JPH11233862A - レーザ電源制御方法およびレーザ電源 - Google Patents
レーザ電源制御方法およびレーザ電源Info
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- JPH11233862A JPH11233862A JP10027464A JP2746498A JPH11233862A JP H11233862 A JPH11233862 A JP H11233862A JP 10027464 A JP10027464 A JP 10027464A JP 2746498 A JP2746498 A JP 2746498A JP H11233862 A JPH11233862 A JP H11233862A
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- Japan
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- laser power
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ電源における過負荷に対して迅速に対
応してレーザ電源の保護を図ることのできるレーザ電源
制御方法およびレーザ電源を提供する。 【解決手段】 ＲＦインバータ５からレーザ発振器７に
流れる電流を電流検出器９により測定し、コントロール
回路１３が前記測定された電流と三角波を比較すること
によりレーザ電源１の過負荷時を判断し、過負荷時には
パルス幅変調回路１５が電流を制御するパルス指令のパ
ルス幅を狭くすることにより電流を下げてレーザ電源１
の保護を図る。
応してレーザ電源の保護を図ることのできるレーザ電源
制御方法およびレーザ電源を提供する。 【解決手段】 ＲＦインバータ５からレーザ発振器７に
流れる電流を電流検出器９により測定し、コントロール
回路１３が前記測定された電流と三角波を比較すること
によりレーザ電源１の過負荷時を判断し、過負荷時には
パルス幅変調回路１５が電流を制御するパルス指令のパ
ルス幅を狭くすることにより電流を下げてレーザ電源１
の保護を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はレーザ電源制御方
法およびレーザ電源に係り、さらに詳しくは、ＰＷＭ
（パルス幅変調）により制御されるレーザ電源制御方法
およびレーザ電源に関するものである。
法およびレーザ電源に係り、さらに詳しくは、ＰＷＭ
（パルス幅変調）により制御されるレーザ電源制御方法
およびレーザ電源に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図３を参照するに、従来のレーザ電源１
０１では、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０３で直流出力電圧
を可変し、ＲＦ（高周波）コンバータ１０５により直流
を高周波交流に変換してレーザ発振器１０７の出力を制
御しているのが一般的である。
０１では、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０３で直流出力電圧
を可変し、ＲＦ（高周波）コンバータ１０５により直流
を高周波交流に変換してレーザ発振器１０７の出力を制
御しているのが一般的である。
【０００３】ここで、前記ＲＦインバータ１０５は、直
流を高周波に変換するのみであり、制御機能や過負荷に
対して何ら手段を持っていないため、レーザ発振器１０
７の実負荷の過負荷はＤＣ／ＤＣコンバータ１０３にお
いて検出されている。
流を高周波に変換するのみであり、制御機能や過負荷に
対して何ら手段を持っていないため、レーザ発振器１０
７の実負荷の過負荷はＤＣ／ＤＣコンバータ１０３にお
いて検出されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
にあっては、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０３において過負
荷の検出を行い、アラーム出力や出力電圧の停止、ある
いは電流制限等を行っている。ところが、ＤＣ／ＤＣコ
ンバータ１０３は出力電圧を直流化するためＬＣフィル
タが設けられており、その時定数によっておくれが生じ
るため、出力停止や電流制限の高速化には限界があると
いう問題がある。
にあっては、ＤＣ／ＤＣコンバータ１０３において過負
荷の検出を行い、アラーム出力や出力電圧の停止、ある
いは電流制限等を行っている。ところが、ＤＣ／ＤＣコ
ンバータ１０３は出力電圧を直流化するためＬＣフィル
タが設けられており、その時定数によっておくれが生じ
るため、出力停止や電流制限の高速化には限界があると
いう問題がある。
【０００５】また、ＬＣフィルタに蓄積したエネルギー
が負荷であるＲＦインバータ１０５に供給されてしまう
ため、過負荷保護が完全にできないという問題がある。
が負荷であるＲＦインバータ１０５に供給されてしまう
ため、過負荷保護が完全にできないという問題がある。
【０００６】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、レーザ電源における
過負荷に対して迅速に対応してレーザ電源の保護を図る
ことのできるレーザ電源制御方法およびレーザ電源を提
供することにある。
術に着目してなされたものであり、レーザ電源における
過負荷に対して迅速に対応してレーザ電源の保護を図る
ことのできるレーザ電源制御方法およびレーザ電源を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１による発明のレーザ電源制御方法は、直
流電力をＲＦインバータにより高周波電力に変換してレ
ーザ発振器に供給するレーザ電源制御方法において、前
記ＲＦインバータからレーザ発振器に供給される電流を
測定し、この測定された電流を三角波と比較して電流制
限動作点に達したら、電流を制御するパルス指令のパル
ス幅を狭くすること、を特徴とするものである。
めに、請求項１による発明のレーザ電源制御方法は、直
流電力をＲＦインバータにより高周波電力に変換してレ
ーザ発振器に供給するレーザ電源制御方法において、前
記ＲＦインバータからレーザ発振器に供給される電流を
測定し、この測定された電流を三角波と比較して電流制
限動作点に達したら、電流を制御するパルス指令のパル
ス幅を狭くすること、を特徴とするものである。
【０００８】従って、ＲＦインバータからレーザ発振器
に流れる電流を三角波と比較してレーザ電源の過負荷時
を判断し、電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭く
することにより電流を下げて過負荷時におけるレーザ電
源の保護を図る。
に流れる電流を三角波と比較してレーザ電源の過負荷時
を判断し、電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭く
することにより電流を下げて過負荷時におけるレーザ電
源の保護を図る。
【０００９】請求項２による発明のレーザ電源は、直流
をＲＦインバータにより高周波に変換してレーザ発振器
を作動させるレーザ電源であって、前記ＲＦインバータ
とレーザ発振器の間に設けられた電流検出手段と、この
電流検出手段と三角波を比較するコントロール回路と、
前記測定された電流を三角波と比較して電流制限動作点
に達したら電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭く
するパルス変調回路と、を備えてなることを特徴とする
ものである。
をＲＦインバータにより高周波に変換してレーザ発振器
を作動させるレーザ電源であって、前記ＲＦインバータ
とレーザ発振器の間に設けられた電流検出手段と、この
電流検出手段と三角波を比較するコントロール回路と、
前記測定された電流を三角波と比較して電流制限動作点
に達したら電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭く
するパルス変調回路と、を備えてなることを特徴とする
ものである。
【００１０】従って、ＲＦインバータからレーザ発振器
に流れる電流を電流検出器により測定し、コントロール
回路が前記測定された電流と三角波を比較することによ
りレーザ電源の過負荷時を判断し、過負荷時にはパルス
幅変調回路が電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭
くすることにより電流を下げてレーザ電源の保護を図
る。
に流れる電流を電流検出器により測定し、コントロール
回路が前記測定された電流と三角波を比較することによ
りレーザ電源の過負荷時を判断し、過負荷時にはパルス
幅変調回路が電流を制御するパルス指令のパルス幅を狭
くすることにより電流を下げてレーザ電源の保護を図
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００１２】図１には、この発明にかかるレーザ電源１
が示されている。このレーザ電源１では、直流出力電圧
を可変するＤＣ／ＤＣコンバータ３、および直流を高周
波交流に変換して供給するＲＦインバータ５がレーザ発
振器７に接続されている。
が示されている。このレーザ電源１では、直流出力電圧
を可変するＤＣ／ＤＣコンバータ３、および直流を高周
波交流に変換して供給するＲＦインバータ５がレーザ発
振器７に接続されている。
【００１３】前記ＲＦインバータ５とレーザ発振器７と
の間には電流検出手段である電流検出器９および電圧検
出器１１が設けられており、コントロール回路１３にお
のおの信号を発する。このコントロール回路１３にはパ
ルス幅変調回路１５が接続されておりこのパルス幅変調
回路１５を介してＰＷＭ（パルス幅変調）により前記Ｒ
Ｆインバータ５の制御を行う。
の間には電流検出手段である電流検出器９および電圧検
出器１１が設けられており、コントロール回路１３にお
のおの信号を発する。このコントロール回路１３にはパ
ルス幅変調回路１５が接続されておりこのパルス幅変調
回路１５を介してＰＷＭ（パルス幅変調）により前記Ｒ
Ｆインバータ５の制御を行う。
【００１４】図２を参照してＰＷＭについて説明する。
ＲＦインバータ５に流れる電流を電流検出器９から得
て、この電流と図２に示すような三角波と比較する。こ
の三角波が電流制限動作点に達したら、ＰＷＭによりパ
ルスデューティをＴｏｎからＴｏｎ´に狭めて、電流を
制限する。
ＲＦインバータ５に流れる電流を電流検出器９から得
て、この電流と図２に示すような三角波と比較する。こ
の三角波が電流制限動作点に達したら、ＰＷＭによりパ
ルスデューティをＴｏｎからＴｏｎ´に狭めて、電流を
制限する。
【００１５】以上の結果から、ＲＦインバータ５のＰＷ
Ｍパルスごとに電流制限をかけるため過負荷が生じた時
に遅れを生じることなく迅速な対応をすることができ
る。このため、ＲＦインバータ５を確実に保護すること
ができる。
Ｍパルスごとに電流制限をかけるため過負荷が生じた時
に遅れを生じることなく迅速な対応をすることができ
る。このため、ＲＦインバータ５を確実に保護すること
ができる。
【００１６】また、図1 に示されたレーザ電源１では、
ＲＦインバータ５で電流制御ループを構成したが、通常
時には電圧制御ループとして過負荷時のみ電流制限をか
けるため、ＰＷＭパルスデューティを狭くすることが可
能になる。
ＲＦインバータ５で電流制御ループを構成したが、通常
時には電圧制御ループとして過負荷時のみ電流制限をか
けるため、ＰＷＭパルスデューティを狭くすることが可
能になる。
【００１７】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、図1 におい
てＲＦインバータ５のＰＷＭにより電流制御ループのみ
ならず電圧制御ループをも構成するようにすれば、ＤＣ
／ＤＣコンバータ３を用いないようにすることも可能で
あり、コストダウンを図ることができる。
されることなく、適宜な変更を行うことにより、その他
の態様で実施し得るものである。すなわち、図1 におい
てＲＦインバータ５のＰＷＭにより電流制御ループのみ
ならず電圧制御ループをも構成するようにすれば、ＤＣ
／ＤＣコンバータ３を用いないようにすることも可能で
あり、コストダウンを図ることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よるレーザ電源制御方法では、ＲＦインバータからレー
ザ発振器に流れる電流を三角波と比較してレーザ電源の
過負荷時を判断し、電流を制御するパルス指令のパルス
幅を狭くすることによりパルスごとに電流制限行って電
流を下げてレーザ電源の保護を図るので、高速かつ確実
にレーザ電源の保護を図ることができる。
よるレーザ電源制御方法では、ＲＦインバータからレー
ザ発振器に流れる電流を三角波と比較してレーザ電源の
過負荷時を判断し、電流を制御するパルス指令のパルス
幅を狭くすることによりパルスごとに電流制限行って電
流を下げてレーザ電源の保護を図るので、高速かつ確実
にレーザ電源の保護を図ることができる。
【００１９】請求項２の発明によるレーザ電源では、Ｒ
Ｆインバータからレーザ発振器に流れる電流を電流検出
器により測定し、コントロール回路が前記測定された電
流と三角波を比較することによりレーザ電源の過負荷時
を判断し、過負荷時にはパルス幅変調回路が電流を制御
するパルス指令のパルス幅を狭くすることによりパルス
ごとに電流制限を行って電流を下げるので、高速かつ確
実にレーザ電源の保護を図ることができる。
Ｆインバータからレーザ発振器に流れる電流を電流検出
器により測定し、コントロール回路が前記測定された電
流と三角波を比較することによりレーザ電源の過負荷時
を判断し、過負荷時にはパルス幅変調回路が電流を制御
するパルス指令のパルス幅を狭くすることによりパルス
ごとに電流制限を行って電流を下げるので、高速かつ確
実にレーザ電源の保護を図ることができる。
【図１】この発明にかかるレーザ電源のブロック構成図
である。
である。
【図２】ＰＷＭによる過負荷保護を示すグラフである。
【図３】従来のレーザ電源のブロック構成図である。
１ レーザ電源 ５ ＲＦインバータ ７ レーザ発振器 ９ 電流検出器（電流検出手段） １３ コントロール回路 １５ パルス変調回路
Claims (2)
- 【請求項１】 直流電力をＲＦインバータにより高周波
電力に変換してレーザ発振器に供給するレーザ電源制御
方法において、前記ＲＦインバータからレーザ発振器に
供給される電流を測定し、この測定された電流を三角波
と比較して電流制限動作点に達したら、電流を制御する
パルス指令のパルス幅を狭くすること、を特徴とするレ
ーザ電源制御方法。 - 【請求項２】 直流をＲＦインバータにより高周波に変
換してレーザ発振器を作動させるレーザ電源であって、
前記ＲＦインバータとレーザ発振器の間に設けられた電
流検出手段と、この電流検出手段と三角波を比較するコ
ントロール回路と、前記測定された電流を三角波と比較
して電流制限動作点に達したら電流を制御するパルス指
令のパルス幅を狭くするパルス変調回路と、を備えてな
ることを特徴とするレーザ電源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027464A JPH11233862A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | レーザ電源制御方法およびレーザ電源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10027464A JPH11233862A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | レーザ電源制御方法およびレーザ電源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11233862A true JPH11233862A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12221846
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10027464A Pending JPH11233862A (ja) | 1998-02-09 | 1998-02-09 | レーザ電源制御方法およびレーザ電源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11233862A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1758215A2 (en) | 2005-08-25 | 2007-02-28 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excited gas laser oscillator |
| JP2013507790A (ja) * | 2009-10-13 | 2013-03-04 | コヒレント， インコーポレイテッド | パルスレーザのためのｒｆ電源のデジタルパルス幅変調制御 |
-
1998
- 1998-02-09 JP JP10027464A patent/JPH11233862A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1758215A2 (en) | 2005-08-25 | 2007-02-28 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excited gas laser oscillator |
| US7436872B2 (en) | 2005-08-25 | 2008-10-14 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excited gas laser oscillator |
| CN100435433C (zh) * | 2005-08-25 | 2008-11-19 | 发那科株式会社 | 高频放电激励气体激光振荡器 |
| JP2013507790A (ja) * | 2009-10-13 | 2013-03-04 | コヒレント， インコーポレイテッド | パルスレーザのためのｒｆ電源のデジタルパルス幅変調制御 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050125 |
|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070710 |
|
| A02 | Decision of refusal |
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