JPH1124057A - 液晶用ガラス基板の位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、基板の中心位置と回転方向に生じた
ズレを検出して、プロセス装置の適正な位置への基板の
搬送やカセットへの安全な収納を実現してプロセス上の
欠陥発生や基板の破壊を防止するための改良された液晶
用ガラス基板の位置検出装置を提供するものである。 【解決手段】複数の液晶用ガラス基板を収納したカセッ
ト内の特定のガラス基板の位置を検出する装置であっ
て、基板の左右各部に対応して設けられた１対のＣＣＤ
カメラまたは一方の角部に対応して設けられたＣＣＤカ
メラより得られた画像を処理して基板の中心位置の基準
位置からのずれ量を算出し、この算出結果を基板が収納
されているカセットのスロット番号と組合せて記憶し、
要求に応じて読み出して出力する液晶用ガラス基板の位
置検出装置を特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶の製造プロセ
ス装置の内部に液晶用ガラス基板を搬送する際に、基板
の中心位置と回転方向に生じたズレを検出して、プロセ
ス装置の適正な位置への基板の搬送やカセットへの安全
な収納を実現してプロセス上の欠陥発生や基板の破壊を
防止するための液晶用ガラス基板の位置検出装置の改良
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶用ガラス基板は、ガラス板の表面
に、各種プロセス装置で薄膜を蒸着したり、エッチング
をして必要なトランジスタを形成し、この基板表面に形
成されたトランジスタで液晶を制御し、基板裏面からの
光の透過率を制御して、文字や図形を表示させる構造と
したものである。これら薄膜の蒸着やエッチング処理を
プロセスと呼び、各プロセス毎に装置化されている。こ
れらの液晶用ガラス基板は、一般的に長方形をしており
その大きさは年々増大傾向にあり、現在５５０ｍｍ×６
５０ｍｍ×０．７ｔ程度のものまで製作されている。

【０００３】一方、これらの基板は、一般にカセットと
呼ばれる基板収納ケースに１０数枚単位で収納され、各
種プロセス装置相互間は、このカセット単位で移送され
る。移送された基板は、各種プロセス装置のロボット等
の搬送機でカセットから取り出され、装置の内部に搬送
されて必要な処理をされる。また処理終了後、再度搬送
機でカセットに戻され、次の装置に移送される。

【０００４】［従来例１］図９は一般的な液晶用ガラス
基板の製造プロセス装置の概念図を示し、１はロボッ
ト、２はカセット、３は液晶用ガラス基板を示し、４は
この基板３の処理室を示している。カセット２に収納さ
れた基板３は、ロボット１で処理室４に搬送され、処理
完了後ロボット１で再び先のカセット２または図示しな
い別のカセットの内部へと回収される。ここで、搬送さ
れた基板は処理室内の所定の位置に精度よく設置する必
要がある。しかしながら図９の構成では、ロボット１
は、予め教示された位置間を動作するだけなので、カセ
ット２内部で生じた個々の基板３の位置ズレを含んだま
ま搬送されて処理室４やカセット２に搬入されてしま
う。

【０００５】これらのプロセス装置には、カセット２そ
のものの位置決め機構は有しているのでカセット２の位
置は正確であるが、カセット２には基板３の出入のた
め、その内幅が基板３の幅より若干大きめに作られてお
り、カセット２内の基板３はカセット２に対し、中心位
置と回転方向のそれぞれにズレをもつことがあるため、
カセット２の位置決め機構だけでは不十分といえる。

【０００６】カセット２がプロセス装置に移送されたと
き、内部の基板３はカセット２の中心に位置せず、カセ
ット２のどちらかのエッジに当たって止まっている場合
がほとんどで、カセット２の中心と基板３の中心が合っ
ていないのが通常であり、ロボット１によりそのままカ
セット２から基板３を取り出し、プロセス装置の処理室
４に搬送すると、基板３の位置ズレでプロセス装置内部
の処理室４にうまくセットされない場合があり、極端な
場合には基板３がプロセス装置と接触して破損すること
も起こり得る。

【０００７】そこで、この位置ズレを修正するための手
段として図１０に示す位置補正機構が設けられている。
図１０において２はカセットで３は基板、５はプッシャ
ーで基板３の左右両端を挟み付け基板３の左右方向の位
置合わせをするための機構で、たとえば左右のプッシャ
ーはラックピニオンで連結され一方はシリンダのような
駆動源につながっている。カセット２の左右両端は、こ
のプッシャー５が基板３を挟み付けるために必要な窓部
が設けられている。いまシリンダが働けば、左右のプッ
シャー５は均等に基板３側に移動し、基板３を押してい
く。プッシャー５が停止したときの間隔を基板３の左右
方向幅寸法よりわずか大きめに取っておけば、カセット
２内の全ての基板３の左右方向の位置が補正されたこと
になる。

【０００８】［従来例２］図１１は、別の従来技術の例
の外観図であり、カセット内部で生じた基板の中心位置
と回転方向のズレをセンサーで検出し、センサーの検出
値からズレ量を演算して、演算結果に応じて基板を乗せ
たテーブルを駆動してズレを補正するものである。

【０００９】図１１において、１はロボット、２はカセ
ット、３は基板を示し、ロボット１で基板３を位置決め
装置６に搬送し、ここで位置決めした後に処理室４に搬
送する。位置決め装置６は、基板３を吸着し旋回させる
ターンテーブルとターンテーブルを左右および前後方向
に移動させる駆動源を備えるとともに基板３の左右およ
び前後方向の各エッジを検出するセンサーを有する。こ
れらのセンサーで基板３の基準位置からのズレの３成分
ΔＸ、ΔＹおよび回転角Δθを算出して、まずターンテ
ーブルにて回転角Δθを修正し、その後ターンテーブル
駆動源にてΔＸ、ΔＹを補正する。（例えば、特開平７
−３３２３２号）

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】図９および図１０のプ
ロセス装置によるときは、左右方向の位置補正だけなの
で、前後方向の位置補正のために、カセットを製造プロ
セス装置に移送するとき、前後方向を揃えるために一旦
カセットを作業者が人力で傾けることによって基板の端
面の位置を揃えた後にプロセス装置のカセット台に設置
しなければならなかった。また、この方法では基板の両
端に機械的に力が加わるため、基板のエッジに欠け（チ
ッピング）が発生し、基板の割れの原因となり、歩留ま
りを悪くするばかりでなく、チッピングはプロセスを重
ねる毎に成長する。このために最終工程で割れが発生す
れば、それまでの工程は全て無駄となり損失は膨大とな
る。また接触式のためゴミを発生し、このゴミが致命的
な不良品を作ることになる。さらに、カセットの重量は
十数Ｋｇもあり、運ぶだけでも大変なものを人手でさら
に位置合わせの操作までも強要されているため、操作ミ
スおよび操作忘れ等の危険性を含んでいた。

【００１１】また、図１１の方式のものにおいては、上
記図９および図１０の方式の問題点は解決できるもの
の、位置ズレを補正するために別に設けた位置決め装置
まで基板を搬送することから位置決めのために相当長い
時間が必要となり搬送効率が低下するという問題があっ
た。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、複数の液晶用
ガラス基板を収納したカセット内の特定のガラス基板の
位置を検出する装置であって、基板の左右各部に対応し
て設けられた１対のＣＣＤカメラまたは一方の角部に対
応して設けられたＣＣＤカメラより得られた画像を処理
して基板の中心位置の基準位置からのずれ量を算出し、
この算出結果を基板が収納されているカセットのスロッ
ト番号と組合せて記憶し、要求に応じて読み出して出力
する液晶用ガラス基板の位置検出装置である。

【００２０】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の液晶用ガラス基
板の位置検出装置の実施例を示す図である。同図（Ａ）
は平面図、同図（Ｂ）は側面図、同図（Ｃ）は正面図で
ある。同図において、２はカセット、３は基板、１０
ａ、１０ｂはＣＣＤカメラ、２５はＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂをＸ軸方向に移動させるカメラ移動軸であっ
てＭ１はその駆動源、２６はＣＣＤカメラ１０ａ、１０
ｂをＺ軸方向に昇降させるカメラ移動軸であってＭ２は
その駆動源である。ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂは、基
板３の幅と同一の寸法間隔でかつ基板３の表面に対して
視線の主軸をαだけ傾けて、カセット２の幅方向の中心
軸に対して左右対称に設けられている。またＣＣＤカメ
ラ１０ａ、１０ｂは、駆動源Ｍ１によってＸ軸方向のカ
メラ移動軸２５に沿って移動させることができ、、駆動
源Ｍ２によってＺ軸方向のカメラ移動軸２６に沿って昇
降させることができる。

【００２１】図２はカセット２に対して正しい位置に基
板３が設置されているときに得られるＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂの画像を示す図であり、同図（Ａ）はＣＣＤ
カメラ１０ｂの画像を示し、同図（Ｂ）はＣＣＤカメラ
１０ａの画像を示す。

【００２２】図１においてＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂ
は、カセット２と基板３との中心が一致しておりかつカ
セット２と基板３との幅方向と長さ方向とのそれぞれの
辺が平行である基板３を撮像したときに、それぞれの視
野の中心に図２（Ａ）、（Ｂ）に示すように基板３の左
右の角部がそれぞれ来るように設置しておく。

【００２３】図３は、カセット２に対して任意の位置に
基板３が設置されたときに得られるＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂの画像の例を示す図であり、同図（Ａ）はＣ
ＣＤカメラ１０ｂの画像を示し、同図（Ｂ）はＣＣＤカ
メラ１０ａの画像を示す。同図において、ｄｘ１、ｄｘ
２は基板３の基準位置からの左右各角部の幅方向のずれ
量であり、ｄｙ１、ｄｙ２は長さ方向のずれ量である。

【００２４】図４は、基板３の中心位置の基準位置から
のずれ量を求めるときの様子を示す説明図である。同図
に示すように基板３の中心の基準位置をＣ１（０、０）
とするＸＹ座標を設け、測定する基板３の中心位置をＣ
２（ｄｘ、ｄｙ）とし基板３の左右の各角部の基準位置
と測定する基板３の位置とをそれぞれＡ１、Ｂ１とＡ
２、Ｂ２とする。基板３の幅（Ｘ軸方向）の寸法を２
ａ、長さ（Ｙ軸方向）の寸法を２ｂとすると、基準点Ａ
１の座標は（ａ、−ｂ）、基準点Ｂ１の座標は（−ａ、
−ｂ）となる。また点Ａ２、Ｂ２の座標は、ＣＣＤカメ
ラ１０ａ、１０ｂの視線の主軸が基板３の表面に対して
α傾いているため

【数５】 となる。上記より基板３の基準位置に対する回転角θは

【数６】 から算出することができる。次に基板３の中心位置Ｃ２
（ｄｘ、ｄｙ）の基準位置Ｃ１（０、０）に対するずれ
量は

【数７】 から算出できる。

【００２５】次に、前述したＣＣＤカメラ１０ａ、１０
ｂの視線の主軸の基板の表面に対する傾斜角αの許容範
囲を求める。図５は、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの主
軸の基板３の表面に対する傾斜角αの許容範囲を求める
ときの様子を示す説明図である。同図において、基板が
最も奥に収納されたときの基板３ａのＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂ側の端部と同図に示すカセット端部との距離
をｑとし、基板３ａとそのすぐ上の基板３ｂとの間のピ
ッチ間隔をｐとすると、傾斜角αの許容範囲は、ＣＣＤ
カメラ１０ａ、１０ｂの視野が目的の基板３ａの一枚上
の基板３ｂに遮られなければ良いので、

【数８】 の範囲で大きい程カメラ焦点が合わずにぼけることが少
なくなるので、良いことになる。

【００２６】傾斜角αの値は、例えば基板３の寸法が長
さ６５０〔ｍｍ〕、幅５５０〔ｍｍ〕である基板３を収
納するカセット２においては、ピッチ間隔ｐ＝２２〔ｍ
ｍ〕、奥行き方向のずれ量の最大値ｑ＝１０〔ｍｍ〕に
なるので、０＜α≦６５．６〔度〕となり、実際には、
α＝６０〔度〕を用いる。

【００２７】なお、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂが、基
板３の端部を取らえる角度は、基板３の端部がカセット
端部に近い位置に収納されたときと、基板３が最も奥に
収納されたときとでは少し異なる。しかし、図５に示す
ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂのレンズと基準位置との最
短距離ｇに対して、基板３の奥行方向のずれ量の最大値
ｑはかなり短いため、これらの角度の差は求めるずれ量
等の精度には影響を与えない。

【００２８】次に、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの視野
の必要な大きさを求める。前述した図２において、ＣＣ
Ｄカメラ１０ａ、１０ｂの視野の縦の長さをｄ、横の長
さをｃとする。基板３の幅２ａとカセット２の幅との差
をΔｘとすると、基板３の角部が視野内に収まるために
は、ｃ＞Δｘとすることが必要となる。また基板３の奥
行方向のずれ量の最大値がｑであり、ＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂの傾斜角がαであることから、視野の縦の長
さｄは、ｑ・ｓｉｎα以上であることが必要となる。

【００２９】前述した液晶用ガラス基板の位置検出装置
においては、ＣＣＤカメラを左右に１対設けて基板の中
心位置のずれ量を求めたが、１個のＣＣＤカメラを用い
てずれ量を求める方法を以下に示す。図６は、ＣＣＤカ
メラを１個用いて基板３の中心位置の基準位置からのず
れ量を求めるときの様子を示す説明図である。同図にお
いて図４と同一の符号は説明を省略する。図６におい
て、基板３の角部の基準位置Ｂ１と測定する基板３の角
部Ｂ２とのＸ軸方向およびＹ軸方向のずれ量をそれぞれ
ｄｘ１およびｄｙ１とし、基板３の角部Ｂ２における基
準位置からの回転角を図示のようにθとする。また、測
定する基板３の辺Ａ２Ｂ２とＣＣＤカメラ１０ｂの枠と
の関係を図示のように距離ｘｃおよびｙｃとすると、距
離ｙｃはＣＣＤカメラ１０ｂの画面上の距離であるから
基板の平面上での距離は、ＣＣＤカメラ１０ｂの傾斜角
をαとするとｙｃ／ｓｉｎαとなる。

【００３０】これらのパラメータを利用して、基板３の
角部の基準位置Ｂ１の座標は（−ａ、−ｂ）であること
から、測定する基板３の角部Ｂ２の座標は

【数９】 となり、回転角θは

【数１０】 となる。測定する基板３の端辺Ａ２Ｂ２の中点Ｍの座標
（Ｍｘ、Ｍｙ）は

【数１１】 となる。したがって測定する基板３の中心位置Ｃ２の基
準位置Ｃ１からのずれ量（ｄｘ、ｄｙ）は

【数１２】 によって求めることができる。

【００３１】図７は本発明の液晶用ガラス基板の位置検
出装置を備えた製造プロセス装置の例を示す図である。
同図において、１はロボットで、例えば４自由度すなわ
ちハンドをロボット１の中心から放射線上に前進または
後退させるＲ軸と、ハンドとハンドを取り付けているア
ームとをロボット１の中心を中心として回転させるθ軸
と、アームを鉛直方向に昇降させるＺ軸と、ロボット１
をカセット２７に対して平行に移動させるＸ軸とを有す
る。３０は制御装置であって、ロボット１の制御、ＣＣ
Ｄカメラ１０ａ、１０ｂの画像処理の制御およびＣＣＤ
カメラ１０ａ、１０ｂをＸ軸方向のカメラ移動軸２５ま
たはＺ軸方向のカメラ移動軸２６に沿って移動させる駆
動源Ｍ１またはＭ２を制御する。２８はステージであっ
て、基板の表面に薄膜を蒸着したり、エッチングを行
う。

【００３２】図８は、本発明の液晶用ガラス基板の位置
検出装置を実施するための制御装置の例を示すブロック
図である。同図において、制御装置３０は、上位制御部
１１、ロボット制御部１２およびカメラ制御部１８から
なる。ロボット制御部１２は、上位制御部１１から基板
を収納するかまたは取り出すカセットのスロット番号の
信号を入力する入力回路１７と、スロット番号等の情報
を記憶するメモリ１４と、カメラ制御部１８と信号のや
り取りを行う入出力回路１５と、上位制御部１１からの
指令に従ってロボット１を移動させる信号をサーボ制御
回路１６に出力する中央処理装置１３（以下、ＣＰＵ１
３という）と、ＣＰＵ１３からの信号によってロボット
１を制御するサーボ制御回路１６とからなる。

【００３３】カメラ制御部１８は、上位制御部１１から
基板の位置検出を行うカセット番号の信号を入力する入
力回路２４と、ロボット制御部１２と信号のやり取りを
行う入出力回路２０と、カセット番号等の情報を記憶す
るメモリ２１と、上位制御部１１からの指令に従って、
ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂの撮像または移動の指令信
号をカメラ制御回路２２またはサーボ制御回路２３に出
力する中央処理装置１９（以下、ＣＰＵ１９という）
と、ＣＰＵ１９からの信号を入力してＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂの画像データを取り込むカメラ制御回路２２
と、ＣＰＵ１９からの信号を入力してＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂをＸ軸方向に移動させる駆動源Ｍ１およびＺ
軸方向に移動させる駆動源Ｍ２を制御するサーボ制御回
路２３とからなる。

【００３４】図７および図８において、ロボット１がカ
セット２７から基板を取り出してステージ２８に搬送す
るときの動作について説明する。まず初めに、上位制御
部１１がカメラ制御部１８にカセット２７に収納されて
いる基板の位置検出を行う指令信号を出力する。カメラ
制御部１８はこの信号を入力回路２４を通して入力する
と、ＣＰＵ１９はメモリ２１に記憶されているカセット
２７の位置情報を読み出してサーボ制御回路２３に指令
信号を出力し、サーボ制御回路２３はこの指令信号に従
って、駆動源Ｍ１、Ｍ２を駆動してＣＣＤカメラ１０
ａ、１０ｂをＸ軸方向のカメラ移動軸２５およびＺ軸方
向のカメラ移動軸２６に沿って移動させて、カセット２
７の最下段の第１スロットのカメラ設定位置に移動させ
る。

【００３５】次に、カメラ制御回路２２はＣＰＵ１９か
らの指令信号に従って、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂを
通して基板３の左右角部Ａ２、Ｂ２の基準位置からの変
位量（ｄｘ１、ｄｙ１）、（ｄｘ２、ｄｙ２）を取り込
み、基準位置からの回転角θおよび中心位置Ｃ２のずれ
量ｄｘ、ｄｙを算出して、このデータをカセット２７の
スロット番号と共にメモリ２１に記憶する。次に、サー
ボ制御回路２３は駆動源Ｍ２を駆動してＣＣＤカメラ１
０ａ、１０ｂを１段上の第２スロットに移動させて、カ
メラ制御回路２２は、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂを通
して基板３の左右角部Ａ２、Ｂ２の基準位置からの変位
量（ｄｘ１、ｄｙ１）、（ｄｘ２、ｄｙ２）を取り込
み、基準位置からの回転角θおよび中心位置Ｃ２のずれ
量ｄｘ、ｄｙを算出して、このデータをカセット２７の
番号と共にメモリ２１に記憶する。以下同様にしてＣＣ
Ｄカメラ１０ａ、１０ｂをカセット２７の最上段のスロ
ットまで移動させて、基準位置からの回転角θおよび中
心位置Ｃ２のずれ量ｄｘ、ｄｙをカセット２７のスロッ
ト番号と共にメモリ２１に記憶する。

【００３６】次に上位制御部１１がロボット制御部１２
に、カセット２７の第１スロットに収納されている基板
をステージ２８に搬送する指令を与える。ロボット制御
部１２の入力回路１７が上位制御部１１からの指令信号
を受けると、ＣＰＵ１３はサーボ制御回路１６に指令信
号を出力し、サーボ制御回路１６は、この指令信号に基
づいてメモリ１４に記憶されているカセット２７の位置
情報を読み出して、ロボット１のＸ軸、Ｚ軸およびθ軸
を駆動して、ロボット１をカセット２７の第１スロット
の前まで移動させる。この時は未だロボット１のアーム
を伸ばしていない状態である。

【００３７】次に上位制御部１１からの指令信号によっ
て、カメラ制御部１８のメモリ２１に先の位置検出時に
記憶されたカセット２７の第１スロットに収納されてい
る基板の基準位置からの回転角θおよび中心位置Ｃ２の
ずれ量を読み出して、入出力回路２０を通してロボット
制御部１２の入出力回路１５に出力し、これらの情報を
メモリ１４に一時記憶させる。ＣＰＵ１３は、これらの
基板の位置情報に基づいて、サーボ制御回路１６に指令
信号を出力し、ロボット１のＲ軸を駆動してハンドを基
板の下に移動させて、さらにＸ軸およびθ軸を駆動させ
てハンドの中心位置と基板の中心位置Ｃ２とを一致さ
せ、かつ回転角θのずれを０にする。次にロボット１の
Ｚ軸を駆動してハンドを上昇させて基板を持ち上げる。
そしてロボット１のＸ軸、Ｒ軸およびθ軸を同時に駆動
させて、基板を基準位置に移動させる。このときＺ軸の
みは、基準位置よりも少し上の位置にあり、基板とカセ
ットとの前後および左右のそれぞれの隙間は図１（Ａ）
に示したように等しい状態になる。

【００３８】次にロボット１のＲ軸を退避させて、基板
をカセット２７から取り出し、ロボット１のＸ軸、θ軸
およびＺ軸を駆動して基板をステージ２８の前まで移動
させる。そしてロボット１のＲ軸を伸ばして基板をステ
ージ２８の真上に移動させる。このとき基板中心位置と
ステ−ジ２８の中心位置とは一致している。次にＺ軸を
下降させて基板をステージ２８の上に載せる。

【００３９】なお、カセットから基板を取り出す場合の
別の方法として、ハンドの中心位置を基板の基準位置に
一致させて、基板を持ち上げた後に、Ｘ軸、Ｒ軸および
θ軸を駆動させて基板とカセットとの前後および左右の
それぞれの隙間を等しい状態にし、その後にロボット１
のＲ軸を退避させて基板をカセットから取り出してもよ
い。

【００４０】また、全てのカセットのスロットに収納さ
れている基板に対して、予め各基板の左右角部の基準位
置からの変位量をカメラ制御部１８に取り込み、基準位
置からの回転角および中心位置のずれ量を算出して各ス
ロット毎にカセット番号とスロット番号とをそれぞれ１
組のデータとして記憶した後に、上位制御部１１からの
基板の搬送指令に対応して、搬送する基板の中心位置の
ずれ量等のデータをカメラ制御部１８のメモリ２１から
読み出して、このデータに基づいてロボット１を駆動さ
せてもよい。

【００４１】なお、前述した基板の基準位置からのずれ
量を算出する方法において、基板の中心位置のずれ量を
算出しているが、中心位置の代りに角部のずれ量を算出
しても良い。

【００４２】

【発明の効果】本発明は、複数の液晶用ガラス基板を収
納したカセット内の特定の基板を液晶製造プロセス装置
内の処理室に搬送する際、ＣＣＤカメラを用いて基板の
左右角部の基準位置からの変位量を取り込み、基準位置
からの回転角および中心位置のずれ量を算出し、このデ
ータに基づいて基板を左右方向の隙間が最大となる状態
でカセットから取り出すので、基板に外力がかからず、
またカセットとこすることが無いために、従来問題であ
った基板の割れの原因となるチッピングやゴミの発生を
最小限におさえることができるとともに人手による位置
合わせが不要となる。また、ロボットが基板をカセット
から処理室に搬送している時に、他の基板のずれ量を算
出することができるので、基板の生産工程の時間を短縮
することができる。さらに、ロボットが基板を搬送する
前に、全てのカセットについて各基板の基準位置からの
中心位置のずれ量等を算出することによって、どのカセ
ットのどのスロットに基板がどのような位置に収納され
ているかを搬送する前に確認することができるので、ス
ロットから効率良く基板を取り出すことができ、基板の
生産性を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶用ガラス基板の位置検出装置の実
施例を示す図。

【図２】本発明において、カセット２に対して正しい位
置に基板３が設置されているときに得られるＣＣＤカメ
ラ１０ａ、１０ｂの画像を示す図。

【図３】本発明において、カセット２に対して任意の位
置に基板３が設置されたときに得られるＣＣＤカメラ１
０ａ、１０ｂの画像の例を示す図。

【図４】本発明において、基板３の中心位置の基準位置
からのずれ量を求めるときの様子を示す説明図。

【図５】本発明において、ＣＣＤカメラ１０ａ、１０ｂ
の主軸の基板３の表面に対する傾斜角αの許容範囲を求
めるときの様子を示す説明図。

【図６】本発明において、ＣＣＤカメラを１個用いて基
板３の中心位置の基準位置からのずれ量を求めるときの
様子を示す説明図。

【図７】本発明の液晶用ガラス基板の位置検出装置を備
えた製造プロセス装置の例を示す図。

【図８】本発明の液晶用ガラス基板の位置検出装置を実
施するための制御装置の例を示すブロック図。

【図９】一般的な液晶用ガラス基板の製造プロセス装置
の概念を示す図。

【図１０】従来の位置補正機構の例を示す図。

【図１１】別の従来の位置補正機構の例を示す図。

【符号の説明】

１ ロボット ２、２７ カセット ３ （液晶用ガラス）基板 １０ａ、１０ｂ ＣＣＤカメラ １１ 上位制御部 １２ ロボット制御部 １８ カメラ制御部 ２５ Ｘ軸方向のカメラ移動軸 ２６ Ｚ軸方向のカメラ移動軸 ２８ ステージ ３０ 制御装置

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の液晶用ガラス基板を収納したカセ
   ット内の特定のガラス基板の位置を検出する装置であっ
   て、（ａ）前記基板の幅と同一の寸法間隔でかつ基板の
   表面に対して視線主軸をαだけ傾けて前記カセットの幅
   方向中心軸に対して左右対称に設けられた１対のＣＣＤ
   カメラと、（ｂ）前記１対のＣＣＤカメラを前記カセッ
   トの縦軸方向に昇降させるためのＣＣＤカメラ位置決め
   手段と、（ｃ）前記１対のＣＣＤカメラにより得られた
   画像を処理して、前記基板の左右各角部の基準位置から
   の変位量（ｄｘ１、ｄｙ１）、（ｄｘ２、ｄｙ２）を得
   る画像処理手段と、（ｄ）前記変位量と前記基板の幅寸
   法（Ｘ軸方向寸法）２ａ、長さ寸法（Ｙ軸方向寸法）２
   ｂとから前記基板の基準位置からの回転角 【数１】 および中心位置のずれ量 【数２】 を算出する演算手段と、（ｅ）前記演算手段にて得られ
   た前記基板の位置データを前記基板が収納されている前
   記カセットのスロット番号と組合せて記憶し、要求に応
   じて読み出して出力する記憶手段とを備えた液晶用ガラ
   ス基板の位置検出装置。
2. 【請求項２】 複数の液晶用ガラス基板を収納したカセ
   ット内の特定のガラス基板の位置を検出する装置であっ
   て、（ａ）前記基板の一方の角部に対応して基板の表面
   に対して視線主軸をαだけ傾けて設けられたＣＣＤカメ
   ラと、（ｂ）前記ＣＣＤカメラを前記カセットの縦軸方
   向に昇降させるためのＣＣＤカメラ位置決め手段と、
   （ｃ）前記ＣＣＤカメラにより得られた前記基板の角部
   画像を処理して前記基板の角部の基準位置からの変異量
   （ｄｘ１、ｄｙ１）と前記基板の前辺の基準方向からの
   回転角（θ）とを得る画像処理手段と、（ｄ）前記変異
   量（ｄｘ１、ｄｙ１）と回転角（θ）と前記基板の幅寸
   法（Ｘ軸方向寸法）２ａ、長さ寸法（Ｙ軸方向寸法）２
   ｂとから前記基板の中心位置の基準位置からのずれ量 【数３】 を算出する演算手段と、（ｅ）前記演算手段にて得られ
   た前記基板の位置データを前記基板が収納されている前
   記カセットのスロット番号と組合せて記憶し、要求に応
   じて読み出して出力する記憶手段とを備えた液晶用ガラ
   ス基板の位置検出装置。
3. 【請求項３】 前記回転角および中心位置のずれ量の各
   データの算出を全ての前記カセット内に収納されている
   基板に対して予め実行し、前記算出結果を前記基板が収
   納されている前記カセットのカセット番号とスロット番
   号と組合せて記憶し、前記基板の搬送指令に対応して前
   記記憶しておいてたデータを読み出して基板搬送装置に
   出力する請求項１または２に記載の液晶用ガラス基板の
   位置検出装置。
4. 【請求項４】 前記ＣＣＤカメラの傾斜角αは前記基板
   が前記カセットの最も奥に収納されたときの基板の前記
   ＣＣＤカメラ側の端部と前記カセットの前記ＣＣＤカメ
   ラ側の端部との距離（ｑ）と前記カセットのスロットの
   間隔Ｐとから 【数４】 の範囲の角度とし、前記基板の幅と前記カセットの幅と
   の差Δｘに対して、前記ＣＣＤカメラの視野を前記基板
   の基準位置における角部位置を中心として横幅Δｘ、縦
   幅ｑ・ｓｉｎα以上とした請求項１ないし３のいずれか
   に記載の液晶用ガラス基板の位置検出装置。