JPH1123255A - 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 - Google Patents
真円度測定機及びその検出器感度校正方法Info
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- JPH1123255A JPH1123255A JP9197722A JP19772297A JPH1123255A JP H1123255 A JPH1123255 A JP H1123255A JP 9197722 A JP9197722 A JP 9197722A JP 19772297 A JP19772297 A JP 19772297A JP H1123255 A JPH1123255 A JP H1123255A
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- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
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- G—PHYSICS
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検出器の感度校正が短時間でできる真円度測
定機の検出器感度校正方法を提供する。 【解決手段】 互いに平行で段差寸法が既知の２面を上
面に有する基準ゲージを用意し、それをワークを載置す
るテーブルに載置する。そして、検出器又はテーブルを
回転させて基準ゲージの上面を測定し、得られた段差測
定値が既知の段差寸法に一致するように検出器の感度を
校正する。 【効果】検出器の取付け取外しが不要であるので検出器
の感度校正が短時間できる。また、検出器を支持する取
付け台を別に用意する必要もない。
定機の検出器感度校正方法を提供する。 【解決手段】 互いに平行で段差寸法が既知の２面を上
面に有する基準ゲージを用意し、それをワークを載置す
るテーブルに載置する。そして、検出器又はテーブルを
回転させて基準ゲージの上面を測定し、得られた段差測
定値が既知の段差寸法に一致するように検出器の感度を
校正する。 【効果】検出器の取付け取外しが不要であるので検出器
の感度校正が短時間できる。また、検出器を支持する取
付け台を別に用意する必要もない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物（本明細
書では「ワーク」という。）の真円度や円柱形状を測定
する真円度測定機の検出器感度校正方法に関する。
書では「ワーク」という。）の真円度や円柱形状を測定
する真円度測定機の検出器感度校正方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】真円度測定機には、ベースに設けられた
回転テーブルにワークを載置しコラムに設けられた検出
器を固定又は上下動して測定するテーブル回転型のもの
や、回転しないテーブルにワークを載置して検出器を回
転又は上下動させて測定する検出器回転型のものがあ
る。テーブル回転型は小型の部品に、検出器回転型は大
型の部品に用いられる。
回転テーブルにワークを載置しコラムに設けられた検出
器を固定又は上下動して測定するテーブル回転型のもの
や、回転しないテーブルにワークを載置して検出器を回
転又は上下動させて測定する検出器回転型のものがあ
る。テーブル回転型は小型の部品に、検出器回転型は大
型の部品に用いられる。
【０００３】まず、検出器回転型の真円度測定機の一例
を説明すると、図１に示すように、ベース１１に水平方
向（ＸＹ方向）移動自在に支持されたＸＹテーブル１２
が設けられるとともに、ベース１１にはコラム１３が立
設され、コラム１３にＺテーブル１４が鉛直方向（Ｚ方
向移）動自在に支持されている。Ｚテーブル１４の前側
には回転支持部１５が設けられ、回転支持部１５には鉛
直軸回りに回転するスピンドル１６が内蔵されている。
そして、スピンドル１６の下端には支持アーム１７が固
着され、支持アーム１７には検出器ホルダー１８が水平
一軸方向移動自在に支持されている。
を説明すると、図１に示すように、ベース１１に水平方
向（ＸＹ方向）移動自在に支持されたＸＹテーブル１２
が設けられるとともに、ベース１１にはコラム１３が立
設され、コラム１３にＺテーブル１４が鉛直方向（Ｚ方
向移）動自在に支持されている。Ｚテーブル１４の前側
には回転支持部１５が設けられ、回転支持部１５には鉛
直軸回りに回転するスピンドル１６が内蔵されている。
そして、スピンドル１６の下端には支持アーム１７が固
着され、支持アーム１７には検出器ホルダー１８が水平
一軸方向移動自在に支持されている。
【０００４】検出器回転型の真円度測定機はこのように
構成されており、ワークをＸＹテーブル１２の上に載置
し固定した状態で、ＸＹテーブル１２を駆動してワーク
の測定部分の中心を検出器１９の回転中心に概略（検出
器１９の測定可能範囲内）に合わせた後、スピンドル１
６によって検出器１９を回転させてワークの円周を測定
し、測定データから真円度を算出する。
構成されており、ワークをＸＹテーブル１２の上に載置
し固定した状態で、ＸＹテーブル１２を駆動してワーク
の測定部分の中心を検出器１９の回転中心に概略（検出
器１９の測定可能範囲内）に合わせた後、スピンドル１
６によって検出器１９を回転させてワークの円周を測定
し、測定データから真円度を算出する。
【０００５】また、テーブル回転型の真円度測定機では
図２に示すように、ベース２１に鉛直軸回りに回転する
回転テーブル２２が設けられるとともに、ベース２１に
はコラム２３が立設され、コラム２３にＺテーブル２４
がＺ方向移動自在に支持されている。Ｚテーブル２４に
は検出器ホルダー２５が水平一軸方向移動自在に支持さ
れており、その先端２５ａに検出器２６が設けられてい
る。検出器２６の測定子２６ａのＹ方向位置は回転テー
ブル２２の中心にほぼ一致している。
図２に示すように、ベース２１に鉛直軸回りに回転する
回転テーブル２２が設けられるとともに、ベース２１に
はコラム２３が立設され、コラム２３にＺテーブル２４
がＺ方向移動自在に支持されている。Ｚテーブル２４に
は検出器ホルダー２５が水平一軸方向移動自在に支持さ
れており、その先端２５ａに検出器２６が設けられてい
る。検出器２６の測定子２６ａのＹ方向位置は回転テー
ブル２２の中心にほぼ一致している。
【０００６】テーブル回転型の真円度測定機はこのよう
に構成されており、ワークの測定部分の中心を回転テー
ブル２２の回転中心に概略（検出器２６の測定可能範囲
内）合わせてワークを回転テーブル２２に載置してワー
クを回転さてワークの円周を測定し、測定データから真
円度を算出する。
に構成されており、ワークの測定部分の中心を回転テー
ブル２２の回転中心に概略（検出器２６の測定可能範囲
内）合わせてワークを回転テーブル２２に載置してワー
クを回転さてワークの円周を測定し、測定データから真
円度を算出する。
【０００７】いずれの真円度測定機も検出器１９、２６
はＺテーブル１４、２４によって上下に移動可能である
ので、ワークの任意の高さで真円度測定ができる。これ
によって、各測定断面での真円度データから同軸度や円
柱形状の算出も可能となる。また、検出器１９や回転テ
ーブル２２を回転せずに上下移動させると真直度の測定
も可能である。
はＺテーブル１４、２４によって上下に移動可能である
ので、ワークの任意の高さで真円度測定ができる。これ
によって、各測定断面での真円度データから同軸度や円
柱形状の算出も可能となる。また、検出器１９や回転テ
ーブル２２を回転せずに上下移動させると真直度の測定
も可能である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、検出器１
９、２６は一般的に差動トランス方式のものが用いられ
ており、差動トランスはアナログ式であるためブロック
ゲージ等の基準器との比較によって変位量が判定され
る。そのために、測定子１９ａ、２６ａを交換した場合
や環境条件等が変化した場合には感度を校正する必要が
ある。校正する場合は、延長ロッド１８ａから検出器１
９を、又は検出器ホルダー２５の先端２５ａから検出器
２６を取り外し、別に用意した取付け台に検出器１９、
２６を取り付けて行う。
９、２６は一般的に差動トランス方式のものが用いられ
ており、差動トランスはアナログ式であるためブロック
ゲージ等の基準器との比較によって変位量が判定され
る。そのために、測定子１９ａ、２６ａを交換した場合
や環境条件等が変化した場合には感度を校正する必要が
ある。校正する場合は、延長ロッド１８ａから検出器１
９を、又は検出器ホルダー２５の先端２５ａから検出器
２６を取り外し、別に用意した取付け台に検出器１９、
２６を取り付けて行う。
【０００９】したがって、感度を校正するには検出器１
９、２６の取付け取外しが必要であるので時間がかか
る。また、検出器１９、２６を支持する取付け台が別に
必要である。
９、２６の取付け取外しが必要であるので時間がかか
る。また、検出器１９、２６を支持する取付け台が別に
必要である。
【００１０】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、真円度測定機でワークを測定する場合に、検出
器１９、２６の感度校正が短時間でき、検出器１９、２
６を支持する取付け台を別に用意必要もない検出器感度
校正方法を提供することを目的とする。
もので、真円度測定機でワークを測定する場合に、検出
器１９、２６の感度校正が短時間でき、検出器１９、２
６を支持する取付け台を別に用意必要もない検出器感度
校正方法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、真円度測定機に次のものを備える。 （イ）互いに平行で段差寸法が既知の２面を上面に有す
る基準ゲージ。 （ロ）基準ゲージの段差寸法を入力する入力部。 （ハ）検出器１９又はテーブル２２を回転させて基準ゲ
ージの上面を測定したときの段差測定値を算出する段差
測定値算出部。 （ニ）得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致する
ように検出器１９、２６の感度を校正する感度校正部。
するために、真円度測定機に次のものを備える。 （イ）互いに平行で段差寸法が既知の２面を上面に有す
る基準ゲージ。 （ロ）基準ゲージの段差寸法を入力する入力部。 （ハ）検出器１９又はテーブル２２を回転させて基準ゲ
ージの上面を測定したときの段差測定値を算出する段差
測定値算出部。 （ニ）得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致する
ように検出器１９、２６の感度を校正する感度校正部。
【００１２】そして、次のようにして検出器１９，２６
の感度を校正する。 （イ）検出器１９，２６の検出方向をＺ方向に設定す
る。 （ロ）基準ゲージをテーブル１２、２２にセットする。 （ハ）基準ゲージの段差寸法を入力する。 （ニ）検出器１９又はテーブル２２を回転させて基準ゲ
ージの上面を測定する。 （ホ）得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致する
ように検出器１９，２６の感度を校正する。
の感度を校正する。 （イ）検出器１９，２６の検出方向をＺ方向に設定す
る。 （ロ）基準ゲージをテーブル１２、２２にセットする。 （ハ）基準ゲージの段差寸法を入力する。 （ニ）検出器１９又はテーブル２２を回転させて基準ゲ
ージの上面を測定する。 （ホ）得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致する
ように検出器１９，２６の感度を校正する。
【００１３】この場合、基準ゲージは測定される部分が
円になるので、円筒や円柱の端面の一部に互いに平行な
２面を形成した形状にすればよい。その場合、互いに平
行な２面は同一円周上になければならないので、端面の
一部に凹面又は凸面を形成するようにする。
円になるので、円筒や円柱の端面の一部に互いに平行な
２面を形成した形状にすればよい。その場合、互いに平
行な２面は同一円周上になければならないので、端面の
一部に凹面又は凸面を形成するようにする。
【００１４】
【実施の形態】本発明に係る真円度測定機及びその検出
器感度校正方法の実施の形態の、基準ゲージを図３に、
ブロック図を図４に、フローチャートを図５に示す。こ
の実施の形態は検出器回転型の真円度測定機の場合につ
いてである。
器感度校正方法の実施の形態の、基準ゲージを図３に、
ブロック図を図４に、フローチャートを図５に示す。こ
の実施の形態は検出器回転型の真円度測定機の場合につ
いてである。
【００１５】図３に示すように、基準ゲージＧは円筒形
状をしており、その上端面Ｇａの一部に凹面Ｇｂが形成
されている。凹面Ｇｂは上端面Ｇａに平行になってお
り、その段差寸法は１０〜２０μｍである。
状をしており、その上端面Ｇａの一部に凹面Ｇｂが形成
されている。凹面Ｇｂは上端面Ｇａに平行になってお
り、その段差寸法は１０〜２０μｍである。
【００１６】図４において、１０は真円度測定機本体、
３１はあらかじめ正確に求められている基準ゲージＧの
段差寸法を入力する入力部である。段差測定値算出部３
２は、検出器１９を回転させて基準ゲージＧの上端面Ｇ
ａを測定したときの段差測定値を算出する。感度校正部
３３は、得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致す
るように検出器１９の感度を校正する。
３１はあらかじめ正確に求められている基準ゲージＧの
段差寸法を入力する入力部である。段差測定値算出部３
２は、検出器１９を回転させて基準ゲージＧの上端面Ｇ
ａを測定したときの段差測定値を算出する。感度校正部
３３は、得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致す
るように検出器１９の感度を校正する。
【００１７】次に検出器感度校正方法を、図５のフロー
チャートを用いて説明する。まず、図３に示すように検
出器１９の検出方向をＺ方向に設定する（ステップ４
１）とともに、基準ゲージＧをテーブル１２にセットす
る（ステップ４２）。この場合、基準ゲージＧの上端面
Ｇａは検出器１９回転軸に対して直角にセットする必要
がある。次に、基準ゲージＧの上端面Ｇａと凹面Ｇｂと
の段差寸法を入力した（ステップ４３）後、検出器１９
を回転させ基準ゲージＧの上端面Ｇａ及び凹面Ｇｂを測
定する（ステップ４４）と、上端面Ｇａと凹面Ｇｂとの
段差測定データが得られ、その測定データから段差測定
値が算出される（ステップ４５）。そして、得られた段
差測定値が既知の段差寸法に一致するように検出器１９
の感度が校正される（ステップ４６）。検出器１９の感
度が校正されると、再び検出器１９の検出方向を水平方
向に設定し直してワーク測定を行う。
チャートを用いて説明する。まず、図３に示すように検
出器１９の検出方向をＺ方向に設定する（ステップ４
１）とともに、基準ゲージＧをテーブル１２にセットす
る（ステップ４２）。この場合、基準ゲージＧの上端面
Ｇａは検出器１９回転軸に対して直角にセットする必要
がある。次に、基準ゲージＧの上端面Ｇａと凹面Ｇｂと
の段差寸法を入力した（ステップ４３）後、検出器１９
を回転させ基準ゲージＧの上端面Ｇａ及び凹面Ｇｂを測
定する（ステップ４４）と、上端面Ｇａと凹面Ｇｂとの
段差測定データが得られ、その測定データから段差測定
値が算出される（ステップ４５）。そして、得られた段
差測定値が既知の段差寸法に一致するように検出器１９
の感度が校正される（ステップ４６）。検出器１９の感
度が校正されると、再び検出器１９の検出方向を水平方
向に設定し直してワーク測定を行う。
【００１８】なお、実施の形態では、検出器回転型の真
円度測定機について述べたが、図２に示したようなテー
ブル回転型の真円度測定機についても同様に本発明が適
用できることはいうまでもない。
円度測定機について述べたが、図２に示したようなテー
ブル回転型の真円度測定機についても同様に本発明が適
用できることはいうまでもない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
円度測定機において、互いに平行で段差寸法が既知の２
面を上面に有する基準ゲージを用意し、これをワークを
載置するテーブルにセットして、検出器又はテーブルを
回転させて基準ゲージの上面を測定し、得られた段差測
定値が既知の段差寸法に一致するように検出器の感度を
校正するようにした。したがって、検出器の取付け取外
しが不要であるので検出器の感度校正が短時間でき、ま
た、検出器を支持する取付け台を別に用意する必要もな
い。
円度測定機において、互いに平行で段差寸法が既知の２
面を上面に有する基準ゲージを用意し、これをワークを
載置するテーブルにセットして、検出器又はテーブルを
回転させて基準ゲージの上面を測定し、得られた段差測
定値が既知の段差寸法に一致するように検出器の感度を
校正するようにした。したがって、検出器の取付け取外
しが不要であるので検出器の感度校正が短時間でき、ま
た、検出器を支持する取付け台を別に用意する必要もな
い。
【図１】検出器回転型の真円度測定機の外観図
【図２】テーブル回転型の真円度測定機の外観図
【図３】本発明に係る実施の形態の基準ゲージ図
【図４】本発明に係る真円度測定機の実施の形態のブロ
ック図
ック図
【図５】本発明に係る検出器感度校正方法の実施の形態
のフローチャート
のフローチャート
４１……検出器設定ステップ ４２……基準ゲージ載置ステップ ４３……段差寸法入力ステップ ４４……測定ステップ ４５……段差測定値算出ステップ ４６……感度校正ステップ
Claims (4)
- 【請求項１】検出器又はワークを回転させて、ワークの
真円度等を測定する真円度測定機において、 互いに平行で段差寸法が既知の２面を上面に有する基準
ゲージと、 前記基準ゲージの段差寸法を入力する入力部と、 前記検出器の検出方向を回転軸と平行な方向に設定し、
前記検出器又はテーブルを回転させて前記基準ゲージの
上面を測定したときの段差測定値を算出する段差測定値
算出部と、 得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致するように
前記検出器の感度を校正する感度校正部と、を備えたこ
とを特徴とする真円度測定機。 - 【請求項２】前記基準ゲージが円筒形状で、その端面の
一部に凹面が形成されて互いに平行な２面が構成された
ことを特徴とする請求項１に記載の真円度測定機。 - 【請求項３】検出器又はワークを回転させて、ワークの
真円度等を測定する真円度測定機において、 前記検出器の検出方向を回転軸の方向に設定し、 互いに平行で段差寸法が既知の２面を上面に有する基準
ゲージを、ワークを載置するテーブルに載置し、 前記基準ゲージの段差寸法を入力し、 前記検出器又は前記テーブルを回転させて前記基準ゲー
ジの上面を測定し、 得られた段差測定値が既知の段差寸法に一致するように
前記検出器の感度を校正することを特徴とする真円度測
定機の検出器感度校正方法。 - 【請求項４】前記基準ゲージが円筒形状で、その端面の
一部に凹面が形成されて互いに平行な２面が構成された
ことを特徴とする請求項３に記載の真円度測定機の検出
器感度校正方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09197722A JP3081174B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 |
| US09/221,159 US6092411A (en) | 1997-07-08 | 1998-12-28 | Roundness measuring instrument and measuring head calibration method therefor |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09197722A JP3081174B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 |
| US09/221,159 US6092411A (en) | 1997-07-08 | 1998-12-28 | Roundness measuring instrument and measuring head calibration method therefor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123255A true JPH1123255A (ja) | 1999-01-29 |
| JP3081174B2 JP3081174B2 (ja) | 2000-08-28 |
Family
ID=26510526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09197722A Expired - Fee Related JP3081174B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | 真円度測定機及びその検出器感度校正方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6092411A (ja) |
| JP (1) | JP3081174B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008070181A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Mitsutoyo Corp | 真円度測定装置較正治具および真円度測定装置の較正方法 |
| JP2008157863A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Nissan Diesel Motor Co Ltd | 真円度測定装置及び真円度測定方法 |
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Families Citing this family (18)
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