JPH01281737A - ディスペンサー用ノズル - Google Patents
ディスペンサー用ノズルInfo
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- JPH01281737A JPH01281737A JP63112712A JP11271288A JPH01281737A JP H01281737 A JPH01281737 A JP H01281737A JP 63112712 A JP63112712 A JP 63112712A JP 11271288 A JP11271288 A JP 11271288A JP H01281737 A JPH01281737 A JP H01281737A
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- Japan
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- adhesive
- center
- needle
- adhesives
- needles
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、２個の部品を固定するために、一方の部品に
予めペースト又はガラスエポキシ樹脂等の接着剤を吐出
する接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズルにに関
する。
予めペースト又はガラスエポキシ樹脂等の接着剤を吐出
する接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズルにに関
する。
［従来の技術］
例えば半導体装置の製造工程には、リードフレーム、基
板等（以下基板で総称する）にペレットを固着させるダ
イボンディング工程がある。このダイボンディング工程
は次のようにして行われる。まず基板上にディスペンサ
ー用ノズルで接着剤を吐出する０次に接着剤が吐出され
た基板上にペレットをグイボンダーで圧着する。これに
より、接着剤は伸ばされて広がり、ペレットは接着剤を
介して基板に固着される６次にペレットがボンディング
された基板はキュアー炉によりキュアーされる。
板等（以下基板で総称する）にペレットを固着させるダ
イボンディング工程がある。このダイボンディング工程
は次のようにして行われる。まず基板上にディスペンサ
ー用ノズルで接着剤を吐出する０次に接着剤が吐出され
た基板上にペレットをグイボンダーで圧着する。これに
より、接着剤は伸ばされて広がり、ペレットは接着剤を
介して基板に固着される６次にペレットがボンディング
された基板はキュアー炉によりキュアーされる。
ところで、大きさが例えば５ｍｍ口以上の大型ペレット
になると、ペレットの接着面全体に接着剤が広がるよう
に接着剤を吐出する必要がある。
になると、ペレットの接着面全体に接着剤が広がるよう
に接着剤を吐出する必要がある。
そこで従来、大型ペレットをボンディングする場合に用
いるノズルは、第５図に示すもの（以下公知例１という
）及び実開昭６２−２０２３７５号公報（以下公知例２
という）に示すものが用いられている。
いるノズルは、第５図に示すもの（以下公知例１という
）及び実開昭６２−２０２３７５号公報（以下公知例２
という）に示すものが用いられている。
第５図に示す公知例１は、複数個のニードルｌが基盤目
状に等間隔に配置されたノズル２よりなり、このノズル
２はノズルホルダー３に取付けられて用いられる。公知
例２は、下面を円弧状に突出して形成し、かつ下面に十
字状の溝を形成したＲ形状となっている。
状に等間隔に配置されたノズル２よりなり、このノズル
２はノズルホルダー３に取付けられて用いられる。公知
例２は、下面を円弧状に突出して形成し、かつ下面に十
字状の溝を形成したＲ形状となっている。
［発明が解決しようとする課題］
第５図に示す公知例１で接着剤を吐出すると。
第６図（ａ）に示すように接着剤４（４ａ、４ｂ、４ｃ
・・・）が吐出される。吐出された接着剤４は円形であ
るので、これにペレットをボンディングすると、接着剤
４はつぶされてそれぞれ中心より同図（ｂ）のように広
がる。即ち、隣りの接着剤４ａと４ｂ、４ａと４ｄ、４
ｂと４Ｃ１４ｂと４ｅ・・・の方が対角線上の接着剤４
ａと４ｅ、４ｂと４ｄ、４ｂと４ｆ−−−よりも近いた
め、隣り同志の接着剤４が先に接してしまい１周りが接
着剤４で囲まれた空間部５ができる。この空間部５に残
った空気は外に出ることができなくなり、これが空洞と
して残る。この空洞がキュアー後にボイドとなる。この
ようにボイドが発生すると、ボンディングされたペレッ
トの高さ位置が安定しなく、またペレットにひずみが生
じて欠け１割れが生じる。
・・・）が吐出される。吐出された接着剤４は円形であ
るので、これにペレットをボンディングすると、接着剤
４はつぶされてそれぞれ中心より同図（ｂ）のように広
がる。即ち、隣りの接着剤４ａと４ｂ、４ａと４ｄ、４
ｂと４Ｃ１４ｂと４ｅ・・・の方が対角線上の接着剤４
ａと４ｅ、４ｂと４ｄ、４ｂと４ｆ−−−よりも近いた
め、隣り同志の接着剤４が先に接してしまい１周りが接
着剤４で囲まれた空間部５ができる。この空間部５に残
った空気は外に出ることができなくなり、これが空洞と
して残る。この空洞がキュアー後にボイドとなる。この
ようにボイドが発生すると、ボンディングされたペレッ
トの高さ位置が安定しなく、またペレットにひずみが生
じて欠け１割れが生じる。
公知例２の十字溝を持つＲ形状ノズルは、１個の中心穴
で十字状に接着剤を吐出するので、大型ペレット用のも
のになると、第７図（ａ）に示すように、ノズル６より
吐出された接着剤７は、同図（ｂ）（Ｃ）のようにノズ
ル６の上昇時に中心部に集中し、糸引き８が生じ、また
吐出された接着剤７の形状が安定しない。
で十字状に接着剤を吐出するので、大型ペレット用のも
のになると、第７図（ａ）に示すように、ノズル６より
吐出された接着剤７は、同図（ｂ）（Ｃ）のようにノズ
ル６の上昇時に中心部に集中し、糸引き８が生じ、また
吐出された接着剤７の形状が安定しない。
前記したようにノズル先端と吐出した位置との間に納豆
のように糸引き現象が生じると、一定量以上吐出された
り、次の吐出部分へ引きずり、製品価値を劣化させると
か、ペレットの上面にはみ出すなどの悪影響を及ぼす。
のように糸引き現象が生じると、一定量以上吐出された
り、次の吐出部分へ引きずり、製品価値を劣化させると
か、ペレットの上面にはみ出すなどの悪影響を及ぼす。
本発明の目的は、ボイドが発生しなく、また糸引き現象
が生じない接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズル
を提供することにある。
が生じない接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズル
を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
上記目的は、基板等のダイボンディング中心部に中心接
着剤と、この中心接着剤の外側に複数個の第２接着剤と
、この第２接着剤の外側に複数個の第３接着剤とを少な
くとも吐出する接着剤吐出方法であって、ペレットをボ
ンディングする場合における前記接着剤の広がり状態が
、まず中心接着剤に第２接着剤がくっつき、その後に第
２接着剤同志がくっつき、次に前記１つとなった接着剤
に第３接着剤がくっつくように接着剤を吐出する方法に
より達成される。
着剤と、この中心接着剤の外側に複数個の第２接着剤と
、この第２接着剤の外側に複数個の第３接着剤とを少な
くとも吐出する接着剤吐出方法であって、ペレットをボ
ンディングする場合における前記接着剤の広がり状態が
、まず中心接着剤に第２接着剤がくっつき、その後に第
２接着剤同志がくっつき、次に前記１つとなった接着剤
に第３接着剤がくっつくように接着剤を吐出する方法に
より達成される。
また接着剤を吐出する複数側のニードルを有するディス
ペンサー用ノズルにおいて、中心に配置された中心ニー
ドルと、この中心ニードルの外側に配置された複数個の
第２ニードルと、この第２ニードルの外側に配置された
複数個の第３ニードルとを少なくとも有し、前記第２ニ
ードル間の距離は前記中心ニードルと前記第２ニードル
との距離より長く、かつ前記第２ニードルと前記第３ニ
ードルとの距離は前記中心ニードルと前記第２ニードル
との距離より長く構成することにより達成される。
ペンサー用ノズルにおいて、中心に配置された中心ニー
ドルと、この中心ニードルの外側に配置された複数個の
第２ニードルと、この第２ニードルの外側に配置された
複数個の第３ニードルとを少なくとも有し、前記第２ニ
ードル間の距離は前記中心ニードルと前記第２ニードル
との距離より長く、かつ前記第２ニードルと前記第３ニ
ードルとの距離は前記中心ニードルと前記第２ニードル
との距離より長く構成することにより達成される。
［作用］
本発明の接着剤吐出方法によれば、中心接着剤に第２接
着剤がくっつき、その後第２接着剤同志がくっつくので
、中心接着剤と第２接着剤間に空気の出口があり、接着
剤部に空気は残らない、更に接着剤がつぶされると、中
心接着剤と第２接着剤とは１つとなって第３接着剤にく
っつくので、この場合も空気は外部へ出て行き、接着剤
部に空気が残らない。
着剤がくっつき、その後第２接着剤同志がくっつくので
、中心接着剤と第２接着剤間に空気の出口があり、接着
剤部に空気は残らない、更に接着剤がつぶされると、中
心接着剤と第２接着剤とは１つとなって第３接着剤にく
っつくので、この場合も空気は外部へ出て行き、接着剤
部に空気が残らない。
また本発明のディスペンサー用ノズルによれば、第２ニ
ードル間の距離は中心ニードルと第２ニードルとの距離
より長く、かつ第２ニードルと第３ニードルとの距離は
中心ニードルと第２ニードルとの距離より長いので１本
発明の方法のように、まず中心接着剤に第２接着剤がく
っつき、その後に第２接着剤同志がくっつき、次に前記
１つとなった接着剤に第３接着剤がくっつき、接着剤部
に空気が残らない。
ードル間の距離は中心ニードルと第２ニードルとの距離
より長く、かつ第２ニードルと第３ニードルとの距離は
中心ニードルと第２ニードルとの距離より長いので１本
発明の方法のように、まず中心接着剤に第２接着剤がく
っつき、その後に第２接着剤同志がくっつき、次に前記
１つとなった接着剤に第３接着剤がくっつき、接着剤部
に空気が残らない。
［実施例］
以下１本発明の一実施例を第１図乃至第４図により説明
する。第１図に示すように、ノズルｌＯは、中心に配置
された中心ニードル１１と、この中心ニードル１１の外
側で中心ニードル１１を中心とする同一円周上に等間隔
に配置された４個の第２ニードル１２と、この第２ニー
ドル１２の外側で中心ニードル１１を中心とする同一円
周上における第２ニードル１２間に配置された４個の第
３ニードル１３とを有している。そして、ノズルｌＯは
ノズルホルダー１４に取付けられて用いられる。
する。第１図に示すように、ノズルｌＯは、中心に配置
された中心ニードル１１と、この中心ニードル１１の外
側で中心ニードル１１を中心とする同一円周上に等間隔
に配置された４個の第２ニードル１２と、この第２ニー
ドル１２の外側で中心ニードル１１を中心とする同一円
周上における第２ニードル１２間に配置された４個の第
３ニードル１３とを有している。そして、ノズルｌＯは
ノズルホルダー１４に取付けられて用いられる。
ここで、中心ニードル１１から第２ニードル１２までの
中心間圧Ｊ！Ｉ＊ａと、第２ニードル１２同志の中心間
距離す及び第２ニードル１２から第３ニードル１３まで
の中心間距離Ｃは、ｂがａより大きく、かつＣがｂより
大きくなっている。また中心間圧＃ａは、第２図に示す
ように、基板１５上への吐出時の接着剤２０．２１がニ
ードル１１．１２間にはい上がらない程度に離されてい
る。同図（ａ）は適切な距離を示し、同図（ｂ）は狭す
ぎた場合を示す。
中心間圧Ｊ！Ｉ＊ａと、第２ニードル１２同志の中心間
距離す及び第２ニードル１２から第３ニードル１３まで
の中心間距離Ｃは、ｂがａより大きく、かつＣがｂより
大きくなっている。また中心間圧＃ａは、第２図に示す
ように、基板１５上への吐出時の接着剤２０．２１がニ
ードル１１．１２間にはい上がらない程度に離されてい
る。同図（ａ）は適切な距離を示し、同図（ｂ）は狭す
ぎた場合を示す。
次に接着剤吐出方法を第３図により説明する。
第１図に示すノズルｌＯによって基板１５上へ接着剤を
吐出させると、ニードル１１．１２．１３の配置と同様
に第３図（ａ）に示すように、中心部に中心接着剤２０
が、その外側に第２接着剤２１が、更にその外側に第３
接着剤２２が吐出される。これにペレット３０をボンデ
ィングすると、接着剤２０．２１．２２は第３図（ｂ）
（Ｃ）（ｄ）のように伸ばされて広がる。
吐出させると、ニードル１１．１２．１３の配置と同様
に第３図（ａ）に示すように、中心部に中心接着剤２０
が、その外側に第２接着剤２１が、更にその外側に第３
接着剤２２が吐出される。これにペレット３０をボンデ
ィングすると、接着剤２０．２１．２２は第３図（ｂ）
（Ｃ）（ｄ）のように伸ばされて広がる。
この状態を更に詳記すると、第３図（ａ）のように吐出
された中心接着剤２０から第２接着剤２１までの中心間
距離ａは第２接着剤２１同志の中心間距離すより小さい
ので、まず同図（ｂ）に示すように中心接着剤２０に第
２接着剤２１が接する。その後、同図（Ｃ）に示すよう
に第２接着剤２１同志がくっつく、この時、中心接着剤
２０と第２接着剤２１との間及び第２接着剤２１間には
空気の出口があるので、空気は矢印方向に流れ、中心接
着剤２０と第２接着剤２１間には空気は残らない、更に
接着剤２０．２１．２２をつぶすと、同図（ｄ）に示す
ように中心接着剤２０と第２接着剤２１とは１つの接着
剤２３となって第３接着剤２２と重なる。この時、第３
接着剤２２と接着剤２３とは、同図（Ｃ）に示すくぼみ
２４がなくなった状態で重なるので、やはり空気は外部
へ出て行く、更に接着剤２２．２３が伸ばされると、第
４図に示すように接着剤２２．２３は１つの接着剤２５
となり、ペレット３０がボンディングされる。ここで、
第３接着剤２２によってペレット３０の４隅のぬれ性が
確保される。
された中心接着剤２０から第２接着剤２１までの中心間
距離ａは第２接着剤２１同志の中心間距離すより小さい
ので、まず同図（ｂ）に示すように中心接着剤２０に第
２接着剤２１が接する。その後、同図（Ｃ）に示すよう
に第２接着剤２１同志がくっつく、この時、中心接着剤
２０と第２接着剤２１との間及び第２接着剤２１間には
空気の出口があるので、空気は矢印方向に流れ、中心接
着剤２０と第２接着剤２１間には空気は残らない、更に
接着剤２０．２１．２２をつぶすと、同図（ｄ）に示す
ように中心接着剤２０と第２接着剤２１とは１つの接着
剤２３となって第３接着剤２２と重なる。この時、第３
接着剤２２と接着剤２３とは、同図（Ｃ）に示すくぼみ
２４がなくなった状態で重なるので、やはり空気は外部
へ出て行く、更に接着剤２２．２３が伸ばされると、第
４図に示すように接着剤２２．２３は１つの接着剤２５
となり、ペレット３０がボンディングされる。ここで、
第３接着剤２２によってペレット３０の４隅のぬれ性が
確保される。
このように、第１図に示すノズル１０のニードル１１．
１２．１３より第３図（ａ）に示すように吐出された接
着剤２０．２１．２２は、ペレット３０をボンディング
しても接着剤２４中に空気が残らないので、ボイドが発
生しなく、品質が向上する。また複数個のニードル１１
．１２．１３で接着剤２０．２１．２２を吐出するので
、糸引き現象も生じない。
１２．１３より第３図（ａ）に示すように吐出された接
着剤２０．２１．２２は、ペレット３０をボンディング
しても接着剤２４中に空気が残らないので、ボイドが発
生しなく、品質が向上する。また複数個のニードル１１
．１２．１３で接着剤２０．２１．２２を吐出するので
、糸引き現象も生じない。
ところで、第３図（ａ）のような接着剤吐出方法は、必
ずしも第１図に示すようなノズル１０に限定されない０
例えば、中心接着剤２０と第３接着剤２２とを１つのノ
ズルで吐出し、その後第２接着剤２１を別のノズルで吐
出してもよい。
ずしも第１図に示すようなノズル１０に限定されない０
例えば、中心接着剤２０と第３接着剤２２とを１つのノ
ズルで吐出し、その後第２接着剤２１を別のノズルで吐
出してもよい。
また前記実施例は、第１図に示すように、第２ニードル
１２及び第３ニードル１３、また第２接着剤２１及び第
３接着剤２２はそれぞれ４個で、かつ４個の第２ニード
ル１２及び第２接着剤２１は同一円周上で、また４個の
第３ニードル１３及び第３接着剤２２も同一円周上の場
合について説明したが、ペレット３０の大きさ及び形状
に適合するように、その数、配置及び吐出位置は変えて
もよいことは勿論である。
１２及び第３ニードル１３、また第２接着剤２１及び第
３接着剤２２はそれぞれ４個で、かつ４個の第２ニード
ル１２及び第２接着剤２１は同一円周上で、また４個の
第３ニードル１３及び第３接着剤２２も同一円周上の場
合について説明したが、ペレット３０の大きさ及び形状
に適合するように、その数、配置及び吐出位置は変えて
もよいことは勿論である。
またペレッ）３０が非常に大きい場合には、第３ニード
ル１３及び第３接着剤２２の外側に、複数個の第４ニー
ドル及び第４接着剤を設けても。
ル１３及び第３接着剤２２の外側に、複数個の第４ニー
ドル及び第４接着剤を設けても。
更に第４ニードル及び第４接着剤の外側に第５ニードル
及び第５接着剤を設けてもよい。
及び第５接着剤を設けてもよい。
また前記実施例は、中心ニードル１１、第２ニードル１
２及び第３ニードル１３の穴径が同じである場合につい
て説明したが、中心ニードル１１の穴径を他の第２ニー
ドル１２及び第３ニードル１３より大きくすると、大型
ペレットのボンディングの場合にはぬれ性がよくなる。
２及び第３ニードル１３の穴径が同じである場合につい
て説明したが、中心ニードル１１の穴径を他の第２ニー
ドル１２及び第３ニードル１３より大きくすると、大型
ペレットのボンディングの場合にはぬれ性がよくなる。
試作実験の結果、第１図及び第３図に示す中心間圧＃ａ
をペレットサイズＡの約２０〜３０％に、中心ニードル
１１から第３ニードル１３までの中心間圧ｆｉｄをペレ
ットサイズＡの約４０〜６０％にそれぞれ設定し、ペレ
ットサイズＡが５〜１０ｍｍ口の時には、中心ニードル
１１の穴径り、φを０．７〜０．９ｍｍ、第２及び第３
ニードル１２．１３の穴径Ｄ２φを０．６〜０．７ｍｍ
に、ペレットサイズＡが１０〜１５ｍｍ口の時には、Ｄ
、φを０．９〜１．５ｍｍ、Ｄ２φを０゜７〜０．９ｍ
ｍとしたところ、非常に良好な結果が得られた。
をペレットサイズＡの約２０〜３０％に、中心ニードル
１１から第３ニードル１３までの中心間圧ｆｉｄをペレ
ットサイズＡの約４０〜６０％にそれぞれ設定し、ペレ
ットサイズＡが５〜１０ｍｍ口の時には、中心ニードル
１１の穴径り、φを０．７〜０．９ｍｍ、第２及び第３
ニードル１２．１３の穴径Ｄ２φを０．６〜０．７ｍｍ
に、ペレットサイズＡが１０〜１５ｍｍ口の時には、Ｄ
、φを０．９〜１．５ｍｍ、Ｄ２φを０゜７〜０．９ｍ
ｍとしたところ、非常に良好な結果が得られた。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ボイ
ドが発生しなく、また糸引き現象も生じなく、高品質の
接着剤吐出が行える。
ドが発生しなく、また糸引き現象も生じなく、高品質の
接着剤吐出が行える。
第１図は本発明になるノズルの一実施例を示し、（ａ）
は断面図、（ｂ）は底面図、第２図（ａ）（ｂ）はそれ
ぞれニードルの間隔を示す正面説明図、第３図（ａ）（
ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明になる接着剤吐出方法の一実
施例を示す接着剤の広がり状態の平面説明図、第４図は
第３図の方法によってボンディングされた状態を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、第５図は従来例のノ
ズルを示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は底面図、第６図
（ａ）（ｂ）は第５図のノズルにより吐出された接着剤
の広がり状態を示す平面説明図、第７図（ａ）（ｂ）（
ｃ）は他の従来例により吐出された接着剤の状態説明図
である。 ｌＯ：ノズル、 ｌｌ：中心ニードル、１２：
第２ニードル、 １３：第３ニードル。 １５：基板、 ２０：中心接着剤、２１：第
２接着剤、 ２２：第３接着剤。 ２３．２５：接着剤、 ａ、ｂ、ｃ：中心間距離。 第１図 第２図 （ａ） （ａ） （ｂ） １ｏ：ノズ°ル １１：中ｆに一ドル １２：答２ニードル １３：潴３ニードル ａ、ｂ、ｃ−中ｒｃ間距怠Ｗ 第３図 （０） 第４図 （ｄ） 第５図 第７図 手続補正書（方式） ％式％ ｌ 事件の表示 魂）゛昭
和６３年特許願第１１２７１２号 ２ 発明の名称 接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズル３ 補正を
する者 事件との関係特許出願人住所 東京都武蔵村
山市伊奈平２丁目５１番地の１名称 株式会社 新
川 代表取締役 安 雲 毅 ４ 代理人 住所 東京都渋谷区代々木２丁目２０番２号美和プラザ
新宿２０４号（電話３７０−０２４４番）昭和６３年７
月２６日（発送臼） ６ 補正の対象 図面 ７ 補正の内容 第５図及び第７図を別紙のように訂正する。 第５図 第７図 （ｂ） （’ｏ） （Ｃ）
は断面図、（ｂ）は底面図、第２図（ａ）（ｂ）はそれ
ぞれニードルの間隔を示す正面説明図、第３図（ａ）（
ｂ）（ｃ）（ｄ）は本発明になる接着剤吐出方法の一実
施例を示す接着剤の広がり状態の平面説明図、第４図は
第３図の方法によってボンディングされた状態を示し、
（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図、第５図は従来例のノ
ズルを示し、（ａ）は断面図、（ｂ）は底面図、第６図
（ａ）（ｂ）は第５図のノズルにより吐出された接着剤
の広がり状態を示す平面説明図、第７図（ａ）（ｂ）（
ｃ）は他の従来例により吐出された接着剤の状態説明図
である。 ｌＯ：ノズル、 ｌｌ：中心ニードル、１２：
第２ニードル、 １３：第３ニードル。 １５：基板、 ２０：中心接着剤、２１：第
２接着剤、 ２２：第３接着剤。 ２３．２５：接着剤、 ａ、ｂ、ｃ：中心間距離。 第１図 第２図 （ａ） （ａ） （ｂ） １ｏ：ノズ°ル １１：中ｆに一ドル １２：答２ニードル １３：潴３ニードル ａ、ｂ、ｃ−中ｒｃ間距怠Ｗ 第３図 （０） 第４図 （ｄ） 第５図 第７図 手続補正書（方式） ％式％ ｌ 事件の表示 魂）゛昭
和６３年特許願第１１２７１２号 ２ 発明の名称 接着剤吐出方法及びディスペンサー用ノズル３ 補正を
する者 事件との関係特許出願人住所 東京都武蔵村
山市伊奈平２丁目５１番地の１名称 株式会社 新
川 代表取締役 安 雲 毅 ４ 代理人 住所 東京都渋谷区代々木２丁目２０番２号美和プラザ
新宿２０４号（電話３７０−０２４４番）昭和６３年７
月２６日（発送臼） ６ 補正の対象 図面 ７ 補正の内容 第５図及び第７図を別紙のように訂正する。 第５図 第７図 （ｂ） （’ｏ） （Ｃ）
Claims (3)
- （１）基板等のダイボンディング中心部に中心接着剤と
、この中心接着剤の外側に複数個の第２接着剤と、この
第２接着剤の外側に複数個の第３接着剤とを少なくとも
吐出する接着剤吐出方法であって、ペレットをボンディ
ングする場合における前記接着剤の広がり状態が、まず
中心接着剤に第２接着剤がくっつき、その後に第２接着
剤同志がくっつき、次に前記１つとなった接着剤に第３
接着剤がくっつくように接着剤を吐出することを特徴と
する接着剤吐出方法。 - （２）接着剤を吐出する複数個のニードルを有するディ
スペンサー用ノズルにおいて、中心に配置された中心ニ
ードルと、この中心ニードルの外側に配置された複数個
の第２ニードルと、この第２ニードルの外側に配置され
た複数個の第３ニードルとを少なくとも有し、前記第２
ニードル間の中心距離は前記中心ニードルと前記第２ニ
ードルとの中心距離より長く、かつ前記第２ニードルと
前記第３ニードルとの中心距離は前記中心ニードルと前
記第２ニードルとの中心距離より長いことを特徴とする
ディスペンサー用ノズル。 - （３）中心ニードルの穴径は、第２ニードルの穴径より
大きいことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のデ
ィスペンサー用ノズル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112712A JPH07120682B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | ディスペンサー用ノズル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63112712A JPH07120682B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | ディスペンサー用ノズル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01281737A true JPH01281737A (ja) | 1989-11-13 |
| JPH07120682B2 JPH07120682B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=14593618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63112712A Expired - Fee Related JPH07120682B2 (ja) | 1988-05-06 | 1988-05-06 | ディスペンサー用ノズル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07120682B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100537836B1 (ko) * | 2003-08-18 | 2005-12-19 | 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 | 반도체 칩 부착용 디스펜싱 툴 |
| WO2007055997A3 (en) * | 2005-11-04 | 2007-08-09 | Nordson Corp | Applicators and methods for dispensing a liquid material |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN104511394A (zh) * | 2013-09-30 | 2015-04-15 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 一种点胶头及点胶装置 |
| KR102549347B1 (ko) * | 2022-10-06 | 2023-06-30 | 주식회사 솔탑 | 모세관형 일렉트로 스프레이 |
Citations (2)
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-
1988
- 1988-05-06 JP JP63112712A patent/JPH07120682B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPS62183582U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-21 | ||
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| WO2007055997A3 (en) * | 2005-11-04 | 2007-08-09 | Nordson Corp | Applicators and methods for dispensing a liquid material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07120682B2 (ja) | 1995-12-20 |
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