JPH11233533A - ダイボンド用ペーストノズル - Google Patents
ダイボンド用ペーストノズルInfo
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- JPH11233533A JPH11233533A JP10051505A JP5150598A JPH11233533A JP H11233533 A JPH11233533 A JP H11233533A JP 10051505 A JP10051505 A JP 10051505A JP 5150598 A JP5150598 A JP 5150598A JP H11233533 A JPH11233533 A JP H11233533A
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/013—Manufacture or treatment of die-attach connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成でダイス上面へのペーストの回り
込み並びにボイドの発生を抑えることのできるダイボン
ド用ペーストノズルを提供する。 【解決手段】 ノズル先端にダイスの外形と略一致した
大きさの四角形の開口の吐出口２ａを設けたことと、吐
出口２ａの開口面を切り欠いて形成した吐出口２ａの四
隅と外部を連通する空気抜き溝４を設ける。
込み並びにボイドの発生を抑えることのできるダイボン
ド用ペーストノズルを提供する。 【解決手段】 ノズル先端にダイスの外形と略一致した
大きさの四角形の開口の吐出口２ａを設けたことと、吐
出口２ａの開口面を切り欠いて形成した吐出口２ａの四
隅と外部を連通する空気抜き溝４を設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイスをリードフ
レームのダイアイランドにダイボンドする時に、ダイア
イランド上にダイボンド用ペーストを塗布するためのダ
イボンド用ペーストノズルに関する。
レームのダイアイランドにダイボンドする時に、ダイア
イランド上にダイボンド用ペーストを塗布するためのダ
イボンド用ペーストノズルに関する。
【０００２】
【従来技術】ダイボンド時、リードフレームのダイアイ
ランド上に銀ペースト等のダイボンド用接着剤（以下ペ
ーストと呼ぶ）が塗布されるが、この際、ペーストの入
ったシリンジの先端にペーストノズルが取り付けられ、
圧搾空気や機械的圧力により押し出されるペーストの流
量を調整している。その従来例として、図５に示す一本
ノズル８や図７の多本ノズル９が挙げられる。
ランド上に銀ペースト等のダイボンド用接着剤（以下ペ
ーストと呼ぶ）が塗布されるが、この際、ペーストの入
ったシリンジの先端にペーストノズルが取り付けられ、
圧搾空気や機械的圧力により押し出されるペーストの流
量を調整している。その従来例として、図５に示す一本
ノズル８や図７の多本ノズル９が挙げられる。
【０００３】一本ノズル８は、図５に示すように中空で
あり、その中空部の図示上部にあたるシリンジとの接合
部が大きめに開口し、そこから図示最下部の吐出口にか
けて狭窄された形となっている。即ち、ペーストの流れ
る流路が１つのみなので、ダイアイランド上に塗布され
ダイス６を搭載した後、ペースト７は図６のような形に
拡がる。
あり、その中空部の図示上部にあたるシリンジとの接合
部が大きめに開口し、そこから図示最下部の吐出口にか
けて狭窄された形となっている。即ち、ペーストの流れ
る流路が１つのみなので、ダイアイランド上に塗布され
ダイス６を搭載した後、ペースト７は図６のような形に
拡がる。
【０００４】多本ノズル９は、図５の一本ノズルの狭窄
された中空部を複数本形成したものであり、図７に示す
ような形状をとる。図示のように、ペーストの流れる流
路が複数個あるのでペーストを多点に塗布できる。例え
ば狭窄部１０を４本とした場合、ダイス接着後のダイア
イランド上でのペースト７の拡がりを見ると、図８に示
すような形になる。
された中空部を複数本形成したものであり、図７に示す
ような形状をとる。図示のように、ペーストの流れる流
路が複数個あるのでペーストを多点に塗布できる。例え
ば狭窄部１０を４本とした場合、ダイス接着後のダイア
イランド上でのペースト７の拡がりを見ると、図８に示
すような形になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一本ノ
ズル８では、ダイスサイズが例えば２．５ｍｍ以上の大
きいものになると、図６の一点鎖線で示すダイス６のよ
うにペースト７が角部まで拡がらない。従って角部の下
が空いている状態となり、角部からクラック等が生じや
すくなるという問題がある。
ズル８では、ダイスサイズが例えば２．５ｍｍ以上の大
きいものになると、図６の一点鎖線で示すダイス６のよ
うにペースト７が角部まで拡がらない。従って角部の下
が空いている状態となり、角部からクラック等が生じや
すくなるという問題がある。
【０００６】このようなペースト不足を防ぐためにペー
スト量を増やせば、ダイス６の角部はペースト７で満た
されるので問題は解消するが、ダイス６の各辺の外側へ
拡がるペースト７（図６斜線部）の量が多くなってしま
う。即ち、ダイスサイズは大きくなるがダイスの厚さは
ほとんど変わることがないので、ダイス６の搭載時に各
辺の外側へ拡がったペースト７がダイス６の上面にまで
回り込み、ボンディング不良等の新たな問題が発生して
しまう。
スト量を増やせば、ダイス６の角部はペースト７で満た
されるので問題は解消するが、ダイス６の各辺の外側へ
拡がるペースト７（図６斜線部）の量が多くなってしま
う。即ち、ダイスサイズは大きくなるがダイスの厚さは
ほとんど変わることがないので、ダイス６の搭載時に各
辺の外側へ拡がったペースト７がダイス６の上面にまで
回り込み、ボンディング不良等の新たな問題が発生して
しまう。
【０００７】このような一本ノズルの問題は上記の多本
ノズルで解消できる。これによればペースト７は図８に
一点鎖線で示すダイス６の角部へ拡がり、角部へのペー
スト不足が改善される。しかも、全体のペースト７の拡
がり形状がダイスサイズに近くなることによって、各辺
の外側に拡がるペースト７（図８斜線部）の量も少なく
なる。
ノズルで解消できる。これによればペースト７は図８に
一点鎖線で示すダイス６の角部へ拡がり、角部へのペー
スト不足が改善される。しかも、全体のペースト７の拡
がり形状がダイスサイズに近くなることによって、各辺
の外側に拡がるペースト７（図８斜線部）の量も少なく
なる。
【０００８】しかしながら、ダイス６の搭載時、ペース
トが各塗布点からほぼ円状に拡がっていくため、それぞ
れ拡がったペースト７の間に図８に点線で示すような間
隙１１ができてしまい、その間隙が閉じこめられてボイ
ドとなり、ボイド中に含まれた水分が製造過程や動作時
の昇温で熱膨張し、ボイドが破裂してダイスクラックを
発生させるという問題がある。
トが各塗布点からほぼ円状に拡がっていくため、それぞ
れ拡がったペースト７の間に図８に点線で示すような間
隙１１ができてしまい、その間隙が閉じこめられてボイ
ドとなり、ボイド中に含まれた水分が製造過程や動作時
の昇温で熱膨張し、ボイドが破裂してダイスクラックを
発生させるという問題がある。
【０００９】また、ダイスサイズにより狭窄部１０の本
数、配置及び内径を決めないといけないので、面倒で複
雑になるばかりでなく、これら狭窄部１０の１箇所でも
詰まれば、ペーストの拡がりにムラが生じ、ペースト不
足になるといった問題が生じる。
数、配置及び内径を決めないといけないので、面倒で複
雑になるばかりでなく、これら狭窄部１０の１箇所でも
詰まれば、ペーストの拡がりにムラが生じ、ペースト不
足になるといった問題が生じる。
【００１０】本発明は、上記問題点を解消し、簡単な構
成でダイス上面へのペーストの回り込み並びにボイドの
発生を抑えることのできるダイボンド用ペーストノズル
を提供することを目的とする。
成でダイス上面へのペーストの回り込み並びにボイドの
発生を抑えることのできるダイボンド用ペーストノズル
を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のダイボンド用ペーストノズルは、ノズル先
端にダイスの外形と略一致した大きさの四角形の開口の
吐出口を設けたことと、該吐出口の開口面を切り欠いて
形成した該吐出口の四隅と外部を連通する空気抜き溝を
設けたこととを特徴とする。
に、本発明のダイボンド用ペーストノズルは、ノズル先
端にダイスの外形と略一致した大きさの四角形の開口の
吐出口を設けたことと、該吐出口の開口面を切り欠いて
形成した該吐出口の四隅と外部を連通する空気抜き溝を
設けたこととを特徴とする。
【００１２】なお、前記吐出口は塗布するペーストの厚
さ分の深さを有するザグリ部と、該ザグリ部の略中心に
開口しシリンジに連通する穴とからなる構成として好適
である。
さ分の深さを有するザグリ部と、該ザグリ部の略中心に
開口しシリンジに連通する穴とからなる構成として好適
である。
【００１３】また、これらダイボンド用ペーストノズル
の前記吐出口外部に高圧流体発生手段を配置し、前記吐
出口に透孔を設け、前記高圧流体発生手段と前記透孔に
連通する配管とを設けてブロー系を構成し、前記透孔の
開口を前記空気抜き溝内壁に設け、前記流体の噴流を前
記空気抜き溝に付着したペーストに吹き付けて除去する
ことを特徴とする。
の前記吐出口外部に高圧流体発生手段を配置し、前記吐
出口に透孔を設け、前記高圧流体発生手段と前記透孔に
連通する配管とを設けてブロー系を構成し、前記透孔の
開口を前記空気抜き溝内壁に設け、前記流体の噴流を前
記空気抜き溝に付着したペーストに吹き付けて除去する
ことを特徴とする。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に沿って説明する。なお、複数の図面にわたって同一ま
たは相当するものには同一の符号を付し、説明の重複を
避けた。
に沿って説明する。なお、複数の図面にわたって同一ま
たは相当するものには同一の符号を付し、説明の重複を
避けた。
【００１５】図１は本発明の実施の形態を示す図であ
り、図１（ａ）にノズルの正面を、図１（ｂ）にノズル
の吐出口開口面を示している。本図において１はノズル
本体部、２は吐出口が形成された吐出口部、２ａは吐出
口開口、２ｂは吐出口のザグリ部、２ｃは吐出口のザグ
リ部中心に開口した穴、３は吐出口を取り囲む壁、４は
空気抜き溝を示す。なお、図の理解のため図１において
右半分を断面で示した。
り、図１（ａ）にノズルの正面を、図１（ｂ）にノズル
の吐出口開口面を示している。本図において１はノズル
本体部、２は吐出口が形成された吐出口部、２ａは吐出
口開口、２ｂは吐出口のザグリ部、２ｃは吐出口のザグ
リ部中心に開口した穴、３は吐出口を取り囲む壁、４は
空気抜き溝を示す。なお、図の理解のため図１において
右半分を断面で示した。
【００１６】図１（ａ）に示すように、本実施の形態の
ペーストノズルは、ノズル本体部１とノズル本体部１の
先端に付いている吐出口部２からなる。なお、ノズル本
体部１は、従来の一本ノズルと同様な構造である。
ペーストノズルは、ノズル本体部１とノズル本体部１の
先端に付いている吐出口部２からなる。なお、ノズル本
体部１は、従来の一本ノズルと同様な構造である。
【００１７】吐出口部２にはペーストの吐出口が形成さ
れており、これはザグリ部２ｂと穴２ｃから構成されて
いる。吐出口開口２ａは図１（ｂ）に太線で示すよう
に、外形がダイスサイズと略一致した大きさの四角形に
形成されている。従って、ペーストの流路が末端で大き
く拡がることになり、ノズル全体の側面視が図１（ａ）
に示すようなアレー形となる。
れており、これはザグリ部２ｂと穴２ｃから構成されて
いる。吐出口開口２ａは図１（ｂ）に太線で示すよう
に、外形がダイスサイズと略一致した大きさの四角形に
形成されている。従って、ペーストの流路が末端で大き
く拡がることになり、ノズル全体の側面視が図１（ａ）
に示すようなアレー形となる。
【００１８】また、図１（ｂ）に示すように、この吐出
口開口２ａはザグリ部２ｂの開口でもある。このザグリ
部２ｂの中心には穴２ｃが開口されており、これにより
図示しないシリンジとザグリ部２ｂとが連通されるの
で、シリンジから押し出されてきたペーストが穴２ｃ及
びザグリ部２ｂを通り、吐出口開口２ａから吐出される
ことになる。因みに、ザグリ部２ｂの側壁には、ペース
トの流れを妨げないようテーパ面を持たせており、ザグ
リ部２ｂ内壁全面にわたって、ペーストの被着を避ける
ようテフロン（商標名、３フッ化エチレン）でコーティ
ングを施している。
口開口２ａはザグリ部２ｂの開口でもある。このザグリ
部２ｂの中心には穴２ｃが開口されており、これにより
図示しないシリンジとザグリ部２ｂとが連通されるの
で、シリンジから押し出されてきたペーストが穴２ｃ及
びザグリ部２ｂを通り、吐出口開口２ａから吐出される
ことになる。因みに、ザグリ部２ｂの側壁には、ペース
トの流れを妨げないようテーパ面を持たせており、ザグ
リ部２ｂ内壁全面にわたって、ペーストの被着を避ける
ようテフロン（商標名、３フッ化エチレン）でコーティ
ングを施している。
【００１９】空気抜き溝４は、壁３の四隅を切り欠いて
形成されており、その溝深さはザグリ部２ｂの底面にま
で達している。なお、この空気抜き溝の幅はザグリ部２
ｂの寸法やペーストの流量等を考慮し、スムーズに空気
が抜けるよう適宜選択されるべきものであるが、ザグリ
部寸法３ｍｍ×３ｍｍ×０．３ｍｍ、ペースト流量２０
ｌ／ｓｅｃのとき、図１の形で幅０．４ｍｍとして良好
な結果を得られた。
形成されており、その溝深さはザグリ部２ｂの底面にま
で達している。なお、この空気抜き溝の幅はザグリ部２
ｂの寸法やペーストの流量等を考慮し、スムーズに空気
が抜けるよう適宜選択されるべきものであるが、ザグリ
部寸法３ｍｍ×３ｍｍ×０．３ｍｍ、ペースト流量２０
ｌ／ｓｅｃのとき、図１の形で幅０．４ｍｍとして良好
な結果を得られた。
【００２０】このような構造なので、ペースト塗布時に
ダイアイランドと吐出口開口面を当接させ、ザグリ部２
ｂ内にペースト７を充填するように吐出を行える。即
ち、穴２ｃから押し出されてきたペーストはザグリ部２
ｂの形に成形されながらダイアイランド上に均一な厚さ
で拡がっていく。この厚さはザグリ部２ｂの深さを調整
することで所定の値にすることができるので、ダイス搭
載時にペースト７がダイスの上面へ回り込まないような
厚さに設定することは容易である。しかも、ペースト塗
布時、穴４から同心円状に拡がるペースト７とザグリ部
２ｂの四隅との間にできる空隙中に空気が存在するが、
その空気はペースト７の拡がりとともに空気抜き溝４を
通じて外部に放出されるため、最終的に塗布されたペー
ストの中にはボイドが混入しない。
ダイアイランドと吐出口開口面を当接させ、ザグリ部２
ｂ内にペースト７を充填するように吐出を行える。即
ち、穴２ｃから押し出されてきたペーストはザグリ部２
ｂの形に成形されながらダイアイランド上に均一な厚さ
で拡がっていく。この厚さはザグリ部２ｂの深さを調整
することで所定の値にすることができるので、ダイス搭
載時にペースト７がダイスの上面へ回り込まないような
厚さに設定することは容易である。しかも、ペースト塗
布時、穴４から同心円状に拡がるペースト７とザグリ部
２ｂの四隅との間にできる空隙中に空気が存在するが、
その空気はペースト７の拡がりとともに空気抜き溝４を
通じて外部に放出されるため、最終的に塗布されたペー
ストの中にはボイドが混入しない。
【００２１】また、本実施の形態は、ペーストの流路が
１本のみとなっているので、ノズルの詰まりに関して従
来の一本ノズルと同等の信頼性が確保され、多本ノズル
のようなペーストの拡がりのムラを生じることはない。
結果、図３に示すように、ダイス６を搭載してもダイス
６からのペースト７のはみ出しが少なく、ボイドの含ま
れないペースト層を形成できる。
１本のみとなっているので、ノズルの詰まりに関して従
来の一本ノズルと同等の信頼性が確保され、多本ノズル
のようなペーストの拡がりのムラを生じることはない。
結果、図３に示すように、ダイス６を搭載してもダイス
６からのペースト７のはみ出しが少なく、ボイドの含ま
れないペースト層を形成できる。
【００２２】図２は本発明に係る他の実施の形態を示す
図であり、図２（ａ）にノズルの断面図を、図２（ｂ）
にノズルの吐出口開口面を示している。本図において、
１２は透孔、１３は配管を示す。なお、図の理解のため
図２（ａ）には図２（ｂ）に示すＡ−Ａ線で切った断面
を示している。
図であり、図２（ａ）にノズルの断面図を、図２（ｂ）
にノズルの吐出口開口面を示している。本図において、
１２は透孔、１３は配管を示す。なお、図の理解のため
図２（ａ）には図２（ｂ）に示すＡ−Ａ線で切った断面
を示している。
【００２３】上述した実施の形態においては、シリンジ
内のペーストにかける圧力の大きさ及び加圧時間を調整
することでペーストの吐出量が決定されるので、空気抜
き溝にペーストを進入させないようにすることが可能で
あるが、ペーストに圧力を与える手段が、例えばエアー
コンプレッサーのように、空気等の圧縮性気体を媒体と
して圧力を伝えるものであった場合、ペーストの吐出量
に若干の変動があり、空気抜き溝へのペースト進入を完
全に防止することは困難である。
内のペーストにかける圧力の大きさ及び加圧時間を調整
することでペーストの吐出量が決定されるので、空気抜
き溝にペーストを進入させないようにすることが可能で
あるが、ペーストに圧力を与える手段が、例えばエアー
コンプレッサーのように、空気等の圧縮性気体を媒体と
して圧力を伝えるものであった場合、ペーストの吐出量
に若干の変動があり、空気抜き溝へのペースト進入を完
全に防止することは困難である。
【００２４】図２に示した実施の形態は、このような場
合に有効であり、図示しない外付けのエアーコンプレッ
サーで圧搾空気を発生させ、エアチューブやチューブジ
ョイント等からなる配管１３を通じて吐出口部２に設け
た透孔１２に導き、透孔１２から空気噴流を出す仕組み
となっている。透孔１２は４つの空気抜き溝４のそれぞ
れの底面に開口を有している。配管の途中には電磁弁
（図示せず）が挿入され、シーケンサやマイコン等に連
動し、そこに予めプログラムされた命令に基づき開閉す
る。その他の構成は上述の実施の形態と同様である。
合に有効であり、図示しない外付けのエアーコンプレッ
サーで圧搾空気を発生させ、エアチューブやチューブジ
ョイント等からなる配管１３を通じて吐出口部２に設け
た透孔１２に導き、透孔１２から空気噴流を出す仕組み
となっている。透孔１２は４つの空気抜き溝４のそれぞ
れの底面に開口を有している。配管の途中には電磁弁
（図示せず）が挿入され、シーケンサやマイコン等に連
動し、そこに予めプログラムされた命令に基づき開閉す
る。その他の構成は上述の実施の形態と同様である。
【００２５】このような構造になっているので、前述の
実施の形態と同様な効果がある他、ペースト塗布完了後
次のペースト塗布が始まる間に、透孔１２から圧搾空気
を噴出することが可能となり、空気抜き溝４に残留した
ペーストを除去することができる。従って、繰り返しペ
ーストを塗布しても溝に樹脂を詰まらせないようにする
ことができる。
実施の形態と同様な効果がある他、ペースト塗布完了後
次のペースト塗布が始まる間に、透孔１２から圧搾空気
を噴出することが可能となり、空気抜き溝４に残留した
ペーストを除去することができる。従って、繰り返しペ
ーストを塗布しても溝に樹脂を詰まらせないようにする
ことができる。
【００２６】以上、実施の形態について述べたが、本発
明はこれに限らず種々の変更が可能である。例えば、上
記実施の形態では、空気抜き溝を吐出口開口の四隅から
外部に向けて放射状に形成したが、吐出口開口の四隅と
外部とを連通すればよく、例えば曲がりくねていてもよ
い。特に、長辺が短辺の２倍以上あるような長方形のダ
イスの場合には、図４に示す側面（ａ）及び開口面
（ｂ）となるよう、短辺に沿う２つの壁を切り欠き、こ
の部分を空気抜き溝とする構成としてもよい。
明はこれに限らず種々の変更が可能である。例えば、上
記実施の形態では、空気抜き溝を吐出口開口の四隅から
外部に向けて放射状に形成したが、吐出口開口の四隅と
外部とを連通すればよく、例えば曲がりくねていてもよ
い。特に、長辺が短辺の２倍以上あるような長方形のダ
イスの場合には、図４に示す側面（ａ）及び開口面
（ｂ）となるよう、短辺に沿う２つの壁を切り欠き、こ
の部分を空気抜き溝とする構成としてもよい。
【００２７】また、上記実施の形態では、エアーコンプ
レッサーと配管、及び透孔からなるブロー系によって空
気抜き溝内のペーストを除去する構成としたが、空気に
代わる他の流体を使用するブロー系を採用してもよい。
例えば溶剤をペーストに吹き付ける構成でもよく、この
際、流体の加圧手段はエアーコンプレッサーに代わりポ
ンプとなる。
レッサーと配管、及び透孔からなるブロー系によって空
気抜き溝内のペーストを除去する構成としたが、空気に
代わる他の流体を使用するブロー系を採用してもよい。
例えば溶剤をペーストに吹き付ける構成でもよく、この
際、流体の加圧手段はエアーコンプレッサーに代わりポ
ンプとなる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ペーストの塗布時、円状に拡がるペーストをダイスサイ
ズに成形すると共に、空気抜き溝で空気を逃すため、ダ
イス全体にわたってペースト不足を無くし、ダイス各辺
からはみ出してダイス上面に回り込むペースト量を減ら
し、ボイドの混入がないペースト層を形成できる。
ペーストの塗布時、円状に拡がるペーストをダイスサイ
ズに成形すると共に、空気抜き溝で空気を逃すため、ダ
イス全体にわたってペースト不足を無くし、ダイス各辺
からはみ出してダイス上面に回り込むペースト量を減ら
し、ボイドの混入がないペースト層を形成できる。
【００２９】また、吐出口のザグリ部にペーストを充填
する手法が採用できるので、ペーストをザグリ深さに沿
って一定の厚さに塗布することができ、ペーストのダイ
ス上面への回り込みを確実に防止するとともに、使用ペ
ースト量を必要最低限の量に抑えることができる。
する手法が採用できるので、ペーストをザグリ深さに沿
って一定の厚さに塗布することができ、ペーストのダイ
ス上面への回り込みを確実に防止するとともに、使用ペ
ースト量を必要最低限の量に抑えることができる。
【００３０】さらに、吐出口外部に配置した流体の加圧
手段から配管を通じ、空気抜き溝内壁に設けた透孔から
流体を噴出し、空気抜き溝に付着したペーストを除去す
るため、空気抜き溝の詰まりを未然に防ぐことが可能と
なる。
手段から配管を通じ、空気抜き溝内壁に設けた透孔から
流体を噴出し、空気抜き溝に付着したペーストを除去す
るため、空気抜き溝の詰まりを未然に防ぐことが可能と
なる。
【００３１】総じて、ダイスサイズに合わせて、ノズル
の本数、ノズルの配置、ノズルの内径を設定する必要が
ないので、構造が簡単であり、ノズル詰まりに起因する
ペーストの拡がりムラの問題がなく、比較的大きなダイ
スであっても、確実にダイボンドすることができる。
の本数、ノズルの配置、ノズルの内径を設定する必要が
ないので、構造が簡単であり、ノズル詰まりに起因する
ペーストの拡がりムラの問題がなく、比較的大きなダイ
スであっても、確実にダイボンドすることができる。
【図１】本発明のダイボンド用ペーストノズルの実施の
形態を示す半部断面図である。
形態を示す半部断面図である。
【図２】本発明のダイボンド用ペーストノズルの他の実
施の形態を示す断面図である。
施の形態を示す断面図である。
【図３】本発明により塗布したペーストの上にダイスを
搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説明図で
ある。
搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説明図で
ある。
【図４】本発明のダイボンド用ペーストノズルの他の実
施の形態を示す図である。
施の形態を示す図である。
【図５】従来の一本ノズルの半部断面図である。
【図６】図５の一本ノズルで塗布したペーストの上にダ
イスを搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説
明図である。
イスを搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説
明図である。
【図７】従来の多本ノズルの半部断面図である。
【図８】図７の多本ノズルで塗布したペーストの上にダ
イスを搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説
明図である。
イスを搭載したときのペーストが拡がった状態を示す説
明図である。
１…ノズル本体部 ２…吐出口部 ２ａ…吐出口開口 ２ｂ…ザグリ部 ２ｃ…穴 ３…壁 ４…空気抜き溝 ６…ダイス ７…ペースト ８…一本ノズル ９…多本ノズル １０…狭窄部 １１…間隙 １２…透孔 １３…配管
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズル先端にダイスの外形と略一致した
大きさの四角形の開口の吐出口を設けたことと、該吐出
口の開口面を切り欠いて形成した該吐出口の四隅と外部
を連通する空気抜き溝を設けたこととを特徴とするダイ
ボンド用ペーストノズル。 - 【請求項２】 前記吐出口は塗布するペーストの厚さ分
の深さを有するザグリ部と、該ザグリ部の略中心に開口
しシリンジに連通する穴とからなることを特徴とする請
求項１に記載のダイボンド用ペーストノズル。 - 【請求項３】 前記吐出口外部に配置した流体の加圧手
段と、前記吐出口に設けた透孔と、前記流体の加圧手段
と前記透孔に連通する配管とからなるブロー系を有し、
前記空気抜き溝内壁に前記透孔の開口を有し、前記流体
の噴流を前記空気抜き溝に付着したペーストに吹き付け
て除去することを特徴とする請求項１または２に記載の
ダイボンド用ペーストノズル。
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|---|---|---|---|
| JP05150598A JP3779464B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | ダイボンド用ペーストノズル |
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| JP05150598A JP3779464B2 (ja) | 1998-02-16 | 1998-02-16 | ダイボンド用ペーストノズル |
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1998
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