JPH1123658A - 制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式 - Google Patents
制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式Info
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- JPH1123658A JPH1123658A JP9190408A JP19040897A JPH1123658A JP H1123658 A JPH1123658 A JP H1123658A JP 9190408 A JP9190408 A JP 9190408A JP 19040897 A JP19040897 A JP 19040897A JP H1123658 A JPH1123658 A JP H1123658A
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- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B23/02—Electric testing or monitoring
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- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じ
た適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御
すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止し、更に装
置全体の稼働状況を監視することができる制御コンピュ
ータを用いた半導体検査装置の冷却方式を提供すること
にある。 【解決手段】 直流モータ４２Ａで回転するファン４
０Ａと、ファン４０Ａによって冷却された測定ユニット
６０Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度情報
Ｔ及び回転情報Ｒを読み取る制御コンピュータ１０を備
えている。制御コンピュータ１０は、ファン４０Ａの回
転数Ｎｄｃを制御するための制御信号Ｓを、ファン制御
・電力供給部５０へ送信し、測定ユニット６０Ａの動作
状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎ
ｄｃの最適制御を行う。
た適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御
すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止し、更に装
置全体の稼働状況を監視することができる制御コンピュ
ータを用いた半導体検査装置の冷却方式を提供すること
にある。 【解決手段】 直流モータ４２Ａで回転するファン４
０Ａと、ファン４０Ａによって冷却された測定ユニット
６０Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度情報
Ｔ及び回転情報Ｒを読み取る制御コンピュータ１０を備
えている。制御コンピュータ１０は、ファン４０Ａの回
転数Ｎｄｃを制御するための制御信号Ｓを、ファン制御
・電力供給部５０へ送信し、測定ユニット６０Ａの動作
状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎ
ｄｃの最適制御を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は制御コンピュータ
を用いた半導体検査装置の冷却方式、特に直流モータで
駆動するファンを使用することにより、測定ユニットの
発熱量に応じた風量が得られるようにファンの回転数を
制御し、無駄な電力を消費しないようにし、更に装置全
体の稼働状況を監視できる制御コンピュータを用いた半
導体検査装置の冷却方式に関する。
を用いた半導体検査装置の冷却方式、特に直流モータで
駆動するファンを使用することにより、測定ユニットの
発熱量に応じた風量が得られるようにファンの回転数を
制御し、無駄な電力を消費しないようにし、更に装置全
体の稼働状況を監視できる制御コンピュータを用いた半
導体検査装置の冷却方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体検査装置は、図３（Ａ）
に示すように、本体２００とテストヘッド３００を備
え、本体２００の制御により、テストヘッド３００に装
着された被測定デバイスの電気的特性を検査する。
に示すように、本体２００とテストヘッド３００を備
え、本体２００の制御により、テストヘッド３００に装
着された被測定デバイスの電気的特性を検査する。
【０００３】このような半導体検査装置において、本体
２００やテストヘッド３００の一部である測定ユニット
１００Ａを冷却する場合（図４）、従来は、図４に示す
方式を使用していた。
２００やテストヘッド３００の一部である測定ユニット
１００Ａを冷却する場合（図４）、従来は、図４に示す
方式を使用していた。
【０００４】即ち、図４において、測定ユニット１００
Ａに隣接してファン８０Ａを設置し、このファン８０Ａ
の三相交流モータ８２Ａを回転させることにより、測定
ユニット１００Ａの発熱により温められた空気を吸い出
す。
Ａに隣接してファン８０Ａを設置し、このファン８０Ａ
の三相交流モータ８２Ａを回転させることにより、測定
ユニット１００Ａの発熱により温められた空気を吸い出
す。
【０００５】このとき、空気が吸い出された部分に負圧
が生じるので、この部分に、ファン８０Ａと対向位置に
設けられた測定ユニット１００Ａの開放部分を介して、
外部の冷たい空気が取り込まれる。
が生じるので、この部分に、ファン８０Ａと対向位置に
設けられた測定ユニット１００Ａの開放部分を介して、
外部の冷たい空気が取り込まれる。
【０００６】その結果、測定ユニット１００Ａの放熱が
行われ、その測定ユニット１００Ａは冷却される。
行われ、その測定ユニット１００Ａは冷却される。
【０００７】この場合、ファン８０Ａを駆動させる三相
交流モータ８２Ａの回転数は、モータの交流電源の周波
数と、モータの回転磁界の極数により、決定される。こ
のことから、三相交流モータ８２Ａの回転数は、一般に
は、特定の固定値となる。
交流モータ８２Ａの回転数は、モータの交流電源の周波
数と、モータの回転磁界の極数により、決定される。こ
のことから、三相交流モータ８２Ａの回転数は、一般に
は、特定の固定値となる。
【０００８】即ち、三相交流モータ８２Ａにおいて、回
転数をＮａｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、交流電源の周波数
をＦ（単位：Ｈｚ）、回転磁界の極数をｐとすれば、よ
く知られているように、下記の関係式が成立する。 Ｎａｃ＝２Ｆ／ｐ・・・・・・・ 式において、交流電源の周波数Ｆは、一般に５０Ｈ
ｚ、又は６０Ｈｚであり、また回転磁界の極数ｐは、モ
ータを製造するときに決まる固定値である。
転数をＮａｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、交流電源の周波数
をＦ（単位：Ｈｚ）、回転磁界の極数をｐとすれば、よ
く知られているように、下記の関係式が成立する。 Ｎａｃ＝２Ｆ／ｐ・・・・・・・ 式において、交流電源の周波数Ｆは、一般に５０Ｈ
ｚ、又は６０Ｈｚであり、また回転磁界の極数ｐは、モ
ータを製造するときに決まる固定値である。
【０００９】従って、式より、三相交流モータ８２Ａ
の回転数Ｎａｃは、固定値となる。
の回転数Ｎａｃは、固定値となる。
【００１０】また、測定ユニット１００Ａを冷却するの
に必要な風量は、既述した三相交流モータ８２Ａの回転
数Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定され
る。
に必要な風量は、既述した三相交流モータ８２Ａの回転
数Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定され
る。
【００１１】更に、図４において、温度センサ７０Ａ
は、一般に、特定温度以上（異常温度領域）になると動
作するサーマルリレータイプであり、リレーの動作状況
（ＯＮ／ＯＦＦ）は、信号ケーブル７１Ａにより電源コ
ントローラ９０へ伝達される。
は、一般に、特定温度以上（異常温度領域）になると動
作するサーマルリレータイプであり、リレーの動作状況
（ＯＮ／ＯＦＦ）は、信号ケーブル７１Ａにより電源コ
ントローラ９０へ伝達される。
【００１２】これにより、電源コントローラ９０は、電
源ケーブル１０１Ａを介して測定ユニット１００Ａへ供
給している電源を遮断する。
源ケーブル１０１Ａを介して測定ユニット１００Ａへ供
給している電源を遮断する。
【００１３】即ち、従来は、三相交流モータ８２Ａを用
いたファン８０Ａにより測定ユニット１００Ａを冷却す
ると共に、測定ユニット１００Ａの周囲の温度が異常温
度領域に到達した場合には、電源を遮断していた。
いたファン８０Ａにより測定ユニット１００Ａを冷却す
ると共に、測定ユニット１００Ａの周囲の温度が異常温
度領域に到達した場合には、電源を遮断していた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】既述したように、従来
技術においては（図４）、測定ユニット１００Ａを冷却
するのに必要な風量は、三相交流モータ８２Ａの回転数
Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定される。
技術においては（図４）、測定ユニット１００Ａを冷却
するのに必要な風量は、三相交流モータ８２Ａの回転数
Ｎａｃと、ファン８０Ａの断面積により、決定される。
【００１５】ところが、式から明らかなように、三相
交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値であり、ま
たファン８０Ａの断面積も一定であることから、三相交
流モータ８２Ａを使用した場合には、測定ユニット１０
０ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態（発熱量Ｑa が少）にある
か、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態（発熱量Ｑa が多）にある
かに関係なく、冷却用の風量は不変である。
交流モータ８２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値であり、ま
たファン８０Ａの断面積も一定であることから、三相交
流モータ８２Ａを使用した場合には、測定ユニット１０
０ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態（発熱量Ｑa が少）にある
か、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態（発熱量Ｑa が多）にある
かに関係なく、冷却用の風量は不変である。
【００１６】例えば、図３（Ａ）に示す半導体検査装置
の測定ユニットをＵ１、Ｕ２、Ｕ３とし、Ｓｔａｎｄ−
ｂｙ状態を×、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態を○で表し、図
３（Ｂ）に示す動作状態があるとする。
の測定ユニットをＵ１、Ｕ２、Ｕ３とし、Ｓｔａｎｄ−
ｂｙ状態を×、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態を○で表し、図
３（Ｂ）に示す動作状態があるとする。
【００１７】このうち、ａの場合は、全ての測定ユニッ
トＵ１〜Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態にあり、ｂの場
合は、２つの測定ユニットＵ２、Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉ
ｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ１がＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態にあり、ｃの場合は、１つの測定ユニットＵ１がＯ
ｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ２、Ｕ３
がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｄの場合は、全ての測
定ユニットＵ１〜Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にある。
トＵ１〜Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態にあり、ｂの場
合は、２つの測定ユニットＵ２、Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉ
ｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ１がＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態にあり、ｃの場合は、１つの測定ユニットＵ１がＯ
ｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ２、Ｕ３
がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｄの場合は、全ての測
定ユニットＵ１〜Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にある。
【００１８】従って、図３（Ｂ）に示す場合、発熱量Ｑ
a については、最も多い場合がａであり、ｂ、ｃの順に
少なくなり、最も少ないのがｄである。即ち、半導体検
査装置内（図３（Ａ））の被測定デバイスにより、測定
ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態とＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態によって消費する電力、即ち、発熱量が異なる場合
がある。
a については、最も多い場合がａであり、ｂ、ｃの順に
少なくなり、最も少ないのがｄである。即ち、半導体検
査装置内（図３（Ａ））の被測定デバイスにより、測定
ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態とＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態によって消費する電力、即ち、発熱量が異なる場合
がある。
【００１９】しかし、従来は、三相交流モータ８２Ａで
駆動するファン８０Ａを使用していることが起因し、冷
却に必要な風量を、発熱量Ｑa に応じて変えることがで
きない。
駆動するファン８０Ａを使用していることが起因し、冷
却に必要な風量を、発熱量Ｑa に応じて変えることがで
きない。
【００２０】このため、測定ユニット１００ＡがＳｔａ
ｎｄ−ｂｙ状態であっても、最大発熱量状態の測定ユニ
ット１００Ａを冷却するのと同じだけの風量が必要とな
る。例えば、図３（Ｂ）のｄの状態であっても（すべて
の測定ユニットがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態）、ａの状態
（すべての測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態）と
同じ風量が必要となる。
ｎｄ−ｂｙ状態であっても、最大発熱量状態の測定ユニ
ット１００Ａを冷却するのと同じだけの風量が必要とな
る。例えば、図３（Ｂ）のｄの状態であっても（すべて
の測定ユニットがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態）、ａの状態
（すべての測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態）と
同じ風量が必要となる。
【００２１】従って、その分だけファン８０Ａの回転数
も多くなり、必要以上の電力を消費することになり、無
駄な電力を消費していた。
も多くなり、必要以上の電力を消費することになり、無
駄な電力を消費していた。
【００２２】更に、図４に示す従来技術は、装置全体の
稼働状況を監視する機能がなく、誤動作をした場合に、
容易に動作状況の確認を行えなかった。
稼働状況を監視する機能がなく、誤動作をした場合に、
容易に動作状況の確認を行えなかった。
【００２３】例えば、温度センサ７０Ａが故障し、測定
ユニット１００Ａが適正な温度であるにもかかわらず、
電源コントローラ９０が異常温度領域に到達したと判断
し、誤って測定ユニット１００Ａへの電源の供給を停止
してしまう場合がある。
ユニット１００Ａが適正な温度であるにもかかわらず、
電源コントローラ９０が異常温度領域に到達したと判断
し、誤って測定ユニット１００Ａへの電源の供給を停止
してしまう場合がある。
【００２４】この発明の目的は、測定ユニットの動作状
態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、
ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力
消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視すること
ができる制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷
却方式を提供することにある。
態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、
ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力
消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視すること
ができる制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷
却方式を提供することにある。
【００２５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明によれば、半導体検査装置の測定ユニット
６０Ａを冷却する方式において、直流モータ４２Ａの回
転により、測定ユニット６０Ａを冷却するファン４０Ａ
と、ファン４０Ａによって冷却される測定ユニット６０
Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度監視回路
２０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供
給部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続され、測
定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転
情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ
を制御するための制御信号Ｓを出力する制御コンピュー
タ１０と、制御コンピュータ１０から送信された制御信
号Ｓに基づいて、測定ユニット６０Ａの動作状態ごとの
発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適
制御を行うファン制御・電力供給部５０を備えている。
に、この発明によれば、半導体検査装置の測定ユニット
６０Ａを冷却する方式において、直流モータ４２Ａの回
転により、測定ユニット６０Ａを冷却するファン４０Ａ
と、ファン４０Ａによって冷却される測定ユニット６０
Ａの温度を測定する温度センサ３０Ａと、温度監視回路
２０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供
給部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続され、測
定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転
情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ
を制御するための制御信号Ｓを出力する制御コンピュー
タ１０と、制御コンピュータ１０から送信された制御信
号Ｓに基づいて、測定ユニット６０Ａの動作状態ごとの
発熱量Ｑa に応じてファン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適
制御を行うファン制御・電力供給部５０を備えている。
【００２６】従って、この発明の構成によれば、ファン
４０Ａが直流モータ４２Ａにより駆動するので、例え
ば、直流モータ４２Ａの電圧Ｖを制御することにより
（式）、測定ユニット６０Ａ（図１）の動作状態ごと
の発熱量Ｑa に応じた適正な風量が得られるように、フ
ァン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御することができるの
で、ファン４０Ａの無駄な電力消費が防止される。
４０Ａが直流モータ４２Ａにより駆動するので、例え
ば、直流モータ４２Ａの電圧Ｖを制御することにより
（式）、測定ユニット６０Ａ（図１）の動作状態ごと
の発熱量Ｑa に応じた適正な風量が得られるように、フ
ァン４０Ａの回転数Ｎｄｃを制御することができるの
で、ファン４０Ａの無駄な電力消費が防止される。
【００２７】更に、測定ユニット６０Ａの温度等の温度
情報Ｔと、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを決定している
電圧Ｖ等の回転情報Ｒをそれぞれ読み取る制御コンピュ
ータ１０を設けたことにより、装置全体の稼働状況が監
視できるので、誤動作等を確認し易くなり、より適切な
冷却制御が行われる。
情報Ｔと、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃを決定している
電圧Ｖ等の回転情報Ｒをそれぞれ読み取る制御コンピュ
ータ１０を設けたことにより、装置全体の稼働状況が監
視できるので、誤動作等を確認し易くなり、より適切な
冷却制御が行われる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施形態により
添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の第１
実施形態を示す図であり、参照符号１０は制御コンピュ
ータ、２０は温度監視回路、３０Ａは温度センサ、４０
Ａはファン、５０はファン制御・電力供給部、６０Ａは
測定ユニットである。
添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の第１
実施形態を示す図であり、参照符号１０は制御コンピュ
ータ、２０は温度監視回路、３０Ａは温度センサ、４０
Ａはファン、５０はファン制御・電力供給部、６０Ａは
測定ユニットである。
【００２９】測定ユニット６０Ａは、半導体検査装置
（図３（Ａ））の本体２００やテストヘッド３００の一
部であって、電力が供給されることにより発熱し、冷却
が必要な部分である。
（図３（Ａ））の本体２００やテストヘッド３００の一
部であって、電力が供給されることにより発熱し、冷却
が必要な部分である。
【００３０】温度センサ３０Ａは、測定ユニット６０Ａ
の周囲の空気の温度を測定し、その温度情報Ｔを、信号
ケーブル３１Ａを介して、後述する温度監視回路２０へ
伝送する。
の周囲の空気の温度を測定し、その温度情報Ｔを、信号
ケーブル３１Ａを介して、後述する温度監視回路２０へ
伝送する。
【００３１】ファン４０Ａは、測定ユニット６０Ａに隣
接して設置され、直流モータ４２Ａが回転することによ
り、測定ユニット６０Ａの発熱により温められた空気を
吸い出し、外部からの冷たい空気により測定ユニット６
０Ａを冷却する。
接して設置され、直流モータ４２Ａが回転することによ
り、測定ユニット６０Ａの発熱により温められた空気を
吸い出し、外部からの冷たい空気により測定ユニット６
０Ａを冷却する。
【００３２】このファン４０Ａを駆動する直流モータ４
２Ａの回転数は、次式で表される。
２Ａの回転数は、次式で表される。
【００３３】即ち、直流モータ４２Ａにおいて、回転数
をＮｄｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、モータの直流電源の電
圧をＶ（単位：Ｖ）、モータの電機子回路の抵抗をｒ
（単位：Ω）、モータの電機子電流をＩ（単位：Ａ）、
毎極の磁束数をΦ（単位：Ｗｂ）、モータの構造により
決まる定数をＫとすると、よく知られているように、下
記の関係式が成立する。 Ｎｄｃ＝Ｋ（Ｖ−ｒＩ）／Φ・・・・・ この式において、回転数Ｎｄｃを制御する方法として
は、直流電源の電圧Ｖ、電機子回路の抵抗ｒ、毎極の磁
束数Φのいずれかを変える方法がある。
をＮｄｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、モータの直流電源の電
圧をＶ（単位：Ｖ）、モータの電機子回路の抵抗をｒ
（単位：Ω）、モータの電機子電流をＩ（単位：Ａ）、
毎極の磁束数をΦ（単位：Ｗｂ）、モータの構造により
決まる定数をＫとすると、よく知られているように、下
記の関係式が成立する。 Ｎｄｃ＝Ｋ（Ｖ−ｒＩ）／Φ・・・・・ この式において、回転数Ｎｄｃを制御する方法として
は、直流電源の電圧Ｖ、電機子回路の抵抗ｒ、毎極の磁
束数Φのいずれかを変える方法がある。
【００３４】このうち、一般的には、直流電源の電圧Ｖ
を制御する方法が取られている。従って、本実施形態に
おいても、直流モータ４２Ａを使用したファン４０Ａ
を、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン制御・電力供
給部５０に接続し、電圧Ｖを制御することにより、ファ
ン４０Ａの回転数を制御することにした。
を制御する方法が取られている。従って、本実施形態に
おいても、直流モータ４２Ａを使用したファン４０Ａ
を、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン制御・電力供
給部５０に接続し、電圧Ｖを制御することにより、ファ
ン４０Ａの回転数を制御することにした。
【００３５】制御コンピュータ１０は、温度監視回路２
０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供給
部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続されている
（図１）。
０を介して温度センサ３０Ａに、ファン制御・電力供給
部５０を介してファン４０Ａにそれぞれ接続されている
（図１）。
【００３６】これにより、制御コンピュータ１０は、測
定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転
情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ
を制御するための制御信号Ｓを出力する。
定ユニット６０Ａの温度情報Ｔと、ファン４０Ａの回転
情報Ｒを読み取ると共に、ファン４０Ａの回転数Ｎｄｃ
を制御するための制御信号Ｓを出力する。
【００３７】温度情報Ｔには、測定ユニット６０Ａの温
度、及びこの温度が異常温度領域に属するか否か等の情
報が含まれ、また回転情報Ｒには、ファン４０Ａの回転
数Ｎｄｃを決定している電圧Ｖの設定値（式）等が含
まれている。
度、及びこの温度が異常温度領域に属するか否か等の情
報が含まれ、また回転情報Ｒには、ファン４０Ａの回転
数Ｎｄｃを決定している電圧Ｖの設定値（式）等が含
まれている。
【００３８】更に、制御信号Ｓには、ファン４０Ａの回
転数Ｎｄｃが最適になるための電圧Ｖの設定値、測定ユ
ニット６０Ａの温度が異常温度領域に属する場合の電力
Ｐの停止命令や、そのときのファン４０Ａが最高回転数
で回転するための電圧Ｖの設定値等が含まれる。
転数Ｎｄｃが最適になるための電圧Ｖの設定値、測定ユ
ニット６０Ａの温度が異常温度領域に属する場合の電力
Ｐの停止命令や、そのときのファン４０Ａが最高回転数
で回転するための電圧Ｖの設定値等が含まれる。
【００３９】この制御コンピュータ１０は、例えば、判
断ソフト１０Ａを有し、次のような動作をする。
断ソフト１０Ａを有し、次のような動作をする。
【００４０】即ち、測定ユニット６０Ａの温度が異常温
度領域に属さないと判断した場合には、その発熱量Ｑa
に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を
制御信号Ｓとして、次段のファン制御・電力供給部５０
へ送信する。
度領域に属さないと判断した場合には、その発熱量Ｑa
に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を
制御信号Ｓとして、次段のファン制御・電力供給部５０
へ送信する。
【００４１】また、測定ユニット６０Ａの温度が異常温
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ａへの電力Ｐの供給を停止する命令と、その場合にファ
ン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な電圧Ｖの
設定値とを、それぞれ制御信号Ｓとして、次段のファン
制御・電力供給部５０へ送信する。
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ａへの電力Ｐの供給を停止する命令と、その場合にファ
ン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な電圧Ｖの
設定値とを、それぞれ制御信号Ｓとして、次段のファン
制御・電力供給部５０へ送信する。
【００４２】ファン制御・電力供給部５０には、既述し
たように、信号ケーブル１１を介して制御コンピュータ
１０が、電力ケーブル４１Ａを介してファン４０Ａがそ
れぞれ接続されていると共に、測定ユニット６０Ａが電
力ケーブル６１Ａを介して接続されている。
たように、信号ケーブル１１を介して制御コンピュータ
１０が、電力ケーブル４１Ａを介してファン４０Ａがそ
れぞれ接続されていると共に、測定ユニット６０Ａが電
力ケーブル６１Ａを介して接続されている。
【００４３】この構成により、ファン制御・電力供給部
５０は、制御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制
御により、既述したように、制御信号Ｓに基づき、測定
ユニット６０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてフ
ァン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
５０は、制御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制
御により、既述したように、制御信号Ｓに基づき、測定
ユニット６０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてフ
ァン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００４４】更に、ファン制御・電力供給部５０は、制
御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制御により、
測定ユニット６０Ａに電力Ｐを供給し、測定ユニット６
０Ａの温度が、ファン４０Ａでは冷却不可能な異常温度
領域に到達した場合には、測定ユニット６０Ａへ電力Ｐ
の供給を停止すると共に、ファン４０Ａを最高回転数で
回して冷却する。
御コンピュータ１０の判断ソフト１０Ａの制御により、
測定ユニット６０Ａに電力Ｐを供給し、測定ユニット６
０Ａの温度が、ファン４０Ａでは冷却不可能な異常温度
領域に到達した場合には、測定ユニット６０Ａへ電力Ｐ
の供給を停止すると共に、ファン４０Ａを最高回転数で
回して冷却する。
【００４５】図２は、この発明の第２実施形態を示す図
であり、測定ユニットが２つの例を示している。
であり、測定ユニットが２つの例を示している。
【００４６】即ち、図１の測定ユニット６０Ａと同様の
構成を備えたもう１つの測定ユニット６０Ｂが設けら
れ、測定ユニット６０Ｂの温度を測定する温度センサ３
０Ｂ、及び直流モータ４２Ｂで回転することにより、測
定ユニット６０Ｂを冷却するファン４０Ｂがそれぞれ設
けられている。
構成を備えたもう１つの測定ユニット６０Ｂが設けら
れ、測定ユニット６０Ｂの温度を測定する温度センサ３
０Ｂ、及び直流モータ４２Ｂで回転することにより、測
定ユニット６０Ｂを冷却するファン４０Ｂがそれぞれ設
けられている。
【００４７】そして、測定ユニット６０Ｂは、電力ケー
ブル６１Ｂを介して、ファン４０Ｂは、電力ケーブル４
１Ｂを介して、共通の温度制御・電力供給部５０にそれ
ぞれ接続されている。また、温度センサ３０Ｂは、信号
ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０に接続され
ている。
ブル６１Ｂを介して、ファン４０Ｂは、電力ケーブル４
１Ｂを介して、共通の温度制御・電力供給部５０にそれ
ぞれ接続されている。また、温度センサ３０Ｂは、信号
ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０に接続され
ている。
【００４８】この図２の例では、共通の温度制御・電力
供給部５０並びに温度監視回路２０が使用されている
が、温度制御・電力供給部並びに温度監視回路を、測定
ユニット６０Ａと測定ユニット６０Ｂに対応してそれぞ
れ別々に設けてもよい。また、図２では、測定ユニット
が２つの場合について説明したが、これに限定されず、
測定ユニットは３つ以上設けられていてもよい。
供給部５０並びに温度監視回路２０が使用されている
が、温度制御・電力供給部並びに温度監視回路を、測定
ユニット６０Ａと測定ユニット６０Ｂに対応してそれぞ
れ別々に設けてもよい。また、図２では、測定ユニット
が２つの場合について説明したが、これに限定されず、
測定ユニットは３つ以上設けられていてもよい。
【００４９】以下、前記構成を備えたこの発明の作用を
説明する。
説明する。
【００５０】１．測定ユニットが１つの場合の作用この
場合は、図１において、測定ユニット６０Ａから発生す
る熱により温められた空気を、直流モータ４２Ａにより
回転するファン４０Ａで吸い出し、測定ユニット６０Ａ
を冷却する。
場合は、図１において、測定ユニット６０Ａから発生す
る熱により温められた空気を、直流モータ４２Ａにより
回転するファン４０Ａで吸い出し、測定ユニット６０Ａ
を冷却する。
【００５１】このとき、温度センサー３０Ａにより、測
定ユニット６０Ａの現在の温度を測定し、この温度情報
Ｔは、信号ケーブル３１Ａを介して、温度監視回路２０
に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔを、信号
ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０へ
送信する。
定ユニット６０Ａの現在の温度を測定し、この温度情報
Ｔは、信号ケーブル３１Ａを介して、温度監視回路２０
に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔを、信号
ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０へ
送信する。
【００５２】制御コンピュータ１０は、前記温度監視回
路２０から送信されて来る温度情報Ｔを常に監視してい
る。
路２０から送信されて来る温度情報Ｔを常に監視してい
る。
【００５３】そして、制御コンピュータ１０は、その判
断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が異
常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑa
に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を
制御信号Ｓとして、信号ケーブル１１を介して、ファン
制御・電力供給部５０に送信する。
断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が異
常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑa
に応じて測定ユニット６０Ａを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖを設定し、その設定値を
制御信号Ｓとして、信号ケーブル１１を介して、ファン
制御・電力供給部５０に送信する。
【００５４】即ち、測定ユニット６０ＡがＳｔａｎｄ−
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑa が少なく、ファン４０Ａ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、電圧Ｖの
設定値も小さくする。
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑa が少なく、ファン４０Ａ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、電圧Ｖの
設定値も小さくする。
【００５５】しかし、測定ユニット６０ＡがＯｐｅｒａ
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑaが多く、ファン４０
Ａの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、電圧Ｖの設定値も大きくする。
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑaが多く、ファン４０
Ａの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、電圧Ｖの設定値も大きくする。
【００５６】そして、このような制御信号Ｓを受信した
ファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対応
した電圧Ｖを発生し、それをファン４０Ａに印加する
と、ファン４０Ａは、この電圧Ｖに応じた回転数Ｎｄｃ
により（式）、回転する。
ファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対応
した電圧Ｖを発生し、それをファン４０Ａに印加する
と、ファン４０Ａは、この電圧Ｖに応じた回転数Ｎｄｃ
により（式）、回転する。
【００５７】また、測定ユニット６０Ａの温度が異常温
度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５
０から、電力ケーブル６１Ａを介して、測定ユニット６
０Ａへ所定の電力Ｐを供給する。
度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５
０から、電力ケーブル６１Ａを介して、測定ユニット６
０Ａへ所定の電力Ｐを供給する。
【００５８】反対に、制御コンピュータ１０は、判断ソ
フト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が、ファ
ン４０Ａでは冷却不可能な異常温度領域に到達したと判
断した場合、即ち、測定ユニット６０Ａの温度が異常温
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ａへの電力供給停止命令と、ファン４０Ａを最高回転数
で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓとして、信号
ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０へ
送信する。
フト１０Ａにより、測定ユニット６０Ａの温度が、ファ
ン４０Ａでは冷却不可能な異常温度領域に到達したと判
断した場合、即ち、測定ユニット６０Ａの温度が異常温
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ａへの電力供給停止命令と、ファン４０Ａを最高回転数
で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓとして、信号
ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０へ
送信する。
【００５９】これにより、ファン制御・電力供給部５０
は、測定ユニット６０Ａへの電力供給を停止すると共
に、ファン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖを、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン４０Ａ
に印加し、ファン４０Ａは、最高回転数で回転する。
は、測定ユニット６０Ａへの電力供給を停止すると共
に、ファン４０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖを、電力ケーブル４１Ａを介して、ファン４０Ａ
に印加し、ファン４０Ａは、最高回転数で回転する。
【００６０】このように、測定ユニット６０Ａが、発熱
量Ｑa が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑa
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
a が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６
０Ａを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
量Ｑa が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑa
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
a が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６
０Ａを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン４０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００６１】更に、この間、制御コンピュータ１０は、
温度情報Ｔと回転情報Ｒを読み取ることにより、装置全
体の稼働状況を監視することができる。
温度情報Ｔと回転情報Ｒを読み取ることにより、装置全
体の稼働状況を監視することができる。
【００６２】２．測定ユニットが２つの場合の作用この
場合は、図２において、測定ユニット６０Ａに関して
は、ファン４０Ａと温度センサ３０Ａと、温度監視回路
２０と、制御コンピュータ１０と、ファン制御・電力供
給部５０が、前記と同じ動作を行う。
場合は、図２において、測定ユニット６０Ａに関して
は、ファン４０Ａと温度センサ３０Ａと、温度監視回路
２０と、制御コンピュータ１０と、ファン制御・電力供
給部５０が、前記と同じ動作を行う。
【００６３】また、測定ユニット６０Ｂに関しては、そ
の測定ユニット６０Ｂから発生する熱により温められた
空気を、直流モータ４２Ｂにより回転するファン４０Ｂ
で吸い出し、測定ユニット６０Ｂを冷却する。
の測定ユニット６０Ｂから発生する熱により温められた
空気を、直流モータ４２Ｂにより回転するファン４０Ｂ
で吸い出し、測定ユニット６０Ｂを冷却する。
【００６４】このとき、温度センサ３０Ｂにより、測定
ユニット６０Ｂの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔ
ｂは、信号ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０
に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔｂを、信
号ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０
へ送信する。
ユニット６０Ｂの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔ
ｂは、信号ケーブル３１Ｂを介して、温度監視回路２０
に送信され、温度監視回路２０は、温度情報Ｔｂを、信
号ケーブル２１を介して、次段の制御コンピュータ１０
へ送信する。
【００６５】制御コンピュータ１０は、前記温度監視回
路２０から送信されて来る温度情報Ｔｂを常に監視して
いる。
路２０から送信されて来る温度情報Ｔｂを常に監視して
いる。
【００６６】そして、制御コンピュータ１０は、その判
断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異
常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑｂ
に応じて測定ユニット６０Ｂを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖｂを設定し、その設定値
を制御信号Ｓｂとして、信号ケーブル１１を介して、フ
ァン制御・電力供給部５０に送信する。
断ソフト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異
常温度領域に属さないと判断した場合には、発熱量Ｑｂ
に応じて測定ユニット６０Ｂを冷却するのに必要な回転
数Ｎｄｃを得るように、電圧Ｖｂを設定し、その設定値
を制御信号Ｓｂとして、信号ケーブル１１を介して、フ
ァン制御・電力供給部５０に送信する。
【００６７】即ち、測定ユニット６０ＢがＳｔａｎｄ−
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑｂが少なく、ファン４０Ｂ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、電圧Ｖｂ
の設定値も小さくする。
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑｂが少なく、ファン４０Ｂ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、電圧Ｖｂ
の設定値も小さくする。
【００６８】しかし、測定ユニット６０ＢがＯｐｅｒａ
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑｂが多く、ファン４０
Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、電圧Ｖｂの設定値も大きくする。
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑｂが多く、ファン４０
Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、電圧Ｖｂの設定値も大きくする。
【００６９】そして、このような制御信号Ｓｂを受信し
たファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対
応した電圧Ｖｂを発生し、それをファン４０Ｂに印加す
ると、ファン４０Ｂは、この電圧Ｖｂに応じた回転数Ｎ
ｄｃにより（式）、回転する。
たファン制御・電力供給部５０は、その電圧設定値に対
応した電圧Ｖｂを発生し、それをファン４０Ｂに印加す
ると、ファン４０Ｂは、この電圧Ｖｂに応じた回転数Ｎ
ｄｃにより（式）、回転する。
【００７０】また、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温
度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５
０から、電力ケーブル６１Ｂを介して、測定ユニット６
０Ｂへ所定の電力Ｐｂを供給する。
度領域に属さない場合には、ファン制御・電力供給部５
０から、電力ケーブル６１Ｂを介して、測定ユニット６
０Ｂへ所定の電力Ｐｂを供給する。
【００７１】反対に、制御コンピュータ１０は、判断ソ
フト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ｂへの電力供給停止命令と、ファン４０Ｂを最高回転数
で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓｂとして、信
号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０
へ送信する。
フト１０Ａにより、測定ユニット６０Ｂの温度が異常温
度領域に属すると判断した場合には、測定ユニット６０
Ｂへの電力供給停止命令と、ファン４０Ｂを最高回転数
で回す場合の電圧の設定値を、制御信号Ｓｂとして、信
号ケーブル１１を介して、ファン制御・電力供給部５０
へ送信する。
【００７２】これにより、ファン制御・電力供給部５０
は、測定ユニット６０Ｂへの電力供給を停止すると共
に、ファン４０Ｂを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖｂを、電力ケーブル４１Ｂを介して、ファン４０
Ｂに印加し、ファン４０Ｂは、最高回転数で回転する。
は、測定ユニット６０Ｂへの電力供給を停止すると共
に、ファン４０Ｂを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖｂを、電力ケーブル４１Ｂを介して、ファン４０
Ｂに印加し、ファン４０Ｂは、最高回転数で回転する。
【００７３】このように、測定ユニット６０Ｂが、発熱
量Ｑｂが少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑｂ
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
ｂが変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６
０Ｂを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン４０Ｂの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
量Ｑｂが少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑｂ
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
ｂが変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット６
０Ｂを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン４０Ｂの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００７４】更に、この間、制御コンピュータ１０は、
２つの測定ユニット６０Ａ、６０Ｂについて（図２）、
温度情報Ｔａ、Ｔｂと回転情報Ｒａ、Ｒｂを読み取るこ
とにより、装置全体の稼働状況を監視することができ
る。
２つの測定ユニット６０Ａ、６０Ｂについて（図２）、
温度情報Ｔａ、Ｔｂと回転情報Ｒａ、Ｒｂを読み取るこ
とにより、装置全体の稼働状況を監視することができ
る。
【００７５】尚、測定ユニットが３つ以上の場合にも、
前記測定ユニットが２つ以上の場合と同様の動作が行わ
れる。
前記測定ユニットが２つ以上の場合と同様の動作が行わ
れる。
【００７６】
【発明の効果】前記のとおり、この発明によれば、半導
体検査装置の冷却方式を、直流モータで回転して測定ユ
ニットを冷却するファンと、測定ユニットの温度を測定
する温度センサと、測定ユニットの温度情報とファンの
回転情報を読み取る制御コンピュータと、制御コンピュ
ータからの指令によりファンの回転数を制御するファン
制御・電力供給部で構成したことにより、測定ユニット
の動作状態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られる
ように、ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無
駄な電力消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視
することができるという効果がある。
体検査装置の冷却方式を、直流モータで回転して測定ユ
ニットを冷却するファンと、測定ユニットの温度を測定
する温度センサと、測定ユニットの温度情報とファンの
回転情報を読み取る制御コンピュータと、制御コンピュ
ータからの指令によりファンの回転数を制御するファン
制御・電力供給部で構成したことにより、測定ユニット
の動作状態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られる
ように、ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無
駄な電力消費を防止し、更に装置全体の稼働状況を監視
することができるという効果がある。
【００７７】
【図１】この発明の第１実施形態を示す図である。
【図２】この発明の第２実施形態を示す図である。
【図３】半導体検査装置の一般的説明図である。
【図４】従来技術の説明図である。
１０ 制御コンピュータ １１ 信号ケーブル ２０ 温度監視回路 ２１ 信号ケーブル ３０Ａ、３０Ｂ 温度センサ ３１Ａ、３１Ｂ 信号ケーブル ４０Ａ、４０Ｂ ファン ４１Ａ、４１Ｂ 電力ケーブル ４２Ａ、４２Ｂ 直流モータ ５０ ファン制御・電力供給部 ６０Ａ、６０Ｂ 測定ユニット ６１Ａ、６１Ｂ 電力ケーブル
Claims (4)
- 【請求項１】 半導体検査装置の測定ユニット（６０
Ａ）を冷却する方式において、 直流モータ（４２Ａ）の回転により、測定ユニット（６
０Ａ）を冷却するファン（４０Ａ）と、 ファン（４０Ａ）によって冷却される測定ユニット（６
０Ａ）の温度を測定する温度センサ（３０Ａ）と、 温度監視回路（２０）を介して温度センサ（３０Ａ）
に、ファン制御・電力供給部（５０）を介してファン
（４０Ａ）にそれぞれ接続され、測定ユニット（６０
Ａ）の温度情報（Ｔ）と、ファン（４０Ａ）の回転情報
（Ｒ）を読み取ると共に、ファン（４０Ａ）の回転数
（Ｎｄｃ）を制御するための制御信号（Ｓ）を出力する
制御コンピュータ（１０）と、 制御コンピュータ（１０）から送信された制御信号
（Ｓ）に基づいて、測定ユニット（６０Ａ）の動作状態
ごとの発熱量（Ｑa ）に応じてファン（４０Ａ）の回転
数（Ｎｄｃ）の最適制御を行うファン制御・電力供給部
（５０）を備えたことを特徴とする制御コンピュータを
用いた半導体検査装置の冷却方式。 - 【請求項２】 前記制御コンピュータ（１０）は、判断
ソフト（１０Ａ）を有し、測定ユニット（６０Ａ）の温
度が異常温度領域に属さないと判断した場合には、ファ
ン（４０Ａ）が、発熱量（Ｑa ）に応じて測定ユニット
（６０Ａ）を冷却するのに必要な回転数（Ｎｄｃ）を得
るように、直流モータ（４２Ａ）の電圧（Ｖ）の値を設
定し、測定ユニット（６０Ａ）の温度が異常温度領域に
属すると判断した場合には、測定ユニット（６０Ａ）へ
の電力（Ｐ）の供給を停止させると共に、ファン（４０
Ａ）を最高回転数で回転させ冷却するように、直流モー
タ（４２Ａ）の電圧（Ｖ）の値を設定する請求項１記載
の制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方
式。 - 【請求項３】 前記測定ユニット（６０）と、ファン
（４０）と、温度センサ（３０）と、温度監視回路（２
０）が２つ以上設けられ、共通のファン制御・電力供給
部（５０）が１つ設けられている請求項１記載の制御コ
ンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式。 - 【請求項４】 前記測定ユニット（６０）と、ファン
（４０）と、温度センサ（３０）と、温度監視回路（２
０）が２つ以上設けられ、これらに対応してファン制御
・電力供給部（５０）も２つ以上設けられている請求項
１記載の制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷
却方式。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9190408A JPH1123658A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式 |
| US09/094,912 US6005762A (en) | 1997-06-30 | 1998-06-12 | Cooling system of a semiconductor testing device using a control computer |
| KR1019980024390A KR100296647B1 (ko) | 1997-06-30 | 1998-06-26 | 제어 컴퓨터를 이용한 반도체검사장치의 냉각시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9190408A JPH1123658A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123658A true JPH1123658A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16257654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9190408A Pending JPH1123658A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 制御コンピュータを用いた半導体検査装置の冷却方式 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6005762A (ja) |
| JP (1) | JPH1123658A (ja) |
| KR (1) | KR100296647B1 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6487463B1 (en) * | 1998-06-08 | 2002-11-26 | Gateway, Inc. | Active cooling system for an electronic device |
| US6349385B1 (en) * | 1998-11-20 | 2002-02-19 | Compaq Computer Corporation | Dual power supply fan control—thermistor input or software command from the processor |
| TW536135U (en) * | 2002-05-16 | 2003-06-01 | Benq Corp | Heat dissipation apparatus used in electronic device |
| US7698095B2 (en) * | 2008-01-30 | 2010-04-13 | International Business Machines Corporation | Apparatus, system, and method for detecting fan rotation direction in electronic devices |
| US7768222B2 (en) * | 2008-02-15 | 2010-08-03 | International Business Machines Corporation | Automated control of rotational velocity of an air-moving device of an electronics rack responsive to an event |
| JP2012247078A (ja) * | 2011-05-25 | 2012-12-13 | Omron Corp | 空気の品質調整制御方法、換気風量制御方法および換気風量制御システム |
| US8550702B2 (en) | 2011-10-31 | 2013-10-08 | International Business Machines Corporation | Calibrated airflow sensor facilitating monitoring of electronic system cooling |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5075606A (en) * | 1989-01-27 | 1991-12-24 | Lipman Leonard H | Solid state DC fan motor |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP9190408A patent/JPH1123658A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-12 US US09/094,912 patent/US6005762A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-26 KR KR1019980024390A patent/KR100296647B1/ko not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6005762A (en) | 1999-12-21 |
| KR100296647B1 (ko) | 2001-08-07 |
| KR19990007389A (ko) | 1999-01-25 |
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