JPH11250687A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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-
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- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract
切り替える場合、回路規模を増大させることなく高速で
切り替える。 【解決手段】 常時は導通状態のトランジスタが複数個
直列に接続されたR/N切替設定回路140を設け、ア
ドレスを入力し冗長セルの使用・未使用を判定する冗長
判定回路120から、冗長セルの使用を示すHレベルの
YPR及びこのときの不良セルの列位置が出力される
と、その列位置は冗長位置デコーダ130を介し切替設
定回路140に設定される。切替設定回路140はその
列位置に基づき各切替信号DSWを生成しR/N切替回
路150へ出力する。切替回路150は入力した各切替
信号に基づき、入出力部160の各I/Oと、アドレス
により選択されているメモリブロックの各セルとを切替
接続する。
Description
有する半導体記憶装置に関し、特に列冗長メモリセルを
選択する列冗長選択回路を有する半導体記憶装置に関す
る。
は年々記憶容量が増大しつつあり、1つのメモリ内の不
良メモリセルを皆無にすることは困難になってきた。こ
のため、冗長メモリセルを設け、不良メモリセルを救済
し、製品の歩留まり向上を図っている。これまでは、行
方向に冗長セルを配置して、ワード線単位で冗長セルと
置き替えることが主流であった。
数が4〜16ビットであったものが、近年は、32〜6
4と増加する傾向にあり、またメモリを内蔵したゲート
アレイやシステムオンチップでは、そのビット数が25
6本に及ぶものもある。このように入出力のビット数が
増加してくると、列方向の不良発生率も大きくなってき
た。列方向には、メモリセルだけではなく、列選択回
路、センスアンプ、データアンプなど列特有の回路があ
り、今までの行方向の冗長回路だけでは対応できなかっ
た。
開平8−335399号公報に開示されたメモリ回路の
要部構成を示す図である。このメモリ回路は、メモリセ
ルアレイM11〜M35にワード線WL1〜WL3と、
ビット線BL1〜BL5が接続されている。各ビット線
BL1〜BL5は列選択回路(セレクタ)SEL1〜S
EL4を介して複数の外部ビット線OBL1〜OBL4
に接続される。列選択回路(セレクタ)SEL1〜SE
L4は、不良セルが存在するビット線を避けるように外
部ビット線OBL1〜OBL4との接続を制御し、セル
の不良を救済するようにしている。このセレクタの切替
方向は制御メモリセルC11〜C14により切替情報を
記憶させることで行なわれる。このため、ヒューズを切
断するための高価なレーザ装置は不要になるが、1本の
データ線を通して制御メモリセルC11〜C14に1ビ
ットずつ切替情報を記憶させなければならないので、初
期設定に時間がかかるという問題がある。
代わりにシフトレジスタを用い、切替情報をクロックに
同期して設定する例もある。しかし、入出力のビット数
が増加するのに比例して、設定時間も増加するという問
題がある。
8に示す第2の従来装置が特開平7−122096号公
報に開示されている。図18は、冗長セル列を有する半
導体メモリの要部構成を示す図である。同図において、
この半導体メモリは多数の列のメモリセル列NS0〜N
S5・・・を有しており、各列は対応する入力/出力ノ
ードI/O0〜I/O4・・・を有している。1組の入
力/出力ラインI/O0〜I/O4・・・が対応する組
のスイッチSW0〜SW4・・・へ接続されている。ス
イッチは、そのスイッチへ供給される制御信号に応答し
て選択された唯一の入力/出力ノードへ各入力/出力ラ
インを接続させる。
中左側にある全てのスイッチがそれらの各々の入力/出
力接続部の左側にある列に接続されるように位置決めを
行い、かつ欠陥列の右側にある全てのスイッチを入力/
出力接続部の右側にある列に接続されるように位置決め
を行っている。このスイッチの切替方向を設定するた
め、入力/出力ラインI/Oの数+1個のヒューズを直
列の接続し、その一端を電源に他端をグランドに接続し
ている。また、ヒューズとヒューズの接続点をスイッチ
の制御信号として各スイッチに接続している。製品検査
時にヒューズを切断することで、切断ヒューズより電源
側の接続点を“1”に、グランド側を“0”にして、ス
イッチの切替方向を固定的に設定している。このため、
欠陥列を冗長セル列に置き替えるための制御信号の伝搬
遅延を増加することなく切替を行っている。
来装置は、制御メモリセル群に切替情報を与えてスイッ
チの切替方向を決定するものである。このため、外部ビ
ット線の数が増すにつれ、切替情報の設定に時間が増加
するという問題がある。
をヒューズで固定的に設定し、冗長セル列をスイッチで
固定的に切り替えるものである。このため、入出力のビ
ット数が増すにつれ、ヒューズを多数配置しなければな
らない。ヒューズはレーザ装置などで物理的に切断する
ため、トランジスタのように小型化ができず、チップ面
積が大きくなる。また、メモリが大規模化したとき、1
つのビット線につながるメモリセルの数が多くなり、不
良セル列の発生確率が増す。第2の従来装置には、複数
の不良列が存在する場合の対応策はなんら開示されてい
ない。したがって本発明は、セル列中に不良セルが存在
し、冗長セル列に切り替える場合、回路規模を増大させ
ることなく、高速で動的に切替を行うことを目的とす
る。
るために本発明は、複数のメモリセルからなる複数のノ
ーマルセル列と、複数のメモリセルからなる冗長セル列
と、複数のノーマルセル列と冗長セル列とからなる複数
のメモリブロックと、メモリブロック毎に冗長セル列に
置き替えるか否か示す冗長選択情報と、置き替えるノー
マルセル列の不良位置情報を記憶する冗長判定手段と、
第1と第2の端子を有し、不良位置情報に基づき第1と
第2の端子間を第1のスイッチにより導通状態と非導通
状態に設定できる設定回路と、第1の端子を隣接する設
定回路の第2の端子に接続し、最上位端を冗長選択情報
の出力端子に接続し、最下位端を第2の論理レベルに接
続し、第2の端子からビット線切替信号を出力するR/
N切替設定手段と、R/N切替設定手段のビット線切替
信号出力に基づき2つのビット線の一方を選択して入出
力部と接続するR/N切替回路とを設けたものである。
また、設定回路は、冗長位置情報に基づく信号を入力す
る第3の端子を有し、かつ一端を第1の論理レベルに接
続し、他端を第2の端子に接続し、制御端子を第3の端
子に接続し、第1のスイッチ手段が導通状態のとき非導
通状態になり、第1のスイッチ手段が非導通状態のとき
導通状態になる第2のスイッチ手段を有するものであ
る。また、設定回路は、一端を第2の論理レベルに接続
し、他端を第1の端子に接続し、制御端子を第3の端子
に接続し、第1のスイッチ手段が導通状態のとき非導通
状態になり、第1のスイッチ手段が非導通状態のとき導
通状態になる第3のスイッチ手段を有するものである。
また、R/N切替設定手段は、複数のブロックに分割さ
れた設定回路と、冗長位置情報を基にブロック単位で第
1の論理レベルに設定するV設定信号を出力する設定制
御回路とからなり、設定回路は、冗長位置情報を基に生
成される不良位置信号が入力される第3の端子と、V設
定信号が入力される第4の端子とを有し、一端を第1の
論理レベルに接続し、他端を第2の端子に接続し、制御
端子を第4の端子に接続した第2のスイッチ手段を有す
るものである。また、R/N切替設定手段は、冗長位置
情報を基にブロック単位で第2の論理レベルに設定する
G設定信号を出力する設定制御回路を有するとともに、
設定回路は、冗長位置情報を基に生成される不良位置信
号が入力される第3の端子と、G設定信号が入力される
第5の端子とを有し、かつ一端を第2の論理レベルに接
続し、他端を第1の端子に接続し、制御端子を第5の端
子に接続した第3のスイッチ手段を有するものである。
また、冗長判定手段は、置き替えるノーマルセル列の不
良位置情報をバイナリ・コードに変換して記憶した複数
のヒューズブロックと、ヒューズブロックを選択する信
号を出力するブロック選択回路とから構成されるもので
ある。また、ブロック選択回路は、アドレスをデコード
し、ヒューズブロックを選択する信号を出力するアドレ
スデコーダを有するものである。また、ブロック選択回
路は、バンク選択信号をもとにヒューズブロックとメモ
リブロックを選択する信号を出力する回路から構成され
るものである。また、ヒューズブロックは冗長選択情報
を記憶する第1のヒューズ回路と、不良位置情報を記憶
する複数の第2のヒューズ回路とからなり、第2のヒュ
ーズ回路は、第1のヒューズ回路を通して第1の論理レ
ベルに接続されるものである。また、ヒューズブロック
は冗長選択情報を記憶する第1及び第2のヒューズと、
不良位置情報を記憶する第3及び第4のヒューズから構
成され、第1のヒューズの一端は第1の論理レベルに接
続され、他端は第2と第3のヒューズの一端に接続され
るとともに、冗長選択信号の出力端に接続され、第2の
ヒューズの他端は第2の論理レベルに接続され、第3の
ヒューズの他端は第4のヒューズの一端に接続されると
ともに、冗長位置信号の出力端に接続され、第4のヒュ
ーズの他端は第2の論理レベルに接続されるものであ
る。また、R/N切替手段は複数のメモリブロックのビ
ット線に共通に接続されるものである。
して説明する。 [第1の実施の形態]図1は本発明に係る半導体記憶装
置の要部構成を示すブロック図である。同図において、
100はメモリセルアレイであり、4つのメモリブロッ
ク101〜104に分割されている。各メモリブロック
101〜104はメモリセルがマトリクス状に配置され
ており、列方向には、複数のノーマルセル列と冗長セル
列とで構成されている。110は入力したアドレスをデ
コードしてメモリブロック101〜104への行選択信
号(以下、ワード線信号と記す)WLを出力するローデ
コーダである。本実施の形態では、4つのメモリブロッ
クに存在する複数のワード線のうち1本だけが選択され
る。
単位に冗長セル列に置き替えるか否かを表すフラグと、
置き替えるべき不良セル列の位置を予め記憶しており、
アドレス信号が入力されると、そのメモリブロックに対
応した冗長選択信号YPRと冗長位置信号IOREDを
出力する。冗長選択信号YPRは、アドレスに対応する
メモリブロックで冗長セルに置き替えるか否かを表す信
号で、第1の論理レベル(以下、“1”と記す)のとき
は、ノーマルセル列に不良が存在し、冗長セル(リダン
ダンシセル)列に切り替えることを表し、第2の論理レ
ベル(以下、“0”と記す)のときは、冗長セル列に切
り替えないことを表す。冗長位置信号IOREDは、不
良セルが存在するノーマルセル列の位置を表す。本実施
の形態では位置情報をバイナリ形式に変換して記憶して
おり、ノーマルセル列の数が8列のとき冗長位置信号I
OREDは3ビット、16列のときは4ビット、32列
のときは5ビットとすればよい。
120より冗長選択信号YPRと冗長位置信号IORE
Dとが入力され、冗長選択信号YPRが選択状態である
とき、冗長判定回路120から出力されるバイナリ形式
の冗長位置信号IOREDをデコードして不良位置信号
IOSELを出力する。不良位置信号IOSELは、ノ
ーマルセル列の数分の信号線を有し、不良セル列に対応
する信号線だけが“1”で、その他の信号線は“0”と
なる。
路120からの冗長選択信号YPRが選択状態であると
き、不良位置信号IOSELを入力してビット線を切り
替えるビット線切替信号DSWを出力する。150はビ
ット線切替信号DSWを入力して各メモリブロック10
1〜104の各セル列を冗長セル列RSか或いはノーマ
ルセル列NSかに切り替えるR/N切替回路、160は
R/N切替回路150により切り替えられた列方向セル
に対し、データのリード・ライトを行うための入出力部
である。
説明する。以下の説明では、読み出しの場合を例に記載
するが、書き込みについてもほぼ同様である。図1にお
いて、アドレスがローデコーダ110に入力されると、
ローデコーダ110はこのアドレスをデコードして1個
のメモリブロックにワード線信号WLを出力する。これ
により例えばメモリブロック101が選択される。上記
アドレスは冗長判定回路120にも入力される。冗長判
定回路120は各メモリブロック毎の冗長選択情報、す
なわち選択されたメモリブロックで冗長セル列に置き替
えるか否かの冗長選択信号YPRと、置き替える場合の
冗長位置信号IOREDとを予め記憶している。冗長判
定回路120はアドレスが入力されると、そのメモリブ
ロックに対応する冗長位置信号IOREDを冗長位置デ
コーダ130に出力し、冗長選択信号YPRを冗長位置
デコーダ130及びR/N切替設定回路140に出力す
る。
120から出力される冗長位置信号IOREDと冗長選
択信号YPRを入力すると、冗長判定回路120にコー
ド化して記憶した冗長情報を不良位置信号IOSELに
デコードしてR/N切替設定回路140に出力する。R
/N切替設定回路140はデコードしたビット線切替信
号DSWをR/N切替回路150に送出する。R/N切
替回路150は、上記アドレスに基づき選択されたメモ
リブロック101のノーマルセル列及び冗長セル列から
なる各セル列と入出力部160のとの間を、ビット線切
替信号DSWに基づき切替接続する。このようにして、
選択されたワード線と選択されたビット線との交点に存
在するメモリセルの情報がR/N切替回路150と入出
力部160を通して読み出される。
モリブロックの要部構成を示すブロック図であり、図3
はメモリセル列の要部構成を示すブロック図である。こ
こでは、4本の入出力線I/O0〜I/O3を有する半
導体記憶装置を例にして説明する。図2において、NS
00〜NS13はノーマルセル列、RS1,RS2は冗
長セル列、WL0〜WL2n−1はワード線、BL0〜
BL4はビット線、SW1〜SW3はスイッチである。
MCは1つのメモリセルを示し、メモリセルMCはDR
AM、SRAM、EEPROMなど読み書きが可能なメ
モリセルであればいずれでもよい。
複数のメモリセルで構成され、ノーマルセル列NS00
はメモリセルMC00〜MCn0、NS01はメモリセ
ルMC01〜MCn1、冗長RS1はメモリセルMC0
4〜MCn4で構成される。また、各セル列のメモリセ
ルMCは行方向に延在する複数のワード線WLと、列方
向に延在するビット線BLに接続されている。例えば、
ワード線WL0にはメモリセルMC00〜MC04が接
続され、ビット線BL1にはメモリセルMC01〜MC
n1が接続されている。また、各ビット線BLは、図示
しないセンスアンプ、列選択回路、あるいはデータアン
プを介してR/N切替回路150内のスイッチSW0〜
SW3に接続されている。
えない場合の動作を、ワード線WL0が選択され、メモ
リブロック101から記憶情報を読み出す場合を例に説
明する。外部から入力されるアドレス信号によってワー
ド線WL0が選択され、これに接続されているメモリセ
ルMCの情報がビット線BL0〜BL4を通して外部に
読み出される。ノーマルセル列NS00〜NS03に不
良メモリセルが存在しない場合、R/N切替回路150
内のスイッチSW0〜SW3はビット線BL0〜BL3
側にそれぞれ接続され、ノーマルセル列NS内のメモリ
セルMC00〜MC03の記憶情報を読み出す。
リセルが存在した場合を説明する。ノーマルセル列NS
01は2番目のビット線BL1に接続されているので、
これを2進数に変換し、コード“01”を冗長判定回路
120の冗長位置信号IOREDとしてメモリブロック
101に対応する場所に記憶する。また、冗長セル列R
S1を使うので、冗長選択信号YPRとして“1”を記
憶する。メモリブロック101から記憶情報を読み出す
とき、ワード線WL0が選択されるとともに、冗長判定
回路120から冗長位置信号IOREDとして“01”
と冗長選択信号YPRとして“1”が出力される。冗長
位置デコーダ130は冗長位置信号IORED“01”
をデコードし、不良位置信号IOSELとして“010
0”を出力する。このデコードデータ“0100”の各
ビット情報は各ビット線BL0〜BL4に対応してお
り、2ビット目が1であることから、不良セルが存在す
るメモリセル列はビット線BL01につながっているこ
とがわかる。
タ“0100”を変換して、R/N切替回路150に供
給する4本のビット線切替信号DSW0〜DSW3を生
成する。R/N切替回路150内のスイッチSW0〜S
W3は、ビット線切替信号DSWが“0”のとき、各ス
イッチSWは図2の図面上で左のビット線BL側に接続
され、“1”のときは、右のビット線BL側に切り替わ
る。図2に示すようなスイッチ方向にするためには、ビ
ット線切替信号DSW0〜DSW3として、“011
1”をR/N切替回路150に入力すればよい。ここで
は、ノーマルセル列NS01に不良セルが存在するの
で、スイッチSW0を左側のビット線BL0に接続し、
スイッチSW1〜SW3を右側のビット線BL2〜BL
4に接続する。このようにすることで、ビット線BL0
〜BL3を通してノーマルセル列NS00、NS02、
NS03と冗長セル列RS1の記憶情報を読み出すこと
ができる。従って、不良セルが存在するノーマルセル列
NS01を避けて読み出すことができるので、メモリブ
ロック101に1つの不良メモリセル列NS01が存在
しても、半導体記憶装置を不良として廃棄することな
く、救済することができる。
ロック図である。冗長判定回路120は、各ヒューズブ
ロック121〜124と、各ヒューズブロック121〜
124をそれぞれ選択するブロック選択回路125とか
らなる。ここで、ヒューズブロック121〜124はメ
モリブロック101〜104にそれぞれ対応する。即
ち、アドレスにより例えばメモリブロック101が選択
されると、冗長判定回路120のブロック選択回路12
5よりブロック選択信号BS121として“1”が出力
され、ヒューズブロック121が選択される。また、ア
ドレスにより例えばメモリブロック102が選択される
と、ブロック選択信号BS122が“1”になり、ヒュ
ーズブロック122が選択される。
f1,f2と、ヒューズ回路R1と、N型トランジスタ
N1〜N3からなる。ヒューズ回路の数はノーマルセル
列の数をBとすると、log2 Bで表され、例えば、ノ
ーマルセル列が4列であれば、Bは2つ、32列であれ
ば5つのヒューズ回路を設けておけば、不良セル列の位
置を記憶させることができる。
出力するものであり、アドレスにより選択されたメモリ
ブロックにおいて冗長セル列RSを使用するか否かを示
す。また、ヒューズ回路f1,f2は、アドレスにより
選択されたメモリブロックの4個のノーマルセル列NS
のうち1つの不良セル列の位置を指定するもので、位置
の情報をバイナリコードに変換して記憶している。本実
施の形態ではノーマルセル列NSは4列なので、2つの
ヒューズ回路f1,f2を設けておけば、不良となった
ノーマルセル列の位置を特定できる。ヒューズ回路f
1,f2は、それぞれ冗長位置信号IORED1,IO
RED2を冗長位置デコーダ130へ出力する。
と、冗長選択信号YPRの各信号線は、各ヒューズブロ
ックに接続され、各ヒューズブロックに内蔵されたトラ
ンジスタN1〜N3を介して各ヒューズ回路と接続され
る。各トランジスタN1〜N3のゲートは、ヒューズブ
ロック選択信号BSが供給され、ヒューズブロック選択
信号BSが“1”のとき、各トランジスタN1〜N3は
ONし、“0”のとき、OFFする。ヒューズブロック
選択信号BS121〜124は入力されたアドレスに応
じていずれか1つが“1”となり、ヒューズブロック1
21〜124のいずれか1つのヒューズ回路の情報を出
力する。
R,FBRからなり、その一端が共通に接続されるとと
もに、トランジスタN3のドレインに接続される。ヒュ
ーズFARの他端は電源Vddに、ヒューズFBRの他
端はグランドに接続される構成となっている。ここで、
選択されたメモリブロックにおいて冗長セル列RSを使
用する場合は、ヒューズFBRが切断され、ヒューズ回
路R1は冗長選択信号YPRとして“1”を出力する。
冗長セル列RSを使用しない場合は、ヒューズFARが
切断され、ヒューズ回路R1は“0”を出力する。
1,FB1と、FA2,FB2からなり、これらヒュー
ズの一端はトランジスタN1,N2のドレインに共通に
接続される。ヒューズFA1、FA2の他端はヒューズ
FAR,FBRの共通接続点に、ヒューズFB1,FB
2の他端はグランドに接続される構成となっている。ま
た、トランジスタN1〜N3のゲートは、ブロック選択
回路125に接続され、ドレインはIORED1,IO
RED2,YPRの各出力信号線に接続される。アドレ
スにより例えばメモリブロック101が選択されると、
ブロック選択回路125からヒューズブロック選択信号
BS121として“1”が出力され、トランジスタN1
〜N3がONして、ヒューズブロック121に記憶され
た情報が出力される。他のブロック、例えばヒューズブ
ロック122が選択されたときは、ヒューズブロック1
21のトランジスタN1〜N3がOFFして、ヒューズ
ブロック122に記憶された情報が出力される。
ルがある場合、冗長判定回路120に冗長位置信号IO
REDとして“01”が記憶される。この場合、ヒュー
ズFB1,FA1,FBRが切断され、ヒューズブロッ
ク選択信号BS121が“1”になると、冗長判定回路
120は信号IORED1,IORED2,YPRとし
て“0”、“1”、“1”をそれぞれ出力する。
ル列RSに置き替えない場合には、ヒューズFARだけ
を切断すれば、ヒューズFB1,FA1,FB2,FA
2を1つも切断しなくても、冗長判定回路120は信号
IORED1,IORED2,YPRとして“0”、
“0”、“0”をそれぞれ出力できる。このため、ヒュ
ーズ切断工程を短縮することができる。なお、図4に示
すヒューズ回路に冗長情報を記憶させる前の段階では、
電源とグランド間が短絡してしまうので、図示はしてい
ないが、ヒューズ回路の電流経路にトランジスタを挿入
して、制御している。
から“1”の冗長選択信号YPRが冗長位置デコーダ1
30へ出力され、かつ冗長判定回路120内の2つのヒ
ューズ回路f1〜f2から、選択されたメモリブロック
の不良セル列位置を指定する2ビットの信号IORED
1,IORED2が冗長位置デコーダ130に出力され
ると、冗長位置デコーダ130では、これらの信号を入
力して何れか1つが“1”となる4ビットの不良位置信
号IOSEL0〜IOSEL3に変換し、変換した4ビ
ットの不良位置信号IOSEL0〜IOSEL31をR
/N切替設定回路140に出力する。
成の一例を示す回路図であり、2ビットの選択信号IO
RED1,IORED2を入力して不良位置信号IOS
EL0〜4を得る場合の例である。このエンデコーダ回
路は、インバータ131,132及びアンドゲート13
3〜136により構成され、インバータ131,132
には信号IORED1,IORED2が入力され、アン
ドゲート133〜136には信号YPRと図中○印につ
ながる信号が入力される。ここで、信号IORED2,
IORED1が“0”,“1”で、信号YPRが“1”
であると、インバータ132の出力は“1”となり、し
たがってアンドゲート134の出力が“1”、アンドゲ
ート133,135,136が“0”となる不良位置信
号IOSEL3〜0として“0010”が得られる。
示す回路図であり、4ビットの冗長位置信号IOSEL
0〜IOSEL3と冗長選択信号YPRを入力して、4
ビットのビット線切替信号DSW0〜DSW3を出力す
る例を示すものである。このR/N切替設定回路150
は、4個のP型トランジスタP1〜P4により構成さ
れ、各P型トランジスタは直列に接続される。トランジ
スタP1のドレインはグランド電位“0”が供給され、
トランジスタP4のソースには冗長選択信号YPRが与
えられる。そして、各トランジスタP1〜P4の各ゲー
トには冗長位置デコーダ130によりデコードされた不
良位置信号IOSEL0〜IOSEL3がそれぞれ入力
される。
トランジスタPはOFFし、“0”のとき、ONする。
例えば、メモリブロック101で冗長セル列RSに置き
替えない場合、冗長選択信号YPRは“0”であり、不
良位置信号IOSEL0〜IOSEL3は“0000”
であるので、各トランジスタP1〜P4はONしてお
り、ビット線切替信号DSW0〜DSW3は“000
0”を出力する。
が存在して、冗長セル列RSに置き替える場合には、冗
長選択信号YPRは“1”であり、不良位置信号IOS
EL0〜IOSEL3は“0100”、即ち、IOSE
L0、IOSEL2、IOSEL3は“0”、IOSE
L1は“1”である。このため、トランジスタP2はO
FFし、トランジスタP1,P3,P4はONする。ビ
ット線切替信号DSW0はONしたトランジスタP1を
介してグランド電位“0”に接続されるので、“0”に
なる。また、ビット線切替信号DSW1は、ONしたト
ランジスタP3,P4を介して“1”になっている冗長
選択信号YPRに接続されるので、“1”になる。ビッ
ト線切替信号DSW2、DSW3も同様にして“1”に
なる。従って、ビット線切替信号DSW0〜DSW3は
“0111”を出力する。
信号DSW0〜DSW3は、R/N切替回路150に出
力され、R/N切替回路150に内蔵されたスイッチS
W0〜SW3の切替方向を制御する。これらビット線切
替信号DSW0〜DSW3に基づき、R/N切替回路1
50は、選択されたワード線につながる4ビットのノー
マルセルと1ビットの冗長セルの出力を、入出力部16
0の4本のI/O0〜I/O3線に切替接続する。
定回路は、簡単な回路構成で、しかも高速にビット線切
替信号DSWを生成することができる。トランジスタで
構成した設定回路列のうち1つをオフすることで、その
設定回路の図面左側のビット線切替信号DSWを全て
“0”に、右側のDSWを全て“1”に設定することが
できる。
60の具体的な構成の一部を示す回路図であり、ビット
線BL2〜BL4の出力を、入出力部160の入出力信
号線I/O2〜I/O3に切り替えて出力する部分を示
している。同図において、入出力部160は、データ入
出力回路51,52で構成され、R/N切替回路150
の出力を増幅して、入出力信号線I/O2〜I/O3へ
出力する。R/N切替回路150は次の要素で構成され
る。41,42はノーマルセル列NSにつながったビッ
ト線BL2,BL3のデータを増幅するデータアンプ、
43は冗長セル列RS、即ちビット線BL4からのデー
タを増幅するデータアンプ、61,62はナンドゲー
ト、P31〜P34はP型トランジスタ、N31〜N3
4はN型トランジスタ、IN11,IN12はインバー
タである。なお、各メモリセルの出力は、センスアンプ
(図示せず)で一旦増幅され、ビット線BLを通して、
データアンプ41〜43に入力される。
ソースとドレインが共通に接続され、これらのゲート間
にはインバータINが接続され、互いに相補関係をなす
信号が印加される。これらN型トランジスタとP型トラ
ンジスタとインバータINとで、いわゆるトランスファ
ゲートを構成している。トランジスタN31,P31を
第1のトランスファゲートTG1、N32,P32を第
2のトランスファゲートTG2、N33,P33を第3
のトランスファゲートTG3、N34,P34を第4の
トランスファゲートTG4とする。
TG3はナンドゲート61,62の出力が“0”のとき
ソース−ドレイン間がオフし、“1”のときオンする。
逆に、第1と第2のトランスファゲートTG2,TG4
はナンドゲート61,62の出力が“1”のときソース
−ドレイン間がオフし、“0”のときオンする。1つの
データ入出力回路には2つのトランスファゲートTGが
接続され、いずれか一方のトランスファゲートTGがオ
ンする構成になっている。このため、2つのデータアン
プ、言い換えれば、2つのビット線のいずれかの出力を
選択して、1つの入出力線I/Oに出力することができ
る。
説明する。まず、冗長セル列RSを使用せず、冗長選択
信号YPRが“0”の場合を説明する。この場合、ビッ
ト線切替信号DSWはいかなる状態であってもよい。各
ナンドゲート61,62に入力される冗長選択信号YP
Rが“0”であるので、その出力は“1”となる。した
がって、トランスファゲートTG1、TG3はオンし
て、トランスファゲートTG2,TG4はオフする。そ
の結果、ビット線BL2,BL3のデータは、それぞれ
データアンプ41,42、トランスファゲートTG1,
TG3、データ出力回路51,52を通して入出力I/
O2,I/O3にそれぞれ出力される。
セル列NSに不良セルが存在し、これを冗長セル列RS
に置き替える場合を説明する。この場合、冗長選択信号
YPRは“1”、ビット線切替信号DSW2は“0”、
DSW3は“1”である。ナンドゲート61に入力され
るビット線切替信号DSW2は“0”なので、その出力
は“1”となる。したがって、トランスファゲートTG
1がオンして、TG2がオフする。このため、ビット線
BL2のデータが入出力I/O2に出力される。また、
ナンドゲート62に入力されるビット線切替信号DSW
2は“1”で、かつ冗長選択信号YPRも“1”なの
で、その出力は“0”となる。したがって、トランスフ
ァゲートTG4がオンして、TG3がオフする。このた
め、ビット線BL4のデータが入出力I/O3に出力さ
れる。このように、ビット線BL3に不良セルが存在す
ると、データアンプ42から出力されるデータを使用せ
ず、データアンプ43の出力、即ち、冗長セル列RSの
データ出力を入出力I/O3に出力するように切り替え
ることができる。
セル列NSに不良セルが存在し、これを冗長セル列RS
に置き替える場合を説明する。この場合、冗長選択信号
YPRは“1”、ビット線切替信号DSW2は“1”、
DSW3は“1”である。ナンドゲート61,62に入
力されるビット線切替信号DSW2、DSW3はともに
“1”なので、その出力は“0”となる。したがって、
トランスファゲートTG2,TG4がオンして、TG
1,TG3がオフする。このため、ビット線BL3,B
L4のデータが入出力I/O2,I/O3に出力され
る。このように、ビット線BL2に不良セルが存在する
と、データアンプ41から出力されるデータを使用せ
ず、データアンプ42の出力データを入出力I/O2に
出力するように切り替えることができる。
毎に不良セルの位置情報を冗長判定回路に記憶してお
き、アドレス信号によってアクセスされるメモリブロッ
クの位置を検出し、そのブロックの不良セルの位置情報
を冗長判定回路から出力し、各メモリブロックに共通接
続されるR/N切替回路を切り替えるようにしたので、
各メモリブロックに不良セルが1つあっても冗長セル列
に置き替えることができる。メモリセルアレイを分割し
ないときは、1つのノーマルセル列しか冗長セル列に置
き替えできない。しかし、4つのメモリブロックに分割
することで、各メモリブロック当たりに1つの不良セル
列を救済できるので、4つの不良セル列があっても救済
できる。メモリブロック数は4つに限定されるものでは
なく、適宜増減することができる。また、行方向の冗長
回路と組み合わせることで、2つ以上の不良メモリセル
が異なるノーマルセル列にあっても救済することができ
る。さらに、R/N切替回路を各メモリブロックに設け
た構成に比べ、R/N切替回路を各メモリブロックで共
用するので、回路規模を大幅に削減できる。
スイッチで構成することにより、ノーマルセル列と冗長
セル列をプログラマブルに切り替えることができる。そ
の結果、各メモリブロック毎にヒューズ回路とR/N切
替回路とを設ける必要がなくなり、回路規模を削減でき
るとともに、トランジスタよりサイズが大きいヒューズ
の数を削減できるので、チップ面積が低減できる。さら
に、不良セル列の位置情報を2進数にエンコードして記
憶することで、ヒューズの数を一層低減でき、チップ面
積の低減に加え、ヒューズ切断工程を短縮できる。ま
た、冗長セル列を使用しないときは、冗長選択信号を記
憶する1つのヒューズを切断するだけでよいので、一層
ヒューズ切断工程を短縮できる。
複数のビット線切替信号を、シフトレジスタにシフトさ
せながら設定したり、制御メモリセルに1ビットづつ設
定していたので、非常に時間がかかり、メモリの読み書
きアクセス時間が長くなっていた。本実施の形態では、
複数のビット線切替信号をトランジスタを直列接続した
R/N切替設定回路で短期間に一括して生成し、並列出
力するようにしたので、従来構成に比べ大幅に設定時間
を短縮できる。
2の実施の形態に係るR/N切替設定回路を示す回路図
である。本実施の形態では、各メモリブロック101〜
104は8つのノーマルセル列と1つの冗長セル列で構
成されているとする。従って、R/N切替設定回路14
0は冗長位置デコーダ130から8ビットの不良位置信
号IOSEL0〜IOSEL7と、冗長判定回路120
から冗長選択信号YPRが入力され、8ビットのビット
線切替信号DSW0〜DSW7を出力する。
は、8つの設定回路SL0〜SL7からなる。各設定回
路SL0〜SL7は、それぞれ3つの設定回路SLn1
〜SLn3(n=0〜7)と5つの端子a,b,c,
d,eを有する。端子aは隣接する設定回路の端子cと
接続され、設定回路SL0の端子aはグランドに接続さ
れている。端子cは隣接する設定回路の端子aと接続さ
れ、設定回路SL7の端子cは冗長判定回路120に接
続され、冗長選択信号YPRが入力される。各設定回路
SL0〜SL7の端子b,dは、グランドと電源にそれ
ぞれ接続され、“0”と“1”の論理レベルが印加され
る。また、端子eは、冗長位置デコーダ130と接続さ
れ、不良位置信号IOSELが入力される。また、各設
定回路SL0〜SL7の端子cは、R/N切替回路15
0に接続され、各端子cの論理レベルをビット線切替信
号DSW0〜DSW7として出力する。
イッチSLn1〜SLn3を有し、各スイッチSLn1
〜SLn3は端子eに入力される信号レベルに連動して
切り替わる。例えば、スイッチSLnの端子eが“0”
であると、SLn1,SLn3はオフし、SLn2はオ
ンする(図8のSL2)。設定回路SLnの端子eが
“1”になると、SLn1,SLn3はオンし、SLn
2はオフに切り替わり(図8のSL3)、その設定回路
SLnの端子aを“0”に、端子cを“1”にする。な
お、図8図面上で最左端にある設定回路SL0の端子a
は、グランドに接続されているので、同設定回路内のス
イッチSL01はなくてもよい。また、図8図面上で最
右端にある設定回路SL7の端子cは冗長選択信号YP
Rが供給されるので、同設定回路内のスイッチSL73
はなくてもよい。
0の動作を説明する。いま、冗長セル列RSに置き替え
しない場合、即ち、冗長選択信号YPRが“0”、不良
位置信号IOSEL0〜IOSEL7が“000000
00”の場合を例に説明する。この場合、各設定回路S
L0〜SL7内のSLn1,SLn3はオフし、SLn
2はオンしているので、各設定回路の端子a,cはいず
れも“0”であり、ビット線切替信号DSW0〜DSW
7は“00000000”となる。
セル列NSに不良セルが存在し、冗長セル列RSに置き
替える場合を例に説明する。この場合、冗長選択信号Y
PRが“1”、不良位置信号IOSEL0〜IOSEL
7が“00010000”となるので、設定回路SL3
のSL31,SL33はオンし、SL32はオフし、そ
の他の設定回路SL0〜SL2、SL4〜SL7内のS
Ln1,SLn3はオフし、SLn2はオンする。この
ため、設定回路SL3の端子aは“0”、端子cは
“1”になる。設定回路SL0〜SL2の端子c、すな
わち、ビット線切替信号DSW0〜DSW2は“00
0”のままである。
設定回路SL3の端子cは“1”になり、直ちにビット
線切替信号DSW3は“1”となる。また、冗長選択信
号YPRも“1”であるので、ビット線切替信号DSW
7も直ちに“1”となる。さらに、設定回路SL3の端
子cの“1”は、設定回路SL4を通してビット線切替
信号DSW4も“1”にする。同様にして、このレベル
“1”が設定回路SL5,SL6、SL7に伝搬し、ビ
ット線切替信号DSW5〜DSW7も“1”にする。ま
た、冗長選択信号YPRの“1”も同様にして、このレ
ベル“1”が設定回路SL7,SL6、SL5に伝搬
し、ビット線切替信号DSW4〜DSW7を“1”にす
る。
DSW7を設定回路SL3側と冗長選択信号YPR入力
側から同時に“1”を供給するようにしたので、従来装
置や第1の実施の形態に比べ、ビット線切替信号DSW
4〜DSW7を高速に立ち上げることができる。その結
果、R/N切替回路150を高速に切り替えることがで
きるようになるので、列方向に冗長セルを設けても、メ
モリのアクセス時間を悪化させることがない。
定回路SL1〜SL6、SL0、SL7の詳細な回路図
を示す。図9(a)において、P11〜P12はP型ト
ランジスタ、N11〜N12はN型トランジスタ、IN
1はインバータである。トランジスタN11,P11の
のソースとドレインは互いに並列に接続され、端子a,
cと接続される。トランジスタP11のゲートは端子e
と接続され、トランジスタN11のゲートはインバータ
IN1を介して端子eと接続される。トランジスタN1
1,P11とインバータIN1とによりスイッチSLn
2を形成する。端子eが“0”のとき、トランジスタN
11,P11のゲートはそれぞれ“1”、“0”にな
り、トランジスタN11,P11はオンし、端子aと端
子cとを同一論理レベルにする。端子eが“1”のと
き、トランジスタN11,P11のゲートはそれぞれ
“0”、“1”になり、トランジスタN11,P11は
オフし、端子aと端子cとを違う論理レベルにする。
と、ソースは端子bと、ゲートは端子eと接続され、ス
イッチSLn1を形成する。端子eが“0”のとき、ト
ランジスタN12はオフする。端子eが“1”のときは
オンして、端子aの論理レベルを端子bと同じ論理レベ
ルにする。ここでは、端子bがグランドに接続されてい
るので、端子aは“0”になる。トランジスタP12の
ドレインは端子cと、ソースは端子dと、ゲートはイン
バータIN1を介して端子eと接続され、スイッチSL
n3を形成する。端子eが“0”のとき、トランジスタ
P12はオフする。端子eが“1”のときはオンして、
端子cの論理レベルを端子dと同じ論理レベルにする。
ここでは、端子dが電源に接続されているので、端子c
は“1”になる。
がオンするときは、トランジスタN12,P12はオフ
しており、トランジスタN11,P11がオフするとき
は、トランジスタN12,P12がオンする。この結
果、端子eが“0”のとき、端子aと端子bとを同一論
理レベルにし、逆に、端子eが“1”のときには、端子
aを“0”にして端子bを“1”にする。
図を示す。設定回路SL0は、図9(a)のトランジス
タN12を取り除いただけで、他の構成は同じである。
設定回路SL0の端子aはグランドに接続されているの
で、図9(a)と同様に動作する。図9(c)に設定回
路SL7の詳細な回路図を示す。設定回路SL7は、図
9(a)のトランジスタP12を取り除いただけで、他
の構成は同じである。設定回路SL7の端子cは冗長選
択信号YPRと接続されているので、図9(a)と同様
に動作する。
定回路SL0〜SL7を直列に接続し、いずれか1つの
設定回路SLの端子aと端子cとの間を開状態とし、こ
れ以外を閉状態とするとともに、開状態とした設定回路
の端子aを第2の論理レベル“0”にして、端子cを第
1の論理レベル“1”にすることで、これらにつながる
ビット線切替信号DSWを即座に所望の論理レベルにす
ることができる。さらに、設定回路SL0と開状態とな
った設定回路SLとの間にあるビット線切替信号DSW
は、開状態となった設定回路SLの端子aと設定回路S
L0の端子aとの双方から“0”が伝搬するので、設定
回路SL0の端子a側からだけで“0”を伝搬させる場
合に比べ、ビット線切替信号DSWを短期間に“0”に
することができる。さらに、冗長信号線YPR端子と開
状態となった設定回路SLとの間にあるビット線切替信
号DSWは、開状態となった設定回路SLの端子cと冗
長信号線YPR端子との双方から“1”が伝搬するの
で、冗長信号線YPR端子側からだけで“1”を伝搬さ
せる場合に比べ、ビット線切替信号DSWを短期間に
“1”にすることができる。従って、従来装置や第1の
実施の形態に比べ、ビット線切替信号DSWを高速に所
望の論理レベルに設定することができる。その結果、R
/N切替回路150を高速に切り替えることができるよ
うになるので、列方向に冗長セルを設けても、メモリの
アクセス時間を悪化させることがない。
各メモリブロック101〜104は32個のノーマルセ
ル列と1つの冗長セル列で構成されているとする。
冗長判定回路120の構成を示すブロック図である。冗
長判定回路120は、各ヒューズブロック121〜12
4と、これらの1つを選択するブロック選択回路125
とからなる。ブロック選択回路125は、ヒューズブロ
ックの1つを選択するヒューズブロック選択信号BS1
21〜BS124を出力する。ここで、ヒューズブロッ
ク121〜124はメモリブロック101〜104にそ
れぞれ対応する。即ち、アドレスにより例えばメモリブ
ロック101が選択されると、冗長判定回路120では
ブロック選択回路125のヒューズブロック選択信号B
S121が“1”になり、ヒューズブロック121が選
択される。また、アドレスにより例えばメモリブロック
102が選択されると、冗長判定回路120ではブロッ
ク選択回路125のヒューズブロック選択信号BS12
2が“1”になり、ヒューズブロック122が選択され
る。
ズ回路f1〜f5と1つのヒューズ回路Rからなる。ヒ
ューズ回路Rは、アドレスにより選択されたメモリブロ
ックのセルに冗長セルRSが使用されているか否かを示
す前述の冗長選択信号YPRを出力するものである。こ
こで、冗長セルRSを使用するとき冗長選択信号YPR
は“1”、使用しないときは“0”としている。また、
5つのヒューズ回路f1〜f5は、アドレスにより選択
されたメモリブロックの32個のノーマルセルNSのう
ち置き替えるべき1つの不良セルの位置を2進数で記憶
している。冗長判定回路120は、ヒューズ回路f1か
らf2,f3,f4,f5の順にそれぞれ冗長位置信号
IORED1,IORED2,IORED4,IORE
D8,IORED16の5ビットのバイナリー信号と、
冗長選択信号YPRを冗長位置デコーダ130へ出力す
る。置き替えるべき不良セルの位置と冗長位置信号IO
RED、冗長選択信号YPRとの関係を図11に示す。
YPRが“1”のとき、5ビットの冗長位置信号IOR
EDをデコードして、32ビットの不良位置信号IOS
EL0〜IOSEL31をR/N切替設定回路140へ
出力する。ここで、不良位置信号IOSEL0〜IOS
EL31は、不良セル列に相当するビットだけが“1”
で、他の全てのビットは“0”となるようにデコードさ
れる。冗長位置信号IOREDのコードと“1”となる
不良位置信号IOSELとの関係を図11に示す。
るR/N切替設定回路を示すブロック図である。本実施
の形態のR/N切替設定回路140は、32個の設定回
路S0〜S31と、設定制御回路145とからなる。こ
の場合、32個の設定回路は4つの設定ブロック141
〜144に分割され、設定ブロック単位でビット線切替
信号DSWを設定できるように構成されている。例え
ば、設定ブロック141はビット線切替信号DSW0〜
DSW7を設定し、設定ブロック142はビット線切替
信号DSW8〜DSW15を設定する。
コーダ130から32ビットの不良位置信号IOSEL
0〜IOSEL31と、冗長判定回路120から冗長選
択信号YPRが入力され、8ビットのビット線切替信号
DSW0〜DSW31を出力する。R/N切替設定回路
140は、不良セル列に相当するビットだけが“1”で
ある不良位置信号IOSELを、不良セル列より上位の
ビットが全て“1”となるビット線切替信号DSWに変
換する。
(a)〜(c)にその回路図をそれぞれ示す。各設定回
路S0〜S31は、図13に示すように、それぞれ3つ
のスイッチSn1〜Sn3(n=0〜31)と7つの端
子a,b,c,d,e,f,gを有する。図13、図1
4において、端子aは隣接する設定回路の端子cと接続
され、設定回路S0の端子aはグランドに接続されてい
る。端子cは隣接する設定回路の端子aと接続され、設
定回路S31の端子cは冗長判定回路120に接続さ
れ、冗長選択信号YPRが入力される。各設定回路S0
〜S31の端子b,dは、グランドと電源にそれぞれ接
続され、“0”と“1”の論理レベルが印加される。ま
た、端子eは、冗長位置デコーダ130と接続され、不
良位置信号IOSELが入力される。また、各設定回路
S0〜S31の端子cは、R/N切替回路150に接続
され、各端子cの論理レベルをビット線切替信号DSW
0〜DSW31として出力する。
に3つのスイッチSn1〜Sn3を有し、各スイッチS
n1,Sn2,Sn3は端子f,e,gに入力される信
号レベルに応じてオン/オフする。例えば設定回路Sn
の端子eが“0”であると、Sn2はオンして端子aと
端子cとが同一論理レベルになり、“1”であると、S
n2はオフして端子aと端子cが異なる論理レベルにな
る。また、端子fが“1”であると、Sn1はオンして
端子aを端子bと同論理レベルにし、“0”であると、
Sn1はオフする。本実施の形態では、端子bをグラン
ドに接続しているので、Sn1がオンしたとき端子aは
“0”になる。また、端子gが“0”であると、Sn3
はオンして端子cを端子dと同じ論理レベルにし、
“1”であると、Sn3はオフする。本実施の形態で
は、端子dを電源に接続しているので、Sn3がオンし
たとき端子cは“1”になる。
は、グランドに接続されているので、同設定回路内のス
イッチS01はなくてもよい。詳細な回路は図9(b)
と同じである。また、最上位にある設定回路S31の端
子cは冗長選択信号YPRが供給されるので、同設定回
路内のスイッチS313はなくてもよい。詳細な回路は
図9(c)と同じである。また、設定回路S1〜S7の
端子gはインバータINを介して端子eと接続され、端
子eの反転信号でオン/オフ制御される。また、設定回
路S24〜S31の端子fは端子eと接続され、端子e
と同じ信号でオン/オフ制御される。
14(b)は設定回路S1〜S7、図14(c)は設定
回路S24〜S30の詳細な回路図である。これらの回
路は図9(a)に示す回路と同様の要素で構成されてお
り、同じ部分については説明を省略する。図14(a)
に示す設定回路は、P型トランジスタP12とN型トラ
ンジスタN12のゲートが端子gと端子fにそれぞれ接
続され、端子eとは異なる信号でON/OFF制御され
る。図14(b)に示す設定回路は、N型トランジスタ
N12のゲートが端子fに接続され、端子eとは異なる
信号でON/OFF制御される。P型トランジスタP1
2のゲートはインバータIN1を介して端子eと接続さ
れ、端子eと同じ信号でON/OFF制御される。図1
4(c)に示す設定回路は、P型トランジスタP12の
ゲートが端子gに接続され、端子eとは異なる信号でO
N/OFF制御される。N型トランジスタN12のゲー
トは端子eと接続され、端子eと同じ信号でON/OF
F制御される。
図を、図15(b)にその真理値テーブルを示す。設定
制御回路145は、設定ブロック141〜144単位で
端子aまたは端子cの論理レベルを一括して設定するた
めの制御信号を出力する回路である。この制御信号は冗
長位置信号IORED8,IORED16をデコードす
ることにより得られ、設定制御回路145は、制御信号
としてV設定信号BVS2〜BVS4と、G設定信号B
GS1〜BGS3とを出力する。図15(a)に示すよ
うに設定制御回路145は、インバータIN141,I
N142と、NANDゲートND141〜ND143で
構成される。NANDゲートND141には、冗長位置
信号IORED8,IORED16をインバータIN1
41,IN142で反転された信号と冗長選択信号YP
Rとが入力され、反転論理積されて、V設定信号BVS
2とG設定信号BGS1とを出力する。NANDゲート
ND142には、冗長位置信号IORED16と冗長選
択信号YPRとが入力され、反転論理積されて、V設定
信号BVS3とG設定信号BGS2とを出力する。NA
NDゲートND143には、冗長位置信号IORED
8,IORED16と冗長選択信号YPRとが入力さ
れ、反転論理積されて、V設定信号BVS4とG設定信
号BGS3とを出力する。図15(b)に冗長位置信号
IORED8,IORED16と、V設定信号BVS2
〜BVS4とG設定信号BGS1〜BGS3との関係を
表す真理値テーブルを示す。
れ設定ブロック142〜144の端子gに接続され、端
子cを一括して“1”にするための制御信号である。例
えば、設定ブロック142に対応するビット線BL8〜
BL15のいずれかに不良セル列が存在する場合、これ
より上位の設定ブロック143,144の端子cは必ず
“1”である。従って、V設定信号BVS2,BVS3
をともに“0”とすることで、スイッチSn3をオンし
て、設定回路S16〜S31の端子cを端子dに接続し
て“1”にすることができる。これにより、最上位の冗
長選択信号YPR端子側から“1”を順次伝搬させるこ
となく、一括して高速にビット線切替信号DSW16〜
DSW30を“1”に設定することができる。
れ設定ブロック141〜143の端子fに接続され、端
子aを一括して“0”にするための制御信号である。例
えば、設定ブロック143に対応するビット線BL16
〜BL23のいずれか不良セル列が存在する場合、これ
より下位の設定ブロック141,142の端子aは必ず
“0”である。従って、G設定信号BGS1,BVG2
をともに“1”とすることで、スイッチSn1をオンし
て、設定回路S1〜S15の端子aを端子bに接続して
“0”にすることができる。これにより、最下位の設定
回路S0側から順次“0”を伝搬させることなく、一括
して高速にビット線切替信号DSW1〜DSW15を
“0”に設定することができる。
設定回路140の動作を説明する。いま、冗長セル列R
Sに置き替えしない場合、即ち、冗長選択信号YPRが
“0”、不良位置信号IOSEL0〜IOSEL31が
全て“0”の場合を例に説明する。この場合、図15
(b)よりV設定信号BVS2〜BVS4、G設定信号
BGS1〜BGS3は“1”である。従って、設定ブロ
ック141〜143の端子aは一括して“0”になり、
ビット線切替信号DSW0〜DSW23も全て“0”に
なる。
4〜S31は不良位置信号IOSEL24〜IOSEL
31が全て“0”であるので、各設定回路の端子aと端
子cとは導通している。また、設定回路S23の端子c
が“0”になるので、これが設定回路S24の端子aに
伝搬するとともに、設定回路S25、設定回路S26な
どへも次々に伝搬する。また、冗長選択信号YPRも
“0”になるので、これが設定回路S31の端子aに伝
搬するとともに、設定回路S30、設定回路S29など
へも次々に伝搬する。最終的に設定回路S24〜S31
の端子aと端子cが全て“0”になり、ビット線切替信
号DSW24〜DSW31も全て“0”になる。
セル列NSに不良セルが存在し、冗長セル列RSに置き
替える場合、即ち、冗長選択信号YPRが“1”、不良
位置信号IOSEL3が“1”で、その他のIOSEL
が全て“0”の場合を例に説明する。この場合、図15
(b)よりV設定信号BVS2〜BVS4は全て“0”
で、G設定信号BGS1〜BGS3は全て“0”であ
る。従って、設定ブロック142〜144の端子cは一
括して“1”になり、ビット線切替信号DSW8〜DS
W31も全て“1”になる。
〜S7は不良位置信号IOSEL0〜IOSEL7が
“00010000”であるので、設定回路S3の端子
aと端子cとの間が遮断され、その他の設定回路Sは導
通している。また、設定回路S0の端子aが“0”であ
るので、これが設定回路S0の端子cに伝搬するととも
に、設定回路S1、S2などへも次々に伝搬する。ま
た、設定回路S8の端子cが“1”になるので、これが
設定回路S8の端子aに伝搬するとともに、設定回路S
7、S6などへも次々に伝搬する。最終的に設定回路S
0〜S2の端子cが“0”になり、設定回路S3〜S7
の端子cが“1”になるので、ビット線切替信号DSW
0〜DSW7は“00011111”になる。
セル列NSに不良セルが存在し、冗長セル列RSに置き
替える場合、即ち、冗長選択信号YPRが“1”、不良
位置信号IOSEL9が“1”で、その他のIOSEL
が全て“0”の場合を例に説明する。この場合、図15
(b)よりV設定信号BVS2〜BVS4は“001”
で、G設定信号BGS1〜BGS3は“001”であ
る。従って、設定ブロック143〜144の端子cは一
括して“1”になり、ビット線切替信号DSW16〜D
SW31も全て“1”になる。また、設定ブロック14
1内の設定回路S1〜S7の端子aは一括して“0”に
なる。設定回路S7の端子aと端子cとは導通している
ので、設定回路S7の端子cも“0”になる。この結
果、ビット線切替信号DSW0〜DSW7は全て“0”
になる。
5は不良位置信号IOSEL8〜IOSEL15が“0
1000000”であるので、設定回路S9の端子aと
端子cとの間が遮断され、その他の設定回路Sは導通し
ている。また、設定回路S7の端子aが“0”であるの
で、これが設定回路S7の端子cに伝搬するとともに、
設定回路S8へも伝搬する。また、設定回路S16の端
子cが“1”になるので、これが設定回路S16の端子
aに伝搬するとともに、設定回路S15、S14などへ
も次々に伝搬する。最終的に設定回路S8の端子cが
“0”になり、設定回路S9〜S15の端子cが“1”
になるので、ビット線切替信号DSW8〜DSW15は
“01111111”になる。
ルセル列NSに不良セルが存在し、冗長セル列RSに置
き替える場合、即ち、冗長選択信号YPRが“1”、不
良位置信号IOSEL29が“1”で、その他のIOS
ELが全て“0”の場合を例に説明する。この場合、図
15(b)よりV設定信号BVS2〜BVS4は“11
1”で、G設定信号BGS1〜BGS3は“111”で
ある。従って、設定ブロック141〜143の端子aは
一括して“0”になり、ビット線切替信号DSW0〜D
SW23も全て“0”になる。
31は不良位置信号IOSEL24〜IOSEL31が
“00000100”であるので、設定回路S29の端
子aと端子cとの間が遮断され、その他の設定回路Sは
導通している。また、設定回路S23の端子aが“0”
であるので、これが設定回路S23の端子cに伝搬する
とともに、設定回路S24,S25などへも次々に伝搬
する。また、冗長選択信号YPRが“1”になるので、
これが設定回路S31、S30などへも次々に伝搬す
る。最終的に設定回路S24〜S28の端子cが“0”
になり、設定回路S29〜S31の端子cが“1”にな
るので、ビット線切替信号DSW24〜DSW31は
“00000111”になる。
設定回路S0〜S31を4つの設定ブロックに分割し、
冗長位置信号IOREDをもとに不良セル列の存在する
設定ブロックの位置を特定し、その設定ブロックより上
位の設定ブロックを一括して“1”に、下位の設定ブロ
ックを一括して“0”に設定することで、入出力I/O
の数が増えても、高速にビット線切替信号DSWを設定
することができる。
G設定信号BGS4を供給しない例を示したが、G設定
信号BGS4を生成し、設定回路S24〜S31の端子
fに入力するようにしてもよい。この場合、設定信号B
GS4は、冗長位置信号IOREDをもとに生成するの
ではなく、冗長選択信号YPRが“0”であるとき、設
定信号BGS4が“1”となり、“1”であるとき
“0”となるようにすればよい。すなわち、設定ブロッ
ク144は、冗長セル列を使用しないときのみ、ビット
線切替信号DSW24〜31が全て“0”になり、それ
以外は全てが“0”になることはない。
41にV設定信号BVS1を供給しない例を示したが、
V設定信号BGS1を生成し、設定回路S1〜S7の端
子gに入力するようにしてもよい。この場合、設定信号
BVS1は、冗長位置信号IOREDをもとに生成する
のではなく、不良位置信号IOSEL0が“1”である
とき、設定信号BVS1が“0”となり、“0”である
とき“1”となるようにすればよい。すなわち、設定ブ
ロック141は、最下位のビット線に不良セル列が存在
するときのみ、ビット線切替信号DSW0〜7が全て
“1”になり、それ以外は全てが“1”になることはな
い。
4の実施の形態に係る半導体記憶装置の要部構成を示す
ブロック図である。本実施の形態は、1つのメモリブロ
ックに2つの冗長セル列を設け、さらに、メモリブロッ
クの選択をバンク切替信号で行う例を示す。
は、4つのメモリブロック201〜204からなり、各
メモリブロック201,202は、4つのノーマルセル
列NS00〜NS03、NS10〜NS13と、2つの
冗長セル列RS01〜RS02、RS11〜RS12と
を有する。ローデコーダ110は第1の実施の形態と同
様、外部から入力されるアドレスをデコードし、複数の
ワード線WLの1つを活性化する。但し、第1の実施の
形態とは異なり、各メモリブロックに対して複数のワー
ド線WLを共通に接続している。
されるバンク選択信号などの信号がに入力され、ブロッ
ク選択信号BS1〜BS4を出力する。ブロック選択信
号BS1〜BS4は、いずれか1つの出力が“1”で、
他の出力は“0”である。各セル列とビット線との間に
は選択トランジスタST00〜ST05、ST10〜S
T15が設けられ、ブロック選択信号BS1〜BS4に
より複数のメモリブロックのうち1つが選択され、各セ
ル列とビット線との接続を制御する。ブロック選択信号
BSが“1”となったメモリブロックで、かつワード線
WLが“1”となったメモリセルが選択され、データを
出力する。
221〜224を備え、第1の実施の形態と同様、各メ
モリブロック毎の冗長セル列を使うか否かの情報と、置
き替える不良セル位置の情報とを各ヒューズブロックに
記憶している。ただ、第1の実施の形態と異なり、ヒュ
ーズブロックの選択をアドレス信号をデコードした信号
で行うのではなく、外部から与えられるバンク切替信号
で行うようにしている。即ち、前述のブロック選択回路
225の出力を、メモリブロックの選択に使用するとと
もに、ヒューズブロック221〜224の選択にも兼用
している。
ルセル列NSと冗長セル列RSを有しているので、ヒュ
ーズブロック221〜224も2組のヒューズブロック
221a,221b〜224a,224bを有する。
数のヒューズブロックのうち1つが選択され、第1の実
施の形態と同様、冗長位置信号IOREDを出力する。
但し、第1の実施の形態と異なり、ヒューズブロック選
択信号BS1〜BS4のいずれか1つが“1”になる
と、2組のヒューズブロックがペアで選択され、2組の
冗長位置信号IOREDを出力する。冗長位置デコーダ
230a,230bは、2組の冗長位置信号IORED
をデコードし、R/N切替設定回路240a,240b
へ2組の不良位置信号IOSELを出力する。R/N切
替設定回路240a,240bの構成は、第1〜第3の
実施の形態に示すR/N切替設定回路140のいずれか
と同じ構成である。
は、2組の不良位置信号IOSELを変換し、2組のビ
ット線切替信号DSWを生成し、R/N切替回路250
a,250bへ出力する。R/N切替回路250a,2
50bは、ビット線切替信号DSWにもとづき、スイッ
チSW0〜SW3の切替方向を制御し、不良セル列を避
けて各セル列と入出力I/O0〜I/O3とを接続す
る。
形態に示すR/N切替設定回路は、1つのメモリブロッ
クに複数の冗長セル列を設けた半導体記憶装置にも適用
することができ、救済率を更に向上することができる。
また、バンク切替信号などをブロック選択信号として利
用することで、メモリブロックとヒューズブロックの選
択信号を共有することができるとともに、アドレスの信
号線が減るのでローデコーダのデコード数が少なくなる
ので、回路規模を大幅に低減できる。
ーマルセル列及び冗長セル列を有する半導体記憶装置に
おいて、常時は導通状態の設定回路を複数個直列に接続
し、一端を第1の論理レベルに接続し他端を第2の論理
レベルに接続した不良位置設定手段と、ノーマルセル列
の不良列位置を記憶する不良列位置記憶手段と、不良列
位置記憶手段の情報を不良位置設定手段に設定する不良
位置伝達手段とを備え、不良位置伝達手段の出力に基づ
き設定回路の1つを開状態に制御し冗長セル列への切替
を行うようにしたので、セル列中に不良セル列が発生し
冗長セル列に切り替える場合、I/O数が増加しても回
路規模を増大させることなく高速で切替できる。また、
不良列位置を複数の行ブロック単位に記憶するととも
に、不良列位置記憶手段の出力に基づき正常セル列と不
良セル列とを切り替えるI/O切替手段を複数の行ブロ
ック単位で共通に使用するようにしたので、装置の小型
化が可能になる。
装置の要部構成を示すブロック図である。
ックの要部構成を示すブロック図である。
列の要部構成を示すブロック図である。す図である。
路の構成を示すブロック図である。
コーダの構成を示す回路図である。
設定回路の構成を示す回路図である。
示す回路図である。
設定回路の構成を示す回路図である。
回路図である。
回路の構成を示すブロック図である。
テーブルである。
替設定回路の構成を示すブロック図である。
の構成を示す図である。
の回路図である。
回路の真理値テーブルである。
憶装置の要部構成を示すブロック図である。
ある。
図である。
204…メモリブロック、110…ローデコーダ、12
0,220…冗長判定回路、121〜124,221〜
224…ヒューズブロック、125…ブロック選択回
路、130…冗長位置デコーダ、140…R/N切替設
定回路、141〜144…設定ブロック、145…設定
制御回路、150…R/N切替回路、160…入出力
部、a,b,c,d,e,f,g…設定回路の端子、f
1〜f5…ヒューズ回路、NS00〜NS03、NS1
0〜NS13…ノーマルセル列、R…ヒューズ回路、R
S01〜RS02、RS11〜RS12…冗長セル列、
SL1〜SL7、S0〜S31…設定回路、SLn1〜
SLn3、Sn1〜Sn3…スイッチ、BGS1〜BG
S3…G設定信号、BVS1〜BVS3…V設定信号、
BS121〜BS124…ヒューズブロック選択信号、
DSW…ビット線切替信号、IORED…冗長位置信
号、IOSEL…不良位置信号、YPR…冗長選択信
号、
Claims (13)
- 【請求項1】 複数のメモリセルからなる複数のノーマ
ルセル列と、 複数のメモリセルからなる冗長セル列と、 複数のノーマルセル列と冗長セル列とからなる複数のメ
モリブロックと、 メモリブロック毎に冗長セル列に置き替えるか否か示す
冗長選択情報と、置き替えるノーマルセル列の不良位置
情報を記憶する冗長判定手段と、 第1と第2の端子を有し、不良位置情報に基づき第1と
第2の端子間を第1のスイッチにより導通状態と非導通
状態に設定できる設定回路と、 第1の端子を隣接する設定回路の第2の端子に接続し、
最上位端を冗長選択情報の出力端子に接続し、最下位端
を第2の論理レベルに接続し、第2の端子からビット線
切替信号を出力するR/N切替設定手段と、 R/N切替設定手段のビット線切替信号出力に基づき2
つのビット線の一方を選択して入出力部と接続するR/
N切替回路とを備えたことを特徴とする半導体記憶装
置。 - 【請求項2】 請求項1において、 設定回路は、冗長位置情報に基づく信号を入力する第3
の端子を有し、 かつ一端を第1の論理レベルに接続し、他端を第2の端
子に接続し、制御端子を第3の端子に接続し、第1のス
イッチ手段が導通状態のとき非導通状態になり、第1の
スイッチ手段が非導通状態のとき導通状態になる第2の
スイッチ手段を有することを特徴とする半導体記憶装
置。 - 【請求項3】 請求項1において、 設定回路は、冗長位置情報に基づく信号を入力する第3
の端子を有し、 かつ一端を第2の論理レベルに接続し、他端を第1の端
子に接続し、制御端子を第3の端子に接続し、第1のス
イッチ手段が導通状態のとき非導通状態になり、第1の
スイッチ手段が非導通状態のとき導通状態になる第3の
スイッチ手段を有することを特徴とする半導体記憶装
置。 - 【請求項4】 請求項1において、 設定回路は、冗長位置情報に基づく信号を入力する第3
の端子を有するとともに、 一端を第1の論理レベルに接続し、他端を第2の端子に
接続し、制御端子を第3の端子に接続し、第1のスイッ
チ手段が導通状態のとき非導通状態になり、第1のスイ
ッチ手段が非導通状態のとき導通状態になる第2のスイ
ッチ手段と、 一端を第2の論理レベルに接続し、他端を第1の端子に
接続し、制御端子を第3の端子に接続し、第1のスイッ
チ手段が導通状態のとき非導通状態になり、第1のスイ
ッチ手段が非導通状態のとき導通状態になる第3のスイ
ッチ手段とを有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項5】 請求項1において、 R/N切替設定手段は、複数のブロックに分割された設
定回路と、冗長位置情報を基にブロック単位で第1の論
理レベルに設定するV設定信号を出力する設定制御回路
とからなり、 設定回路は、冗長位置情報を基に生成される不良位置信
号が入力される第3の端子と、V設定信号が入力される
第4の端子とを有し、 かつ一端を第1の論理レベルに接続し、他端を第2の端
子に接続し、制御端子を第4の端子に接続した第2のス
イッチ手段を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項6】 請求項1において、 R/N切替設定手段は、複数のブロックに分割された設
定回路と、冗長位置情報を基にブロック単位で第2の論
理レベルに設定するG設定信号を出力する設定制御回路
とからなり、 設定回路は、冗長位置情報を基に生成される不良位置信
号が入力される第3の端子と、G設定信号が入力される
第5の端子とを有し、 かつ一端を第2の論理レベルに接続し、他端を第1の端
子に接続し、制御端子を第5の端子に接続した第3のス
イッチ手段を有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項7】 請求項1において、 R/N切替設定手段は、複数のブロックに分割された設
定回路と、冗長位置情報を基にブロック単位で第1の論
理レベルに設定するV設定信号とブロック単位で第2の
論理レベルに設定するG設定信号とを出力する設定制御
回路とからなり、 設定回路は、冗長位置情報を基に生成される不良位置信
号が入力される第3の端子と、V設定信号が入力される
第4の端子と、G設定信号が入力される第5の端子とを
有するとともに、 一端を第1の論理レベルに接続し、他端を第2の端子に
接続し、制御端子を第4の端子に接続した第2のスイッ
チ手段と、 一端を第2の論理レベルに接続し、他端を第1の端子に
接続し、制御端子を第5の端子に接続し、第2のスイッ
チ手段が導通状態のとき非導通状態になり、第2のスイ
ッチ手段が非導通状態のとき導通状態になる第3のスイ
ッチ手段とを有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項8】 請求項1において、 冗長判定手段は、置き替えるノーマルセル列の不良位置
情報をバイナリ・コードに変換して記憶した複数のヒュ
ーズブロックと、ヒューズブロックを選択する信号を出
力するブロック選択回路とからなることを特徴とする半
導体記憶装置。 - 【請求項9】 請求項8において、 ブロック選択回路は、アドレスをデコードし、ヒューズ
ブロックを選択する信号を出力するアドレスデコーダを
有することを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項10】 請求項8において、 ブロック選択回路は、バンク選択信号をもとにヒューズ
ブロックとメモリブロックを選択する信号を出力する回
路からなることを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項11】 請求項8において、 ヒューズブロックは、冗長選択情報を記憶する第1のヒ
ューズ回路と、不良位置情報を記憶する複数の第2のヒ
ューズ回路とからなり、 第2のヒューズ回路は、第1のヒューズ回路を通して第
1の論理レベルに接続されることを特徴とする半導体記
憶装置。 - 【請求項12】 請求項8において、 ヒューズブロックは、冗長選択情報を記憶する第1及び
第2のヒューズと、不良位置情報を記憶する第3及び第
4のヒューズとからなり、 第1のヒューズの一端は第1の論理レベルに接続され、
他端は第2と第3のヒューズの一端に接続されるととも
に、冗長選択信号の出力端に接続され、 第2のヒューズの他端は第2の論理レベルに接続され、 第3のヒューズの他端は第4のヒューズの一端に接続さ
れるとともに、冗長位置信号の出力端に接続され、 第4のヒューズの他端は第2の論理レベルに接続される
ことを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項13】 請求項1において、 R/N切替手段は、複数のメモリブロックのビット線に
共通に接続されることを特徴とする半導体記憶装置。
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