JPH11235648A - 製造計画管理装置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

製造計画管理装置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

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JPH11235648A
JPH11235648A JP3503198A JP3503198A JPH11235648A JP H11235648 A JPH11235648 A JP H11235648A JP 3503198 A JP3503198 A JP 3503198A JP 3503198 A JP3503198 A JP 3503198A JP H11235648 A JPH11235648 A JP H11235648A
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Shinichi Houkibara
進一 伯耆原
Etsuo Fukuda
悦生 福田
Hiroshi Nanami
博司 名波
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Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 段取り等の準備作業を効率良く行い、計画通
りに正しく作業を行うことで、ロットの進捗計画に及ぼ
す影響を最小限にとどめることである。 【解決手段】 各ロットの納期に関する情報を含む長期
製造計画情報１１０を入力し、各ロットの納期からロッ
トの進捗計画を立て、長期製造計画３００を出力する長
期計画部２００と、長期製造計画３００及び短期製造計
画情報１２０を入力し、長期製造計画に従うように短期
的なロットの進捗計画を立て、短期製造計画５００を出
力する短期製造計画部４００と、短期製造計画及び作業
計画情報を入力し、装置の状態、及びロットの状態を考
慮しつつ、短期製造計画に従うように作業計画を立て、
作業指示７００を出力する作業計画部６００とを備えて
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造計画管理装
置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理プログラム
を記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関
し、特に、ロットの進捗計画に及ぼす影響を最小限にと
どめることができる技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造ラインでは、ロットと呼ばれ
る複数枚のシリコンウェハを格納した箱が物流の単位と
して存在する。半導体の製造は、数１００にも及ぶプロ
セス（処理工程）を経て製品として完成されていく。半
導体製造ラインの製造計画管理とは、この箱のプロセス
の進捗を管理するものである。また、各プロセスの立場
からは、現在の時点でどのロットが処理待ちの状態にな
っているかが管理されている。また、生産システムは、
製品の全てのプロセスの完成予定日、希望日（納期）を
管理している。
【０００３】図１２は、従来の製造計画管理方法を説明
するための図面である。ここで、各工程のＣＲ(Clean R
oom)作業者（オペレータ）は、前の工程での処理が終了
等して工程の処理を新たに開始できる状態になると、複
数の処理待ち状態のロットの中から、一度に処理可能な
数だけロットを選択して工程を実行する。例えば、図示
の如く、ＣＲ作業者Ａが作業を終了した場合に、次の工
程を行うＣＲ作業者Ｂへロットが移動される。そこで、
ロット納期等の情報からＣＲ作業者Ｂは、どのロットを
先に処理するかを判断する。
【０００４】ＣＲ作業者がロットを選択する判断基準
は、当該工程への到着が早い順、もしくは製造計画シス
テムが管理するロットの納期を意織した順である。上記
の判断基準をもとに、処理待ち状態のロットにはプロセ
スの開始を優先する順が付加され、この順に従ってＣＲ
作業者は工程を実行している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
製造計画管理方法では、以下の問題点がある。
【０００６】（１） ロットの工程を実行する優先順位
付けは、処理待ち状態の全てのロットを対象に行われて
いる。つまり、当該工程以前の工程にて滞留しているロ
ットについては、優先順位付けの対象外になる。このと
き例えば、工程を実行開始した直後に重要な優先ロット
が当該工程に到着すると、重要ロットにもかかわらず処
理待ち時間が長くなり、工程の進捗が遅れてしまうこと
になる。
【０００７】（２） バッチ式のプロセスを用いる工程
では、処理条件が同一のロットを一度に処理可能な分だ
けまとめて（チャージ組み）から処理を実行させる。こ
の方式の工程では、装置の許容する最大チャージ数にで
きる限り近くなるようにチャージ組みすることが、装置
のパフォーマンス向上の面で重要になる。
【０００８】ところが、処理待ち状態のロットのみを対
象にチヤージ組みを行うと、装置の最大チャージ数に満
たないまま処理を実行し、その直後に同一条件で処理で
きるロットが当該工程に到着するような場合が生じ易く
なる。このような体系でのロット処理は、非常に効率の
悪いものである。
【０００９】（３） 処理待ち状態のロットには、処理
を開始する優先順の概念が存在しているだけで、「どの
ロットをいつまでに」という時間的概念が全く存在しな
い。一方、製造装置は、定期的、もしくは非定期的に保
守、メンテナンス作業が行われ、当該作業期間中はロッ
トの進捗に妨げが生じることになる。処理待ちロットに
処理を開始すべき時間的概念の無いため、オペレータは
不用意に装置保守やメンテナンスを行う可能性があり、
ロットの進捗計画に支障をきたしてしまう。
【００１０】（４） 製造装置には故障、トラブル等の
不意の事象により、ロットの進捗の妨げとなることがあ
る。このような事象が発生し、ロットの進捗計画に対し
て実績に遅れが生じた揚合、ロットの進捗計画を見直す
（再計画）必要が生じる。この再計画に多大なる時間を
要するため、前記計画の見直し頻度が低くなり、ずれた
計画のままで不適切な前記優先順が付けられることにな
る。
【００１１】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、段取り等の準備作業を効率良く行
い、計画通りに正しく作業を行うことで、ロットの進捗
計画に及ぼす影響を最小限にとどめることができる製造
計画管理装置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理
プログラムを記録した機械読み取り可能な記録媒体を提
供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項１の発明は、製造計画管理装置において、少
なくとも各ロットの納期に関する情報を含む製造計画情
報を入力し、各ロットの納期からロットの製造計画を立
て、この製造計画を出力する製造計画部と、前記製造計
画及び作業計画情報を入力し、装置の状態、及びロット
の状態を考慮しつつ、前記製造計画に従うように作業の
計画を立て、作業指示を出力する作業計画部と、を有す
ることを特徴とする。
【００１３】請求項２の発明は、製造計画管理装置にお
いて、少なくとも、各ロットの納期に関する情報を含む
長期製造計画情報を入力し、各ロットの納期からロット
の長期製造計画を立て、この長期製造計画を出力する長
期製造計画部と、前記長期製造計画及び短期製造計画情
報を入力し、前記長期製造計画に従うようにロットの短
期製造計画を立て、この短期製造計画を出力する短期製
造計画部と、前記短期製造計画及び作業計画情報を入力
し、装置の状態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記
短期製造計画に従うように作業計画を立て、作業指示を
出力する作業計画部と、を有することを特徴とする。
【００１４】請求項３の発明は、前記請求項２における
長期製造計画部は、スケジューリングパラメータ、搬送
に関する情報、プロセスフローに関する情報、少なくと
もロットの納期を含むロットに関する情報、マシンに関
する情報、ラインに関する情報、及び製品に関する情報
を含む長期製造計画情報を入力してスケジュラ入力デー
タを生成する長期スケジューリング用スケジューラ入力
データ生成部と、前記生成されたスケジューラ入力デー
タに基づいて長期スケジューリングを行い、スケジュー
ラデータを出力する長期スケジューラと、前記スケジュ
ーラデータを用いて長期製造計画を生成する長期スケジ
ュールデータ生成部と、を有することを特徴とする。
【００１５】請求項４の発明は、前記請求項１又は２に
おける作業計画部は、前記短期製造計画及び作業計画情
報を入力し、装置の状態、及びロットの状態を考慮しつ
つ、前記短期製造計画に従うように作業計画を立て、前
記短期製造計画に従う上で支障が生じた場合には、作業
計画を立て直すことを特徴とする。
【００１６】上記目的を達成するため、請求項５の発明
は、製造計画管理方法において、少なくとも、各ロット
の納期に関する情報を含む長期製造計画情報を入力し、
各ロットの納期からロットの長期製造計画を立て、この
長期製造計画を出力する長期製造計画ステップと、前記
長期製造計画及び短期製造計画情報を入力し、前記長期
製造計画に従うようにロットの短期製造計画を立て、こ
の短期製造計画を出力する短期製造計画ステップと、前
記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
に従うように作業計画を立て、作業指示を出力する作業
計画ステップと、を有することを特徴とする。
【００１７】上記目的を達成するため、請求項６の発明
は、製造計画管理プログラムを記録したコンピュータ読
み取り可能な記録媒体において、少なくとも、各ロット
の納期に関する情報を含む長期製造計画情報を入力し、
各ロットの納期からロットの長期製造計画を立て、この
長期製造計画を出力する長期製造計画ステップと、前記
長期製造計画及び短期製造計画情報を入力し、前記長期
製造計画に従うように短期的なロットの進捗計画を立
て、短期製造計画を出力する短期製造計画ステップと、
前記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
に従うように作業計画を立て、作業指示を出力する作業
計画ステップと、を有することを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】本発明に係る製造計画管理装置、
製造計画管理方法、及び、製造計画管理プログラムを記
録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体の実施形態
について、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１９】本実施形態の製造計画管理装置には、以下
で説明する処理を実現するソフトウエアを作成し、その
処理を実行可能としたコンピュータシステムを用いる。
このコンピュータシステムには、いわゆる汎用機、ワー
クステーション、ＰＣ等が含まれる。本実施形態で用い
るコンピュータシステムのハードウエア構成は、各種処
理を行うためのＣＰＵと、キーボード、マウス、ライト
ペン、又はフレキシブルディスク装置等の入力装置と、
メモリ装置やディスク装置等の外部記憶装置と、ディス
プレイ装置、プリンタ装置等の出力装置等とを備える。
なお、前記ＣＰＵは、以下で説明する各計画部の処理に
関する命令の処理等を行う演算部と、前記処理の命令を
記憶する主記憶部とを具備する。この主記憶部や、外部
記憶装置に記憶された命令を逐次演算部に読み込ませ、
実行させることにより製造計画管理の処理が行われる。
【００２０】図１は、本実施形態の製造計画管理装置を
示すブロック図である。本実施形態では、３段階に階層
化されている製造計画管理装置である。図示の如く、少
なくとも各ロットの納期に関する情報を含む長期製造計
画情報１１０を入力し、各ロットの納期からロットの進
捗計画（長期製造計画）を立て、長期製造計画３００を
出力する長期計画部２００と、長期製造計画３００及び
短期製造計画情報１２０を入力し、前記長期製造計画３
００に従うように短期的なロットの進捗計画（短期製造
計画）を立て、短期製造計画５００を出力する短期製造
計画部４００と、短期製造計画５００及び作業計画情報
１３０を入力し、装置の状態、及びロットの状態を考慮
しつつ、前記短期製造計画に従うようにオペレータの行
うべき作業の計画（作業計画）を立て、作業指示７００
を出力する作業計画部６００と、を有するものである。
【００２１】各階層の計画部はシミュレーションを行
い、各ロットの進捗管理を行う。このため、各ロットの
工程着工順には時間的概念（どのロットをいつまでに）
が付加されている。つまり、処理待ち状態のロットのみ
ではなく、当該工程に到着していないロットについて
も、工程の処理が計画されるようになる点が特徴であ
る。従って、重要な優先ロットが工程にまだ存在してい
なくても、いつ頃に処理を開始すべきかを把握すること
ができ、他のロットを処理していたために優先ロットの
処理開始が遅延するような事態はなくなるのである。
【００２２】また、当該工程に到着していないロットに
ついても、時間の概念をもって工程の実行が計画される
ため、チャージ組みの際に処理待ち状態のロットだけで
なく、工程に未着のロットも対象にすることで、効率の
良いチャージ組みが実現できることになる。
【００２３】また、階層を３つ以上にすることにより、
例えば、短期製造計画部４００を設けることにより、各
工程でのロット処理量が予測でき、ロットの進捗に影響
しない時間帯を判断し、装置の保守、メンテナンス作業
を計画することができる。従来のように、オペレータが
不用意に保守作業を行ってしまい、ロットの進捗計画を
遅らせるようなことがなくなる。例えば、重要な優先ロ
ットが到着する予定であれば、このロットを処理した後
で装置保守作業を行えるように計画することができる。
【００２４】さらに、作業計画部６００は実際の状況の
変化に対応しながら随時実行している。このため、突発
的な装置故障や、異常処理によるロットの途中払い出し
等の発生により、オペレータの作業計画を見直す必要が
生じた場合でも、上層部の製造計画を基準に作業計画だ
け見直すことで、再計画に要する時間は短くてすみ、着
工優先順に早急に反映できるようになる。また、このた
め計画の見直し頻度も高くなり、高精度な計画が実現で
きる。
【００２５】次に、階層化された各計画部について説明
する。
【００２６】図２は、長期製造計画部２００の処理の流
れを示すブロック図である。まず、長期製造計画情報１
１０には、スケジューリングパラメータ１１１、搬送に
関する情報１１２、プロセスフローに関する情報１１
３、ロットに関する情報１１４、マシンに関する情報１
１５、ラインに関する情報１１６、及び製品に関する情
報１１７が含まれる。
【００２７】スケジューリングパラメータ１１１には、
スケジュールを行う期間及びスケジュール開始の日時の
情報等が含まれる。搬送に関する情報１１２には、搬送
を行う時間、ストッカ、搬送車に関する情報等が含まれ
る。プロセスフローに関する情報１１３には、工程の並
び順（プロセスフロー）、使用可能なマシン群、レシ
ピ、処理時間等の情報が含まれる。ロットに関する情報
１１４には、そのロットの納期、投入計画、現工程のＷ
ＩＰ(Work In Process)、ウエハ枚数、優先度等の情報
が含まれる。マシンに関する情報１１５には、処理能
力、チャージ組、マシンの段取り、非稼働率等の情報が
含まれる。ラインに関する情報１１６には、流し化ルー
ル、ラインの稼働カレンダー、作業者等の情報が含まれ
る。製品に関する情報１１７には、使用するプロセスフ
ロー、歩留まり等の情報が含まれる。
【００２８】これらの長期製造情報１１０を適宜用い
て、長期スケジューリング用スケジューラ入力データ生
成部２０１は、長期スケジューラに入力すべきデータ２
０２を生成する。続いて、このスケジュールデータ２０
２を用いて長期スケジューラ２０３により長期スケジュ
ーリングを行い、スケジューラ出力データ２０４を出力
する。続いて、長期スケジュールデータ生成部２０５に
て、スケジューラ出力データ２０４から長期製造計画３
００を生成する。
【００２９】長期スケジューラ２０３内部の機能とし
て、希望納期を満足するようにロットを流すアルゴリズ
ムが含まれている。シミュレーション対象期間は、少な
くとも投入が確定している全てのロットが工程を完成す
るまでを目安に数ヶ月間とする。シミュレーション頻度
は、投入計画やロットの希望納期が変更、更新されるタ
イミングを基本とする。シミュレションを実行した結
果、全てのロットの進捗計画を出力する。具体的には、
入力したプロセスフローに従って、各工程の「工程受入
時間」「処理開始時間」「処理終了時間」「工程払出時
間」を全ての対象ロットについて出力する。また、プロ
セスの最終工程の払出日時（予想納期）も出力する。
【００３０】図３は、長期製造計画を説明するためのイ
メージ図である。この図は、縦軸がプロセスフローであ
り、横軸が時間である。図面に向かって下に行くにつれ
てプロセスが進むことを意味する。また、図面に向かっ
て右へ進むにつれて時間が進むことを意味する。長期製
造計画部２００では、ある時点のラインの状態、その時
点以降のラインの予定、計画、また各製品（ロット）の
全工程完成希望日（納期）等の情報を取り込み、指定期
間分だけロットの進捗のシミュレーションを長期スケジ
ューラ２０３により行う。
【００３１】図４は、実際にユーザが参照できる長期製
造計画の出力結果を示す画面例である。この画面例で
は、所定の品名に係るロットに関する予想工期、予想払
出日、及び理論工期等を表示する。この品名及びロット
を再入力することにより新たな品名に係るロットの長期
計画を見ることができる。また、製造計画が途中で変更
される場合があることから、初期計画と最新計画の双方
を表示できるようにしてある。
【００３２】画面中央の図表の縦軸は工程名を示してお
り、横軸は時間を示し、本実施形態では、日付の目盛り
をふってある。縦軸の工程名は、工程番号とともに表示
されており、各工程の実績若しくは計画が表示される。
また、画面中央の図表は、上下、左右にスクロールが可
能となっており、図面下部の四角で囲まれた↑，↓，
←，→のボタンをクリックすることにより、工程名や時
間をスクロールさせることが出来る。なお、現在全行程
の中でどの部分の工程を表示しているかを示す画面３０
１を表示するようにしてもよい。
【００３３】図５は、短期製造計画部４００の処理の流
れを示すブロック図である。まず、短期製造計画情報１
２０には、スケジューリングパラメータ１２１、搬送に
関する情報１２２、プロセスフローに関する情報１２
３、ロットに関する情報１２４、マシンに関する情報１
２５、ラインに関する情報１２６、及び製品に関する情
報１２７が含まれる。
【００３４】スケジューリングパラメータ１２１には、
スケジュールを行う期間及びスケジュール開始の日時の
情報等が含まれる。搬送に関する情報１２２には、搬送
を行う時間、ストッカ、搬送車に関する情報等が含まれ
る。プロセスフローに関する情報１２３には、工程の並
び順（プロセスフロー）、使用可能なマシン群、レシ
ピ、処理時間等の情報が含まれる。ロットに関する情報
１２４には、現工程のＷＩＰ(Work In Process)、ウエ
ハ枚数、優先度等の情報が含まれる。マシンに関する情
報１２５には、処理能力、チャージ組、マシンの段取
り、トラブル率、保守／メンテ計画、装置非稼働計画等
の情報が含まれる。ラインに関する情報１２６は、流し
化ルール等の情報が含まれる。製品に関する情報１２７
には、使用するプロセスフロー、歩留まり等の情報が含
まれる。
【００３５】ここで、マシン稼働に関する情報１２５
は、前述の長期製造計画部２００では、確率論的な観点
のもとにマシン稼働率を入カデータとして用いていた
が、短期製造計画部４００では、シミュレーション期間
内における実際のマシン稼働計画を入カデータとする。
以下に例を示す。
【００３６】 例） 長期製造計画（稼働率） ：稼働＝75％ 非稼働＝25％ 短期製造計画（非稼働計画）：保守1＝13：30〜14：20 保守2＝17：15〜20：00 これらの短期製造情報１２０及び長期製造計画３００を
適宜用いて、短期スケジューリング用スケジューラ入力
データ生成部４０１は、短期スケジューラ４０３に入力
すべきデータ４０２を生成する。続いて、このスケジュ
ールデータ４０２を用いて短期スケジューラ４０３によ
り短期スケジューリングを行い、スケジューラ出力デー
タ４０４を出力する。続いて、短期スケジュールデータ
生成部４０５にて、スケジューラ出力データ４０４から
短期製造計画５００を生成する。
【００３７】長期製造計画部２００の結果に従うように
短期製造計画を実行するアルゴリズムは、シミュレータ
内部の機能として実現きるものとする。短期製造計画の
結果は、マシン単位の作業予定リストとして出力され
る。ガントチャートは、作業シフトの開始時間に、当シ
フト、及び次シフトにおける作業予定を把握できるもの
で、各シフト毎の頻度で作成される。
【００３８】図６は、短期製造計画を説明するためのイ
メージ図である。この図は、縦軸がプロセスフローであ
り、横軸が時間である。図面に向かって下に行くにつれ
てプロセスが進むことを意味する。また、図面に向かっ
て右へ進むにつれて時間が進むことを意味する。短期製
造計画部４００では、ある時点のラインの状態、その時
点以降のラインの予定、計画、また各ロットの進捗を長
期計画に近づけるようなパラメータ（納期）をシミュレ
ータに取り込み、指定期間分だけロットの進捗をシミュ
レーションする。このとき、シミュレータに取り込むデ
ータは、基本的に前記長期製造計画の場合と同様であ
る。
【００３９】図７は、実際のユーザが参照できる短期製
造計画の出力結果を示す画面例である。この画面例で
は、マシン単位の作業予定リストをガントチャートとし
て表示する。画面の図表の縦軸はマシン名を示してお
り、横軸は時間を示し、本実施形態では、時間の目盛り
をふってある。また、画面の図表は、上下、左右にスク
ロールが可能となっており、図面下部の四角で囲まれた
↑，↓，←，→のボタンをクリックすることにより、マ
シン名や時間をスクロールさせることが出来る。
【００４０】図８は、作業計画部６００の処理の流れを
示すブロック図である。まず、作業計画情報１３０に
は、スケジューリングパラメータ１３１、搬送に関する
情報１３２、プロセスフローに関する情報１３３、ロッ
トに関する情報１３４、マシンに関する情報１３５、ラ
インに関する情報１３６、及び製品に関する情報１３７
が含まれる。
【００４１】スケジューリングパラメータ１３１には、
スケジュールを行う期間及びスケジュール開始の日時の
情報等が含まれる。搬送に関する情報１３２には、搬送
を行う時間、ストッカ、搬送車に関する情報等が含まれ
る。プロセスフローに関する情報１３３には、工程の並
び順（プロセスフロー）、使用可能なマシン群、レシ
ピ、処理時間等の情報が含まれる。ロットに関する情報
１３４には、現工程のＷＩＰ(Work In Process)、ロッ
トの異常状況、ウエハ枚数、優先度等の情報が含まれ
る。マシンに関する情報１３５には、装置のトラブル状
況、処理待ち中ロット、仕掛かり中ロット（残処理時間
を含む）、処理能力、チャージ組、マシンの段取り、保
守／メンテ計画、装置非稼働計画等の情報が含まれる。
ラインに関する情報１３６は、流し化ルール等の情報が
含まれる。製品に関する情報１３７には、使用するプロ
セスフロー、歩留まり等の情報が含まれる。
【００４２】これらの作業計画情報及び短期製造計画５
００を適宜用いて、作業スケジューリング用スケジュー
ラ入力データ生成部６０１は、作業スケジューラ６０３
に入力すべきデータ６０２を生成する。続いて、このス
ケジュールデータ６０２を用いて作業スケジューラ６０
３により作業スケジューリングを行い、スケジューラ出
力データ６０４を出力する。続いて、作業スケジュール
データ生成部６０５にて、スケジューラ出力データ６０
４から作業指示７００を生成する。
【００４３】図９は、作業計画を説明するためのイメー
ジ図である。この図は、縦軸がプロセスフローであり、
横軸が時間である。図面に向かって下に行くにつれてプ
ロセスが進むことを意味する。また、図面に向かって右
へ進むにつれて時間が進むことを意味する。作業計画部
６００は、短期製造計画を守るような適切な指示を作業
者に対して出すために、マシン毎の作業を計画する。こ
のとき、上位の短期製造計画に従おうとする上で、何ら
かの支障を来すような事態がマシンやロットに対して発
生した場合、柔軟にかつ迅速に作業の計画を立て直す。
また、これらの突発的な事態を常に監視しており、事態
が発生する毎に計画が見直される。作業計画の結果は短
期製造計画同様、マシン単位の作業リストとして出力さ
れる。短期製造計画のガントチャートに比べ、対象期間
が数作業分であり、作業者はこのリストに従って作業を
進めていく。
【００４４】図１０は、実際にユーザが参照できる作業
計画の出力結果を示す画面例である。この画面例では、
マシン単位の作業リストをガントチャートとして表示す
る。画面の図表の縦軸は、マシン名を示しており、横軸
は時間を示し、本実施形態では、時間の目盛りをふって
ある。また、画面の図表は、上下、左右にスクロールが
可能となっており、図面下部の四角で囲まれた↑，↓，
←，→のボタンをクリックすることにより、マシン名や
時間をスクロールさせることが出来る。
【００４５】図１１は、本実施形態の製造計画管理装置
への入カデータの取り込み方法を説明するための図面で
ある。各ロットの工程の流れ（プロセスフロー）に関す
る情報は、各工程毎にプロセス条件、レシピ等を管理す
るシステムである製品製造仕様管理システム８０１より
生成される。また、各工程における処理時間に関する情
報は、マシンのレシピ、段取り等の情報を管理するシス
テムである装置制御システム８０２と、レシピとプロセ
スを制御する変数から処理時間を計算するシステムであ
るプロセス制御システム８０３とから生成される。
【００４６】また、現在ラインに仕掛かり中のロット
（WIP：WorkInProcess）に関する情報は、ロットの進捗
を管理するシステムである工程管理システム８０４から
生成される。これから投入されるロットに関する情報
は、投入ロットを管理するシステムである投入管理シス
テム８０５より生成される。装置の稼働に関する情報
は、装置の品質を管理するシステムである装置品質管理
システム８０６より生成される。装置の能力、ラインの
カレンダー、オペレータ等に関する情報は、これらのデ
ータを管理しているシステムであるマスタ管理システム
８０７から生成される。
【００４７】上述したように本実施形態の製造計画管理
装置は、製造計画管理を階層化を行うことにより、効率
の良いロットの進捗が実現でき、段取り等の準備作業を
効率よく行い、計画通りに正しく作業を行うことができ
る。短工期を目指す近年の製造ラインへの導入には非常
に大きな効果をもたらすことになる。
【００４８】このように本実施形態では、納期を意識し
たシミュレーションを用いて計画することにより、ロッ
トの進捗計画に時間的概念を導入することができる。従
って、短期製造計画や作業計画では、当該工程に到着し
ていないロットについても作業を計画できるようにな
る。
【００４９】また、中間階層として短期製造計画を行う
ことにより、作業者は予め自分の作業予定を把握できる
ようになるため、段取り等の準備作業を効率良く行うこ
とができ、計画通りに正しく作業を行うことができる。
また、優先度の高い重要ロットはスムーズに進捗される
ようになり、同一条件によるチャージ編成も効率良く行
い易くなる。さらに、短期製造計画の情報をもとに保守
作業を計画することができるので、ロットの進捗計画に
及ぼす影響を最小限にとどめることができる。
【００５０】また、装置故障や、ロットの異常等によ
り、作業計画を見直す必要があると、短期、長期製造計
画を変更せずに、作業計画だけを実行すればよい。この
ように、階層式に計画系が存在しているため、ラインの
実際の動きに対して迅速かつ柔軟に対応することができ
る。また、計画に対して実績にづれが生じた場合は、短
期製造計画がシフト毎の頻度で計画し直すために、素早
く吸収、補正することができる。
【００５１】なお、上述した製造計画管理を実現するた
めのプログラムは記録媒体に保存することができる。こ
の記録媒体をコンピュータシステムによって読み込ま
せ、前記プログラムを実行してコンピュータを制御しな
がら上述した製造計画管理を実現することができる。こ
こで、前記記録媒体とは、メモリ装置、磁気ディスク装
置、光ディスク装置等、プログラムを記録することがで
きるような装置が含まれる。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る製造計
画管理装置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理プ
ログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒
体によれば、段取り等の準備作業を効率良く行い、計画
通りに正しく作業を行うことで、ロットの進捗計画に及
ぼす影響を最小限にとどめることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の製造計画管理装置を示すブロック
図である。
【図２】図１の長期製造計画部２００の処理の流れを示
すブロック図である。
【図３】図１の長期製造計画部２００を説明するための
イメージ図である。
【図４】実際にユーザが参照できる長期製造計画の出力
結果を示す画面例である。
【図５】図１の短期製造計画部４００の処理の流れを示
すブロック図である。
【図６】図１の短期製造計画部４００を説明するための
イメージ図である。
【図７】実際のユーザが参照できる短期製造計画の出力
結果を示す画面例である。
【図８】図１の作業計画部６００の処理の流れを示すブ
ロック図である。
【図９】図１の作業計画部６００を説明するためのイメ
ージ図である。
【図１０】実際にユーザが参照できる作業計画の出力結
果を示す画面例である。
【図１１】本実施形態の製造計画管理装置への入カデー
タの取り込み方法を説明するための図面である。
【図１２】従来の製造計画管理方法を説明するための図
面である。
【符号の説明】
１１０ 長期製造計画情報 １１１，１２１，１３１ スケジューリングパラメータ １１２，１２２，１３２ 搬送に関する情報 １１３，１２３，１３３ プロセスフローに関する情報 １１４，１２４，１３４ ロットに関する情報 １１５，１２５，１３５ マシンに関する情報 １１６，１２６，１３６ ラインに関する情報 １１７，１２７，１３７ 製品に関する情報 ２００ 長期製造計画部 ２０１ 長期スケジューリング用スケジューラ入力デー
タ生成部 ２０２ スケジューラ入力データ ２０３ 長期スケジューラ ２０４ スケジューラ出力データ ２０５ 長期スケジュールデータ生成部 ３００ 長期製造計画 ４００ 短期製造計画部 ４０１ 短期スケジューリング用スケジューラ入力デー
タ生成部 ４０２ スケジューラ入力データ ４０３ 短期スケジューラ ４０４ スケジューラ出力データ ４０５ 短期スケジュールデータ生成部 ５００ 短期製造計画 ６００ 作業計画部 ６０１ 作業スケジューリング用スケジューラ入力デー
タ生成部 ６０２ スケジューラ入力データ ６０３ 作業スケジューラ ６０４ スケジューラ出力データ ６０５ 作業スケジュールデータ生成部 ７００ 作業指示 ８０１ 製品製造仕様管理システム ８０２ 装置制御システム ８０３ プロセス制御システム ８０４ 工程管理システム ８０５ 投入管理システム ８０６ 装置品質管理システム ８０７ マスタ管理システム

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 製造計画管理装置において、 少なくとも各ロットの納期に関する情報を含む製造計画
    情報を入力し、各ロットの納期からロットの製造計画を
    立て、この製造計画を出力する製造計画部と、 前記製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状態、
    及びロットの状態を考慮しつつ、前記製造計画に従うよ
    うに作業の計画を立て、作業指示を出力する作業計画部
    と、 を有することを特徴とする製造計画管理装置。
  2. 【請求項２】 製造計画管理装置において、 少なくとも、各ロットの納期に関する情報を含む長期製
    造計画情報を入力し、各ロットの納期からロットの長期
    製造計画を立て、この長期製造計画を出力する長期製造
    計画部と、 前記長期製造計画及び短期製造計画情報を入力し、前記
    長期製造計画に従うようにロットの短期製造計画を立
    て、この短期製造計画を出力する短期製造計画部と、 前記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
    態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
    に従うように作業計画を立て、作業指示を出力する作業
    計画部と、 を有することを特徴とする製造計画管理装置。
  3. 【請求項３】 前記長期製造計画部は、 スケジューリングパラメータ、搬送に関する情報、プロ
    セスフローに関する情報、少なくともロットの納期を含
    むロットに関する情報、マシンに関する情報、ラインに
    関する情報、及び製品に関する情報を含む長期製造計画
    情報を入力してスケジュラ入力データを生成する長期ス
    ケジューリング用スケジューラ入力データ生成部と、 前記生成されたスケジューラ入力データに基づいて長期
    スケジューリングを行い、スケジューラデータを出力す
    る長期スケジューラと、 前記スケジューラデータを用いて長期製造計画を生成す
    る長期スケジュールデータ生成部と、 を有することを特徴とする請求項２記載の製造計画管理
    装置。
  4. 【請求項４】 前記作業計画部は、 前記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
    態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
    に従うように作業計画を立て、前記短期製造計画に従う
    上で支障が生じた場合には、作業計画を立て直すことを
    特徴とする請求項１又は２記載の製造計画管理装置。
  5. 【請求項５】 製造計画管理方法において、 少なくとも、各ロットの納期に関する情報を含む長期製
    造計画情報を入力し、各ロットの納期からロットの長期
    製造計画を立て、この長期製造計画を出力する長期製造
    計画ステップと、 前記長期製造計画及び短期製造計画情報を入力し、前記
    長期製造計画に従うようにロットの短期製造計画を立
    て、この短期製造計画を出力する短期製造計画ステップ
    と、 前記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
    態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
    に従うように作業計画を立て、作業指示を出力する作業
    計画ステップと、 を有することを特徴とする製造計画管理方法。
  6. 【請求項６】 製造計画管理プログラムを記録したコン
    ピュータ読み取り可能な記録媒体において、 少なくとも、各ロットの納期に関する情報を含む長期製
    造計画情報を入力し、各ロットの納期からロットの長期
    製造計画を立て、この長期製造計画を出力する長期製造
    計画ステップと、 前記長期製造計画及び短期製造計画情報を入力し、前記
    長期製造計画に従うように短期的なロットの進捗計画を
    立て、短期製造計画を出力する短期製造計画ステップ
    と、 前記短期製造計画及び作業計画情報を入力し、装置の状
    態、及びロットの状態を考慮しつつ、前記短期製造計画
    に従うように作業計画を立て、作業指示を出力する作業
    計画ステップと、 を有することを特徴とする製造計画管理プログラムを記
    録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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