JPH11237236A - 厚さ計 - Google Patents

厚さ計

Info

Publication number
JPH11237236A
JPH11237236A JP3929598A JP3929598A JPH11237236A JP H11237236 A JPH11237236 A JP H11237236A JP 3929598 A JP3929598 A JP 3929598A JP 3929598 A JP3929598 A JP 3929598A JP H11237236 A JPH11237236 A JP H11237236A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
distance
thickness
distance measuring
measured
measuring devices
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3929598A
Other languages
English (en)
Inventor
Chiaki Fukazawa
千秋 深澤
Masamitsu Nishikawa
政光 西川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba FA Systems Engineering Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba FA Systems Engineering Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP3929598A priority Critical patent/JPH11237236A/ja
Publication of JPH11237236A publication Critical patent/JPH11237236A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 測距装置間の距離変動を踏まえつつ、正確な
厚さ計測を可能にする。 【解決手段】 被測定物7の厚さ方向に当該被測定物7
を介してそれぞれ測距装置1,3を離隔して対向配備し
て、この測距装置1,3間の距離とそれぞれの測距装置
1,3で測定された当該被測定物7までの距離とに基づ
いて当該被測定物7の厚さを計測する厚さ計において、
既知である一定の厚さを有する較正体5の厚さを計測す
ることで、測距装置1,3間の距離を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触で被測定物
の厚さを計測する厚さ計に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、被測定物の厚さ計測に測距装置を
用いた厚さ計が実用化されつつある。原理としては、1
組の測距装置を、被測定物の厚さ方向にこれを挟むよう
に距離Lをもって対向配備し、この距離Lとそれぞれの
測距装置で測定された被測定物までの距離L1 ,L2
から次式で厚さTを算出するのである。
【0003】T=L−(L1 +L2
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、測距装置間
の距離Lとしては、周囲温度などにより変動する。この
ため、被測定物の厚さが特に薄い場合においては、この
距離Lの変動が計測精度に影響することになる。
【0005】本発明は、上記に鑑みてなされたもので、
その目的としては、測距装置間の距離変動を踏まえつ
つ、正確な厚さ計測を可能にした厚さ計を提供すること
にある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の本発明は、被測定物の厚さ方向に当
該被測定物を介してそれぞれ測距装置を離隔して対向配
備して、この測距装置間の距離とそれぞれの測距装置で
測定された当該被測定物までの距離とに基づいて当該被
測定物の厚さを計測する厚さ計において、一定の厚さを
有する較正体と、この較正体を被測定物として計測し、
前記測距装置間の距離を求める較正手段と、を有するこ
とを要旨とする。
【0007】本発明にあっては、既知である一定の厚さ
を有する較正体の厚さを計測することで、測距装置間の
距離を求める。
【0008】請求項2記載の本発明は、請求項1記載の
発明において、測距装置間の距離を求めるときには較正
体を前記測距装置の間に移動させる較正体移動手段を有
することを要旨とする。また、請求項3記載の本発明
は、請求項1記載の発明において、測距装置間の距離を
求めるときには前記測距装置を、較正体の厚さを測定で
きる位置に移動させる測距装置移動手段を有することを
要旨とする。
【0009】これらの発明にあっては、較正体の厚さ計
測に当たり、較正体または測距装置を移動させ、測距装
置間の距離の算出を適宜行なえるようにしている。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態を説明する。
【0011】図1は、本発明の実施の形態に係る厚さ計
の構成を示したものである。その特徴としては、厚さ計
を構成する測距装置1,3間の距離を求めるに際し(以
下「較正時」と呼ぶ)、測距装置1,3の測定範囲内に
一定の厚さL0 を有する較正体5を設置するようにした
ことにある。すなわち、較正時に、較正体5を測距装置
1,3の測定範囲内に設置して、較正体5の厚さを測定
する。この測定による測距装置1,3から較正体5まで
の距離をそれぞれLA ,LB とすると、較正体5の厚さ
がL0 として既知であることから、測距装置1,3間の
距離Lとしては、 L=L0 +LA +LB で求められるのである。なお、図1において、7は被測
定物である。
【0012】したがって、本実施の形態によれば、周囲
温度等による影響で変動する測距装置間の距離を適宜正
確に求めて、常に高い精度の厚さ計測を行なうことがで
きる。
【0013】ところで、上記実施の形態において、較正
体5は、較正時以外には測距装置1,3の測定範囲外に
位置して、較正時には測定範囲内に位置する必要があ
る。図2および図3は、そのための移動機構を具備する
厚さ計の構成例を示す図である。
【0014】図2の構成では、較正体移動部9により較
正体5を測距装置1,3の測定範囲に出し入れする構成
である。出し入れの動作については、例えば回転運動、
並進運動など様々の方法が適用できる。この構成によれ
ば、例えば被測定物7が製造ラインのロール11上を移
動する鋼板の場合、1つの鋼板が通過して次の鋼板が来
るまでの短い間に測距装置1,3間の距離を求めること
ができるといったように、迅速且つ正確な距離算出が可
能である。
【0015】また、図3の構成では、較正体5を被測定
物7とは別の場所に配置しておき、測距装置移動部15
により測距装置1,3をその測定範囲内に較正体5が位
置するように移動させる構成である。この構成によれ
ば、較正体5を被測定物7から離しておくことができ、
被測定物7による較正体5の破損発生を防止することが
できる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、既知である一定の厚さを有する較正体の厚
さを計測することで、測距装置間の所定距離を求めるよ
うにしたので、測距装置間の距離変動を踏まえつつ、正
確な厚さ計測を行なうことができる。
【0017】また、請求項2および3記載の発明によれ
ば、較正体の厚さ計測に当たり、較正体または測距装置
を移動させるようにしたので、測距装置間の所定距離の
算出を適宜行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示す図である。
【図2】本発明の別の実施の形態を示す図である。
【図3】本発明のさらに別の実施の形態を示す図であ
る。
【符号の説明】
1,3 測距装置 5 較正体 7 被測定物 9 較正体移動部 11 ロール 15 測距装置移動部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西川 政光 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定物の厚さ方向に当該被測定物を介
    してそれぞれ測距装置を離隔して対向配備して、この測
    距装置間の距離とそれぞれの測距装置で測定された当該
    被測定物までの距離とに基づいて当該被測定物の厚さを
    計測する厚さ計において、 一定の厚さを有する較正体と、 この較正体を被測定物として計測し、前記測距装置間の
    距離を求める較正手段と、 を有することを特徴とする厚さ計。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の厚さ計において、測距装
    置間の距離を求めるときには較正体を前記測距装置の間
    に移動させる較正体移動手段を有することを特徴とする
    厚さ計。
  3. 【請求項3】 請求項1記載の厚さ計において、測距装
    置間の距離を求めるときには前記測距装置を、較正体の
    厚さを測定できる位置に移動させる測距装置移動手段を
    有することを特徴とする厚さ計。
JP3929598A 1998-02-20 1998-02-20 厚さ計 Pending JPH11237236A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3929598A JPH11237236A (ja) 1998-02-20 1998-02-20 厚さ計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3929598A JPH11237236A (ja) 1998-02-20 1998-02-20 厚さ計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11237236A true JPH11237236A (ja) 1999-08-31

Family

ID=12549162

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3929598A Pending JPH11237236A (ja) 1998-02-20 1998-02-20 厚さ計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11237236A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4817078A (en) * 1988-04-25 1989-03-28 Kyowa Sonic Co., Ltd. Cleaning apparatus for a pick up lens of compact disc player using a front loading base
CN103217116A (zh) * 2012-01-19 2013-07-24 昆山思拓机器有限公司 Smt网板单点厚度环形测量方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4817078A (en) * 1988-04-25 1989-03-28 Kyowa Sonic Co., Ltd. Cleaning apparatus for a pick up lens of compact disc player using a front loading base
CN103217116A (zh) * 2012-01-19 2013-07-24 昆山思拓机器有限公司 Smt网板单点厚度环形测量方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9255780B2 (en) Method for measuring thickness of film on wafer edge
JPS59107236A (ja) 粘度測定方法
CA2356337A1 (en) Web caliper measuring system
US7312861B2 (en) Method and apparatus for measuring the angular orientation between two surfaces
KR102199456B1 (ko) 지그 모듈을 이용한 비파괴적 방식의 레일 축방향 응력 측정 시스템 및 그 방법
JP2004045206A (ja) 円筒形状物体の寸法測定装置
JPH11237236A (ja) 厚さ計
JP2004037253A (ja) 金属板の厚さ計測方法
JPH0835801A (ja) エルボ寸法測定用治具
JP2003114102A (ja) 膜厚測定方法及び装置
JPH0835832A (ja) 板厚測定装置
JP2003106834A (ja) 厚み計
JP2001235304A (ja) 真直度測定装置の真直運動精度測定方法
CN110887445A (zh) 一种中低速磁浮转向架间隙检测方法
JPS63169513A (ja) 塗膜厚測定装置
SU987531A1 (ru) Молекул рно-электронный угловой акселерометр
JP2003130640A (ja) 真直度計測装置の高精度計測方法
JPH0684333U (ja) ゴニオメータの位置決め装置
JP3031719U (ja) ガラスの平坦度測定装置
JPS5935765Y2 (ja) クランクシヤフト、ストロ−ク測定器
SU433341A1 (ja)
JPH058374B2 (ja)
JPS60225012A (ja) 測長器
JPH0571943A (ja) ローラ表面の膜厚計測方法及びその装置
CN119290251A (zh) 一种超大量程段扭矩校准方法