JPH09159239A

JPH09159239A - クリーンルーム

Info

Publication number: JPH09159239A
Application number: JP31869595A
Authority: JP
Inventors: Osamu Fukazawa; 修深沢; Masaru Takaishi; 優高石
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1995-12-07
Filing date: 1995-12-07
Publication date: 1997-06-20

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンルームの汚染を最小限に抑え、かつ
低価格で清浄度を向上させる。【解決手段】作業室１の天井２に設置されかつＵＬＰ
Ａフィルタ３と小形送風機４とからなるＦＦＵ５と、天
井２の所定箇所に沿いかつＦＦＵ５と対向してＦＦＵ５
の送風口近傍に設置されたパンチング板付きルーバー６
と、ＦＦＵ５から離れてＦＦＵ５とほぼ対向して設置さ
れたグレーティング床７とからなり、ＦＦＵ５の設置箇
所１７または未設置箇所１８に応じて、孔による開口率
が異なったパンチング板付きルーバー６が設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工程ま
たは電子部品の検査工程などで使用するクリーンルーム
に関し、特に、トンネルベイ方式の作業室の清浄度を向
上させるクリーンルームに関する。

【０００２】

【従来の技術】以下に説明する技術は、本発明を研究、
完成するに際し、本発明者によって検討されたものであ
り、その概要は次のとおりである。

【０００３】半導体製造工程の検査工程などで使用され
るクリーンルームの内部の作業エリアの配置方式には、
半導体製造装置の重要部位が配置された作業室であるプ
ロセスエリアと、前記プロセスエリアのバックアップエ
リアであるサービスエリアとがトンネル方式で繰り返し
てレイアウトされたトンネルベイ方式と呼ばれるものが
ある。

【０００４】なお、プロセスエリアは、半導体製造装置
などの処理装置が配置された生産領域と処理装置を操作
する作業者が配置された作業領域とからなり、作業領域
の天井付近には、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Ai
r)フィルタなどと小形送風機とからなる空気清浄器であ
るファンフィルタユニット（Fan Filter Unit,略してＦ
ＦＵともいう）が設置されている。

【０００５】さらに、ファンフィルタユニットには、そ
の未設置箇所に対してもクリーンエアーを吹き出すよう
に、横吹き出し口付きのスカート部材を取り付けてい
る。

【０００６】ここで、ファンフィルタユニットが設置さ
れたクリーンルームについては、例えば、株式会社工業
調査会、１９９４年１１月２５日発行、「電子材料１１
月号別冊、超ＬＳＩ製造・試験装置ガイドブック＜１９
９５年版＞」、１３３〜１４０頁に記載されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した技
術においては、ファンフィルタユニットから噴流されて
形成された気流が局所的にファンフィルタユニットの斜
め下方に向かうため、前記気流が層流（ファンフィルタ
ユニットから垂直方向に流れる）を形成せず、気流の巻
き込みを発生させるという問題が起こる。

【０００８】そのため、ファンフィルタユニットの未設
置箇所に対しても他のファンフィルタユニットを増設し
なければならない。なお、増設するファンフィルタユニ
ットには、既存のものと同仕様のもの、もしくは特別注
文のものなどがある。

【０００９】しかし、ファンフィルタユニットを増設す
るためには、クリーンルームの天井を切断し、開口工事
を行わなければならない。

【００１０】この場合、天井切断時に大量の塵埃や金属
片が飛散し、クリーンルームを汚染するという問題が発
生する。

【００１１】また、ファンフィルタユニットを増設しよ
うとすると、その本体の購入や前記した付帯工事が必要
となるため、費用が高くなるという問題が発生し、かつ
工事期間も長くなるため、その間製造ラインを停止させ
なければならないという問題も発生する。

【００１２】本発明の目的は、汚染を最小限に抑え、か
つ低価格で清浄度を向上させるクリーンルームを提供す
ることにある。

【００１３】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１５】すなわち、本発明のクリーンルームは、外
部雰囲気と遮断されかつ高清浄度な雰囲気を有する作業
室を備えたものであり、前記作業室の天井に設置されか
つフィルタと送風機とからなる空気清浄器と、前記天井
の所定箇所に沿いかつ前記空気清浄器と対向して前記空
気清浄器の送風口近傍に設置された多孔付き板状部材
と、前記空気清浄器から離れて前記空気清浄器とほぼ対
向して設置された排気手段とを有し、前記空気清浄器の
設置または未設置箇所に応じて、孔による開口率が異な
った前記多孔付き板状部材が設けられているものであ
る。

【００１６】これにより、空気清浄器から噴流されて形
成される気流を制御することができるため、気流の巻き
込みや乱流などを防止することができる。

【００１７】その結果、気流を層流とすることができる
ため、浮遊塵埃の溜り場が形成されないことにより、ク
リーンルーム内の清浄度を向上させることができ、さら
に、その雰囲気を維持することができる。

【００１８】なお、本発明のクリーンルームは、前記多
孔付き板状部材の孔による開口率が前記孔の孔径によっ
て決定され、前記孔の孔径ごとに種類分けされた多孔付
き板状部材が、前記空気清浄器の設置または未設置箇所
に応じてそれぞれ設置されているものである。

【００１９】さらに、本発明のクリーンルームは、前記
作業室の天井に沿って設置された種々の多孔付き板状部
材において、前記空気清浄器の設置箇所に応じた対向箇
所には小さな孔径の孔を有する多孔付き板状部材が配置
され、前記空気清浄器の未設置箇所に応じた非対向箇所
には大きな孔径の孔を有する多孔付き板状部材が配置さ
れているものである。

【００２０】また、本発明のクリーンルームは、前記多
孔付き板状部材を支持するフレーム部材が設けられ、前
記多孔付き板状部材が前記フレーム部材上に着脱可能に
載置されているものである。

【００２１】なお、本発明のクリーンルームは、前記多
孔付き板状部材の孔の孔径の種類ごとに前記多孔付き板
状部材を仕切る仕切り板が設けられているものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。

【００２３】図１は本発明によるクリーンルームの構造
の実施の形態の一例を示す図であり、（ａ）は部分平面
図、（ｂ）は（ａ）のＡＡ断面を示す部分断面図、
（ｃ）は（ａ）のＢＢ断面を示す部分断面図、図２は本
発明によるクリーンルームの構造の実施の形態の一例を
示す部分斜視図、図３は本発明のクリーンルームに設置
された多孔付き板状部材の構造の実施の形態の一例を示
す斜視図、図４は本発明のクリーンルームに設置された
多孔付き板状部材の構造の実施の形態の一例を示す部分
斜視図、図５は本発明のクリーンルームにおける気流の
シミュレーションの実施の形態の一例を示すシミュレー
ションテスト図である。

【００２４】なお、本実施の形態で説明するクリーンル
ームは、外部雰囲気と遮断されかつ高清浄度な雰囲気を
有するトンネルベイ方式の作業室１を備えたものであ
り、作業室１内で被処理物の一例である半導体ウェハの
検査などが行われる。

【００２５】本実施の形態のクリーンルームの構成につ
いて説明すると、作業室１の天井２に設置されかつＵＬ
ＰＡフィルタ３（フィルタ）と小形送風機４（送風機）
とからなる空気清浄器であるファンフィルタユニット
（以降、ＦＦＵと略す）５と、天井２の所定箇所に沿い
かつＦＦＵ５と対向してＦＦＵ５の送風口５ａ近傍に設
置された多孔付き板状部材であるパンチング板付きルー
バー６と、ＦＦＵ５から離れてＦＦＵ５とほぼ対向して
設置された排気手段であるグレーティング床７とからな
り、ＦＦＵ５の設置箇所１７または未設置箇所１８に応
じてパンチング板付きルーバー６の孔６ａによる開口率
が異なっているものである。

【００２６】ここで、本実施の形態によるクリーンルー
ムの作業室１は、半導体ウェハに処理を行う処理装置で
ある半導体製造装置８が配置された生産領域１ａと半導
体製造装置８を操作する作業者９が配置された作業領域
１ｂとからなり、パンチング板付きルーバー６が天井２
の所定箇所、すなわち作業領域１ｂの天井２に沿ってか
つＦＦＵ５と対向して設けられている。

【００２７】なお、ＦＦＵ５はトンネルベイ方式の作業
室１の奥方向１６に向かってほぼ所定間隔（例えば、２
０００ｍｍ程度の間隔）で、作業領域１ｂの天井２と生
産領域１ａの天井２との両方に取り付けられている。た
だし、作業領域１ｂに取り付けられたＦＦＵ５の方が、
作業者９が作業を行い易いように高い位置に取り付けら
れている。

【００２８】さらに、作業室１の側壁１５には、ガラス
窓などの開閉自在（閉じた状態では密閉可能）なガラス
スクリーン１５ａが設けられている。

【００２９】また、パンチング板付きルーバー６は、ト
ンネルベイ方式の作業室１における作業領域１ｂの天井
２の直下２００ｍｍ程度の位置に作業室１の奥方向１６
に向かって敷き詰められている。

【００３０】ここで、本実施の形態による排気手段はグ
レーティング床７である。つまり、ＦＦＵ５からの空気
の噴流によって形成された気流１４は、２層構造（３層
以上でもよい）を有したグレーティング床７の床裏に排
気される。

【００３１】したがって、作業室１内の全ての気流１４
は、天井２からグレーティング床７に流れて排気され
る。

【００３２】また、前記クリーンルームに設置されたパ
ンチング板付きルーバー６においては、パンチング板付
きルーバー６の孔６ａによる開口率が孔６ａの孔径によ
って決定され、孔６ａの孔径ごとに種類分けされたパン
チング板付きルーバー６が、ＦＦＵ５の設置箇所１７ま
たは未設置箇所１８に応じてそれぞれ設置されている。

【００３３】さらに、作業室１の天井２に沿って設置さ
れた種々のパンチング板付きルーバー６において、ＦＦ
Ｕ５の設置箇所１７に応じた対向箇所１０（ＦＦＵ５の
設置箇所１７の直下）には小さな孔径の孔６ａを有する
パンチング板付きルーバー６が配置され、ＦＦＵ５の未
設置箇所１８に応じた非対向箇所１１（ＦＦＵ５の未設
置箇所１８の直下）には大きな孔径の孔６ａを有するパ
ンチング板付きルーバー６が配置されている。

【００３４】本実施の形態のクリーンルームに設置され
たパンチング板付きルーバー６（図３参照）の詳細構造
について説明すると、多孔付き板状部材であるパンチン
グ板付きルーバー６は、多孔付き薄板部材６ｂと格子状
を成すルーバー６ｃとからなる２層構造のものである。

【００３５】ここで、多孔付き薄板部材６ｂは、例え
ば、樹脂などによって形成され、その厚さが1.５ｍｍ程
度である。さらに、多孔付き薄板部材６ｂは複数個の孔
６ａを有しており、例えば、孔径４〜５ｍｍ程度の孔６
ａである。

【００３６】また、ルーバー６ｃは、例えば、樹脂など
によって形成され、その厚さが２０ｍｍ程度である。さ
らに、ルーバー６ｃは格子状のものである。

【００３７】つまり、パンチング板付きルーバー６は、
多孔付き薄板部材６ｂとルーバー６ｃとを接合した２層
構造のものである。

【００３８】なお、本実施の形態によるパンチング板付
きルーバー６は、孔６ａの大きさによって種類分けさ
れ、予め孔６ａの大きさによって種々の開口率を有する
パンチング板付きルーバー６が用意されている。

【００３９】また、本実施の形態によるクリーンルーム
には、パンチング板付きルーバー６を支持するフレーム
部材であるＬ形フレーム１２が設けられ、パンチング板
付きルーバー６はＬ形フレーム１２上に着脱可能に載置
されている。

【００４０】ここで、Ｌ形フレーム１２は、例えば、生
産領域１ａに設置されたＦＦＵ５などにねじ止めされて
いる。

【００４１】また、本実施の形態によるクリーンルーム
には、パンチング板付きルーバー６の孔６ａの孔径の種
類ごとにパンチング板付きルーバー６を仕切る仕切り板
１３が設けられている。

【００４２】つまり、種々の開口率のパンチング板付き
ルーバー６が配置される際に、各々のパンチング板付き
ルーバー６が仕切り板１３によって仕切られている。

【００４３】なお、本実施の形態によるクリーンルーム
に設置されたパンチング板付きルーバー６は、ＦＦＵ５
の設置箇所１７または未設置箇所１８に応じてその開口
率が異なっているものであり、その一例として、作業室
１の天井２に沿って設置された種々のパンチング板付き
ルーバー６において、ＦＦＵ５の設置箇所１７に応じた
対向箇所１０（ＦＦＵ５の設置箇所１７の直下）には開
口率１０〜２０％のパンチング板付きルーバー６が配置
され、ＦＦＵ５の未設置箇所１８に応じた非対向箇所１
１（ＦＦＵ５の未設置箇所１８の直下）には開口率３０
〜３５％のパンチング板付きルーバー６が、それぞれ交
互に配置されている（図４参照）。

【００４４】これは、図５に示すクリーンルームにおけ
る作業室１の気流１４のシミュレーションテスト図によ
って求めたものである。

【００４５】ここで、図５に示すクリーンルームにおけ
る作業室１の気流１４のシミュレーションテスト図は、
孔６ａによる開口率をパラメータとし、６つのケース
（ケース１〜ケース６）における気流１４の状態をコン
ピュータを用いてシミュレーションしたものである。

【００４６】これにより、ケース５に示す気流１４の状
態が最も層流状態に近く、その場合の開口率の理論値が
コンピュータによって３２.6％（非対向箇所１１）およ
び１６.6％（対向箇所１０）というように算出されたた
め、それぞれの箇所に前記したような範囲の開口率を有
するパンチング板付きルーバー６を各々配置することが
好ましいという結果が得られた。

【００４７】なお、本実施の形態のクリーンルームによ
れば、以下のような作用効果が得られる。

【００４８】すなわち、クリーンルームの作業室１の天
井２の所定箇所（本実施の形態においては、作業領域１
ｂの天井２）に沿ってパンチング板付きルーバー６がＦ
ＦＵ５の送風口５ａ近傍に設置され、さらに、ＦＦＵ５
とほぼ対向して排気手段であるグレーティング床７が設
置され、ＦＦＵ５の設置箇所１７または未設置箇所１８
に応じてパンチング板付きルーバー６の孔６ａによる開
口率が異なっていることにより、ＦＦＵ５から噴流され
て形成される気流１４を制御することができる。

【００４９】これにより、気流１４の巻き込みや乱流な
どを防止することができ、気流１４を層流とすることが
できる。

【００５０】その結果、浮遊塵埃の溜り場が形成されな
いため、クリーンルーム内の清浄度を向上させることが
でき、かつ、その雰囲気を維持することができる。

【００５１】なお、開口率の異なったパンチング板付き
ルーバー６を設置することにより、作業室１の清浄度ク
ラスを、例えば、クラス１００からクラス１０に向上さ
せることができる。

【００５２】また、ＦＦＵ５を増設する必要がないた
め、製品製造ラインにおいて、天井２の切断や開口工事
も実施しなくて済むため、クリーンルーム内が汚染され
ることを防止でき、かつ少ない台数のＦＦＵ５によって
広範囲の空気清浄を行うことができる。

【００５３】これにより、製品への悪影響を抑えること
ができ、さらに、クリーンルームの構造上、ＦＦＵ５の
設置台数が制約される場所の清浄度をより向上させるこ
とができる。

【００５４】また、ＦＦＵ５を増設しないことにより、
前記工事を実施しないため、工事期間を短縮することが
でき、低価格でクリーンルーム内の清浄度を向上させる
ことができる。

【００５５】なお、パンチング板付きルーバー６の孔６
ａによる開口率が孔６ａの孔径によって決定され、孔６
ａの孔径ごとに種類分けされたパンチング板付きルーバ
ー６をＦＦＵ５の設置箇所１７に応じてそれぞれ設置す
るため、予め種々の孔径の孔６ａを有するパンチング板
付きルーバー６を準備することにより、開口率を細かく
設定および変更することができる。これにより、ＦＦＵ
５の仕様（風量や風速など）によってパンチング板付き
ルーバー６の開口率を変えることができるため、天井２
の全面に対してのクリーンユニット化が図れる。

【００５６】また、作業室１の天井２に沿って設置され
た種々のパンチング板付きルーバー６において、ＦＦＵ
５の設置箇所１７に応じた対向箇所１０には小さな孔径
の孔６ａを有するパンチング板付きルーバー６が配置さ
れ、ＦＦＵ５の未設置箇所１８に応じた非対向箇所１１
には大きな孔径の孔６ａを有するパンチング板付きルー
バー６が配置されていることにより、多様なトンネルベ
イ方式の作業室１に対しても、その清浄度を向上させる
ことができる。

【００５７】さらに、パンチング板付きルーバー６を支
持するＬ形フレーム１２が設けられ、パンチング板付き
ルーバー６がＬ形フレーム１２上に着脱可能に載置され
ていることにより、パンチング板付きルーバー６を容易
に交換することができ、かつ、パンチング板付きルーバ
ー６の落下も防止することができる。

【００５８】なお、Ｌ形フレーム１２をねじ止めによっ
て固定することにより、パンチング板付きルーバー６の
作業領域１ｂの天井２からの設置距離を自由に設定する
ことができるため、グレーティング床７などの床面から
の高さ制限に対する対応を広くすることができる。

【００５９】また、パンチング板付きルーバー６の孔６
ａの孔径の種類ごとにパンチング板付きルーバー６を仕
切る仕切り板１３が設けられていることにより、孔６ａ
の開口率の変更などによってパンチング板付きルーバー
６を交換する際にも、交換するパンチング板付きルーバ
ー６の設置位置を容易に判別することができる。

【００６０】さらに、仕切り板１３によってパンチング
板付きルーバー６同士の隣接方向に対する位置ずれを防
止することができる。

【００６１】また、パンチング板付きルーバー６が多孔
付き薄板部材６ｂと格子状を成すルーバー６ｃとからな
る２層構造のパンチング板付きルーバー６であることに
より、その強度を向上させることができる。

【００６２】以上、本発明者によってなされた発明を発
明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は
前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言う
までもない。

【００６３】例えば、前記実施の形態においては、多孔
付き板状部材の種類が、孔の孔径によって分けられた場
合を説明したが、多孔付き板状部材の種類分けは、孔の
数などによってその開口率が変えられて分けられたもの
であってもよい。

【００６４】また、孔の形状についても、円形だけでな
く、楕円や四角形などのように他の形状であってもよ
い。

【００６５】さらに、多孔付き板状部材は２層構造に限
らず、多層構造であっても、また、その強度が保たれて
いれば、１層構造であってもよい。

【００６６】また、前記実施の形態においては、クリー
ンルームが半導体製造工程における被処理物（半導体ウ
ェハ）の検査工程の場合を説明したが、前記クリーンル
ームは、他の半導体製造工程に用いられてもよく、さら
に、半導体以外の他の電子部品などの検査工程などで使
用されるものであってもよい。

【００６７】

【発明の効果】本願によって開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００６８】（１）．クリーンルームの作業室の天井の
所定箇所に沿って多孔付き板状部材が空気清浄器の送風
口近傍に設置され、さらに、空気清浄器とほぼ対向して
排気手段が設置され、空気清浄器の設置または未設置箇
所に応じて多孔付き板状部材の孔による開口率が異なっ
ていることにより、空気清浄器から噴流されて形成され
る気流を制御することができる。これにより、気流の巻
き込みや乱流などを防止することができ、気流を層流と
することができる。その結果、浮遊塵埃の溜り場が形成
されないため、クリーンルーム内の清浄度を向上させる
ことができ、かつ、その雰囲気を維持することができ
る。

【００６９】（２）．空気清浄器を増設する必要がない
ため、製品製造ラインにおいて、天井切断や開口工事も
実施しなくて済むため、クリーンルーム内が汚染される
ことを防止できる。これにより、製品への悪影響を抑え
ることができる。

【００７０】（３）．空気清浄器を増設しないことによ
り、前記工事を実施しないため、工事期間を短縮するこ
とができ、低価格でクリーンルーム内の清浄度を向上さ
せることができる。

【００７１】（４）．多孔付き板状部材の孔による開口
率が前記孔の孔径によって決定され、前記孔の孔径ごと
に種類分けされた多孔付き板状部材を空気清浄器の設置
箇所に応じてそれぞれ設置するため、予め種々の孔径の
孔を有する多孔付き板状部材を準備することにより、開
口率を細かく設定および変更することができる。

【００７２】（５）．作業室の天井に沿って設置された
種々の多孔付き板状部材において、空気清浄器の設置箇
所に応じた対向箇所には小さな孔径の孔を有する多孔付
き板状部材が配置され、空気清浄器の未設置箇所に応じ
た非対向箇所には大きな孔径の孔を有する多孔付き板状
部材が配置されていることにより、多様なトンネルベイ
方式の作業室に対しても、その清浄度を向上させること
ができる。

【００７３】（６）．多孔付き板状部材を支持するフレ
ーム部材が設けられ、多孔付き板状部材がフレーム部材
上に着脱可能に載置されていることにより、多孔付き板
状部材を容易に交換することができる。

【００７４】（７）．フレーム部材をねじ止めによって
固定することにより、多孔付き板状部材の作業領域の天
井からの設置距離を自由に設定することができるため、
床面からの高さ制限に対する対応を広くすることができ
る。

【００７５】（８）．多孔付き板状部材の孔の孔径の種
類ごとに多孔付き板状部材を仕切る仕切り板が設けられ
ていることにより、孔の開口率の変更などによって多孔
付き板状部材を交換する際にも、交換する多孔付き板状
部材の設置位置を容易に判別することができる。さら
に、仕切り板によって多孔付き板状部材同士の隣接方向
に対する位置ずれを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるクリーンルームの構造の実施の形
態の一例を示す図であり、（ａ）は部分平面図、（ｂ）
は（ａ）のＡＡ断面を示す部分断面図、（ｃ）は（ａ）
のＢＢ断面を示す部分断面図である。

【図２】本発明によるクリーンルームの構造の実施の形
態の一例を示す部分斜視図である。

【図３】本発明のクリーンルームに設置された多孔付き
板状部材の構造の実施の形態の一例を示す斜視図であ
る。

【図４】本発明のクリーンルームに設置された多孔付き
板状部材の構造の実施の形態の一例を示す部分斜視図で
ある。

【図５】本発明のクリーンルームにおける気流のシミュ
レーションの実施の形態の一例を示すシミュレーション
テスト図である。

【符号の説明】

１作業室１ａ生産領域１ｂ作業領域２天井３ＵＬＰＡフィルタ（フィルタ）４小形送風機（送風機）５ＦＦＵ（空気清浄器）５ａ送風口６パンチング板付きルーバー（多孔付き板状部材）６ａ孔６ｂ多孔付き薄板部材６ｃルーバー７グレーティング床（排気手段）８半導体製造装置（処理装置）９作業者１０対向箇所１１非対向箇所１２Ｌ形フレーム（フレーム部材）１３仕切り板１４気流１５側壁１５ａガラススクリーン１６奥方向１７設置箇所１８未設置箇所

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】外部雰囲気と遮断され、かつ高清浄度な
雰囲気を有する作業室を備えたクリーンルームであっ
て、前記作業室の天井に設置され、かつフィルタと送風機と
からなる空気清浄器と、前記天井の所定箇所に沿い、かつ前記空気清浄器と対向
して前記空気清浄器の送風口近傍に設置された多孔付き
板状部材と、前記空気清浄器から離れて前記空気清浄器とほぼ対向し
て設置された排気手段とを有し、前記空気清浄器の設置または未設置箇所に応じて、孔に
よる開口率が異なった前記多孔付き板状部材が設けられ
ていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項２】請求項１記載のクリーンルームであっ
て、前記多孔付き板状部材の孔による開口率が前記孔の
孔径によって決定され、前記孔の孔径ごとに種類分けさ
れた多孔付き板状部材が、前記空気清浄器の設置または
未設置箇所に応じてそれぞれ設置されていることを特徴
とするクリーンルーム。
【請求項３】請求項２記載のクリーンルームであっ
て、前記作業室の天井に沿って設置された種々の多孔付
き板状部材において、前記空気清浄器の設置箇所に応じ
た対向箇所には小さな孔径の孔を有する多孔付き板状部
材が配置され、前記空気清浄器の未設置箇所に応じた非
対向箇所には大きな孔径の孔を有する多孔付き板状部材
が配置されていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項４】請求項１，２または３記載のクリーンル
ームであって、前記作業室は被処理物に処理を行う処理
装置が配置された生産領域と前記処理装置を操作する作
業者が配置された作業領域とからなり、前記多孔付き板
状部材が前記作業領域の天井に沿って設けられているこ
とを特徴とするクリーンルーム。
【請求項５】請求項１，２，３または４記載のクリー
ンルームであって、前記多孔付き板状部材を支持するフ
レーム部材が設けられ、前記多孔付き板状部材が前記フ
レーム部材上に着脱可能に載置されていることを特徴と
するクリーンルーム。
【請求項６】請求項１，２，３，４または５記載のク
リーンルームであって、前記多孔付き板状部材の孔の孔
径の種類ごとに前記多孔付き板状部材を仕切る仕切り板
が設けられていることを特徴とするクリーンルーム。
【請求項７】請求項１，２，３，４，５または６記載
のクリーンルームであって、前記作業室の天井に沿った
多孔付き板状部材の設置箇所において、前記空気清浄器
の設置箇所に応じた対向箇所には開口率１０〜２０％の
多孔付き板状部材が設置され、前記空気清浄器の未設置
箇所に応じた非対向箇所には開口率３０〜３５％の多孔
付き板状部材が設置されていることを特徴とするクリー
ンルーム。