JPH0620920A - 基板位置補正装置 - Google Patents
基板位置補正装置Info
- Publication number
- JPH0620920A JPH0620920A JP19585392A JP19585392A JPH0620920A JP H0620920 A JPH0620920 A JP H0620920A JP 19585392 A JP19585392 A JP 19585392A JP 19585392 A JP19585392 A JP 19585392A JP H0620920 A JPH0620920 A JP H0620920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- reticle
- positional deviation
- positioning stage
- holding position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
- Registering Or Overturning Sheets (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レチクル等の搬送時の位置ズレを検出し、ス
テージ受け渡し前に安全かつ確実に補正する。 【構成】 ＣＣＤカメラ２ａ、２ｂで基板搬送部材上に
保持された矩形の基板１のコーナーを所定の位置で撮像
する。基板保持位置検出手段でＣＣＤカメラ２ａ、２ｂ
からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における
基板１の保持位置を検出する。前記基板保持位置検出手
段により検出した基板１の保持位置と前記搬送部材上に
定めた基板１の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ
量算出手段で算出する。ステージ制御手段で基板１が位
置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステ
ージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ
移動し、この位置で基板１が前記位置決めステージに受
け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ
戻す。
テージ受け渡し前に安全かつ確実に補正する。 【構成】 ＣＣＤカメラ２ａ、２ｂで基板搬送部材上に
保持された矩形の基板１のコーナーを所定の位置で撮像
する。基板保持位置検出手段でＣＣＤカメラ２ａ、２ｂ
からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上における
基板１の保持位置を検出する。前記基板保持位置検出手
段により検出した基板１の保持位置と前記搬送部材上に
定めた基板１の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ
量算出手段で算出する。ステージ制御手段で基板１が位
置決めステージに受け渡される前に、前記位置決めステ
ージを初期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ
移動し、この位置で基板１が前記位置決めステージに受
け渡された後、前記位置決めステージを前記初期位置へ
戻す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板位置補正装置に係
り、特に半導体製造に用いられるレチクルやウェハ等の
基板の位置ズレを検出し、この位置ズレを位置決めステ
ージに受け渡す前に補正できるようにした基板位置補正
装置に関する。
り、特に半導体製造に用いられるレチクルやウェハ等の
基板の位置ズレを検出し、この位置ズレを位置決めステ
ージに受け渡す前に補正できるようにした基板位置補正
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光装置等の半導体製造装置で
は、レチクルのプリアライメントを行うために、搬送経
路の所定位置まで搬送されたレチクルの端面を可動部材
により固定基準部材に押し当てて位置決めを行うプリア
ライメント機構が広く採用されている。
は、レチクルのプリアライメントを行うために、搬送経
路の所定位置まで搬送されたレチクルの端面を可動部材
により固定基準部材に押し当てて位置決めを行うプリア
ライメント機構が広く採用されている。
【０００３】図６は、この種のプリアライメント機構の
概略を示したものである。同図において、符号６は位置
決めステージ上の所定位置に固定された基準部材６を示
している。基準部材６は回転自在な円筒ローラ状をな
し、この基準部材６の近傍までレチクル１が搬送される
と、搬送経路外に退避していた複数の押し当て部材７が
矢印の方向に移動し、レチクル１を保持面に沿って移動
させ基準部材６にその端面を押し当てることにより適正
位置への位置決めを行うようになっている。あるいは図
６のプリアライメント機構がレチクルの搬送経路途中に
設けられ、レチクルを位置決めし、その後位置決めステ
ージに搬送される。
概略を示したものである。同図において、符号６は位置
決めステージ上の所定位置に固定された基準部材６を示
している。基準部材６は回転自在な円筒ローラ状をな
し、この基準部材６の近傍までレチクル１が搬送される
と、搬送経路外に退避していた複数の押し当て部材７が
矢印の方向に移動し、レチクル１を保持面に沿って移動
させ基準部材６にその端面を押し当てることにより適正
位置への位置決めを行うようになっている。あるいは図
６のプリアライメント機構がレチクルの搬送経路途中に
設けられ、レチクルを位置決めし、その後位置決めステ
ージに搬送される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た従来の技術においては、レチクル１の位置決め時に、
レチクル１がステージ上をスライドし、また基準部材６
や押し当て部材７がレチクル１の端面に当接するので、
レチクル１の保持面にダメージを与えたり、スライドや
接触等により、微小なダスト等が発生するなどの問題が
ある。
た従来の技術においては、レチクル１の位置決め時に、
レチクル１がステージ上をスライドし、また基準部材６
や押し当て部材７がレチクル１の端面に当接するので、
レチクル１の保持面にダメージを与えたり、スライドや
接触等により、微小なダスト等が発生するなどの問題が
ある。
【０００５】また、各種の寸法のレチクルに対して基準
部材等の位置設定を行わなければならないという問題も
ある。
部材等の位置設定を行わなければならないという問題も
ある。
【０００６】そこで、本発明の目的は上述した従来の技
術が有する問題点を解消し、レチクル等のハンドリング
において、位置調整部材との接触やレチクル自身のスラ
イド等の移動の度合いを最低限にしてレチクルの位置決
めを効率良く行えるようにした基板位置補正装置を提供
することにある。
術が有する問題点を解消し、レチクル等のハンドリング
において、位置調整部材との接触やレチクル自身のスラ
イド等の移動の度合いを最低限にしてレチクルの位置決
めを効率良く行えるようにした基板位置補正装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は基板搬送部材上に保持された矩形の基板の
コーナーを所定の位置で撮像する撮像手段と、前記撮像
手段からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上にお
ける前記基板の保持位置を検出する基板保持位置検出手
段と、前記基板保持位置検出手段により検出した前記基
板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記基板の適正
保持位置との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段
と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、
前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に
等しい移動量だけ移動し、この位置で前記基板が前記位
置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステー
ジを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有する
ことを特徴とするものである。
に、本発明は基板搬送部材上に保持された矩形の基板の
コーナーを所定の位置で撮像する撮像手段と、前記撮像
手段からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上にお
ける前記基板の保持位置を検出する基板保持位置検出手
段と、前記基板保持位置検出手段により検出した前記基
板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記基板の適正
保持位置との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段
と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、
前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に
等しい移動量だけ移動し、この位置で前記基板が前記位
置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステー
ジを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有する
ことを特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明によれば、撮像手段で基板搬送部材上に
保持された矩形の基板のコーナーを所定の位置で撮像
し、基板保持位置検出手段で前記撮像手段からの信号を
画像処理し、前記基板搬送部材上における前記基板の保
持位置を検出し、前記基板保持位置検出手段により検出
した前記基板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記
基板の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ量算出手
段で算出し、ステージ制御手段で前記基板が位置決めス
テージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初
期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、
この位置で前記基板が前記位置決めステージに受け渡さ
れた後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻すよ
うにしたので、レチクル等の基板を位置調整部材等で当
接させ移動調整しないで良く、基板の保持面がすれて傷
ついたり、その端面が接触により傷むことがなく、所定
の位置決めを行うことができる。
保持された矩形の基板のコーナーを所定の位置で撮像
し、基板保持位置検出手段で前記撮像手段からの信号を
画像処理し、前記基板搬送部材上における前記基板の保
持位置を検出し、前記基板保持位置検出手段により検出
した前記基板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記
基板の適正保持位置との位置ずれ量を位置ずれ量算出手
段で算出し、ステージ制御手段で前記基板が位置決めス
テージに受け渡される前に、前記位置決めステージを初
期位置から前記位置ずれ量に等しい移動量だけ移動し、
この位置で前記基板が前記位置決めステージに受け渡さ
れた後、前記位置決めステージを前記初期位置へ戻すよ
うにしたので、レチクル等の基板を位置調整部材等で当
接させ移動調整しないで良く、基板の保持面がすれて傷
ついたり、その端面が接触により傷むことがなく、所定
の位置決めを行うことができる。
【０００９】
【実施例】以下本発明による基板位置補正装置の一実施
例を図１を参照して説明する。図１は、基板位置補正装
置のレチクル搬送部と、位置決めステージＳの概略構成
を示した概略構成図である。同図において、説明のため
に搬送アーム５により位置決めステージＳに搬送される
過程にあるレチクル１と、位置決めステージＳにおいて
プリアライメントされた状態にあるレチクル１’とが２
カ所において模式的に示されている。
例を図１を参照して説明する。図１は、基板位置補正装
置のレチクル搬送部と、位置決めステージＳの概略構成
を示した概略構成図である。同図において、説明のため
に搬送アーム５により位置決めステージＳに搬送される
過程にあるレチクル１と、位置決めステージＳにおいて
プリアライメントされた状態にあるレチクル１’とが２
カ所において模式的に示されている。
【００１０】また、搬送経路中には撮像手段である２台
のＣＣＤカメラ２ａ、２ｂがレンズ面Ｌａ、Ｌｂを上方
に向けた状態で所定の間隔をあけてレチクル１の搬送方
向に対して直交方向に並設されている。これらＣＣＤカ
メラ２ａ、２ｂは搬送されてきたレチクル１の進行方向
の先端側コーナーをそれぞれ撮像するように設置されて
おり、このレチクル１のコーナーを各ＣＣＤカメラの撮
像面の受光部の所定位置に停止させるために位置検出セ
ンサＬＳが搬送経路内に設置されている。
のＣＣＤカメラ２ａ、２ｂがレンズ面Ｌａ、Ｌｂを上方
に向けた状態で所定の間隔をあけてレチクル１の搬送方
向に対して直交方向に並設されている。これらＣＣＤカ
メラ２ａ、２ｂは搬送されてきたレチクル１の進行方向
の先端側コーナーをそれぞれ撮像するように設置されて
おり、このレチクル１のコーナーを各ＣＣＤカメラの撮
像面の受光部の所定位置に停止させるために位置検出セ
ンサＬＳが搬送経路内に設置されている。
【００１１】ＣＣＤカメラ２ａ、２ｂのレンズ系を通じ
て内部のＣＣＤ撮像素子の受光面に結像したレチクル１
の各コーナーの像は、所定の電荷信号に変換され、画像
信号処理部１０に出力される。この画像信号処理部１０
は、所定の信号処理を施した後に、前処理として所定の
補正を行った後に、画像のレチクルの外形輪郭線の特徴
抽出を行う。このとき、レチクル形状は通常、コーナー
の頂点が切欠れているので、隣接する２辺の輪郭線を延
長して仮想のコーナーの頂点座標を算出する。この座標
は図示しない画像出力装置の画面上に設定された所定の
座標系上の座標値として求められる。
て内部のＣＣＤ撮像素子の受光面に結像したレチクル１
の各コーナーの像は、所定の電荷信号に変換され、画像
信号処理部１０に出力される。この画像信号処理部１０
は、所定の信号処理を施した後に、前処理として所定の
補正を行った後に、画像のレチクルの外形輪郭線の特徴
抽出を行う。このとき、レチクル形状は通常、コーナー
の頂点が切欠れているので、隣接する２辺の輪郭線を延
長して仮想のコーナーの頂点座標を算出する。この座標
は図示しない画像出力装置の画面上に設定された所定の
座標系上の座標値として求められる。
【００１２】また、画像信号処理部１０には演算部１１
が接続され、この演算部１１において搬送アーム５に保
持されているレチクル１の保持位置と前述の適正位置に
あるレチクル位置との偏差が算定される。この偏差計算
により搬送アーム５に保持されているレチクル１と位置
ズレのない適正保持位置との位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）
が求められる。その算定の手順については後述する。
が接続され、この演算部１１において搬送アーム５に保
持されているレチクル１の保持位置と前述の適正位置に
あるレチクル位置との偏差が算定される。この偏差計算
により搬送アーム５に保持されているレチクル１と位置
ズレのない適正保持位置との位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）
が求められる。その算定の手順については後述する。
【００１３】さらに演算部１１により求められたレチク
ルの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）が位置決めステージＳの
制御部１２に出力される。制御部１２は、位置決めステ
ージＳを構成するＸＹステージ３とθステージ４を駆動
するＤＣモータ等の駆動部１３、１４に所定の駆動指令
を出力するようになっている。
ルの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）が位置決めステージＳの
制御部１２に出力される。制御部１２は、位置決めステ
ージＳを構成するＸＹステージ３とθステージ４を駆動
するＤＣモータ等の駆動部１３、１４に所定の駆動指令
を出力するようになっている。
【００１４】ここで、前述のＣＣＤカメラ２ａ、２ｂに
よるレチクルの位置ズレ検出の動作について図２〜図４
を参照して説明する。図２（ａ）は、位置ズレのない状
態で搬送されているレチクル１の搬送方向前端部分の左
右のコーナーを示した画像２０ａ、２０ｂである。この
とき各コーナーの頂点は画面の中心位置に映し出されて
おり、このとき画面の中心位置の座標は前述のレチクル
適正保持位置の座標と同一点となるように設定されてい
る。画像２０ａ、２０ｂでは、レチクルは適正保持位置
にある場合のコーナーの頂点の座標と搬送されているレ
チクル１の左右のコーナーの頂点の座標が完全に一致し
ているので、この場合は搬送されるレチクル１の位置ズ
レ量（Ｘ，Ｙ，θ）の各項がゼロとして算出される。
よるレチクルの位置ズレ検出の動作について図２〜図４
を参照して説明する。図２（ａ）は、位置ズレのない状
態で搬送されているレチクル１の搬送方向前端部分の左
右のコーナーを示した画像２０ａ、２０ｂである。この
とき各コーナーの頂点は画面の中心位置に映し出されて
おり、このとき画面の中心位置の座標は前述のレチクル
適正保持位置の座標と同一点となるように設定されてい
る。画像２０ａ、２０ｂでは、レチクルは適正保持位置
にある場合のコーナーの頂点の座標と搬送されているレ
チクル１の左右のコーナーの頂点の座標が完全に一致し
ているので、この場合は搬送されるレチクル１の位置ズ
レ量（Ｘ，Ｙ，θ）の各項がゼロとして算出される。
【００１５】一方、図２（ｂ）は、位置ズレがある状態
で搬送アーム５によって搬送されているレチクル１を撮
像して得られた画像である。２つの画像２０ａ、２０ｂ
を並べて表示すると両方の画像にはそれぞれ画像中心位
置から片寄った位置にレチクル１のコーナーの頂点が映
し出されている。なお、同図（ｂ）において、説明のた
めに示した位置ズレのない状態でのレチクル（破線表
示）に対して所定の位置ズレ量を生じていることが分か
る。
で搬送アーム５によって搬送されているレチクル１を撮
像して得られた画像である。２つの画像２０ａ、２０ｂ
を並べて表示すると両方の画像にはそれぞれ画像中心位
置から片寄った位置にレチクル１のコーナーの頂点が映
し出されている。なお、同図（ｂ）において、説明のた
めに示した位置ズレのない状態でのレチクル（破線表
示）に対して所定の位置ズレ量を生じていることが分か
る。
【００１６】この位置ズレ量を定量的に算出する方法を
図３及び図４を参照して説明する。図３はＣＣＤカメラ
２ａ、２ｂとこの撮像視野内に搬送されたレチクル１と
の位置関係を示した説明図である。ここでＣＣＤカメラ
２ａのレンズ中心位置をＢとし、ＣＣＤカメラ２ｂのレ
ンズ中心位置をＡとする。このとき本実施例では２個の
レンズ中心間距離はレチクル１の搬送方向に直角な幅方
向の寸法に等しく設定されており、ＣＣＤカメラ２ａ、
２ｂはレチクル１に対して等倍の撮像ができるようにな
っている。このとき撮像されたレチクル１のコーナーの
頂点の位置を図３に示したようにＣ、Ｄとする。
図３及び図４を参照して説明する。図３はＣＣＤカメラ
２ａ、２ｂとこの撮像視野内に搬送されたレチクル１と
の位置関係を示した説明図である。ここでＣＣＤカメラ
２ａのレンズ中心位置をＢとし、ＣＣＤカメラ２ｂのレ
ンズ中心位置をＡとする。このとき本実施例では２個の
レンズ中心間距離はレチクル１の搬送方向に直角な幅方
向の寸法に等しく設定されており、ＣＣＤカメラ２ａ、
２ｂはレチクル１に対して等倍の撮像ができるようにな
っている。このとき撮像されたレチクル１のコーナーの
頂点の位置を図３に示したようにＣ、Ｄとする。
【００１７】すなわち、ＣＣＤカメラ２ａのレンズ中心
位置Ｂとレチクル１のコーナーの頂点の位置Ｄとの位置
ズレと、ＣＣＤカメラ２ｂのレンズ中心位置Ａとレチク
ルのコーナーの頂点の位置Ｃとの位置ズレとをもとにレ
チクル１全体の位置ズレを求める。このとき位置ズレの
ない状態でのレチクル１の中心位置をＯ、位置ズレのあ
る状態でのレチクル１の中心位置をＰとした場合の位置
ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）は、図４に示した座標変換により
求めることができる。
位置Ｂとレチクル１のコーナーの頂点の位置Ｄとの位置
ズレと、ＣＣＤカメラ２ｂのレンズ中心位置Ａとレチク
ルのコーナーの頂点の位置Ｃとの位置ズレとをもとにレ
チクル１全体の位置ズレを求める。このとき位置ズレの
ない状態でのレチクル１の中心位置をＯ、位置ズレのあ
る状態でのレチクル１の中心位置をＰとした場合の位置
ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）は、図４に示した座標変換により
求めることができる。
【００１８】図４において、位置ズレのない状態でのレ
チクル１の形状を正方形としてその一辺を２ｋしたと
き、前述の各点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの座標値は、次のように
なる。 Ａ（０，０）、Ｂ（０，２ｋ）、Ｃ（ｘ1 ，ｙ1 ）、Ｄ
（ｘ2 ，２ｋ＋ｙ2 ） このとき位置ズレのない状態でのレチクルの中心位置Ｏ
の座標はＯ（ｋ，ｋ）で表せる。これらの条件を用い
て、位置ズレのある状態でのレチクル１の中心位置Ｐの
座標を求める。ここで、図４において直線ＣＤの中点を
Ｅとすると、その座標は、 Ｅ（（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２，（２ｋ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２） で表される。さらに図４中に示したハッチングされた２
個の直角三角形は合同関係にあり、その直角を挟む２辺
の長さは、次のように求められる。 長辺：（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ 短辺：（ｘ1 −ｘ2 ）／２ これより、点Ｐ（Ｘp ，Ｙp ）の座標は、 Ｘp ＝（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２＋（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ Ｙp ＝（２ｋ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２＋（ｘ1 −ｘ2 ）／２ となり、各式を整理して、点Ｐ（Ｘp ，Ｙp ）の座標は
次のようになる。 Ｐ（ｋ＋（ｘ1＋ｘ2−ｙ1＋ｙ2）／２，ｋ＋（ｘ1−ｘ2
＋ｙ1＋ｙ2）／２） このときのレチクル１のθ方向の
回転ズレαは、 Ｔａｎα＝（ｘ1 −ｘ2 ）／（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ） で表すことができる。
チクル１の形状を正方形としてその一辺を２ｋしたと
き、前述の各点Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄの座標値は、次のように
なる。 Ａ（０，０）、Ｂ（０，２ｋ）、Ｃ（ｘ1 ，ｙ1 ）、Ｄ
（ｘ2 ，２ｋ＋ｙ2 ） このとき位置ズレのない状態でのレチクルの中心位置Ｏ
の座標はＯ（ｋ，ｋ）で表せる。これらの条件を用い
て、位置ズレのある状態でのレチクル１の中心位置Ｐの
座標を求める。ここで、図４において直線ＣＤの中点を
Ｅとすると、その座標は、 Ｅ（（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２，（２ｋ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２） で表される。さらに図４中に示したハッチングされた２
個の直角三角形は合同関係にあり、その直角を挟む２辺
の長さは、次のように求められる。 長辺：（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ 短辺：（ｘ1 −ｘ2 ）／２ これより、点Ｐ（Ｘp ，Ｙp ）の座標は、 Ｘp ＝（ｘ1 ＋ｘ2 ）／２＋（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ Ｙp ＝（２ｋ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２＋（ｘ1 −ｘ2 ）／２ となり、各式を整理して、点Ｐ（Ｘp ，Ｙp ）の座標は
次のようになる。 Ｐ（ｋ＋（ｘ1＋ｘ2−ｙ1＋ｙ2）／２，ｋ＋（ｘ1−ｘ2
＋ｙ1＋ｙ2）／２） このときのレチクル１のθ方向の
回転ズレαは、 Ｔａｎα＝（ｘ1 −ｘ2 ）／（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ） で表すことができる。
【００１９】以上より、レチクル１の位置ズレ量（Ｘ，
Ｙ，θ）は、 Ｘ＝（ｘ1 ＋ｘ2 −ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ Ｙ＝（ｘ1 −ｘ2 ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ θ＝ａｒｃｔａｎ（（ｘ1 −ｘ2 ）／（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）） で求めることができる。
Ｙ，θ）は、 Ｘ＝（ｘ1 ＋ｘ2 −ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ Ｙ＝（ｘ1 −ｘ2 ＋ｙ1 ＋ｙ2 ）／２ θ＝ａｒｃｔａｎ（（ｘ1 −ｘ2 ）／（２ｋ−ｙ1 ＋ｙ2 ）） で求めることができる。
【００２０】次に、以上のように演算部１１で求められ
た位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）をもとにレチクル１の位置
ズレ補正を行う手順について図５を参照して説明する。
まず、搬送部でＣＣＤカメラ２ａ、２ｂによりレチクル
１のコーナー位置が撮像され、演算部１２により位置ズ
レ量（Ｘ，Ｙ，θ）が算出される。この位置ズレ量
（Ｘ，Ｙ，θ）に基づき、制御部１２では、あらかじめ
ＸＹステージ３とθステージ４を初期補正量として位置
ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）に相当する移動量（Ｘ，Ｙ，θ）
だけ初期位置から駆動させる駆動指令を駆動部１３、１
４に出力する。この状態で位置決めステージＳにレチク
ル１’が受け渡される。次いで位置決めステージＳを
（−Ｘ，−Ｙ，−θ）だけ移動させる動作指令が制御部
１２から出力され、駆動部１３、１４が所定量だけ移動
し、初期位置に戻る。これにより搬送時のレチクル１の
位置ズレが位置決めステージＳ上において、完全にキャ
ンセルされ、レチクル１’の位置合わせが完了する。
た位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）をもとにレチクル１の位置
ズレ補正を行う手順について図５を参照して説明する。
まず、搬送部でＣＣＤカメラ２ａ、２ｂによりレチクル
１のコーナー位置が撮像され、演算部１２により位置ズ
レ量（Ｘ，Ｙ，θ）が算出される。この位置ズレ量
（Ｘ，Ｙ，θ）に基づき、制御部１２では、あらかじめ
ＸＹステージ３とθステージ４を初期補正量として位置
ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）に相当する移動量（Ｘ，Ｙ，θ）
だけ初期位置から駆動させる駆動指令を駆動部１３、１
４に出力する。この状態で位置決めステージＳにレチク
ル１’が受け渡される。次いで位置決めステージＳを
（−Ｘ，−Ｙ，−θ）だけ移動させる動作指令が制御部
１２から出力され、駆動部１３、１４が所定量だけ移動
し、初期位置に戻る。これにより搬送時のレチクル１の
位置ズレが位置決めステージＳ上において、完全にキャ
ンセルされ、レチクル１’の位置合わせが完了する。
【００２１】ここで、前述の撮像手段の変形例について
簡単に説明する。本実施例ではＣＣＤカメラ２ａ、２ｂ
をレチクルの搬送方向に直角な幅方向に２台配置した
が、搬送方向と直交方向に移動可能１台のＣＣＤカメラ
を配置し、レチクルが停止している間に２カ所のコーナ
ーを撮像し、それぞれの撮像情報をもとに前述の座標計
算を行うこともできる。さらに、レチクルの外形輪郭を
画像上で精度良く認識できる場合には１カ所のコーナー
とそのコーナーを挟む２辺を撮像することでレチクルの
位置ズレを算出することも可能である。また、撮像手段
としては２次元ＣＣＤカメラに限らず、リニアＣＣＤセ
ンサや撮像管等の各種手段を適用することができる。
簡単に説明する。本実施例ではＣＣＤカメラ２ａ、２ｂ
をレチクルの搬送方向に直角な幅方向に２台配置した
が、搬送方向と直交方向に移動可能１台のＣＣＤカメラ
を配置し、レチクルが停止している間に２カ所のコーナ
ーを撮像し、それぞれの撮像情報をもとに前述の座標計
算を行うこともできる。さらに、レチクルの外形輪郭を
画像上で精度良く認識できる場合には１カ所のコーナー
とそのコーナーを挟む２辺を撮像することでレチクルの
位置ズレを算出することも可能である。また、撮像手段
としては２次元ＣＣＤカメラに限らず、リニアＣＣＤセ
ンサや撮像管等の各種手段を適用することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、レチクル等の基板を位置調整部材等で移動さ
せることなく位置決めでき、多種多様な基板に対してフ
レキシブルに対応した位置決めが可能である。さらに、
接触部分が著しく減少するので、発塵が大幅に低減で
き、レチクル等の汚染を最小限にすることができる等の
効果を奏する。
によれば、レチクル等の基板を位置調整部材等で移動さ
せることなく位置決めでき、多種多様な基板に対してフ
レキシブルに対応した位置決めが可能である。さらに、
接触部分が著しく減少するので、発塵が大幅に低減で
き、レチクル等の汚染を最小限にすることができる等の
効果を奏する。
【図１】本発明による基板位置補正装置の一実施例の概
略構成を示した全体構成図である。
略構成を示した全体構成図である。
【図２】本発明の撮像手段により得られた画像の一例を
示した説明図である。
示した説明図である。
【図３】レチクルの位置ズレ状態を示した概念図であ
る。
る。
【図４】レチクルの位置ズレ量（Ｘ，Ｙ，θ）の算出原
理を図解した説明図である。
理を図解した説明図である。
【図５】図１の基板位置補正装置による位置ズレ補正状
態を示した説明図である。
態を示した説明図である。
【図６】従来のレチクルのプリアライメント機構の一例
を示した概略構成図である。
を示した概略構成図である。
１ レチクル ２ａ，２ｂ ＣＣＤカメラ ３ ＸＹステージ ４ θステージ １０ 画像信号処理部 １１ 演算部 １２ 制御部 １３，１４ 駆動部
Claims (1)
- 【請求項１】基板搬送部材上に保持された矩形の基板の
コーナーを所定の位置で撮像する撮像手段と、前記撮像
手段からの信号を画像処理し、前記基板搬送部材上にお
ける前記基板の保持位置を検出する基板保持位置検出手
段と、前記基板保持位置検出手段により検出した前記基
板の保持位置と前記搬送部材上に定めた前記基板の適正
保持位置との位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出手段
と、前記基板が位置決めステージに受け渡される前に、
前記位置決めステージを初期位置から前記位置ずれ量に
等しい移動量だけ移動し、この位置で前記基板が前記位
置決めステージに受け渡された後、前記位置決めステー
ジを前記初期位置へ戻すステージ制御手段と、を有する
ことを特徴とする基板位置補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19585392A JPH0620920A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 基板位置補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19585392A JPH0620920A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 基板位置補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0620920A true JPH0620920A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16348098
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19585392A Pending JPH0620920A (ja) | 1992-07-01 | 1992-07-01 | 基板位置補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0620920A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350482A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-04 | Oht Inc | 基板位置ずれ検出装置及び基板位置ずれ検出方法 |
| JP2003068620A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Sendai Nikon:Kk | 露光装置 |
| JP2008068951A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | National Printing Bureau | 不正給紙検出装置 |
| JP2012106318A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | パネルの搬送装置 |
| JP2014114161A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-26 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板移送装置 |
| JP2015037098A (ja) * | 2013-08-12 | 2015-02-23 | 株式会社ダイヘン | 搬送システム |
| WO2017145562A1 (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 錠剤印刷装置及び錠剤印刷方法 |
| JP2019021679A (ja) * | 2017-07-12 | 2019-02-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| WO2024111318A1 (ja) * | 2022-11-25 | 2024-05-30 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 矩形基板の反転装置、それを備えた基板搬送システム、矩形基板のアライメント装置、搬送システム及びアライメント方法 |
-
1992
- 1992-07-01 JP JP19585392A patent/JPH0620920A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002350482A (ja) * | 2001-05-24 | 2002-12-04 | Oht Inc | 基板位置ずれ検出装置及び基板位置ずれ検出方法 |
| WO2002101326A1 (fr) * | 2001-05-24 | 2002-12-19 | Oht Inc. | Dispositif et procede de detection de deplacement de substrats |
| US6992493B2 (en) | 2001-05-24 | 2006-01-31 | Oht Inc. | Device and method for substrate displacement detection |
| JP2003068620A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-07 | Sendai Nikon:Kk | 露光装置 |
| JP2008068951A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | National Printing Bureau | 不正給紙検出装置 |
| JP2012106318A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Seibu Electric & Mach Co Ltd | パネルの搬送装置 |
| JP2014114161A (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-26 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板移送装置 |
| KR101481992B1 (ko) * | 2012-12-05 | 2015-01-14 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 이송 장치 |
| JP2015037098A (ja) * | 2013-08-12 | 2015-02-23 | 株式会社ダイヘン | 搬送システム |
| WO2017145562A1 (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 錠剤印刷装置及び錠剤印刷方法 |
| JPWO2017145562A1 (ja) * | 2016-02-24 | 2018-12-27 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 錠剤印刷装置及び錠剤印刷方法 |
| US10709639B2 (en) | 2016-02-24 | 2020-07-14 | Shibaura Mechatronics Corporation | Tablet printing apparatus and tablet printing method |
| JP2019021679A (ja) * | 2017-07-12 | 2019-02-07 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| WO2024111318A1 (ja) * | 2022-11-25 | 2024-05-30 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 矩形基板の反転装置、それを備えた基板搬送システム、矩形基板のアライメント装置、搬送システム及びアライメント方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20100065073A (ko) | 기판검사방법, 기판검사장치 및 기억매체 | |
| KR20160103927A (ko) | 주변 노광 장치, 주변 노광 방법, 프로그램, 및 컴퓨터 기억 매체 | |
| JPH1154407A (ja) | 位置合わせ方法 | |
| WO2021161582A1 (ja) | 基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法 | |
| JPH0620920A (ja) | 基板位置補正装置 | |
| US6952262B2 (en) | Exposure apparatus and aligning method | |
| JPH09306977A (ja) | ウエハ検査装置等におけるウエハの位置決め方法 | |
| JP3741013B2 (ja) | 蛇行修正機構を備えた帯状ワークの露光装置 | |
| JP4303411B2 (ja) | トラッキング方法、及びトラッキングシステム | |
| JPH0616285A (ja) | 基板位置ずれ検出装置 | |
| JP3770074B2 (ja) | メタルマスクアライメント装置 | |
| JP7241611B2 (ja) | パターン測定装置、パターン測定装置における傾き算出方法およびパターン測定方法 | |
| JP2015026738A (ja) | 位置決め装置、位置決め方法および描画装置 | |
| JP3155455B2 (ja) | ワーク位置決め装置 | |
| CN100533704C (zh) | 基片处理装置和基片容纳方法 | |
| JP2003017545A (ja) | 基板の位置決め方法と装置 | |
| JP3336505B2 (ja) | 位置合わせ方法及び装置ならびに露光方法及び装置 | |
| CN115803584A (zh) | 取得工件表面的三维信息及工件的二维图像的拍摄装置 | |
| JP2001168010A (ja) | 基板の検査方法及び検査装置 | |
| JP3254704B2 (ja) | 露光装置および露光方法 | |
| JPH08316288A (ja) | 自動搬送装置 | |
| JPH0620919A (ja) | 基板位置補正装置 | |
| JPH0917710A (ja) | 露光フィルムの整合方法及び整合装置 | |
| JPH1124057A (ja) | 液晶用ガラス基板の位置検出装置 | |
| JPH02142157A (ja) | ウェハーの有無・傾き判別装置 |