JPH11253732A - クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 短期間に施工でき、レイアウトの変更が容易
に対応でき、さらに、メンテナンスが容易なクリーンル
ームを提供することを目的とする。 【解決手段】 クリーンゾーン１２の天井部に設けられ
たフィルタ装置３６と、クリーンゾーン１２の通気床１
４の下部に形成された下部チャンバ２０と、クリーンゾ
ーン１２の天井部に形成され下部チャンバ２０と連通す
る上部チャンバ３０と、を備え、フィルタ装置３６は、
天井フレーム３２上にシール部を形成することなく載置
された複数のフィルタ部材３８と、これら複数のフィル
タ部材３８を所定数毎に覆う複数のフード部材５８とで
構成され、各フード部材５８は、フィルタ装置３６とは
離間して上部チャンバ３０内に設置されたファン６８に
ダクト６６を介して連絡している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ランニングコスト
の低減化、メンテナンスの簡便性、建設工期の短縮化が
要求されるクリーンルームの改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体をはじめとする電子・精密機器等
は、製品歩留りを向上させるため、空気中の塵・埃等が
除去されたクリーンルーム内で製造される。クリーンル
ームには、単に高い清浄機能が要求されるだけでなく、
ランニングコストの低減、メンテナンスの簡便さ、さら
には、建設工期の短縮化も要求される。

【０００３】以上のような要求性能を実現するため、空
気循環ファンを区分けされたクリーンゾーンに個別に配
置して、清浄化の要求レベルに応じて効果的に清浄する
クリーンルームがある。このクリーンルームとして、図
１１に示すような、ファンフィルタユニットタイプ（以
下「ＦＦＵ」という）が提案されている。

【０００４】このＦＦＵでは、クリーンゾーン１００の
床部にグレーチング１０２を敷設して構築された下部チ
ャンバ１０４が、壁部等に形成されたリターンスペース
１０６を通じてクリーンゾーン１００の天井部に設けら
れたサプライチャンバ１０８と連通している。

【０００５】サプライチャンバ１０８とクリーンゾーン
１００の天井部とは、天井フレーム１１０で仕切られて
おり、この天井フレーム１１０の上に高性能フィルタ１
１２（ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulat
e Air Filter）またはＵＬＰＡフィルタ（ULPA Low Pen
etrative Air Filter）「0.1μｍレベルの粒子を除去で
きるフィルタ」）がセットされている。１枚の高性能フ
ィルタ１１２に対してファンユニット１１４が１台配設
されている。

【０００６】このＦＦＵでは、ファンユニット１１４に
よってサプライチャンバ１０８内の空気を高性能フィル
タ１１２に向かって吹き出し、高性能フィルタ１１２に
よって清浄化し、その新鮮空気をクリーンゾーン１００
に向かって吹き出している。クリーンゾーン１００へ下
流した新鮮空気は、通気床１０２を通過して下部チャン
バ１０４へ流れ、リタンースペース１０６を通じて上部
チャンバ１０８へ循環される。これによって、クリーン
ゾーン１００内の製造環境が保持される。

【０００７】この際、クリーンゾーン１００内を５〜６
mmAq程度の加圧状態に保持するために、サプライチャン
バ１０８内を−１５mmAq程度の負圧状態に保持してい
る。このように、このＦＦＵでは、クリーンゾーン１０
０内が加圧状態に保持されているため、サプライチャン
バ１０８内に新鮮空気が洩れ出しても、この洩れ出した
空気は再び高性能フィルタ１１２によって浄化され、ク
リーンゾーン１００に悪影響を与えることがない。

【０００８】したがって、このＦＦＵでは、高性能フィ
ルタ１１２が天井フレーム１１０上にシール部を形成す
ることなく載置されている。一方、図１２に示すよう
に、高性能フィルタ１１２の上流に区画床１１８を設け
て、天井側空間１１６内にサプライチャンバ１０８と独
立したプレナムチャンバ１２０を構築し、区画床１１８
の上にファンユニット１２２を、数枚の高性能フィルタ
１１２に対して１台配設するようにしたファンモジュー
ルシステム（以下「ＦＭＵ」という」が提案されてい
る。

【０００９】このＦＭＵでは、ファンユニット１２２に
よってサプライチャンバ１０８内の空気をプレナムチャ
ンバ１２０に向かって吹き出し、次に、プレナムチャン
バ１２０に導入された空気を高性能フィルタ１１２によ
って清浄化し、その新鮮空気をクリーンゾーン１００に
向かって吹き出している。この際、クリーンゾーン１０
０内を５〜６mmAq程度の加圧状態に保持するために、サ
プライチャンバ１０８内を−５mmAq程度の負圧状態に保
持するとともに、プレナムチャンバ１２０内を１３〜１
６mmAq程度の加圧状態に保持している。

【００１０】このように、このＦＭＵでは、プレナムチ
ャンバ１２０内の圧力がクリーンゾーン１００内の圧力
より高いため、プレナムチャンバ１２０内の空気が高性
能フィルタ１１２と天井フレーム１１０との間から洩れ
出す虞がある。そこで、このＦＭＵでは、高性能フィル
タ１１２の周囲が天井フレーム１１０上に設けたシール
部に嵌入されて高性能フィルタ１１２を通過しない空気
がクリーンゾーン１００内に流入しないようにされてい
る。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述したＦＦ
Ｕにおいては、１つの高性能フィルタ１１２に対して１
台のファンユニット１１４を設けるため、高性能フィル
タ１１２の面積に対してファンユニット１１４の台数が
多くなるので、イニシャルコストおよびランイングコス
トが高くなり、また、メンテナンスの点においても問題
があった。

【００１２】一方、ＦＭＵでは、ファンユニット１２２
の台数を減らし、また、クリーンゾーン１００とは独立
した天井側空間１１６にファンユニット１２２を配置す
ることで、操業しながらファンユニット交換等のメンテ
ナンスができるようになった。しかし、ファン１２１の
風量を増加させなければ、プレナムチャンバ１２０を通
して空気を高性能フィルタ１１２へ送ることができな
い。このため、ファンユニット１２２が大きくなり、ま
た天井側空間１１６が２つの空間、すなわちサプライチ
ャンバ１０８とプレナムチャンバ１２０に分割されるこ
とにより、これまで以上にクリーンルームの階高Ｈが必
要となる。また、ファンユニット１２２の位置の変更は
区画床１１８の開口１１９の変更とファン１２１の移動
と伴い、区画床１１８に構造的な制約が生じてしまい、
必要に応じて替えられるクリーンゾーン１００の平面レ
イアウトに必ずしも対応できない。

【００１３】さらに、ファンユニット１１４、１２２を
使用するタイプ共通の問題として、ファンの吐出動圧の
影響によって、高性能フィルタ１１２からクリーンゾー
ン１００へ吹き出される風速が不均一になるという現象
がある。ところで、最近の大型半導体工場においては、
図１３、１４に示すようなウオールスルー型の製造機器
に対応するクリーンルームが多く採用されている。この
ウオールスルー型のクリーンルームでは、生産装置１２
６へのウエハの出入口１２８側のクリーン度を高めるゾ
ーン１３０を形成し、その他の領域のクリーン度と異な
らせている。

【００１４】このようなクリーンルームにおいて、ＦＦ
Ｕを適用しようとすると、上述した理由により、イニシ
ャルコストおよびランイングコストが高くなり、また、
メンテナンスの点においても問題があった。一方、ＦＭ
Ｕを適用しようとすると、上述した理由に加えて、クリ
ーンゾーン１００とプレナムチャンバ１２０とを確実に
区画するための天井フレーム１１０とのシール壁１２４
を形成する必要がある。そのため、施工費用が嵩むばか
りか、短期間で施工することができない。

【００１５】また、高性能フィルタ１１２と遮蔽板１３
２との交換のシール工事を必要とし、レイアウト変更に
簡単に対応することができない等の問題があった。本発
明はかかる従来の問題点を解決するためになされたもの
で、その目的は、短期間に施工でき、レイアウトの変更
が容易に対応でき、さらに、メンテナンスが容易なクリ
ーンルームを提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のクリー
ンルームは、クリーンゾーンの天井部に設けられたフィ
ルタ装置と、クリーンゾーンの通気床の下部に形成され
た下部チャンバと、クリーンゾーンの天井部に形成され
下部チャンバと連通する上部チャンバと、を備え、フィ
ルタ装置は、天井フレーム上にシール部を形成すること
なく載置された複数のフィルタ部材と、これら複数のフ
ィルタ部材を所定数毎に覆う複数のフード部材とで構成
され、各フード部材は、フィルタ装置とは離間して上部
チャンバ内に設置されたファンにダクトを介して連絡し
ていることを特徴とする。

【００１７】請求項２に記載のクリーンルームは、請求
項１記載のクリーンルームにおいて、各フード部材内の
複数のフィルタ部材は、フード部材内の相対的加圧部分
に空気流の遮断部が形成されていることを特徴とする。
請求項３に記載のクリーンルームは、請求項１記載のク
リーンルームにおいて、フード部材は、軽量部材により
構成されるとともに、設置場所移動時に積み重ね可能な
形状とされていることを特徴とする。

【００１８】請求項４に記載のクリーンルームは、請求
項１記載のクリーンルームにおいて、ファンは、上部チ
ャンバ内に設置した支持部材に取り付けられていること
を特徴とする。請求項５に記載のクリーンルームは、請
求項２記載のクリーンルームにおいて、空気流の遮断部
は、コーキング材またはシール装置によって形成されて
いることを特徴とする。

【００１９】請求項６に記載のクリーンルームは、請求
項４記載のクリーンルームにおいて、支持部材は、上部
チャンバ内を圧力的に区画することなくファンを設置す
ることができる床材により構成されていることを特徴と
する。請求項７に記載のクリーンルームは、請求項４記
載のクリーンルームにおいて、支持部材は、床スラブに
取り付けた吊持金具により構成されていることを特徴と
する。

【００２０】請求項８に記載のクリーンルームは、請求
項１記載のクリーンルームにおいて、ファンは、クリー
ンルームのファンユニットの水コイル等の冷却装置を備
えていることを特徴とする。

【００２１】（作用）請求項１ないし請求項８に記載の
クリーンルームにおいては、ファンによって上部チャン
バ内の空気をフード部材を介してフィルタ装置に向かっ
て吹き出し、フィルタ装置の高性能フィルタ（フィルタ
部材）によって清浄化し、その新鮮空気をクリーンゾー
ンに向かって吹き出す。

【００２２】この際、クリーンゾーン内を所望の加圧状
態に保持するために、上部チャンバ内をクリーンゾーン
より負圧状態に保持するとともにフード部材内をクリー
ンゾーンより加圧状態に保持する。請求項１ないし請求
項８に記載のクリーンルームにおいては、クリーンゾー
ン内が加圧状態に保持されているため、上部チャンバ内
に新鮮空気が洩れ出しても、この洩れ出した空気は再び
ファンによって吸引されフィルタ装置の高性能フィルタ
によって浄化された後、クリーンゾーンに吹き出され
る。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
より説明する。図１ないし図４は、本発明に係るクリー
ンルームの実施形態を示す。本実施形態は請求項１ない
し請求項６に対応する。本実施形態に係るクリーンルー
ム１０では、クリーンゾーン１２の床部に配設された通
気可能なグレーチング等の通気床１４が、根太１６上に
支持されている。この通気床１４と床スラブ１８との間
に下部チャンバ２０が構築されている。

【００２４】この下部チャンバ２０は、クリーンゾーン
１２を構成する側壁２２とクリーンルーム１０の隣のク
リーンゾーン２４の側壁２６との間に形成され上下に延
出したリターンスペース２８の下部と通じている。この
リターンスペース２８の上部は、クリーンゾーン１２の
天井裏に形成された上部チャンバ３０と連通している。
一方、クリーンゾーン１２の天井部には、格子状の天井
フレーム３２が架け渡されており、この天井フレーム３
２の開口３４の上には、フィルタ装置３６が載置されて
いる。

【００２５】フィルタ装置３６は、空気を清浄する高性
能フィルタ３８（ＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency
Particulate Air Filter）またはＵＬＰＡフィルタ（UL
PA Low Penetrative Air Filter）「0.1μｍレベルの粒
子を除去できるフィルタ」）を５個連設することによっ
て構成されている。すなわち、格子状の天井フレーム３
２の１つの升目には、５個の高性能フィルタ３８が配置
されている。

【００２６】高性能フィルタ３８の枠材４０の各側壁部
４２の上部には、両者を跨るシール装置５０が取り付け
られている。このシール装置５０は、相隣接する枠材４
０の側壁部４２の一方に取り付けた長手方向に溝５２を
形成する樋状金物５１と、枠材４０の側壁部４２の他方
に取り付けた長手方向にこの樋状金物５１の溝５２内に
嵌入する挿入部５４を有する断面Ｌ字状の板状金物５３
とを有する。溝５２内にはポマード状のシール材５６が
充填されている。

【００２７】フィルタ装置３６の上部は、アルミニウム
製のフード部材５８によって覆われている。フード部材
５８は、フィルタ装置３６の上部側からフィルタ装置３
６の枠材４０の側壁部４２の外側を覆う矩形状の立上が
り部６０と、この立上がり部６０に連設するコーン状部
６２と、このコーン部６２の上部に位置する連結部６４
とで構成されている。

【００２８】フード部材５８の立上がり部６０と各枠材
４０の側壁部４２の外側との重合部は、コーキング材等
によってシールされている。フード部材５８の上部の連
結部６４には、ダクト６６が取り付けられている。

【００２９】このダクト６４は、上部チャンバ３０に設
けたエックスパンメタルからなる床７０上に設置したフ
ァン６８に連絡している。また、フィルタ装置３６が取
り付けられていないクリーンゾーン１２の天井部には、
天井板７２が天井フレーム３２上に載置されている。な
お、本実施形態に係るクリーンルームには、従来と同様
に空調装置が連絡している。

【００３０】次に、本実施形態に係るクリーンルームの
施工手順を説明する。先ず、床工事、システム天井フレ
ーム工事を行う。次に、床７０上のファン６８の設置工
事、電源・制御等の付帯工事、システム天井の天井フレ
ーム３２上にフィルタ装置３６の設置とフィルタ装置３
６の上面隣接辺のシール工事を行う。これらの工事は、
床７０上の工事と通気床１４上の工事のため、同時に施
工することが可能である。

【００３１】次に、フィルタ装置３６にフード部材５８
を設置し、フード部材５８とファン６８をダクト６６で
繋ぐことにより完了する。次に、本実施形態に係るクリ
ーンルームの作用を説明する。本実施形態では、クリー
ンゾーン１２内を５〜６mmAq程度の加圧状態に保持する
ために、上部チャンバ３０内を−１０mmAq程度の負圧状
態に保持するとともにフード部材５８内を１３〜１６mm
Aq程度の加圧状態に保持する。

【００３２】図１に示すように、ファン６８によって上
部チャンバ３０内の空気を、ダクト６６を介してフード
部材６２へ送る。フード部材６２に送られた空気は、フ
ィルタ装置３６に向かって吹き出され、フィルタ装置３
６の各高性能フィルタ３８によって清浄化された後、ク
リーンゾーン１２に向かって吹き出される。このよう
に、フード部材５８の大きな空間へファン６８から空気
が吹き出されるので、フード部材５８とフィルタ装置３
６で形成される空間内がほぼ均一な静圧分布となり、高
性能フィルタ３６からの吹き出し風速が均一化される。

【００３３】ここで、クリーンゾーン１２内が加圧状態
に保持されているため、上部チャンバ３０内に新鮮空気
が洩れ出しても、この洩れ出した空気は再びファン６８
によって吸引され、フィルタ装置５８の高性能フィルタ
３８によって浄化された後、クリーンゾーン１２に吹き
出される。クリーンゾーン１２へ下流した新鮮空気は、
通気床１４を通過して下部チャンバ２０へ流れ、リタン
ースペース２８を通じて上部チャンバ３０へ循環され
る。これによって、クリーンゾーン１２内の製造環境が
保持される。

【００３４】以上のように構成された本実施形態によれ
ば、次のような効果が奏される。 （１）ＦＦＵとＦＭＵの効果を併せ持つこととなり、低
原価で高効率のクリーンシステムを構築することができ
る。 （２）上部チャンバ３０が相対的に負圧となるため、簡
易な天井フレーム３２とすることができる。

【００３５】（３）クリーンゾーン１２の天井部には、
フィルタ装置３６と天井部材７２が載置されるだけある
から、取付作業が簡便である。 （４）シール部を形成することなくフィルタ装置３６を
天井フレーム３２上に載置することが可能となる。 （５）上部チャンバ３０内が相対的負圧のため製造機器
レイアウト変更時等は任意の場所でレタンスペースがと
れる。

【００３６】（６）フード部材５８がアルミニウム製の
軽量部材で構成されているので、取付作業が簡便であ
る。また、フード部材５８が５個の高性能フィルタ３４
を一纏めにしたので、中型となり取付作業が簡便とな
る。 （７）フード部材５８が、コーン形状部６２を有するの
で、多数のフード部材５８を同一方向に積み重ねること
ができる。しかも、フード部材５８が軽量部材で構成さ
れているので、持ち運びが容易である。したがって、複
数のフード部材５８を設置場所移動時に積み重ねまたは
プレハブ一部未完成で省スペースの状態で移動できる。

【００３７】（８）フード部材５８がダクト６６により
ファン６８に連絡しているので、ファン６８の設置位置
を自由に選択することができる。 （９）上部チャンバ３０に設けたエックスパンメタルか
らなる床７０上にファン６８を載置したので、クリーン
ルームを稼働しながらでも、床７０上に作業員が乗って
ファン６８のメンテナンスや段階的増設、機能の追加
（ケミカルフィルタの追加や冷却コイルの設置等）が容
易となる。

【００３８】（１０）ファン６８が１フィルタ１ファン
でなく複数の高性能フィルタ３４を処理するため、中型
となり効率がアップできる。図５は、本発明をウオール
スルー型に適用した例を示す。この例は、図１３に対応
する。生産装置１２６の出入口１２８側のクリーン度を
高めるゾーン１３０の上部側の天井フレーム３２に、図
３のように、フィルタ装置３６を載置するとともに、各
フィルタ装置３６にフード部材５８を取り付け、さら
に、フード部材５８にダクト６６を介してファン６８を
連絡する。

【００３９】この例によれば、ＦＭＵのようにフィルタ
とフレームのシール工事を要することなく簡単にウオー
ルスルー型のクリーンルームを形成することができる。
図９および図１０は、請求項８に対応するファン装置の
一実施形態を示す。このファン装置９０は、吸音断熱材
９２を貼着したケース９１内に、モータベース９７を介
してモータ９３を設置するとともに、モータ９３にファ
ン９４を配し、ケース９１の吸込側９５に冷却コイル９
６を取り付け、ケース９１の突出側にダクト６６が取り
付けれるようになっている。

【００４０】ここで、冷却水コイル９６は、クリーンル
ームの空調装置のファンユニットに連絡する。このファ
ン装置９０は、図１に示すファン６８の一部または全部
に変えて床７０上に設置される。

【００４１】そして、このファン装置９０は、各ファン
装置９０毎に回転数制御が可能である。したがって、例
えば、図５に示すような製造ラインにおける生産装置１
２６のウエハの出入部１２８を分担するユニットのみ定
格稼働し、他の回転を絞ることで多大な省エネルギー効
果を得ることができる。なお、上記実施形態では、フィ
ルタ装置３６において、相隣接する各枠材４０の側壁部
４２をシール装置５０によって連設することにより、空
気流の遮断部を形成したが、本発明はこれに限らず、例
えば、図６に示すように、相隣接する各枠材４０の側壁
部４２同士をコーキング材７４によってシールしても良
い。

【００４２】また、図７に示すように、相隣接する各枠
材４０の一方の側壁部４２の側部に断面Ｌ字状の突条７
６を設け、他方の側壁部４２の先端をＬ字状に折り曲げ
てレール部材７８を設け、これらを連設することによ
り、空気流の遮断部を形成しても良い。突条７６によっ
て形成される溝７７内には、シール装置５０の場合と同
様にポマード状のシール材５６が充填されている。

【００４３】さらに、図８に示すように、相隣接する各
枠材４０の一方の側壁部４２の側部の長手方向に、上部
が開口する樋形状の金物８０を設け、他方の側壁部４２
の側部の長手方向に、下部が開口する樋形状の金物８２
を設け、両金物８０，８２の壁部が互いの間に嵌入する
ように、両金物８０，８２を組み付けることにより、空
気流の遮断部を形成しても良い。金物８０によって形成
される溝８４内には、シール装置５０の場合と同様にポ
マード状のシール材５６が充填されている。

【００４４】取り付け、また、フード部材５８をアルミ
ニウムで構成したが、本発明はこれに限らず、基材を厚
紙で構成し、その表面にアルミニウム箔を貼着したり、
合成樹脂をコーティングしたりする等の表面処理を施し
た軽量部材で構成しても良い。

【００４５】さらに、上部チャンバ３０に設けたエック
スパンメタルからなる床７０上にファン６８を載置した
が、本発明はこれに限らず、上部チャンバ３０内の圧力
を負圧状態に保持して、ファン６８を支持できるもので
あれば、例えば、開口を有する板材や、床スラブ１８か
ら垂下する吊りボルト等の金具でも良い（請求項７）。
また、５個の高性能フィルタ３４を連設したフィルタ装
置３６について説明したが、本発明はこれに限らず、こ
れは、１フィルタ１ファンの関係を省くための手段であ
るから、２個以上の高性能フィルタ３４であればその個
数は問わない。

【００４６】

【発明の効果】請求項１ないし請求項８に記載のクリー
ンルームによれば、所望の領域の天井フレーム上に複数
の高性能フィルタを備えたフィルタ装置をシール部無し
に載置し、そのフィルタ装置に上部チャンバと区画した
フード部材を取り付け、そのフード部材に上部チャンバ
内に設置したファンをダクトを介して連絡しているの
で、クリーンゾーンの形状に拘わらず簡便にクリーンル
ームを構成することができる。

【００４７】したがって、施工が容易であるとともに、
レイアウト変更に対し容易に対応することが可能とな
る。その結果、ランニングコストを下げることができ、
安価な半導体を提供することが可能となる。また、ファ
ンとフィルタ部材とを分離できるとともに、天井フレー
ムに対するシール構造を必要としないので、従来のＦＭ
ＵやＦＦＵに比して施工が容易で、製造機器レイアウト
変更時の対応が容易である。さらに、請求項８に記載の
クリーンルームによれば、フード部材で区画されたゾー
ン毎に温度をコントロールすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態に係るクリーンルームを示す側断面
図である。

【図２】図１における要部を拡大した側面図である。

【図３】図１における要部を拡大した平面図である。

【図４】図１におけるフィルタ装置の要部を拡大した縦
断面図である。

【図５】図１に示すクリーンルームの使用例を示す平面
図である。

【図６】フィルタ装置のシール構造を示す斜視図であ
る。

【図７】フィルタ装置のシール構造を示す縦断面図であ
る。

【図８】フィルタ装置のシール構造を示す縦断面図であ
る。

【図９】ファン装置を示す縦断面図である。

【図１０】ファン装置を示す平面図である。

【図１１】従来のクリーンルームを示す側断面図であ
る。

【図１２】従来のクリーンルームを示す側断面図であ
る。

【図１３】従来のウオールスルー型クリーンルームの平
面図である。

【図１４】図１３の従来のウオールスルー型クリーンル
ームの側断面図である。

【符号の説明】

１０ クリーンルーム １２ クリーンゾーン １４ 通気床 ２０ 下部チャンバ ２８ リターンスペース ３０ 上部チャンバ ３２ 天井フレーム ３６ フィルタ装置 ３８ 高性能フィルタ ４０ 枠材 ５０ シール装置 ５８ フード部材 ６６ ダクト ６８ ファン ７０ 床

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーンゾーンの天井部に設けられたフ
   ィルタ装置と、 クリーンゾーンの通気床の下部に形成された下部チャン
   バと、 クリーンゾーンの天井部に形成され下部チャンバと連通
   する上部チャンバと、を備え、 フィルタ装置は、天井フレーム上にシール部を形成する
   ことなく載置された複数のフィルタ部材と、これら複数
   のフィルタ部材を所定数毎に覆う複数のフード部材とで
   構成され、 各フード部材は、フィルタ装置とは離間して上部チャン
   バ内に設置されたファンにダクトを介して連絡している
   ことを特徴とするクリーンルーム。
2. 【請求項２】 請求項１記載のクリーンルームにおい
   て、 各フード部材内の複数のフィルタ部材は、フード部材内
   の相対的加圧部分に空気流の遮断部が形成されているこ
   とを特徴とするクリーンルーム。
3. 【請求項３】 請求項１記載のクリーンルームにおい
   て、 フード部材は、軽量部材により構成されるとともに、設
   置場所移動時に積み重ね可能な形状とされていることを
   特徴とするクリーンルーム。
4. 【請求項４】 請求項１記載のクリーンルームにおい
   て、 ファンは、上部チャンバ内に設置した支持部材に取り付
   けられていることを特徴とするクリーンルーム。
5. 【請求項５】 請求項２記載のクリーンルームにおい
   て、 空気流の遮断部は、コーキング材またはシール装置によ
   って形成されていることを特徴とするクリーンルーム。
6. 【請求項６】 請求項４記載のクリーンルームにおい
   て、 支持部材は、上部チャンバ内を圧力的に区画することな
   くファンを設置することができる床材により構成されて
   いることを特徴とするクリーンルーム。
7. 【請求項７】 請求項４記載のクリーンルームにおい
   て、 支持部材は、床スラブに取り付けた吊持金具により構成
   されていることを特徴とするクリーンルーム。
8. 【請求項８】 請求項１記載のクリーンルームにおい
   て、 ファンは、クリーンルームのファンユニットの水コイル
   等の冷却装置を備えていることを特徴とするクリーンル
   ーム。