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢
酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチ
ル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−
メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシ
ブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−ブチル、
酢酸i−ブチル、ぎ酸n−アミル、酢酸i−アミル、プ
ロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸i−プロピ
ル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エ
チル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、ア
セト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエ
ステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;
N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等を挙
げることができる。
性、塗布性等の観点から、エチレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチ
ルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチル
エーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテ
ル、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノ
ン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシ
ブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプ
ロピオネート、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−
エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン
酸エチル、酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−
アミル、酢酸i−アミル、プロピオン酸n−ブチル、酪
酸エチル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビ
ン酸エチル等が好ましい。前記溶媒は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
エーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、
イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−オクタノー
ル、1−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジ
ル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジ
エチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロ
ピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセ
テート等の高沸点溶媒を併用することもできる。これら
の高沸点溶媒のうち、γ−ブチロラクトン等が好まし
い。前記高沸点溶剤は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。
ないが、得られる感放射線性組成物の塗布性や安定性等
の観点から、前記(A)〜(E)および必要に応じて添
加される前記他の添加剤の合計濃度が、通常、5〜50
重量%、好ましくは10〜40重量%となる量が望まし
い。
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。まず、透明基板の表面上の画素パターンを形成する
部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、
例えば赤色の有機顔料が分散された感放射線性組成物の
液状組成物を塗布したのち、プリベークを行って溶剤を
蒸発させて、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォ
トマスクを介して放射線を照射したのち、アルカリ現像
液により現像処理を行い、塗膜の放射線未照射部を溶解
除去することによって、赤色の画素が所定のパターンで
配置された画素アレイを形成する。その後、緑色または
青色の有機顔料が分散された各感放射線性組成物の液状
組成物を順次用い、上記と同様にして、各組成物の塗
布、プリベーク、放射線照射および現像処理を行うこと
により、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが
同一基板上に形成されたカラーフィルタを得る。カラー
フィルタを形成する際に使用される透明基板としては、
例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエ
ステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイ
ミド等を挙げることができる。これらの透明基板には、
所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、
プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリン
グ、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施してお
くこともできる。本発明のカラーフィルタ用感放射線性
組成物を透明基板に塗布する際には、回転塗布、流延塗
布、ロール塗布等の適宜の塗布法を採用することができ
る。塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜
10μm、好ましくは0.2〜6.5μmである。カラ
ーフィルタを形成する際に使用される放射線としては、
可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用す
ることができるが、波長が190〜450nmの範囲に
ある放射線が好ましい。放射線の照射エネルギー量は、
好ましくは1〜1000mJ/cm2 である。また、現
像処理に用いられるアルカリ現像液としては、例えば、
炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、
テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリ
ン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−ウ
ンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]−
5−ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像液
には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶
剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、
アルカリ現像液による現像処理後は、通常、水洗する。
アルカリ現像液による現像法としては、シャワー現像
法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル
(液盛り)現像法等を適用することができ、現像条件
は、常温で5〜300秒が好ましい。このようにして形
成されたカラーフィルタは、カラー液晶表示装置、カラ
ー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて好適に使用す
ることができる。
線性組成物は、(A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性モノマー、(D)光重合開始剤およ
び(E)多官能性エポキシ化合物を必須成分として含有
するものであるが、特に好ましい組成物を具体的に例示
すると、下記(イ)〜(ト)のとおりである。 (イ) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体から
なり、(D)成分が2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシ
カルボニルフェニル)−1,2’−ビイミダゾールおよ
び2,2’−ビス(2−ブロモフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニルフェニ
ル)−1,2’−ビイミダゾールの群から選ばれる1種
以上を含有するカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ロ) (B)成分がカルボキシル基含有共重合体から
なり、(D)成分が2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾールおよび
2,2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾールの群から選ばれる1種以上を含有するカラー
フィルタ用感放射線性組成物。(ハ) (D)成分がさ
らに他の光重合開始剤、増感剤、硬化促進剤および高分
子光架橋・増感剤の群から選ばれる1種以上の成分を含
む前記(イ)または(ロ)のカラーフィルタ用感放射線
性組成物。 (ニ) (B)成分であるカルボキシル基含有共重合体
が、カルボキシル基含有共重合体(Ia)、カルボキシ
ル基含有共重合体(Ib)、カルボキシル基含有共重合
体(Ic)およびカルボキシル基含有共重合体(Id)
の群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)、
(ロ)または(ハ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。 (ホ) (C)成分がトリメチロールプロパントリアク
リレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート
およびジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの群
から選ばれる少なくとも1種の多価アクリレートである
前記(イ)、(ロ)、(ハ)または(ニ)のカラーフィ
ルタ用感放射線性組成物。 (ヘ) (E)成分が前記式(1)、式(2)〜(1
3)で表される化合物の群から選ばれる少なくとも1種
からなる前記(イ)、(ロ)、(ハ)、(ニ)または
(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ト) (A)成分が有機顔料である前記(イ)、
(ロ)、(ハ)、(ニ)、(ホ)または(ヘ)のカラー
フィルタ用感放射線性組成物。
態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、これら
の実施例に何ら制約されるものではない。
重量部、(B)成分としてメタクリル酸/ベンジルメタ
クリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体(共
重合重量比=25/65/10、重量平均分子量=5
5,000)50重量部、(C)成分としてジペンタエ
リスリトールペンタアクリレート40重量部、(D)成
分として2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール10重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノン10重量部、(E)成分として前記式
(2)で表される化合物15重量部、および溶媒として
エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート80
0重量部を混合して感放射線性組成物を調製した。次い
で、表面にナトリウムイオンの溶出を防止するシリカ(S
iO2)膜が形成されたソーダガラス製透明基板の表面上
に、画素パターンを形成する部分を区画するように遮光
層を設けたのち、スピンコーターを用いて前記感放射線
性組成物を塗布し、80℃で2分間プリベークを行なっ
て、膜厚1.5μmの塗膜を形成した。その後、基板を
冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを
介して、塗膜に波長365nm、405nmおよび43
6nmの光を含む100mJ/cm2 の紫外線を1秒間
照射した。次いで、基板を25℃の0.1重量%テトラ
メチルアンモニウムヒドロキシド水溶液中に1分間浸漬
して現像処理を行い、超純水で洗浄し、風乾して、各辺
20μm×20μmの大きさの赤色の画素パターンが形
成された画素アレイを作製した。得られた画素アレイを
光学顕微鏡で観察したところ、画素パターンに欠落およ
び欠損が認められず、かつ基板上の画素パターンが形成
されていない領域に未溶解物の残存が認められなかっ
た。また、得られた画素パターンの断面を走査型電子顕
微鏡で観察したところ、アンダーカットは認められなか
った。さらに、得られた画素パターンの硬度を鉛筆硬度
測定法により測定したところ、鉛筆硬度3H以上であ
り、カラーフィルタとして充分な硬度を有していた。
て、感放射線性組成物の調製および画素アレイの作製を
行なった。得られた画素アレイを光学顕微鏡で観察した
ところ、画素パターンに欠落および欠損が認められた。
さらに、得られた画素パターンの硬度を鉛筆硬度測定法
により測定したところ、鉛筆硬度3H未満であり、カラ
ーフィルタとして充分な硬度が得られなかった。
成物は、PEB等の付加工程を必要とせず、高い画素硬
度を有するカラーフィルタを簡便なプロセスで形成で
き、かつ現像処理時の溶解性に優れるとともに、画素パ
ターンに欠落および欠損を生じることがなく、カラー液
晶表示装置用カラーフィルタを含む種々のカラーフィル
タに極めて好適に使用することができる。
Claims (1)
- 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性モノマー、(D)光重合開始剤およ
び(E)2個以上のエポキシ基を有する化合物を含有す
ることを特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4638398A JPH11231124A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4638398A JPH11231124A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11231124A true JPH11231124A (ja) | 1999-08-27 |
| JPH11231124A5 JPH11231124A5 (ja) | 2005-06-30 |
Family
ID=12745629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4638398A Pending JPH11231124A (ja) | 1998-02-13 | 1998-02-13 | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11231124A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002244292A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-30 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
| JP2006124664A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-05-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
| US7611826B2 (en) | 2002-10-04 | 2009-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Photosensitive resin composition controlling solubility and pattern formation method of double-layer structure using the same |
| WO2010038675A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| TWI396042B (zh) * | 2004-09-29 | 2013-05-11 | 住友化學股份有限公司 | 著色感光性樹脂組成物 |
-
1998
- 1998-02-13 JP JP4638398A patent/JPH11231124A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002244292A (ja) * | 2001-02-21 | 2002-08-30 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
| US7611826B2 (en) | 2002-10-04 | 2009-11-03 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Photosensitive resin composition controlling solubility and pattern formation method of double-layer structure using the same |
| JP2006124664A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-05-18 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物 |
| TWI396042B (zh) * | 2004-09-29 | 2013-05-11 | 住友化學股份有限公司 | 著色感光性樹脂組成物 |
| WO2010038675A1 (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-08 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| US8603708B2 (en) | 2008-09-30 | 2013-12-10 | Fujifilm Corporation | Dye-containing negative curable composition, color filter using same, method of producing color filter, and solid-state imaging device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3867177B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP4282783B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3564836B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| US6348298B1 (en) | Radiation sensitive composition | |
| JPH10332929A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2004287409A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2000227654A (ja) | ブラックレジスト用感放射線性組成物 | |
| JPH11149153A (ja) | ブラックレジスト用感放射線性組成物 | |
| JP3807108B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP4075243B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| JP3661399B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2002258027A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物とその製造方法、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 | |
| JP2000047018A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH11231124A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP4207261B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH1138225A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH10260309A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH11211911A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2000131519A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JPH1172615A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP2001108817A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| JP2001033620A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ | |
| JPH1172616A (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP4497226B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 | |
| JP3915271B2 (ja) | カラーフィルタ用感放射線性組成物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041015 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041015 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070404 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070508 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070705 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071106 |