JPH11255332A - 基板収納ケース - Google Patents
基板収納ケースInfo
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- JPH11255332A JPH11255332A JP7663898A JP7663898A JPH11255332A JP H11255332 A JPH11255332 A JP H11255332A JP 7663898 A JP7663898 A JP 7663898A JP 7663898 A JP7663898 A JP 7663898A JP H11255332 A JPH11255332 A JP H11255332A
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板を自動搬送車で安定に搬送することがで
き、また、処理装置において上カバーを容易に開閉する
ことができ、さらに、基板の上面および下面に傷をつけ
たりゴミを発生することのない基板収納ケースを提供す
ることである。 【構成】 下カバーの外周にケース固定手段と内部の左
右に３個以上の段付基板支持具と内部の前後に２個以上
の基板抑止具を具備し、前記上カバーの外周にケース開
閉手段を具備し、また、上カバーに基板端面を斜めに押
さえる基板押え具を具備したことを特徴とする。
き、また、処理装置において上カバーを容易に開閉する
ことができ、さらに、基板の上面および下面に傷をつけ
たりゴミを発生することのない基板収納ケースを提供す
ることである。 【構成】 下カバーの外周にケース固定手段と内部の左
右に３個以上の段付基板支持具と内部の前後に２個以上
の基板抑止具を具備し、前記上カバーの外周にケース開
閉手段を具備し、また、上カバーに基板端面を斜めに押
さえる基板押え具を具備したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体用ホトマスク、
半導体ウエハ等枚葉式の基板の収納ケースにに関する。
半導体ウエハ等枚葉式の基板の収納ケースにに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体用ホトマスクを例にとり説明す
る。半導体用ホトマスクは１５２ｍｍ正方で厚み６．３
ｍｍの石英板に約０．１μｍのクロム膜をスパッタし、
その上にレジストを塗布した基板にパターンの描画、現
像、エッチング、レジスト剥離などの処理を行って完成
する。
る。半導体用ホトマスクは１５２ｍｍ正方で厚み６．３
ｍｍの石英板に約０．１μｍのクロム膜をスパッタし、
その上にレジストを塗布した基板にパターンの描画、現
像、エッチング、レジスト剥離などの処理を行って完成
する。
【０００３】ホトマスクの製造工程において、従来は、
多段式のカセットにホトマスク５〜１０枚を収納し、装
置にセットして処理を行っていたが、自動搬送車を用い
て搬送した時、ホトマスクが移動するなど安定性がなく
自動化には適さないという欠陥がある。
多段式のカセットにホトマスク５〜１０枚を収納し、装
置にセットして処理を行っていたが、自動搬送車を用い
て搬送した時、ホトマスクが移動するなど安定性がなく
自動化には適さないという欠陥がある。
【０００４】また、枚葉式の基板収納ケースもあるが、
蓋がヒンジになっているため処理装置に使用した時、そ
の開閉に複雑な機構が必要になるという欠陥があった。
蓋がヒンジになっているため処理装置に使用した時、そ
の開閉に複雑な機構が必要になるという欠陥があった。
【０００５】さらに、従来の枚葉式基板収納ケースは、
ホトマスクの安定を確保するためホトマスクの上面を押
さえるので、ホトマスクに傷をつけたりゴミが発生する
という欠陥があった。
ホトマスクの安定を確保するためホトマスクの上面を押
さえるので、ホトマスクに傷をつけたりゴミが発生する
という欠陥があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、自動
搬送機で安定に搬送することのできる基板収納ケースを
提供することである。
搬送機で安定に搬送することのできる基板収納ケースを
提供することである。
【０００７】また、処理装置において、上カバーを容易
に開閉することのできる基板収納ケースを提供すること
である。
に開閉することのできる基板収納ケースを提供すること
である。
【０００８】さらに、ホトマスクの上面および下面に傷
をつけたり、ゴミを発生しない基板収納ケースを提供す
ることである。
をつけたり、ゴミを発生しない基板収納ケースを提供す
ることである。
【０００９】
【問題を解決するための手段】本発明は、下カバーの外
周にケース固定手段と内部の左右に３個以上の段付基板
支持具と内部の前後に２個以上の基板抑止具を具備し、
上カバーの外周にケース開閉手段を具備したことを特徴
とする。
周にケース固定手段と内部の左右に３個以上の段付基板
支持具と内部の前後に２個以上の基板抑止具を具備し、
上カバーの外周にケース開閉手段を具備したことを特徴
とする。
【００１０】また、上カバーに、基板端面を斜めに押え
る基板押え具を具備したことを特徴とする。
る基板押え具を具備したことを特徴とする。
【００１１】
【実施例】以下本発明を図面に基づいて説明する。図１
は、本発明の基板収納ケースの斜視図、図２は、本発明
の基板収納ケースを閉じた時の詳細縦断面図である。
は、本発明の基板収納ケースの斜視図、図２は、本発明
の基板収納ケースを閉じた時の詳細縦断面図である。
【００１２】ホトマスク１は、下カバー２の円柱状の段
付基板支持具３ａ〜３ｄの斜面４ａで支持され、左方向
への動きは円柱面５ａで抑止される。図２は、本基板収
納ケースの部分断面図である。円柱の接合面を、斜面４
ａの如く傾斜させることによりホトマスク１との接触面
積が最小になるのでゴミの発生が少なくなる。
付基板支持具３ａ〜３ｄの斜面４ａで支持され、左方向
への動きは円柱面５ａで抑止される。図２は、本基板収
納ケースの部分断面図である。円柱の接合面を、斜面４
ａの如く傾斜させることによりホトマスク１との接触面
積が最小になるのでゴミの発生が少なくなる。
【００１３】また、基板抑止具６ａ〜６ｄによってホト
マスク１は前後方向の動きが抑止される。
マスク１は前後方向の動きが抑止される。
【００１４】上記説明では、段付基板支持具３が４個、
基板抑止具６が４個の場合について述べたが、段付基板
支持具が３個であってもホトマスク１は支持できるし、
基板抑止具が２個であっても前後方向の移動を抑止でき
るので、同様に本発明を実現できる。
基板抑止具６が４個の場合について述べたが、段付基板
支持具が３個であってもホトマスク１は支持できるし、
基板抑止具が２個であっても前後方向の移動を抑止でき
るので、同様に本発明を実現できる。
【００１５】上カバー７の円錐状の基板押え具８ａ、８
ｂに弾力性のあるシリコンゴム３０をかぶせ、その斜面
９ｂでホトマスク１の端面１ｂを押え、上下方向の揺れ
を抑止する。
ｂに弾力性のあるシリコンゴム３０をかぶせ、その斜面
９ｂでホトマスク１の端面１ｂを押え、上下方向の揺れ
を抑止する。
【００１６】基板押え具８ａ、８ｂは、本説明のように
２個だけでなく左右にそれぞれ２個、計４個でも、また
は前後に各１個を加えて計４個にしても本発明を実現で
きる。
２個だけでなく左右にそれぞれ２個、計４個でも、また
は前後に各１個を加えて計４個にしても本発明を実現で
きる。
【００１７】弾力性のあるシリコンゴム３０をかぶせる
ことによりホトマスク１の押えが、より確実になり、ま
た、ホトマスク１との擦れがなくなりゴミの発生が抑止
されるという特徴もある。上下方向の動きが少ない時
は、シリコンゴム３０を省いても本発明を実現できる。
ことによりホトマスク１の押えが、より確実になり、ま
た、ホトマスク１との擦れがなくなりゴミの発生が抑止
されるという特徴もある。上下方向の動きが少ない時
は、シリコンゴム３０を省いても本発明を実現できる。
【００１８】上記説明では、弾力性あるカバーとしてシ
リコンゴムを使用した例を述べたが、その他の弾性体、
例えば弗素ゴムなどでも本発明を実現できる。
リコンゴムを使用した例を述べたが、その他の弾性体、
例えば弗素ゴムなどでも本発明を実現できる。
【００１９】上記説明における段付基板支持具３ａ〜３
ｄ、基板抑止具６ａ〜６ｄ、基板押え具８ａ、８ｂの材
質はホトマスク１に傷をつけないようにするため、３弗
化樹脂または、ポリエチレンなどの樹脂を使用する。
ｄ、基板抑止具６ａ〜６ｄ、基板押え具８ａ、８ｂの材
質はホトマスク１に傷をつけないようにするため、３弗
化樹脂または、ポリエチレンなどの樹脂を使用する。
【００２０】また、基板収納ケースを常に水平にして移
動する場合は、基板押え具８ａ、８ｂがなくても本発明
を実施することができる。
動する場合は、基板押え具８ａ、８ｂがなくても本発明
を実施することができる。
【００２１】ホトマスク１の端面は、約１ｍｍの４５度
面取りが行われているので角度１０を３０度〜６０度に
して押えると効果的である。
面取りが行われているので角度１０を３０度〜６０度に
して押えると効果的である。
【００２２】図３は基板支持具の第２の実施例を示す斜
視図である。下カバー２の板状の段付支持具３２の斜面
３３でホトマスク１の端面を支持して垂直面３４で横方
向の移動を抑止する。
視図である。下カバー２の板状の段付支持具３２の斜面
３３でホトマスク１の端面を支持して垂直面３４で横方
向の移動を抑止する。
【００２３】図４は、基板押え具の第２の実施例を示す
斜視図である。上カバー７の板状の基板押え具３５の斜
面３６でホトマスク１の端面１ｂを押えて、ホトマスク
１の上下方向への揺れを抑止する。
斜視図である。上カバー７の板状の基板押え具３５の斜
面３６でホトマスク１の端面１ｂを押えて、ホトマスク
１の上下方向への揺れを抑止する。
【００２４】次に、上カバーの開閉について説明する。
下カバー２の案内ピン１１ａ、１１ｂは、上カバー７の
案内孔１２ａ、１２ｂにかん合し、開閉される。１３ａ
〜１３ｄは下カバー２の固定つば、１４ａ、１４ｂは上
カバー７の開閉つばである。
下カバー２の案内ピン１１ａ、１１ｂは、上カバー７の
案内孔１２ａ、１２ｂにかん合し、開閉される。１３ａ
〜１３ｄは下カバー２の固定つば、１４ａ、１４ｂは上
カバー７の開閉つばである。
【００２５】図５は、処理装置に基板収納ケースを置い
た時の正面図、図６は、上カバーを開いた時の正面図で
ある。
た時の正面図、図６は、上カバーを開いた時の正面図で
ある。
【００２６】先ず、エアシリンダ１６ａ〜１６ｂを駆動
して、連結したレバー１７ａ〜１７ｄを下方に下げ、固
定つば１３ａ〜１３ｄを押えてケースの下カバー２を固
定する。
して、連結したレバー１７ａ〜１７ｄを下方に下げ、固
定つば１３ａ〜１３ｄを押えてケースの下カバー２を固
定する。
【００２７】次に、エアシリンダ１８ａ、１８ｂを駆動
して、連結したプッシャ１９ａ、１９ｂを上方に上げ、
開閉つば１４ａ、１４ｂを突き上げて上カバー７を開
く。
して、連結したプッシャ１９ａ、１９ｂを上方に上げ、
開閉つば１４ａ、１４ｂを突き上げて上カバー７を開
く。
【００２８】上カバーを閉じる時は、開く時の逆の順序
で動作を行う。ホトマスク１は図示されないロボット
で、ホトマスク１を下からすくい上げて取り出す。
で動作を行う。ホトマスク１は図示されないロボット
で、ホトマスク１を下からすくい上げて取り出す。
【００２９】また、自動搬送車は、固定つば１３ａ〜１
３ｄを把持して基板収納ケースを搬送する。
３ｄを把持して基板収納ケースを搬送する。
【００３０】４個のレバー１７ａ〜１７ｄを連結して、
１個のシリンダで動作させてもよい。また、レバー１７
ａ〜１７ｄを左右に動作させて、下カバー２を挟むよう
に固定することによっても本発明を実現できる。
１個のシリンダで動作させてもよい。また、レバー１７
ａ〜１７ｄを左右に動作させて、下カバー２を挟むよう
に固定することによっても本発明を実現できる。
【００３１】以上説明したように、段付基板支持具３ａ
〜３ｄ、基板抑止具６ａ〜６ｄがホトマスク１の端面に
しか接触しないので、ホトマスク１の表面および裏面に
傷をつけたりゴミを付着させる危険がない。
〜３ｄ、基板抑止具６ａ〜６ｄがホトマスク１の端面に
しか接触しないので、ホトマスク１の表面および裏面に
傷をつけたりゴミを付着させる危険がない。
【００３２】また、上カバー７の基板押え具８ａ、８ｂ
でホトマスク１を押え、下カバー２の固定つば１３ａ〜
１３ｄを自動搬送車で把持して移動することによって安
定に搬送することができる。
でホトマスク１を押え、下カバー２の固定つば１３ａ〜
１３ｄを自動搬送車で把持して移動することによって安
定に搬送することができる。
【００３３】さらに、処理装置においては、下カバー２
の固定つば１３ａ〜１３ｄを押え、上カバー７の開閉つ
ば１４ａ、１４ｂを突き上げることによって単純な機構
で基板収納ケースを開閉することができる。
の固定つば１３ａ〜１３ｄを押え、上カバー７の開閉つ
ば１４ａ、１４ｂを突き上げることによって単純な機構
で基板収納ケースを開閉することができる。
【００３４】上記説明では、基板がホトマスクの場合に
ついて述べたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、一枚づつクリーンな処理を行う収納ケースにも全く
同様に実現できる。
ついて述べたが、本発明はこれに限定されるものではな
く、一枚づつクリーンな処理を行う収納ケースにも全く
同様に実現できる。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は次のよう
な効果を奏するものである。半導体などクリーンな基板
に傷をつけたり、ゴミを付着させることなく、安定に搬
送し、容易に開閉を行うことのできる基板収納ケースを
実現することを可能とする。
な効果を奏するものである。半導体などクリーンな基板
に傷をつけたり、ゴミを付着させることなく、安定に搬
送し、容易に開閉を行うことのできる基板収納ケースを
実現することを可能とする。
【図１】本発明の基板収納ケースの斜視図である。
【図２】本発明の基板収納ケースを閉じた時の詳細縦断
面図である。
面図である。
【図３】本発明の基板支持具の第２の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図４】本発明の基板押え具の第２の実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図５】本発明の処理装置に基板収納ケースを置いた時
の正面図である。
の正面図である。
【図６】本発明の上カバーを開いた時の正面図である。
１…ホトマスク、１ｂ…端面、２…下カバー、３ａ〜３
ｄ…段付基板支持具、４ａ…斜面、５ａ…円柱面、６ａ
〜６ｄ…基板抑止具、７…上カバー、８ａ、８ｂ…基板
押え具、９ｂ…斜面、１０…角度、１１ａ、１１ｂ…案
内ピン、１２ａ、１２ｂ…案内孔、１３ａ〜１３ｄ…固
定つば、１４ａ、１４ｂ…開閉つば、１６ａ〜１６ｂ…
エアシリンダ、１７ａ〜１７ｄ…レバー、１８ａ、１８
ｂ…エアシリンダ、１９ａ、１９ｂ…プッシャ、３０…
シリコンゴム、３１…案内ピン、３２…段付支持具、３
３…斜面、３４…垂直面、３５…基板押え具、３６…斜
面。
ｄ…段付基板支持具、４ａ…斜面、５ａ…円柱面、６ａ
〜６ｄ…基板抑止具、７…上カバー、８ａ、８ｂ…基板
押え具、９ｂ…斜面、１０…角度、１１ａ、１１ｂ…案
内ピン、１２ａ、１２ｂ…案内孔、１３ａ〜１３ｄ…固
定つば、１４ａ、１４ｂ…開閉つば、１６ａ〜１６ｂ…
エアシリンダ、１７ａ〜１７ｄ…レバー、１８ａ、１８
ｂ…エアシリンダ、１９ａ、１９ｂ…プッシャ、３０…
シリコンゴム、３１…案内ピン、３２…段付支持具、３
３…斜面、３４…垂直面、３５…基板押え具、３６…斜
面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 5/00 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０３Ｅ
Claims (5)
- 【請求項１】 上カバーと下カバーとからなる枚葉式の
基板収納ケースにおいて、前記下カバーの外周にケース
固定手段と内部の左右に３個以上の段付基板支持具と内
部の前後に２個以上の基板抑止具を具備し、前記上カバ
ーの外周にケース開閉手段を具備したことを特徴とする
基板収納ケース。 - 【請求項２】 前記上カバーに、基板端面を斜めに押え
る基板押え具を具備したことを特徴とする請求項１記載
の基板収納ケース。 - 【請求項３】 前記段付基板支持具の段部が傾斜してい
ることを特徴とする請求項１記載の基板収納ケース。 - 【請求項４】 前記基板押え具の傾斜が３０度〜６０度
であることを特徴とする。請求項２記載の基板収納ケー
ス。 - 【請求項５】 前記基板押え具に弾性体を被覆したこと
を特徴とする請求項２記載の基板収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7663898A JPH11255332A (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 基板収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7663898A JPH11255332A (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 基板収納ケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11255332A true JPH11255332A (ja) | 1999-09-21 |
Family
ID=13610930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7663898A Pending JPH11255332A (ja) | 1998-03-10 | 1998-03-10 | 基板収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11255332A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006146079A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Miraial Kk | レチクル搬送容器 |
| JP2006332278A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Miraial Kk | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 |
| US7733666B2 (en) | 2005-06-22 | 2010-06-08 | Fujitsu Limited | Circuit board storage bag and storage rack |
| JP2016500844A (ja) * | 2012-10-19 | 2016-01-14 | インテグリス・インコーポレーテッド | ベース板にカバーの位置を合わせる機構を備えたレチクルポッド |
| KR20210142259A (ko) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 아메스산업(주) | 커버부재를 갖는 기판 이송 장치 |
| KR20240033527A (ko) * | 2022-09-05 | 2024-03-12 | 아메스산업(주) | 반도체 제조용 커버 이송 시스템 |
-
1998
- 1998-03-10 JP JP7663898A patent/JPH11255332A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006146079A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Miraial Kk | レチクル搬送容器 |
| JP2006332278A (ja) * | 2005-05-25 | 2006-12-07 | Miraial Kk | 枚葉収納容器及びそれに用いる緩衝支持部材 |
| US7733666B2 (en) | 2005-06-22 | 2010-06-08 | Fujitsu Limited | Circuit board storage bag and storage rack |
| JP2016500844A (ja) * | 2012-10-19 | 2016-01-14 | インテグリス・インコーポレーテッド | ベース板にカバーの位置を合わせる機構を備えたレチクルポッド |
| US9919863B2 (en) | 2012-10-19 | 2018-03-20 | Entegris, Inc. | Reticle pod with cover to baseplate alignment system |
| KR20210142259A (ko) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 아메스산업(주) | 커버부재를 갖는 기판 이송 장치 |
| KR20240033527A (ko) * | 2022-09-05 | 2024-03-12 | 아메스산업(주) | 반도체 제조용 커버 이송 시스템 |
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