JPH11233588A5 - ウェーハ処理装置およびウェーハ処理方法 - Google Patents

Claims (2)

1. ウェーハ保持用のサセプタ上に未処理のウェーハを供給し、サセプタ上から処理済のウェーハを回収するウェーハ搬送装置を備えたウェーハ処理装置であって、前記ウェーハ搬送装置は、ウェーハを支持して搬送するロボットアーム及びウェーハ昇降機構を含み、前記ロボットアームは、ウェーハを支持する上下２段のフィンガを有し、前記ウェーハ昇降機構は、上段位置、中断位置および下段位置に停止可能に且つウェーハの周縁部を支持可能に構成された複数のウェーハ支持部を有し、前記上下２段のフィンガは、前記ウェーハ支持部の上段位置と中断位置との間の高さ位置に上段のフィンガが臨み、中断位置と下段位置との間の高さ位置に下段のフィンガが臨む様に設けられていることを特徴とするウェーハ搬送装置を備えたウェーハ処理装置。
2. 請求項１に記載のウェーハ搬送装置を使用して、サセプタ上の処理済のウェーハを支持した各ウェーハ支持部を上段位置まで上昇させ、次いで、未処理のウェーハが下段のフィンガ上に支持された上下のフィンガを処理済のウェーハの下方に進入させた後、各ウェーハ支持部を中段位置まで下降させて処理済のウェーハを上段のフィンガ上に載置し、続いて、上下のフィンガをウェーハの昇降領域から退出させた後に各ウェーハ支持部を下段位置まで下降させ、その後、上下のフィンガをウェーハの昇降領域に進入させ、次いで、各ウェーハ支持部を中段位置まで上昇させることによって下段のフィンガ上の未処理のウェーハを各ウェーハ支持部上に支持し、次いで、上下のフィンガをウェーハの昇降領域から退出させた後に各ウェーハ支持部を下段位置まで下降させることによって未処理のウェーハをサセプタ上に供給し、該ウェーハへ所定の処理を行うことを特徴とするウェーハ処理方法。