JPH11249155A - 流動性物質封入構造の作製方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大気中で基体を対向配置し、この基体間に液
晶を展延させる際に、液晶の展延を制御しつつ、液晶領
域に気泡が残留することを確実に防止して液晶を良好に
展延させ、大型の液晶表示素子を短時間で作製できる液
晶素子の製造方法及びその製造装置を提供すること。 【解決手段】 下基体１に所定パターンのシール剤７及
び液晶８を塗布後、上基体２を対向配置する際に、上下
基体１、２間に予めスペーサ３、４、５を配置して所定
間隔で保持し、上基体２を加圧する際にスペーサ３、
５、４を一端縁２ａ側から順次取り外しながら、上基体
２を一端縁２ａ側から他端縁２ｂ側にかけて順次下基体
１の方へ接触させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流動性物質封入構
造の作製方法（特に液晶表示素子等の液晶素子の製造方
法）及びその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶パネルと称される液晶表示素子の製
造方法としては、例えば１〜１０μｍの所定間隔を置い
て対向配置した一対の基体の周辺部分をシール剤によっ
て接着固定して空のパネルを作製し、この空のパネルを
真空装置内に収容してパネル内部を真空状態にし、シー
ル剤部に予め設けた注入口を液晶に浸す。そして、真空
装置内を徐々に大気圧に戻すことにより、パネル内外の
圧力差と毛細管現象を利用して液晶をパネル内に注入す
る注入法がよく知られている。

【０００３】しかしながら、この注入法では、粘性の比
較的高い液晶の注入に時間がかかり、特に、液晶表示素
子の大型化に伴い多大な注入時間を要するようになると
いう問題が有った。また、真空装置内を真空とするため
の前処理時間がかかるという問題も有り、更に、高価な
真空装置が必要であるという問題も有った。即ち、従来
の注入法では、製造時間の増大やコストの上昇といった
問題が有った。

【０００４】そこで、例えば、特開昭６０−７５８１７
号、特開昭６０−２３０６３６号、特開平１−３０３４
１４号、特開平３−２５４１６号、特開平４−２１８０
２７号の各公報に記載されているように、一対の基体の
一方に表示領域を囲むようにシール材を塗布し、その表
示領域に液晶を滴下又は塗布した後、真空装置内で、も
う一方の基体を平行に圧着し、その後、シール材を硬化
させる方法（滴下法又は塗布法）が提案されている。こ
の方法によれば、液晶注入に要する時間は大幅に短縮さ
れるが、真空下で基体の重ね合わせを行うため、やは
り、真空装置内を真空にするための前処理時間がかか
り、また、高価な真空装置が必要なため、製造時間が増
大し、製造コストが嵩むという問題が有った。

【０００５】また、特開平２−８４６１６号、特開平２
−１２３３２４号、特開平６−２０８０９７号の各公報
に記載されているように、上述した滴下法又は塗布法に
おいて、基体の重ね合わせを大気中で行う方法も提案さ
れている。この方法では真空装置が不要のため、上述し
た真空装置を用いる滴下法又は塗布法と比較して、製造
時間及び製造コストを抑えることができる。しかしなが
ら、この方法では、大気中で基体を重ね合わせるため、
その重ね合わせの際に表示領域内の液晶中に気泡が残留
してしまい、これが表示欠陥になって、歩留りが低下す
るという問題が有った。

【０００６】また、上述のような気泡の残留の問題を解
決するために、液晶を細線状の所定パターンに塗布し、
基体を徐々に又は間欠的に重ね合わせる方法（特開平３
−８９３１５号公報）や、一対の基板を楔型をなすよう
に対向させ、或いは、一方の基板を凸状に反らせた状態
で対向させ、徐々に基板同士が平行となるように接近さ
せて圧着させる方法（特開平４−１７９９１９号公報）
等が提案されている。しかしながら、このような方法で
は、基体の重ね合わせに要する時間が長くなり、また、
精密な基体の重ね合わせを行うために特殊な装置が必要
となって、やはり、製造時間の増大や製造コストが嵩む
という問題が有った。

【０００７】

【発明に至る経過】そこで、本出願人は特願平９−２２
９３６０号において、例えば、一方の基体上のシール領
域の内側の一端部に液晶を滴下して２枚の基板を側方か
ら重ね合わせた後、対向配置された一対の基体の少なく
とも一方の基体の上を液晶領域の一端部から他端部の方
向へ加圧手段によって加圧しつつ、この加圧手段を相対
的に移動させて、液晶を一端部から液晶領域全体へ展延
させながら、シール領域に予め設けた開口から液晶領域
の空気を排出した後、シール領域を硬化する方法（以
下、先願発明と称する。）を既に提起している。

【０００８】この先願発明によれば、一対の基体の一方
の端部に供給した液晶を、両基体を重ね合わせた後に加
圧ローラーの如き加圧手段で加圧することによって基体
間に展延させるので、極めて簡便に短時間で液晶を充填
することができる。この時、加圧手段の押圧力を適度に
調節し、更にこの加圧状態を補助ローラーで保持すれ
ば、所定の基体間ギャップを得ることができる。

【０００９】また、液晶に巻き込まれた気泡は液晶の展
延に伴って押し出されるので、液晶領域内に微細な気泡
が残留することがない。従って、特性の良い液晶素子を
簡単且つ短時間の製造プロセスで製造できるようにな
り、また、従来のように高価な真空装置を用いる必要が
無くなるので、製造コストを削減することもできる。

【００１０】また、先願発明は、一般に粘度の高い強誘
電性液晶を基体間に充填する場合に適用して特に効果的
なものであり、液晶素子に強誘電性液晶を用いることに
より、例えば、高価な薄膜トランジスタを用いない安価
な液晶素子を提供することができる。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この先
願発明は、上記した種々の特長を有しているものの、な
お改善すべき点が存在することが分かった。

【００１２】先願発明の場合、具体的には、図２８に示
すように、まずシール剤４９を一方の基体４７の周辺部
に塗布すると共に、液晶材料５０を基体の一端縁４７ａ
側にライン状パターンに塗布する方法等が採られてい
る。そして、図２９に示すように、液晶５０を塗布した
基体４７の上に他方の基体４８を重ね合わせ、基体４８
上を一端縁４８ａ側から他端縁４８ｂ側の方向に加圧ロ
ーラー５２で加圧するものである。

【００１３】しかし、この加圧以前に両基体４７、４８
を重ね合わせた時に、図２８に示す如く、塗布した液晶
５０が重ねた基体４８の自重で先行面５０ａを形成しな
がらその周辺に展延するが、シール剤４９の内側の隅部
等に気泡５１が残留することがあった。

【００１４】更に、シール剤４９の空気排出口４９ａか
ら空気を放出しながらローラー５２で加圧することはで
きるが、この加圧中にローラー５２の位置より前方（即
ち、他端縁４７ｂ側）において基体４８の一部が持ち上
がって空気を巻き込み易く、図２９に示すように、加圧
の進行に伴って新たな気泡５１を残留させることもあっ
た。また、液晶５０の一部５０ａがシール剤４９を乗り
越えて外側へはみ出ることもあり、図３０に示すよう
に、加圧終了後の液晶領域には数箇所に気泡５１が液晶
５０と共に封入されたり、シール剤４９の外側へ漏出し
た液晶５０ａが形成されてしまうことがある。

【００１５】このような現象は、基体の大型化や基体間
隔（セルギャップ）が厚くなる等のために液晶塗布量
（即ち、塗布面積）が増大したときに、一層生じ易くな
る。即ち、液晶塗布部の中央部分は液晶の界面張力が不
足することにより更に凹部が生じ易くなるため、他方の
基体を重ね合わせる場合に上記凹部に気泡が入ってしま
い、良質な大型の液晶デバイスを製造することは困難と
なることがある。

【００１６】また、予めシール領域の内側等において、
過剰な液晶等を収容するための溝を基体に設けることに
より、上記した如き、シール剤の外への液晶の漏出を防
止すると共に、液晶塗布パターンをある程度任意（液晶
をシール領域の内側に過剰に滴下しても良いため、塗布
パターンに自由度がある。）に選べるという利点もある
が、基体に予め溝を形成する工程が必要であり、しかも
シール部と溝との領域内に空気等が残留する傾向があ
り、その空気が有効画面内に侵入すると、画面品位を低
下させるおそれがある。

【００１７】他方、液晶材料を塗布する形状として、特
開平３−８９３１５号公報に記載されているように、一
方の基板の全域に大略＞−＜形をなすように塗布するも
のがある。しかしながら、この塗布形状では、先願発明
のように、一端部から他端部へ順次連続的に加圧する方
式に適用させた場合、有効画面内で液晶が行き渡らない
領域（あるいは液晶のはみ出し）が生じ、さらには気泡
等の巻き込み等も発生してしまう等、品質の高い液晶充
填を行えないという欠点がある。

【００１８】本発明は、上記の事情に鑑みてなされたも
のであって、大気中で基体を対向配置し、この基体間に
液晶等の流動性物質を展延させる際に、流動性物質の展
延を制御しつつ、封入領域に気泡が残留することを確実
に防止して流動性物質を良好に展延させ、かつ流動性物
質がシール剤からはみ出ることも防止し、大型の液晶表
示素子でも短時間で高品質の液晶素子を製造できる流動
性物質封入構造の作製方法及びその装置を提供すること
を目的とするものである。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を解決するために鋭意検討を重ねた結果、基体を対向配
置し加圧する際の基体の接触の調節が気泡等の巻き込み
防止と流動性物質展延性を大きく左右することをつき止
め、本発明に到達したものである。

【００２０】即ち、本発明は、所定間隔で対向配置され
た一対の基体間の封入領域に流動性物質（特に液晶領域
に液晶）が封入された液晶素子等の流動性物質封入構造
の作製方法において、接着領域において前記一対の基体
の少なくとも一方に固着材料を配する工程と、前記固着
材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基体を非接
触状態保持手段により互いに非接触状態に保持して、対
向配置させる工程と、前記一対の基体を前記非接触状態
保持手段による保持から解放して、一端縁側から他端縁
側にかけて順次接触させ、前記封入領域に前記流動性物
質を展延させる工程とを有することを特徴とする、流動
性物質封入構造の作製方法（以下、本発明の第１の方法
と称することがある。）に係るものである。

【００２１】本発明の第１の方法によれば、一方の基体
に液晶等の流動性物質が塗布されているような一対の基
体を非接触状態保持手段によって互いに非接触に保持し
て対向配置させ、この保持状態を解放して一端縁側から
他端縁側にかけて順次接触させて封入領域に流動性物質
を展延させるので、一端縁側から順次保持状態を解放さ
れた基体が、この一端縁側から他端縁側にかけて順次接
触し、流動性物質の拡がりを制御しつつ流動性物質を展
延させることができる。この結果、封入領域に気泡を残
留させることなく流動性物質を展延させることができ、
シール部の外への流動性物質の漏出も防止でき、大型の
液晶表示素子の場合でも、高品質の液晶素子等を短時間
でかつ作業性よく作製することができる。

【００２２】また、本発明は、所定間隔で対向配置され
た一対の基体間の封入領域に流動性物質（特に液晶領域
に液晶）が封入された液晶素子等の流動性物質封入構造
の作製方法において、接着領域において前記一対の基体
の少なくとも一方に固着材料を配する工程と、前記固着
材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基体を保持
手段により互いに非接触状態に保持して、対向配置させ
る工程と、前記一対の基体の少なくとも一方を前記保持
手段により保持しつつ一端縁側から他端縁側にかけて順
次接触させ、前記封入領域に前記流動性物質を展延させ
る工程とを有することを特徴とする、流動性物質封入構
造の作製方法（以下、本発明の第２の方法と称すること
がある。）に係るものである。

【００２３】本発明の第２の方法によれば、一対の基体
を保持手段によって互いに非接触状態に保持して対向配
置させ、前記一対の基体の少なくとも一方を保持手段で
保持しつつ、一端縁側から他端縁側にかけて順次接触さ
せて封入領域に流動性物質を展延させるので、一端縁側
から基体が順次接触し、上記した第１の方法と同等の効
果を奏することが可能な流動性物質封入構造の作製方法
を提供することができる。

【００２４】また、本発明は、所定間隔で対向配置され
た一対の基体間の封入領域に流動性物質（特に液晶領域
に液晶）が封入された液晶素子等の流動性物質封入構造
の作製装置において、接着領域において前記一対の基体
の少なくとも一方に固着材料を配する固着材料配置手段
と、前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対
の基体を互いに非接触状態に保持して、対向配置させる
非接触状態保持手段と、前記一対の基体に対する前記非
接触状態保持手段の着脱手段と、この着脱手段により前
記一対の基体を前記非接触状態保持手段による保持から
解放した後に、前記一対の基体を一端縁側から他端縁側
にかけて順次接触させ、前記封入領域に前記流動性物質
を展延させる加圧手段とを有することを特徴とする、流
動性物質封入構造の作製装置（以下、本発明の第１の装
置と称することがある。）に係るものである。

【００２５】本発明の第１の装置によれば、上記した第
１の方法に基づく装置であるので、第１の方法と同様な
効果を奏することができる流動性物質封入構造の作製装
置を提供することができる。

【００２６】また、本発明は、所定間隔で対向配置され
た一対の基体間の封入領域に流動性物質（特に液晶領域
に液晶）が封入された液晶素子等の流動性物質封入構造
の作製装置において、接着領域において前記一対の基体
の少なくとも一方に固着材料を配する固着材料配置手段
と、前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対
の基体を互いに非接触状態に保持して対向配置させる保
持手段と、前記一対の基体の少なくとも一方を前記保持
手段により保持しつつ一端縁側から他端縁側にかけて順
次接触させ、前記封入領域に前記流動性物質を展延させ
る加圧手段とを有することを特徴とする、流動性物質封
入構造の作製装置（以下、本発明の第２の装置と称する
ことがある。）に係るものである。

【００２７】本発明の第２の装置によれば、上記した第
２の方法に基づく装置であるので、第２の方法と同様な
効果を奏することができる流動性物質封入構造の作製装
置を提供することができる。

【００２８】

【発明の実施の形態】本発明の方法及びその装置におい
ては、上記したそれぞれを効果的に実施するため、具体
的には以下の如くすることが望ましい。

【００２９】まず、前記一対の基体の少なくとも一方に
その外周部に沿って前記固着材料を配し、更に固着材料
の内側の基体の一端縁側に予め液晶材料を塗布してお
き、前記外周部において、前記固着材料も含めて前記一
対の基体を非接触状態に保持するためのスペーサを複数
箇所の最適位置に配し、これらのスペーサを一端縁側か
ら順次取外し、前記一対の基体を加圧手段による加圧下
で接触させながら、前記封入領域に前記流動性物質を展
延させることが望ましい。

【００３０】従って、この場合、前記一対の基体をその
外周部に沿って設けられた接着領域において互いに固着
させるために、少なくとも一方の基体の前記接着領域に
前記固着材料としての硬化性接着剤を塗布する工程と、
前記一対の基体の少なくとも一方の基体の前記封入領域
の一端縁側に所定量の流動性物質を配する工程と、前記
一端縁側に第１スペーサを配し、前記他端縁側の前記基
体の側方に第２スペーサを配する工程と、前記硬化性接
着剤及び前記流動性物質を間に挟んで前記一対の基体を
対向配置し、前記第１スペーサを選択的に取り外す工程
と、前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の
基体上を相対的に移動する加圧手段によって前記一端縁
から前記他端縁の方向へ加圧し、前記加圧手段が所定の
相対的移動位置に位置したときに前記第２スペーサを選
択的に取外し、更に加圧して前記一対の基体を完全に接
触させる工程と、前記硬化性接着剤を硬化させる工程と
を行うことが望ましい。

【００３１】そして、前記第１スペーサ（好ましくは高
さ２５０μｍ）及び前記第２スペーサ（好ましくは高さ
１００〜１５０μｍ）を配すると共に、大型の液晶パネ
ルの場合は、これらのスペーサの間において前記基体の
側方に第３スペーサ（好ましくは高さ４５０μｍ）を配
し、この第３スペーサも前記加圧手段の相対的移動時に
選択的に取り外すことが、一端縁側から他端縁側にかけ
て順次基体を接触させて液晶の展延を制御すると共に、
気泡の巻き込みを防ぎ、かつ気泡の残留を防止する上で
望ましい。

【００３２】このために、前記第１スペーサの高さを前
記第２スペーサの高さよりも高くし、前記第１スペーサ
の高さよりも前記第３スペーサを高くすることが、上記
した流動性物質展延の制御や気泡の残留等を防止する上
で望ましい。

【００３３】そして、前記第１スペーサによって主とし
て前記流動性物質の拡がりを制御し、前記第２スペーサ
によって主として前記硬化性接着剤と他方の前記基体と
の接触を防止し、前記第３スペーサによって前記流動性
物質の拡がりの制御と前記硬化性接着剤から外方への前
記流動性物質の漏出の防止とを行うことが望ましい。

【００３４】この場合、前記外周部において、前記一対
の基体のうち下側の基体の上面に前記複数のスペーサの
少なくとも１つを配し、また支持位置において上側の基
体が下側の基体より突出している場合は、前記一対の基
体のうち下側の基体をステージ等の支持面上に支持し、
前記外周部において、前記一対の基体のうち上側の基体
の下面と前記支持面との間に前記複数のスペーサの少な
くとも１つを配することが望ましい。

【００３５】そして、前記加圧手段によって前記一対の
基体の少なくとも一方を撓ませながら前記流動性物質を
展延させる方が効果的であり望ましい。

【００３６】更に、前記基体の前記一端縁側及び他端縁
側において、前記固着材料の塗布パターンに気体排出口
を形成することが望ましい。

【００３７】また、前記一端縁側の前記封入領域に前記
流動性物質を所定パターンで塗布することが望ましい。

【００３８】そして、前記加圧手段を相対的に移動させ
て前記加圧を行う時に、前記固着材料を介して前記一対
の基体を固着させると共に、前記気体排出口からの気体
の排出とその閉塞（具体的には、加圧による前記固着材
料の変形による気体排出口の閉塞）とを行うことが、気
泡の排出だけでなく、封止が容易となる点が望ましい。

【００３９】また、上記の製造方法においては、前記一
対の基体の少なくとも一方にその外周部に沿って前記固
着材料を配し、更に、固着材料の内側の基体の一端縁側
に予め液晶材料等の流動性物質を塗布しておき、この固
着材料も含めて前記一対の基体を前記したスペーサに代
えて互いに非接触状態に吸着保持するための吸着手段を
前記基体の所定箇所に配し、前記吸着手段によって保持
しつつ前記一対の基体を加圧手段による加圧下で接触さ
せながら、前記封入領域に前記流動性物質を展延させて
もよい。

【００４０】この場合、前記一対の基体の少なくとも一
方を前記吸着手段により互いに非接触状態に保持し、前
記硬化性接着剤及び前記流動性物質を間に挟んで前記一
対の基体を対向配置させる工程と、これらの対向配置さ
れた一対の基体を一端縁側で互いに接触させる工程と、
前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の基体
上を相対的に移動する加圧手段によって前記一端縁から
前記他端縁の方向へ加圧し、前記一対の基体を完全に接
触させる工程と、前記基体を前記吸着手段から解放させ
る工程とを有することが望ましい。

【００４１】そして、前記一対の基体のうち上側の基体
の上面に前記吸着手段を配し、更にこの吸着手段の上面
に前記加圧手段を配して、この一対の基体を加圧するこ
とが望ましい。

【００４２】なお、本発明の方法及びその装置が適用さ
れる対象は、液晶に限らず、遅延時の気泡の混入防止が
要求されるものであれば、他の流動性物質であってもよ
い。

【００４３】以下、本発明を好ましい実施の形態により
具体的に説明する。

【００４４】＜第１の実施の形態＞まず、図１〜図１８
を参照しながら、アクティブマトリクス方式でＴＦＴ
（薄膜トランジスタ）駆動の１０インチ液晶パネルに本
発明の第１の方法及び装置を適用した第１の実施の形態
を示す。

【００４５】図１（ａ）は、下基体１が移動ステージ３
４上に載置された後、所定パターンのシール剤７及び所
定パターン（８ａ、８ｂ、８ｃ）の液晶８が一端縁１ａ
側に塗布され、他端縁１ｂをコ字状のストッパー６によ
り位置規制された状態の平面図、図１（ｂ）は下基体１
上にほぼ同一サイズの上基体２を対向配置した状態の平
面図である。液晶８は公知のネマチック液晶、強誘電性
液晶であってよい（後述する他の実施の形態も同様）。

【００４６】そして、アクティブマトリクス方式の表示
素子を構成する上下一対の基体１及び／又は２には、画
素電極や配向膜、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）等がアク
ティブマトリクス方式に準じて予め形成されている（後
述する他の実施の形態も同様）が、これらは図示省略す
る。

【００４７】図示の如く、本実施の形態においては、下
基体１の一端縁１ａの両端部に他端縁１ｂの方向に沿っ
て一対のスペーサ３を配し、また下基体１の他端縁１ｂ
寄りの両側方にそれぞれ一対のスペーサ５及び一対のス
ペーサ４を他端縁１ｂの方向へ順次配置する。

【００４８】従って、図１（ｂ）の如く、移動ステージ
３４上において上基体２を下基体１に対向配置したとき
には、図２（図１（ｂ）のIIａ−IIａ線断面図）に示す
ように、上基体（図１（ｂ）では斜線で表示）２はスペ
ーサ３及び５によって支えられるため、下基体１に塗布
されているシール剤７とは非接触状態に保持される。そ
して、後述のように、一端縁１ａ側から他端縁１ｂ側に
かけて順次スペーサ３、５、４を取り外して保持状態を
解放し、加圧により、上基体２をその一端縁２ａ側から
他端縁２ｂ側にかけて順次、下基体１側に接触させるこ
とが特筆すべき特徴である。

【００４９】図２（ａ）に示すように、上下基体１、２
間の間隔を保持する各スペーサの厚みは、一端縁１ａ側
から順にスペーサ３のスペーサ部３ａの厚さ３ｔを２５
０μｍ、スペーサ５のスペーサ部５ａの厚さ５ｔを４５
０μｍ、スペーサ４のスペーサ部４ａの厚さ４ｔを１０
０〜１５０μｍとする。このように、スペーサ３よりも
スペーサ５は高く、スペーサ４は低く形成することによ
り、加圧前の上基体２は図２（ａ）の如く傾斜して非接
触状態に保持される。また、基体のサイズが変わっても
スペーサの厚さは変えず、液晶の塗布パターンを変える
方がよい。

【００５０】図２（ｂ）は、図２（ａ）におけるスペー
サ３近傍の拡大断面図であり、スペーサ３は、下基板１
と同じ厚さでステージ３４上に載置された台部３ｂと、
この上に一体に接合されたスペーサ部３ａとにより構成
するが、図２（ｃ）に示すように台部とスペーサ部とを
一体形成してもよい（これは、他のスペーサ４、５でも
同様）。なお、他のスペーサ４、５もスペーサ３と同様
に台部４ｂ、５ｂ及びスペーサ部４ａ、５ａを有してい
る。

【００５１】図３〜図８は、上記した上基体２の対向配
置から加圧終了までを過程順に示す断面図であり、図９
〜図１４はそれぞれの断面図に対応する平面図である。
そして、これらの各図においては、図２に示した移動ス
テージ３４及びストッパー６は図示省略してある。

【００５２】まず、図３は上記した図２（ａ）と同様
に、また、図９は図１（ｂ）と同様に、シール剤７及び
液晶８が塗布された下基体１上に上基体２を対向配置し
たとき、下基体１の一端縁１ａ及び他端縁１ｂ寄りの両
側に配したスペーサ３及び５によって、上基体２が下基
体１に塗布されているシール剤７に非接触状態で幾分前
方に傾斜して保持される状態を示している。但し、この
とき、上基体２の自重で液晶８で展延し始める。

【００５３】次に、図４及び図１０に示すように、一端
縁１ａ側のスペーサ３を取り外す。スペーサ３の取外し
は、上記した台部３ｂをロボットアーム（図示せず）や
マニュアルで把持して側方へ抜き取ることによって行う
（これは他のスペーサ５や４でも同様）。これにより、
上基体２の一端縁２ａ側が自重により更に下基体１側へ
下降し、シール剤７に接触し始め、下基体１に塗布され
ている液晶８を更に押圧する。この結果、液晶８の展延
方向の先行端９ａは後方及び側方へ押し拡げられ、シー
ル剤７の内側に液晶８が保持されながら展延すると共
に、この領域に存在する空気をシール剤７の開口１１ａ
から前方へ排出させる。この時点で、シール剤７は幾分
押し潰される。

【００５４】次に、図５及び図１１に示すように、加圧
ローラー１０を上基体２上面に一端縁１ａ側で当接して
後方へ転動させることにより、最も上下基体１、２間の
間隔保持寸法の大きいスペーサ５に至るまでの間に、上
基体２が加圧ローラー１０の圧力で上方に反りながら、
加圧ローラー１０の通過領域の液晶８中の空気を前方及
び側方へ効率良く排出すると共に、液晶先行端９ｂは更
に拡がり、液晶８の展延を制御しながらシール剤の外へ
の漏出を防ぎつつ、シール剤７の内側の液晶領域に満遍
なく展延させる。これと同時に、シール剤７を押し潰
し、上記の開口１１ａを自動的に閉塞する。

【００５５】次に、図６及び図１２に示すように、中間
のスペーサ５を取り外す。そして更に、加圧ローラー１
０を転動して加圧を進めることにより、上基体２を他端
縁２ｂ側でスペーサ４に支持させて若干反らせながら、
液晶８を先行端９ｃの如くに更に拡げて展延する。この
際、スペーサ４によって、この領域及び近傍では下基体
１のシール剤７に対して上基体２は接触させていない。

【００５６】次に、図７及び図１３に示すように、最後
のスペーサ４を取外し、更に加圧ローラー１０を転動し
て加圧することにより、シール剤７の開口１１ｂから空
気を排出しつつ液晶８の先行端９ｄをシール剤７の後端
近傍に到達させる。

【００５７】そして、図８及び図１４に示すように、上
基体２の他端縁２ｂまでの加圧ローラー１０による加圧
を終了し、液晶８をシール剤７の内側の液晶領域全体に
完全に展延させ、かつシール剤７の開口１１ｂ、１１ｃ
を押し潰して自動的に閉塞する。

【００５８】なお、上記した加圧過程において、図９に
示したように、下基体１の周縁部に塗布されたシール剤
７は、図１０に示すように上基体２を対向配置する際に
一端縁１ａ側が押し潰され始め、図１１に示すように、
加圧ローラー１０による加圧よって更に所定の厚さに
（製品化時の両基体の所定間隔、即ちセルギャップを形
成するように）押し潰され、一端縁１ａ側の開口１１ａ
が同時に閉塞される。そして図１４に示すように、加圧
が進み、加圧が終了した時点では、シール剤７はすべて
上下基体１、２間の所定のセルギャップに相当する厚さ
に押し潰され、他端縁１ｂ側の開口１１ｂ、１１ｃも同
時に閉塞される。

【００５９】上述した如く、本実施の形態は一端縁１ａ
側のスペーサ３を取り外して上基体２をその一端縁２ａ
側から下基体１（実際にはシール剤７）に接触させ、加
圧の進展に伴いスペーサ５及びスペーサ４の順に取り外
し、両基体を前方から後方への接触させていく。従っ
て、液晶８は展延制御されながら液晶領域全体に十分に
展延し、液晶８がシール剤７を乗り越えてシール剤外へ
はみ出ることがない。また、スペーサ５及び４によっ
て、加圧ローラー１０で押圧されている上基体２が上方
向へ反りながら下基体１に逐次接触するので、一定の加
圧速度で基体間への空気の巻き込みがなく、効率良く空
気を基体間から排出し、気泡を残留させることがない。
この加圧は、上記したローラー以外にも例えばエアージ
ェット方式で行うこともできる。

【００６０】図１５は、上記した本実施形態の液晶パネ
ルを製造工程順に示す概略図であり、（ａ）はシール剤
及び液晶の塗布とスペーサの配置工程、（ｂ）は基体の
重ね合わせ工程、（ｃ）は加圧工程、（ｄ）はシール剤
の硬化工程を示すものである。

【００６１】まず、図１５（ａ）及びこの拡大平面図で
ある図１６に示すように、下基体１の配向膜が形成され
た対向面においてその外周部に沿った接着領域に、紫外
線硬化型接着剤からなるシール剤８をディスペンサーを
用いて、図示の如く、一方の端縁１ａ側に開口部１１ａ
及び他端縁１ｂ側に開口部１１ｂ、１１ｃを設けて接着
領域の内側の表示領域を囲むように塗布（詳細は後述す
る）する。この際、下基体１には上記した各スペーサ
３、５、４及びストッパー６をそれぞれ配設しておく。
なお、シール剤７は、上基体２の配向膜が形成された対
向面の側に塗布しても良く、また、両方の基体の対向面
に塗布しても良い（後述する他の実施の形態も同様）。

【００６２】この場合、下基体１を加熱しながら、下基
体１側の上記したシール剤７塗布部の内側に、基体間ギ
ャップを制御するためのスペーサ粒子を予め混合した液
晶を塗布する。また、スペーサ粒子は予め一方の基体に
散布しておいてもよい。

【００６３】次に、図１５（ｂ）に示すように、上記の
如くシール剤７及び液晶８を塗布した下基体１の塗布面
に対向させて、上基体２を配置する。この図において、
仮想線及び実線で示す上基体２は対向配置の初期状態を
示すものであり、まず上基体２は、下基体１の他端縁１
ｂ側を仮想線で示すように位置合わせした後、実線で示
すように一端縁１ａにおいて両基体１、２を接触させ
て、他端縁１ｂ側へ倒す。

【００６４】次に、図１５（ｃ）に示すように、加圧ロ
ーラー１０を下降後に、上述したスペーサ３、５、４の
選択的技法を行いながら両基体１、２を矢印方向へ移動
させつつ、上基体２の一端縁２ａから他端縁２ｂに亘っ
て加圧ローラー１０によって下向き方向に上下基体１、
２を逐次加圧していく。従って、下基体１の上面に塗布
した液晶８がシール剤７で囲まれた表示領域の全体に展
延されると共に、シール剤７に形成した空気排出のため
の開口１１ａ、１１ｂ、１１ｃも空気の排出後に同時に
封止される。この場合の加圧は、両基体１、２を固定
し、加圧ローラー１０を移動させて行ってもよい。

【００６５】次に、図１５（ｄ）に示すように、加圧終
了後の基体１、２は、液晶８が充填された表示領域を例
えば１ｍｍ厚のステンレス板１３で遮蔽してから、液晶
表示素子全体に例えば１００ｍＪ／ｃｍ² の強度で紫外
線を放射する紫外線ランプ部１４で例えば５０秒照射
し、シール剤７を硬化させる。これによりシール剤７が
完全硬化して封止する。

【００６６】図１６は、本実施の形態におけるシール剤
７及び液晶８の塗布パターン（後述する他の実施形態も
同様）を示し、下基体１に塗布形成された液晶８が、下
基体１の一端縁１ａ側からの加圧に伴って表示領域全体
に展延する状況を説明するものである。

【００６７】まず、液晶８の塗布パターン群８ａ、８
ｂ、８ｃは、一端縁側寄り（図１６に示す基体長Ｄの１
／２以内）に位置させる。

【００６８】また、図示の如く、中心線Ｃ₁ 上の液晶パ
ターン８ａ−８ｂ−８ｃ間の各間隔ｌは各パターンを互
いに近接させ、その他の部分よりも狭くする。これによ
り、下基体１に上基体２を対向配置するだけで、上記の
近接部分での液晶８の一部分がまず太線矢印１５のよう
に前後に展延し、同時にその他の部分の液晶８も細線矢
印１５ａのように展延し、パターン８ａの折曲された両
端部８ａ’がシール剤隅部Ａにまで展延する。この隅部
Ａへは、上記した加圧によって更に液晶８が完全に充填
される。このときの液晶の先行面９ａを一点鎖線で示
す。

【００６９】そして、これに伴い、この隅部Ａの領域を
含め、両基体間に存在していた空気が開口部１１ａから
矢印Ｂ₁ 方向に十分に排出される。加圧の進行に伴い、
液晶８の展延する先端は、上記した図１１〜図１３と同
様に先行端９ｂ、９ｃ、９ｄの如く基体他端縁方向へ拡
がる。そしてこれと同時に、表示領域内の空気を他端の
開口部１１ｂ、１１ｃから矢印Ｂ₂ のように排出させな
がら、最終的には表示領域内の全体にくまなく展延する
と共に、各開口１１ａ、１１ｂ、１１ｃは加圧によって
閉塞される。

【００７０】このように、空気を排出させ易くして最後
に開口部を閉塞するために、図１７に示すように、一端
縁１ａ側のシール剤７ａ及び他端縁１ｂ側のシール剤７
ｂはそれぞれの開口部１１ａ、１１ｂにかけて突出する
傾斜（傾斜角α＝約５．７°）に形成する。更に開口部
１１ａ、１１ｂはハ字状に突出して縮径し、この拡がり
角度θ₁ 、θ₂ をそれぞれ３０°〜６０°、例えば４５
°とし、開口部先端の間隔Ｌ₂ を５ｍｍ前後、開口部始
点部の間隔Ｌ₁ を２０ｍｍ前後に形成する。

【００７１】また、他端縁側両角の開口部１１ｃは図示
の如く対称仕様にし、基本的には図１７に準じて拡がり
角度を６０°〜９０°（θ₁ 、θ₂ ）の組み合わせとし
て、開口部先端部の間隔を５ｍｍとする。そして加圧ロ
ーラー１０が通過後は、それぞれの開口部１１ａ、１１
ｂ、１１ｃが閉塞するようにシールパターンの拡がり角
度、開口部先端部の間隔を調節する。

【００７２】開口部の拡がり角度θ及び開口部側のシー
ル剤の傾斜角度αは上記に限らず、適宜であってもよ
く、開口部の形状は加圧時に封止が可能であれば、上記
に制約されることはない。また、線分（曲線でもよい）
７’の長さも任意であってよい。

【００７３】また、図１６に示すような液晶８の塗布に
関しては、上下基体１、２の大きさに伴う液晶封入領
域、上下基体１、２間のギャップに応じて、必要液晶量
を計算し、液晶８の展延後のシール剤７との接触を考慮
して液晶シール剤の接触速度（時間）、接触量（面積）
を最小限にする等、塗布パターン８ａ、８ｂ、８ｃの配
置や各線分の長さを決定する。即ち、図１６に示す如
く、一端縁１ａに沿って、両端部８ａ’が外方向（一端
縁１ａの側）に湾曲した曲線状のパターン８ａと両端部
８ｃ’が反対方向（他端縁１ｂの側）に湾曲した曲線状
のパターン８ｃと、これら両パターン間に直線状に延び
るパターン８ｂとを基本形状として形成することが好ま
しい。

【００７４】また、液晶の塗布パターンは種々変更して
よい。例えば加圧後、液晶領域に液晶が完全に充填され
ず液晶量が不足するようであれば、液晶の塗布量を増す
か、或いは適当な位置に塗布パターンを追加してもよ
く、小さいサイズの液晶パネル等の場合には、例えば、
図１６における中間のパターン８ｂを省略してもよい。

【００７５】上記した本実施の形態の液晶表示素子は、
図１８に概略的に示す製造装置により作製する。後述す
る他の実施の形態も同様である。

【００７６】まず、ＸＹロボット３１で駆動される搬送
ロボット３２により移動テーブル３４上に下基体１を載
置した後、ディスペンサーロボット３３により下基体１
上にシール剤７及び液晶８を所定パターンに塗布後、ス
ペーサ着脱ロボット１７、１８、１９によりそれぞれの
スペーサ３、５、４を配置後、この下基体１に対し、搬
送ロボット３２によって、予め下基体１と同一温度に加
熱しておいた対向する上基体２を配置する。上基体２の
自重によって液晶が一端縁側に図１６の如く展延された
後、保温ディスペンサー３５で上下両基体を所定温度に
保温し、移動テーブル３４を矢印（Ｙ方向）に移動させ
ながら、例えば直径７０ｍｍの加圧ローラー１０で４ｋ
ｇ／ｃｍ² 以下の圧力で加圧し、ローラー１０の下を通
過して所定位置に移動させる。

【００７７】この移動テーブル３４による移動の間に、
基体１と２は加圧ローラー１０によって所定圧力で加圧
され、塗布した液晶８が表示領域全体に充填されると共
にシール剤７の開口部も図１４の如く閉塞される。そし
て、上記した紫外線ランプ部１４を有するＵＶランプユ
ニット３９が矢印方向へ移動し、所定位置に到達した移
動テーブル３４上の基体の上方から紫外線を照射し、シ
ール剤を硬化させる。

【００７８】これにより、粘度の高い液晶の場合、通常
の注入法では液晶注入に多大な時間を要していたもの
を、本実施の形態によれば、上記した加圧、展延による
ために、例えば強誘電性液晶であっても極めて短時間で
均一に充填でき、従来のような高価な真空装置や封止装
置の必要もないので、製造コストを軽減することができ
る。

【００７９】＜第２の実施の形態＞上記した第１の実施
の形態は、本発明の技術的思想に基づいて種々に変形す
ることができる。例えば、以下の図１９〜図２５に示す
各図は、他の各種の実施の形態を示すものである（但
し、シール剤や液晶パターンは図示省略）。

【００８０】まず、図１９は、上基体２Ａよりも下基体
１Ａの方が、長さＬが長くて両端縁１ａ、１ｂで突出
し、幅Ｗが狭い場合を示している。従って、この場合の
スペーサ２０、２１、２２は、上述した第１の実施の形
態のようにスペーサを上下基体間に挟むのではなく、下
基体１Ａの厚さに所要の間隔ｔを加えて厚さのスペーサ
２０、２１、２２を下基体１Ａの側面の近傍にて上基体
２Ａとステージ３４との間に配置し、これによって下基
体１Ａに対し所定間隔を置いて上基体２Ａを支持する。
各スペーサは下基体１Ａの側面に接して配置してもよ
い。

【００８１】そして、スペーサ２０、２１、２２の構造
は、図２０（図１９のXX−XX線断面図）（ａ）に示すよ
うに、下基体１Ａと同じ厚さの台部２２ｂと、所要の間
隔ｔを形成する別部材２２ａとでスペーサ２０を一体に
接合したものであってよく、また図２０（ｂ）に示すよ
うに単一の部材でスペーサ２０を形成してもよい（以下
の他の実施の形態でも同様）。

【００８２】なお、スペーサを配置した上基体２Ａの領
域や、上基体２Ａから露出した下基体１Ａの領域はそれ
ぞれＩＴＯなどの電極の端子部として使用可能である
（以下の他の実施の形態でも同様）。

【００８３】また、図２１は、上基体２Ｂよりも下基体
１Ｂの方が、長さＬ及び幅Ｗ共にサイズが小さい場合を
示している。従って、この場合も、スペーサ２０、２
１、２２は図１９の場合と同様に配置すればよい。

【００８４】また、図２２は、上基体２Ｃよりも下基体
１Ｃの方が長さＬが長くて他端縁１ｂ側で突出し、幅Ｗ
は小さい場合を示している。従って、この場合も、スペ
ーサ２０、２１、２２は図１９の場合と同様に配置すれ
ばよい。

【００８５】また、図２３は、上基体２Ｄよりも下基体
１Ｄの方が、長さＬが長くて他端縁１ｂ側で突出し、幅
Ｗは小さい場合を示している。従って、この場合は、下
基体１Ｄに対して上基体２Ｄが突出している部分では図
１９の場合と同様のスペーサ２１、２２を使用するが、
上下基体１Ｄ、２Ｄの縁が一致している部分には、前述
した第１の実施の形態と同様に、一端縁１ａ側にはスペ
ーサ３及び側方にはスペーサ４、５を使用すればよい。

【００８６】また、図２４は、上下基体１Ｅ、２Ｅのサ
イズは同じであるが、上基体２Ｅの方が一端縁１ａ側で
突出して上下基体１Ｅ、２Ｅが長さ方向でずれている場
合を示している。従って、この場合は、一端縁１ａ側は
図１９と同様のスペーサ２０を使用し、両側方は前述し
た第１の実施の形態と同様のスペーサ４、５を使用すれ
ばよい。

【００８７】ます、図２５は、上基体２Ｆよりも下基体
１Ｆの方が長さが長く、他端縁１ｂ側で下基体１Ｆが突
出している場合を示している。従って、この場合は、全
て前述の第１の実施の形態と同様のスペーサ３、４、５
を使用すればよい。

【００８８】＜第３の実施の形態＞図２６を参照しなが
ら本発明の第３の実施の形態を示す。なお、本実施の形
態は、前述の第１の実施の形態と同様の液晶パネルに本
発明を適用したものであり、共通の部位については共通
の符号を用い、その説明を省略することがある。

【００８９】前述した第１の実施の形態が上下基体接触
前の間隔保持手段としてスペーサを用いるのに対し、本
実施の形態では吸着による間隔保持装置２４によって上
基体２を保持し、加圧手段としてカム方式を採用してい
ることが異なっている。

【００９０】即ち、間隔保持装置２４によれば、上基体
２とほぼ同寸法の吸着面２５ｃに多数の吸引孔２５ａ及
びこれに連通する連通孔２５ｂを有する本体２５は、こ
の保持手段が組み込まれる製造装置（図示省略）に軸２
８ａによって軸着したレバー２８に支持されている。そ
して、連通孔２５ｂは本体２５に突設した接続部２６へ
通じ、接続部２６から導管（図示省略）を介して連結す
る真空ポンプ（図示省略）の吸引により上基体２を吸着
面２５ｃに吸着する。

【００９１】本体２５の上部に形成したフランジ２７に
は従動輪２９が軸２９ａによって軸着され、この従動輪
２９がこの上方に設けたカム３０の駆動により下方へ押
さえられ、本体２５がレバー２８の軸２８ａを中心に上
下動するようにこの保持装置２４は構成されている。

【００９２】従って、図示の如く、本体２５は、上下基
体１、２を重ね合わせるときには、上基体２を吸着した
ままカム３０によって押さえられ、最終的には仮想線で
示す如く所定間隔（製品化時の上下基体間の間隔）に至
るまで押さえられる（加圧される）。

【００９３】この加圧時の吸着面２５ｃに吸着される上
基体２の上面は下基体１の上面に平行ではなく、加圧の
過程は、まず上基体２の一端縁２ａ側が下基体１の一端
縁１ａに接近し、下基体１に形成されている液晶８及び
シール剤（図示省略）に接触する。そして、加圧の進行
に伴い一端縁２ａ側から他端縁２ｂ側にかけて順次接触
する。

【００９４】従って、上基体２の一端縁２ａ側が接触し
始める初期状態には、前述の第１の実施の形態と同様
（図４及び図１０参照）に、下基体１の一端縁１ａ側の
シール剤内側の液晶領域に液晶８を行き渡らせながら、
そこに存在している空気を排出する。そして、加圧の進
行に伴って気泡を残留することなく、順次液晶領域全体
に液晶８を展延させることができる。そして、加圧終了
後は吸引ポンプを止め、連通部２５ｂを大気圧に戻せば
保持されている上基体２は吸着面２５ｃから自然に離れ
る。

【００９５】本体２５の吸着面２５ｃへの上基体２の吸
着を上述した搬送ステージ３４以外の場所で行った後、
下基体１が載置されている搬送ステージ３４上へ保持装
置２４を移動させ、上記した重ね合わせと加圧とを行
う。この保持装置２４は前記した図１８に示す製造装置
の中に組み込まれている。

【００９６】本実施の形態では、両基体の重ね合わせ時
に上基体を吸着保持し、カム手段で逐次下基体に接触さ
せているので、上述の第１の実施の形態の如きスペーサ
を用いる必要がなく、重ね合わせの作業性が向上する。

【００９７】また、本実施の形態は、各種の液晶パネル
のサイズに合わせて本体２５を用意しておくのが好まし
いが、例えば大型液晶パネル用の本体２５により、余分
の吸引孔２５ａを蓋又は遮蔽板等を用いて塞ぎ、小型の
液晶パネルの製造に適用することもできる。また、本実
施の形態は特に大型の液晶パネルの作製に効果がある。

【００９８】＜第４の実施の形態＞図２７を参照しなが
ら本発明の第４の実施の形態を示す。なお、本実施の形
態は、前述の第１の実施の形態と同様の液晶パネルに本
発明を適用したものであり、共通の部位については共通
の符号を用い、その説明を省略することがある。

【００９９】本実施の形態は、上下基体接触前の間隔保
持手段を上記した第３の実施の形態と同等の吸着による
間隔保持装置４１と、前述した第１の実施の形態と同等
のローラーによる加圧手段１０Ａとを併用していること
に特徴がある。

【０１００】即ち、上基体２とほぼ同じ大きさの吸着面
４２ｃに多数の吸引孔４２ａ及びこれに連通する連通孔
４２ｂを有する本体４２は、製造装置（図示省略）に軸
４４ａによって軸着したレバー４４に支持されている。
そして、連通孔４２ｂは本体４２に突設した接続部４３
へ通じ、この接続部４３から導管（図示省略）を介して
連結する真空ポンプ（図示省略）の吸引により上基体２
を吸着面４２ｃに吸着する。

【０１０１】そして、間隔保持装置４１においては、接
続部４３の反対側の本体４２の側縁にはフック４５を設
けてロッド４６で本体４２を吊るし、上下基体１、２の
重ね合わせ時に本体４２等の重みで液晶８やシール剤
（図示省略）を押圧し過ぎることがなく、また、加圧時
にローラー１０Ａの加圧力だけが作用するように調節す
る。

【０１０２】また、本体４２の上面４２ｄは平面に形成
し、図示の如く、ローラー１０Ａを上基体２の一端縁２
ａ側から他端縁２ｂの方向へ転動させて加圧するが、上
記した如く他端縁２ｂ側を吊るすことにより、ローラー
１０Ａによる加圧時には仮想線で示すように、本体４２
は若干上方向へ反るため、上述した第１の実施の形態と
同様に液晶８を良好に展延させることができる。

【０１０３】本実施の形態の場合も、上下基体を重ね合
わせるときには、上基体２を吸着したまま、本体４２が
他端縁２ｂ側を吊るされて重さを調節されながら、一端
縁２ａ側から他端縁２ｂ側にかけて順次液晶８やシール
剤に接触し、加圧により最終的には仮想線で示す如く所
定間隔（製品化時の上下基体間の間隔）に形成される。

【０１０４】従って、上記した第３の実施形態と同様
に、上下基体１、２が最終的な所定間隔に至るまでの過
程では、本体の吸着面４２ｃに吸着された上基体２の下
面は下基体１の上面に平行ではなく、一端縁２ａ側から
順次他端縁２ｂ側にかけて接触し、最後に平行状態とな
る。

【０１０５】そして、上基体２の一端縁２ａ側が接触し
始める初期には、上記した各実施の形態の場合と同様
に、下基体の一端縁１ａ側において、シール剤の内側の
液晶領域に液晶８を行き渡らせながら、その領域の空気
を排出し、加圧の進行に伴い気泡を残留させることな
く、液晶領域全体に液晶８を順次展延させる。

【０１０６】そして、加圧終了後は吸引ポンプを止め、
連通部４２ｂを大気圧に戻すことにより、本体４２に保
持されている上基体２は吸着面４２ｃから離れ、ロッド
４６によって保持装置４１を引き上げる。

【０１０７】本実施の形態では、スペーサを使用しない
ことにおいて、上述した第３の実施の形態と同様の効果
が得られ、また加圧時の両基体の接触の制御において上
述した第１の実施の形態と同様の効果が得られる。

【０１０８】また、本実施の形態も、液晶パネルのサイ
ズに応じて各種サイズの本体４２を具備するのが好まし
い。勿論、前記した第２の実施の形態と同様の装置によ
り、大型液晶パネルを用の本体４２を小型液晶パネルに
利用することが可能であると共に、第２の実施の形態と
同様に、前記した図１８に示す製造装置に組み込まれ、
同じような要領で取り扱われる。

【０１０９】なお、上記した第３及び第４の実施形態に
おいては、上記した構成以外に、例えば、上基体２の保
持方法として、それぞれの本体２５、４２に磁石を設
け、上基体２に予め磁性粉を塗布（粘着）しておくこと
によっても吸着させることができる。また、本体２５、
４２の下面に粘着テープ等を設置してもよく、その他適
宜の方法であってもよい。

【０１１０】

【実施例】以下、本発明を実施例について具体的に説明
する。

【０１１１】実施例１ 図１〜図１８に示した第１の実施の形態に従い、アクテ
ィブマトリクス方式でＴＦＴ駆動の１０インチ液晶表示
素子を作製した。

【０１１２】まず、第１の実施の形態に従い、アクティ
ブマトリクス方式の液晶表示素子を構成する上下一対の
基体１、２を用意した。

【０１１３】次に、図１（ａ）に示すように、下基体１
の外周部に沿ってディスペンサーを用いてシール剤７
（液晶接触可能なシール剤：スリーボンド社製のＵＶ硬
化型樹脂３０Ｙ−２９８Ｆ）を塗布した。この際、基体
１の一端縁１ａ側に開口部１１ａを、他端縁１ｂ側に開
口部１１ｂ、１１ｃを空気排出用として形成した。

【０１１４】次に、下基体１を加熱しながら基体間ギャ
ップを制御するためのスペーサ粒子を混合した液晶８を
ディスペンサーを用いてシール剤７塗布部の内側に所定
パターン（８ａ、８ｂ、８ｃ）に滴下塗布した。

【０１１５】次に、図１（ａ）に示すように、下基体１
のシール剤塗布部より外側の一端縁１ａ側に厚さ２５０
μｍのスペーサ３を配置し、下基体１の他端縁１ｂ寄り
の両側に、厚さ１３０μｍのスペーサ４及び厚さ４５０
μｍのスペーサ５をそれぞれ対向配置した。

【０１１６】次いで、予め加熱しておいた上基体２を、
図２（ａ）に示すように、上下基体１、２がそれぞれの
配向膜（ポリイミド、ラビング処理済み）形成面を向か
い合わせるようにして重ね合わせた。上から重ね合わせ
た上基体２の自重によって液晶は拡がり始め、更に一端
縁１ａ側のスペーサ３を取り外すことにより液晶８が近
接したシール剤７の内側の液晶領域に図４及び図１０に
示す如く行き渡った。

【０１１７】次に、図５及び図１１に示すように、液晶
８を滴下した一端縁２ａ側のシール部の外側から直径７
０ｍｍの加圧ローラー１０を４ｋｇ／ｃｍ² 以下の加圧
で押圧転動させた。

【０１１８】次に、図６、７、図１２、図１３に示すよ
うに、加圧ローラー１０の転動中に中間のスペーサ５及
び最後のスペーサ４を順次取り外した。これにより、図
示の如くシール剤７の内側の液晶領域全体に亘って液晶
８が一様に展延し、図８及び図１４に示すように加圧終
了時には、上下基体１、２間のギャップが設計通りに形
成された。

【０１１９】そして、シール剤７に設けた各開口部１１
ａ、１１ｂ、１１ｃは、図１４に示すように加圧ローラ
ー１０の通過時にシール剤７が潰れて閉塞されていた。

【０１２０】次に、図１５（ｄ）に示すように、液晶８
が充填された表示領域を１ｍｍ厚のステンレス製金属板
１３で遮蔽してから、液晶パネル全体に１００ｍＪ／ｃ
ｍ²の強度で紫外線を紫外線ランプ１４で５０秒照射
し、シール剤８を硬化させた。

【０１２１】これにより、極めて短時間でアクティブマ
トリクス液晶表示素子が得られた。そして、シール剤７
で囲まれた領域内には、表示領域も含めて微細気泡の残
留は全く見られず、シール部からの液晶８の漏れも全く
なかった。

【０１２２】本実施例によれば、スペーサ３、４、５に
よって基体間の間隔を保持された状態が、一端縁１ａ側
のスペーサ３を取り外すことにより上基体２の重みで一
端縁１ａに液晶８が展延する。そして、加圧ローラー１
０の相対的移動による加圧に伴い、スペーサ５、４の順
にスペーサを取り外すことにより、上基体２が反りなが
ら一端縁２ａ側から他端縁２ｂ側にかけて順次接触し、
空気を完全に排出させながら、しかも液晶８の拡がりを
制御しつつ、液晶領域全体に展延させることができる。
従って、液晶８がシール剤７の外へ漏れ出すことが防止
され、大型の液晶パネルでも短時間で作製することがで
きる。

【０１２３】実施例２ 図２６に示した第３の実施の形態に従って主要部の工程
を実施し、その他は実施例１と同様にして、アクティブ
マトリクス方式でＴＦＴ駆動の１０インチ液晶表示素子
を作製した。

【０１２４】まず、実施例１と同様に、アクティブマト
リクス方式の液晶表示素子を構成する上下一対の基体
１、２を用意した。

【０１２５】次に、実施例１と同様に、下基体１の外周
部に沿ってディスペンサーを用いてシール剤７（液晶接
触可能なシール剤：スリーボンド社製のＵＶ硬化型樹脂
３０Ｙ−２９８Ｆ）を塗布した。この際、基体１の一端
縁１ａ側に開口部１１ａを、他端縁１ｂ側に開口部１１
ｂ、１１ｃを空気排出用として形成した。

【０１２６】次に、実施例１と同様に下基体１を加熱し
ながら基体間ギャップを制御するためのスペーサ粒子を
混合した液晶８Ａをディスペンサーを用いてシール剤７
塗布部の内側に所定パターン（８ａ、８ｂ、８ｃ）に滴
下塗布した。

【０１２７】次に、予め加熱しておいた上基体２の非配
向膜面を保持装置２４の本体２５の吸着面２５ｃに当接
し、真空ポンプを作動させて上基体２を吸着面２５ｃに
吸着させた。

【０１２８】次いで、図２６に示すように、上下基体
１、２がそれぞれの配向膜（ポリイミド、ラビング処理
済み）形成面を向かい合わせるようにし、カム３０を駆
動させて重ね合わせた。カム３０の駆動に伴う押圧によ
って液晶は拡がり始め、液晶８Ａが近接したシール剤７
の内側の液晶領域に実施例１と同様に行き渡った。

【０１２９】そして、更にカム３０による加圧力が増す
に伴れ、液晶８Ａがシール剤内側の液晶領域全体に展延
し、上基体２が図２６に仮想線で示す位置に達してか
ら、真空ポンプを止め、連通孔２５ｂを大気圧に戻して
上基体２を吸着状態から解放した。その結果、基体１、
２間のギャップが設計通りに形成された。

【０１３０】そして、シール剤７に設けた各開口部１１
ａ、１１ｂ、１１ｃは、実施例１と同様に、カム３０に
よる加圧によってシール剤が潰れて閉塞されていた。

【０１３１】次に、実施例１同様に、図１５（ｄ）に示
す如く、液晶８Ａが充填された表示領域を１ｍｍ厚のス
テンレス製金属板１３で遮蔽してから、液晶パネル全体
に１００ｍＪ／ｃｍ² の強度で紫外線を紫外線ランプ１
４で５０秒照射し、シール剤７を硬化させた。

【０１３２】これにより、実施例１と同様に、極めて短
時点でアクティブマトリクス液晶表示素子が得られた。
そして、シール剤７で囲まれた領域内には、表示領域も
含めて微細気泡の残留は全く見られず、シール部からの
液晶８Ａの漏れも全くなかった。

【０１３３】本実施例によれば、基体間の間隔保持を真
空吸着手段を用いた保持装置２４によって行いカム３０
によって押圧するので、吸着面２５ｃに吸着された上基
体２は前記した実施例１と同様に、上基体２の一端縁２
ａ側から順次他端縁２ｂ側にかけて接触し、実施例１と
同等の効果を奏することができる。

【０１３４】実施例３ 図２７に示した第４の実施の形態に従って主要部の工程
を実施し、その他は実施例１と同様にして、アクティブ
マトリクス方式でＴＦＴ駆動の１０インチ液晶表示素子
を作製した。

【０１３５】まず、実施例１と同様に、アクティブマト
リクス方式の液晶表示素子を構成する上下一対の基体
１、２を用意した。

【０１３６】次に、実施例１と同様に、下基体１の外周
部に沿ってディスペンサーを用いてシール剤７（液晶接
触可能なシール剤：スリーボンド社製のＵＶ硬化型樹脂
３０Ｙ−２９８Ｆ）を塗布した。この際、基体１の一端
縁１ａ側に開口部１１ａを、他端縁１ｂ側に開口部１１
ｂ、１１ｃを空気排出用として形成した。

【０１３７】次に、実施例１と同様に下基体１を加熱し
ながら基体間ギャップを制御するためのスペーサ粒子を
混合した液晶８Ｂをディスペンサーを用いてシール剤７
塗布部の内側に所定パターン（８ａ、８ｂ、８ｃ）に滴
下塗布した。

【０１３８】次に、予め加熱しておいた上基体２の非配
向膜面を保持装置４１の本体４２の吸着面４２ｃに当接
し、真空ポンプを作動させて上基体２を吸着面４２ｃに
吸着させた。

【０１３９】次いで、図２７に示すように、上下基体
１、２がそれぞれの配向膜（ポリイミド、ラビング処理
済み）形成面を向かい合わせるようにし、ロッド４６で
調節しながら重ね合わせた。上から重ね合わせた基体２
を含む調節された加重によって液晶は拡がり始め、液晶
８Ｂが近接したシール剤７の内側の液晶領域に実施例１
と同様に行き渡った。

【０１４０】次に、図２７に示すように、加圧ローラー
１０Ａを上基体２の一端縁２Ａ側の本体４２上に当接さ
せ、ロッド４６を緩めながら加圧ローラー１０Ａを上基
体２の他端縁２ｂ方向へ転動させて加圧した。この加圧
過程において本体４２は、図示の如く若干の反りを呈し
ながら、保持した上基体２を一端縁２ｂ側から順次他端
縁２ｂにかけて、下基体１上の液晶８Ｂやシール剤７に
接触させた。

【０１４１】そして、上基体２が図２７に仮想線で示す
位置に達してから、真空ポンプを止め、連通孔４２ｂを
大気圧に戻して上基体２を吸着状態から解放し、ロッド
４６で本体４２を持ち上げた。その結果、液晶８Ｂ液晶
領域全体に展延していると共に、基体１、２間のギャッ
プが設計通りに形成されていた。

【０１４２】そして、シール剤７に設けた各開口部１１
ａ、１１ｂ、１１ｃは、実施例１と同様に、加圧ローラ
ー１０Ａの通過時にシール剤７が潰れて閉塞されてい
た。

【０１４３】次に、実施例１同様に、図１５（ｄ）に示
す如く、液晶８Ｂが充填された表示領域を１ｍｍ厚のス
テンレス製金属板１３で遮蔽してから、液晶パネル全体
に１００ｍＪ／ｃｍ² の強度で紫外線を紫外線ランプ１
４で５０秒照射し、シール剤７を硬化させた。

【０１４４】これにより、実施例１と同様に、極めて短
時点でアクティブマトリクス液晶表示素子が得られた。
そして、シール剤７で囲まれた領域内には、表示領域も
含めて微細気泡の残留は全く見られず、シール部からの
液晶８Ｂの漏れも全くなかった。

【０１４５】本実施例によれば、実施例２と同等の吸着
手段を用いた保持装置４１で上基体２を保持し、ロッド
４６で接触圧を調節しながら、加圧ローラー１０Ａで加
圧するので、実施例２と同様に上基体２の一端縁２ａ側
から順次他端縁２ｂ側にかけて接触するため、実施例１
と同等の効果を奏することができる。

【０１４６】

【発明の作用効果】上述した如く、本発明は、所定間隔
で対向配置された一対の基体間の封入領域に液晶が封入
された液晶素子等の流動性物質封入構造の作製方法にお
いて、接着領域において前記一対の基体の少なくとも一
方に固着材料を配する工程と、前記固着材料の側でこの
固着材料も含めて前記一対の基体を非接触状態保持手段
により互いに非接触に保持して対向配置させる工程と、
前記一対の基体を前記非接触保持手段による保持から解
放して、一端縁側から他端縁側にかけて順次接触させ、
前記封入領域に前記流動性物質を展延させる工程とを有
しているので、非接触な保持状態を一端縁側から順次解
放された基体がこの一端縁側から他端縁側にかけて順次
接触し、流動性物質の拡がりを制御しながら、流動性物
質を展延させることができる。この結果、封入領域に空
気を残留させることなく流動性物質を展延させることが
でき、流動性物質がシール部の外へ漏出することも防止
でき、大型の液晶表示素子の場合でも高品質の液晶素子
等を短時間でかつ作業性よく作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態による液晶素子の製
造段階を示す概略図平面図であり、（ａ）はシール剤及
び液晶を塗布後スペーサを配置した状態、（ｂ）は基体
を対向配置した状態である。

【図２】同、断面図を示し、（ａ）は図１（ｂ）のIIａ
−IIａ線断面図、（ｂ）及び（ｃ）は図１（ｂ）のIIｂ
（ｃ）−IIｂ（ｃ）拡大断面図である。

【図３】同、製造工程を示す概略断面図である。

【図４】同、他の製造工程を示す概略断面図である。

【図５】同、他の製造工程を示す概略断面図である。

【図６】同、他の製造工程を示す概略断面図である。

【図７】同、他の製造工程を示す概略断面図である。

【図８】同、更に他の製造工程を示す概略断面図であ
る。

【図９】同、製造工程を示す概略平面図である。

【図１０】同、他の製造工程を示す概略平面図である。

【図１１】同、他の製造工程を示す概略平面図である。

【図１２】同、他の製造工程を示す概略平面図である。

【図１３】同、他の製造工程を示す概略平面図である。

【図１４】同、更に他の製造工程を示す概略平面図であ
る。

【図１５】同、製造工程を示す概略斜視図であり、
（ａ）はシール剤及び液晶の塗布とスペーサ配置工程、
（ｂ）は基体の対向配置工程、（ｃ）は加圧工程、
（ｄ）はシール剤の硬化工程である。

【図１６】同、液晶の段階的展延過程を示す平面図であ
る。

【図１７】同、シール剤開口部の詳細図である。

【図１８】同、液晶素子の製造装置を示す概略平面図で
ある。

【図１９】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２０】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２１】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２２】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２３】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２４】同、他の実施の形態を示す概略平面図であ
る。

【図２５】同、更に他の実施の形態を示す概略平面図で
ある。

【図２６】同、他の実施の形態による保持装置を示す概
略断面図である。

【図２７】同、更に他の実施の形態による保持装置を示
す概略断面図である。

【図２８】従来例による液晶素子の製造段階における液
晶の展延を示す概略平面図である。

【図２９】同、加圧時を示す概略断面図である。

【図３０】同、液晶充填後の状態を示す液晶素子の概略
平面図である。

【符号の説明】

１、１Ａ〜１Ｆ…下基体、１ａ、２ａ…一端縁、１ｂ、
２ｂ…他端縁、２、２Ａ〜２Ｆ…上基体、３、４、５、
２０、２１、２２…スペーサ、６…ストッパー、７…シ
ール剤、８、８Ａ、８Ｂ…液晶、８ａ、８ｂ、８ｃ…液
晶塗布パターン、９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ…先行端、１
０、１０Ａ…加圧ローラー、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ…
開口部（空気排出口）、１５、１５ａ…展延方向、２
４、４１…保持装置、２５ａ、４２ａ…吸引孔、２５
ｂ、４２ｂ…連通部、２５ｃ、４２ｃ…吸着面、３９…
ＵＶランプユニット、４２ｄ…上面、４７、４８…基
体、４９…シール剤、５０…液晶、５１…気泡、５２…
加圧ローラー、Ａ…隅部、Ｄ…基体長、ｔ…間隔

Claims (42)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定間隔で対向配置された一対の基体間
   の封入領域に流動性物質が封入された流動性物質封入構
   造の作製方法において、 接着領域において前記一対の基体の少なくとも一方に固
   着材料を配する工程と、 前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基
   体を非接触状態保持手段により互いに非接触状態に保持
   して、対向配置させる工程と、 前記一対の基体を前記非接触状態保持手段による保持か
   ら解放して、一端縁側から他端縁側にかけて順次接触さ
   せ、前記封入領域に前記流動性物質を展延させる工程と
   を有することを特徴とする、流動性物質封入構造の作製
   方法。
2. 【請求項２】 所定間隔で対向配置された一対の基体間
   の液晶領域に前記流動性物質としての液晶が封入された
   液晶素子を製造するのに適用され、前記液晶領域に前記
   液晶を展延させる、請求項１に記載した流動性物質封入
   構造の作製方法。
3. 【請求項３】 前記一対の基体の少なくとも一方にその
   外周部に沿って前記固着材料を配し、前記外周部におい
   て、前記固着材料も含めて前記一対の基体を非接触状態
   に保持するためのスペーサを複数箇所に配し、これらの
   スペーサを順次取外し、前記一対の基体を加圧手段によ
   る加圧下で接触させながら、前記封入領域に前記流動性
   物質を展延させる、請求項１に記載した流動性物質封入
   構造の作製方法。
4. 【請求項４】 前記一対の基体をその外周部に沿って設
   けられた接着領域において互いに固着させるために、少
   なくとも一方の基体の前記封入領域に前記固着材料とし
   ての硬化性接着剤を塗布する工程と、 前記一対の基体の少なくとも一方の基体の前記封入領域
   の一端縁側に所定量の流動性物質を配する工程と、 前記一端縁側に第１スペーサを配し、前記他端縁側の前
   記基体の側方に第２スペーサを配する工程と、 前記硬化性接着剤及び前記流動性物質を間に挟んで前記
   一対の基体を対向配置し、前記第１スペーサを選択的に
   取り外す工程と、 前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の基体
   上を相対的に移動する加圧手段によって前記一端縁から
   前記他端縁の方向へ加圧し、前記加圧手段が所定の相対
   的移動位置に位置したときに前記第２スペーサを選択的
   に取外し、更に加圧して前記一対の基体を完全に接触さ
   せる工程と、 前記硬化性接着剤を硬化させる工程とを有する、請求項
   ３に記載した流動性物質封入構造の作製方法。
5. 【請求項５】 前記第１スペーサ及び前記第２スペーサ
   を配すると共に、これらのスペーサの間において前記基
   体の側方に第３スペーサを配し、この第３スペーサも前
   記加圧手段の相対的移動時に選択的に取り外す、請求項
   ４に記載した流動性物質封入構造の作製方法。
6. 【請求項６】 前記第１スペーサの高さを前記第２スペ
   ーサの高さよりも高くし、前記第１スペーサの高さより
   も前記第３スペーサを高くする、請求項５に記載した流
   動性物質封入構造の作製方法。
7. 【請求項７】 前記第１スペーサによって主として前記
   流動性物質の拡がりを制御し、前記第２スペーサによっ
   て主として前記硬化性接着剤と他方の前記基体との接触
   を防止し、前記第３スペーサによって前記流動性物質の
   拡がりの制御と前記硬化性接着剤から外方への前記流動
   性物質の漏出の防止とを行う、請求項６に記載した流動
   性物質封入構造の作製方法。
8. 【請求項８】 前記外周部において、前記一対の基体の
   うち下側の基体の上面に前記複数のスペーサの少なくと
   も１つを配する、請求項３に記載した流動性物質封入構
   造の作製方法。
9. 【請求項９】 前記一対の基体のうち下側の基体を支持
   面上に支持し、前記外周部において、前記一対の基体の
   うち上側の基体の下面と前記支持面との間に前記複数の
   スペーサの少なくとも１つを配する、請求項３に記載し
   た流動性物質封入構造の作製方法。
10. 【請求項１０】 前記加圧手段によって前記一対の基体
    の少なくとも一方を撓ませながら前記流動性物質を展延
    させる、請求項３に記載した流動性物質封入構造の作製
    方法。
11. 【請求項１１】 前記基体の前記一端縁側及び他端縁側
    において、前記固着材料の塗布パターンに気体排出口を
    形成する、請求項１に記載した流動性物質封入構造の作
    製方法。
12. 【請求項１２】 前記一端縁側の前記封入領域に前記流
    動性物質を所定パターンで塗布する、請求項１に記載し
    た流動性物質封入構造の作製方法。
13. 【請求項１３】 前記加圧手段を相対的に移動させて前
    記加圧を行う時に、前記固着材料を介して前記一対の基
    体を固着させると共に、前記気体排出口からの気体の排
    出とその閉塞とを行う、請求項１２に記載した流動性物
    質封入構造の作製方法。
14. 【請求項１４】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の封入領域に流動性物質が封入された流動性物質封入
    構造の作製方法において、 接着領域において前記一対の基体の少なくとも一方に固
    着材料を配する工程と、 前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基
    体を保持手段により互いに非接触状態に保持して、対向
    配置させる工程と、 前記一対の基体の少なくとも一方を前記保持手段により
    保持しつつ一端縁側から他端縁側にかけて順次接触さ
    せ、前記封入領域に前記流動性物質を展延させる工程と
    を有することを特徴とする、流動性物質封入構造の作製
    方法
15. 【請求項１５】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の液晶領域に前記流動性物質としての液晶が封入され
    た液晶素子を製造するのに適用され、前記液晶領域に前
    記液晶を展延させる、請求項１４に記載した、流動性物
    質封入構造の作製方法。
16. 【請求項１６】 前記一対の基体の少なくとも一方にそ
    の外周部に沿って前記固着材料を配し、この固着材料も
    含めて前記一対の基体を互いに非接触状態に吸着保持す
    るための吸着手段を前記基体の所定箇所に配し、前記吸
    着手段によって保持しつつ前記一対の基体を加圧手段に
    よる加圧下で接触させながら、前記封入領域に前記流動
    性物質を展延させる、請求項１４に記載した流動性物質
    封入構造の作製方法。
17. 【請求項１７】 前記一対の基体をその外周部に沿って
    設けられた接着領域において互いに固着させるために、
    少なくとも一方の基体の前記接着領域に前記固着材料と
    しての硬化性接着剤を塗布する工程と、 前記一対の基体の少なくとも一方の基体の前記封入領域
    の一端縁側に所定量の流動性物質を配する工程と、 前記一対の基体の少なくとも一方を前記吸着手段により
    互いに非接触状態に保持し、前記硬化性接着剤及び前記
    流動性物質を間に挟んで前記一対の基体を対向配置させ
    る工程と、 これらの対向配置された一対の基体を一端縁側で互いに
    接触させる工程と、 前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の基体
    上を相対的に移動する加圧手段によって前記一端縁から
    前記他端縁の方向へ加圧し、前記一対の基体を完全に接
    触させる工程と、 前記基体を前記吸着手段から解放させる工程と、 前記硬化性接着剤を硬化させる工程とを有する、請求項
    １６に記載した流動性物質封入構造の作製方法。
18. 【請求項１８】 前記一対の基体のうち上側の基体の上
    面に前記吸着手段を配し、更にこの吸着手段の上面に前
    記加圧手段を配する、請求項１６に記載した流動性物質
    封入構造の作製方法。
19. 【請求項１９】 前記基体の前記一端縁側及び他端縁側
    において、前記固着材料の塗布パターンに気体排出口を
    形成する、請求項１４に記載した流動性物質封入構造の
    作製方法。
20. 【請求項２０】 前記一端縁側の前記封入領域に前記流
    動性物質を所定パターンで塗布する、請求項１４に記載
    した流動性物質封入構造の作製方法。
21. 【請求項２１】 前記加圧手段を相対的に移動させて前
    記加圧を行う時に、前記固着材料を介して前記一対の基
    体を固着させると共に、前記気体排出口からの気体の排
    出とその閉塞とを行う、請求項２０に記載した流動性物
    質封入構造の作製方法。
22. 【請求項２２】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の封入領域に流動性物質が封入された流動性物質封入
    構造の作製装置において、 接着領域において前記一対の基体の少なくとも一方に固
    着材料を配する固着材料配置手段と、 前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基
    体を互いに非接触状態に保持して、対向配置させる非接
    触状態保持手段と、 前記一対の基体に対する前記非接触状態保持手段の着脱
    手段と、 この着脱手段により前記一対の基体を前記非接触状態保
    持手段による保持から解放した後に、前記一対の基体を
    一端縁側から他端縁側にかけて順次接触させ、前記封入
    領域に前記流動性物質を展延させる加圧手段とを有する
    ことを特徴とする、流動性物質封入構造の作製装置。
23. 【請求項２３】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の液晶領域に前記流動性物質としての液晶が封入され
    た液晶素子を製造するのに適用され、前記液晶領域に前
    記液晶を展延させる加圧手段を有する、請求項２２に記
    載した流動性物質封入構造の作製装置。
24. 【請求項２４】 前記一対の基体の少なくとも一方にそ
    の外周部に沿って配された前記固着材料も含めて前記一
    対の基体を非接触状態に保持するために、前記基体の外
    周部の複数箇所にスペーサが配され、これらのスペーサ
    が前記着脱手段により順次取外されて、前記一対の基体
    を前記加圧手段による加圧下で接触させながら、前記封
    入領域に前記流動性物質が展延されるように構成した、
    請求項２２に記載した流動性物質封入構造の作製装置。
25. 【請求項２５】 前記一対の基体をその外周部に沿って
    設けられた接着領域において互いに固着させるために、
    少なくとも一方の基体の前記接着領域に前記固着材料と
    しての硬化性接着剤を塗布する塗布手段と、 前記一対の基体の少なくとも一方の基体の前記封入領域
    の一端縁側に所定量の流動性物質を配する流動性物質供
    給手段と、 前記一端縁側に配された第１スペーサと、前記他端縁側
    において前記基体の側方に配された第２スペーサと、 前記硬化性接着剤及び前記流動性物質を間に挟んで前記
    一対の基体を対向配置した状態で前記第１スペーサを選
    択的に取り外すための第１スペーサ取外し手段と、 前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の基体
    上を相対的に移動する前記加圧手段によって前記一端縁
    から前記他端縁の方向へ加圧し、前記加圧手段が所定の
    相対的移動位置に位置したときに前記第２スペーサを選
    択的に取外し、更に加圧して前記一対の基体を完全に接
    触させるための第２スペーサ取外し手段と、 前記硬化性接着剤を硬化させる硬化手段とを有する、請
    求項２４に記載した流動性物質封入構造の作製装置。
26. 【請求項２６】 前記第１スペーサ及び前記第２スペー
    サの間において前記基体の側方に配された第３スペーサ
    を有し、この第３スペーサも前記加圧手段の相対的移動
    時に選択的に取り外される、請求項２５に記載した流動
    性物質封入構造の作製装置。
27. 【請求項２７】 前記第１スペーサの高さが前記第２ス
    ペーサの高さよりも高く、前記第１スペーサの高さより
    も前記第３スペーサが高い、請求項２６に記載した流動
    性物質封入構造の作製装置。
28. 【請求項２８】 前記第１スペーサによって主として前
    記流動性物質の拡がりが制御され、前記第２スペーサに
    よって主として前記硬化性接着剤と他方の前記基体との
    接触が防止され、前記第３スペーサによって前記流動性
    物質の拡がりの制御と前記硬化性接着剤から外方への前
    記流動性物質の漏出の防止とが行われる、請求項２７に
    記載した流動性物質封入構造の作製装置。
29. 【請求項２９】 前記外周部において、前記一対の基体
    のうち下側の基体の上面に前記複数のスペーサが少なく
    とも１つを配される、請求項２４に記載した流動性物質
    封入構造の作製装置。
30. 【請求項３０】 前記一対の基体のうち下側の基体が支
    持面上に支持され、前記外周部において、前記一対の基
    体のうち上側の基体の下面と前記支持面との間に前記複
    数のスペーサの少なくとも１つが配される、請求項２４
    に記載した流動性物質封入構造の作製装置。
31. 【請求項３１】 前記加圧手段によって前記一対の基体
    の少なくとも一方が撓みながら前記流動性物質が展延さ
    れる、請求項２４に記載した流動性物質封入構造の作製
    装置。
32. 【請求項３２】 前記基体の前記一端縁側及び他端縁側
    において、前記固着材料の塗布パターンに気体排出口が
    形成される、請求項２２に記載した流動性物質封入構造
    の作製装置。
33. 【請求項３３】 前記一端縁側の前記封入領域に前記流
    動性物質が所定パターンで塗布される、請求項２２に記
    載した流動性物質封入構造の作製装置。
34. 【請求項３４】 前記加圧手段を相対的に移動させて前
    記加圧を行う時に、前記固着材料を介して前記一対の基
    体が固着されると共に、前記気体排出口からの気体の排
    出とその閉塞とが行われる、請求項３３に記載した流動
    性物質封入構造の作製装置。
35. 【請求項３５】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の封入領域に流動性物質が封入された流動性物質封入
    構造の作製装置において、 接着領域において前記一対の基体の少なくとも一方に固
    着材料を配する固着材料配置手段と、 前記固着材料の側でこの固着材料も含めて前記一対の基
    体を互いに非接触状態に保持して対向配置させる保持手
    段と、 前記一対の基体の少なくとも一方を前記保持手段により
    保持しつつ一端縁側から他端縁側にかけて順次接触さ
    せ、前記封入領域に前記流動性物質を展延させる加圧手
    段とを有することを特徴とする、流動性物質封入構造の
    作製装置。
36. 【請求項３６】 所定間隔で対向配置された一対の基体
    間の液晶領域に前記流動性物質としての液晶が封入され
    た液晶素子を製造するのに適用され、前記液晶領域に前
    記液晶を展延させる加圧手段を有する、請求項３５に記
    載した流動性物質封入構造の作製装置。
37. 【請求項３７】 前記一対の基体の少なくとも一方にそ
    の外周部に沿って配された前記前記固着材料も含めて前
    記一対の基体を互いに非接触状態に吸着保持するための
    吸着手段が前記基体の所定箇所に配され、前記吸着手段
    によって保持しつつ前記一対の基体を加圧手段による加
    圧下で接触させながら、前記封入領域に前記流動性物質
    を展延させるように構成した、請求項３５に記載した流
    動性物質封入構造の作製装置。
38. 【請求項３８】 前記一対の基体をその外周部に沿って
    設けられた接着領域において互いに固着させるために、
    少なくとも一方の基体の前記接着領域に前記固着材料と
    しての硬化性接着剤を塗布する塗布手段と、 前記一対の基体の少なくとも一方の基体の前記封入領域
    の一端縁側に所定量の流動性物質を配する流動性物質供
    給手段と、 前記一対の基体の少なくとも一方を前記吸着手段により
    互いに非接触状態に保持し、前記硬化性接着剤及び前記
    流動性物質を間に挟んで前記一対の基体を対向配置させ
    た状態から、前記一対の基体を一端縁側で互いに接触さ
    せるために、前記吸着手段を相対的に移動させる移動手
    段と、 前記対向配置された一対の基体の少なくとも一方の基体
    上を相対的に移動する前記加圧手段によって前記一端縁
    から前記他端縁の方向へ加圧し、前記一対の基体を完全
    に接触させた後、前記基体を前記吸着手段から解放する
    解放手段と、 前記硬化性接着剤を硬化させる硬化手段とを有する、請
    求項３７に記載した流動性物質封入構造の作製装置。
39. 【請求項３９】 前記一対の基体のうち上側の基体の上
    面に前記吸着手段が配され、更にこの吸着手段の上面に
    前記加圧手段が配される、請求項３７に記載した流動性
    物質封入構造の作製装置。
40. 【請求項４０】 前記基体の前記一端縁側及び他端縁側
    において、前記固着材料の塗布パターンに気体排出口が
    形成される、請求項３５に記載した流動性物質封入構造
    の作製装置。
41. 【請求項４１】 前記一端縁側の前記封入領域に前記流
    動性物質が所定パターンで塗布される、請求項３５に記
    載した流動性物質封入構造の作製装置。
42. 【請求項４２】 前記加圧手段を相対的に移動させて前
    記加圧を行う時に、前記固着材料を介して前記一対の基
    体が固着されると共に、前記気体排出口からの気体の排
    出とその閉塞とが行われる、請求項４１に記載した流動
    性物質封入構造の作製装置。