JPH11245419A - パタ―ニング可能なインクチャネル構造を有するインクジェット・プリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents
パタ―ニング可能なインクチャネル構造を有するインクジェット・プリントヘッド及びその製造方法Info
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- JPH11245419A JPH11245419A JP11000077A JP7799A JPH11245419A JP H11245419 A JPH11245419 A JP H11245419A JP 11000077 A JP11000077 A JP 11000077A JP 7799 A JP7799 A JP 7799A JP H11245419 A JPH11245419 A JP H11245419A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット・プリントヘッド製造におけ
る位置合わせを簡単にし、製造効率を改善する。 【解決手段】 発熱体３４の各々に電気パルスを選択的
に印加するためのコンタクト３１を含み、選択的に印加
されるパルスの各々がプリントヘッド１０からインク小
滴を放出させるリード３３を有するヒータープレート２
８と、発熱体３４及びコンタクト３１を露出させて、ヒ
ータープレート２８の表面及びその上の相互配線リード
３３を覆う不動態化層１６と、不動態化層１６の上に被
着されて、コンタクト３１を露出させかつリザーバ溝及
び複数の平行なチャンネル溝を内部に形成するようパタ
ーニングされたパターニング可能な層２４と、開口２３
を有し、パターニング可能な層２４に接着されてインク
チャンネル２０及びリザーバ３９を形成し、チャンネル
溝の開端部からノズル１３を形成するカバープレート２
２を具備する。
る位置合わせを簡単にし、製造効率を改善する。 【解決手段】 発熱体３４の各々に電気パルスを選択的
に印加するためのコンタクト３１を含み、選択的に印加
されるパルスの各々がプリントヘッド１０からインク小
滴を放出させるリード３３を有するヒータープレート２
８と、発熱体３４及びコンタクト３１を露出させて、ヒ
ータープレート２８の表面及びその上の相互配線リード
３３を覆う不動態化層１６と、不動態化層１６の上に被
着されて、コンタクト３１を露出させかつリザーバ溝及
び複数の平行なチャンネル溝を内部に形成するようパタ
ーニングされたパターニング可能な層２４と、開口２３
を有し、パターニング可能な層２４に接着されてインク
チャンネル２０及びリザーバ３９を形成し、チャンネル
溝の開端部からノズル１３を形成するカバープレート２
２を具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット印
刷装置に関し、より詳しくは、パターニング可能なイン
ク流指向チャンネル構造を有するサーマル・インクジェ
ット・プリントヘッドに関する。
刷装置に関し、より詳しくは、パターニング可能なイン
ク流指向チャンネル構造を有するサーマル・インクジェ
ット・プリントヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の一つのサーマル・インクジェット
・プリントヘッドにおいては、プリントヘッドは２つの
部分、すなわちヒータープレートとチャンネルプレート
で構成されている。これらのプレートには両方とも互い
に接着した時インク小滴放出に望ましい形状を生じるよ
うに、何らかの幾何学的特徴が組み込まれている。例え
ば、米国特許第４，７７４，５３０号には、上下のシリ
コン基板を合わせ、間に厚膜絶縁層を挟んで互いに接着
したプリントヘッド開示されてる。その上部基板、すな
わちチャンネルプレートの片面には複数の平行溝と凹部
がエッチングにより形成されている。これらの溝及び凹
部は、下部基板すなわちヒータープレートと合わさる
と、それぞれプリントヘッドのインクチャンネル及びイ
ンクリザーバを形成する。溝は一端部が開いており、他
端部は閉じている。インクチャンネルの開端部はプリン
トヘッドノズルの役割を有する。インクチャンネルの閉
端部はインクリザーバに非常に近接し、厚膜層にパター
ニングで形成された凹部によってインクリザーバと流体
連通関係にある。各インクチャンネルは、毛細管作用に
よってリザーバからのインクで満たされ、ノズルの上流
側に配置された発熱体を有する。各発熱体は、インク中
に瞬時性の蒸気泡を生じさせるデータ信号を表す電気パ
ルスによって選択的に駆動されて、プリントヘッドノズ
ルからインク小滴を放出させ、記録媒体に向けて推進す
る。また、厚膜層は、発熱体を露出させることによって
それらの発熱体をピットに入れ、蒸気泡をよりよく封じ
込めて空気の吸い込みを防ぐようパターニングされる。
・プリントヘッドにおいては、プリントヘッドは２つの
部分、すなわちヒータープレートとチャンネルプレート
で構成されている。これらのプレートには両方とも互い
に接着した時インク小滴放出に望ましい形状を生じるよ
うに、何らかの幾何学的特徴が組み込まれている。例え
ば、米国特許第４，７７４，５３０号には、上下のシリ
コン基板を合わせ、間に厚膜絶縁層を挟んで互いに接着
したプリントヘッド開示されてる。その上部基板、すな
わちチャンネルプレートの片面には複数の平行溝と凹部
がエッチングにより形成されている。これらの溝及び凹
部は、下部基板すなわちヒータープレートと合わさる
と、それぞれプリントヘッドのインクチャンネル及びイ
ンクリザーバを形成する。溝は一端部が開いており、他
端部は閉じている。インクチャンネルの開端部はプリン
トヘッドノズルの役割を有する。インクチャンネルの閉
端部はインクリザーバに非常に近接し、厚膜層にパター
ニングで形成された凹部によってインクリザーバと流体
連通関係にある。各インクチャンネルは、毛細管作用に
よってリザーバからのインクで満たされ、ノズルの上流
側に配置された発熱体を有する。各発熱体は、インク中
に瞬時性の蒸気泡を生じさせるデータ信号を表す電気パ
ルスによって選択的に駆動されて、プリントヘッドノズ
ルからインク小滴を放出させ、記録媒体に向けて推進す
る。また、厚膜層は、発熱体を露出させることによって
それらの発熱体をピットに入れ、蒸気泡をよりよく封じ
込めて空気の吸い込みを防ぐようパターニングされる。
【０００３】このプリントヘッド構造にはいくつかの欠
点がある。例えば、非直線状の溝の方がより大きい設計
上の柔軟性が得られ、また非三角形状のノズルの方がイ
ンク小滴の方向性が良くなる場合に、シリコンのチャン
ネルプレートは異方性をもってあるいは配向依存性下に
エッチングされて、直線状の三角形状溝を形成する。さ
らに、エッチングされたシリコンのチャンネルプレート
を用いるということは、２つのプレートを別々に製作
し、２つの間にそれらのプレートを合わせるときに非常
に正確な位置合わせが必要になるということを意味す
る。シリコンは不透明であるから、接着剤がチャンネル
を隔て、内部のインク漏れを妨ぐのに必要な全ての表面
部分に塗布されているかどうかを確認することは困難で
ある。
点がある。例えば、非直線状の溝の方がより大きい設計
上の柔軟性が得られ、また非三角形状のノズルの方がイ
ンク小滴の方向性が良くなる場合に、シリコンのチャン
ネルプレートは異方性をもってあるいは配向依存性下に
エッチングされて、直線状の三角形状溝を形成する。さ
らに、エッチングされたシリコンのチャンネルプレート
を用いるということは、２つのプレートを別々に製作
し、２つの間にそれらのプレートを合わせるときに非常
に正確な位置合わせが必要になるということを意味す
る。シリコンは不透明であるから、接着剤がチャンネル
を隔て、内部のインク漏れを妨ぐのに必要な全ての表面
部分に塗布されているかどうかを確認することは困難で
ある。
【０００４】米国特許第５，１３２，７０７号には、ノ
ズルフェースに周囲全体を高分子材料によって取り囲ま
れた共面配列ノズルのアレイを有するサーマル・インク
ジェット・プリントヘッドが開示されている。同特許に
おいては、発熱体が第１の層中のピットに設けられ、イ
ンクチャンネルとリザーバの凹部がその上に重なる第２
の層中に設けられるようにして、ヒータープレート上に
例えばヴァクレール（Ｖａｃｒｅｌ（登録商標））のよ
うな高分子材料の層を順次２層被着し、パターニングす
ることによってインクチャンネル、ノズル及びインクリ
ザーバが形成される。カバープレートは同じ高分子材料
の第３の層を有し、カバープレートと第３の層を両方共
貫通してインク入口として機能する穴が設けられる。第
３の層を有するこのカバープレートは、カバープレート
の穴と第２の層中のリザーバの凹部とを位置合わせして
第２の層と位置合わせされ、接着されてプリントヘッド
が得られる。
ズルフェースに周囲全体を高分子材料によって取り囲ま
れた共面配列ノズルのアレイを有するサーマル・インク
ジェット・プリントヘッドが開示されている。同特許に
おいては、発熱体が第１の層中のピットに設けられ、イ
ンクチャンネルとリザーバの凹部がその上に重なる第２
の層中に設けられるようにして、ヒータープレート上に
例えばヴァクレール（Ｖａｃｒｅｌ（登録商標））のよ
うな高分子材料の層を順次２層被着し、パターニングす
ることによってインクチャンネル、ノズル及びインクリ
ザーバが形成される。カバープレートは同じ高分子材料
の第３の層を有し、カバープレートと第３の層を両方共
貫通してインク入口として機能する穴が設けられる。第
３の層を有するこのカバープレートは、カバープレート
の穴と第２の層中のリザーバの凹部とを位置合わせして
第２の層と位置合わせされ、接着されてプリントヘッド
が得られる。
【０００５】米国特許第５，１９８，８３４号には、基
板とオリフィスプレートとの間に位置する障壁を利用し
たドロップレット・オン・デマンド型インクジェットプ
リンタあるいはペン用のプリントヘッドあるいはペンヘ
ッドが開示されている。インクはプリントヘッドの障壁
中に区画形成されたインクチャンネルを通って流れる。
障壁は、２層の硬化し、光画像形成されたレジスト材で
形成される。その１層はソルダマスク材層であり、他の
１層はフォトリソグラフィ用レジスト材層である。これ
ら２つの層は、共にインクによる化学的侵食作用に対す
る耐性を持ち、プリントヘッドからのオリフィスプレー
トの離落を防ぐ。
板とオリフィスプレートとの間に位置する障壁を利用し
たドロップレット・オン・デマンド型インクジェットプ
リンタあるいはペン用のプリントヘッドあるいはペンヘ
ッドが開示されている。インクはプリントヘッドの障壁
中に区画形成されたインクチャンネルを通って流れる。
障壁は、２層の硬化し、光画像形成されたレジスト材で
形成される。その１層はソルダマスク材層であり、他の
１層はフォトリソグラフィ用レジスト材層である。これ
ら２つの層は、共にインクによる化学的侵食作用に対す
る耐性を持ち、プリントヘッドからのオリフィスプレー
トの離落を防ぐ。
【０００６】米国特許第５，７３８，７９９号には、液
体インク用の毛細管チャンネルを正方形あるいは長方形
断面で形成することが可能なインクジェット製造技術が
開示されている。この特許の発明では、所望のインクチ
ャンネルにより形成される空所の形にパターニングされ
たサクリファイス層がシリコンチップの主面上に被せら
れる。次に、永久材料よりなる永久層がサクリファイス
層上塗布され、これら２つの層を研磨してサクリファイ
ス層の表面のを露出させた一様な層を形成した後、サク
リファイス層を除去して開いたインクチャンネルが形成
される。このようにパターニングされた永久材料にカバ
ープレートを接着すると、閉じたインクチャンネルが形
成され、プリントヘッドが得られる。望ましいサクリフ
ァイス層材料としてはポリイミド樹脂があり、望ましい
永久層材料としてはポリアリーレンエーテルケトン樹脂
が用いられる。
体インク用の毛細管チャンネルを正方形あるいは長方形
断面で形成することが可能なインクジェット製造技術が
開示されている。この特許の発明では、所望のインクチ
ャンネルにより形成される空所の形にパターニングされ
たサクリファイス層がシリコンチップの主面上に被せら
れる。次に、永久材料よりなる永久層がサクリファイス
層上塗布され、これら２つの層を研磨してサクリファイ
ス層の表面のを露出させた一様な層を形成した後、サク
リファイス層を除去して開いたインクチャンネルが形成
される。このようにパターニングされた永久材料にカバ
ープレートを接着すると、閉じたインクチャンネルが形
成され、プリントヘッドが得られる。望ましいサクリフ
ァイス層材料としてはポリイミド樹脂があり、望ましい
永久層材料としてはポリアリーレンエーテルケトン樹脂
が用いられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、重要
な位置合わせが直線状のインクチャンネルや別途のチャ
ンネルプレートの必要なしにヒータープレート上で行わ
れるようにした、ヒータープレート上に直接形成される
パターニング可能なインクチャンネル構造を有するイン
クジェット・プリントヘッドを提供することにある。
な位置合わせが直線状のインクチャンネルや別途のチャ
ンネルプレートの必要なしにヒータープレート上で行わ
れるようにした、ヒータープレート上に直接形成される
パターニング可能なインクチャンネル構造を有するイン
クジェット・プリントヘッドを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、その一態様と
して、パターニング可能なインクチャンネル構造を有す
るインクジェット・プリントヘッドにおいて：片面上に
発熱体のアレイと、駆動回路手段と、該発熱体の各々に
電気パルスを選択的に印加するためのコンタクトを含
み、選択的に印加される該パルスの各々がプリントヘッ
ドからインク小滴を放出させる相互配線リードとを有す
るヒータープレートと；上記発熱体及びコンタクトを露
出させて、上記ヒータープレートの表面及びその上の駆
動回路手段及び相互配線リードを覆う不動態化層と；上
記不動態化層の上に被着されて、上記コンタクトを露出
させかつ両端部を有する複数の平行なチャンネル溝を内
部に形成するようパターニングされたパターニング可能
な層で、該各チャンネル溝がその中に発熱体を露出させ
て収容し、該チャンネル溝の一端部が開かれており、他
端部が各々インクリザーバ凹部に接続されているパター
ニング可能な層と；開口を有し、上記パターニング可能
な層に接着されて上記チャンネル溝からインクチャンネ
ルを形成し、上記リザーバ凹部から共通のインクリザー
バを形成し、上記チャンネル溝の開端部からノズルを形
成するカバープレートで、該カバープレートの該開口が
上記共通のインクリザーバと位置合わせされてプリント
ヘッドのインク入口を形成するカバープレートと；を具
備したものである。以下、本発明を添付図面を参照しつ
つ実施形態に基づきさらに詳細に説明する。
して、パターニング可能なインクチャンネル構造を有す
るインクジェット・プリントヘッドにおいて：片面上に
発熱体のアレイと、駆動回路手段と、該発熱体の各々に
電気パルスを選択的に印加するためのコンタクトを含
み、選択的に印加される該パルスの各々がプリントヘッ
ドからインク小滴を放出させる相互配線リードとを有す
るヒータープレートと；上記発熱体及びコンタクトを露
出させて、上記ヒータープレートの表面及びその上の駆
動回路手段及び相互配線リードを覆う不動態化層と；上
記不動態化層の上に被着されて、上記コンタクトを露出
させかつ両端部を有する複数の平行なチャンネル溝を内
部に形成するようパターニングされたパターニング可能
な層で、該各チャンネル溝がその中に発熱体を露出させ
て収容し、該チャンネル溝の一端部が開かれており、他
端部が各々インクリザーバ凹部に接続されているパター
ニング可能な層と；開口を有し、上記パターニング可能
な層に接着されて上記チャンネル溝からインクチャンネ
ルを形成し、上記リザーバ凹部から共通のインクリザー
バを形成し、上記チャンネル溝の開端部からノズルを形
成するカバープレートで、該カバープレートの該開口が
上記共通のインクリザーバと位置合わせされてプリント
ヘッドのインク入口を形成するカバープレートと；を具
備したものである。以下、本発明を添付図面を参照しつ
つ実施形態に基づきさらに詳細に説明する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は本発明のインクジェット・
プリントヘッド１０の概略斜視図で、プリントヘッド１
０がヒートシンク２６に取り付けられていて、プリント
ヘッドとその中の小滴放出ノズル２７のアレイの前面２
９が見える方向で描かれている。また、図２には、１本
のインクチャンネル２０を通る図１の線２−２で切断し
矢印方向に見た横断面図が示されており、シリコンのヒ
ータープレート２８は、発熱体３４、破線によって表し
た駆動回路手段３２、及び発熱体と駆動回路手段を相互
に接続すると共に、ワイヤボンド２５によってプリント
回路基板３０に接続されたコンタクト３１を持つリード
３３を有する。プリント回路基板は、ノズルからインク
小滴を放出させるよう選択的に電流パルスを発熱体に印
加するために、プリンタのコントローラまたはマイクロ
プロセッサ（いずれも図示省略）に接続されている。駆
動回路手段としては、１つの適切な回路が米国特許第
４，９４７，１９２号に記載されている。一般に、発熱
体、駆動回路手段及びリードを形成しようとするヒータ
ープレートの表面には、アンダグレーズ層１４が形成さ
れた後、発熱体及びコンタクトを露出させるようにパタ
ーニングされた不動態化層１６が形成される。
プリントヘッド１０の概略斜視図で、プリントヘッド１
０がヒートシンク２６に取り付けられていて、プリント
ヘッドとその中の小滴放出ノズル２７のアレイの前面２
９が見える方向で描かれている。また、図２には、１本
のインクチャンネル２０を通る図１の線２−２で切断し
矢印方向に見た横断面図が示されており、シリコンのヒ
ータープレート２８は、発熱体３４、破線によって表し
た駆動回路手段３２、及び発熱体と駆動回路手段を相互
に接続すると共に、ワイヤボンド２５によってプリント
回路基板３０に接続されたコンタクト３１を持つリード
３３を有する。プリント回路基板は、ノズルからインク
小滴を放出させるよう選択的に電流パルスを発熱体に印
加するために、プリンタのコントローラまたはマイクロ
プロセッサ（いずれも図示省略）に接続されている。駆
動回路手段としては、１つの適切な回路が米国特許第
４，９４７，１９２号に記載されている。一般に、発熱
体、駆動回路手段及びリードを形成しようとするヒータ
ープレートの表面には、アンダグレーズ層１４が形成さ
れた後、発熱体及びコンタクトを露出させるようにパタ
ーニングされた不動態化層１６が形成される。
【００１０】ヒータープレート上にはパターニング可能
な材料が被着されてパターニング可能な層２４を形成
し、この層２４は反応イオンエッチング（ＲＩＥ）やフ
ォトリソグラフィ法を含め、例えば湿式エッチングまた
はドライエッチングのような適切な手段によってパター
ニングされて、その中にインクリザーバ部３９及びイン
クチャンネル２０が形成される。インクチャンネルはノ
ズル２７として作用する開端部、及びリザーバ部３９と
接続される端部２１を有する。また、パターニング可能
な層はリードのコンタクト３１を露出させるようにパタ
ーニングされる。図示の実施形態においては、パターニ
ング可能な材料はフォトリソグラフィ法によってパター
ニングされる感光性高分子材料であり、以下、本発明は
感光性ポリマー層２４を用いるものとして説明する。パ
ターニング後硬化したポリマー層２４の表面がでこぼこ
している場合は、その表面を例えば米国特許第５，６６
５，２４９号に開示されているような適切なプロセスに
よって研磨する。このような研磨プロセスを行うことに
よって、カバープレートのために滑らかで平坦な表面が
得られる。カバープレート２２の材料は、ガラス、石
英、プラスチック、シリコン、金属、重合体、あるいは
セラミック材料のようなインク侵されない任意の材料と
することができる。カバープレート２２は、貫通状の開
口２３を有し、適切な接着剤１８でパターニングされた
フォトポリマー層２４の表面に接着される（図６参
照）。カバープレート開口２３は、フォトポリマー層２
４のリザーバ部３９と合わせた時、インクチャンネルの
インク補給が妨げられず、かつプリントヘッドにとって
適切なインク供給リザーバが得られるような適切な寸法
を有する。インクリザーバからインクチャンネル２０へ
の流路は矢印１９で示されている。プリントヘッドの前
部２９には、任意構成要素として破線で示すノズルプレ
ート１２が接着されており、内部にあるノズル１３はフ
ォトポリマー層２４中のインクチャンネル２０の開端部
２７と位置合わせされている。
な材料が被着されてパターニング可能な層２４を形成
し、この層２４は反応イオンエッチング（ＲＩＥ）やフ
ォトリソグラフィ法を含め、例えば湿式エッチングまた
はドライエッチングのような適切な手段によってパター
ニングされて、その中にインクリザーバ部３９及びイン
クチャンネル２０が形成される。インクチャンネルはノ
ズル２７として作用する開端部、及びリザーバ部３９と
接続される端部２１を有する。また、パターニング可能
な層はリードのコンタクト３１を露出させるようにパタ
ーニングされる。図示の実施形態においては、パターニ
ング可能な材料はフォトリソグラフィ法によってパター
ニングされる感光性高分子材料であり、以下、本発明は
感光性ポリマー層２４を用いるものとして説明する。パ
ターニング後硬化したポリマー層２４の表面がでこぼこ
している場合は、その表面を例えば米国特許第５，６６
５，２４９号に開示されているような適切なプロセスに
よって研磨する。このような研磨プロセスを行うことに
よって、カバープレートのために滑らかで平坦な表面が
得られる。カバープレート２２の材料は、ガラス、石
英、プラスチック、シリコン、金属、重合体、あるいは
セラミック材料のようなインク侵されない任意の材料と
することができる。カバープレート２２は、貫通状の開
口２３を有し、適切な接着剤１８でパターニングされた
フォトポリマー層２４の表面に接着される（図６参
照）。カバープレート開口２３は、フォトポリマー層２
４のリザーバ部３９と合わせた時、インクチャンネルの
インク補給が妨げられず、かつプリントヘッドにとって
適切なインク供給リザーバが得られるような適切な寸法
を有する。インクリザーバからインクチャンネル２０へ
の流路は矢印１９で示されている。プリントヘッドの前
部２９には、任意構成要素として破線で示すノズルプレ
ート１２が接着されており、内部にあるノズル１３はフ
ォトポリマー層２４中のインクチャンネル２０の開端部
２７と位置合わせされている。
【００１１】米国特許第Ｒｅ．３２，５７２号、第４，
７７４，５３０号、及び第４，９４７，１９２号に開示
されているように、本発明のヒータープレートはシリコ
ンウェーハ（図示省略）上にバッチプロセスで作り込ま
れ、後で１つのプリントヘッド１０として個々のヒータ
ープレート２８に切り離される。これら特許に開示され
ているように、発熱体３４、駆動回路手段３２及びリー
ド３３は、厚さ約１〜５μｍの二酸化ケイ素のようなア
ンダグレーズ層１４が最初に被覆された（１００）シリ
コンウェーハの研磨面上に複数組がパターニングで形成
される。発熱体は、ホウ化ジルコニウムのような周知の
任意の抵抗材料で形成することができるが、好ましくは
米国特許第４，９４７，１９３号に開示されているよう
に、ドーピングした多結晶シリコンを例えば化学気相蒸
着（ＣＶＤ）法によって蒸着して形成し、アドレス指定
回路手段と共に同時にモノリシック状に作り込む。その
後、ウェーハは洗浄され、再酸化されて、アドレス指定
回路手段を含めてウェーハ上に二酸化ケイ素層（図示省
略）が形成される。次に、その熱成長二酸化ケイ素層上
にリンドープ・ガラス層あるいはホウ素・リンドープ・
ガラス層（図示省略）を被着し、高温でリフローして表
面を平坦化する。周知のようにして、フォトレジストを
塗布し、パターニングすることによって発熱体と駆動回
路手段との電気的接続用のバイアが形成され、アルミニ
ウムのメタライゼーション層を塗被してリードが形成さ
れると共に、プリンタコントローラに接続されたプリン
ト回路基板にワイヤボンディングするためのコンタクト
が形成される。また、例えば、ポリイミド、ポリアリー
レンエーテルケトン、ポリベンゾオキサゾール、または
ビスベンゾシクロブテン（ＢＯＢ）のような適切な任意
の電気絶縁性不動態化層１６をリード上に約０．５乃至
２０μｍの厚さに被着し、発熱体及びコンタクトの部分
からは除去する。
７７４，５３０号、及び第４，９４７，１９２号に開示
されているように、本発明のヒータープレートはシリコ
ンウェーハ（図示省略）上にバッチプロセスで作り込ま
れ、後で１つのプリントヘッド１０として個々のヒータ
ープレート２８に切り離される。これら特許に開示され
ているように、発熱体３４、駆動回路手段３２及びリー
ド３３は、厚さ約１〜５μｍの二酸化ケイ素のようなア
ンダグレーズ層１４が最初に被覆された（１００）シリ
コンウェーハの研磨面上に複数組がパターニングで形成
される。発熱体は、ホウ化ジルコニウムのような周知の
任意の抵抗材料で形成することができるが、好ましくは
米国特許第４，９４７，１９３号に開示されているよう
に、ドーピングした多結晶シリコンを例えば化学気相蒸
着（ＣＶＤ）法によって蒸着して形成し、アドレス指定
回路手段と共に同時にモノリシック状に作り込む。その
後、ウェーハは洗浄され、再酸化されて、アドレス指定
回路手段を含めてウェーハ上に二酸化ケイ素層（図示省
略）が形成される。次に、その熱成長二酸化ケイ素層上
にリンドープ・ガラス層あるいはホウ素・リンドープ・
ガラス層（図示省略）を被着し、高温でリフローして表
面を平坦化する。周知のようにして、フォトレジストを
塗布し、パターニングすることによって発熱体と駆動回
路手段との電気的接続用のバイアが形成され、アルミニ
ウムのメタライゼーション層を塗被してリードが形成さ
れると共に、プリンタコントローラに接続されたプリン
ト回路基板にワイヤボンディングするためのコンタクト
が形成される。また、例えば、ポリイミド、ポリアリー
レンエーテルケトン、ポリベンゾオキサゾール、または
ビスベンゾシクロブテン（ＢＯＢ）のような適切な任意
の電気絶縁性不動態化層１６をリード上に約０．５乃至
２０μｍの厚さに被着し、発熱体及びコンタクトの部分
からは除去する。
【００１２】次に、図７に示すように、また米国特許第
４，７７４，５３０号に開示されているように、任意構
成要素として例えばポリイミドまたはＢＣＢのピット層
３６を被着し、パターニングして、発熱体用のピット３
８を形成することもできる。この任意構成要素のピット
層３６は、フォトポリマー層２４の被着前に被着され、
パターニングされる。しかしながら、４００スポット／
インチ（ｓｐｉ）以上で印刷するための間隔でノズルが
配置された高解像度プリントヘッドの場合、このサイズ
のノズル及びチャンネルからインク小滴を放出させるた
めに発生する蒸気泡は空気を吸い込まない性質があるの
で、発熱体ピットは必要ではないことが明らかになって
いる。
４，７７４，５３０号に開示されているように、任意構
成要素として例えばポリイミドまたはＢＣＢのピット層
３６を被着し、パターニングして、発熱体用のピット３
８を形成することもできる。この任意構成要素のピット
層３６は、フォトポリマー層２４の被着前に被着され、
パターニングされる。しかしながら、４００スポット／
インチ（ｓｐｉ）以上で印刷するための間隔でノズルが
配置された高解像度プリントヘッドの場合、このサイズ
のノズル及びチャンネルからインク小滴を放出させるた
めに発生する蒸気泡は空気を吸い込まない性質があるの
で、発熱体ピットは必要ではないことが明らかになって
いる。
【００１３】ヒーターウェーハの表面形状が平らでない
場合は、ウェーハは米国特許第５，６６５，２４９号に
開示されているような当業界で周知の技術によって研磨
される。次に、チャンネル構造２４を設けるためのフォ
トパターニング可能なポリマー層が被着される。米国特
許第５，７３８，７９９号に開示されているように、こ
れに適するチャンネル構造材料は、インク耐性があり、
温度安定性を持ち、比較的堅剛で、しかも容易にダイシ
ング可能なものでなければならない。チャンネル構造用
として最も汎用性がある材料はポリイミド樹脂あるいは
ポリアリーレンエーテルケトン（ＰＡＥＫ）樹脂であ
る。この実施形態においては、ＣＯＧ７５２０ＴＭポリ
イミド樹脂が用いられ、ポリイミド樹脂は硬化時に約３
０乃至５０％収縮するので、発熱体ウェーハ上にポリイ
ミド樹脂層を被着する際にはこのことを考慮に入れなく
てはならない。ポリイミド樹脂の被着後、チャンネルパ
ターン、チャンネル端部２１とつながるリザーバ部３
９、及びコンタクトパターンを有するマスクを使って樹
脂層が露光される。次に、パターニングされたポリイミ
ド樹脂のチャンネル構造層２４は現像され、硬化され
る。一実施形態の場合、チャンネル構造の厚さは３０μ
ｍなので、最初の被着厚さは約６５μｍで、これが硬化
時に約３３μｍに収縮し、研磨されて所期の厚さ３０μ
ｍになる。チャンネル構造の厚さが１６μｍの実施形態
の場合、最初の被着厚さは約４０ｍμでなければなら
ず、これが硬化時に約２０ｍμに収縮し、次いで１６μ
ｍの厚さに研磨される。パターニングされたポリイミド
樹脂層２４を硬化、研磨した後、ウェーハと同じ寸法で
内部に複数の開口２３を持つカバープレート２２がその
ポリイミド樹脂層に接着される。各開口はリザーバ部３
９で位置合わせされ、この実施形態では、各開口２３の
一方の長辺４１がチャンネル端部２１と位置合わせされ
る。チャンネル構造層２４が間に挟まれたシリコンウェ
ーハとウェーハサイズのカバープレートはダイシング工
程によって個々の複数のプリントヘッドに分けられる。
このダイシング工程は、プリントヘッドを切り離すだけ
ではなく、プリントヘッド前面２９を生じさせると共
に、チャンネルの一端部を開いてノズル２７を形成す
る。
場合は、ウェーハは米国特許第５，６６５，２４９号に
開示されているような当業界で周知の技術によって研磨
される。次に、チャンネル構造２４を設けるためのフォ
トパターニング可能なポリマー層が被着される。米国特
許第５，７３８，７９９号に開示されているように、こ
れに適するチャンネル構造材料は、インク耐性があり、
温度安定性を持ち、比較的堅剛で、しかも容易にダイシ
ング可能なものでなければならない。チャンネル構造用
として最も汎用性がある材料はポリイミド樹脂あるいは
ポリアリーレンエーテルケトン（ＰＡＥＫ）樹脂であ
る。この実施形態においては、ＣＯＧ７５２０ＴＭポリ
イミド樹脂が用いられ、ポリイミド樹脂は硬化時に約３
０乃至５０％収縮するので、発熱体ウェーハ上にポリイ
ミド樹脂層を被着する際にはこのことを考慮に入れなく
てはならない。ポリイミド樹脂の被着後、チャンネルパ
ターン、チャンネル端部２１とつながるリザーバ部３
９、及びコンタクトパターンを有するマスクを使って樹
脂層が露光される。次に、パターニングされたポリイミ
ド樹脂のチャンネル構造層２４は現像され、硬化され
る。一実施形態の場合、チャンネル構造の厚さは３０μ
ｍなので、最初の被着厚さは約６５μｍで、これが硬化
時に約３３μｍに収縮し、研磨されて所期の厚さ３０μ
ｍになる。チャンネル構造の厚さが１６μｍの実施形態
の場合、最初の被着厚さは約４０ｍμでなければなら
ず、これが硬化時に約２０ｍμに収縮し、次いで１６μ
ｍの厚さに研磨される。パターニングされたポリイミド
樹脂層２４を硬化、研磨した後、ウェーハと同じ寸法で
内部に複数の開口２３を持つカバープレート２２がその
ポリイミド樹脂層に接着される。各開口はリザーバ部３
９で位置合わせされ、この実施形態では、各開口２３の
一方の長辺４１がチャンネル端部２１と位置合わせされ
る。チャンネル構造層２４が間に挟まれたシリコンウェ
ーハとウェーハサイズのカバープレートはダイシング工
程によって個々の複数のプリントヘッドに分けられる。
このダイシング工程は、プリントヘッドを切り離すだけ
ではなく、プリントヘッド前面２９を生じさせると共
に、チャンネルの一端部を開いてノズル２７を形成す
る。
【００１４】図３に示すヒーターウェーハの一部の概略
斜視図において、図示ヒーターウェーハは、パターニン
グ、硬化及び研磨加工されたポリイミド樹脂のチャンネ
ル構造層２４を有する１枚のヒータープレート２８より
なる。カバープレートは図示省略されているが、カバー
プレート中の開口２３については、リザーバ部３９及び
チャンネル端部２１に対する開口の相対位置が明確に分
かるように破線で示されている。このリザーバ部３９及
びカバープレート開口２３のジョメトリによってインク
リザーバが画定される。
斜視図において、図示ヒーターウェーハは、パターニン
グ、硬化及び研磨加工されたポリイミド樹脂のチャンネ
ル構造層２４を有する１枚のヒータープレート２８より
なる。カバープレートは図示省略されているが、カバー
プレート中の開口２３については、リザーバ部３９及び
チャンネル端部２１に対する開口の相対位置が明確に分
かるように破線で示されている。このリザーバ部３９及
びカバープレート開口２３のジョメトリによってインク
リザーバが画定される。
【００１５】図４は、いろいろなチャンネル部分を分か
るように示した図２と同様の横断面図である。６００の
ｓｐｉのプリントヘッドの実施形態の場合、カバープレ
ートは約１２５μｍの厚さを有し、開口は補給時にイン
クの流れを妨げないだけのインクを供給するのに十分な
長さと幅を有する長大状スロットである。このため、こ
の実施形態の開口２３は全てのチャンネルにまたがって
横方向に延び、４００乃至５００μｍの幅「Ｗ」を有す
る。プリントヘッド１０の形状及び印刷解像度によっ
て、カバープレート２２は厚さを５μｍ乃至２ｍｍとす
ることができ、他方、開口２３の幅は１５μｍ乃至５ｍ
ｍの間で種々選択可能であり、この場合カバープレート
の開口は一般にチャンネルのアレイ全体の幅とほぼ同じ
長さになる。任意構成要素としてのノズルプレート１２
を用いる場合、この実施形態のチャンネル構造２４の厚
さは約３０μｍであり、チャンネルの幅は約３０μｍで
あり、その結果、典型的なチャンネル断面寸法は約３０
μｍ×３０μｍになる。ノズルプレート１２なしで６０
０のｓｐｉのプリントヘッドを使用する場合は、が使わ
れる時広く、典型的なチャンネル断面は約高さ１６μｍ
×幅３０である。この場合も、プリントヘッドの形状及
び印刷解像度によって、チャンネル構造２４の厚さは５
乃至７０μｍの範囲で種々選択可能であり、その中のチ
ャンネルの幅は５乃至３５０μｍの範囲で選択すること
ができる。周波数応答は、後部チャンネル長さ「Ｒ」に
よって制御され、この実施形態の場合その長さは約５０
μｍである。リザーバ部３９は、幅「Ｏ」が少なくとも
２５μｍ以上で、カバープレートの開口２３と共にプリ
ントヘッドリザーバを形成する。この幅は、非常に小さ
い場合は、チャンネルのインク補給に影響するが、
「Ｏ」が十分に大きい場合は、このパラメータは小滴放
出あるいはインク補給に全く影響しない。この実施形態
の場合、「Ｏ」の十分な寸法は、上に述べたように、約
２５μｍ以上である。発熱体は約５０〜１００μｍの長
さ（「Ｈ」）と約２５μｍの幅を有する。発熱体はノズ
ルまたは前面から上流側に約４０〜９０μｍ、好ましく
は５０μｍだけ離間されている。破線で示す任意構成要
素としてのノズルプレート１２は厚さが約５対５０μ
ｍ、好ましくは５０μｍであり、プリントヘッド前面の
各ノズル２７毎に円錐形ノズル１３を有する。円錐形ノ
ズルは、チャンネルと位置合わせされ、その軸４２はほ
ぼチャンネルの軸４０と一致する。円錐形ノズル１３の
外側開口部は直径が約１７μｍで、ノズル２７に接する
内側開口部は直径が約２６μｍである。
るように示した図２と同様の横断面図である。６００の
ｓｐｉのプリントヘッドの実施形態の場合、カバープレ
ートは約１２５μｍの厚さを有し、開口は補給時にイン
クの流れを妨げないだけのインクを供給するのに十分な
長さと幅を有する長大状スロットである。このため、こ
の実施形態の開口２３は全てのチャンネルにまたがって
横方向に延び、４００乃至５００μｍの幅「Ｗ」を有す
る。プリントヘッド１０の形状及び印刷解像度によっ
て、カバープレート２２は厚さを５μｍ乃至２ｍｍとす
ることができ、他方、開口２３の幅は１５μｍ乃至５ｍ
ｍの間で種々選択可能であり、この場合カバープレート
の開口は一般にチャンネルのアレイ全体の幅とほぼ同じ
長さになる。任意構成要素としてのノズルプレート１２
を用いる場合、この実施形態のチャンネル構造２４の厚
さは約３０μｍであり、チャンネルの幅は約３０μｍで
あり、その結果、典型的なチャンネル断面寸法は約３０
μｍ×３０μｍになる。ノズルプレート１２なしで６０
０のｓｐｉのプリントヘッドを使用する場合は、が使わ
れる時広く、典型的なチャンネル断面は約高さ１６μｍ
×幅３０である。この場合も、プリントヘッドの形状及
び印刷解像度によって、チャンネル構造２４の厚さは５
乃至７０μｍの範囲で種々選択可能であり、その中のチ
ャンネルの幅は５乃至３５０μｍの範囲で選択すること
ができる。周波数応答は、後部チャンネル長さ「Ｒ」に
よって制御され、この実施形態の場合その長さは約５０
μｍである。リザーバ部３９は、幅「Ｏ」が少なくとも
２５μｍ以上で、カバープレートの開口２３と共にプリ
ントヘッドリザーバを形成する。この幅は、非常に小さ
い場合は、チャンネルのインク補給に影響するが、
「Ｏ」が十分に大きい場合は、このパラメータは小滴放
出あるいはインク補給に全く影響しない。この実施形態
の場合、「Ｏ」の十分な寸法は、上に述べたように、約
２５μｍ以上である。発熱体は約５０〜１００μｍの長
さ（「Ｈ」）と約２５μｍの幅を有する。発熱体はノズ
ルまたは前面から上流側に約４０〜９０μｍ、好ましく
は５０μｍだけ離間されている。破線で示す任意構成要
素としてのノズルプレート１２は厚さが約５対５０μ
ｍ、好ましくは５０μｍであり、プリントヘッド前面の
各ノズル２７毎に円錐形ノズル１３を有する。円錐形ノ
ズルは、チャンネルと位置合わせされ、その軸４２はほ
ぼチャンネルの軸４０と一致する。円錐形ノズル１３の
外側開口部は直径が約１７μｍで、ノズル２７に接する
内側開口部は直径が約２６μｍである。
【００１６】図４のジョメトリは、その小さな変化やチ
ャンネル断面の変化に対して強く、発熱体のセットバッ
ク寸法Ｆがインク小滴の体積あるいはインク小滴の速度
に影響を及ぼすことはない。インク小滴の体積は、基本
的にノズル開口部２７によって、あるいは、ノズルプレ
ートを使用する場合は、ノズル１３の外側開口部によっ
て制御される。ブラックインクで必要なインク小滴の体
積はブラック以外のカラーインクの場合とは異なるの
で、プリントヘッドのジョメトリの他の部分は変えず
に、ノズルプレート中のノズルサイズを変えることによ
って、異なるカラーインクに対する望ましいインク小滴
体積を得ることができる。
ャンネル断面の変化に対して強く、発熱体のセットバッ
ク寸法Ｆがインク小滴の体積あるいはインク小滴の速度
に影響を及ぼすことはない。インク小滴の体積は、基本
的にノズル開口部２７によって、あるいは、ノズルプレ
ートを使用する場合は、ノズル１３の外側開口部によっ
て制御される。ブラックインクで必要なインク小滴の体
積はブラック以外のカラーインクの場合とは異なるの
で、プリントヘッドのジョメトリの他の部分は変えず
に、ノズルプレート中のノズルサイズを変えることによ
って、異なるカラーインクに対する望ましいインク小滴
体積を得ることができる。
【００１７】図５は、図１に示すプリントヘッドの別の
実施態様の部分平面図であり、チャンネル構造２４を非
直線状チャンネル２０′が形成されるようにパターニン
グすることが可能なことを示すために、カバープレート
は図示省略されている。たとえば、ノズル２７′は、プ
リントヘッド前面部内で、チャンネルの他の部分の断面
と異なる形状を持つように作って、ノズルプレートの効
果をそっくり具現させることができる。あるいは、リザ
ーバ部３９と接続されるチャンネル端部２１も、破線２
１′で示すように、テーパを付けてチャンネル入口の径
を大きくし、あるいは小さくすることが可能である。
実施態様の部分平面図であり、チャンネル構造２４を非
直線状チャンネル２０′が形成されるようにパターニン
グすることが可能なことを示すために、カバープレート
は図示省略されている。たとえば、ノズル２７′は、プ
リントヘッド前面部内で、チャンネルの他の部分の断面
と異なる形状を持つように作って、ノズルプレートの効
果をそっくり具現させることができる。あるいは、リザ
ーバ部３９と接続されるチャンネル端部２１も、破線２
１′で示すように、テーパを付けてチャンネル入口の径
を大きくし、あるいは小さくすることが可能である。
【００１８】図６は、図１のプリントヘッド１０の部分
平面図であり、カバープレート２２が透明である状態が
示されている。透明なカバープレートを使用することの
利点は、カバープレートをチャンネル構造２４に接着
し、チャンネルを相互に封止するために使用される接着
剤１８に途切れがないことを目視で容易に確認すること
ができるということである。例えば、接着剤中の空隙３
７が透明なカバープレートを通してはっきり見える。透
明なカバープレートを使用することのもう一つの利点
は、プリントヘッドのリザーバに溜まることがある気泡
（図示省略）を、さっと見るだけで容易に見つけられる
ので、プリンタの印刷品質に悪影響が生じる前に、プリ
ントヘッドを手作業でプライミングして気泡を取り除く
ことができるということである。この実施形態のカバー
プレート２２は透明または半透明であるが、不透明なカ
バープレートもほほ同等に機能すると思われる。
平面図であり、カバープレート２２が透明である状態が
示されている。透明なカバープレートを使用することの
利点は、カバープレートをチャンネル構造２４に接着
し、チャンネルを相互に封止するために使用される接着
剤１８に途切れがないことを目視で容易に確認すること
ができるということである。例えば、接着剤中の空隙３
７が透明なカバープレートを通してはっきり見える。透
明なカバープレートを使用することのもう一つの利点
は、プリントヘッドのリザーバに溜まることがある気泡
（図示省略）を、さっと見るだけで容易に見つけられる
ので、プリンタの印刷品質に悪影響が生じる前に、プリ
ントヘッドを手作業でプライミングして気泡を取り除く
ことができるということである。この実施形態のカバー
プレート２２は透明または半透明であるが、不透明なカ
バープレートもほほ同等に機能すると思われる。
【００１９】図７は、本発明のプリントヘッドの他の実
施形態を示す図２と同様の横断面図であるが、この実施
形態では米国特許第４，７７４，５３０号に開示された
ピット層３６が具備されている。このピット層３６は、
解像度が４００ｓｐｉより低いプリントヘッドの場合に
効果的である考えられるが、高解像度プリントヘッドの
場合も使用することができる。ピット層以外は、プリン
トヘッド及びその製造方法は、図１及び２のプリントヘ
ッドと同じである。
施形態を示す図２と同様の横断面図であるが、この実施
形態では米国特許第４，７７４，５３０号に開示された
ピット層３６が具備されている。このピット層３６は、
解像度が４００ｓｐｉより低いプリントヘッドの場合に
効果的である考えられるが、高解像度プリントヘッドの
場合も使用することができる。ピット層以外は、プリン
トヘッド及びその製造方法は、図１及び２のプリントヘ
ッドと同じである。
【００２０】このように、本発明によれば重要な位置合
わせを全てヒータープレートあるいはヒーターウェーハ
上で直接直接行うことが可能になり、インク入口は内部
に開口２３が形成されたカバープレートをパターニング
可能なインクチャンネル及びリザーバ層２４に接着する
ことによって設けられる。カバープレート開口の位置合
わせ、決定的に重要な位置合わせではないということは
きわめて明白である。
わせを全てヒータープレートあるいはヒーターウェーハ
上で直接直接行うことが可能になり、インク入口は内部
に開口２３が形成されたカバープレートをパターニング
可能なインクチャンネル及びリザーバ層２４に接着する
ことによって設けられる。カバープレート開口の位置合
わせ、決定的に重要な位置合わせではないということは
きわめて明白である。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、インクジェット・プリ
ントヘッド製造における位置合わせが簡単になり、製造
効率が改善される。
ントヘッド製造における位置合わせが簡単になり、製造
効率が改善される。
【図１】 本発明のプリントヘッドのインク小滴放出ノ
ズルが見える方向に置いた概略斜視図である。
ズルが見える方向に置いた概略斜視図である。
【図２】 図１の線２−２で切断して矢印方向に見た横
断面図である。
断面図である。
【図３】 カバープレートがない状態の図１のプリント
ヘッドの概略斜視図である。
ヘッドの概略斜視図である。
【図４】 インクチャンネルの各部間の寸法間隔を示す
図２同様の横断面図である。
図２同様の横断面図である。
【図５】 図１のプリントヘッドの別の実施態様の一部
を示す平面図で非直線状のインクチャンネルが示されて
いる。
を示す平面図で非直線状のインクチャンネルが示されて
いる。
【図６】 図１の一部を示す平面図で、透明なカバープ
レートによってチャンネル構造の表面とカバープレート
の表面間における接着剤が十分で途切れがないことが見
える状態が示されている。
レートによってチャンネル構造の表面とカバープレート
の表面間における接着剤が十分で途切れがないことが見
える状態が示されている。
【図７】 本発明の別の実施形態を示す図２と同様の横
断面図である。
断面図である。
１０ インクジェット・プリントヘッド １２ ノズルプレート １３ ノズル １４ アンダグレーズ層 １６ 電気絶縁性不動態化層 １８ 接着剤 ２０ インクチャンネル ２０′ 非直線状チャンネル ２１ チャンネル端部 ２２ カバープレート ２３ 開口 ２４ リザーバ層（感光性ポリマー層） ２５ ワイヤボンド ２６ ヒートシンク ２７ 小滴放出ノズル ２７′ ノズル ２９ 前面 ２８ ヒータープレート ３０ プリント回路基板 ３１ コンタクト ３２ 駆動回路手段 ３３ リード ３４ 発熱体 ３６ ピット層 ３７ 空隙 ３８ ピット ３９ インクリザーバ部 ４１ 長辺
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マイルドレッド・カリストリ−イェ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14580 ウエブスター ペレットロード 495 (72)発明者 ダイアン・アトキンソン アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14580 ウエブスター モーホークストリート 35 (72)発明者 アルモン・ピー・フィッシャー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 14620 ロチェスター ハウランドアベニュー 319
Claims (2)
- 【請求項１】 インクリザーバ及びパターニング可能な
インクチャンネル構造を有するインクジェット・プリン
トヘッドにおいて：片面上に発熱体のアレイと、該発熱
体の各々に電気パルスを選択的に印加するためのコンタ
クトを含み、選択的に印加される該パルスの各々がプリ
ントヘッドからインク小滴を放出させる相互配線リード
とを有するヒータープレートと；上記発熱体及びコンタ
クトを露出させて、上記ヒータープレートの表面及びそ
の上の相互配線リードを覆う不動態化層と；上記不動態
化層の上に被着されて、上記コンタクトを露出させかつ
リザーバ溝及び複数の平行なチャンネル溝を内部に形成
するようパターニングされたパターニング可能な層で、
該各チャンネル溝が両端部を有すると共にその中に発熱
体を露出させて収容し、該チャンネル溝の一端部が開か
れており、他端部がリザーバ溝に接続されているパター
ニング可能な層と；開口を有し、上記パターニング可能
な層に接着されて上記チャンネル溝からインクチャンネ
ルを形成し、上記リザーバ溝からリザーバを形成し、上
記チャンネル溝の開端部からノズルを形成するカバープ
レートで、該カバープレートの該開口が上記リザーバと
位置合わせされてインク入口及びインクリザーバの他の
部分を形成するカバープレートと；を具備したインクジ
ェット・プリントヘッド。 - 【請求項２】 インクジェット・プリントヘッドの製造
方法において： （ａ）片面上に発熱体のアレイと、該発熱体の各々に電
気パルスを選択的に印加するためのコンタクトを含み、
選択的に印加される該パルスの各々がプリントヘッドか
らインク小滴を放出させる相互配線リードとを有するヒ
ータープレートを設けるステップと； （ｂ）上記ヒータープレート上に、上記発熱体及びコン
タクトを露出させて、上記ヒータープレートの表面及び
その上の相互配線リードを覆う不動態化層を被着するス
テップと； （ｃ）上記不動態化層上にパターニング可能な層を被着
するステップと； （ｄ）上記パターニング可能な層中に、上記コンタクト
を露出させかつリザーバ溝及び複数の平行なチャンネル
溝を、該各チャンネル溝が両端部を有すると共にその中
に発熱体を露出させて設けるように、かつ該チャンネル
溝の一端部が開かれ、他端部がリザーバ溝に接続されよ
うに形成するよう上記パターニング可能な層をパターニ
ングするステップと； （ｅ）内部に開口を有するカバープレートを該開口と上
記リザーバ溝を位置合わせして上記パターニング可能な
層上に載置し、接着するステップと；を具備したインク
ジェット・プリントヘッドの製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US09/004,765 US6183069B1 (en) | 1998-01-08 | 1998-01-08 | Ink jet printhead having a patternable ink channel structure |
| US004765 | 1998-01-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11245419A true JPH11245419A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=21712424
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11000077A Pending JPH11245419A (ja) | 1998-01-08 | 1999-01-04 | パタ―ニング可能なインクチャネル構造を有するインクジェット・プリントヘッド及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6183069B1 (ja) |
| EP (1) | EP0934830A1 (ja) |
| JP (1) | JPH11245419A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6294317B1 (en) * | 1999-07-14 | 2001-09-25 | Xerox Corporation | Patterned photoresist structures having features with high aspect ratios and method of forming such structures |
| US6971170B2 (en) * | 2000-03-28 | 2005-12-06 | Microjet Technology Co., Ltd | Method of manufacturing printhead |
| US6499833B2 (en) * | 2000-08-04 | 2002-12-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head and ink jet recording apparatus |
| DE10137375A1 (de) * | 2001-07-31 | 2003-02-27 | Infineon Technologies Ag | Verwendung von Polybenzoxazolen (PBO) zum Kleben |
| US7311386B2 (en) * | 2004-06-30 | 2007-12-25 | Lexmark Interntional, Inc. | Die attach methods and apparatus for micro-fluid ejection device |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE32572E (en) | 1985-04-03 | 1988-01-05 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead and process therefor |
| US4774530A (en) | 1987-11-02 | 1988-09-27 | Xerox Corporation | Ink jet printhead |
| US4947192A (en) | 1988-03-07 | 1990-08-07 | Xerox Corporation | Monolithic silicon integrated circuit chip for a thermal ink jet printer |
| US4947193A (en) | 1989-05-01 | 1990-08-07 | Xerox Corporation | Thermal ink jet printhead with improved heating elements |
| US5132707A (en) | 1990-12-24 | 1992-07-21 | Xerox Corporation | Ink jet printhead |
| US5198834A (en) | 1991-04-02 | 1993-03-30 | Hewlett-Packard Company | Ink jet print head having two cured photoimaged barrier layers |
| JPH07156409A (ja) | 1993-10-04 | 1995-06-20 | Xerox Corp | 一体形成した流路構造を有するインクジェット・プリントヘッドおよびその作製方法 |
| US5665249A (en) | 1994-10-17 | 1997-09-09 | Xerox Corporation | Micro-electromechanical die module with planarized thick film layer |
| US5699094A (en) | 1995-08-11 | 1997-12-16 | Xerox Corporation | Ink jet printing device |
| JPH09109392A (ja) | 1995-10-13 | 1997-04-28 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法および同方法により製造されたインクジェット記録ヘッド、並びにインクジェット記録装置 |
| US5870123A (en) | 1996-07-15 | 1999-02-09 | Xerox Corporation | Ink jet printhead with channels formed in silicon with a (110) surface orientation |
| US5738799A (en) * | 1996-09-12 | 1998-04-14 | Xerox Corporation | Method and materials for fabricating an ink-jet printhead |
| US5820771A (en) * | 1996-09-12 | 1998-10-13 | Xerox Corporation | Method and materials, including polybenzoxazole, for fabricating an ink-jet printhead |
| US5850234A (en) * | 1997-01-21 | 1998-12-15 | Xerox Corporation | Ink jet printhead with improved operation |
-
1998
- 1998-01-08 US US09/004,765 patent/US6183069B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-01-04 JP JP11000077A patent/JPH11245419A/ja active Pending
- 1999-01-05 EP EP99300053A patent/EP0934830A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6183069B1 (en) | 2001-02-06 |
| EP0934830A1 (en) | 1999-08-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080104 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080328 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080613 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20081114 |